JP2002205406A - インクジェットプリントヘッドの構成要素にノズルを形成する方法、ノズル構成要素、前記ノズル構成要素が設けられたインクジェットプリントヘッドおよび前記プリントヘッドが設けられたインクジェットプリンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 良好な印刷品質が得られるインクジェットプ
リントヘッドノズル構成要素を簡潔な方法で提供する。 【解決手段】 本発明は、インクジェットプリントヘッ
ドの構成要素にノズルを形成する方法であって、レーザ
により構成要素から材料が除去され、この間にノズルを
形成する方法に関する。この方法において、少なくとも
１つのサブビームがマスクを通過した後、サブビームに
より材料が除去されるように、レーザビームでマスクが
照射される。本発明による方法において、材料の除去中
に、サブビームがレーザビームの異なる部分から生じる
ように、マスクに対して、マスクと実質的に平行な方向
にレーザビームを動かすことにより、レーザビームの不
均質性が補償される。このようにして、ノズルは、「平
均的な」レーザビームで形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザを使用する
ことによりインクジェットプリントヘッドの構成要素か
ら材料が除去されてノズルが形成される、インクジェッ
トプリントヘッドの構成要素にノズルを形成する方法で
あって、サブビームがマスクを通過するようにレーザビ
ームでマスクを照射することと、サブビームにより材料
を除去することとを含む方法に関する。また、本発明
は、実質的に同一のノズルを有するノズル構成要素と、
このノズル構成要素が設けられたインクジェットプリン
トヘッドと、このようなプリントヘッドが設けられたイ
ンクジェットプリンタに関する。

【０００２】

【従来の技術】米国特許第５，３０５，０１５号に、こ
の種の方法が開示されている。ノズルが形成される構成
要素は、インクジェットプリンタのプリントヘッドの一
部として使用される。この種のプリントヘッドは、通
常、一連の実質的に閉口したインクダクトを備え、各イ
ンクダクトは、比較的に大きな開口部により、プリント
ヘッドの表面へと通じている。一実施形態において、こ
れらの開口部は、平行な二列からなるパターンをなす。
平坦な構成要素が、このプリントヘッドの表面に対して
固定され、この開口部のパターンに対応するパターン状
に多数のノズルを含む。その結果、各ダクトは、最終的
に、小型で精密なノズルへと通じる。各ダクトには、例
えば、熱構成要素または圧電アクチュエータからなる駆
動手段が設けられ、この駆動手段を用いて、ダクト内の
圧力を急速に上昇させることにより、対応するノズルを
介してインク滴が吐出される。このようにして、インク
ダクトをイメージ状に作動させることにより、受材上に
多数の個々のインク滴からなるイメージを形成できる。

【０００３】この種のインクジェットプリンタを用いる
場合、印刷の品質は、ノズルの特徴に非常に左右される
ことになる。ノズルの形状、サイズ（断面）およびダク
トとの角度は、特に、小滴の重要な特性を決定する。こ
れらの特性には、特に、小滴のサイズ、小滴が吐出され
る方向および小滴が吐出される瞬間の速度がある。例え
ば、プリントヘッドに固定される可撓性金属やプラスチ
ックフィルムなど、別の構成要素にノズルを設けること
に加え、インクダクトが設けられた構成要素にノズルを
直接形成することもできる。

