JP2000304049A - Air spindle - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate connecting work of piping and arrangement even in the case of using an air spindle in a clean room by making the exhaust piping to be connected to an exhaust port and the air supply piping to an air supply port in a simple connecting structure in the case of exhausting exhaust air from a bearing to the exhaust port after introducing it to a motor for cooling. SOLUTION: An air introduction passage 43 to introduce most of exhaust air from bearings 11, 22 to a motor 38 and an air exhaust passage 57 to exhaust air after cooling the motor 38 to an exhaust port 57 are provided in each of wall parts of a bearing housing 2 and a motor housing 3, an exhaust port 56 is arranged in the vicinity of an air supply port 15 on an outer periphery of the bearing housing 2 and both of the pipings are arranged on the side of the bearing housing 2 in in the lump on an air spindle on which a static pressure type radial bearing 11 and a thrust bearing to support an axis of rotation 6 by pressure air from the air supply port are respectively provided in the bearing housing 2 and a motor 38 for driving of the axis of rotation 6 is provided in the motor housing 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エアスピンドルに
関し、特に、その回転軸駆動用のビルトインモータを冷
却する構造に関する技術分野に属する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air spindle, and more particularly to a technical field related to a structure for cooling a built-in motor for driving a rotary shaft thereof.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、この種エアスピンドルとし
て、例えば特開昭５８―５０３１７号、特開平９―２５
７０３７号、特開平９―２５７０３８号の各公報等に示
されるように、静圧型のラジアル軸受及びスラスト軸受
に加圧エアを供給し、これらラジアル軸受及びスラスト
軸受から排出されたエアを集めてモータに導入するエア
導入通路をハウジングに設けるとともに、このモータ通
過後のエアを外部に排出する排気口をモータハウジング
に開口させ、さらに、モータハウジングにウォータジャ
ケットを設けることで、モータを外部からの水と静圧型
軸受の排出エアとの双方を利用して冷却するようにした
ものは知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this kind of air spindle, for example, JP-A-58-50317, JP-A-9-25
No. 7037, Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-257038, etc., pressurized air is supplied to a static pressure type radial bearing and a thrust bearing, and the air discharged from the radial bearing and the thrust bearing is collected. The housing is provided with an air introduction passage for introducing air into the housing, and an exhaust port for discharging air after passing through the motor to the outside is opened in the motor housing. There is known an apparatus in which cooling is performed by using both the pressure and the discharge air of a hydrostatic bearing.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
エアスピンドルのように、モータを冷却するために水を
用いた場合、ウォータジャケットが設けられるモータハ
ウジングの構造が複雑になるばかりでなく、運転中は常
に水が必要でランニングコストが上昇するという問題が
ある。しかも、断水時にはエアスピンドル自体の運転を
停止せねばならず、そのための安全システムを具備して
おく必要がある。However, when water is used to cool the motor as in the conventional air spindle, not only the structure of the motor housing provided with the water jacket is complicated, but also the operation is difficult. There is a problem in that running water is always required because running water is required. In addition, when the water is cut off, the operation of the air spindle itself must be stopped, and it is necessary to provide a safety system for that.

【０００４】そこで、かかる問題を解決するために、上
記の如きモータハウジングへのウォータジャケットの設
置をなくし、モータを軸受からの排出エアのみにより冷
却するようにすることが考えられる。[0004] In order to solve such a problem, it is conceivable to eliminate the installation of the water jacket in the motor housing as described above and to cool the motor only by air discharged from the bearings.

【０００５】しかし、その場合、以下に説明する問題が
ある。すなわち、上記構造のエアスピンドルにおいて
は、モータを冷却したエア中にゴミ等が含まれているの
で、例えばエアスピンドルをクリーンルーム中で使用す
るときには、その排気口に排気配管を接続して排出エア
がそのままハウジング外に排出されないようにする必要
がある。However, in that case, there is a problem described below. That is, in the air spindle having the above-described structure, dust or the like is contained in the air that has cooled the motor, so that, for example, when the air spindle is used in a clean room, an exhaust pipe is connected to the exhaust port to reduce the exhaust air. It is necessary not to be discharged out of the housing as it is.

【０００６】ところが、上記従来のものでは、軸受に供
給される加圧エアの給気口は軸受ハウジングに設けられ
ているのに対し、エアの排気口は、モータの冷却のため
にモータハウジングに開口されているので、給気口への
給気配管と排気口への排気配管とをそれぞれエアスピン
ドルの離れた箇所に接続する必要があり、その両配管の
接続構造が複雑で、その接続作業や取回し、メンテナン
スが面倒になる。特に、軸受ハウジングとモータハウジ
ングとの境界部分に取付フランジを設け、その取付フラ
ンジにてエアスピンドルを取付板等に取付固定するよう
にした場合、上記２種類の配管を取付板等の両側に分け
て配置せねばならず、上記問題が顕著となる。However, in the above-described conventional apparatus, the air supply port for pressurized air supplied to the bearing is provided in the bearing housing, whereas the air exhaust port is provided in the motor housing for cooling the motor. Since it is open, it is necessary to connect the air supply pipe to the air supply port and the exhaust pipe to the exhaust port respectively at locations separated from the air spindle, and the connection structure of both pipes is complicated, and the connection work And handling and maintenance are troublesome. In particular, when a mounting flange is provided at the boundary between the bearing housing and the motor housing and the air spindle is mounted and fixed to the mounting plate or the like with the mounting flange, the above two types of pipes are divided on both sides of the mounting plate or the like. The above-mentioned problem becomes remarkable.

【０００７】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、軸受からモータに導入
された後にモータから排出されるエアの経路を改良する
ことにより、モータ冷却後のエアの排気口に排気配管を
接続する場合に、その排気配管と、軸受に供給される加
圧エアの給気口に対する給気配管との接続構造を簡単に
し、配管の接続作業や取回し、メンテナンスを容易化し
ようとすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to improve the path of air discharged from a motor after being introduced into the motor from a bearing so that the motor can be cooled. When connecting the exhaust pipe to the exhaust port of the air, the connection structure between the exhaust pipe and the air supply pipe to the air supply port of the pressurized air supplied to the bearing is simplified, and the pipe connection work and And to facilitate maintenance.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的の達成のた
め、この発明では、モータの冷却に供されたエアを排出
するための排気口を、軸受に加圧エアに供給するための
給気口とハウジングにおいて近い部分に配置し、モータ
からその排気口までを接続するエア排出通路を設けて、
モータからのエアをエア排出通路を介して排気口に流す
ようにした。In order to achieve the above object, according to the present invention, an exhaust port for discharging air used for cooling a motor is provided with an air supply for supplying pressurized air to a bearing. It is arranged in the part near the mouth and the housing, and provides an air discharge passage connecting the motor to the exhaust port,
The air from the motor is caused to flow to the exhaust port via the air discharge passage.

【０００９】具体的には、請求項１の発明では、ハウジ
ング内に、回転軸をエアの静圧により浮動状態で回転可
能にかつ軸方向に移動不能に支持するラジアル軸受及び
スラスト軸受と、上記回転軸を回転駆動するモータとが
設けられたエアスピンドルを前提とする。More specifically, according to the first aspect of the present invention, there is provided a radial bearing and a thrust bearing for supporting a rotating shaft in a floating state by static pressure of air so as to be rotatable in the housing and immovable in the axial direction. It is assumed that an air spindle provided with a motor for rotating and driving a rotating shaft is provided.

【００１０】そして、上記ラジアル軸受及びスラスト軸
受に給気口から加圧エアを供給する加圧エア供給通路
と、上記ラジアル軸受及びスラスト軸受から排出された
エアの少なくとも一部を上記モータに冷却のために導入
するエア導入通路と、上記モータの冷却に供されたエア
を排気口に排出するエア排出通路とを設け、上記給気口
及び排気口をハウジングにおいて互いに近接して配置す
る。A pressurized air supply passage for supplying pressurized air from an air supply port to the radial bearing and the thrust bearing, and a motor for cooling at least a part of the air discharged from the radial bearing and the thrust bearing to the motor. And an air discharge passage for discharging the air used for cooling the motor to an exhaust port, and the air supply port and the exhaust port are arranged close to each other in the housing.

【００１１】上記の構成により、加圧エアは給気口から
加圧エア供給通路を通ってラジアル軸受及びスラスト軸
受に供給され、そのエアの静圧により回転軸が浮動状態
で支持される。この各軸受から排出されたエアの少なく
とも一部はエア導入通路によりモータに導入され、その
導入エアによりモータが冷却される。この後、モータを
冷却したエアはエア排出通路を経て排気口に流れ、この
排気口から排出される。この排気口と上記給気口とは互
いに近接して配置されているので、例えば、この排気口
に排気配管を接続する場合、その排気配管は、給気口に
接続される給気配管に対し略近い位置にまとめられて配
置されることとなり、エアスピンドルをクリーンルーム
で使用するときでも、両配管の接続構造を簡単にして、
それら配管の接続作業や取回し、メンテナンスを容易化
することができる。With the above arrangement, pressurized air is supplied from the air supply port to the radial bearing and the thrust bearing through the pressurized air supply passage, and the rotating shaft is supported in a floating state by the static pressure of the air. At least a part of the air discharged from each bearing is introduced into the motor through an air introduction passage, and the motor is cooled by the introduced air. Thereafter, the air that has cooled the motor flows to the exhaust port through the air exhaust passage, and is discharged from the exhaust port. Since the exhaust port and the air supply port are arranged close to each other, for example, when an exhaust pipe is connected to the exhaust port, the exhaust pipe is connected to the air supply pipe connected to the air supply port. It will be arranged in a substantially close position, simplifying the connection structure of both pipes even when using the air spindle in a clean room,
Connection work, routing, and maintenance of those pipes can be facilitated.

【００１２】請求項２の発明では、上記ハウジングに、
軸受から排出されてエア導入通路に導入されないエアを
吸引して排出するエア吸引口を設ける。このエア吸引口
に吸引配管を接続すれば、軸受からエア導入通路に流入
しないエアがあっても、そのエアはそのままハウジング
外に放出されなくなり、例えばクリーンルームへのエア
によるゴミの放出を防止できる。According to the second aspect of the present invention, the housing includes:
An air suction port is provided for sucking and discharging air discharged from the bearing and not introduced into the air introduction passage. If a suction pipe is connected to the air suction port, even if there is air that does not flow into the air introduction passage from the bearing, the air will not be discharged to the outside of the housing as it is, so that dust can be prevented from being discharged to the clean room, for example.

【００１３】請求項３の発明では、上記エア導入通路及
びエア排出通路は、ハウジングの壁部内に設ける。この
構造により、エアスピンドルのハウジング自体にエア導
入通路及びエア排出通路を形成でき、その通路の形成の
ための配管が不要で、配管継手の省略等による構造の簡
単化、ハウジング自体の冷却性の向上、外観見映えの向
上を図ることができる。しかも、通路の長さを短くでき
るので、そのエアの圧力損失を低減することができ、加
圧エア供給源の負荷を下げて省エネルギー効果を得るこ
とができる。According to the third aspect of the present invention, the air introduction passage and the air discharge passage are provided in a wall of the housing. With this structure, an air introduction passage and an air discharge passage can be formed in the housing of the air spindle itself. Piping for forming the passage is unnecessary, the structure is simplified by omitting piping joints, etc., and the cooling performance of the housing itself is improved. It is possible to improve the appearance and appearance. Moreover, since the length of the passage can be shortened, the pressure loss of the air can be reduced, and the load on the pressurized air supply source can be reduced to obtain an energy saving effect.

