JP2000035435A - Rotation number measuring device - Google Patents
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C19/22—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings
- F16C19/24—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly
- F16C19/26—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly with a single row of rollers
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、機械装置の軸回転
数の計測や、転がり軸受の保持器公転数の計測に用いて
好適の、回転数計測装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotational speed measuring device suitable for use in measuring the rotational speed of a shaft of a mechanical device or measuring the number of revolutions of a cage of a rolling bearing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の回転数計測装置について図面によ
り説明すると、図８〜図１０は従来の機械装置の転がり
軸受の一例を示すもので、図８はその縦断面図、図９は
その平面図、図１０（Ａ），（Ｂ）は図９のＡ−Ａ矢視
断面図である。図８に示すように、回転軸１０１は、軸
受内輪１０２，円筒ころ１０３，軸受外輪１０４，軸受
保持器１０５，軸受ハウジング１０９からなる軸受を介
して枢支されている。軸受ハウジング１０９の上部内周
には、軸受外輪１０４を固定する軸受外輪押さえ１１０
が装着されている。2. Description of the Related Art A conventional rotational speed measuring device will be described with reference to the drawings. FIGS. 8 to 10 show an example of a rolling bearing of a conventional mechanical device, FIG. 8 is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. FIGS. 10A and 10B are cross-sectional views taken along the line AA in FIG. As shown in FIG. 8, the rotating shaft 101 is pivotally supported via a bearing including an inner ring 102, a cylindrical roller 103, an outer ring 104, a bearing retainer 105, and a bearing housing 109. A bearing outer ring retainer 110 for fixing the bearing outer ring 104 is provided on the upper inner periphery of the bearing housing 109.
Is installed.
【０００３】回転軸１０１と軸受ハウジング１０９との
相互間の上部には、上部蓋１０８が装着され、この上部
蓋１０８には給油ノズル１０７が備えられている。一
方、回転軸１０１と軸受ハウジング１０９との相互間の
下部には、軸受ハウジング１０９の延設部１０９Ａが備
えられており、この延設部１０９Ａに、回転検出センサ
１０６が装着されている。[0003] An upper cover 108 is mounted on an upper portion between the rotating shaft 101 and the bearing housing 109, and the upper cover 108 is provided with an oil supply nozzle 107. On the other hand, an extension 109A of the bearing housing 109 is provided at a lower portion between the rotating shaft 101 and the bearing housing 109, and the rotation detection sensor 106 is mounted on the extension 109A.
【０００４】この回転検出センサ１０６は、回転軸１０
１及び軸受保持器１０５の回転数と公転数とを計測して
いる。なお、上部蓋１０８と回転軸１０１との間、及
び、軸受ハウジング１０９の延設部１０９Ａと回転軸１
０１との間には、それぞれオイルシール１１１が介装さ
れており、軸受内部がシールされている。[0004] The rotation detection sensor 106
1 and the number of revolutions and the number of revolutions of the bearing holder 105 are measured. In addition, between the upper lid 108 and the rotating shaft 101, and between the extended portion 109A of the bearing housing 109 and the rotating shaft 1
Oil seals 111 are interposed between the bearings 01 and 01 to seal the inside of the bearing.
【０００５】ところで、回転検出センサ１０６には、渦
電流式非接触変位計，光電式回転検出器，電磁式回転検
出器等のセンサが用いられており、回転数検出のため
に、回転軸１０１や軸受保持器１０５といった検出対象
には、切り欠き加工を施す、ターゲットを接着剤等
により又は溶着等により貼り付ける、反射マークを接
着剤等により又は溶着等により貼り付る、軸端面等に
検出用歯車を取り付けるなどして、切り欠き加工部やタ
ーゲットや反射マークや検出用歯車の歯といった各検出
目印がセンサの正面を通過する時に生じる渦電流，光，
磁力等の応答の変化からパルス出力を得てこれによって
回転数検出を行なっている。As the rotation detection sensor 106, a sensor such as an eddy current type non-contact displacement meter, a photoelectric rotation detector, and an electromagnetic rotation detector is used. Notches are applied to the detection target such as the bearing and the bearing retainer 105, the target is attached with an adhesive or the like by welding or the like, the reflection mark is attached with an adhesive or the like or welding, the detection is performed on the shaft end face or the like. Eddy current, light, light, etc. generated when each detection mark such as a notch processing part, a target, a reflection mark, and the teeth of a detection gear pass through the front of the sensor
A pulse output is obtained from a change in response such as a magnetic force, and the number of revolutions is detected based on the pulse output.
【０００６】このため、例えば図８に示すように、回転
軸１０１の外周に検出目印１１２として切り欠きが等間
隔に設けられており、回転検出センサ１０６がこの検出
目印１１２に対向するように配設されている。また、図
９は転がり軸受１０５の平面図であり、図９に示すよう
に、軸受保持器１０５の一側面には、同一円状に等間隔
に並べてパルス出力の得られる検出目印１１２が設けら
れている。この検出目印１１２は、具体的には、図１０
（Ａ）（図９のＡ−Ａ矢視断面図）に示すように、軸受
保持器１０５に加工した切り欠き１１２ａであったり、
図１０（Ｂ）（図９のＡ−Ａ矢視断面図）に示すよう
に、軸受保持器１０５に貼り付けたターゲット１１２ｂ
であったりする。For this reason, for example, as shown in FIG. 8, notches are provided at equal intervals as detection marks 112 on the outer periphery of the rotating shaft 101, and the rotation detection sensor 106 is arranged so as to face the detection marks 112. Has been established. FIG. 9 is a plan view of the rolling bearing 105. As shown in FIG. 9, on one side surface of the bearing retainer 105, detection marks 112 from which pulse outputs are obtained are arranged in the same circle at equal intervals. ing. This detection mark 112 is specifically shown in FIG.
As shown in FIG. 9A (a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 9), a notch 112a formed in the bearing holder 105,
As shown in FIG. 10B (a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 9), the target 112b attached to the bearing holder 105
And so on.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
の回転数の計測手法では、以下のような課題が発生す
る。回転軸１０１や軸受保持器１０５といった検出対象
に検出目印として切り欠きを入れる場合、製品に傷を付
けることになり、製品の品質に影響してしまう。また、
この場合、高速回転体になれば回転系（回転軸や軸受保
持器等）のバランスが崩れて軸振動が増加するという課
題もある。By the way, the following problems occur in the above-mentioned conventional method for measuring the number of revolutions. If a notch is formed as a detection mark on a detection target such as the rotating shaft 101 or the bearing holder 105, the product will be damaged, and the quality of the product will be affected. Also,
In this case, there is also a problem that if a high-speed rotating body is used, the balance of a rotating system (a rotating shaft, a bearing retainer, and the like) is lost and shaft vibration increases.