【０００４】上記に挙げた特許明細書に開示された方法
においては、可撓性プラスチックからなる構成要素が、
レーザビームでマスクを照射する処理ステーションを通
るように搬送され、このマスクは、レーザ通過構成要素
のパターンで形成される。レーザビームは、例えば、Ｆ
_２、ＡｒＦ、ＫｒＣｌ、ＫｒＦまたはＸｅＣｌタイプの
エキシマレーザから生じる。小さな領域に高エネルギー
密度が得られるため、この種のレーザビームは、ノズル
の形成に優れた能力を発揮する。マスクのレーザ通過要
素のパターンにより、マスクを通過するサブビームパタ
ーンが得られる。これらのサブビームのそれぞれで、テ
ープから材料が除去されてノズルが形成される。構成要
素に特定形状をもつ連続した孔が形成されると、ノズル
の形成が終了する。レーザビームから生じるサブビーム
の数が、設けられるノズルの総数よりもかなり少ないた
め、第１の一連のノズルが形成された後、マスクとレー
ザビームに対して構成要素が動かされ、その後、次の一
連のノズルが形成される。この方法は、ステップアンド
リピート方式のプロセスとして知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法には重大な欠点がある。レーザビームの構成、特に、
放射がビームで伝播する角度およびこの放射の強度は、
ビームの幅全体にわたってまったく同じものではない。
すなわち、マスクを通過するサブビームの構成を正確に
把握できないということである。その結果、このサブビ
ームで処理して形成されるノズルの特性の調節は、不可
能でないにしろ、困難である。したがって、ノズルの特
性に比較的かなりの程度のばらつきが存在する。さら
に、公知の方法において、必要とされるノズルの形状か
らかなり外れたノズルが形成されることがある。例え
ば、ダクトに対して大幅に傾斜したり、断面が必要以上
にかなり大きなものになったりしたノズルが形成される
可能性が大きい。これは、印刷の品質に悪影響を及ぼす
ものである。

【０００６】本発明の目的は、良好な印刷品質が得られ
るインクジェットプリントヘッドノズル構成要素を簡潔
な方法で提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、マスクに対して、マスクに実質的に平行な方向にレ
ーザビームを動かすことにより、材料を除去している
間、サブビームがレーザビームの一連の異なる部分から
生じ、レーザビームの前記一連の異なる部分は前記方向
に延びることを特徴とする請求項１のプリアンブルによ
る方法が見い出された。この方法において、ノズルは、
ある種の「平均的な」レーザビームにより形成される。

【０００８】このため、形成されるノズル毎のノズル特
性のばらつきは、比較的小さいものであり、必要とされ
るノズルの形状に十分に対応するノズルの形成が簡単な
ものとなる。

【０００９】この実施形態において、常にレーザビーム
の異なる部分でマスクのレーザ通過構成要素を照射する
ように、マスクに対してレーザビームを動かすことによ
り、レーザビームの異なる部分も常にサブビームとして
通過する。このようにして、ノズルを形成する手段であ
るレーザビーム、ひいてはサブビームの偏向が、このよ
うなビームのより多数の部分にわたって平均化される。
これには、レーザビームの体系的な欠陥の発生を容易に
解消できるという利点がある。さらに、レーザビームの
設定の変化が、「平均的な」ビームに対しては、ビーム
の各部分に対してほどに厳しい影響を及ぼさないため、
ノズルの形成をより簡単に制御することができる。

【００１０】別の実施形態において、前述したレーザビ
ームの一連の異なる部分が連続した列をなす。この方法
の利点は、マスクをレーザビームで継続的に照射できる
ことである。これにより、より簡潔な方法が得られると
ともに、レーザビームの１つの部分から他の部分へ転移
するときに鋭い転移がないという利点も得られる。この
代わりとして、１つの流動的な動きになるように、マス
クにわたってレーザビームが動かされる。

【００１１】さらなる別の実施形態において、一連の部
分は、前記方向に実質的にビームの全幅にわたって延び
る。使用するレーザビームは、多くの場合、その特性の
点で対称的なものであるため、レーザビームの偏向が非
常に良好に平均化され、実質的にレーザビームの全幅を
用いてノズルが形成される。その結果、実質的に対称的
なノズルが得られ、これが印刷の品質を高める要因にな
る。

【００１２】一つの好適な実施形態において、レーザビ
ームは、実質的に一定の速度でマスクに対して動かされ
る。これは、本発明による方法を単純化するだけでな
く、ビームにわたったよりよい平均化にも貢献する。こ
のようにして、ノズルの対称性が十分に保証され、印刷
品質の向上が得られる。

【００１３】さらなる実施形態において、マスクと構成
要素は、レーザビームが静止している間に動かされる。
この実施形態において、レーザビームは、処理ステーシ
ョンに固定されてよい。マスクを通過するサブビーム
が、構成要素の同じ場所に常に映し出されるように、マ
スクと構成要素は、動かされている間、互いに対して光
学的に固定されている。