【００１４】請求項４の発明では、上記ハウジングは、
ラジアル軸受及びスラスト軸受を有する軸受ハウジング
と、モータを内有するモータハウジングとを備え、給気
口及び排気口は軸受ハウジング又はモータハウジングの
いずれか一方に設けられているものとする。こうすれ
ば、給気口及び排気口が軸受ハウジング又はモータハウ
ジングのいずれか一方にまとめられて配置されることと
なり、給気口及び排気口の望ましい位置が得られる。According to a fourth aspect of the present invention, the housing is
It is provided with a bearing housing having a radial bearing and a thrust bearing, and a motor housing having a motor, and an air supply port and an exhaust port are provided in one of the bearing housing and the motor housing. In this case, the supply port and the exhaust port are arranged collectively in one of the bearing housing and the motor housing, and a desired position of the supply port and the exhaust port can be obtained.

【００１５】その場合、請求項５の発明では、上記給気
口及び排気口は軸受ハウジングに設けられているものと
する。このことで、給気口から各軸受までの距離を短縮
でき、給気口及び排気口のさらに望ましい位置が得られ
る。In this case, according to the invention of claim 5, the air supply port and the air outlet are provided in the bearing housing. Thereby, the distance from the air supply port to each bearing can be reduced, and more desirable positions of the air supply port and the exhaust port can be obtained.

【００１６】請求項６の発明では、回転軸をエアの静圧
により浮動状態で回転可能にかつ軸方向に移動不能に支
持するラジアル軸受及びスラスト軸受が設けられた軸受
ハウジングと、この軸受ハウジングに接合され、上記回
転軸を回転駆動するモータが設けられたモータハウジン
グとを備えたエアスピンドルを前提とする。According to the sixth aspect of the present invention, there is provided a bearing housing provided with a radial bearing and a thrust bearing for supporting a rotating shaft in a floating state by static pressure of air so as to be rotatable and immovable in the axial direction, and the bearing housing It is assumed that the air spindle includes a motor housing that is joined and has a motor that rotationally drives the rotation shaft.

【００１７】そして、上記軸受ハウジングに給気口及び
排気口が設けられ、少なくともこの軸受ハウジングの壁
部内に、上記給気口からラジアル軸受及びスラスト軸受
に加圧エアとして供給された後に排出されたエアの少な
くとも一部を上記モータハウジング内に導入するエア導
入通路と、モータハウジング内のエアを上記排気口に排
出するエア排出通路とが設けられている構成とする。An air supply port and an exhaust port are provided in the bearing housing, and the air is supplied to the radial bearing and the thrust bearing from the air supply port as pressurized air at least in a wall portion of the bearing housing and then discharged. An air introduction passage for introducing at least a part of the air into the motor housing and an air discharge passage for discharging the air in the motor housing to the exhaust port are provided.

【００１８】この発明の構成でも、軸受ハウジングの給
気口からラジアル軸受及びスラスト軸受に供給された加
圧エアが各軸受から排出されると、このエアの少なくと
も一部がエア導入通路によりモータハウジング内に導入
されてモータを冷却するとともに、このモータハウジン
グ内からエアがエア排出通路を経て排気口に流れる。上
記給気口及び排気口はいずれも軸受ハウジングに設けら
れているので、例えば、この排気口に排気配管を接続す
るとき、その排気配管は給気口への給気配管に対し、同
じ軸受ハウジングにまとめられて配置される。このこと
で、上記請求項１の発明と同様に、クリーンルームでの
使用でも、両配管の接続構造を簡単にして配管の接続作
業や取回し等を容易化できる。In the structure of the present invention as well, when the pressurized air supplied to the radial bearing and the thrust bearing is discharged from each bearing from the air supply port of the bearing housing, at least a part of the air is supplied to the motor housing by the air introduction passage. The air is introduced into the motor housing to cool the motor, and air flows from the motor housing to the exhaust port through the air discharge passage. Since both the air supply port and the exhaust port are provided in the bearing housing, for example, when an exhaust pipe is connected to the exhaust port, the exhaust pipe has the same bearing housing as the air supply pipe to the air supply port. Are arranged together. Thus, similarly to the first aspect of the present invention, even in use in a clean room, the connection structure of the two pipes can be simplified, and the connection work and routing of the pipes can be facilitated.

【００１９】請求項７の発明では、上記ハウジングに外
部エア給気口が設けられ、ハウジングの壁部内に、上記
外部エア給気口に供給されたエアをモータに導入する外
部エア導入通路が設けられているものとする。このこと
で、ハウジングの外部エア給気口に供給されたエアはハ
ウジングの壁部内の外部エア導入通路を経てモータに導
入され、このエアによってモータをさらに有効に冷却す
ることができる。尚、このモータの冷却に供されたエア
は、上記軸受からのエアと共にエア排出通路を経て排気
口に流れ、そこからハウジング外に排出される。According to a seventh aspect of the present invention, the housing is provided with an external air supply port, and an external air introduction passage for introducing air supplied to the external air supply port to the motor is provided in a wall of the housing. It is assumed that Thus, the air supplied to the external air supply port of the housing is introduced into the motor through the external air introduction passage in the wall of the housing, and the motor can be further effectively cooled by the air. The air used for cooling the motor flows together with the air from the bearing through an air discharge passage to an exhaust port, from which the air is discharged out of the housing.

【００２０】請求項８の発明では、上記ハウジングに外
部エア給気口が設けられ、ハウジングの壁部内ないし回
転軸内に、上記外部エア給気口に供給されたエアをモー
タに導入する外部エア導入通路が設けられている。この
場合、ハウジングの外部エア給気口に供給されたエア
は、ハウジングの壁部内ないし回転軸内の外部エア導入
通路を経てモータに導入され、このエアによってモータ
がさらに冷却される。尚、この冷却に供されたエアにつ
いても、上記軸受からのエアと共にエア排出通路を経て
排気口に流れてハウジング外に排出される。According to the present invention, an external air supply port is provided in the housing, and an external air supply port for introducing the air supplied to the external air supply port to the motor is provided in a wall portion or a rotating shaft of the housing. An introduction passage is provided. In this case, the air supplied to the external air supply port of the housing is introduced into the motor through an external air introduction passage in the wall of the housing or in the rotating shaft, and the air further cools the motor. It should be noted that the air supplied for cooling also flows to the exhaust port through the air discharge passage together with the air from the bearing, and is discharged out of the housing.

【００２１】請求項９の発明では、上記モータに対応す
るハウジング外周に冷却フィンを設ける。こうすると、
モータをハウジングのフィンによって外部からさらに効
果的に冷却することができる。According to the ninth aspect of the invention, cooling fins are provided on the outer periphery of the housing corresponding to the motor. In this case,
The motor can be more effectively cooled externally by the fins of the housing.

【００２２】請求項１０の発明では、上記モータに導入
されるエアの少なくとも一部は、モータのステータに向
かうように構成されているものとする。このことで、モ
ータにおいて発熱の大きいステータを導入エアにより集
中して冷却することができ、モータの冷却効率を高める
ことができる。According to a tenth aspect of the present invention, at least a part of the air introduced into the motor is configured to be directed to a stator of the motor. Thus, the stator that generates a large amount of heat in the motor can be concentrated and cooled by the introduced air, and the cooling efficiency of the motor can be increased.

【００２３】請求項１１の発明では、上記エアスピンド
ルは、クリーンルームで用いられるものとする。従っ
て、上記本発明の効果が有効に発揮される最適なエアス
ピンドルが得られる。In the eleventh aspect, the air spindle is used in a clean room. Therefore, an optimal air spindle in which the effects of the present invention are effectively exerted can be obtained.

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】（実施形態１）図１及び図２は本
発明の実施形態１に係るエアスピンドルＡを示し、この
エアスピンドルＡは、クリーンルーム内のクリーン雰囲
気中で磁気ディスクを回転させてその記憶領域の物理的
な欠陥やソフト的な記憶性能等の良否を検査するために
使用される。(Embodiment 1) FIGS. 1 and 2 show an air spindle A according to Embodiment 1 of the present invention. This air spindle A rotates a magnetic disk in a clean atmosphere in a clean room. This is used to check whether the storage area has a physical defect or software storage performance.

【００２５】図１及び図２において、１はエアスピンド
ルＡのハウジングで、このハウジング１は、上側に位置
する例えばアルミニウム製等の円筒状の軸受ハウジング
２と、中間に位置する円筒状のアルミニウム等からなる
モータハウジング３と、下側に位置する有底円筒状のエ
ンコーダハウジング４とに分割され、これら軸受ハウジ
ング２、モータハウジング３及びエンコーダハウジング
４は同心状にかつ気密状に接合されて一体化されてい
る。In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a housing of an air spindle A. The housing 1 has a cylindrical bearing housing 2 made of, for example, aluminum and the like, and a cylindrical aluminum housing and the like located in the middle. , And a cylindrical encoder housing 4 with a bottom located on the lower side. The bearing housing 2, the motor housing 3 and the encoder housing 4 are concentrically and airtightly joined and integrated. Have been.

【００２６】上記ハウジング１内には回転軸６が配置収
容されている。この回転軸６は、軸受ハウジング２内に
その大半部を占めるように位置する大径の支持部６ａ
と、この支持部６ａの下端に同心に連続し、軸受ハウジ
ング２内の下端部に位置する円板状のスラストカラー６
ｂと、このスラストカラー６ｂの下端部に同心に連続
し、モータハウジング３内に位置する中径のモータ結合
部６ｃと、このモータ結合部６ｃの下端に同心に連続
し、エンコーダハウジング４内に位置する小径のエンコ
ーダ結合部６ｄとからなる。上記支持部６ａの上端部に
は、軸受ハウジング２の上端から突出する連結部材７が
回転一体に取付固定され、この連結部材７にはエア駆動
タイプのディスクチャック（図示せず）が連結固定され
ており、このディスクチャックにより磁気ディスクを保
持して回転させるようになっている。A rotary shaft 6 is disposed and housed in the housing 1. The rotary shaft 6 has a large-diameter support portion 6 a positioned so as to occupy the majority of the rotary housing 6 in the bearing housing 2.
And a disk-shaped thrust collar 6 concentric with the lower end of the support portion 6a and positioned at the lower end in the bearing housing 2.
b, a middle diameter motor coupling portion 6c which is concentric with the lower end portion of the thrust collar 6b and which is located in the motor housing 3, and which is concentrically continuous with a lower end portion of the motor coupling portion 6c and which is inside the encoder housing 4. And a small-diameter encoder coupling portion 6d. A connecting member 7 protruding from the upper end of the bearing housing 2 is attached and fixed to the upper end of the support portion 6a so as to rotate integrally with the connecting member 7, and an air-driven disk chuck (not shown) is connected and fixed to the connecting member 7. The magnetic disk is held and rotated by the disk chuck.