【０００８】特に、軸受保持器１０５に切り欠きを入れ
た場合には、回転時に軸受保持器１０５のバランスが崩
れて軸受保持器１０５の振動が増加するため、軸受その
ものの性能が失われてしまうという課題がある。回転軸
１０１や軸受保持器１０５といった検出対象にターゲッ
トや反射マーク等を接着剤によって貼り付ける場合、接
着力が弱いと高速回転時に遠心力が大きくなってターゲ
ットや反射マーク等が飛んで外れてしまう虞がある。In particular, when the bearing retainer 105 is notched, the bearing retainer 105 loses its balance during rotation and the vibration of the bearing retainer 105 increases, so that the performance of the bearing itself is lost. There is a problem that. When a target, a reflection mark, or the like is attached to a detection target, such as the rotating shaft 101 or the bearing holder 105, with an adhesive, if the adhesive force is weak, the centrifugal force increases during high-speed rotation, and the target, the reflection mark, and the like fly off. There is a fear.
【０００９】また、軸受保持器１０５にターゲットや反
射マーク等を接着剤にて貼り付ける場合、接着力が弱く
高速回転時に遠心力でターゲットや反射マーク等が飛ん
で外れてしまうと、これらが潤滑油中の異物になる不具
合がある。また、ターゲット（薄板）を溶着する場合
に、内輪ところ（玉）との相互間に、ころ（玉）と外輪
との相互間に電食を発生させ、ころ等に傷が発生してし
まう不具合がある。When a target, a reflection mark or the like is adhered to the bearing holder 105 with an adhesive, if the target or the reflection mark or the like flies off due to centrifugal force during high-speed rotation due to centrifugal force, they are lubricated. There is a problem of becoming foreign matter in oil. Further, when the target (thin plate) is welded, electric corrosion is generated between the inner ring (ball) and between the roller (ball) and the outer ring, and the roller and the like are damaged. There is.
【００１０】さらに、回転軸等の端面に検出歯車を取り
付ける場合には、歯車の取り付けにかかる加工や工事が
大きな負担となり、また、回転系のバランスの再調整が
必要となる不具合がある。Further, when the detection gear is mounted on the end face of the rotating shaft or the like, there is a problem that the processing and construction for mounting the gear become a heavy burden, and that the balance of the rotating system needs to be readjusted.
【００１１】本発明は、上述の課題に鑑み創案されたも
ので、製品の品質に悪影響を及ぼすことがなく、製品の
回転バランスを崩すことがないようにしながら、低コス
トで構成することができ確実に且つ精度良く検出を行な
えるようにした、回転数計測装置を提供することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and can be configured at low cost without adversely affecting the quality of a product and without disrupting the rotational balance of the product. It is an object of the present invention to provide a rotation speed measuring device capable of performing detection reliably and accurately.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】このため、請求項１記載
の本発明の回転数計測装置は、磁性体で構成された回転
する機械要素の回転数を計測する回転数計測装置におい
て、上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍
に、Ｎ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，
Ｓ極に対向するように回転検出用ホール素子を配設し、
該回転検出用ホール素子により該機械要素の回転数を検
出することを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a rotational speed measuring device for measuring a rotational speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material. The N-pole and the S-pole are magnetized on or near the same circumference of the rotating mechanical element, and the N-pole and the
A rotation detection Hall element is disposed so as to face the S pole,
The rotation number of the mechanical element is detected by the rotation detecting Hall element.
【００１３】請求項２記載の本発明の回転数計測装置
は、磁性体で構成された回転する機械要素の回転数を計
測する回転数計測装置において、上記の回転する機械要
素の同一円周上又はその近傍に、Ｎ極，Ｓ極の磁化を行
なうとともに、上記のＮ極，Ｓ極に対向するように回転
検出用電磁誘導器を配設し、該回転検出用電磁誘導器に
より該機械要素の回転数を検出することを特徴としてい
る。According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotational speed measuring device for measuring the rotational speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material, wherein the rotating mechanical element is arranged on the same circumference as the rotating mechanical element. Or, in the vicinity thereof, magnetization of the N pole and S pole is provided, and a rotation detecting electromagnetic inductor is disposed so as to face the above N pole and S pole, and the mechanical element is provided by the rotation detecting electromagnetic inductor. It is characterized in that the number of rotations is detected.
【００１４】請求項３記載の本発明の回転数計測装置
は、非磁性体で構成された回転する機械要素の回転数を
計測する回転数計測装置において、上記の回転する機械
要素の同一円周上又はその近傍に、薄膜の磁鉄鋼を蒸着
したＮ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，
Ｓ極に対向するように回転検出用ホール素子を配設し、
該回転検出用ホール素子により該機械要素の回転数を検
出することを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, there is provided a rotational speed measuring device for measuring the rotational speed of a rotating mechanical element made of a non-magnetic material. Above or in the vicinity thereof, while magnetizing the N pole and S pole on which a thin film of magnetic steel is deposited, the above N pole,
A rotation detection Hall element is disposed so as to face the S pole,
The rotation number of the mechanical element is detected by the rotation detecting Hall element.
【００１５】請求項４記載の本発明の回転数計測装置
は、非磁性体で構成された回転する機械要素の回転数を
計測する回転数計測装置において、上記の回転する機械
要素の同一円周上又はその近傍に、薄膜の磁鉄鋼を蒸着
したＮ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，
Ｓ極に対向するように回転検出用電磁誘導器を配設し、
該回転検出用電磁誘導器により該機械要素の回転数を検
出することを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a rotational speed measuring device for measuring the rotational speed of a rotating mechanical element made of a non-magnetic material. Above or in the vicinity thereof, while magnetizing the N pole and S pole on which a thin film of magnetic steel is deposited, the above N pole,
A rotation detecting electromagnetic inductor is disposed so as to face the S pole,
The rotation speed of the mechanical element is detected by the rotation detecting electromagnetic induction device.
【００１６】請求項５記載の本発明の回転数計測装置
は、磁性体で構成された回転する機械要素の回転数を計
測する回転数計測装置において、上記の回転する機械要
素の同一円周上又はその近傍に、Ｎ極，Ｓ極の磁化を行
なうとともに、上記のＮ極，Ｓ極に対向するように回転
検出用ホール素子を配設し、該回転検出用ホール素子に
より該機械要素の回転数と回転方向とを検出することを
特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a rotational speed measuring device for measuring the rotational speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material, wherein the rotating mechanical element is on the same circumference as the rotating mechanical element. Or, in the vicinity thereof, N and S poles are magnetized, and a rotation detecting Hall element is disposed so as to face the above N and S poles, and the rotation detecting Hall element rotates the mechanical element. It is characterized in that the number and the rotation direction are detected.
【００１７】[0017]
【発明の実施形態】以下、図面により、本発明の実施の
形態について説明する。まず、図１，図２を参照して、
本発明の第１実施形態としての回転数計測装置を説明す
ると、図１（Ａ）はその装置を装備した軸受部の断面
図、図１（Ｂ）は軸受部の検出対象部分の磁化状態を示
す軸受保持器外周面〔図１（Ａ）のＡ方向から見えるの
が外周面〕の展開図、図２はその回転数計測にかかる原
理を示す図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, referring to FIGS. 1 and 2,
FIG. 1A is a cross-sectional view of a bearing unit equipped with the device, and FIG. 1B is a diagram illustrating a magnetization state of a detection target portion of the bearing unit. FIG. 2 is a developed view of the outer peripheral surface of the bearing cage (the outer peripheral surface is seen from the direction A in FIG. 1A), and FIG. 2 is a diagram showing the principle of the rotation speed measurement.