【００１４】一つの好適な実施形態において、サブビー
ムは、レンズにより構成要素に映し出される。この実施
形態には多くの利点がある。まず、このようにすると、
構成要素に要求される削減をレンズによって達成するこ
とができるため、比較的粗いマスク、すなわち、レーザ
通過構成要素が比較的大きなマスクを使用できる。さら
に、このようにすると、マスクでのレーザビームの放射
強度を比較的小さくしたままにできるため、マスクへの
ダメージを防止できる。また、レンズを使用することに
より、レーザビーム、マスクおよび互いの構成要素のレ
イアウトの点で、より高い自由度が得られる。

【００１５】さらなる好適な実施形態において、少なく
とも２つのサブビームがマスクを通過する。この方法に
は、公知の方法よりも非常に重要な利点がある。公知の
方法において、マスクを通過する少なくとも２つのサブ
ビームが可能な限り同一のものとなるように、レーザビ
ームの均質性は慎重に制御され調節される。このように
して、形成されるノズルは、互いに異なること、すなわ
ち、形状、サイズ、角度の点で異なることが可能な限り
防止される。このような制御および調節には、高価な測
定制御機器が要求されるが、ノズル間に差があると印刷
品質が認知できる程度に劣化するため、必要なのであ
る。これに対して、本発明による方法では、レーザビー
ムの均質性を制御および調節せずとも、形成されるノズ
ルは実質的に同一のものになることが分かっている。こ
れは、各ノズルが、レーザビームにわたって実質的に同
一に「平均」化されて形成される結果である。この方法
のさらなる利点は、非常に不均質な、すなわち安価なレ
ーザビームを使用できることである。特に、マスクに対
してレーザビームを動かす方向と同じ方向に一列に並べ
てノズルを配置する場合、ノズルは特に同一のものにな
ることが分かっている。

【００１６】さらなる実施形態において、レーザビーム
から生じるサブビームよりも多くのノズルが構成要素に
形成される。この実施形態には、断面が小さい、すなわ
ち比較的安価なレーザビームを選択できるという利点が
ある。このようなレーザを用いても、レーザビームに対
して構成要素を動かすことにより、多数のノズルを形成
することができる。

【００１７】さらなる別の実施形態において、マスクへ
のレーザビームの投影が長手方向を有し、実質的に平行
線で長手方向の投影が規定されるように、レーザビーム
が使用される。この実施形態には、マスクのレーザ通過
構成要素に対してビームを高精度に位置決めする必要が
ないという利点がある。すなわち、レーザビームが全体
にわたって実質的に等しい幅のものであるため、各ノズ
ルは、全レーザ強度が実質的に同一となるように形成さ
れる。これは、ノズルの均一性、ひいては本発明による
ノズル構成要素が装備されるインクジェットプリンタの
印刷品質に利益をもたらす。

【００１８】本発明は、インクジェットプリントヘッド
のノズル構成要素にも関し、このノズル構成要素は、実
質的に同一のノズルを備え、本発明による方法により得
られうるものである。この種の構成要素の利点は、ノズ
ルから吐出されるインク滴が、可能な限り同じ特性を備
えるということである。この種のノズル構成要素が設け
られるインクジェットプリントヘッドの利点は、ヘッド
の長さにわたった印刷の特性の差が可能な限り少ないと
いうことである。この種のプリントヘッドが設けられる
インクジェットプリンタでは、高品質のイメージを作り
出すことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下の例を参照して、本発明を以
下に説明する。

【００２０】図１は、インクジェットプリンタを略図的
に示す。この実施形態において、プリンタは、基材２を
支持し、それを４つのプリントヘッド３に沿って供給す
るローラ１を備える。ローラ１は、矢印Ａで示されてい
るように、ローラの軸を中心に回転可能である。走査キ
ャリッジ４が、４つのプリントヘッド３を運び、ローラ
１に平行な双方向矢印Ｂで示される方向に往復運動でき
る。このようにして、プリントヘッド３は、受入基材
２、例えば、紙を完全に走査できる。キャリッジ４は、
ロッド５および６上を誘導され、適切な手段（図示せ
ず）により駆動される。

