JP2000286277A - Vacuum printer and vacuum printing method - Google Patents
Vacuum printer and vacuum printing methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空印刷装置及び
真空印刷方法に係り、特に各種電子機器に利用されるプ
リント配線基板の孔埋めや配線基板上に搭載された各種
電子部品及び半導体素子等の封止を行って電子部品を製
造する真空印刷装置及び真空印刷方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method, and more particularly, to filling holes in a printed wiring board used for various electronic devices, various electronic components mounted on the wiring board, and semiconductor elements. The present invention relates to a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method for manufacturing an electronic component by performing sealing.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、プリント配線板の孔埋め方法や基
板上に搭載された半導体素子等の封止方法が種々案出さ
れている。これらの方法の中で孔版を用いて印刷を行
い、孔埋めや封止を行う方法は封止形状の安定性が図
れ、量産性及び装置の経済性の面で優れているためよく
用いられる。孔版を用いた印刷方法を通常の大気圧下で
行う場合には樹脂中又は基板や部品等と樹脂との間に気
泡が残存し、そのまま樹脂を硬化した場合には気泡が残
存するため品質上の不具合を生ずる。従って、これらの
不具合を解消するためには、印刷後に真空又は減圧手段
を用いてこれらの残存気泡を除外させる脱泡工程を必要
とする。2. Description of the Related Art Conventionally, various methods have been devised for filling holes in printed wiring boards and for sealing semiconductor elements mounted on a substrate. Among these methods, a method of performing printing using a stencil and performing filling and sealing is often used because the sealing shape can be stabilized, and mass production and the economical efficiency of the apparatus are excellent. When the printing method using a stencil is performed under normal atmospheric pressure, air bubbles remain in the resin or between the substrate and the parts and the resin, and when the resin is cured as it is, the air bubbles remain, so that quality is reduced. Causes a problem. Therefore, in order to eliminate these inconveniences, a defoaming step for eliminating these remaining air bubbles by using a vacuum or a pressure reducing means after printing is required.
【0003】また、基板に水分等が含まれていた場合で
あっても、この脱泡工程を行うことで基板に含まれる水
分の除去も可能であると考えられるが、これらの除去を
重視し、余り高い真空度(例えば、30torr以下)
で長時間(例えば、10分以上)脱泡工程を行うと封止
樹脂形状の崩れ等外観上の不具合を生ずる。よって、通
常、脱泡工程は低い真空度(例えば、30torr以
下)下で、且つ短時間(例えば、2〜10分)で行わ
れ、樹脂中に残存すると著しくパッケージングの信頼性
の低下を招くような大きさの気泡のみを除去する程度に
抑えられていた。[0003] Further, even if the substrate contains moisture or the like, it is considered that by performing this defoaming step, it is possible to remove moisture contained in the substrate. , Too high vacuum (for example, 30 torr or less)
If the defoaming step is performed for a long time (for example, 10 minutes or more), appearance defects such as collapse of the sealing resin shape occur. Therefore, the defoaming step is usually performed under a low degree of vacuum (for example, 30 torr or less) and in a short time (for example, 2 to 10 minutes), and if it remains in the resin, the reliability of the packaging is significantly reduced. It was suppressed to such an extent that only bubbles having such a size were removed.
【0004】一方、孔版を用いて印刷を真空下で行う真
空印刷方法も案出されている。前述したように、通常の
大気圧下で行う印刷方法では、封止後の脱泡工程におけ
る真空度として30torr程度の真空度しか用いるこ
とができなかったが、真空印刷方法では、真空下で樹脂
を印刷する前後に亘って孔版と基板とが接触した状態で
印刷を行なっており、封止樹脂の形状を崩すことがない
ため、0.01〜30torr以下の高い真空度を用い
ることができる。よって、真空印刷方法を用いた場合に
はより小さい気泡を脱泡することができるとともに、水
分の除去等も行うことができるという利点を有する。On the other hand, a vacuum printing method in which printing is performed under vacuum using a stencil has been proposed. As described above, in a printing method performed under normal atmospheric pressure, only a degree of vacuum of about 30 torr can be used as a degree of vacuum in a defoaming step after sealing. Since printing is performed in a state where the stencil and the substrate are in contact with each other before and after printing, and the shape of the sealing resin is not destroyed, a high degree of vacuum of 0.01 to 30 torr or less can be used. Therefore, when the vacuum printing method is used, there is an advantage that smaller bubbles can be removed and moisture can be removed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一般的に、半導体素子
等の電子部品を封止する場合には、電子部品を大気下で
基板に搭載するが、電子部品が基板に搭載されてから真
空印刷による封止を行うまでの間に基板の構成材料(例
えば基板自体の吸湿、スルーホール部内の充填物の吸
湿、電子部品を基板に固定するためのダイボンド用接着
剤)の吸湿がある。また、フリップチップにおいては、
バンプを導電性ペーストで接続した場合のペースト部分
の吸湿、バンプを異方導電性ペースト又は異方導電性シ
ートで接続固定した場合等の有機物の存在する部分での
吸湿がある。更に、電子部品の固定等に使用される有機
材料には、残存揮発性物質(例えば、溶剤又は低沸点成
分等)が含まれる。Generally, when an electronic component such as a semiconductor element is sealed, the electronic component is mounted on a substrate in the atmosphere. However, after the electronic component is mounted on the substrate, vacuum printing is performed. Until the sealing is performed, there is moisture absorption of constituent materials of the substrate (for example, moisture absorption of the substrate itself, moisture absorption of the filler in the through-hole portion, and die bonding adhesive for fixing the electronic component to the substrate). In flip chips,
There is moisture absorption in a portion where an organic substance exists, such as when the bump is connected with a conductive paste and when the bump is connected and fixed with an anisotropic conductive paste or an anisotropic conductive sheet. Furthermore, organic materials used for fixing electronic components and the like include residual volatile substances (eg, solvents or low-boiling components).
【0006】前述したように、真空封止方法は高い真空
度下において封止可能であることが利点であるが、湿気
や残存揮発性物質が含まれている電子部品を高い真空度
の雰囲気下に配すると、沸点降下、蒸気圧上昇が生じて
これらが蒸発、気化、又は昇華してガスとなり真空雰囲
気中に放出される。As described above, the vacuum sealing method has an advantage that sealing can be performed under a high degree of vacuum. However, an electronic component containing moisture or a residual volatile substance is removed under an atmosphere of a high degree of vacuum. , A boiling point drop and a rise in vapor pressure occur, and these are evaporated, vaporized, or sublimated to become gas and released into a vacuum atmosphere.
【0007】ところで、電子部品を真空雰囲気下に配し
た場合に、これらが即座にガスとなって真空雰囲気中に
放出される訳ではない。よって、湿気や残存揮発性物質
が完全に真空雰囲気中に放出される前に真空印刷方法を
用いて電子部品の封止を行うと、湿気や残存揮発性物質
は封止樹脂中に放出されることとなる。この場合、封止
樹脂の粘度、粘度比により封止樹脂中に放出された湿気
や残存揮発性物質は、封止樹脂中で気泡となり、樹脂中
を浮上していき、樹脂表面に至って破泡し、真空雰囲気
中に放出されることになるので、封止樹脂中に放出され
た湿気や残存揮発性物質を完全に除去するにはかなりの
時間を要する。When electronic components are placed in a vacuum atmosphere, they do not immediately become gas and are released into the vacuum atmosphere. Therefore, when the electronic component is sealed using the vacuum printing method before the moisture and the remaining volatile substances are completely released into the vacuum atmosphere, the moisture and the remaining volatile substances are released into the sealing resin. It will be. In this case, the moisture and residual volatile substances released into the sealing resin due to the viscosity and the viscosity ratio of the sealing resin become bubbles in the sealing resin, float on the resin, and break down to the resin surface. Since the gas is released into a vacuum atmosphere, it takes a considerable time to completely remove moisture and residual volatile substances released into the sealing resin.
【0008】真空印刷方法においても、製造コストの面
から各々の工程が短縮されるのが好ましく、電子部品を
封止する工程は通常2〜10分程度である。この時間の
中で、電子部品が真空状態にある時間は1〜8分程度で
あることから、封止樹脂中に放出された湿気や残存揮発
性物質を完全に除去することは困難である。湿気や残存
揮発性物質が封止樹脂中に放出された状態は、封止樹脂
中に気泡が形成された状態であり、パッケージの信頼性
低下の問題が生ずる。In the vacuum printing method as well, it is preferable that each step be shortened from the viewpoint of manufacturing cost, and the step of sealing the electronic component is usually about 2 to 10 minutes. During this time, the time during which the electronic component is in a vacuum state is about 1 to 8 minutes, so it is difficult to completely remove moisture and residual volatile substances released into the sealing resin. The state in which the moisture and the remaining volatile substances are released into the sealing resin is a state in which bubbles are formed in the sealing resin, which causes a problem of lowering the reliability of the package.