【００１８】本実施形態にかかる軸受部では、図１
（Ａ）に示すように、回転軸（回転する機械要素）１
が、軸受内輪２，円筒ころ３，軸受外輪４，軸受保持器
（回転する機械要素）５Ａ，軸受ハウジング９からなる
軸受を介して枢支されている。つまり、回転軸１側には
軸受内輪２が嵌着され、軸受ハウジング９には軸受外輪
４が嵌着されて、軸受内輪２と軸受外輪４との間に、軸
受保持器５Ａに保持された多数の円筒ころ３が介装され
ている。In the bearing according to the present embodiment, FIG.
As shown in (A), a rotating shaft (a rotating mechanical element) 1
Are supported by bearings including a bearing inner ring 2, a cylindrical roller 3, a bearing outer ring 4, a bearing retainer (rotating machine element) 5A, and a bearing housing 9. That is, the bearing inner ring 2 was fitted to the rotating shaft 1 side, the bearing outer ring 4 was fitted to the bearing housing 9, and was held by the bearing retainer 5A between the bearing inner ring 2 and the bearing outer ring 4. Many cylindrical rollers 3 are interposed.
【００１９】これにより、回転軸１が回転すると、軸受
内輪２も回転軸１と一体に回転し、円筒ころ３が自転及
び公転（回転軸１の中心回りの回転）を行ない、軸受保
持器５Ａも円筒ころ３と共に公転するようになってい
る。なお、軸受ハウジング９の上部内周には、軸受外輪
押さえ１０が装着されており、軸受外輪４は、軸受ハウ
ジング９の内周に嵌合し、軸受ハウジング９に形成され
た段部９Ｂと軸受外輪押さえ１０とにより軸方向に挟持
され固定されている。そして、本軸受保持器５Ａは強磁
性体により形成されている。Thus, when the rotating shaft 1 rotates, the bearing inner ring 2 also rotates integrally with the rotating shaft 1, and the cylindrical roller 3 rotates and revolves (rotation about the center of the rotating shaft 1), and the bearing retainer 5A Also revolves with the cylindrical roller 3. A bearing outer ring retainer 10 is mounted on the upper inner periphery of the bearing housing 9, and the bearing outer ring 4 is fitted on the inner periphery of the bearing housing 9, and the stepped portion 9 </ b> B formed in the bearing housing 9 and the bearing 9. It is sandwiched and fixed in the axial direction by the outer ring retainer 10. The bearing holder 5A is made of a ferromagnetic material.
【００２０】また、回転軸１と軸受ハウジング９との相
互間の上部には、上部蓋８が装着され、この上部蓋８に
は給油ノズル７が備えられており、この上部蓋８の給油
ノズル７から軸受内輪２と軸受外輪４との間の円筒ころ
３の近傍に潤滑油が供給されるようになっている。一
方、回転軸１と軸受ハウジング９との相互間の下部に
は、軸受ハウジング９から延設された延設部９Ａが位置
しており、この延設部９Ａに、軸受保持器５Ａの公転数
を計測する回転検出センサ６Ａが装着されている。An upper cover 8 is mounted on an upper portion between the rotary shaft 1 and the bearing housing 9, and the upper cover 8 is provided with a fuel supply nozzle 7. 7, lubricating oil is supplied to the vicinity of the cylindrical roller 3 between the bearing inner ring 2 and the bearing outer ring 4. On the other hand, an extension 9A extending from the bearing housing 9 is located at a lower portion between the rotary shaft 1 and the bearing housing 9, and the number of revolutions of the bearing retainer 5A is provided on the extension 9A. Is mounted.
【００２１】なお、上部蓋８と回転軸１との間、及び、
軸受ハウジング９の延設部９Ａと回転軸１との間には、
それぞれオイルシール１１が介装されており、軸受内部
がシールされている。ところで、上記の回転検出センサ
６Ａとしては、ホール素子が用いられており、この回転
検出センサ（以下、回転検出用ホール素子ともいう）６
は強磁性体製の軸受保持器５Ａの一面〔図１（Ａ）に示
す下面〕に対向して設けられている。強磁性体製の軸受
保持器５Ａの回転検出センサ６Ａ位置に対応する円周上
には、回転検出用ホール素子６Ａにパルス信号を出力す
るために磁化され、図１（Ｂ）に示すように、Ｎ極とＳ
極とが形成されている。Incidentally, between the upper lid 8 and the rotating shaft 1, and
Between the extending portion 9A of the bearing housing 9 and the rotating shaft 1,
An oil seal 11 is interposed in each case, and the inside of the bearing is sealed. By the way, a hall element is used as the rotation detection sensor 6A, and this rotation detection sensor (hereinafter also referred to as a rotation detection Hall element) 6A
Is provided so as to face one surface [the lower surface shown in FIG. 1 (A)] of the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material. On the circumference corresponding to the position of the rotation detection sensor 6A of the ferromagnetic bearing holder 5A, it is magnetized to output a pulse signal to the rotation detection Hall element 6A, as shown in FIG. 1 (B). , N pole and S
A pole is formed.
【００２２】つまり、図１（Ｂ）に示すように、軸受保
持器５Ａの上面側５ａ及び下面側５ｂは、それぞれ、
Ｎ，Ｓで示すように、Ｎ極とＳ極とに磁化されており、
上面側５ａがＮ極に磁化された位置では下面側５ｂはＳ
極に磁化され、逆に、上面側５ａがＳ極に磁化された位
置では下面側５ｂはＮ極に磁化されている。これによ
り、Ｎ極，Ｓ極の相互間に、図１（Ｂ）に矢印で示すよ
うに磁界が形成される。That is, as shown in FIG. 1B, the upper surface 5a and the lower surface 5b of the bearing holder 5A are respectively
As shown by N and S, it is magnetized into N and S poles,
At the position where the upper surface 5a is magnetized to the N pole, the lower surface 5b is
At the position where the upper surface 5a is magnetized to the S pole, the lower surface 5b is magnetized to the N pole. As a result, a magnetic field is formed between the N pole and the S pole as shown by the arrow in FIG.
【００２３】なお、軸受保持器５Ａの上面側５ａ及び下
面側５ｂのいずれか一方を磁化することにより、一方の
面のみにＮ極とＳ極とを設けることも考えられる。とこ
ろで、回転検出センサ６Ａとして用いられるホール素子
の原理を説明すると、ホール素子は、ホール効果を利用
した磁電返還素子であり、図２に示すように、半導体で
作られた厚さｄのウエハＷに端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 ，Ｔ
4 を取り付けられており、入力制御電流ＩC を端子
Ｔ1 ，Ｔ3 に流し、外部から磁束密度Ｂの磁界をウエハ
Ｗ面に垂直に作用させると、出力端子Ｔ2 ，Ｔ4 間に電
位差ＶHが発生する。このＶH をホール出力電圧と呼
び、このホール出力電圧ＶH の大きさは、次式のように
なる。It is also conceivable that one of the upper surface 5a and the lower surface 5b of the bearing retainer 5A is magnetized to provide an N pole and an S pole only on one surface. By the way, the principle of the Hall element used as the rotation detecting sensor 6A will be described. The Hall element is a magnetoelectric return element using the Hall effect, and as shown in FIG. Terminals T 1 , T 2 , T 3 , T
When an input control current I C is applied to the terminals T 1 and T 3 and a magnetic field having a magnetic flux density B is applied to the surface of the wafer W perpendicularly from the outside, the potential difference between the output terminals T 2 and T 4 is increased. V H occurs. This V H is called a Hall output voltage, and the magnitude of the Hall output voltage V H is given by the following equation.