【００２７】一方、回転軸６のエンコーダ結合部６ｄの
下端部はエンコーダハウジング４の底壁中心部の孔部４
ａを貫通してハウジング１外に突出し、その突出部には
平行板ばね８，８の先端部に取付固定したアースパッド
９が常時接触し、平行板ばね８，８の基端部はモータハ
ウジング３に取り付けた支持部３ａに固定されており、
このことで、浮動状態にある回転軸６をその下端部にて
ハウジング１に電気的に接続してアースすることによ
り、磁気ディスクに発生する静電気を回転軸６を介して
ハウジング１に逃がすようにしている。On the other hand, the lower end of the encoder coupling portion 6 d of the rotary shaft 6 is formed with a hole 4 in the center of the bottom wall of the encoder housing 4.
a, and protrudes out of the housing 1, and the protruding portion thereof is always in contact with an earth pad 9 fixed to the tip of the parallel leaf springs 8, 8. 3 and is fixed to a support portion 3a attached to
Thus, the floating shaft 6 is electrically connected to the housing 1 at the lower end thereof and grounded, so that static electricity generated on the magnetic disk is released to the housing 1 via the shaft 6. ing.

【００２８】上記軸受ハウジング２の外周下端部にはエ
アスピンドルＡを図外の取付板等に取付固定するための
取付フランジ部２ａが一体形成されている。この軸受ハ
ウジング２内には回転軸６をエアの静圧により浮動状態
で回転可能にかつ軸方向に移動不能に支持する上下２つ
のラジアル軸受１１，１１と１つのスラスト軸受２２と
が設けられている。すなわち、軸受ハウジング２内には
上側及び下側軸受ブッシュ１２，２３が上下に並んで嵌
挿固定されている。上側軸受ブッシュ１２は、回転軸６
の支持部６ａに対応するように軸受ハウジング２内の上
側大半部に配置される円筒状のもので、その下端部には
上記回転軸６のスラストカラー６ｂと同径のフランジ１
２ａが一体に形成され、このフランジ１２ａの下面は回
転軸６のスラストカラー６ｂ上面に僅かな隙間をあけて
対向している。上側軸受ブッシュ１２の内径は回転軸６
の支持部６ａよりも僅かに大径に設定されており、この
上側軸受ブッシュ１２の内部に回転軸６の支持部６ａが
回転可能に嵌挿されている。At the lower end of the outer periphery of the bearing housing 2, a mounting flange 2a for mounting and fixing the air spindle A to a mounting plate (not shown) is integrally formed. Inside the bearing housing 2, there are provided two upper and lower radial bearings 11 and 11 and one thrust bearing 22 for supporting the rotating shaft 6 so as to be rotatable in a floating state by the static pressure of air and immovable in the axial direction. I have. That is, the upper and lower bearing bushes 12, 23 are vertically inserted and fixed in the bearing housing 2. The upper bearing bush 12 is
A cylindrical member is disposed at the uppermost portion of the inside of the bearing housing 2 so as to correspond to the support portion 6a, and has a flange 1 having the same diameter as the thrust collar 6b of the rotary shaft 6 at the lower end thereof.
The lower surface of the flange 12a is opposed to the upper surface of the thrust collar 6b of the rotating shaft 6 with a slight gap. The inner diameter of the upper bearing bush 12 is the rotation shaft 6
The supporting portion 6a of the rotary shaft 6 is rotatably fitted inside the upper bearing bush 12.

【００２９】軸受ハウジング２の内周面には上側軸受ブ
ッシュ１２が嵌挿された部分の上端部に環状溝からなる
第１給気溝１３が、また下端部に同様の第２給気溝１４
がそれぞれ形成されている。また、軸受ハウジング２の
外周上端部には、加圧エア供給源に接続される給気配管
（いずれも図示せず）の下流端部が接続可能な給気口１
５が形成され、この給気口１５は、軸受ハウジング２の
壁部内に設けた加圧エア供給通路１６を介して上記第１
及び第２給気溝１３，１４に連通されている。一方、上
側軸受ブッシュ１２には、上記軸受ハウジング２内周面
の各第１給気溝１３と対応する部分に、半径方向に貫通
する複数の第１エアノズル孔１７，１７，…（１つのみ
図示する）が、また第２給気溝１４と対応する部分に同
様の複数の第２エアノズル孔１８，１８，…（１つのみ
図示する）がそれぞれ周方向に等間隔をあけて形成さ
れ、この各ノズル孔１７，１８における軸受ブッシュ１
２の内周側部分は細径に絞られてノズル部とされてい
る。また、回転軸６の支持部６ａ外周面には、上記軸受
ハウジング２内周面の第１及び第２給気溝１３，１４に
それぞれ軸方向に対応して第１及び第２環状溝１９，２
０が形成されている。そして、加圧エア供給源からの加
圧エアを給気配管及び給気口１５を介して加圧エア供給
通路１６に供給し、その加圧エア供給通路１６内の加圧
エアの一部を上下の第１及び第２給気溝１３，１４に送
って、その各給気溝１３，１４からそれぞれ上側軸受ブ
ッシュ１２のノズル孔１７，１８を経て回転軸６の支持
部６ａ外周の第１及び第２環状溝１９，２０ないしその
周辺部に噴出させることで、そのエア圧（静圧）により
回転軸６を支持部６ａの上下２箇所にて上側軸受ブッシ
ュ１２（軸受ハウジング２）に接触しない浮動状態で回
転可能に支持するようになっている。On the inner peripheral surface of the bearing housing 2, a first air supply groove 13 formed of an annular groove is provided at an upper end of a portion where the upper bearing bush 12 is fitted, and a similar second air supply groove 14 is provided at a lower end thereof.
Are formed respectively. At the upper end of the outer periphery of the bearing housing 2, an air supply port 1 to which a downstream end of an air supply pipe (both not shown) connected to a pressurized air supply source can be connected.
The air supply port 15 is formed through a pressurized air supply passage 16 provided in the wall of the bearing housing 2.
And the second air supply grooves 13, 14. On the other hand, in the upper bearing bush 12, a plurality of first air nozzle holes 17, 17,... Penetrating in a radial direction are formed in portions of the inner peripheral surface of the bearing housing 2 corresponding to the first air supply grooves 13. (Shown), and a plurality of similar second air nozzle holes 18, 18,... (Only one is shown) are formed at equal intervals in the circumferential direction in portions corresponding to the second air supply grooves 14, respectively. The bearing bush 1 in each of the nozzle holes 17 and 18
The inner peripheral side portion of 2 is narrowed to a small diameter to form a nozzle portion. Further, on the outer peripheral surface of the support portion 6a of the rotating shaft 6, first and second annular grooves 19, corresponding to the first and second air supply grooves 13, 14 of the inner peripheral surface of the bearing housing 2 in the axial direction, respectively. 2
0 is formed. Then, the pressurized air from the pressurized air supply source is supplied to the pressurized air supply passage 16 through the air supply pipe and the air supply port 15, and a part of the pressurized air in the pressurized air supply passage 16 is removed. It is sent to the upper and lower first and second air supply grooves 13, 14, and from the respective air supply grooves 13, 14 through the nozzle holes 17, 18 of the upper bearing bush 12, respectively, to the first outer periphery of the support portion 6 a of the rotating shaft 6. And by ejecting the air into the second annular grooves 19 and 20 or the periphery thereof, the air pressure (static pressure) causes the rotating shaft 6 to contact the upper bearing bush 12 (bearing housing 2) at two locations above and below the support portion 6a. It is designed to be rotatably supported in a floating state.

【００３０】一方、上記下側軸受ブッシュ２３は、上側
軸受ブッシュ１２の下側に回転軸６のスラストカラー６
ｂを挟むように配置される略円板状のもので、その上端
部に上記回転軸６のスラストカラー６ｂ（上側軸受ブッ
シュ１２のフランジ１２ａ）と同径のフランジ２３ａを
有し、このフランジ２３ａの上面はスラストカラー６ｂ
下面に僅かな隙間をあけて対向している。上記上側軸受
ブッシュ１２のフランジ１２ａ上面には上記軸受ハウジ
ング２の第２給気溝１４に連通する環状溝からなる上側
給気溝２４が形成されている。また、このフランジ１２
ａには上記上側給気溝２４の底面からフランジ１２ａ下
面まで上下方向に貫通する複数の上側エアノズル孔２
５，２５，…が周方向に等間隔をあけて形成されてい
る。また、下側軸受ブッシュ２３のフランジ２３ａ下面
には上記軸受ハウジング２の壁部内の加圧エア供給通路
１６に常時連通する環状溝からなる下側給気溝２６が形
成され、また、フランジ２３ａには上記下側給気溝２６
の底面からフランジ２３ａ上面まで上下方向に貫通する
複数の下側エアノズル孔２７，２７，…が周方向に等間
隔をあけて形成され、これら上下の各エアノズル孔２
５，２７は径方向及び周方向に対応して配置されてい
る。そして、上記給気口１５から加圧エア供給通路１６
に供給された加圧エアの残りを上側及び下側軸受ブッシ
ュ１２，２３のフランジ１２ａ，２３ａにおける上下の
給気溝２４，２６に送って、その各給気溝２４，２６か
らそれぞれエアノズル孔２５，２７を経て回転軸６のス
ラストカラー６ｂの上下面に噴出させることで、そのエ
ア圧（静圧）により回転軸６を上側及び下側軸受ブッシ
ュ１２，２３（軸受ハウジング２）に接触しない浮動状
態で上下方向（軸方向）に移動不能に支持するようにな
っている。On the other hand, the lower bearing bush 23 is provided below the upper bearing bush 12 with the thrust collar 6 of the rotating shaft 6.
b, and has at its upper end a flange 23a having the same diameter as the thrust collar 6b of the rotary shaft 6 (flange 12a of the upper bearing bush 12). Thrust collar 6b
It faces the lower surface with a slight gap. On the upper surface of the flange 12 a of the upper bearing bush 12, an upper air supply groove 24 formed of an annular groove communicating with the second air supply groove 14 of the bearing housing 2 is formed. In addition, this flange 12
a includes a plurality of upper air nozzle holes 2 vertically penetrating from the bottom surface of the upper air supply groove 24 to the lower surface of the flange 12a.
Are formed at regular intervals in the circumferential direction. A lower air supply groove 26 is formed on the lower surface of the flange 23a of the lower bearing bush 23. The lower air supply groove 26 is formed of an annular groove that is always in communication with the pressurized air supply passage 16 in the wall of the bearing housing 2. Is the lower air supply groove 26
Are formed at equal intervals in the circumferential direction so as to penetrate vertically from the bottom surface to the upper surface of the flange 23a.
5, 27 are arranged corresponding to the radial direction and the circumferential direction. Then, the compressed air supply passage 16 is
The remaining compressed air supplied to the upper and lower bearing bushes 12, 23 is sent to upper and lower air supply grooves 24, 26 of the flanges 12a, 23a of the upper and lower bearing bushes 12, 23, and the air nozzle holes 25 from the respective air supply grooves 24, 26 respectively. , 27 through the upper and lower surfaces of the thrust collar 6b of the rotating shaft 6, the air pressure (static pressure) causes the rotating shaft 6 not to contact the upper and lower bearing bushes 12, 23 (the bearing housing 2). In this state, it is supported so that it cannot move in the vertical direction (axial direction).