【0009】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、製造効率の低下及び多額の設備投資を招くこと
なく封止樹脂中に残存する気泡を減少させることにより
パッケージの信頼性を向上することができる真空印刷装
置及び真空印刷方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and improves the reliability of a package by reducing bubbles remaining in a sealing resin without reducing manufacturing efficiency and incurring a large capital investment. It is an object of the present invention to provide a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method that can perform the printing.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明による真空印刷装置は、被印刷物の印刷を真
空下で行う真空印刷装置であって、前記被印刷物を乾燥
する乾燥室と、前記乾燥室の後段に設けられ、真空下で
被印刷物に樹脂を印刷供給する印刷室とを具備すること
を特徴とする。また、本発明による真空印刷装置は、前
記印刷室と前記乾燥室との間に設けられ、第1の開閉扉
を介して前記印刷室と分離又は開放されるとともに、第
2の開閉扉を介して前記乾燥室から配された被印刷物を
搬入する搬送室を具備することを特徴とする。また、本
発明による真空印刷装置は、前記搬送室が、前記被印刷
物を真空乾燥により乾燥することを特徴とする。また、
本発明による真空印刷装置は、前記乾燥室が、前記被印
刷物を熱風乾燥により乾燥することを特徴とする。ま
た、本発明による真空印刷装置は、前記印刷室が、孔版
を用いスキージによって樹脂を印刷する印刷機を備え、
前記スキージは2本設けられ、往路印刷を行う場合と復
路印刷を行う場合に異なるスキージを用いて印刷を行う
ことを特徴とする。本発明による真空印刷方法は、被印
刷物の印刷を真空下で行う真空印刷方法であって、前記
被印刷物を乾燥する乾燥工程と、前記乾燥工程後、真空
下で被印刷物に樹脂を印刷供給する印刷工程とを有する
ことを特徴とする。また、本発明による真空印刷方法
は、前記乾燥工程が、真空乾燥を行う工程であることを
特徴とする。また、本発明による真空印刷方法は、前記
乾燥工程が、熱風乾燥を行う工程であることを特徴とす
る。また、本発明による真空印刷方法は、前記印刷工程
が、往路印刷時、往路印刷終了時以降復路印刷開始時ま
での間、及び復路印刷時においてそれぞれ任意の真空度
に設定、保持して行う工程であることを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a vacuum printing apparatus according to the present invention is a vacuum printing apparatus for printing a printing material under a vacuum, comprising: a drying chamber for drying the printing material; A printing chamber provided downstream of the drying chamber and for supplying a resin to a substrate under vacuum. Further, the vacuum printing apparatus according to the present invention is provided between the printing chamber and the drying chamber, is separated or opened from the printing chamber via a first opening / closing door, and is provided via a second opening / closing door. And a transfer chamber for carrying the printing medium provided from the drying chamber. The vacuum printing apparatus according to the present invention is characterized in that the transfer chamber dries the printing object by vacuum drying. Also,
The vacuum printing apparatus according to the present invention is characterized in that the drying chamber dries the printing material by hot air drying. Further, the vacuum printing apparatus according to the present invention, wherein the printing chamber includes a printing machine that prints a resin with a squeegee using a stencil,
Two squeegees are provided, and printing is performed using different squeegees when performing forward printing and returning printing. The vacuum printing method according to the present invention is a vacuum printing method in which printing of a printing material is performed under vacuum, and a drying step of drying the printing material, and after the drying process, printing and supplying a resin to the printing material under vacuum. And a printing step. In the vacuum printing method according to the present invention, the drying step is a step of performing vacuum drying. In the vacuum printing method according to the present invention, the drying step is a step of performing hot air drying. Further, in the vacuum printing method according to the present invention, the printing step is performed by setting and holding an arbitrary degree of vacuum at the time of forward printing, between the end of forward printing and the start of backward printing, and at the time of backward printing. It is characterized by being.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態による真空印刷装置及び真空印刷方法について詳
細に説明する。 〔第1実施形態〕図1は、本発明の第1実施形態による
真空印刷方法が適用される本発明の第1実施形態による
真空印刷装置の構成の概略を示す側面図である。ただ
し、理解を容易にするため、断面図を織り交ぜて記載し
ている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a vacuum printing apparatus and a vacuum printing method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 1 is a side view schematically showing the configuration of a vacuum printing apparatus according to a first embodiment of the present invention to which the vacuum printing method according to the first embodiment of the present invention is applied. However, in order to facilitate understanding, cross-sectional views are interlaced.
【0012】図1に示されたように、本発明の第1実施
形態による真空印刷装置は、被印刷物を搬入する搬入室
10と、被印刷物を印刷する印刷室20と、印刷された
被印刷物を搬出する搬出室30とを備える。搬入室10
は、外部から被印刷物を搬入する運搬口11と、搬入し
た被印刷物を印刷室に搬出する運搬口12を備える。運
搬口12によって搬入室10内部と印刷室20内部とが
貫通している。また、この搬入室10は封止前の被印刷
物の真空乾燥を行うための乾燥室としても兼用される。
搬出室30は、印刷室20から被印刷物を搬入する運搬
口31と被印刷物を外部へ搬出する運搬口32とを備え
る。運搬口31によって搬出室30内部と印刷室20内
部とが貫通している。As shown in FIG. 1, a vacuum printing apparatus according to a first embodiment of the present invention includes a loading chamber 10 for loading a printing material, a printing chamber 20 for printing a printing material, and a printed printing material 20. And an unloading chamber 30 for unloading. Loading room 10
Is provided with a carrying port 11 for carrying in the printing material from outside, and a carrying port 12 for carrying out the carried printing material to the printing room. The inside of the carry-in room 10 and the inside of the printing room 20 penetrate through the carrying port 12. The loading chamber 10 is also used as a drying chamber for performing vacuum drying of the printing material before sealing.
The carry-out chamber 30 is provided with a transport port 31 for carrying in the printing material from the printing room 20 and a transport port 32 for carrying out the printing material to the outside. The inside of the carry-out room 30 and the inside of the printing room 20 penetrate through the carrying port 31.
【0013】運搬口11には、外部と搬入室10とを遮
断(分離)又は開放するための開閉扉13が設けられ、
運搬口12には、搬入室10と印刷室20とを遮断(分
離)又は開放するための開閉扉14が設けられる。ま
た、運搬口31には、印刷室20と搬出室30とを遮断
(分離)又は開放するための開閉扉33が設けられ、運
搬口32には、搬出30と外部とを遮断(分離)又は開
放するための開閉扉34が設けられる。開閉扉13,1
4,33,34は、内外部の気圧差に耐えられる構造と
なっている。例えば気密性を保持できるシーリングが施
されている。開閉扉13,14,33,34が閉状態で
ある場合、搬入室10、印刷室20、及び搬出室30は
密封され、気密性を保持できる。本実施形態では、上述
のように搬入室10を真空乾燥室として兼用しており、
この搬入室が被印刷物の湿気や残存揮発性物質を除去す
るために用いられるので、0.1torr程度の真空度
に耐える耐圧構造とすることが好ましい。An opening / closing door 13 for shutting off (separating) or opening the outside and the loading room 10 is provided at the transport opening 11.
The transport opening 12 is provided with an opening / closing door 14 for shutting off (separating) or opening the carry-in room 10 and the printing room 20. In addition, an opening / closing door 33 for shutting off (separating) or opening the printing room 20 and the unloading room 30 is provided in the transport opening 31, and the opening 30 is shut off (separating) between the unloading 30 and the outside in the transport opening 32. An opening / closing door 34 for opening is provided. Door 13,1
4, 33, 34 have a structure that can withstand the pressure difference between the inside and outside. For example, sealing that can maintain airtightness is provided. When the doors 13, 14, 33, 34 are in the closed state, the carry-in room 10, the printing room 20, and the carry-out room 30 are sealed, and airtightness can be maintained. In the present embodiment, the loading chamber 10 is also used as a vacuum drying chamber as described above,
Since the loading chamber is used for removing moisture and residual volatile substances from the printing material, it is preferable that the loading chamber has a pressure-resistant structure that can withstand a degree of vacuum of about 0.1 torr.
【0014】また、搬入室10、印刷室20、及び搬出
室30内、及び装置の外部には被印刷物を搬送するため
のベルトコンベア40,41,42,43,44が一直
線状に配置され、被印刷物1,2,3を搬送する。尚、
上記1,2,3は、被印刷物そのものではなく、例えば
被印刷物を載置した治具板であってもよい。また、ベル
トコンベア40,41,42,43,44は、例えばロ
ーラ回転機構を備えた送り装置であってもよい。尚、被
印刷物としては、樹脂が充填される孔を有する基板、樹
脂で封止される半導体が搭載された基板、樹脂で封止さ
れる電子部品等がある。Belt conveyors 40, 41, 42, 43, and 44 for transporting a printing material are arranged in a straight line in the loading chamber 10, the printing chamber 20, and the unloading chamber 30, and outside the apparatus. The substrates 1, 2, 3 are conveyed. still,
The above-mentioned 1, 2 and 3 are not the print material itself, but may be, for example, a jig plate on which the print material is placed. In addition, the belt conveyors 40, 41, 42, 43, 44 may be, for example, a feeder provided with a roller rotation mechanism. In addition, examples of the substrate include a substrate having a hole filled with resin, a substrate on which a semiconductor sealed with resin is mounted, and an electronic component sealed with resin.