【００２１】図示されているような実施形態において、
各プリントヘッドは、それぞれにノズル７が設けられて
いる８個の内部インクダクト（図示せず）を備えてお
り、このノズルは、各プリントヘッドに、４つのノズル
からなる実質的に平行な二列に並んだ列をなす。この実
施形態において、これらの列のそれぞれは、ローラ１の
軸に対して実質的に垂直である。インクジェットプリン
タの現実の一実施形態においては、１つのプリントヘッ
ド当たりのインクダクトの数は、多数倍多く、通常、約
２００から４００ノズル／ヘッドとなるであろう。各イ
ンクダクトには、ダクト内のインクを加圧する手段（図
示せず）が設けられているため、ダクトから受材の方向
に、対応するノズル７を介してインク滴が吐出される。
この種の手段は、例えば、サーミスタまたは圧電アクチ
ュエータであってよい。また、これらの手段を作動させ
るために、各ダクトに電気駆動回路（図示せず）が設け
られる。これらの手段がイメージ状に作動されると、イ
ンク滴からなるイメージが基材２上に形成される。この
種のプリンタで基材が印刷される場合、このような基材
またはその一部は、ピクセル行およびピクセル列からな
る一定範囲をなす固定場所に（仮想的に）分割される。
一実施形態において、ピクセル行はピクセル列に対して
垂直のものである。その結果得られる別個の固定場所の
それぞれに、１以上のインク滴が与えられてよい。ピク
セル行とピクセル列に平行な方向での単位長さ当たりの
固定場所数を、例えば、４００×６００ｄ．ｐ．ｉ．
（「ドット／インチ」）として示す印刷イメージの解像
度と呼ぶ。

【００２２】図２は、インクジェットプリントヘッド３
の一例である。簡潔にするために、一列のみのインクダ
クトからなるヘッドが示されており、さまざまな部品を
互いに別々に離して示している。

【００２３】ヘッド３は、一列の平行なダクト１１が形
成されるダクトプレート１０からなる。ダクトプレート
の前面で、ダクトは出口開口部１２に通じる。背面で、
ダクトは、ダクトプレートの壁を境界とする。底面で、
ダクトは、液体インク（図示せず）を充填できるよう
に、インクリザーバ（図示せず）へと狭い開口部（図示
せず）を介して接続される。上面で、ダクトプレート
は、ダクトを上面で閉口するようにアクチュエータフィ
ルム１３で被覆される。このフィルム上に、圧電アクチ
ュエータプレート１４が配置される。このアクチュエー
タプレート１４には、一列の平行な圧電フィンガ１５お
よび１６が設けられる。フィンガ１５は、インクダクト
の上方に配置される。フィンガ１６は、インクダクト１
１を互いに分離するダム１８上に、フィルム１３を介し
て支持される。この実施形態において、ダクトプレート
１０の前面は、この例では、ノズル７が形成される金属
合金の薄い帯であるノズル構成要素１７で被覆される。
この場合、ノズルの列は、インクダクト１１の出口開口
部の列に対応する。出口開口部１２がなく、インクダク
トがダクトプレート１０の前面でも壁を境界としている
代替実施形態においては、ノズルはダクトプレート１０
に直接形成される。

【００２４】圧電フィンガ１５を作動させることによ
り、フィンガ１５がダクトプレートの方向に膨張する
と、アクチュエータフィルム１３は、対応するインクダ
クト１２内で歪み、ダクト内の圧力が上昇する。これら
の状況下では隣接するフィンガ１６により、圧電プレー
ト１４に十分な支持が与えられる。フィンガ１５を正確
に作動させることにより、圧力が上昇することで、イン
クダクトから対応するノズルを介してインク滴が吐出さ
れることになる。

【００２５】図３は、図３ａおよび図３ｂからなり、従
来技術として公知のノズルを適用する方法を示す。この
方法では、ソース２０からのレーザビーム２１でマスク
２２が照射され、このマスクは、レーザ光を通す材料か
らなり、マスクにはレーザ光を伝達する一列の構成要素
２３が設けられている。多数のサブビーム２４がマスク
を通過する。その後、これらのサブビームは、レンズ２
５により収束される。レーザソース２０と、マスク２２
と、レンズ２５は、処理ステーション（図示せず）に配
置され、互いに常に固定される。

