JP2000292507A - Magnetic sensor - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ケースの内部に、
当該ケースの検出面となる部位に対向するように配設さ
れた磁気検出素子を備えた磁気センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a case,
The present invention relates to a magnetic sensor including a magnetic detection element disposed so as to face a detection surface of the case.
【0002】[0002]
【発明が解決しようとする課題】この種の磁気センサに
おいては、従来、非磁性材例えばアルミニウム製のケー
スの検出面となる部位に薄肉部を一体に形成し、そのケ
ースの内部に、磁気検出素子を前記薄肉部に対向するよ
うに設けると共に、磁気検出素子の後側にバイアスマグ
ネットを設けた構成としたものが考えられている。In this type of magnetic sensor, a thin portion is conventionally formed integrally with a nonmagnetic material such as an aluminum case at a portion serving as a detection surface, and a magnetic detection portion is provided inside the case. It has been considered that an element is provided so as to face the thin portion and a bias magnet is provided on the rear side of the magnetic detection element.
【0003】しかしながら、上記した従来構成のもので
は、検出面となる薄肉部をケースに一体に形成している
が、この薄肉部は約0.1mm程度まで切削加工により
加工する必要があるため、その加工が難しく、製作が難
しいという問題点がある。However, in the above-described conventional configuration, the thin portion serving as the detection surface is formed integrally with the case. However, since the thin portion needs to be cut to about 0.1 mm by cutting, There is a problem that the processing is difficult and the production is difficult.
【0004】これに対処するため、次のようなことが考
えられる。すなわち、ケースの検出面となる部位に開口
部を形成し、厚さが約0.1mmのアルミニウム製のプ
レートを、前記開口部を前面から覆うようにケースの前
面に接着剤により貼り付けるようにするものである。To cope with this, the following is conceivable. That is, an opening is formed in a portion to be a detection surface of the case, and an aluminum plate having a thickness of about 0.1 mm is attached to the front surface of the case with an adhesive so as to cover the opening from the front surface. Is what you do.
【0005】このような構成とした場合には、ケースに
開口部を形成し、この開口部を覆うように、薄板状のプ
レートをケースの前面に貼り付ければ良いので、薄肉部
を切削加工する場合に比べて、製作が容易にできる。し
かしながら、ケースにプレートを貼り付けるものでは、
ケース内に磁気検出素子などを組み込んだりする際、或
いは、使用に伴う経年変化や周囲の環境により、上記プ
レートがケースから剥がれてしまうおそれがある。In such a configuration, an opening is formed in the case, and a thin plate is attached to the front of the case so as to cover the opening. It can be easily manufactured as compared with the case. However, if you attach the plate to the case,
The plate may be detached from the case when a magnetic detection element or the like is incorporated in the case, or due to aging or surrounding environment due to use.
【0006】本発明は上記した事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、製作が容易で、しかも、検出面
となるプレートが剥がれてしまうことを防止できる磁気
センサを提供するにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic sensor which can be easily manufactured and can prevent a plate serving as a detection surface from peeling off.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1の発明は、検出面となる部位に開口部を
有するケースと、前記開口部を前面から覆うように前記
ケースの前面に配置された薄板状のプレートと、このプ
レートを前記ケースに固着する機械的固着手段と、前記
ケースの内部に前記プレートに対向するように配設され
た磁気検出素子とを具備したことを特徴とするものであ
る。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 includes a case having an opening at a portion serving as a detection surface, and a case having the opening so as to cover the opening from the front. A thin plate disposed on the front surface; mechanical fixing means for fixing the plate to the case; and a magnetic sensing element disposed inside the case so as to face the plate. It is a feature.
【0008】このような構成によれば、ケースの検出面
となる部位に開口部を形成し、この開口部を覆うよう
に、薄板状のプレートをケースの前面に固着する構成と
しているので、薄肉部を切削加工する場合に比べて、製
作が容易にできる。また、そのプレートは、機械的固着
手段によりケースに固着しているので、プレートを接着
剤により貼り付ける場合とは違い、そのプレートが剥が
れてしまうことを防止できる。According to such a configuration, an opening is formed in a portion to be a detection surface of the case, and a thin plate is fixed to the front surface of the case so as to cover the opening. The production can be facilitated as compared with the case of cutting the part. Further, since the plate is fixed to the case by mechanical fixing means, it is possible to prevent the plate from being peeled, unlike the case where the plate is attached with an adhesive.