【００２４】 ＶH ＝（ＲH ／ｄ）・ＩC ・Ｂ （ＲH ：ホール係数） このようにホール素子では、制御電流ＩC および外部磁
束密度Ｂの積に比例したホール出力電圧ＶH が得られ
る。このため、強磁性体製の軸受保持器５Ａが公転し
て、そのＮ極，Ｓ極に磁化された部分が回転検出用ホー
ル素子６Ａの直前〔図１（Ａ）中では回転検出用ホール
素子６Ａの上部〕を通過すると、Ｎ極，Ｓ極により形成
される磁界が通過することになり、回転検出用ホール素
子６Ａに磁界が作用することになる。したがって、回転
検出用ホール素子６Ａのホール出力電圧ＶH は、軸受保
持器５ＡにおけるＮ極，Ｓ極のない箇所が通過している
際には、発生しない（ＶH ＝０）が、Ｎ極通過時及びＳ
極通過時に瞬間的には、瞬間的に発生する。V H = (R H / d) · I C · B (R H : Hall coefficient) As described above, in the Hall element, the Hall output voltage V H is proportional to the product of the control current I C and the external magnetic flux density B. Is obtained. For this reason, the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material revolves, and the portions magnetized to the N and S poles are immediately before the rotation detecting Hall element 6A (in FIG. 1A, the rotation detecting Hall element). 6A], the magnetic field formed by the N and S poles passes, and the magnetic field acts on the rotation detecting Hall element 6A. Therefore, the Hall output voltage V H of the rotation detecting Hall element 6A is not generated (V H = 0) when passing through a portion of the bearing retainer 5A without the N pole and the S pole, but the N pole When passing and S
It occurs momentarily at the time of pole passing.
【００２５】ここでは、軸受保持器５Ａに保持された一
つの円筒ころ３を挟んでその前後二箇所に、Ｎ極，Ｓ極
が形成されているので、軸受保持器５Ａが１回転すると
Ｎ極，Ｓ極に応じたパルス電圧がそれぞれ（従って２
個）出力されるようになっている。したがって、このパ
ルス電圧をとらえることにより軸受保持器５Ａの公転数
を計測することができるのである。Here, the N pole and the S pole are formed at two places before and after the one cylindrical roller 3 held by the bearing holder 5A, so that the N pole is formed when the bearing holder 5A makes one rotation. , S poles respectively (therefore, 2
) Are output. Therefore, the number of revolutions of the bearing retainer 5A can be measured by capturing the pulse voltage.
【００２６】本発明の第１実施形態としての回転数計測
装置は、上述のように構成さているので、強磁性体製の
軸受保持器５Ａが公転すると、そのＮ極，Ｓ極に磁化さ
れた部分が回転検出用ホール素子６Ａの直前を通過する
たびに、ホール出力電圧ＶHが発生して、軸受保持器５
Ａが１回転するとＮ極，Ｓ極に応じたパルス電圧が２個
出力されるため、このパルス電圧をカウントすることに
より、軸受保持器５Ａの公転数を計測することができ
る。Since the rotation speed measuring device according to the first embodiment of the present invention is configured as described above, when the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material revolves, its N and S poles are magnetized. Each time the portion passes just before the rotation detecting Hall element 6A, a Hall output voltage V H is generated and the bearing holder 5
When A rotates once, two pulse voltages corresponding to the N pole and the S pole are output. By counting the pulse voltages, the number of revolutions of the bearing holder 5A can be measured.
【００２７】特に、本実施形態では、強磁性体製の軸受
保持器５Ａを磁化することにより軸受保持器５ＡにＮ
極，Ｓ極を設けるようにしているので、以下のような効
果や利点がある。軸受保持器５Ａや円筒ころ３に、貼り
付けや切り欠き加工するための開放作業が不要となり、
その結果、加工費および開放工事費が節約でき、経済性
が向上する効果がある。また製品を傷付けることがない
ため、製品の品質を低下させることがない。さらに、簡
単で確実に回転数の計測を行なうことができる。In particular, in the present embodiment, the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material is magnetized so that N
Since the pole and the south pole are provided, the following effects and advantages are obtained. Opening work for pasting and notching on the bearing retainer 5A and the cylindrical roller 3 becomes unnecessary,
As a result, processing costs and open construction costs can be saved, and there is an effect that economic efficiency is improved. Further, since the product is not damaged, the quality of the product is not reduced. Furthermore, the rotation speed can be measured simply and reliably.
【００２８】軸受保持器５Ａに薄板を貼り付けて検出す
る場合のように、高速回転時に遠心力によって薄板が外
れるようなことがないため、確実に検出を行なえ、且
つ、薄板が外れて潤滑油の異物になるような不具合も発
生しない。軸受保持器５Ａに薄板を貼り付けて検出する
場合や切り欠き加工を施して検出する場合のように、軸
受にアンバランス等が発生し回転系の振動が増大すると
いう不具合がなく、回転系の性能を損なうことがない。Unlike a case where a thin plate is attached to the bearing retainer 5A for detection, the thin plate does not come off due to centrifugal force during high-speed rotation, so that the detection can be performed reliably, and the thin plate comes off and the lubricating oil There is no problem such as becoming foreign matter. As in the case of detecting by attaching a thin plate to the bearing retainer 5A or detecting by performing notch processing, there is no problem that unbalance or the like occurs in the bearing and the vibration of the rotating system increases. There is no loss of performance.
【００２９】したがって、回転数モニタとして高速回転
域までの広い範囲で使用することができ、回転数計測装
置としての信頼性が向上する。回転する機械装置等で磁
性体で形成された回転部分であれば簡単に磁化すること
ができるため、種々多様な機械要素の回転数検出に利用
することができ、しかも、検出が容易であり信頼性も高
い。Therefore, it can be used as a rotation speed monitor in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved. A rotating part made of a magnetic material in a rotating mechanical device can be easily magnetized, so that it can be used for detecting the rotational speed of various mechanical elements, and is easy to detect and reliable. The nature is also high.
【００３０】つぎに、図３を参照して、本発明の第２実
施形態としての回転数計測装置を説明すると、図３
（Ａ）はその装置を装備した軸受部の断面図、図３
（Ｂ）は軸受部の検出対象部分の磁化状態を示す軸受保
持器外周面〔図３（Ａ）のＢ方向から見えるのが外周
面〕の展開図である。本実施形態にかかる軸受部は、図
３（Ａ）に示すように、第１実施形態と同様に構成され
ているのでその詳細な説明は省略する。本実施形態の回
転数計測装置は、回転検出センサ６Ｂが第１実施形態の
ものとは異なっているので、この点を中心に説明する。Next, with reference to FIG. 3, a description will be given of a rotation speed measuring apparatus according to a second embodiment of the present invention.
(A) is a sectional view of a bearing part equipped with the device, FIG.