【0015】前述した搬入室10、印刷室20、及び搬
出室30にはバルブ53を備えた吸気管50、バルブ5
4を備えた吸気管51、バルブ55を備えた吸気管52
がそれぞれ備えられている。搬入室10、印刷室20、
及び搬出室30が真空状態にある場合、バルブ53,5
4,55を開状態とすることで、搬入室10、印刷室2
0、及び搬出室30内部の気圧を大気圧とすることがで
きる。In the above-described carry-in room 10, printing room 20, and carry-out room 30, an intake pipe 50 provided with a valve 53, a valve 5
, An intake pipe 51 with a valve 55
Are provided. Loading room 10, printing room 20,
And when the discharge chamber 30 is in a vacuum state, the valves 53, 5
4 and 55 are opened, so that the loading room 10 and the printing room 2
0 and the pressure inside the carry-out chamber 30 can be set to the atmospheric pressure.
【0016】また、搬入室10、印刷室20、及び搬出
室30には、バルブ57,58,59が設けられ、真空
ポンプ60に接続された配管56が接続されてる。よっ
て、真空ポンプ60が稼働状態である場合に、バルブ5
7,58,59を開状態とすることで、搬入室10、印
刷室20、及び搬出室30それぞれを真空状態とするこ
とができる。よってバルブ53,54,55,57,5
8,59の開度を調整することで搬入室10、印刷室2
0、及び搬出室30内の真空度を任意に設定することが
できる。特に、搬入室10は真空乾燥を行うためにも用
いられているため、搬入室10の真空度を任意に設定で
きることは好適である。尚、図1では、真空ポンプ60
がバルブ57,58,59を介して直接搬入室10、印
刷室20、及び搬出室30に接続されているが、必要に
応じて搬入室10、印刷室20、及び搬出室30と真空
ポンプ60との間にタンクを設けて所定の真空度に到達
するまでの時間短縮を図ってもよい。The carry-in room 10, the printing room 20, and the carry-out room 30 are provided with valves 57, 58, 59, and connected to a pipe 56 connected to a vacuum pump 60. Therefore, when the vacuum pump 60 is operating, the valve 5
By setting 7, 58, 59 to the open state, each of the carry-in room 10, the printing room 20, and the carry-out room 30 can be in a vacuum state. Therefore, the valves 53, 54, 55, 57, 5
The carry-in room 10 and the printing room 2 are adjusted by adjusting the opening degree of 8,59.
0 and the degree of vacuum in the carry-out chamber 30 can be arbitrarily set. In particular, since the loading room 10 is also used for performing vacuum drying, it is preferable that the degree of vacuum of the loading room 10 can be arbitrarily set. In FIG. 1, the vacuum pump 60
Are directly connected to the carry-in room 10, the printing room 20, and the carry-out room 30 via the valves 57, 58, 59, and if necessary, the carry-in room 10, the print room 20, the carry-out room 30 and the vacuum pump 60 are connected. And a tank may be provided between them to shorten the time required to reach a predetermined degree of vacuum.
【0017】次に、印刷室20の内部について詳細に説
明する。図1において、21は、後述するテーブル22
の昇降及び静止を行うテーブル昇降装置であり、必要に
応じて昇降速度及び任意の位置で任意の時間静止できる
機能を備えていても良い。また、テーブル昇降装置21
の代わりに印刷孔版を昇降させる装置を用いることも可
能である。この場合においても上記機構を備えることが
可能である。Next, the inside of the printing room 20 will be described in detail. In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a table 22 described later.
It is a table elevating device for raising and lowering and stopping the table, and may have a function of stopping at an elevating speed and an arbitrary position for an arbitrary time if necessary. Also, the table elevating device 21
It is also possible to use a device for raising and lowering the printing stencil instead of. In this case, the above mechanism can be provided.
【0018】22は印刷機のテーブルであり、被印刷物
2が治具板に搭載されている場合、又は被印刷物自体を
搬送する際には特に必要としない。また、必要に応じて
被印刷物2加温できるようにヒータ(図示せず)を内蔵
したり、又はテーブル上面にヒータを設置しても良い。
23は印刷用の孔版であり、被印刷物2の樹脂供給部分
に対応する位置に供給寸法に対応した大きさ及び形状の
孔が、供給部に対応する数で設けられている。図1にお
いては、孔23a,23b,23cが設けられている。Reference numeral 22 denotes a table of the printing press, which is not particularly necessary when the printing material 2 is mounted on a jig plate or when the printing material itself is transported. Further, a heater (not shown) may be built-in so as to heat the print substrate 2 as necessary, or a heater may be provided on the upper surface of the table.
Reference numeral 23 denotes a stencil plate for printing, in which holes having a size and a shape corresponding to the supply dimensions are provided at positions corresponding to the resin supply portion of the print substrate 2 in a number corresponding to the supply unit. In FIG. 1, holes 23a, 23b and 23c are provided.
【0019】24はスキージ移動装置であり、印刷室2
0内に水平に設置された移動レール25に沿って図中符
号H1が付された方向又は符号H2が付された方向に往
復運動可能に構成され、スキージ26a,26bを符
号、H1が付された方向又は符号H2が付された方向に
往復運動させる。また、スキージ移動装置24は、スキ
ージ26a,26bを符号V1が付された方向又は符号
V2が付された方向に往復運動させ、スキージ16a,
26bの垂直位置の調整を行うとともに、スキージ26
a,26bと孔版23との距離の調整と接触圧の調整と
を行うものである。Reference numeral 24 denotes a squeegee moving device.
It is configured to be able to reciprocate in the direction indicated by reference numeral H1 or in the direction indicated by reference numeral H2 along the moving rail 25 horizontally installed in the squeegee, and the reference numerals H1 are applied to the squeegees 26a and 26b. Reciprocating in the direction indicated by H2 or in the direction indicated by the symbol H2. In addition, the squeegee moving device 24 reciprocates the squeegees 26a and 26b in the direction indicated by the reference sign V1 or in the direction indicated by the reference sign V2.
The vertical position of the squeegee 26b is adjusted.
The adjustment of the distance between the a and 26b and the stencil 23 and the adjustment of the contact pressure are performed.
【0020】次に、スキージ26a,26bと孔版23
との関係について説明する。スキージ26a,26bと
孔版23との接触角θは、被印刷物の孔部へ樹脂を押し
込み充填するために90゜より小さい角度にした方が好
ましい。つまり、スキージ26a,26bの先端が鋭角
でなく90°に近い場合には、スキージ26a,26b
自体を傾斜させて接触角θを90°以下にする必要があ
る。また、スキージ26a,26bの先端が鋭角である
場合には、スキージ26a,26bは垂直に配置されて
いても接触角θが90°以下になる。本実施形態におい
ては、印刷はスキージ移動装置24が図中符号H1が付
された方向へ移動する場合と、符号H2が付された方向
へ移動する場合との両方においてなされるため、2本の
スキージ26a,26bが対向して設けられている。Next, the squeegees 26a and 26b and the stencil 23
Will be described. The contact angle θ between the squeegees 26a and 26b and the stencil 23 is preferably set to an angle smaller than 90 ° so that the resin is pushed into the holes of the printing material and filled. That is, when the tips of the squeegees 26a, 26b are not acute angles but close to 90 °, the squeegees 26a, 26b
It is necessary to make the contact angle θ 90 ° or less by tilting itself. When the tips of the squeegees 26a and 26b are acute angles, the contact angle θ is 90 ° or less even if the squeegees 26a and 26b are vertically arranged. In the present embodiment, printing is performed in both the case where the squeegee moving device 24 moves in the direction indicated by reference numeral H1 and the case where the squeegee moving device 24 moves in the direction indicated by reference numeral H2. Squeegees 26a and 26b are provided to face each other.
【0021】27は、印刷室20内の孔版23上へ適宜
樹脂を供給するための樹脂供給装置であり、印刷室20
の外部において樹脂供給装置に樹脂が補充されるもので
ある。この装置は必要に応じて樹脂を加温できるように
加温装置(図示せず)を装備してもよい。また、樹脂供
給装置27は、印刷室20外部に設けられているが、こ
れは樹脂の供給は構造上必ず印刷室内の孔版上に供給す
る必要があり、当該印刷室が常時真空に近い状態である
ため、印刷室外部において補充し、印刷室20内に送り
込む樹脂供給が必要となるからである。28は、樹脂供
給装置27に接続された樹脂供給ノズルであり、樹脂供
給装置27から孔版23上へ樹脂を吐出する部分であっ
て、必要に応じて樹脂を加温できる構成となっていても
よい。Reference numeral 27 denotes a resin supply device for appropriately supplying resin onto the stencil 23 in the printing room 20.
, The resin is supplied to the resin supply device outside. This device may be equipped with a heating device (not shown) so that the resin can be heated if necessary. Further, the resin supply device 27 is provided outside the printing room 20, but it is necessary to supply the resin to the stencil in the printing room due to its structure. This is because it is necessary to supply a resin that is replenished outside the printing room and fed into the printing room 20. Reference numeral 28 denotes a resin supply nozzle connected to the resin supply device 27, which is a portion for discharging the resin onto the stencil 23 from the resin supply device 27, and is configured to be able to heat the resin as necessary. Good.