【0009】この場合、開口部の周縁部とプレートとの
間にシール材を介在させることが好ましい(請求項2の
発明)。これによれば、ケースに開口部を形成しながら
も、その開口部側からケース内に水や埃などが侵入する
ことを防止できる。また、プレートの前面側に、当該プ
レートの周縁部を前面から押さえ付ける枠状のフレーム
を設けることが好ましい(請求項3の発明)。これによ
れば、プレートの周縁部を極力均等に押え付けることが
できるようになる。In this case, it is preferable to interpose a sealing material between the peripheral edge of the opening and the plate (the invention of claim 2). According to this, it is possible to prevent water and dust from entering the case from the opening side while forming the opening in the case. Further, it is preferable to provide a frame-like frame for pressing the peripheral portion of the plate from the front side on the front side of the plate (the invention of claim 3). According to this, the peripheral portion of the plate can be pressed as evenly as possible.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明を、磁気式ロータリ
ーエンコーダに適用した一実施例について図面を参照し
て説明する。磁気センサ1のケース2には、内部に収納
部3が形成され、前部の検出面となる部位に矩形状の開
口部4が形成され、後部にも開口部4よりも大きな挿入
用開口部5が形成されている。収納部3と、開口部4及
び挿入用開口部5とは連通している。開口部4の周縁部
には矩形状の枠部6が突出形成され、この枠部6の周囲
の4か所に取付孔7が形成されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to a magnetic rotary encoder will be described below with reference to the drawings. The case 2 of the magnetic sensor 1 has a receiving portion 3 formed therein, a rectangular opening 4 formed in a portion serving as a front detection surface, and an insertion opening larger than the opening 4 also in the rear portion. 5 are formed. The storage section 3 communicates with the opening 4 and the insertion opening 5. A rectangular frame 6 protrudes from the periphery of the opening 4, and mounting holes 7 are formed at four locations around the frame 6.
【0011】ケース2の前面には、浅底容器状をなすプ
レート8が、上記開口部4及び枠部6を前方から覆う状
態で配置されている。プレート8において、開口部4に
対応する部分が検出面8aとなっている。このプレート
8は、厚さが約0.1mmの薄板により形成されてい
る。プレート8の周縁部のフランジ部8bには、上記取
付孔7に対応して4個のねじ挿通孔9が形成されてい
る。枠部6の前面にはペースト状のシール材10(図1
参照)が塗布されていて、このシール材10が、枠部6
の前面とプレート8の内面との間に介在されている。On the front surface of the case 2, a plate 8 in the form of a shallow container is arranged so as to cover the opening 4 and the frame 6 from the front. In the plate 8, a portion corresponding to the opening 4 is a detection surface 8a. The plate 8 is formed of a thin plate having a thickness of about 0.1 mm. Four screw insertion holes 9 are formed in the flange portion 8 b at the peripheral edge of the plate 8 in correspondence with the mounting holes 7. A paste-like sealing material 10 (FIG.
This sealing material 10 is applied to the frame 6
And the inner surface of the plate 8.
【0012】プレート8の前面側には、当該プレート8
の周縁部であるフランジ部8bを前面から押え付けるよ
うに矩形枠状のフレーム11が配置されていて、このフ
レーム11にも、上記ねじ挿通孔9に対応して4個のね
じ挿通孔12が形成されている。この場合、上記ケース
2、プレート8及びフレーム11は、それぞれ非磁性材
であるアルミニウムにより形成されている。On the front side of the plate 8, the plate 8
A rectangular frame-shaped frame 11 is arranged so as to press the flange portion 8b, which is the peripheral portion of the frame, from the front surface. Is formed. In this case, the case 2, the plate 8 and the frame 11 are each formed of aluminum which is a non-magnetic material.
【0013】しかして、フレーム11のねじ挿通孔12
及びプレート8のねじ挿通孔9を順に挿通した各ねじ1
3を、ケース2の対応する取付孔7にそれぞれねじ込む
ことにより、プレート8をケース2の前面に機械的に固
着している。この場合、ねじ13が機械的固着手段を構
成している。The screw insertion hole 12 of the frame 11
And each screw 1 sequentially inserted through the screw insertion hole 9 of the plate 8
The plate 8 is mechanically fixed to the front surface of the case 2 by screwing the plates 3 into the corresponding mounting holes 7 of the case 2. In this case, the screw 13 constitutes a mechanical fixing means.