【００３１】尚、上記軸受ハウジング２の内周面には上
記第１及び第２給気溝１３，１４間の中央部に各給気溝
１３，１４よりも溝幅の広い第３給気溝２９が形成され
ている。また、軸受ハウジング２の外周部には上記給気
口１５の斜め下側に、上記加圧エア供給源からの別の給
気配管（この配管には加圧エアの供給又は供給停止を切
り換えるための開閉切換弁が配置される）が接続可能な
チャック給気口３０が形成され、このチャック給気口３
０は、軸受ハウジング２の壁部内に設けたチャック給気
通路３１を介して上記第３給気溝２９に連通されてい
る。上側軸受ブッシュ１２には、上記軸受ハウジング２
内周面の第３給気溝２９と対応する部分に、半径方向に
貫通する複数のエア孔３２，３２，…（１つのみ図示す
る）が周方向に等間隔をあけて形成されている。回転軸
６の支持部６ａ外周面には、上記軸受ハウジング２内周
面の第３給気溝２９に軸方向に対応して第３環状溝３３
が形成され、また、支持部６ａの中心には上端面（ディ
スクチャック側）から穿設した所定深さの中心穴３４が
形成され、この中心穴３４の底部（下端部）と上記第３
環状溝３３とは回転軸６の支持部６ａに周方向に配置し
た複数の連通路３５，３５，…により連通されている。
そして、上記中心穴３４はディスクチャックのチャック
機構に接続されており、加圧エア供給源からの加圧エア
をチャック給気口３０、チャック給気通路３１、第３給
気溝２９、エア孔３２及び中心穴３４を介してディスク
チャックのチャック機構に供給することで、そのディス
クチャックによる磁気ディスクの例えばチャッキング又
はその解除を行うようになっている。In the inner peripheral surface of the bearing housing 2, a third air supply groove having a wider width than the air supply grooves 13, 14 is provided at a central portion between the first and second air supply grooves 13, 14. 29 are formed. Further, on the outer peripheral portion of the bearing housing 2, a diagonal lower side of the air supply port 15, another air supply pipe from the pressurized air supply source (for switching supply or stop of supply of pressurized air to this pipe). A chuck air supply port 30 to which the open / close switching valve is connected) is formed.
Reference numeral 0 communicates with the third air supply groove 29 via a chuck air supply passage 31 provided in a wall of the bearing housing 2. The upper bearing bush 12 has the bearing housing 2
A plurality of air holes 32, 32,... (Only one is shown) penetrating in the radial direction are formed at equal intervals in the circumferential direction at a portion corresponding to the third air supply groove 29 on the inner peripheral surface. . A third annular groove 33 is formed on the outer peripheral surface of the support portion 6a of the rotating shaft 6 so as to correspond to the third air supply groove 29 on the inner peripheral surface of the bearing housing 2 in the axial direction.
Is formed at the center of the support portion 6a, and a center hole 34 having a predetermined depth is formed from an upper end surface (disc chuck side). The bottom portion (lower end portion) of the center hole 34 and the third hole are formed.
The annular groove 33 is communicated with the support portion 6a of the rotating shaft 6 by a plurality of communication passages 35, 35,.
The center hole 34 is connected to a chuck mechanism of a disk chuck, and pressurized air from a pressurized air supply source is supplied to the chuck air supply port 30, the chuck air supply passage 31, the third air supply groove 29, and the air hole. By supplying the magnetic disk to the chuck mechanism of the disk chuck through the center hole 32 and the center hole 34, for example, chucking or release of the magnetic disk by the disk chuck is performed.

【００３２】上記モータハウジング３内の空間はモータ
室３７とされ、このモータ室３７には、回転軸６を駆動
してディスクチャック及び磁気ディスクと共に所定回転
数（例えば２００００ｒｐｍ）で回転させるためのモー
タ３８が装着されている。このモータ３８は、モータハ
ウジング３の内周壁に取付固定されたステータ３９（固
定電極）と、このステータ３９の内側にある回転軸６の
モータ結合部６ｃにステータ３９に対向して取付固定さ
れた永久磁石からなるロータ４０とで構成されている。
また、モータハウジング３の外周には放熱用の冷却フィ
ン３ｂが形成されており、この冷却フィン３ｂによりモ
ータハウジング３の熱を外部に放出してモータ３８を冷
却するようにしている。The space inside the motor housing 3 is a motor chamber 37, in which a motor for driving the rotating shaft 6 to rotate together with the disk chuck and the magnetic disk at a predetermined rotational speed (for example, 20,000 rpm). 38 are mounted. The motor 38 is fixed to a stator 39 (fixed electrode) fixed to the inner peripheral wall of the motor housing 3 and a motor coupling portion 6c of the rotating shaft 6 inside the stator 39 so as to face the stator 39. And a rotor 40 made of a permanent magnet.
Cooling fins 3b for heat radiation are formed on the outer periphery of the motor housing 3, and the cooling fins 3b release heat of the motor housing 3 to the outside to cool the motor 38.

【００３３】また、上記エンコーダハウジング４内には
回転軸６の回転数等を検出するためのロータリエンコー
ダ４１が収容されている。A rotary encoder 41 for detecting the number of revolutions of the rotary shaft 6 and the like is accommodated in the encoder housing 4.

【００３４】さらに、図１に示す如く、上記軸受ハウジ
ング２及びモータハウジング３の各壁部内には、各ラジ
アル軸受１１及びスラスト軸受２２から排出されたエア
の大半部を上記モータハウジング３内のモータ室３７に
おけるモータ３８に冷却のために導入する少なくとも１
つのエア導入通路４３が設けられている。すなわち、上
記回転軸６の支持部６ａ外周面には、上記第１及び第３
環状溝１９，３３間の部分に第３環状溝３３と略同じ溝
幅の第４環状溝４４が、また第２及び第３環状溝２０，
３３間の部分に同様の第５環状溝４５がそれぞれ形成さ
れている。また、軸受ハウジング２の内周面には、上記
回転軸６外周面の第４及び第５環状溝４４，４５と対応
する位置（第１及び第２給気溝１３，１４間の位置）に
それぞれ第１及び第２排気溝４６，４７が形成されてい
る。さらに、図１に示すように、上側軸受ブッシュ１２
には複数の第１排気孔４８，４８，…が上記回転軸６外
周面の第４環状溝４４ないしその周辺部を上記軸受ハウ
ジング２内周面の第１排気溝４６に連通するように、ま
た複数の第２排気孔４９，４９，…が第５環状溝４５な
いしその周辺部を第２排気溝４７に連通するようにそれ
ぞれ周方向に所定の間隔をあけて貫通形成されている。
そして、上記エア導入通路４３は軸受ハウジング２の壁
部内ないしモータハウジング３の壁部内を上下方向に延
びていて、その一端側（上流端側）に上記第１及び第２
排気溝４６，４７が接続され、エア導入通路４３の他端
部（下流端部）はモータハウジング３の内面上端部に、
導入エアがモータ３８のステータ３９に向かった後にモ
ータ室３７の中心部に進むように開口されている。Further, as shown in FIG. 1, most of the air discharged from each of the radial bearings 11 and the thrust bearings 22 is provided in each of the walls of the bearing housing 2 and the motor housing 3 by the motor inside the motor housing 3. At least one introduced into the motor 38 in the chamber 37 for cooling.
One air introduction passage 43 is provided. That is, on the outer peripheral surface of the support portion 6a of the rotary shaft 6, the first and third
A fourth annular groove 44 having substantially the same width as the third annular groove 33 is provided in a portion between the annular grooves 19 and 33, and the second and third annular grooves 20,
A similar fifth annular groove 45 is formed in a portion between the holes 33. Further, on the inner peripheral surface of the bearing housing 2, a position (a position between the first and second air supply grooves 13 and 14) corresponding to the fourth and fifth annular grooves 44 and 45 on the outer peripheral surface of the rotating shaft 6 is provided. First and second exhaust grooves 46 and 47 are formed, respectively. Further, as shown in FIG.
Are connected to the fourth annular groove 44 on the outer peripheral surface of the rotary shaft 6 or the peripheral portion thereof to the first exhaust groove 46 on the inner peripheral surface of the bearing housing 2. A plurality of second exhaust holes 49 are formed at predetermined circumferential intervals so as to communicate the fifth annular groove 45 or a peripheral portion thereof to the second exhaust groove 47.
The air introduction passage 43 extends vertically in the wall of the bearing housing 2 or in the wall of the motor housing 3, and has the first and second ends at one end (upstream end) thereof.
The exhaust grooves 46 and 47 are connected, and the other end (downstream end) of the air introduction passage 43 is provided at the upper end of the inner surface of the motor housing 3.
The opening is formed so that the introduced air proceeds to the center of the motor chamber 37 after heading toward the stator 39 of the motor 38.

【００３５】また、上記上側軸受ブッシュ１２の下端部
には上記各エアノズル孔２５，２７よりも半径方向内側
に上下方向に延びる複数の第３排気孔５０，５０，…が
半径方向に間隔をあけて形成され、この各第３排気孔５
０の下端部は回転軸６のスラストカラー６ｂに対向する
フランジ１２ａ下面に開口し、また上端部は上記第２排
気孔４９に連通されている。さらにまた、上記軸受ハウ
ジング２において回転軸６のスラストカラー６ｂ外周縁
部の上下両側にはそれぞれエア導入通路４３の途中部に
連通する上下の連通部５１，５２が形成されており、図
３に模式的に示すように、上側のラジアル軸受１１にお
いて、回転軸６の第１環状溝１９に供給された後のエア
のうち下側に向かったエアＡ２を第４環状溝４４から第
１排気孔４８ないし第１排気溝４６を経て、また下側の
ラジアル軸受１１において、回転軸６の第２環状溝２０
に供給された後のエアのうち上側に向かったエアＡ３を
第５環状溝４５から第２排気孔４９ないし第２排気溝４
７を経てそれぞれエア導入通路４３に流す。一方、上記
下側のラジアル軸受１１において、回転軸６の第２環状
溝２０に供給された後に下側に向かったエアＡ４と、ス
ラスト軸受２２において、上側エアノズル２５からスラ
ストカラー６ｂの上面に供給された後のエアのうち半径
方向内側に向かったエアＡ５とを合流させて、第３排気
孔５０及びそれに連通する第２排気溝４７を経てエア導
入通路４３に流す。また、スラスト軸受２２において、
上記上側エアノズル２５からスラストカラー６ｂの上面
に供給された後に半径方向外側に向かったエアＡ６を上
側連通部５１により、また下側エアノズル２７からスラ
ストカラー６ｂの下面に供給された後のエアのうち半径
方向外側に向かったエアＡ７を下側連通部５２によりそ
れぞれエア導入通路４３に流す。そして、これらのエア
Ａ２〜Ａ７をエア導入通路４３によりモータ室３７にモ
ータ３８のステータ３９に向かうように導入するように
している。尚、上記下側エアノズル２７からスラストカ
ラー６ｂの下面に供給された後に半径方向内側に向かっ
たエアＡ８はそのまま直接にモータ室３７に導入する。Further, at the lower end of the upper bearing bush 12, a plurality of third exhaust holes 50, 50,... Extending in the vertical direction radially inward from the air nozzle holes 25, 27 are spaced apart in the radial direction. The third exhaust holes 5
The lower end of the opening 0 is opened at the lower surface of the flange 12a facing the thrust collar 6b of the rotating shaft 6, and the upper end is communicated with the second exhaust hole 49. Further, upper and lower communication portions 51 and 52 are formed on the upper and lower sides of the outer peripheral edge of the thrust collar 6b of the rotating shaft 6 in the bearing housing 2 so as to communicate with the middle part of the air introduction passage 43, respectively, as shown in FIG. As schematically shown, in the upper radial bearing 11, the air A <b> 2 directed to the lower side of the air supplied to the first annular groove 19 of the rotating shaft 6 is transferred from the fourth annular groove 44 to the first exhaust hole. 48 through the first exhaust groove 46 and in the lower radial bearing 11, the second annular groove 20 of the rotating shaft 6.
The air A3 directed upward from the air supplied to the second exhaust hole 49 through the second exhaust groove 4 through the fifth annular groove 45.
After that, they flow into the air introduction passages 43 respectively. On the other hand, in the lower radial bearing 11, the air A <b> 4 which is supplied to the second annular groove 20 of the rotating shaft 6 and then goes downward, and in the thrust bearing 22, the air A <b> 4 is supplied from the upper air nozzle 25 to the upper surface of the thrust collar 6 b. The air A <b> 5, which has been directed radially inward, of the air after the flow is merged and flows into the air introduction passage 43 through the third exhaust hole 50 and the second exhaust groove 47 communicating therewith. In the thrust bearing 22,
The air A6 that has been supplied to the upper surface of the thrust collar 6b from the upper air nozzle 25 and then directed outward in the radial direction by the upper communication portion 51 and the air A6 that has been supplied from the lower air nozzle 27 to the lower surface of the thrust collar 6b. The air A <b> 7 directed radially outward is caused to flow into the air introduction passage 43 by the lower communication portion 52. The air A2 to A7 are introduced into the motor chamber 37 through the air introduction passage 43 so as to be directed toward the stator 39 of the motor 38. The air A8 that has been supplied from the lower air nozzle 27 to the lower surface of the thrust collar 6b and then directed radially inward is directly introduced into the motor chamber 37 as it is.