FIG. 3B is a developed view of the outer peripheral surface of the bearing cage (the outer peripheral surface seen from the direction B in FIG. 3A) showing the magnetization state of the detection target portion of the bearing portion. As shown in FIG. 3A, the bearing portion according to the present embodiment is configured in the same manner as in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted. In the rotation speed measuring device of the present embodiment, the rotation detecting sensor 6B is different from that of the first embodiment.
【００３１】つまり、本実施形態では、上記の回転検出
センサ６Ｂとして、電磁誘導器が用いられており、この
回転検出センサ（以下、回転検出用電磁誘導器ともい
う）６Ｂは強磁性体製の軸受保持器５Ａの一面〔図１
（Ａ）に示す下面〕に対向して設けられている。強磁性
体製の軸受保持器５Ａは、回転検出用電磁誘導器６Ｂに
パルス信号を出力するために、図１（Ｂ）に示すよう
に、第１実施形態と同様、Ｎ極とＳ極とが磁化されてい
る。That is, in the present embodiment, an electromagnetic inductor is used as the rotation detection sensor 6B, and the rotation detection sensor (hereinafter also referred to as a rotation detection electromagnetic inductor) 6B is made of a ferromagnetic material. One surface of the bearing retainer 5A [FIG.
(A) shown in FIG. As shown in FIG. 1B, the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material outputs an N-pole and an S-pole in order to output a pulse signal to the electromagnetic detector 6B for rotation detection, as in the first embodiment. Are magnetized.
【００３２】ところで、回転検出センサ６Ｂとして用い
られる電磁誘導器の原理を説明すると、電磁誘導により
回転を検出する場合、サーチコイル６ｂの線径，巻数，
コイル径等に応じた大きさで生じる微電圧の出力を利用
する。つまり、サーチコイル６ｂを巻いた検出器に磁化
したＮ極，Ｓ極の部位を通過させれば、磁束変化がサー
チコイル６ｂに微弱な電圧を誘起させる。したがって、
この電圧変化のパルスを増幅させることにより回転数を
計測できるのである。By the way, the principle of the electromagnetic inductor used as the rotation detecting sensor 6B will be described. When rotation is detected by electromagnetic induction, the wire diameter, number of turns,
The output of a minute voltage generated in a size corresponding to the coil diameter or the like is used. In other words, if the detector around which the search coil 6b is wound passes the magnetized N and S poles, a change in magnetic flux induces a weak voltage in the search coil 6b. Therefore,
The rotation speed can be measured by amplifying the voltage change pulse.
【００３３】このため、強磁性体製の軸受保持器５Ａが
公転して、そのＮ極，Ｓ極に磁化された部分が回転検出
用電磁誘導器６Ｂの直前〔図３（Ａ）中では回転検出用
電磁誘導器６Ｂの上部〕を通過すると、Ｎ極，Ｓ極によ
り形成される磁界が通過することになり、磁束変化が回
転検出用電磁誘導器６Ｂのサーチコイル６ｂに微弱な電
圧を誘起させる。したがって、この回転検出用電磁誘導
器６Ｂのサーチコイル６ｂに誘起する微弱な電圧を増幅
することで、Ｎ極部，Ｓ極部の通過を検知することがで
きる。For this reason, the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material revolves, and the portions magnetized to the N and S poles are immediately before the rotation detecting electromagnetic inductor 6B [in FIG. When the magnetic flux passes through the upper part of the electromagnetic induction detector 6B], the magnetic field formed by the N and S poles passes, and a change in magnetic flux induces a weak voltage in the search coil 6b of the electromagnetic induction generator 6B for rotation detection. Let it. Therefore, the passage of the N pole portion and the S pole portion can be detected by amplifying the weak voltage induced in the search coil 6b of the electromagnetic detector 6B for rotation detection.
【００３４】ここでは、軸受保持器５Ａに保持される一
つの円筒ころ３を挟んでその前後二箇所に、Ｎ極，Ｓ極
が形成されているので、軸受保持器５Ａが１回転すると
このＮ極，Ｓ極に応じた微弱なパルス電圧がそれぞれ
（従って２個）出力されるようになっている。したがっ
て、このパルス電圧をとらえることにより軸受保持器５
Ａの公転数を計測することができるのである。Here, the N pole and the S pole are formed in two places before and after the one cylindrical roller 3 held by the bearing holder 5A, so that when the bearing holder 5A makes one rotation, the N pole and the N pole are formed. Weak pulse voltages corresponding to the poles and S poles are output (thus, two). Therefore, by capturing this pulse voltage, the bearing cage 5
The number of revolutions of A can be measured.
【００３５】本発明の第２実施形態としての回転数計測
装置は、上述のように構成さているので、強磁性体製の
軸受保持器５Ａが公転すると、そのＮ極，Ｓ極に磁化さ
れた部分が回転検出用電磁誘導器６Ｂの直前を通過する
たびに、回転検出用電磁誘導器６Ｂのサーチコイル６ｂ
に微弱なパルス電圧が生じて、軸受保持器５Ａが１回転
するとＮ極，Ｓ極に応じたパルス電圧が２個出力される
ため、このパルス電圧をカウントすることにより、軸受
保持器５Ａの公転数を計測することができる。Since the rotation speed measuring device according to the second embodiment of the present invention is configured as described above, when the bearing holder 5A made of a ferromagnetic material revolves, its N and S poles are magnetized. Each time the portion passes just before the rotation detecting electromagnetic inductor 6B, the search coil 6b of the rotation detecting electromagnetic inductor 6B
When the bearing holder 5A makes one rotation, two pulse voltages corresponding to the N-pole and the S-pole are output. By counting these pulse voltages, the revolution of the bearing holder 5A is performed. The number can be measured.
【００３６】特に、本実施形態でも、第１実施形態と同
様に、強磁性体製の軸受保持器５Ａを磁化することによ
り軸受保持器５ＡにＮ極，Ｓ極を設けるようにしている
ので、以下のように第１実施形態と同様の効果や利点が
ある。つまり、軸受保持器５Ａや円筒ころ３に、貼り付
けや切り欠き加工するための開放作業が不要となり、そ
の結果、加工費および開放工事費が節約でき、経済性が
向上する効果がある。また製品を傷付けることがないた
め、製品の品質を低下させることがない。さらに、簡単
で確実に回転数の計測を行なうことができる。In particular, in the present embodiment, similarly to the first embodiment, the bearing holder 5A is provided with N pole and S pole by magnetizing the ferromagnetic bearing holder 5A. There are the same effects and advantages as the first embodiment as described below. In other words, there is no need for an opening operation for attaching or notching to the bearing retainer 5A and the cylindrical roller 3, and as a result, the processing cost and the opening work cost can be reduced, and the economic efficiency is improved. Further, since the product is not damaged, the quality of the product is not reduced. Furthermore, the rotation speed can be measured simply and reliably.
【００３７】軸受保持器５Ａに薄板を貼り付けて検出す
る場合のように、高速回転時に遠心力によって薄板が外
れるようなことがないため、確実に検出を行なえ、且
つ、薄板が外れて潤滑油の異物になるような不具合も発
生しない。軸受保持器５Ａに薄板を貼り付けて検出する
場合や切り欠き加工を施して検出する場合のように、軸
受にアンバランス等が発生し回転系の振動が増大すると
いう不具合がなく、回転系の性能を損なうことがない。Unlike a case where a thin plate is attached to the bearing retainer 5A for detection, the thin plate does not come off due to centrifugal force during high-speed rotation, so that the detection can be performed reliably, and the thin plate comes off and the lubricating oil There is no problem such as becoming foreign matter. As in the case of detecting by attaching a thin plate to the bearing retainer 5A or detecting by performing notch processing, there is no problem that unbalance or the like occurs in the bearing and the vibration of the rotating system increases. There is no loss of performance.