【0014】ケース2の上記収納部3には、図3及び図
4にも示すように、センサユニット14が収納されてい
る。このセンサユニット14のホルダ15には、前部に
それぞれ磁気抵抗素子(MRE)からなる第1及び第2
の磁気検出素子16,17を有するセンサIC18が設
けられていると共に、このセンサIC18の後部側に位
置させて、磁気発生手段であるバイアスマグネット1
9、及び2個の回路基板20a,20bが設けられてい
る。第1及び第2の磁気検出素子16,17は前方から
見て上下に配置されていて、このうち、第1の磁気検出
素子16は基準位置信号検出用、第2の磁気検出素子1
7は回転信号検出用となっている。2個の回路基板20
a,20bのうち、上部に位置する回路基板20bに
は、出力調整用のボリューム21が複数個設けられてい
る。As shown in FIGS. 3 and 4, a sensor unit 14 is housed in the housing 3 of the case 2. The holder 15 of the sensor unit 14 has first and second front and rear magnetoresistive elements (MRE).
A sensor IC 18 having magnetic detection elements 16 and 17 is provided, and a bias magnet 1 serving as a magnetic generating means is positioned at the rear side of the sensor IC 18.
9 and two circuit boards 20a and 20b. The first and second magnetic detecting elements 16 and 17 are arranged vertically when viewed from the front. Among them, the first magnetic detecting element 16 is for detecting a reference position signal, and the second magnetic detecting element 1
Reference numeral 7 is for detecting a rotation signal. Two circuit boards 20
Of the circuits a and 20b, the circuit board 20b positioned above is provided with a plurality of output adjusting volumes 21.
【0015】このセンサユニット14は、後部の挿入用
開口部5から収納部3内に挿入され、ホルダ15を挿入
用開口5部側からねじ22を締め付けることにより、収
納部3内に固定状態に配設されている。この配設状態
で、第1及び第2の磁気検出素子16,17は上記プレ
ート8の内面に密着されている。なお、ケース2には、
上記ボリューム21に対応する部位に開口が形成されて
いると共に、この開口を閉鎖するカバー24がねじ25
により取り付けられている。また、ケース2の後部に
も、挿入用開口部5を閉鎖するように後部カバー26が
ねじ27により取り付けられている。The sensor unit 14 is inserted into the storage section 3 through the rear insertion opening 5 and the holder 15 is fixed in the storage section 3 by tightening the screw 22 from the insertion opening 5 side. It is arranged. In this arrangement state, the first and second magnetic detecting elements 16 and 17 are in close contact with the inner surface of the plate 8. In case 2,
An opening is formed in a portion corresponding to the volume 21, and a cover 24 for closing the opening is provided with a screw 25.
It is attached by. A rear cover 26 is also attached to the rear of the case 2 with screws 27 so as to close the insertion opening 5.
【0016】このように構成された磁気センサ1は、ね
じ28によりステー29に取り付けられ、このステー2
9をねじ30(図3の二点鎖線参照)により取付部31
(図4の二点鎖線参照)に固定することにより、被検出
体である回転体32の近傍に配置される。この場合、磁
気センサ1のケース2とステー29との間には、図4に
示すように、磁気センサ1を回転体32から遠ざける方
向に付勢する圧縮コイルばね33と、位置調整ねじ34
とが設けられていて、この位置調整ねじ34を回転させ
て螺進退させることにより、回転体32に対する磁気セ
ンサ1の位置、ひいては回転体32の外周部と磁気セン
サ1の検出面8aとの間のギャップ35を調整できる構
成となっている。ここで、ステー29と、圧縮コイルば
ね33と、位置調整ねじ34とにより、磁気センサ1の
位置調整機構36を構成している。The magnetic sensor 1 thus constructed is attached to a stay 29 by screws 28,
9 is attached to the mounting portion 31 with a screw 30 (see a two-dot chain line in FIG. 3).
4 (see the two-dot chain line in FIG. 4), it is arranged in the vicinity of the rotating body 32 which is the detection target. In this case, between the case 2 of the magnetic sensor 1 and the stay 29, as shown in FIG. 4, a compression coil spring 33 for urging the magnetic sensor 1 in a direction away from the rotating body 32, and a position adjusting screw 34
By rotating the position adjusting screw 34 to advance and retreat, the position of the magnetic sensor 1 with respect to the rotating body 32, that is, between the outer peripheral portion of the rotating body 32 and the detection surface 8 a of the magnetic sensor 1 is provided. The gap 35 can be adjusted. Here, the stay 29, the compression coil spring 33, and the position adjusting screw 34 constitute a position adjusting mechanism 36 of the magnetic sensor 1.