【0022】尚、樹脂供給ノズル28は、スキージ26
aとスキージ26bとの間に複数個設けられていてもよ
い。また、樹脂供給ノズル28を移動可能な構成として
もよい。この場合、スキージ26a,26bが図1中符
号H1が付された方向移動し、元の位置に帰還するまで
の間に、樹脂供給ノズル28がスキージ26a,26b
の移動範囲外から移動してきてスキージの前面に位置す
る孔版23上に樹脂を吐出した後、スキージ26a,2
6bの移動範囲外の元の位置に帰還するようになる。図
1中29は孔版23上に樹脂供給ノズル28から吐出さ
れた樹脂である。吐出される位置は前進するスキージ2
6a,6bの前方に位置する孔版23の上である。Incidentally, the resin supply nozzle 28 is
A plurality may be provided between the squeegee 26a and the squeegee 26b. Further, the resin supply nozzle 28 may be configured to be movable. In this case, before the squeegees 26a and 26b move in the direction indicated by reference numeral H1 in FIG. 1 and return to their original positions, the resin supply nozzles 28 move the squeegees 26a and 26b.
After moving from outside the moving range of the squeegee and discharging the resin onto the stencil 23 located in front of the squeegee,
It returns to the original position outside the movement range of 6b. In FIG. 1, reference numeral 29 denotes a resin discharged from the resin supply nozzle 28 onto the stencil 23. Discharge position is squeegee 2 moving forward
It is on the stencil 23 located in front of 6a, 6b.
【0023】次に、本発明の第1実施形態による真空印
刷装置に適用される真空印刷方法について図1を参照し
て詳細に説明する。まず、搬入室10に関して、開閉扉
14を閉状態とし、開閉扉13を開状態とする。また、
搬出室30に関して、開閉扉34を閉状態とし、開閉扉
33を開状態とする。更に、真空ポンプ60を稼働し、
バルブ53,58,59は開状態とし、バルブ54,5
5,57を閉状態とする。このようにすることで、搬入
室10内の圧力を大気圧とし、印刷室20及び搬出室3
0を所定の真空度に調整する。Next, a vacuum printing method applied to the vacuum printing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. First, regarding the loading room 10, the opening and closing door 14 is closed, and the opening and closing door 13 is opened. Also,
Regarding the carry-out room 30, the open / close door 34 is closed and the open / close door 33 is open. Further, the vacuum pump 60 is operated,
The valves 53, 58, 59 are opened, and the valves 54, 5
5, 57 are closed. By doing so, the pressure in the carry-in chamber 10 is set to the atmospheric pressure, and the printing room 20 and the carry-out room 3
0 is adjusted to a predetermined degree of vacuum.
【0024】この状態で、ベルトコンベア40,41を
稼働し、被印刷物1を運搬口11を介して搬入室10内
部へ搬入する。被印刷物1を搬入室10内部に搬入する
と、開閉扉13を閉状態とし、バルブ53を閉状態にす
るとともにバルブ57を開状態として真空ポンプ60の
稼働により搬入室10の内部気圧を印刷室20の内部気
圧と同等にする。尚、真空室10は真空乾燥室として用
いられるため、乾燥時間短縮の観点から印刷室20より
も高い真空度に設定しても良い。In this state, the belt conveyors 40 and 41 are operated, and the printing material 1 is carried into the carry-in room 10 through the carrying port 11. When the printing medium 1 is loaded into the loading chamber 10, the open / close door 13 is closed, the valve 53 is closed, and the valve 57 is opened, and the internal pressure of the loading chamber 10 is reduced by operating the vacuum pump 60. To the internal pressure of Since the vacuum chamber 10 is used as a vacuum drying chamber, the degree of vacuum may be set higher than that of the printing chamber 20 from the viewpoint of shortening the drying time.
【0025】搬入室10の内部気圧が印刷室20の内部
気圧と同等になった後、開閉扉14を開状態とし、ベル
トコンベア41,42を駆動して被印刷物1を印刷室2
0内部に搬入する。被印刷物1がベルトコンベア42に
よって移動し、テーブル昇降装置21上の所定の位置に
達すると、テーブル昇降装置21がテーブル22を上昇
させ被印刷物1を所定の位置、つまり被印刷物2の上面
が印刷孔版23の裏面に接触する位置まで上昇させる。
図1においては、上昇後の被印刷物に符号2が付してあ
る。After the internal pressure of the loading chamber 10 becomes equal to the internal pressure of the printing chamber 20, the opening and closing door 14 is opened, and the belt conveyors 41 and 42 are driven to move the printing material 1 to the printing chamber 2.
0. When the printing object 1 is moved by the belt conveyor 42 and reaches a predetermined position on the table elevating device 21, the table elevating device 21 raises the table 22 and moves the printing object 1 to a predetermined position, that is, the upper surface of the printing material 2 is printed. It is raised to a position where it comes into contact with the back surface of the stencil 23.
In FIG. 1, the reference numeral 2 is given to the printed material after ascending.
【0026】被印刷物2が上記所定の位置まで上昇する
と、樹脂供給位置27は孔版23上のスキージ26b前
方、つまりスキージ26bに対して符号H1が付された
方向に樹脂29を吐出する。樹脂29が吐出されると、
スキージ移動装置24は、孔版23に接触するまでスキ
ージ26bを下降させ、スキージ26bが孔版23に接
触してから、図中符号H1が付された方向へ移動し、印
刷を開始する。スキージ26bが移動することにより、
樹脂29が孔版23に形成された孔23a〜23c中に
充填される。When the printing medium 2 rises to the predetermined position, the resin supply position 27 discharges the resin 29 in front of the squeegee 26b on the stencil 23, that is, in the direction indicated by the symbol H1 for the squeegee 26b. When the resin 29 is discharged,
The squeegee moving device 24 lowers the squeegee 26b until it contacts the stencil 23, and after the squeegee 26b contacts the stencil 23, moves in the direction indicated by reference numeral H1 in the figure, and starts printing. As the squeegee 26b moves,
The resin 29 is filled in the holes 23 a to 23 c formed in the stencil 23.
【0027】往路印刷(スキージ26bを図中符号H1
が付された方向へ移動させた場合の印刷)終了後から復
路印刷(スキージ26aを図中符号H2が付された方向
へ移動させた場合の印刷)の印刷開始までの間に印刷室
20内の真空度を往路印刷時の真空度よりも30tor
r以上、所定の真空度までに降下させる。尚、10to
rr程度より高い真空度や10torrに満たない真空
度で印刷した場合、樹脂中の気泡が抜けきらないことが
ある、例えば孔内、素子周縁、コイルの線間などに樹脂
未充填部が残り、これら気泡や未充填部は10torr
に満たない真空度の空気の残存部分であって、真空解除
後(常圧に戻した後)にも数ミリ程度の空気の残存した
空隙となる。この意味から好ましくは5torrより高
く、特に好ましくは1torr程度までに真空度を高め
たほうが良い。その後、印刷室20内の真空度を往路印
刷時の真空度を超えない所定の真空度に調整、保持す
る。これは、バルブ54の開閉によって調整する。上記
真空度の調整を行っている間、スキージ26bを上昇さ
せるとともにスキージ26a下降させておく。Outgoing path printing (the squeegee 26b is designated by the reference
In the printing room 20 after the end of the return pass printing (printing in the case where the squeegee 26a is moved in the direction indicated by the symbol H2 in the figure) after the end of the printing when the printing is performed in the direction marked with. The vacuum degree is 30 torr higher than the vacuum degree during forward printing.
At least r, the pressure is lowered to a predetermined degree of vacuum. In addition, 10to
When printing with a degree of vacuum higher than about rr or a degree of vacuum less than 10 torr, air bubbles in the resin may not be completely removed, for example, a resin unfilled portion remains in a hole, an element periphery, a coil line, and the like. These bubbles and unfilled parts are 10 torr
This is the remaining portion of the air having a degree of vacuum less than that, and even after the vacuum is released (after returning to the normal pressure), a gap of about several millimeters of air remains. In this sense, the degree of vacuum is preferably higher than 5 torr, particularly preferably about 1 torr. Thereafter, the degree of vacuum in the printing chamber 20 is adjusted and maintained at a predetermined degree of vacuum that does not exceed the degree of vacuum during forward printing. This is adjusted by opening and closing the valve 54. During the adjustment of the degree of vacuum, the squeegee 26b is raised and the squeegee 26a is lowered.
【0028】続いて復路印刷をスキージ26aを用いて
行う。復路の印刷終了後、テーブル昇降装置21により
テーブル22を降下させ、被印刷物2を孔版23から離
脱させる。この際、樹脂のいとぎれによる形状不具合を
防止するために、テーブル22の下降速度の調整又は任
意位置での静止時間の調整を行う。Subsequently, return printing is performed using the squeegee 26a. After printing on the return path is completed, the table 22 is lowered by the table elevating device 21, and the printing material 2 is separated from the stencil 23. At this time, the lowering speed of the table 22 or the resting time at an arbitrary position is adjusted in order to prevent a shape defect due to a resin break.
【0029】次に、開閉扉33を開状態とする。そし
て、テーブル22が下降し、被印刷物2がベルトコンベ
ア42上に載置されると、ベルトコンベア42,43が
駆動し、被印刷物1を印刷室20から搬出室30へ搬入
する。搬出室30への搬入が完了すると、開閉扉33を
閉状態とし、バルブ59を閉状態にするとともに、バル
ブ55を開状態として搬出室30内の圧力を大気圧とす
る。Next, the door 33 is opened. Then, when the table 22 is lowered and the printing material 2 is placed on the belt conveyor 42, the belt conveyors 42 and 43 are driven, and the printing material 1 is carried from the printing room 20 to the carry-out room 30. When the loading into the unloading chamber 30 is completed, the opening / closing door 33 is closed, the valve 59 is closed, and the valve 55 is opened to set the pressure in the unloading chamber 30 to atmospheric pressure.