【００２６】構成要素１７、この場合は可撓性のポリイ
ミドフィルムにノズルを設けるために、レーザソース２
０がオフに切り換えられている間、フィルムは処理ステ
ーションに沿って搬送される。構成要素がマスク２２に
対して適切な位置を占めるとすぐに、レーザソースはオ
ンに切り換えられ、図３ａに示されているように、構成
要素上にサブビーム２４が映し出される。レンズ２５の
収束作用の結果として、サブビームの列は、構成要素１
７上に多数倍小さく映し出されて、マスクから出る。構
成要素上でサブビームが作用した結果、この構成要素か
ら材料が除去される（この手順はレーザアブレーション
として知られている）ことにより、マスクのレーザ通過
構成要素２３の数に等しい多数のノズル７が形成され
る。レーザビームが不均質なものであると、構成要素の
それぞれの場所での材料の除去が異なるため、その結果
得られる一連のノズルが、例えば、形状、頂角、サイ
ズ、方向などの点で互いに異なるものになる。その結
果、各ダクトにより吐出されたインク滴も異なるものに
なる。ノズルが形成された後、レーザソース２０はオフ
に切り換えられ、構成要素１７は、マスクに対して正確
な位置を占めるまで搬送され、そして次の一連のノズル
が構成要素に形成されうる。その後、レーザソース２０
は、構成要素が次の処理を受けるように、再度オンに切
り換えられる。これは、図３ｂに示されている。ステッ
プアンドリピート方式として知られるこのような方法
で、比較的小さなレーザビームを用いて、長いノズル列
をもつノズル構成要素を得ることができる。

【００２７】図４は、本発明による方法の第１の例を示
す。この実施形態において、レーザソース２０は、処理
ステーション（図示せず）において固定された構造の一
部をなす。構成要素１７の処理中、レーザ通過構成要素
２３が設けられているマスク２２は、レーザビーム２１
で照射される。この例において、マスク２２は、３つの
サブビーム２４を通過させ、これらのサブビームは、構
成要素１７上にレンズ２５により映し出される。現実の
一実施形態において、レーザビームの断面と構成要素２
３のサイズとの間の比率は、数十のサブビームが形成さ
れる程度のものとなりうる。

【００２８】レーザビーム２１に対して、ビームに実質
的に垂直な方向Ｃにマスク２２を移動させることによ
り、各レーザ通過構成要素２３は、レーザビーム２１の
実質的に同じ部分を横切る。この実施形態において、レ
ンズ２５の焦点より少し遠くに配置された構成要素１７
が、方向Ｃとは実質的に反対方向の方向Ｄに正確な速度
で動かされると、各サブビーム２４は、構成要素１７上
の同じ位置で固定された状態になる。これらの状況にお
いて、この構成要素１７の速度は、マスク２２の速度よ
りも多数倍遅いものであり、この比率は、構成要素上に
サブビームを映し出す減少係数に等しい。この例におい
て、最も左にあるサブビーム２４は、構成要素の位置ｊ
に映し出される。このサブビームは、レーザビームを横
切って広がりの実質的な全体をすでに通ってきたもので
あり、対応するノズルは、位置ｊで実質的に完全に形成
されたものに一致しつつある。マスク２２が方向Ｃにさ
らにわずかに動かされるとすぐに、対応するレーザ通過
構成要素は、レーザビーム２１により照射されることが
なくなる。レーザビームの強度、レーザ通過構成要素の
サイズ、レンズの減少係数、およびマスクと構成要素の
移動速度を適切に選択することにより、位置ｊのノズル
は、対応する放射伝達構成要素がレーザビームから離れ
るときに完成する。

【００２９】同図に示す処理ステージの位置ｈで、ノズ
ルの形成が開始される。最初に、対応するレーザ通過構
成要素２３にレーザビームが入り、出現したサブビーム
が位置ｈに映し出される。位置ｉは、ある程度長く継続
している第２のサブビームで照射され、この位置のノズ
ルはすでにある程度は形成されている。マスク２２と構
成要素１７を指示した方向に移動させることにより、各
レーザ通過構成要素２３は、レーザビーム２１の同じ部
分を実質的に横切る。その結果、時間が経過するにつ
れ、実質的に同じように各位置で材料が除去されること
になり、ノズルが実質的に同一のものとなる。この実施
形態では、マスクが最小でも構成要素に形成されるノズ
ルと同程度の数のレーザ通過構成要素をもつため、すべ
てのノズルは、１つの連続的な動作で形成可能である。