【００３８】したがって、回転数モニタとして高速回転
域までの広い範囲で使用することができ、回転数計測装
置としての信頼性が向上する。回転する機械装置等で磁
性体で形成された回転部分であれば簡単に磁化すること
ができるため、種々多様な機械要素の回転数検出に利用
することができ、しかも、検出が容易であり信頼性も高
い。Therefore, it can be used as a rotation speed monitor in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved. A rotating part made of a magnetic material in a rotating mechanical device can be easily magnetized, so that it can be used for detecting the rotational speed of various mechanical elements, and is easy to detect and reliable. The nature is also high.
【００３９】つぎに、図４を参照して、本発明の第３実
施形態としての回転数計測装置を説明すると、図４
（Ａ）はその装置を装備した軸受部の断面図、図４
（Ｂ）は軸受部の検出対象部分の磁化状態を示す軸受保
持器外周面〔図４（Ａ）のＣ方向から見えるのが外周
面〕の展開図である。本実施形態にかかる軸受部は、第
１，２実施形態と同様に構成されているのでその詳細な
説明を省略する。本実施形態の回転数計測装置では、第
１，２実施形態の軸受保持器（回転する機械要素）５Ａ
が強磁性体により形成されているのに対して、軸受保持
器（回転する機械要素）５Ｂは、非磁性体（例えば樹
脂）により形成されている点が異なっている。Next, a description will be given of a rotation speed measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention with reference to FIG.
(A) is a sectional view of a bearing unit equipped with the device, FIG.
FIG. 4B is a development view of the outer peripheral surface of the bearing cage (the outer peripheral surface seen from the direction C in FIG. 4A) showing the magnetization state of the detection target portion of the bearing portion. The bearing portion according to the present embodiment is configured in the same manner as in the first and second embodiments, and a detailed description thereof will be omitted. In the rotation speed measuring device of the present embodiment, the bearing holder (rotating machine element) 5A of the first and second embodiments is used.
Is formed of a ferromagnetic material, whereas the bearing retainer (rotating mechanical element) 5B is formed of a non-magnetic material (eg, resin).
【００４０】つまり、本実施形態では、上記の回転検出
センサ６Ａとして、第１実施形態と同様に、ホール素子
が用いられており、この回転検出センサ（回転検出用ホ
ール素子ともいう）６Ａは非磁性体製の軸受保持器５Ｂ
の一面〔図４（Ａ）に示す下面〕に対向して設けられて
いる。非磁性体製の軸受保持器５Ｂには、回転検出用ホ
ール素子６Ａにパルス信号を出力するために、図４
（Ｂ）に示すように、薄膜の磁鉄鋼（以下、磁鉄鋼製薄
膜ともいう）１２で構成されたＮ極，Ｓ極がそれぞれ蒸
着されている。That is, in the present embodiment, as in the first embodiment, a hall element is used as the rotation detection sensor 6A, and this rotation detection sensor (also referred to as a rotation detection hall element) 6A is not used. Bearing holder 5B made of magnetic material
Is provided so as to face one surface (the lower surface shown in FIG. 4A). In order to output a pulse signal to the rotation detecting Hall element 6A, a bearing holder 5B made of a non-magnetic material is used as shown in FIG.
As shown in (B), an N-pole and an S-pole composed of a thin-film magnetic steel (hereinafter, also referred to as a magnetic steel thin film) 12 are respectively deposited.
【００４１】ここでは、軸受保持器５Ｂの回転検出用ホ
ール素子６Ａの位置に対応した円周上において、軸受保
持器５Ｂの上面側〔図４（Ａ）参照〕に、一つの円筒こ
ろ３を挟むようにその前後二箇所に、Ｎ極に磁化された
磁鉄鋼製薄膜１２とＳ極に磁化された磁鉄鋼製薄膜１２
とがそれぞれ蒸着されており、軸受保持器５が１回転す
るとＮ極，Ｓ極に応じたパルス電圧がそれぞれ（従って
２個）出力されるようになっている。Here, one cylindrical roller 3 is mounted on the upper surface side of the bearing holder 5B (see FIG. 4A) on the circumference corresponding to the position of the rotation detecting Hall element 6A of the bearing holder 5B. The magnetic steel thin film 12 magnetized to the N pole and the magnetic steel thin film 12 magnetized to the S pole
Are deposited, and when the bearing holder 5 makes one rotation, pulse voltages corresponding to the N pole and the S pole are output (thus, two).
【００４２】このようにして設けられたＮ極，Ｓ極によ
って得られるパルス電圧をとらえることにより軸受保持
器５の公転数を計測することができるのである。なお、
軸受保持器５Ｂに蒸着される磁鉄鋼製薄膜（強磁性体）
１２のＮ極，Ｓ極は、箔膜厚みが１０ミクロン未満であ
り、かつ重量は１ｍｇ程度である。また、ここでは、Ｎ
極，Ｓ極の一組の磁鉄鋼製薄膜（強磁性体）１２，１２
を軸受保持器５Ｂの上面側〔図４（Ａ）参照〕に蒸着さ
せているが、Ｎ極，Ｓ極の一組の磁鉄鋼製薄膜（強磁性
体）１２，１２を、軸受保持器５Ｂの下面側に蒸着させ
る構成や、軸受保持器５Ｂの上面側と下面側との両方に
蒸着させる構成も考えられる。The number of revolutions of the bearing retainer 5 can be measured by capturing the pulse voltage obtained by the N pole and the S pole provided as described above. In addition,
Magnetic steel thin film (ferromagnetic material) deposited on bearing holder 5B
Twelve N and S poles have a foil film thickness of less than 10 microns and a weight of about 1 mg. Also, here, N
A pair of magnetic steel thin films (ferromagnetic material) 12, 12
Is deposited on the upper surface side of the bearing retainer 5B (see FIG. 4 (A)), and a pair of magnetic steel thin films (ferromagnetic material) 12, 12 of the N pole and the S pole are attached to the bearing retainer 5B. And a configuration in which deposition is performed on both the upper and lower surfaces of the bearing holder 5B.
【００４３】本発明の第３実施形態としての回転数計測
装置は、上述のように構成さているので、非磁性体製の
軸受保持器５Ｂが公転すると、磁鉄鋼製薄膜１２として
蒸着されたＮ極，Ｓ極の部分が回転検出用ホール素子６
Ａの直前を通過するたびに、回転検出用ホール素子６Ａ
にパルス電圧が生じて、軸受保持器５Ｂが１回転すると
Ｎ極，Ｓ極に応じたパルス電圧が２個出力されるため、
このパルス電圧をカウントすることにより、軸受保持器
５の公転数を計測することができる。Since the rotational speed measuring device according to the third embodiment of the present invention is configured as described above, when the non-magnetic bearing holder 5B revolves, the N deposited as the magnetic steel thin film 12 is deposited. The pole and S pole portions are rotation detection Hall elements 6
Each time it passes just before A, the rotation detecting Hall element 6A
When the bearing retainer 5B makes one rotation, two pulse voltages corresponding to the N pole and the S pole are output.