【0030】搬出室30内の圧力が大気圧となると開閉
扉34を開状態とし、ベルトコンベア43,44を駆動
して被印刷物3を外部へ搬出する。以後、以上説明した
一連の操作を繰り返すことにより、極めて効率よく印刷
が行われるとともに、品質を安定させることができる。When the pressure in the carry-out chamber 30 becomes atmospheric pressure, the open / close door 34 is opened, and the belt conveyors 43 and 44 are driven to carry out the printing material 3 to the outside. Thereafter, by repeating the series of operations described above, printing can be performed extremely efficiently and the quality can be stabilized.
【0031】〔第2実施形態〕図2は、本発明の第2実
施形態による真空印刷方法が適用される本発明の第2実
施形態による真空印刷装置の構成の概略を示す上面図で
ある。ただし、理解を容易にするため、断面図を織り交
ぜて記載している。図2において、90は、被印刷物を
基板の搬入及び搬出のための搬入搬出室であり、気密性
を保持でき耐圧構造を備えている。この搬入搬出室90
は、印刷前及び印刷後の被印刷物の湿気や残存揮発性物
質を除去する真空乾燥室としても用いられる。搬入搬出
室90には、外部から被印刷物を搬入するための開閉扉
91及び外部へ被印刷物を搬出するための開閉扉92が
設けられるとともに、後述する印刷室130との間で被
印刷物を搬入搬出するための開閉扉93を備えている。
これらの開閉扉91,92,93は、第1実施形態に示
した開閉扉と同様の構造及びシーリングが施されてい
る。[Second Embodiment] FIG. 2 is a top view schematically showing the configuration of a vacuum printing apparatus according to a second embodiment of the present invention to which the vacuum printing method according to the second embodiment of the present invention is applied. However, in order to facilitate understanding, cross-sectional views are interlaced. In FIG. 2, reference numeral 90 denotes a loading / unloading chamber for loading and unloading a substrate to be printed, and has a pressure-resistant structure capable of maintaining airtightness. This loading / unloading room 90
Is also used as a vacuum drying chamber for removing moisture and residual volatile substances from the printed material before and after printing. The loading / unloading chamber 90 is provided with an opening / closing door 91 for loading a printing material from the outside and an opening / closing door 92 for unloading the printing material from the outside, and loading / unloading the printing material with a printing room 130 described later. An opening / closing door 93 for carrying out is provided.
These doors 91, 92, and 93 have the same structure and sealing as the doors shown in the first embodiment.
【0032】また、開閉扉91,92を通過する直線上
にはベルトコンベア110,111,112,113が
配置されている。更に、開閉扉93を通過し、ベルトコ
ンベア110,111,112,113に直交する直線
上にはベルトコンベア120,121が配置されてい
る。尚、図6中100,101,102,103,10
4は、ベルトコンベア110,111,112,113
上に載置された被印刷物である。Further, belt conveyors 110, 111, 112, 113 are arranged on a straight line passing through the doors 91, 92. Further, belt conveyors 120 and 121 are arranged on a straight line passing through the door 93 and orthogonal to the belt conveyors 110, 111, 112 and 113. 6, 100, 101, 102, 103, 10
4 is a belt conveyor 110, 111, 112, 113
This is the printing material placed on the top.
【0033】次に、印刷室130内部について説明す
る。印刷室130は内部に印刷装置が備えられた印刷室
であり、気密性を保持でき耐圧構造を備えている。13
1は、スキージ移動装置であり、図1中のスキージ移動
装置24と同様のものである。このスキージ移動装置1
31は、印刷室130内に水平に配置された移動レール
132に沿って図中符号H10,H11が付された方向
に移動可能である。Next, the inside of the printing room 130 will be described. The printing room 130 is a printing room in which a printing device is provided, and has a pressure-resistant structure capable of maintaining airtightness. 13
Reference numeral 1 denotes a squeegee moving device, which is similar to the squeegee moving device 24 in FIG. This squeegee moving device 1
Reference numeral 31 is movable in directions indicated by reference numerals H10 and H11 in the drawing along a moving rail 132 horizontally arranged in the printing room 130.
【0034】133a,133bは、第1実施形態で説
明したスキージ26a,26bと同様のスキージであ
る。134は第1実施形態で説明した孔版23と同様の
孔版であり、135は孔版134に形成された孔であ
る。また、136は樹脂供給装置であり、137は樹脂
供給ノズルである。これらは第1実施形態で説明した樹
脂供給装置27、樹脂供給28と同様である。ただし、
樹脂供給ノズル137は、スキージ133a,133b
の移動に連動して移動が可能な構成となっており、スキ
ージ133a,133bの移動に応じて孔版134上の
所定の位置に樹脂を供給することができる。133a and 133b are squeegees similar to the squeegees 26a and 26b described in the first embodiment. 134 is a stencil similar to the stencil 23 described in the first embodiment, and 135 is a hole formed in the stencil 134. 136 is a resin supply device, and 137 is a resin supply nozzle. These are the same as the resin supply device 27 and the resin supply 28 described in the first embodiment. However,
The resin supply nozzle 137 includes squeegees 133a and 133b.
The resin can be supplied to a predetermined position on the stencil 134 in accordance with the movement of the squeegees 133a and 133b.
【0035】また、前述した搬入搬出室90及び印刷室
130にはバルブ152を備えた吸気管141及びバル
ブ151を備えた吸気管140がそれぞれ備えられてい
る。搬入搬出室10及び印刷室20が真空状態にある場
合、バルブ152,151を開状態とすることで、搬入
搬出室90及び印刷室130内部の気圧を大気圧とする
ことができる。Further, the above-mentioned loading / unloading chamber 90 and printing chamber 130 are provided with an intake pipe 141 having a valve 152 and an intake pipe 140 having a valve 151, respectively. When the loading / unloading chamber 10 and the printing room 20 are in a vacuum state, the pressure inside the loading / unloading room 90 and the printing room 130 can be set to the atmospheric pressure by opening the valves 152 and 151.
【0036】また、搬入室90及び印刷室130には、
バルブ171,172が設けられ、真空ポンプ180に
接続された配管160接続されてる。よって、真空ポン
プ160が稼働状態である場合に、バルブ172,17
1を開状態とすることで、搬入搬出室90及び印刷室1
30それぞれを真空状態とすることができる。よってバ
ルブ151,152,171,172の開度を調整する
ことで搬入搬出室90及び印刷室130内の真空度を任
意に設定することができる。尚、図2では、真空ポンプ
160がバルブ171,172を介して直接搬入搬出室
90及び印刷室130に接続されているが、必要に応じ
て搬入搬出室90及び印刷室130と真空ポンプ160
との間にタンクを設けて所定の真空度に到達するまでの
時間短縮を図ってもよい。In the loading room 90 and the printing room 130,
Valves 171 and 172 are provided and connected to a pipe 160 connected to a vacuum pump 180. Therefore, when the vacuum pump 160 is operating, the valves 172, 17
1 to the open state, the loading / unloading chamber 90 and the printing room 1
30 can be in a vacuum state. Therefore, the degree of vacuum in the loading / unloading chamber 90 and the printing chamber 130 can be arbitrarily set by adjusting the opening degrees of the valves 151, 152, 171, and 172. In FIG. 2, the vacuum pump 160 is directly connected to the loading / unloading chamber 90 and the printing chamber 130 via the valves 171 and 172. However, if necessary, the loading / unloading chamber 90 and the printing chamber 130 and the vacuum pump 160
And a tank may be provided between them to shorten the time required to reach a predetermined degree of vacuum.
【0037】次に、本発明の第2実施形態による真空印
刷装置に適用される真空印刷方法について図1を参照し
て詳細に説明する。まず、開閉扉93を閉状態とし、バ
ルブ152を開状態として搬入搬出室90内部の圧力を
大気圧とする。尚、この状態においては図示を省略して
いるが、被印刷物が印刷室130内に配されている。次
に、開閉扉92を開状態とし、ベルトコンベア113,
112を駆動して被印刷物104を搬入搬出室90内へ
搬入する。この際、先に印刷が施された被印刷物101
は搬入搬出室90の搬出側の開閉扉91を開状態として
ベルトコンベア111,110を駆動して外部に搬送す
る。Next, a vacuum printing method applied to a vacuum printing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. First, the opening / closing door 93 is closed, the valve 152 is opened, and the pressure inside the loading / unloading chamber 90 is set to the atmospheric pressure. In this state, although not shown in the drawing, the printing medium is arranged in the printing room 130. Next, the door 92 is opened, and the belt conveyor 113,
The printing medium 104 is carried into the carry-in / carry-out chamber 90 by driving the 112. At this time, the printing object 101 that has been printed first
With the opening / closing door 91 on the carry-out side of the carry-in / carry-out room 90 in the open state, the belt conveyors 111 and 110 are driven to carry the outside.