【００３０】図５は、好適な実施形態によるレーザビー
ムの一例を示す。この実施形態において、マスク２２上
のレーザビーム２１の投影３０は長手方向を有する。長
手方向、すなわち、マスクを横断して延びる方向におい
て、投影は、実質的に平行なライン３１および３２で画
定される。この実施形態において、ビームの幅が投影の
全長にわたってほぼ等しいものであるため、マスクに対
してマスクを横断する方向にビームを位置決めする精度
はより低いものであってよい。これにより、特に、多数
のレーザ通過構成要素が（マスクの長手方向に対して）
互いに隣り合わせにマスクに存在する場合、利点が得ら
れる。この例では、構成要素（図示せず）に同数のノズ
ル列を同時に形成するように、マスクに二列の構成要素
２３がある。第１列の構成要素にあるビーム２１の投影
３０の幅が、第２列のものと等しいため、これらの列の
構成要素は、マスクに対するビームの位置にかかわら
ず、同じ長さの時間照射されることになる。例えば、投
影が円形であれば、この目的に合わせて、マスクに対し
てビームを非常に高精度に位置決めする必要が生じるだ
ろう。構成要素２３が三列以上あれば、円形の投影では
このような状況にすら達しないであろう。

【００３１】典型的な例において、投影の幅ｄ１は、
７．５ｍｍである。長さｄ２は、２４ｍｍである。この
レーザビームは、構成要素列間の距離ｄ３が約２０ｍｍ
であるマスクを照射するために使用される。放射通過構
成要素２３の形状は、通常、断面が約１００μｍの円形
である。構成要素２３間の距離は、通常、１０００μｍ
である。サブビームが、レンズを使用して減少係数３で
映し出されると、その結果得られるノズル構成要素は、
互いに約６．５ｍｍの距離で平行な二列のノズルを有
し、このノズルの断面は、約３０μｍであり、一列内に
あるノズルの距離は、互いに約３３０μｍである。この
種の列を、７５ノズル／インチ（７５ｎ．ｐ．ｉ．）の
分解能をもつ列とも呼ぶ。このような二列が互い違いに
設けられるため、その結果得られるノズル構成要素の最
終的な分解能は、１５０ノズル／インチのものとなる。

【００３２】図６は、使用するノズル構成要素に応じた
多数のプリントヘッドの角度誤差を示す。

【００３３】図６ａにおいて、従来技術として公知の方
法を用いて形成されたノズル構成要素の場合の角度誤差
が示されている。インク滴が、意図するものとは異なる
角度でノズル構成要素を出た場合に、角度誤差が生じ
る。その結果、インク滴は、受材上の必要とされるピク
セル位置からある距離離れた位置に達する。この距離を
角度誤差と呼ぶ。角度誤差は、正（高すぎる場所への滴
下）または負（低すぎる場所への滴下）の場合がある。
この例において、角度誤差は、ノズル番号の関数として
無次元単位「デルタ」として表される。

【００３４】この図６ａの例において、角度誤差は、ノ
ズル１２８個分の長さと７５ｎ．ｐ．ｉの分解能をもつ
プラスチックノズル構成要素を対象としている。ノズル
を形成するために、レーザビームとマスクが使用され、
それを用いて、１ステップにつき構成要素に２９個のノ
ズルが形成される。図面に、ノズルの角度誤差のばらつ
きが示されている。角度誤差には再現パターンがあるこ
とは特に明らかであり、その周期は、１ステップ毎に形
成されるノズル数に等しい。このノズル構成要素が、受
材にイメージを印刷するインクジェットプリンタのプリ
ントヘッドを形成するために使用されると、これらの誤
差により、イメージに視覚的に認識可能な印刷アーチフ
ァクトが生じることになる。公知の方法では、特に、角
度誤差以外にも小滴サイズの誤差があり、再現パターン
が再度生じる。これも、印刷されたイメージに生じる厄
介な印刷アーチファクトとなる場合がある。