【００３６】また、上記軸受ハウジング２の外周には上
記チャック給気口３０の斜め下側にエア吸引口５４が形
成され、このエア吸引口５４は、図示しない通路により
回転軸６において支持部６ａの上端周囲部分（ディスチ
ャックの取付部分近傍）に連通されている。そして、エ
ア吸引口５４には図外の吸引配管が接続可能とされてお
り、このエア吸引口５４により、ラジアル軸受１１から
排出されて上記エア導入通路４３に導入されないエア、
すなわち上側ラジアル軸受１１において、回転軸６の第
１環状溝１９に供給された後に上側（ディスクチャック
側）に向かったエアＡ１（図３参照）を吸引してハウジ
ング１外に排出するようにしている。An air suction port 54 is formed on the outer periphery of the bearing housing 2 obliquely below the chuck air supply port 30. The air suction port 54 is supported by a support 6a on the rotating shaft 6 by a passage (not shown). (The vicinity of the attachment portion of the disc chuck). A suction pipe (not shown) can be connected to the air suction port 54, and air discharged from the radial bearing 11 and not introduced into the air introduction passage 43 through the air suction port 54.
That is, in the upper radial bearing 11, the air A <b> 1 (see FIG. 3) that is supplied to the first annular groove 19 of the rotating shaft 6 and then heads upward (toward the disk chuck) is sucked and discharged out of the housing 1. I have.

【００３７】図１に示すように、上記軸受ハウジング２
及びモータハウジング３の各壁部内には、上記モータハ
ウジング３内のモータ室３７に導入されてモータ３８の
冷却に供されたエアを軸受ハウジング２外周の排気口５
６に排出する１つのエア排出通路５７が設けられてい
る。上記排気口５６は、軸受ハウジング２の外周におい
て上記給気口１５の下側にそれと近接して、詳しくは給
気口１５との間に上記エア吸引口５４及びチャック給気
口３０をそれぞれ介在させてそれらが軸受ハウジング２
外周で周方向及び軸方向（上下方向）にずれながら螺旋
状に並ぶように配置されている。また、排気口５６には
図外の排気配管が接続可能とされている。As shown in FIG. 1, the bearing housing 2
In each wall of the motor housing 3, air introduced into the motor chamber 37 in the motor housing 3 and used for cooling the motor 38 is supplied to the exhaust port 5 on the outer periphery of the bearing housing 2.
6 is provided with one air discharge passage 57. The exhaust port 56 is located below and close to the air supply port 15 on the outer periphery of the bearing housing 2, and more specifically, the air suction port 54 and the chuck air supply port 30 are interposed between the exhaust port 56 and the air supply port 15. Let them be the bearing housing 2
They are arranged so as to be helically arranged on the outer periphery while being shifted in the circumferential direction and the axial direction (vertical direction). An exhaust pipe (not shown) can be connected to the exhaust port 56.

【００３８】そして、上記エア排出通路５７は、上記エ
ア導入通路４３と異なる位置において軸受ハウジング２
の壁部内ないしモータハウジング３の壁部内を上下方向
に延びていて、その一端部は（上流端部）は、モータハ
ウジング３の内面上端部に開口されている一方、他端部
（下流端部）は上記排気口５６に接続されており、モー
タハウジング３内のモータ室３７のエアをエア排出通路
５７を介して排気口５６に流し、この排気口５６からハ
ウジング１外の排気配管に排出するようになっている。The air discharge passage 57 is provided at a position different from the air introduction passage 43 in the bearing housing 2.
Of the motor housing 3 or the inside of the wall of the motor housing 3, and one end (upstream end) is opened at the upper end of the inner surface of the motor housing 3, while the other end (downstream end) ) Is connected to the exhaust port 56, and the air in the motor chamber 37 in the motor housing 3 flows through the air exhaust passage 57 to the exhaust port 56, and is discharged from the exhaust port 56 to an exhaust pipe outside the housing 1. It has become.

【００３９】尚、図１及び図２中、５９は通路等の形成
のために孔開け加工した後に孔の一部を塞ぐためのプラ
グである。In FIG. 1 and FIG. 2, reference numeral 59 denotes a plug for closing a part of the hole after forming a hole for forming a passage or the like.

【００４０】したがって、この実施形態においては、エ
アスピンドルＡの運転時、加圧エア供給源からの加圧エ
アが給気配管により軸受ハウジング２の給気口１５に供
給され、この加圧エアの一部は加圧エア供給通路１６を
経て上下のラジアル軸受１１，１１における第１及び第
２給気溝１３，１４に送られ、その各給気溝１３，１４
からそれぞれ上側軸受ブッシュ１２のノズル孔１７，１
８を経て回転軸６の支持部６ａ外周の第１及び第２環状
溝１９，２０ないしその周辺部に噴出する。このエアの
噴出に伴うエア圧（静圧）により、回転軸６が支持部６
ａの上下２箇所にて上側軸受ブッシュ１２（軸受ハウジ
ング２）に接触しない浮動状態で回転可能に支持され
る。一方、上記給気口１５から加圧エア供給通路１６に
供給された加圧エアの残りはスラスト軸受２２に供給さ
れ、上下の軸受ブッシュ１２，２３のフランジ１２ａ，
２３ａにおける上下の給気溝２４，２６に送られて、そ
の各給気溝２４，２６からそれぞれエアノズル孔２５，
２７を経て回転軸６のスラストカラー６ｂの上下面に噴
出し、そのエア圧（静圧）により回転軸６が上側及び下
側軸受ブッシュ１２，２３（軸受ハウジング２）に接触
しない浮動状態で上下方向（軸方向）に移動不能に支持
される。Therefore, in this embodiment, when the air spindle A is operated, pressurized air from the pressurized air supply source is supplied to the air supply port 15 of the bearing housing 2 through the air supply pipe, and this pressurized air is A part is sent to the first and second air supply grooves 13 and 14 of the upper and lower radial bearings 11 and 11 via the pressurized air supply passage 16, and the respective air supply grooves 13 and 14 are provided.
From the nozzle holes 17, 1 of the upper bearing bush 12, respectively.
8, and is ejected to the first and second annular grooves 19 and 20 on the outer periphery of the support portion 6 a of the rotating shaft 6 or the peripheral portion thereof. Due to the air pressure (static pressure) associated with this air ejection, the rotating shaft 6
The upper bearing bush 12 (bearing housing 2) is rotatably supported in a floating state at two upper and lower locations a. On the other hand, the remainder of the pressurized air supplied from the air supply port 15 to the pressurized air supply passage 16 is supplied to the thrust bearing 22, and the flanges 12a,
23a, the air is supplied to the upper and lower air supply grooves 24, 26, and the air nozzle holes 25,
27, the air is jetted onto the upper and lower surfaces of the thrust collar 6b of the rotating shaft 6, and the air pressure (static pressure) causes the rotating shaft 6 to move up and down in a floating state where it does not contact the upper and lower bearing bushes 12, 23 (bearing housing 2). It is immovably supported in the direction (axial direction).

【００４１】そして、このように回転軸６がハウジング
１に対し浮動した状態でモータ３８により回転駆動さ
れ、回転軸６と一体のディスクチャックも回転し、この
ディスクチャックに保持された磁気ディスクの記憶領域
の物理的な欠陥やソフト的な記憶性能等の良否が検査さ
れる。尚、上記回転の前後にディスクチャックにより磁
気ディスクをチャック又はチャック解除するときには、
加圧エア供給源からの加圧エアがチャック給気口３０、
チャック給気通路３１、第３給気溝２９、エア孔３２、
連通路３５及び中心穴３４を介してディスクチャックの
チャック機構に供給されて、そのディスクチャックによ
る磁気ディスクのチャッキング又はその解除が行われ
る。Then, the rotating shaft 6 is driven to rotate by the motor 38 while floating with respect to the housing 1, and the disk chuck integrated with the rotating shaft 6 also rotates to store the magnetic disk held by the disk chuck. The quality of the area such as physical defects and soft storage performance is checked. When the magnetic disk is chucked or released by the disk chuck before and after the rotation,
The pressurized air from the pressurized air supply source is supplied to the chuck air supply port 30,
Chuck air supply passage 31, third air supply groove 29, air hole 32,
The magnetic disk is supplied to the chuck mechanism of the disk chuck through the communication path 35 and the center hole 34, and the chucking of the magnetic disk by the disk chuck or the release thereof is performed.