【0038】次いで搬入搬出室90の搬入側の開閉扉9
2及び搬出側の開閉扉91を閉状態とし、バルブ152
を閉状態にした後、バルブ172を開状態として真空ポ
ンプ180の稼働によって搬入搬出室90内の真空度を
印刷室130内の真空度と同等にする。尚、真空室10
は真空乾燥室として用いられるため、乾燥時間短縮の観
点から印刷室20よりも高い真空度に設定しても良い。
この動作の間に、印刷室130内では、第1実施形態で
説明した印刷動作と同様の印刷動作が行われる。Next, the opening / closing door 9 on the loading side of the loading / unloading chamber 90.
2 and the door 91 on the carry-out side are closed, and the valve 152 is closed.
Is closed, the valve 172 is opened, and the vacuum pump 180 is operated to make the degree of vacuum in the loading / unloading chamber 90 equal to the degree of vacuum in the printing chamber 130. The vacuum chamber 10
Is used as a vacuum drying chamber, the degree of vacuum may be set higher than that of the printing chamber 20 from the viewpoint of shortening the drying time.
During this operation, a printing operation similar to the printing operation described in the first embodiment is performed in the printing room 130.
【0039】印刷動作が完了すると、搬入搬出室90の
開閉扉93が開状態となり、印刷を完了した被印刷物が
ベルトコンベア121,120の駆動により印刷室13
0から搬入搬出室90へ搬送される。これにより、印刷
室130内から搬出された被印刷物は図2中符号102
が付された位置に移動し、続いてベルトコンベア11
1,112の駆動により符号101が付された位置に移
動するとともに、符号103が付された位置にある被印
刷物が符号102が付された位置へ移動してベルトコン
ベア120,121の駆動によって印刷室130内部へ
搬入される。When the printing operation is completed, the opening / closing door 93 of the loading / unloading chamber 90 is opened, and the printed material on which printing has been completed is driven by the belt conveyors 121 and 120 so that the printing chamber 13 is driven.
0 to the carry-in / carry-out room 90. As a result, the printing medium carried out of the printing room 130 is denoted by reference numeral 102 in FIG.
To the position marked with, followed by the belt conveyor 11
1 and 112, the printing material moves to the position denoted by reference numeral 101, and the printing material at the position denoted by reference numeral 103 moves to the position denoted by reference numeral 102 and prints by driving the belt conveyors 120 and 121. It is carried into the chamber 130.
【0040】以後、前述の操作の繰り返しにより効率よ
く生産が行われる。その他、必要に応じて孔版裏面に回
り込んで樹脂をふき取る機構(図示せず)を備え、印刷
後被印刷物の離脱後から次の被印刷物との接触までの間
に孔版裏面を洗浄する様にすれば良い。また、装置の前
後に別工程の装置と連結し、連動させて生産ラインを形
成させることも可能である。例えば、前工程として回路
基板の製造工程もしくは半導体の搭載、接続工程であ
り、後工程としては樹脂の硬化及び検査工程である。Thereafter, the production is performed efficiently by repeating the above-mentioned operations. In addition, a mechanism (not shown) for wrapping around the back of the stencil as needed to wipe off the resin is provided, so that the back surface of the stencil is washed after the printing material is detached after printing and before contact with the next printing material. Just do it. Further, it is also possible to connect a device in another process before and after the device and form a production line in conjunction with the device. For example, the pre-process is a circuit board manufacturing process or a semiconductor mounting and connection process, and the post-process is a resin curing and inspection process.
【0041】基板を搬送するための室は、第2実施形態
のように構成すれば1つですむが、通常第1実施形態の
ように構成する方が装置の簡素化が図れる。この場合、
搬送室として段階的に圧力を上げ下げできるよう複数の
室を設けることも可能である。The number of chambers for transporting substrates is one if it is configured as in the second embodiment. However, the configuration as in the first embodiment usually simplifies the apparatus. in this case,
It is also possible to provide a plurality of chambers so that the pressure can be raised and lowered stepwise as a transfer chamber.
【0042】〔第3実施形態〕次に、本発明の第3実施
形態による真空印刷装置について説明する。図3は、本
発明の真空印刷方法が適用される本発明の第1実施形態
による真空印刷装置の構成の一部を示す側面図である。
ただし、理解を容易にするため、断面図を織り交ぜて記
載している。図3において、70は搬入室10の前段に
設けられた乾燥室である。乾燥室70は例えば熱風、遠
赤外線、又はこれらの併用によるものであり、本実施形
態においては、熱風乾燥の場合を例に挙げて説明する。
乾燥室70の温度は、100〜200℃の範囲、特に1
20〜160℃が好ましい。また、乾燥時間は、5〜2
4時間の範囲、特に1〜8時間が好ましい。[Third Embodiment] Next, a vacuum printing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a side view showing a part of the configuration of the vacuum printing apparatus according to the first embodiment of the present invention to which the vacuum printing method of the present invention is applied.
However, in order to facilitate understanding, cross-sectional views are interlaced. In FIG. 3, reference numeral 70 denotes a drying chamber provided in a stage preceding the loading chamber 10. The drying chamber 70 is formed by, for example, hot air, far infrared rays, or a combination thereof. In the present embodiment, the case of hot air drying will be described as an example.
The temperature of the drying chamber 70 is in the range of 100 to 200 ° C., particularly 1
20-160 ° C is preferred. The drying time is 5-2.
A range of 4 hours, especially 1 to 8 hours is preferred.
【0043】乾燥室70は、熱風を乾燥室70内に導入
する導入管73、及び導入した熱風を排出する排出管7
4が設けられる。導入管73及び排出管74にはバルブ
75及びバルブ76がそれぞれ設けられ、熱風の導入量
及び排出量を自由に制御できる。また、71は乾燥室7
0内に被印刷物1を搬入するためのベルトコンベア、7
2は乾燥室70内に設けられたベルトコンベアである。
ベルトコンベアは当然ながら、乾燥室70内に導入され
る熱風に対して耐熱性を有する。また、外部と乾燥室7
0とを遮断(分離)又は開放するための開閉扉77,7
8が設けられる。これらを閉状態として乾燥室70内と
外部とを遮断することにより、乾燥室70内の温度を所
定の温度に安定・保持することができる。The drying chamber 70 has an inlet pipe 73 for introducing hot air into the drying chamber 70 and an outlet pipe 7 for discharging the introduced hot air.
4 are provided. The introduction tube 73 and the discharge tube 74 are provided with a valve 75 and a valve 76, respectively, so that the introduction amount and the discharge amount of the hot air can be freely controlled. Also, 71 is a drying room 7
A belt conveyor for carrying the printing material 1 into
Reference numeral 2 denotes a belt conveyor provided in the drying chamber 70.
The belt conveyor naturally has heat resistance to the hot air introduced into the drying chamber 70. In addition, outside and drying room 7
Opening and closing doors 77, 7 for shutting off (separating) or opening 0
8 are provided. By closing these to close the inside and outside of the drying chamber 70, the temperature inside the drying chamber 70 can be stabilized and maintained at a predetermined temperature.
【0044】次に、本発明の第3実施形態による真空印
刷装置に適用される真空印刷方法について図1を参照し
て詳細に説明する。まず、開閉扉77及び開閉扉78を
開状態としてベルトコンベア71,72によって被印刷
物1を乾燥室1内に搬入するとともに、先に乾燥室70
内に配されていた被印刷物1をベルトコンベア72、4
0によって搬出する。次いで乾燥室70に設けられた開
閉扉77,78を閉状態とし、バルブ75を開状態にし
て熱風を乾燥室70内に導入する。この際、バルブ76
を開状態として熱風を排出しながら熱風を導入するよう
にしても良い。熱風を導入して乾燥室70内の温度を所
定の温度、例えば150℃に設定する。Next, a vacuum printing method applied to a vacuum printing apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. First, the printing material 1 is carried into the drying chamber 1 by the belt conveyors 71 and 72 with the opening and closing doors 77 and 78 opened, and the drying chamber 70 is first opened.
The printing material 1 disposed in the belt conveyor 72, 4
Unload by 0. Next, the open / close doors 77 and 78 provided in the drying chamber 70 are closed, and the valve 75 is opened to introduce hot air into the drying chamber 70. At this time, the valve 76
May be opened to introduce hot air while discharging hot air. Hot air is introduced to set the temperature in the drying chamber 70 to a predetermined temperature, for example, 150 ° C.
【0045】所定時間、例えば乾燥を開始してから8時
間経過して、被印刷物1が乾燥されたら開閉扉77及び
開閉扉78を開状態として乾燥された被印刷物1をベル
トコンベア72、40によって搬出するとともに、次に
乾燥する被印刷物1をベルトコンベア71,72によっ
て乾燥室1内に搬入する。乾燥された被印刷物1は、ベ
ルトコンベア40によって、搬入室10内に搬送され、
その後に印刷工程によって印刷が行われる。印刷工程は
前述の第1実施形態と同様である。After a lapse of a predetermined period of time, for example, eight hours from the start of drying, when the substrate 1 is dried, the opened and closed doors 77 and 78 are opened, and the dried substrate 1 is conveyed by the belt conveyors 72 and 40. While being carried out, the printing material 1 to be dried next is carried into the drying chamber 1 by the belt conveyors 71 and 72. The dried printing material 1 is conveyed into the carry-in room 10 by the belt conveyor 40,
Thereafter, printing is performed by a printing process. The printing process is the same as in the first embodiment.