By counting the pulse voltage, the number of revolutions of the bearing holder 5 can be measured.
【００４４】特に、本実施形態では、非磁性体製の軸受
保持器５Ｂに薄膜の磁鉄鋼１２で構成されたＮ極，Ｓ極
をそれぞれ蒸着することにより軸受保持器５ＢにＮ極，
Ｓ極を設けているので、以下のような効果や利点があ
る。回転数計測の対象が非磁性体であっても、薄膜の磁
鉄鋼（強磁性体）１２を蒸着することにより、ホール素
子を用いて容易で確実な回転数計測を行なうことができ
る。したがって、種々多様な機械要素の回転数検出に利
用することができる。In particular, in the present embodiment, the N pole and the S pole composed of the thin magnetic steel 12 are deposited on the bearing holder 5B made of a nonmagnetic material, respectively, so that the N pole and the N pole are deposited on the bearing holder 5B.
Since the S pole is provided, the following effects and advantages are obtained. Even if the rotation speed measurement target is a non-magnetic material, the thin-film magnetic steel (ferromagnetic material) 12 can be deposited to easily and reliably measure the rotation speed using a Hall element. Therefore, it can be used for detecting the rotation speed of various machine elements.
【００４５】軸受保持器５Ｂに蒸着される薄膜の磁鉄鋼
（強磁性体）１２のＮ極，Ｓ極は、箔膜厚みが１０ミク
ロン未満であり、かつ重量は１ｍｇ程度であるため、軸
受保持器５Ｂの回転バランスを崩すようなことはなく、
回転系の性能を損なうことがない。また、軸受保持器５
や円筒ころ３に、貼り付けや切り欠き加工する場合のよ
うに、製品を傷付けることがないため、製品の品質を低
下させることがない。高速回転時に遠心力によって薄板
が外れたりするおそれもなく、回転系の性能を損なうこ
とがない。The N and S poles of the thin magnetic steel (ferromagnetic material) 12 deposited on the bearing holder 5B have a foil film thickness of less than 10 microns and a weight of about 1 mg. Without disrupting the rotational balance of the container 5B,
It does not impair the performance of the rotating system. Also, the bearing cage 5
The product is not damaged as in the case of pasting or notching on the cylindrical roller 3 and the quality of the product is not reduced. There is no danger of the thin plate coming off due to centrifugal force during high-speed rotation, and the performance of the rotating system is not impaired.
【００４６】したがって、回転数モニタとして高速回転
域までの広い範囲で使用することができ、回転数計測装
置としての信頼性が向上する。つぎに、図５を参照し
て、本発明の第４実施形態としての回転数計測装置を説
明すると、図５（Ａ）はその装置を装備した軸受部の断
面図、図５（Ｂ）は軸受部の検出対象部分の磁化状態を
示す軸受保持器外周面〔図５（Ａ）のＤ方向から見える
のが外周面〕の展開図である。Therefore, it can be used as a rotation speed monitor in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved. Next, a rotation speed measuring device according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. FIG. 5 (A) is a sectional view of a bearing unit equipped with the device, and FIG. FIG. 6 is a developed view of an outer peripheral surface of a bearing cage (an outer peripheral surface seen from a direction D in FIG. 5A) showing a magnetization state of a detection target portion of the bearing portion.
【００４７】本実施形態にかかる軸受部は、第１，２，
３実施形態と同様に構成されているのでその詳細な説明
を省略する。本実施形態の回転数計測装置では、第３実
施形態と同様に、軸受保持器５Ｂは非磁性体により形成
されており、また、回転検出センサ６Ｂとして、第２実
施形態と同様に、電磁誘導器が用いられている。つま
り、本実施形態では、第２実施形態において磁性体製の
軸受保持器５Ａに磁化によってＮ極，Ｓ極を設けている
のに対して、非性体製の軸受保持器５Ｂに磁鉄鋼（強磁
性体）で構成されＮ極，Ｓ極に磁化された薄膜１２を蒸
着することによってＮ極，Ｓ極を設けている。The bearing according to the present embodiment includes first, second,
Since the configuration is the same as that of the third embodiment, a detailed description thereof will be omitted. In the rotation speed measuring device of the present embodiment, the bearing retainer 5B is formed of a non-magnetic material as in the third embodiment, and the electromagnetic induction is used as the rotation detection sensor 6B as in the second embodiment. Vessel is used. In other words, in the present embodiment, the magnetic material bearing holder 5A in the second embodiment is provided with N and S poles by magnetization, whereas the non-material bearing bearing 5B is provided with magnetic steel ( The N pole and the S pole are provided by depositing a thin film 12 composed of a ferromagnetic material) and magnetized to the N pole and the S pole.
【００４８】本発明の第４実施形態としての回転数計測
装置は、上述のように構成さているので、非磁性体製の
軸受保持器５Ｂが公転すると、蒸着されたＮ極，Ｓ極の
部分が回転検出用電磁誘導器６Ｂの直前を通過するたび
に、回転検出用電磁誘導器６Ｂにパルス電圧が生じて、
軸受保持器５Ｂが１回転するとＮ極，Ｓ極に応じたパル
ス電圧が２個出力されるため、このパルス電圧をカウン
トすることにより、軸受保持器５の公転数を計測するこ
とができる。Since the rotation speed measuring apparatus according to the fourth embodiment of the present invention is configured as described above, when the non-magnetic bearing holder 5B revolves, the deposited N-pole and S-pole portions are rotated. Each time passes immediately before the rotation detecting electromagnetic inductor 6B, a pulse voltage is generated in the rotation detecting electromagnetic inductor 6B,
When the bearing retainer 5B makes one rotation, two pulse voltages corresponding to the N pole and the S pole are output. By counting the pulse voltages, the number of revolutions of the bearing retainer 5 can be measured.
【００４９】特に、本実施形態では、第３実施形態と同
様に、非磁性体製の軸受保持器５ＢにＮ極，Ｓ極に磁化
された磁鉄鋼製薄膜１２を蒸着することにより軸受保持
器５ＢにＮ極，Ｓ極を設けているので、以下のように第
３実施形態と同様の効果や利点がある。回転数計測の対
象が非磁性体であっても、薄膜の磁鉄鋼（強磁性体）１
２を蒸着することにより、ホール素子を用いて容易で確
実な回転数計測を行なうことができる。したがって、種
々多様な機械要素の回転数検出に利用することができ
る。In particular, in the present embodiment, as in the third embodiment, a magnetic steel thin film 12 magnetized to have N and S poles is deposited on a bearing holder 5B made of a non-magnetic material to deposit the bearing holder. Since the N-pole and the S-pole are provided in 5B, the same effects and advantages as in the third embodiment are obtained as described below. Even if the target of rotation speed measurement is a non-magnetic material, a thin-film magnetic steel (ferromagnetic material) 1
By vapor-depositing 2, the number of rotations can be measured easily and reliably using a Hall element. Therefore, it can be used for detecting the rotation speed of various machine elements.