【００４２】そして、上記各ラジアル軸受１１及びスラ
スト軸受２２に静圧形成のために使用された後のエアは
各軸受１１，２２から排出されるが、その大半部はエア
導入通路４３に流入してモータハウジング３内のモータ
室３７にモータ３８の冷却のために導入される。具体的
には、上側ラジアル軸受１１において回転軸６の第１環
状溝１９の下側に向かったエアＡ２は第４環状溝４４か
ら第１排気孔４８ないし第１排気溝４６を経て、また下
側ラジアル軸受１１において回転軸６の第２環状溝２０
の上側に向かったエアＡ３は第５環状溝４５から第２排
気孔４９ないし第２排気溝４７を経てそれぞれエア導入
通路４３に流入する。一方、下側ラジアル軸受１１にお
いて回転軸６の第２環状溝２０の下側に向かったエアＡ
４と、スラスト軸受２２において上側エアノズル２５か
ら半径方向内側に向かったエアＡ５とは合流した後に第
３排気孔５０ないし第２排気溝４７を経てそれぞれエア
導入通路４３に流入する。また、スラスト軸受２２にお
いて上側エアノズル２５から半径方向外側に向かったエ
アＡ６は上側連通部５１により、また下側エアノズルか
ら半径方向外側に向かったエアＡ７は下側連通部５２に
よりそれぞれエア導入通路４３に流入する。これらエア
Ａ２〜Ａ７はエア導入通路４３によりモータ室３７にモ
ータ３８のステータ３９に向かうように導入される。ま
た、スラスト軸受２２の下側エアノズル２７から半径方
向内側に向かったエアＡ８は直接にモータ室３７に導入
される。このようなエアＡ２〜Ａ８の導入によりモータ
室３７のモータ３８が冷却される。After the air used for generating the static pressure in the radial bearing 11 and the thrust bearing 22 is discharged from the bearings 11 and 22, most of the air flows into the air introduction passage 43. Then, it is introduced into the motor chamber 37 in the motor housing 3 for cooling the motor 38. Specifically, in the upper radial bearing 11, the air A2 directed to the lower side of the first annular groove 19 of the rotary shaft 6 passes through the first exhaust hole 48 or the first exhaust groove 46 from the fourth annular groove 44, and then flows downward. The second annular groove 20 of the rotating shaft 6 in the side radial bearing 11
A3 flowing upward from the fifth annular groove 45 flows into the air introduction passage 43 through the second exhaust hole 49 to the second exhaust groove 47. On the other hand, in the lower radial bearing 11, the air A flowing to the lower side of the second annular groove 20 of the rotary shaft 6
The air 4 flows radially inward from the upper air nozzle 25 in the thrust bearing 22 and then flows into the air introduction passage 43 via the third exhaust hole 50 or the second exhaust groove 47 after being merged. In the thrust bearing 22, the air A6 directed radially outward from the upper air nozzle 25 is provided by the upper communication portion 51, and the air A7 directed radially outward from the lower air nozzle is provided by the lower communication portion 52 through the air introduction passage 43. Flows into. These air A <b> 2 to A <b> 7 are introduced into the motor chamber 37 through the air introduction passage 43 toward the stator 39 of the motor 38. Further, the air A <b> 8 directed radially inward from the lower air nozzle 27 of the thrust bearing 22 is directly introduced into the motor chamber 37. The introduction of the air A2 to A8 cools the motor 38 in the motor chamber 37.

【００４３】その際、上記エア導入通路４３からモータ
３８に導入されるエアＡ２〜Ａ７が、モータ室３７に導
入された後に最初にモータ３８のステータ３９に向かう
ので、モータ３８において発熱の大きいステータ３９を
導入エアにより集中して冷却して、モータ３８の冷却効
率を高めることができる。しかも、モータハウジング３
外周に冷却フィン３ｂが設けられているので、モータ３
８をハウジング１外部からも効果的に冷却することがで
きる。At this time, the air A2 to A7 introduced into the motor 38 from the air introduction passage 43 first travels to the stator 39 of the motor 38 after being introduced into the motor chamber 37. The cooling efficiency of the motor 38 can be increased by concentrating the cooling of the motor 39 by the introduction air. Moreover, the motor housing 3
Since the cooling fins 3b are provided on the outer periphery, the motor 3
8 can also be effectively cooled from outside the housing 1.

【００４４】尚、上側ラジアル軸受１１において回転軸
６の第１環状溝１９の上側（ディスクチャック側）に向
かったエアＡ１はエア吸引口５４に吸引されてハウジン
グ１外の吸引配管に排出される。In the upper radial bearing 11, the air A1 directed to the upper side (disc chuck side) of the first annular groove 19 of the rotary shaft 6 is sucked by the air suction port 54 and discharged to the suction pipe outside the housing 1. .

【００４５】さらに、上記モータハウジング３内のモー
タ室３７に導入されたエアＡ２〜Ａ８は、そのモータ３
８の冷却後にモータ室３７からエア排出通路５７を経て
軸受ハウジング２外周の排気口５６に流出し、この排気
口５６からハウジング１外の排気配管に排出される。Further, the air A2 to A8 introduced into the motor chamber 37 in the motor housing 3
After the cooling of the cooling chamber 8, the cooling fluid flows out of the motor chamber 37 through the air discharge passage 57 to the exhaust port 56 on the outer periphery of the bearing housing 2, and is discharged from the exhaust port 56 to an exhaust pipe outside the housing 1.

【００４６】この実施形態の場合、上記排気口５６と給
気口１５とは軸受ハウジング２の外周において互いに近
接して配置されているので、給気口１５に接続される給
気配管と、排気口５６に接続される排気配管とを略近い
位置にまとめて配置でき、クリーンルームでの使用でも
両配管の接続構造を簡単にして、それら配管の接続作業
や取回し、メンテナンスを容易化することができる。特
に、回転軸６が上下方向に向くようにエアスピンドルＡ
が立てて配置され、その軸受ハウジング２の下端部に取
付フランジ部２ａが設けられていて該取付フランジ部２
ａにてエアスピンドルＡが取付板等に取付固定される取
付構造であっても、給気口１５及び排気口５６は作業の
し易い、取付板等の上側に位置することとなり、それら
給気口１５及び排気口５６に対する配管の接続作業がさ
らに有利となる。In the case of this embodiment, since the exhaust port 56 and the air supply port 15 are arranged close to each other on the outer periphery of the bearing housing 2, the air supply pipe connected to the air supply port 15 and the exhaust gas The exhaust pipe connected to the port 56 can be arranged in a substantially close position at the same time, simplifying the connection structure of both pipes even in use in a clean room, and facilitating the connection work, routing, and maintenance of those pipes. Can be. In particular, the air spindle A is rotated so that the rotating shaft 6 is oriented vertically.
The bearing housing 2 is provided with a mounting flange 2a at a lower end thereof.
a, the air supply port 15 and the exhaust port 56 are located on the upper side of the mounting plate or the like so that the work can be easily performed. The work of connecting the pipes to the port 15 and the exhaust port 56 is more advantageous.

【００４７】また、上記の如く、上記上側ラジアル軸受
１１からエア導入通路４３に流入しないエアＡ１がエア
吸引口５４に吸引されて吸引配管に排出されるので、そ
のエアＡ１がそのままハウジング１外に放出されるのを
防ぐことができる。すなわち、軸受１１，２２に供給さ
れたエアは全て、ハウジング１外に漏れ出ることなく排
気口５６及びエア吸引口５４により排出されるので、ク
リーンルームへのエアによるゴミの放出を確実に防止す
ることができる。As described above, the air A1 that does not flow into the air introduction passage 43 from the upper radial bearing 11 is sucked into the air suction port 54 and discharged to the suction pipe. It can be prevented from being released. That is, all the air supplied to the bearings 11 and 22 is discharged through the exhaust port 56 and the air suction port 54 without leaking out of the housing 1, so that it is possible to reliably prevent dust from being discharged into the clean room by air. Can be.

【００４８】尚、上記実施形態では、給気口１５及び排
気口５６を軸受ハウジング２に設けているが、モータハ
ウジング３に設けてもよく、エアスピンドルＡの設置ス
ペースや設置形態等に応じて必要に応じて適宜選択でき
る。要は給気口１５及び排気口５６をハウジング１にお
いて互いに近接して配置すればよい。In the above embodiment, the air supply port 15 and the exhaust port 56 are provided in the bearing housing 2, but they may be provided in the motor housing 3 depending on the installation space and installation form of the air spindle A. It can be selected as needed. In short, the air supply port 15 and the exhaust port 56 may be arranged close to each other in the housing 1.

【００４９】また、上記実施形態では、エア導入通路４
３及びエア排出通路５７を、ハウジング１の壁部内に設
けているが、それら通路を、ハウジング１外に位置する
配管により設けることもできる。しかし、構造の簡単化
や外観見映えの向上等を図ることができる点で、上記実
施形態のように、エア導入通路４３及びエア排出通路５
７は、ハウジング１の壁部内に設けるのが好ましい。In the above embodiment, the air introduction passage 4
Although the air passage 3 and the air discharge passage 57 are provided in the wall of the housing 1, the passages may be provided by piping located outside the housing 1. However, since the structure can be simplified and the appearance can be improved, the air introduction passage 43 and the air discharge passage 5 as in the above embodiment can be provided.
7 is preferably provided in the wall of the housing 1.

【００５０】さらに、上記実施形態では、エア導入通路
４３の下流端開口及びエア排出通路５７の上流端開口を
いずれもモータハウジング３内面の上端部に開口させて
いるが、図１で仮想線にて示すように、これらエア導入
通路４３又はエア排出通路５７のいずれか一方を延ばし
てモータハウジング３内面の下端部に開口させることも
できる。こうすると、モータ室３７においてモータ３８
の全体に亘って均等にエアを通過させることができ、モ
ータ３８の冷却効果をさらに高めることができる。ま
た、モータ３８のステータ３９やロータ４０の表面にフ
ィン等の凹凸部を形成することで、それらの表面積の増
加によって放熱性を高めたり、或いはエアの攪拌を行っ
たりするようにしてもよい。Further, in the above embodiment, both the downstream end opening of the air introduction passage 43 and the upstream end opening of the air discharge passage 57 are opened at the upper end of the inner surface of the motor housing 3. As shown, one of the air introduction passage 43 and the air discharge passage 57 may be extended to open to the lower end of the inner surface of the motor housing 3. By doing so, the motor 38 in the motor chamber 37
Can be evenly passed over the entire area, and the cooling effect of the motor 38 can be further enhanced. In addition, by forming irregularities such as fins on the surfaces of the stator 39 and the rotor 40 of the motor 38, heat radiation may be enhanced by increasing the surface area of the fins, or air may be stirred.

【００５１】（実施形態２）図４は本発明の実施形態２
を示し（尚、以下の実施形態２及び３では、図１〜図３
と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明
は省略する）、軸受１１，２２を通過した後のエアとは
別系統でモータ３８に対し外部から冷却エアを供給して
冷却するようにしたものである。(Embodiment 2) FIG. 4 shows Embodiment 2 of the present invention.
(In the following embodiments 2 and 3, FIGS. 1 to 3
The same parts as those described above are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.) The cooling air is supplied from the outside to the motor 38 in a separate system from the air after passing through the bearings 11 and 22, so that the motor 38 is cooled. It was made.

【００５２】すなわち、この実施形態では、回転軸６中
心の中心穴３４が回転軸６のモータ結合部６ｃ下端、つ
まりモータハウジング３の下端部付近まで延び、この中
心穴３４のうち、上記実施形態１のように第３環状溝３
３に対応する部分までが内径の大きい大径部３４ａとさ
れ、それよりも下側（奥側）の部分は内径の小さい小径
部３４ｂとされている。この小径部３４ｂの上端にはプ
ラグ５９が嵌装固定されていて、中心穴３４はプラグ５
９により大径部３４ａ及び小径部３４ｂの２つに気密状
に区画されており、上記大径部３４ａは上記実施形態１
と同様に、ディスクチャックのチャッキング又はその解
除を行うためのエア通路とされている。一方、回転軸６
のモータ結合部６ｃ下端には上記中心穴３４の小径部３
４ｂ下端とモータ室３７とを連通する連通孔６１が貫通
形成されている。That is, in this embodiment, the center hole 34 at the center of the rotating shaft 6 extends to the lower end of the motor coupling portion 6c of the rotating shaft 6, that is, near the lower end of the motor housing 3. Third annular groove 3 as in 1
The portion corresponding to No. 3 is a large-diameter portion 34a having a large inner diameter, and the lower (rear) portion is a small-diameter portion 34b having a small inner diameter. A plug 59 is fitted and fixed to the upper end of the small diameter portion 34b.
9, the large-diameter portion 34a and the small-diameter portion 34b are air-tightly partitioned into two portions.
Similarly to the above, it is an air passage for chucking or releasing the disc chuck. On the other hand, the rotating shaft 6
The small diameter portion 3 of the center hole 34 is provided at the lower end of the motor coupling portion 6c.
A communication hole 61 that communicates the lower end 4b with the motor chamber 37 is formed to penetrate therethrough.