【0046】尚、被印刷物が電子部品である場合に、基
板に半導体素子を搭載して半導体素子と基板とを接続す
る工程から、基板を乾燥させるまでの工程は連続して行
う必要はない。また、基板を乾燥させる工程から真空印
刷封止の工程の間は連続して行う必要はないが、再び基
板が吸湿しない程度の時間(通常の作業環境下であれば
約8時間程度)内に行うことが好ましい。また、第1実
施形態においては、搬入室10内において被印刷物1を
真空乾燥によって乾燥していたが、乾燥室70のみを用
いて乾燥を行うようにしても良いし、搬入室10による
真空乾燥と乾燥室70による乾燥とを共に行うようにし
ても良い。When the printing object is an electronic component, the steps from the step of mounting the semiconductor element on the substrate and connecting the semiconductor element and the substrate to the step of drying the substrate need not be performed continuously. Further, it is not necessary to perform the process continuously from the process of drying the substrate to the process of vacuum printing and sealing, but within a time (about 8 hours under a normal working environment) that the substrate does not absorb moisture again. It is preferred to do so. Further, in the first embodiment, the printing medium 1 is dried by vacuum drying in the loading chamber 10. However, the drying may be performed using only the drying chamber 70, or the vacuum drying by the loading chamber 10 may be performed. The drying in the drying chamber 70 may be performed together.
【0047】〔第4実施形態〕次に、本発明の第4実施
形態による真空印刷装置について説明する。本発明の第
4実施形態による真空印刷装置は、図2に示した本発明
の第2実施形態による真空印刷装置の前段に図3に示し
た乾燥室70が設けられた構成となっている。この乾燥
室は第3実施形態と同様に、例えば熱風、遠赤外線、又
はこれらの併用によるものであってもよい。尚、本実施
形態においても、被印刷物が電子部品である場合に、基
板に半導体素子を搭載して半導体素子と基板とを接続す
る工程から、基板を乾燥させるまでの工程は連続して行
う必要はない。また、基板を乾燥させる工程から真空印
刷封止の工程の間は連続して行う必要はないが、再び基
板が吸湿しない程度の時間(通常の作業環境下であれば
約8時間程度)内に行うことが好ましい。また、第1実
施形態においては、搬入室10内において被印刷物1を
真空乾燥によって乾燥していたが、乾燥室70のみを用
いて乾燥を行うようにしても良いし、搬入室10による
真空乾燥と乾燥室70による乾燥とを共に行うようにし
ても良い。[Fourth Embodiment] Next, a vacuum printing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described. The vacuum printing apparatus according to the fourth embodiment of the present invention has a configuration in which a drying chamber 70 shown in FIG. 3 is provided at a stage preceding the vacuum printing apparatus according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. As in the third embodiment, the drying chamber may be, for example, hot air, far-infrared, or a combination thereof. Also in the present embodiment, when the print target is an electronic component, the steps from mounting the semiconductor element on the substrate and connecting the semiconductor element and the substrate to drying the substrate need to be continuously performed. There is no. Further, it is not necessary to perform the process continuously from the process of drying the substrate to the process of vacuum printing and sealing, but within a time (about 8 hours under a normal working environment) that the substrate does not absorb moisture again. It is preferred to do so. Further, in the first embodiment, the printing medium 1 is dried by vacuum drying in the loading chamber 10. However, the drying may be performed using only the drying chamber 70, or the vacuum drying by the loading chamber 10 may be performed. The drying in the drying chamber 70 may be performed together.
【0048】[0048]
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。本
実施例は、主として本発明の第3実施形態のものであ
り、乾燥室70として熱風乾燥によるものを使用してい
る。本実施形態においては、第3実施形態による真空印
刷装置を用いて、異なる条件を用いて実施例1及び実施
例2としてサンプルを製造した。実施例1及び実施例2
では、被印刷物として半導体素子が搭載された基板を準
備している。つまり、回路形成された厚み0.5mmの
ガラスエポキシ基板にICチップをダイボンディングペ
ーストで接着し、ワイヤーボンディングしたものを用
い、これを20℃/60%の雰囲気下で3日間放置し
た。Next, an embodiment of the present invention will be described. This example is mainly of the third embodiment of the present invention, and a drying chamber 70 using hot air drying is used. In this embodiment, samples were manufactured as Example 1 and Example 2 using the vacuum printing apparatus according to the third embodiment under different conditions. Example 1 and Example 2
Prepares a substrate on which a semiconductor element is mounted as a printing substrate. That is, an IC chip was adhered to a glass epoxy substrate having a thickness of 0.5 mm on which a circuit was formed, using a die bonding paste, and a wire-bonded IC chip was used, and this was left under an atmosphere of 20 ° C./60% for 3 days.
【0049】以上の基板を用いて作成した実施例1及び
実施例2は以下の通りである。 実施例1:上記基板を125℃/8時間、乾燥処理を施
した後、封止樹脂NPR−100(日本レック株式会社
製)で、真空印刷機にて封止した。印刷条件は、孔版の
厚みが0.8mm、開口部が10×10mmの印刷孔版
で、真空度1torrで印刷した後、大気雰囲気に戻し
て取り出し、熱風乾燥機で100℃/1時間乾燥し、更
に150℃/3時間乾燥して硬化させた。 実施例2:乾燥温度及び時間が150℃/2時間である
点で上記実施例1と異なり、他は実施例1と同様であ
る。Examples 1 and 2 prepared using the above-described substrate are as follows. Example 1 After the above-mentioned substrate was subjected to a drying treatment at 125 ° C. for 8 hours, it was sealed with a sealing resin NPR-100 (manufactured by Nippon Rec Co., Ltd.) using a vacuum printer. The printing conditions were as follows: after printing with a printing stencil having a stencil thickness of 0.8 mm and an opening of 10 × 10 mm at a degree of vacuum of 1 torr, returning it to the atmosphere and taking it out, drying with a hot air drier at 100 ° C. for 1 hour, Further, it was dried and cured at 150 ° C. for 3 hours. Example 2 Example 2 is different from Example 1 in that the drying temperature and time were 150 ° C./2 hours, and the other conditions were the same as Example 1.
【0050】上記実施例1及び実施例2との比較のため
に、以下の比較例1〜比較例3を作成した。 比較例1:基板は乾燥処理せずに、実施例1と同様の真
空印刷封止を行い同様に硬化させた。 比較例2:基板の乾燥を行わずに、通常の大気下で実施
例と同じ印刷孔版と封止樹脂を用いて封止した後、真空
脱泡機にて60torr/3分間、脱泡処理を施した
後、実施例1と同様の条件で印刷・乾燥を行った。 比較例3:基板を125℃/8時間乾燥させた後、比較
例2と同様の印刷、脱泡、硬化処理を行った。For comparison with Examples 1 and 2, the following Comparative Examples 1 to 3 were prepared. Comparative Example 1: The substrate was not subjected to the drying treatment, but was subjected to the same vacuum printing and sealing as in Example 1 and was similarly cured. Comparative Example 2: After the substrate was not dried and sealed with the same printing stencil and sealing resin as in the example under the normal atmosphere, the defoaming treatment was performed with a vacuum defoamer at 60 torr / 3 minutes. After the application, printing and drying were performed under the same conditions as in Example 1. Comparative Example 3: After the substrate was dried at 125 ° C. for 8 hours, the same printing, defoaming, and curing treatments as in Comparative Example 2 were performed.
【0051】以上の実施例1、実施例2、比較例1、比
較例2、及び比較例3を、 (1)外観 (2)気泡の有無(超音波試験) (3)熱冷サイクル試験(−40℃〜100℃の繰り返
し) (4)恒温恒湿試験(85℃/85%を保持し、電子部
品に12V印加) (5)PCT(Pressure Cooker Test)(121℃、2
気圧) について行った。図4は、実際に作成した実施例及び比
較例の試験結果の評価を示す図表である。Examples 1 and 2, Comparative Example 1, Comparative Example 2 and Comparative Example 3 were prepared as follows: (1) Appearance (2) Presence or absence of air bubbles (ultrasonic test) (3) Thermal cooling cycle test ( (4 cycles of −40 ° C. to 100 ° C.) (4) Constant temperature and humidity test (maintaining 85 ° C./85% and applying 12 V to electronic components) (5) PCT (Pressure Cooker Test) (121 ° C., 2
Pressure). FIG. 4 is a chart showing the evaluation of the test results of the actually created examples and comparative examples.
【0052】図4に示したように、通常の雰囲気下で印
刷封止後に脱泡処理を施した比較例2及び比較例3にお
いては、外観が良好であるため、樹脂中の気泡が除去で
きていると推測されるが、チップ周囲に気泡が残存して
いるため、これが原因で信頼性が低下していると考えら
れる。また、図4から真空印刷化で行った比較例1にお
いては比較例2及び比較例3のようにチップ周囲の気泡
は残存していないことがわかるが、基板構成材料中に含
まれる水分や低揮発性成分は真空雰囲気下中において封
止樹脂中に気泡として放出され、この気泡の存在により
信頼性の向上が妨げられていると考えられる。As shown in FIG. 4, in Comparative Examples 2 and 3, in which defoaming treatment was performed after printing and sealing in a normal atmosphere, the appearance was good, so that bubbles in the resin could be removed. However, it is considered that the reliability is lowered because bubbles remain around the chip. Further, it can be seen from FIG. 4 that in Comparative Example 1 performed by vacuum printing, bubbles around the chip did not remain as in Comparative Examples 2 and 3, but the moisture and low moisture contained in the substrate constituent material were low. The volatile components are released as bubbles into the sealing resin in a vacuum atmosphere, and it is considered that the presence of the bubbles prevents improvement in reliability.