【0017】上記回転体32は、磁性体製であり、外周
部に山形の凸部37aを1個のみ有する基準位置信号発
生部37と、外周部に山形の多数個の凸部38aを等間
隔で有する回転信号発生部38とを上下に有していて、
例えば図示しないモータの回転軸にこれと一体に回転す
るように取り付けられている。この場合、基準位置信号
発生部37の凸部37aの下部には、回転信号発生部3
8との間に隙間を形成するための切欠部39(図4参
照)が形成されている。そして、上記磁気センサ1は、
第1の磁気検出素子16が基準位置信号発生部37と、
第2の磁気検出素子17が回転信号発生部38とそれぞ
れ検出面8aを介して外周部から対向するように配置さ
れる。The rotating body 32 is made of a magnetic material, and includes a reference position signal generating section 37 having only one mountain-shaped projection 37a on the outer periphery, and a plurality of mountain-shaped projections 38a on the outer periphery at equal intervals. And the rotation signal generation unit 38 having
For example, it is attached to a rotating shaft of a motor (not shown) so as to rotate integrally therewith. In this case, the rotation signal generator 3 is provided below the convex portion 37a of the reference position signal generator 37.
A notch 39 (see FIG. 4) for forming a gap between the notch 8 and the groove 8 is formed. And the magnetic sensor 1 is
The first magnetic detection element 16 includes a reference position signal generator 37,
The second magnetic detecting element 17 is arranged so as to face the rotation signal generating section 38 from the outer peripheral portion via the detecting surface 8a.
【0018】上記構成において、回転体32が回転する
と、第1及び第2の磁気検出素子16,17に鎖交する
磁束が変化し、これに伴いこれら第1及び第2の磁気検
出素子16,17から出力される出力信号が変化するの
で、この出力信号の変化を検出することにより、回転体
32、ひいてはモータの回転数などを検出することがで
きる。In the above configuration, when the rotating body 32 rotates, the magnetic flux linked to the first and second magnetic detecting elements 16 and 17 changes, and accordingly, the first and second magnetic detecting elements 16 and 17 change. Since the output signal output from 17 changes, by detecting the change in the output signal, it is possible to detect the rotation speed of the rotating body 32, and thus the motor.
【0019】上記した実施例によれば、磁気センサ1に
おいて、ケース2の検出面となる部位に開口部4を形成
し、この開口部4を覆うように、薄板状のプレート8を
ケース2の前面に固着する構成としているので、薄肉部
を切削加工する場合に比べて、製作が容易にできる。ま
た、そのプレート8は、ねじ13によりケース2に機械
的に固着しているので、プレートを接着剤により貼り付
ける場合とは違い、ケース2内にセンサユニット14を
組み込んだりする際、或いは、使用に伴う経年変化によ
って、そのプレート8が剥がれてしまうことを防止でき
る。According to the above-described embodiment, in the magnetic sensor 1, the opening 4 is formed in a portion to be the detection surface of the case 2, and the thin plate 8 is attached to the case 2 so as to cover the opening 4. Since it is configured to be fixed to the front surface, it can be easily manufactured as compared with a case where a thin portion is cut. Further, since the plate 8 is mechanically fixed to the case 2 by the screws 13, unlike the case where the plate is affixed with an adhesive, when the sensor unit 14 is incorporated in the case 2 or when the sensor unit 14 is used. It is possible to prevent the plate 8 from being peeled off due to aging caused by the above.
【0020】また、開口部4の周縁部である枠部6とプ
レート8の内面との間にシール材10を介在させた構成
としたので、ケース2に開口部4を形成しながらも、気
密性を保持できて、開口部4側からケース2内に水や埃
などが侵入することを防止できるようになる。Further, since the seal member 10 is interposed between the frame 6 which is the peripheral portion of the opening 4 and the inner surface of the plate 8, the case 2 is airtight while the opening 4 is formed. Thus, it is possible to prevent water and dust from entering the case 2 from the opening 4 side.
【0021】さらに、プレート8の前面側に、当該プレ
ート8の周縁部を前面から押さえ付ける枠状のフレーム
11を設けた構成としたので、プレート8の周縁部を極
力均等に押え付けることができ、プレート8を一層良好
に取り付けることができるようになる。Further, since the frame-shaped frame 11 for pressing the peripheral edge of the plate 8 from the front is provided on the front side of the plate 8, the peripheral edge of the plate 8 can be pressed as uniformly as possible. , Plate 8 can be attached more favorably.
【0022】本発明は、上記した実施例にのみ限定され
るものではなく、次のように変形または拡張することが
できる。磁気検出素子16,17としては、磁気抵抗素
子に代えて、ホール素子を用いることもできる。プレー
ト8をケース2に固着する機械的固着手段としては、ね
じ13に代えて、リベット、或いは、かしめであっても
良い。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified or expanded as follows. As the magnetic detection elements 16 and 17, Hall elements can be used instead of the magnetoresistive elements. The mechanical fixing means for fixing the plate 8 to the case 2 may be a rivet or a caulking instead of the screw 13.