【００５３】また、軸受ハウジング２の内周面には上記
第３給気溝２９と第２排気溝４７との間に第４給気溝６
２が形成されている。また、軸受ハウジング２の外周部
には例えば上記排気口５６の周方向側方に、上記加圧エ
ア供給源から給気口１５への加圧エアの圧力よりも低圧
のエアを供給する別の給気配管（この配管にはエア圧を
下げるための減圧弁が設けられる）が接続可能な外部エ
ア給気口６３が形成され、この外部エア給気口６３は、
軸受ハウジング２の壁部内に設けた外部エア給気通路６
４を介して上記第４給気溝６２に連通されている。上側
軸受ブッシュ１２には、上記軸受ハウジング２内周面の
第４給気溝６２と対応する部分に、半径方向に貫通する
エア孔６５，６５，…（１つのみ図示する）が周方向に
等間隔をあけて形成されている。また、回転軸６の支持
部６ａ外周には、上記軸受ハウジング２内周面の第４給
気溝６２に軸方向に対応して第６環状溝６６が形成さ
れ、この第６環状溝６６と中心穴３４の小径部３４ｂ上
端とは回転軸６の支持部６ａに周方向に配置した連通路
６７，６７，…により連通されている。そして、上記外
部エア給気通路６４、第４給気溝６２、エア孔６５、第
６環状溝６６、連通路６７、中心穴３４の小径部３４ｂ
及び連通孔６１により、軸受ハウジング２の壁部内ない
し回転軸６内に亘る外部エア導入通路６８が構成され、
この外部エア導入通路６８により、外部エア給気口６３
に供給された、軸受に供されないエアをもモータ室３７
に導入して、その外部エアと各軸受１１，２２から排出
されたエアとの双方によってモータ３８を冷却するよう
にしている。The inner peripheral surface of the bearing housing 2 has a fourth air supply groove 6 between the third air supply groove 29 and the second exhaust groove 47.
2 are formed. Further, another air is supplied to the outer peripheral portion of the bearing housing 2, for example, to the side in the circumferential direction of the exhaust port 56, the air having a pressure lower than the pressure of the pressurized air from the pressurized air supply source to the air supply port 15. An external air supply port 63 to which an air supply pipe (a pressure reducing valve for lowering the air pressure is provided) is formed, is connected to the external air supply port.
External air supply passage 6 provided in the wall of bearing housing 2
4 through the fourth air supply groove 62. In the upper bearing bush 12, air holes 65, 65,... (Only one is shown) penetrating in the radial direction are formed in a portion corresponding to the fourth air supply groove 62 on the inner peripheral surface of the bearing housing 2 in the circumferential direction. They are formed at equal intervals. A sixth annular groove 66 is formed on the outer periphery of the support portion 6a of the rotating shaft 6 so as to correspond to the fourth air supply groove 62 on the inner peripheral surface of the bearing housing 2 in the axial direction. The upper end of the small-diameter portion 34b of the center hole 34 communicates with the support portion 6a of the rotating shaft 6 by communication passages 67, 67,. Then, the external air supply passage 64, the fourth supply groove 62, the air hole 65, the sixth annular groove 66, the communication passage 67, and the small diameter portion 34b of the center hole 34
And the communication hole 61, an external air introduction passage 68 extending from the inside of the wall of the bearing housing 2 to the inside of the rotary shaft 6 is formed,
The external air inlet 63 is formed by the external air introduction passage 68.
The air not supplied to the bearings supplied to the motor chamber 37
And the motor 38 is cooled by both the external air and the air discharged from the bearings 11 and 22.

【００５４】尚、モータ３８の冷却に供されたエアを排
気口５６に排出するエア排出通路５７を含めた他の構成
は上記実施形態１と同様である。The other structure including the air discharge passage 57 for discharging the air used for cooling the motor 38 to the exhaust port 56 is the same as that of the first embodiment.

【００５５】したがって、この実施形態においては、軸
受ハウジング２の外部エア給気口６３に供給された外部
エアは、軸受ハウジング２の壁部内ないし回転軸６内の
外部エア導入通路６８を経てモータ室３７に導入され
る。このことで、その外部エアと軸受１１，２２から排
出されたエアとの双方によってモータ３８が冷却される
こととなり、モータ３８をさらに効果的に冷却すること
ができる。尚、この冷却に供されたエアは、いずれも上
記実施形態１と同様に、エア排出通路５７を経て排気口
５６に流れ、そこからハウジング１外に排出される。Therefore, in this embodiment, the external air supplied to the external air supply port 63 of the bearing housing 2 passes through the external air introduction passage 68 in the wall of the bearing housing 2 or in the rotary shaft 6 to form the motor chamber. 37. Thus, the motor 38 is cooled by both the external air and the air discharged from the bearings 11 and 22, and the motor 38 can be cooled more effectively. It should be noted that all the air supplied for cooling flows through the air discharge passage 57 to the exhaust port 56 as in the first embodiment, and is discharged out of the housing 1 therefrom.

【００５６】（実施形態３）図５は実施形態３を示し、
上記外部エアの供給経路を変えたものである。この実施
形態では、上記実施形態２と同様に、軸受ハウジング２
の外周に外部エア給気口６３が設けられている。また、
実施形態２とは異なり、軸受ハウジング２の壁部内に上
記エア排出通路５７と同様の構造でもって外部エア導入
通路６８が形成され、この外部エア導入通路６８の下流
端はモータハウジング３の内周面上端に開口しており、
外部エア給気口６３に供給されたエアを軸受ハウジング
２の壁部内の外部エア導入通路６８を介してモータ室３
７に導入するようにしている。その他は実施形態１と同
様の構成である。従って、この実施形態でも上記実施形
態２と同様の作用効果を奏することができる。(Embodiment 3) FIG. 5 shows Embodiment 3.
The external air supply path is changed. In this embodiment, similarly to the second embodiment, the bearing housing 2
An external air supply port 63 is provided on the outer periphery of the air supply port. Also,
Unlike the second embodiment, an external air introduction passage 68 is formed in the wall of the bearing housing 2 with the same structure as the air discharge passage 57, and the downstream end of the external air introduction passage 68 is formed on the inner periphery of the motor housing 3. It is open at the top of the surface,
The air supplied to the external air supply port 63 is supplied to the motor chamber 3 through the external air introduction passage 68 in the wall of the bearing housing 2.
7 is introduced. Other configurations are the same as those of the first embodiment. Therefore, in this embodiment, the same operation and effect as those of the second embodiment can be obtained.

【００５７】[0057]

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、ハウジング内に、給気口から供給された加圧エ
アによる静圧により回転軸を支持するラジアル軸受及び
スラスト軸受と、回転軸を回転駆動するモータとが設け
られたエアスピンドルにおいて、ラジアル軸受及びスラ
スト軸受から排出されたエアの少なくとも一部をエア導
入通路によりモータに導入するとともに、このモータ冷
却後のエアをエア排出通路により排気口に流すように
し、ハウジングにおいて排気口を給気口と近接配置した
ことにより、排気口に排気配管を接続する場合、その排
気配管を給気口への給気配管と略近い位置にまとめて配
置することができ、たとえエアスピンドルをクリーンル
ームで使用する場合でも、両配管の接続構造を簡単にし
て配管の接続作業や取回し、メンテナンスの容易化を図
ることができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, a radial bearing and a thrust bearing for supporting a rotating shaft in a housing by static pressure of pressurized air supplied from an air supply port; In an air spindle provided with a motor for rotating and driving a shaft, at least a part of air discharged from the radial bearing and the thrust bearing is introduced into the motor through an air introduction passage, and the air after cooling the motor is discharged into an air discharge passage. When the exhaust pipe is connected to the exhaust port by arranging the exhaust port close to the air supply port in the housing, the exhaust pipe is located at a position substantially close to the air supply pipe to the air supply port. They can be arranged together, and even if the air spindle is used in a clean room, the connection structure of both pipes can be simplified to Turn, it is possible to facilitate the maintenance.

【００５８】請求項２の発明によると、ハウジングに、
軸受から排出されてエア導入通路に導入されないエアを
吸引して排出するエア吸引口を設けたことにより、軸受
からエア導入通路に流入しないエアがそのままハウジン
グ外に放出されるのを防止でき、例えばクリーンルーム
へのエアによるゴミの放出をさらに有効に防止できる。According to the invention of claim 2, the housing has:
By providing an air suction port for sucking and discharging air discharged from the bearing and not introduced into the air introduction passage, air that does not flow into the air introduction passage from the bearing can be prevented from being directly discharged out of the housing. The release of dust by air to the clean room can be more effectively prevented.

【００５９】請求項３の発明によると、エア導入通路及
びエア排出通路をハウジングの壁部内に設けたことによ
り、エアスピンドルのハウジング自体にエア導入通路及
びエア排出通路を形成でき、構造の簡単化、ハウジング
自体の冷却性の向上、外観見映えの向上を図るととも
に、エアの圧力損失を下げて省エネルギー化を図ること
ができる。According to the third aspect of the present invention, since the air introduction passage and the air discharge passage are provided in the wall of the housing, the air introduction passage and the air discharge passage can be formed in the housing of the air spindle, thereby simplifying the structure. In addition to improving the cooling performance of the housing itself and improving the appearance, the pressure loss of the air can be reduced to save energy.

【００６０】請求項４の発明によると、ハウジングは軸
受ハウジングとモータハウジングとを備えたものとし、
給気口及び排気口は軸受ハウジング又はモータハウジン
グのいずれか一方に設けたことにより、給気口及び排気
口を軸受ハウジング又はモータハウジングのいずれか一
方にまとめて配置でき、それら給気口及び排気口の望ま
しい位置が得られる。According to the invention of claim 4, the housing is provided with a bearing housing and a motor housing,
Since the air supply port and the exhaust port are provided in either the bearing housing or the motor housing, the air supply port and the exhaust port can be arranged collectively in either the bearing housing or the motor housing. The desired position of the mouth is obtained.

【００６１】請求項５の発明によると、給気口及び排気
口を軸受ハウジングに設けたことにより、給気口から各
軸受までの距離を短縮して、給気口及び排気口のさらに
望ましい位置が得られる。According to the fifth aspect of the present invention, since the air supply port and the exhaust port are provided in the bearing housing, the distance from the air supply port to each bearing is shortened, and more desirable positions of the air supply port and the exhaust port are provided. Is obtained.

【００６２】請求項６の発明によると、ラジアル軸受及
びスラスト軸受が設けられた軸受ハウジングと、モータ
が設けられたモータハウジングとを備えたエアスピンド
ルにおいて、軸受ハウジングに給気口及び排気口を設
け、少なくとも軸受ハウジングの壁部内に、上記給気口
から軸受に加圧エアとして供給された後に排出されたエ
アの少なくとも一部をモータハウジング内に導入するエ
ア導入通路と、モータハウジング内のエアを上記排気口
に排出するエア排出通路とを設けたことにより、排気口
に排気配管を接続するとき、その排気配管を給気口に接
続される給気配管に対し、同じ軸受ハウジングにまとめ
て配置でき、上記請求項１の発明と同様に、クリーンル
ームでの使用でも両配管の接続構造の簡単化、配管の接
続作業や取回しの容易化等を図ることができる。According to the invention of claim 6, in an air spindle including a bearing housing provided with a radial bearing and a thrust bearing, and a motor housing provided with a motor, an air supply port and an exhaust port are provided in the bearing housing. At least in the wall of the bearing housing, an air introduction passage for introducing at least a part of air discharged after being supplied as pressurized air from the air supply port to the bearing into the motor housing, and an air in the motor housing. When the exhaust pipe is connected to the exhaust port by providing the air exhaust passage for discharging the exhaust port, the exhaust pipe is collectively arranged in the same bearing housing with respect to the air supply pipe connected to the air supply port. Similar to the first aspect of the present invention, even in a clean room, the connection structure of both pipes can be simplified, and the work of connecting and managing the pipes can be performed. It can be achieved and the like.