【0053】これら比較例1〜比較例3に対し、基板を
予め乾燥しておき、基板の乾燥状態を維持して印刷を行
った実施例1及び実施例2では外観の形状が保持できる
のはもちろんのこと、比較例1〜比較例3に比して信頼
性を著しく向上させることができた。このような顕著な
信頼性の向上は、大規模な設備追加の必要がなく真空印
刷前に乾燥工程を設けるだけであり、極めて技術的な効
果が大である。In contrast to these Comparative Examples 1 to 3, in Examples 1 and 2 in which the substrate was dried in advance and printing was performed while maintaining the substrate in a dry state, the external shape could be maintained. Needless to say, the reliability was significantly improved as compared with Comparative Examples 1 to 3. Such a remarkable improvement in reliability only requires a drying step before vacuum printing without the necessity of adding a large-scale facility, and has a great technical effect.
【0054】尚、上記実施形態において、真空印刷工程
の前の乾燥工程における乾燥室では枚葉式の処理を行う
ようにしているが、多数を一度に処理することも可能で
ある。例えば、多段式のラック、ケース、マガジン、カ
セット等を用い、これらに収納された状態で乾燥処理を
行い、一枚ずつ印刷室に搬送して真空印刷を行うように
しても良い。In the above embodiment, the single-wafer processing is performed in the drying chamber in the drying step before the vacuum printing step. However, a large number of processing can be performed at once. For example, a multi-stage rack, case, magazine, cassette, or the like may be used, a drying process may be performed while being stored in these, and a single sheet may be transported to a printing room to perform vacuum printing.
【0055】[0055]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、真空下で印刷を行う前に乾燥を行い、被印刷物の湿
気や残存揮発性物質を除去するようにしているので、真
空印刷された樹脂中に湿気や残存揮発性物質が気泡とし
て混入することがないため、パッケージの信頼性を向上
させることができるという優れた効果がある。また、単
に印刷室の前段に乾燥を行う乾燥室(真空乾燥の場合に
は搬送室と兼用)を設けるだけであるので、多額の設備
投資を招かずに上記効果を得ることができ、しかも製造
効率の低下を招くことがないという極めて優れた効果が
ある。As described above, according to the present invention, drying is performed before printing under vacuum to remove moisture and residual volatile substances from the printing object. Since moisture and residual volatile substances do not mix as bubbles in the resin thus obtained, there is an excellent effect that the reliability of the package can be improved. Further, since a drying chamber for performing drying (also used as a transfer chamber in the case of vacuum drying) is simply provided in the preceding stage of the printing chamber, the above-described effects can be obtained without incurring a large capital investment, and the manufacturing can be performed. There is an extremely excellent effect that the efficiency is not reduced.
【図1】 本発明の第1実施形態による真空印刷方法が
適用される本発明の第1実施形態による真空印刷装置の
構成の概略を示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically showing a configuration of a vacuum printing apparatus according to a first embodiment of the present invention to which a vacuum printing method according to the first embodiment of the present invention is applied.
【図2】 本発明の第2実施形態による真空印刷方法が
適用される本発明の第2実施形態による真空印刷装置の
構成の概略を示す上面図である。FIG. 2 is a top view schematically illustrating a configuration of a vacuum printing apparatus according to a second embodiment of the present invention to which the vacuum printing method according to the second embodiment of the present invention is applied.
【図3】 本発明の真空印刷方法が適用される本発明の
第1実施形態による真空印刷装置の構成の一部を示す側
面図である。FIG. 3 is a side view showing a part of the configuration of the vacuum printing apparatus according to the first embodiment of the present invention to which the vacuum printing method of the present invention is applied.
【図4】 作成した実施例及び比較例の試験結果の評価
を示す図表である。FIG. 4 is a table showing evaluation of test results of the created examples and comparative examples.
10 搬入室(搬送室、乾燥室) 13 開閉扉(第2の開閉扉) 14 開閉扉(第1の開閉扉) 20 印刷室 23 孔版 26a,26b スキージ 70 乾燥室 90 搬入搬出室(搬送室、乾燥室) 130 印刷室 133a,133b スキージ 134 孔版 Reference Signs List 10 carry-in room (transfer room, drying room) 13 door (second door) 14 door (first door) 20 printing room 23 stencil 26a, 26b squeegee 70 drying room 90 carry-in / out room (transfer room, (Drying room) 130 printing room 133a, 133b squeegee 134 stencil
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 典子 大阪府吹田市千里山西5丁目29−21 フェ リシモ千里山203号 (72)発明者 石川 有紀 京都府京都市左京区高野泉町4−46 (72)発明者 橋本 常一 滋賀県野洲郡野洲町北野1丁目24−2 Fターム(参考) 5E314 AA24 CC08 EE02 EE08 FF01 FF21 GG15 GG24 5F061 AA01 BA03 CA12 CB12 DE06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Noriko Fujita, Inventor 5-29-21 Senriyama Nishi, Senriyama-nishi, Suita-shi, Osaka 203 Felisimo Senriyama 203 72) Inventor Tsuneichi Hashimoto 1-24 Kitano, Yasu-cho, Yasu-gun, Shiga F-term (reference) 5E314 AA24 CC08 EE02 EE08 FF01 FF21 GG15 GG24 5F061 AA01 BA03 CA12 CB12 DE06
Claims (9)
装置であって、 前記被印刷物を乾燥する乾燥室と、 前記乾燥室の後段に設けられ、真空下で被印刷物に樹脂
を印刷供給する印刷室とを具備することを特徴とする真
空印刷装置。1. A vacuum printing apparatus for printing a printing material under vacuum, comprising: a drying chamber for drying the printing material; and a drying chamber provided at a subsequent stage of the drying chamber, for printing and supplying resin to the printing material under vacuum. A vacuum printing apparatus, comprising:
れ、第1の開閉扉を介して前記印刷室と分離又は開放さ
れるとともに、第2の開閉扉を介して前記乾燥室から配
された被印刷物を搬入する搬送室を具備することを特徴
とする請求項1記載の真空印刷装置。2. A printing apparatus provided between the printing room and the drying room, which is separated or opened from the printing room via a first opening / closing door and from the drying room via a second opening / closing door. 2. The vacuum printing apparatus according to claim 1, further comprising a transfer chamber into which the arranged print material is loaded.
により乾燥することを特徴とする請求項2記載の真空印
刷装置。3. The vacuum printing apparatus according to claim 2, wherein the transfer chamber dries the printing material by vacuum drying.
により乾燥することを特徴とする請求項1記載の真空印
刷装置。4. The vacuum printing apparatus according to claim 1, wherein the drying chamber dries the printing material by hot air drying.
って樹脂を印刷する印刷機を備え、前記スキージは2本
設けられ、往路印刷を行う場合と復路印刷を行う場合に
異なるスキージを用いて印刷を行うことを特徴とする請
求項1記載の真空印刷装置。5. The printing room is provided with a printing machine for printing a resin by a squeegee using a stencil, and two squeegees are provided, and printing is performed using different squeegees when performing forward printing and returning printing. The vacuum printing apparatus according to claim 1, wherein:
方法であって、 前記被印刷物を乾燥する乾燥工程と、 前記乾燥工程後、真空下で被印刷物に樹脂を印刷供給す
る印刷工程とを有することを特徴とする真空印刷方法。6. A vacuum printing method for printing a printing material under vacuum, comprising: a drying step of drying the printing material; and a printing step of printing and supplying a resin to the printing material under vacuum after the drying step. A vacuum printing method comprising:
あることを特徴とする請求項6記載の真空印刷方法。7. The vacuum printing method according to claim 6, wherein the drying step is a step of performing vacuum drying.
あることを特徴とする請求項6記載の真空印刷方法。8. The vacuum printing method according to claim 6, wherein the drying step is a step of performing hot air drying.
終了時以降復路印刷開始時までの間、及び復路印刷時に
おいてそれぞれ任意の真空度に設定、保持して行う工程
であることを特徴とする請求項6記載の真空印刷方法。9. The printing step is a step of setting and holding an arbitrary degree of vacuum during forward printing, from the end of forward printing to the start of backward printing, and at the time of backward printing. The vacuum printing method according to claim 6, wherein
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094319A JP2000286277A (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Vacuum printer and vacuum printing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094319A JP2000286277A (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Vacuum printer and vacuum printing method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000286277A true JP2000286277A (en) | 2000-10-13 |
Family
ID=14106969
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2000286277A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022118518A1 (en) * | 2020-12-03 | 2022-06-09 | アピックヤマダ株式会社 | Resin sealing device |
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1999
- 1999-03-31 JP JP11094319A patent/JP2000286277A/en active Pending
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A02 | Decision of refusal |
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