【００３５】図６ａと同様に、図６ｂは、比較可能なノ
ズル構成要素の角度誤差を示すが、このノズル構成要素
は、図４に示す方法により形成されたものである。ノズ
ルがインク滴毎に同じ吐出角度をもたらしていることが
有意であり、視覚的に認識できる再現誤差がないことは
明らかであろう。より精密な検査によれば、インク滴の
他の特性、特に、小滴サイズは、実質的に同じであるこ
とが分かっている。この利点は、ノズル列が比較的長い
場合に特に顕著である。

【００３６】

【発明の効果】本発明の方法により形成されるノズル構
成要素を用いると、ノズルの偏差のばらつきがかなり小
さくなり、単一のノズル列内に再現誤差パターンがない
ことは明らかであろう。その結果、このようなノズル構
成要素を使用するプリントヘッドを用いると、小滴形成
の偏差の数および程度が低減されることになる。これに
より、印刷されるイメージの品質がより良好になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットプリンタの図である。

【図２】インクジェットプリントヘッドの一例である。

【図３】図３ａおよび図３ｂからなり、従来技術として
公知のノズル形成方法を示す図である。

【図４】本発明による方法の第１の例を示す。

【図５】一つの好適な実施形態によるレーザビームの一
例である。

【図６】使用するノズル構成要素に応じた多数のプリン
トヘッドの角度誤差を示す。

【符号の説明】

１ ローラ ２ 基材 ３ プリントヘッド ４ 走査キャリッジ ５、６ ロッド ７ ノズル １０ ダクトプレート １１ ダクト １２ 出口開口部 １３ アクチュエータフィルム １４ 圧電アクチュエータプレート １５、１６ 圧電フィンガ １７ ノズル構成要素 １８ ダム ２０ レーザソース ２１ レーザビーム ２２ マスク ２３ レーザ通過構成要素 ２４ サブビーム ２５ レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 インクジェットプリントヘッドの構成要素にノズルを形成する方法、ノズル構成要素、前記ノズ ル構成要素が設けられたインクジェットプリントヘッドおよび前記プリントヘッドが設けられた インクジェットプリンタ

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザを使用することによりインクジェ
   ットプリントヘッドの構成要素から材料が除去されて、
   この間にノズルが形成される、インクジェットプリント
   ヘッドの構成要素にノズルを形成する方法であって、 サブビームがマスクを通過するように、レーザビームで
   マスクを照射することと、 サブビームにより材料を除去することとを含み、 マスクに対して、マスクに実質的に平行な方向にレーザ
   ビームを動かすことにより、材料を除去している間、サ
   ブビームがレーザビームの一連の異なる部分から生じ、
   前記レーザビームの一連の異なる部分は前記方向に延び
   ることを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 一連の部分は、連続した列をなす請求項
   １に記載の方法。
3. 【請求項３】 一連の部分は、前記方向に実質的にビー
   ムの全幅にわたって延びる請求項１または２に記載の方
   法。
4. 【請求項４】 実質的に一定の速度で、マスクに対して
   レーザビームを動かす請求項１から３のいずれか一項に
   記載の方法。
5. 【請求項５】 レーザビームが静止している間、マスク
   と構成要素を動かす請求項１から４のいずれか一項に記
   載の方法。
6. 【請求項６】 サブビームは、レンズにより構成要素に
   映し出される請求項１から５のいずれか一項に記載の方
   法。
7. 【請求項７】 少なくとも２つのサブビームが、マスク
   を通過する請求項１から６のいずれか一項に記載の方
   法。
8. 【請求項８】 マスクを通過するサブビームよりも多く
   のノズルが、構成要素に形成される請求項１から７のい
   ずれか一項に記載の方法。
9. 【請求項９】 マスクへのレーザビームの投影が長手方
   向を有し、投影が実質的に平行線で長手方向に制限され
   るようにレーザビームが使用される請求項１から８のい
   ずれか一項に記載の方法。
10. 【請求項１０】 実質的に同一のノズルを有し、請求項
    １から９のいずれか一項に記載の方法を用いて得られ
    る、インクジェットプリントヘッドのノズル構成要素。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載のノズル構成要素が
    設けられたインクジェットプリントヘッド。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載のインクジェットプ
    リントヘッドが設けられたインクジェットプリンタ。