【0023】[0023]
【発明の効果】請求項1の磁気センサによれば、ケース
の検出面となる部位に開口部を形成し、この開口部を覆
うように、薄板状のプレートをケースの前面に固着する
構成としているので、薄肉部を切削加工する場合に比べ
て、製作が容易にできる。また、そのプレートは、機械
的固着手段によりケースに固着しているので、プレート
を接着剤により貼り付ける場合とは違い、そのプレート
が剥がれてしまうことを防止できる。According to the magnetic sensor of the present invention, an opening is formed in a portion to be a detection surface of the case, and a thin plate is fixed to the front surface of the case so as to cover the opening. Therefore, the production can be facilitated as compared with a case where a thin portion is cut. Further, since the plate is fixed to the case by mechanical fixing means, it is possible to prevent the plate from being peeled, unlike the case where the plate is attached with an adhesive.
【0024】請求項2の磁気センサによれば、ケースに
開口部を形成しながらも、その開口部側からケース内に
水や埃などが侵入することを防止できる。請求項2の磁
気センサによれば、プレートの周縁部を極力均等に押え
付けることができるようになり、プレートを一層良好に
取り付けることができるようになる。According to the magnetic sensor of the second aspect, it is possible to prevent water and dust from entering the case from the opening side while forming the opening in the case. According to the magnetic sensor of the second aspect, the peripheral edge of the plate can be pressed as evenly as possible, and the plate can be mounted more favorably.
【図1】本発明の一実施例を示す要部の分解斜視図FIG. 1 is an exploded perspective view of a main part showing one embodiment of the present invention.
【図2】磁気センサの正面図FIG. 2 is a front view of a magnetic sensor.
【図3】横断平面図FIG. 3 is a cross-sectional plan view
【図4】縦断側面図FIG. 4 is a longitudinal side view.
1は磁気センサ、2はケース、4は開口部、8はプレー
ト、8aは検出面、10はシール材、11はフレーム、
13はねじ(機械的固着手段)、16,17は第1、第
2の磁気検出素子(磁気検出素子)、19はバイアスマ
グネット、32は回転体、37は基準位置信号発生部、
38は回転信号発生部を示す。1 is a magnetic sensor, 2 is a case, 4 is an opening, 8 is a plate, 8a is a detection surface, 10 is a sealing material, 11 is a frame,
13 is a screw (mechanical fixing means), 16 and 17 are first and second magnetic detecting elements (magnetic detecting elements), 19 is a bias magnet, 32 is a rotating body, 37 is a reference position signal generator,
Reference numeral 38 denotes a rotation signal generator.
Claims (3)
スと、 前記開口部を前面から覆うように前記ケースの前面に配
置された薄板状のプレートと、 このプレートを前記ケースに固着する機械的固着手段
と、 前記ケースの内部に前記プレートに対向するように配設
された磁気検出素子とを具備したことを特徴とする磁気
センサ。1. A case having an opening at a portion serving as a detection surface, a thin plate disposed on a front surface of the case so as to cover the opening from the front, and a machine for fixing the plate to the case. A magnetic sensor, comprising: a target fixing means; and a magnetic detection element disposed inside the case so as to face the plate.
ル材を介在させたことを特徴とする請求項1記載の磁気
センサ。2. The magnetic sensor according to claim 1, wherein a sealing material is interposed between the peripheral portion of the opening and the plate.
縁部を前面から押え付ける枠状のフレームを設けたこと
を特徴とする請求項1または2記載の磁気センサ。3. The magnetic sensor according to claim 1, wherein a frame-like frame for pressing a peripheral portion of the plate from the front side is provided on a front side of the plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11103641A JP2000292507A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11103641A JP2000292507A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000292507A true JP2000292507A (en) | 2000-10-20 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP11103641A Pending JP2000292507A (en) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | Magnetic sensor |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2000292507A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103134525A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-05 | 发那科株式会社 | Magnetic encoder |
-
1999
- 1999-04-12 JP JP11103641A patent/JP2000292507A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103134525A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-05 | 发那科株式会社 | Magnetic encoder |
DE102012022924A1 (en) | 2011-12-02 | 2013-06-06 | Fanuc Corporation | MAGNETIC SENSOR WITH THIN DETECTING SURFACE |
JP2013117429A (en) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Fanuc Ltd | Magnetic encoder with thin detection surface |
US8860406B2 (en) | 2011-12-02 | 2014-10-14 | Fanuc Corporation | Magnetic encoder having thin detection surface |
DE102012022924B4 (en) | 2011-12-02 | 2020-07-09 | Fanuc Corporation | MAGNETIC METER WITH THIN DETECTING SURFACE |
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