【００６３】請求項７の発明では、ハウジングに外部エ
ア給気口を設け、このハウジングの壁部内に、上記外部
エア給気口に供給されたエアをモータに導入する外部エ
ア導入通路を設けた。また、請求項８の発明では、ハウ
ジングの壁部内ないし回転軸内に、上記外部エア給気口
に供給されたエアをモータに導入する外部エア導入通路
を設けた。従って、これらの発明によると、外部エアに
よってモータをさらに有効に冷却することができる。According to the seventh aspect of the present invention, an external air supply port is provided in the housing, and an external air introduction passage for introducing the air supplied to the external air supply port to the motor is provided in a wall of the housing. . In the invention of claim 8, an external air introduction passage for introducing the air supplied to the external air supply port to the motor is provided in the wall of the housing or in the rotary shaft. Therefore, according to these inventions, the motor can be more effectively cooled by the external air.

【００６４】請求項９の発明によると、モータに対応す
るハウジング外周に冷却フィンを設けたことにより、モ
ータをハウジング外からさらに効果的に冷却することが
できる。According to the ninth aspect of the present invention, since the cooling fins are provided on the outer periphery of the housing corresponding to the motor, the motor can be more effectively cooled from outside the housing.

【００６５】請求項１０の発明によると、上記モータへ
の導入エアの少なくとも一部は、モータのステータに向
かうようにしたことにより、モータにおいて発熱の大き
いステータを導入エアにより集中して冷却でき、モータ
の冷却効率を高めることができる。According to the tenth aspect of the present invention, at least a part of the air introduced into the motor is directed to the stator of the motor, so that the stator which generates a large amount of heat in the motor can be concentrated and cooled by the introduced air. The cooling efficiency of the motor can be increased.

【００６６】請求項１１の発明によると、エアスピンド
ルはクリーンルームで用いられるものとしたことによ
り、本発明の効果が有効に発揮される最適なエアスピン
ドルが得られる。According to the eleventh aspect of the present invention, since the air spindle is used in a clean room, an optimal air spindle in which the effects of the present invention are effectively exhibited can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施形態１に係るエアスピンドルにお
いて軸受からの排出エアによるモータの冷却構造を示す
断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cooling structure of a motor using air discharged from a bearing in an air spindle according to a first embodiment of the present invention.

【図２】エアスピンドルにおいて軸受に対する加圧エア
の供給構造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a structure for supplying pressurized air to a bearing in the air spindle.

【図３】軸受から排出されるエアの経路を模式的に示す
概略説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory view schematically showing a path of air discharged from a bearing.

【図４】本発明の実施形態２に係るエアスピンドルにお
いて外部からの冷却エアをモータに導入する構造を示す
断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structure for introducing cooling air from outside into a motor in an air spindle according to Embodiment 2 of the present invention.

【図５】本発明の実施形態３を示す図４相当図である。FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 4, showing a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Ａ エアスピンドル １ ハウジング ２ 軸受ハウジング ３ モータハウジング ３ｂ 冷却フィン ６ 回転軸 ６ａ 支持部 ６ｂ スラストカラー １１ ラジアル軸受 １２，２３ 軸受ブッシュ １５ 給気口 １６ 加圧エア供給通路 ２２ スラスト軸受 ３４ 中心穴 ３７ モータ室 ３８ モータ ３９ ステータ ４０ ロータ ４３ エア導入通路 ５４ エア吸引口 ５６ 排気口 ５７ エア排出通路 ６３ 外部エア給気口 ６８ 外部エア導入通路 Reference Signs List A Air spindle 1 Housing 2 Bearing housing 3 Motor housing 3b Cooling fin 6 Rotating shaft 6a Support 6b Thrust collar 11 Radial bearing 12, 23 Bearing bush 15 Air supply port 16 Pressurized air supply passage 22 Thrust bearing 34 Center hole 37 Motor chamber 38 Motor 39 Stator 40 Rotor 43 Air introduction passage 54 Air suction port 56 Exhaust port 57 Air discharge passage 63 External air supply port 68 External air introduction passage

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成１１年５月１０日（１９９９．５．１
０）[Submission date] May 10, 1999 (1999.5.1
0)

【手続補正１】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図１[Correction target item name] Fig. 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図１】 FIG.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 火置 哲也 兵庫県宝塚市新明和町１番１号 新明和工 業株式会社産機システム事業部内 Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA03 BA19 CA07 CA20 EA02 EA06 EA09 EA13 EA22 GA07  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tetsuya Hioki 1-1, Shinmeiwa-cho, Takarazuka-shi, Hyogo F-term in the Industrial Machinery Systems Division, Shinmeiwa Kogyo Co., Ltd. (Reference) 3J102 AA02 BA03 BA19 CA07 CA20 EA02 EA06 EA09 EA13 EA22 GA07

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ハウジング内に、回転軸をエアの静圧に
より浮動状態で回転可能にかつ軸方向に移動不能に支持
するラジアル軸受及びスラスト軸受と、上記回転軸を回
転駆動するモータとが設けられたエアスピンドルにおい
て、 上記ラジアル軸受及びスラスト軸受に給気口から加圧エ
アを供給する加圧エア供給通路と、 上記ラジアル軸受及びスラスト軸受から排出されたエア
の少なくとも一部を上記モータに冷却のために導入する
エア導入通路と、 上記モータの冷却に供されたエアを排気口に排出するエ
ア排出通路とが設けられ、 上記給気口及び排気口はハウジングにおいて互いに近接
して配置されていることを特徴とするエアスピンドル。1. A radial bearing and a thrust bearing for supporting a rotating shaft in a floating state by an electrostatic pressure of air so as to be rotatable in a floating state and immovable in an axial direction, and a motor for rotationally driving the rotating shaft are provided in a housing. A pressurized air supply passage for supplying pressurized air from an air supply port to the radial bearing and the thrust bearing, and at least a part of air discharged from the radial bearing and the thrust bearing is cooled by the motor. And an air discharge passage for discharging air provided for cooling the motor to an exhaust port, wherein the air supply port and the exhaust port are arranged close to each other in the housing. An air spindle, characterized in that: 【請求項２】 請求項１のエアスピンドルにおいて、 ハウジングに、軸受から排出されてエア導入通路に導入
されないエアを吸引して排出するエア吸引口が設けられ
ていることを特徴とするエアスピンドル。2. The air spindle according to claim 1, wherein the housing has an air suction port for sucking and discharging air discharged from the bearing and not introduced into the air introduction passage. 【請求項３】 請求項１又は２のエアスピンドルにおい
て、 エア導入通路及びエア排出通路は、ハウジングの壁部内
に設けられていることを特徴とするエアスピンドル。3. The air spindle according to claim 1, wherein the air introduction passage and the air discharge passage are provided in a wall of the housing. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１つのエアスピ
ンドルにおいて、 ハウジングは、ラジアル軸受及びスラスト軸受を有する
軸受ハウジングと、モータを内有するモータハウジング
とを備え、給気口及び排気口は軸受ハウジング又はモー
タハウジングのいずれか一方に設けられていることを特
徴とするエアスピンドル。4. The air spindle according to claim 1, wherein the housing includes a bearing housing having a radial bearing and a thrust bearing, and a motor housing having a motor. An air spindle provided on one of a bearing housing and a motor housing. 【請求項５】 請求項４のエアスピンドルにおいて、 給気口及び排気口は軸受ハウジングに設けられているこ
とを特徴とするエアスピンドル。5. The air spindle according to claim 4, wherein the supply port and the exhaust port are provided in a bearing housing. 【請求項６】 回転軸をエアの静圧により浮動状態で回
転可能にかつ軸方向に移動不能に支持するラジアル軸受
及びスラスト軸受が設けられた軸受ハウジングと、 上記軸受ハウジングに接合され、上記回転軸を回転駆動
するモータが設けられたモータハウジングとを備えたエ
アスピンドルにおいて、 上記軸受ハウジングに給気口及び排気口が設けられ、 少なくとも上記軸受ハウジングの壁部内に、上記給気口
からラジアル軸受及びスラスト軸受に加圧エアとして供
給された後に排出されたエアの少なくとも一部を上記モ
ータハウジング内に導入するエア導入通路と、モータハ
ウジング内のエアを上記排気口に排出するエア排出通路
とが設けられていることを特徴とするエアスピンドル。6. A bearing housing provided with a radial bearing and a thrust bearing for rotatably supporting a rotary shaft in a floating state by static pressure of air and immovable in an axial direction; An air spindle having a motor housing provided with a motor for rotating and driving a shaft, wherein an air supply port and an exhaust port are provided in the bearing housing, and at least in a wall portion of the bearing housing, a radial bearing is provided from the air supply port to the bearing housing. An air introduction passage for introducing at least a part of the air discharged after being supplied as pressurized air to the thrust bearing into the motor housing, and an air discharge passage for discharging the air in the motor housing to the exhaust port. An air spindle, which is provided. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか１つのエアスピ
ンドルにおいて、 ハウジングに外部エア給気口が設けられ、 ハウジングの壁部内に、上記外部エア給気口に供給され
たエアをモータに導入する外部エア導入通路が設けられ
ていることを特徴とするエアスピンドル。7. The air spindle according to claim 1, wherein an external air supply port is provided in the housing, and the air supplied to the external air supply port is supplied to the motor in a wall of the housing. An air spindle having an external air introduction passage for introduction. 【請求項８】 請求項１〜６のいずれか１つのエアスピ
ンドルにおいて、 ハウジングに外部エア給気口が設けられ、 ハウジングの壁部内ないし回転軸内に、上記外部エア給
気口に供給されたエアをモータに導入する外部エア導入
通路が設けられていることを特徴とするエアスピンド
ル。8. The air spindle according to claim 1, wherein an external air supply port is provided in the housing, and the air supply port is supplied to the external air supply port in a wall portion or a rotary shaft of the housing. An air spindle provided with an external air introduction passage for introducing air into a motor. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか１つのエアスピ
ンドルにおいて、 モータに対応するハウジング外周に冷却フィンが設けら
れていることを特徴とするエアスピンドル。9. The air spindle according to claim 1, wherein cooling fins are provided on an outer periphery of a housing corresponding to the motor. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか１つのエアス
ピンドルにおいて、 モータに導入されるエアの少なくとも一部は、モータの
ステータに向かうように構成されていることを特徴とす
るエアスピンドル。10. The air spindle according to claim 1, wherein at least a part of the air introduced into the motor is directed to a stator of the motor. 【請求項１１】 クリーンルームで用いられることを特
徴とする請求項１〜１０のいずれか１つのエアスピンド
ル。11. The air spindle according to claim 1, wherein the air spindle is used in a clean room.