【００５０】軸受保持器５Ｂに蒸着される薄膜の磁鉄鋼
（強磁性体）１２のＮ極，Ｓ極は、箔膜厚みが１０ミク
ロン未満であり、かつ重量は１ｍｇ程度であるため、軸
受保持器５Ｂの回転バランスを崩すようなことはなく、
回転系の性能を損なうことがない。また、軸受保持器５
や円筒ころ３に、貼り付けや切り欠き加工する場合のよ
うに、製品を傷付けることがないため、製品の品質を低
下させることがない。高速回転時に遠心力によって薄板
が外れたりするおそれもなく、回転系の性能を損なうこ
とがない。The N and S poles of the thin magnetic steel (ferromagnetic material) 12 deposited on the bearing holder 5B have a foil film thickness of less than 10 microns and a weight of about 1 mg. Without disrupting the rotational balance of the container 5B,
The performance of the rotating system is not impaired. Also, the bearing cage 5
The product is not damaged as in the case of pasting or notching on the cylindrical roller 3 and the quality of the product is not reduced. There is no risk that the thin plate will come off due to centrifugal force during high-speed rotation, and the performance of the rotating system will not be impaired.
【００５１】したがって、回転数モニタとして高速回転
域までの広い範囲で使用することができ、回転数計測装
置としての信頼性が向上する。つぎに、図６，図７を参
照して、本発明の第５施形態としての回転数計測装置を
説明すると、図６はその装置を装備した機械装置の回転
軸端部を示す図、図７はその装置の検出データの例を示
す図である。Therefore, it can be used as a rotation speed monitor in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved. Next, a rotation speed measuring device according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a diagram showing a rotating shaft end of a mechanical device equipped with the device. FIG. 7 is a diagram showing an example of detection data of the device.
【００５２】図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、機械装
置の一部を構成する強磁性体製の回転軸１の端部１Ａの
外周には、Ｎ極，Ｓ極の磁化が行なわれており、この回
転軸端部１Ａの外周のＮ極，Ｓ極の磁化が行なわれた箇
所に対向しうるように、回転検出センサとしての回転検
出用ホール素子６Ａが配設されている。また、Ｎ極，Ｓ
極は中心角が９０度をなすような位置関係で対をなして
配設されている。As shown in FIGS. 6A and 6B, N-pole and S-pole magnetizations are provided on the outer periphery of the end 1A of the rotating shaft 1 made of a ferromagnetic material, which constitutes a part of the mechanical device. A rotation detection Hall element 6A as a rotation detection sensor is provided so as to be able to face a location where the N and S poles are magnetized on the outer periphery of the rotation shaft end 1A. . In addition, N pole, S
The poles are arranged in pairs such that the center angle is 90 degrees.
【００５３】したがって、回転軸１が回転すると、Ｎ
極，Ｓ極が通過する毎に回転検出用ホール素子６Ａにホ
ール出力電圧ＶH がパルス状に発生するが、右回転の場
合には、Ｓ極の電圧パルスが得られた後に回転軸１が９
０度右回転した時点でＮ極の電圧パルスが得られ、左回
転の場合には、逆に、Ｎ極の電圧パルスが得られた後に
回転軸１が９０度左回転した時点でＳ極の電圧パルスが
得られるようになっている。Therefore, when the rotating shaft 1 rotates, N
Each time the pole and the south pole pass, a Hall output voltage VH is generated in a pulse form in the rotation detecting Hall element 6A. In the case of right rotation, the rotating shaft 1 is rotated after the voltage pulse of the south pole is obtained. 9
At the time of right rotation by 0 degrees, a voltage pulse of the N pole is obtained. In the case of left rotation, conversely, at the time of rotation of the rotating shaft 1 by 90 degrees to the left after the voltage pulse of the N pole is obtained, the voltage of the S pole is obtained. A voltage pulse is obtained.
【００５４】なお、ここでは、Ｎ極の電圧パルスは正の
電圧値として出力され、Ｓ極の電圧パルスは負の電圧値
として出力されるようになっている。したがって、互い
に接近して生じる２つのパルス電圧（回転角９０度分の
差で生じる２つのパルス電圧）の正負の順序を判定する
ことで、回転軸１の回転方向を判定することができるよ
うになっている。Here, the N-pole voltage pulse is output as a positive voltage value, and the S-pole voltage pulse is output as a negative voltage value. Therefore, the direction of rotation of the rotating shaft 1 can be determined by determining the positive / negative order of two pulse voltages generated close to each other (two pulse voltages generated with a difference of a rotation angle of 90 degrees). Has become.
【００５５】本発明の第５実施形態としての回転数計測
装置は、上述のように構成さているので、強磁性体製の
回転軸１が回転すると、磁化されたＮ極，Ｓ極の部分が
回転検出用ホール素子６Ａの直前を通過するたびに、回
転検出用ホール素子６Ａにパルス電圧が生じて、回転軸
１が１回転するとＮ極，Ｓ極に応じたパルス電圧が合計
２個出力されるため、このパルス電圧をカウントするこ
とにより、回転軸１の回転数を計測することができる。Since the rotation speed measuring device according to the fifth embodiment of the present invention is configured as described above, when the rotation shaft 1 made of a ferromagnetic material rotates, the magnetized N-pole and S-pole portions are rotated. A pulse voltage is generated in the rotation detecting Hall element 6A each time the light passes immediately before the rotation detecting Hall element 6A. When the rotating shaft 1 makes one rotation, a total of two pulse voltages corresponding to the N pole and the S pole are output. Therefore, the number of rotations of the rotating shaft 1 can be measured by counting the pulse voltage.
【００５６】また、このとき出力されるパルス信号は、
例えば回転軸１が右回転しているときには回転角に対し
て図７（Ａ）に示すように発生し、回転軸１が左回転し
ているときには回転角に対して図７（Ｂ）に示すように
発生する。なお、図７（Ａ），（Ｂ）の横軸は回転軸の
軸角度（回転角）であり、時間軸に対応させると、軸角
度の右側（大きい側）から順にパルス信号が発生する。
また、縦軸は、パルス電圧の値であり、パルス電圧が負
であればＳ極が通過したことを示し、パルス電圧が正で
あればＮ極が通過したことを示す。The pulse signal output at this time is:
For example, when the rotating shaft 1 is rotating rightward, the rotation angle is generated as shown in FIG. 7A, and when the rotating shaft 1 is rotating leftward, the rotation angle is shown in FIG. 7B. So happens. Note that the horizontal axis in FIGS. 7A and 7B is the axis angle (rotation angle) of the rotation axis, and when corresponding to the time axis, pulse signals are generated in order from the right side (larger side) of the axis angle.
The vertical axis represents the value of the pulse voltage. If the pulse voltage is negative, the S-pole has passed, and if the pulse voltage is positive, the N-pole has passed.
【００５７】したがって、互いに接近した２つのパルス
電圧の正負の順序で、回転軸１の回転方向を判定するこ
とができるのである。例えば互いに接近した２つのパル
ス電圧が、負，正の順であれば回転軸１は右回転である
と判定することができ、互いに接近した２つのパルス電
圧が、正，負の順であれば回転軸１は左回転であると判
定することができる。Therefore, the direction of rotation of the rotating shaft 1 can be determined in the positive and negative order of the two pulse voltages approaching each other. For example, if the two pulse voltages approaching each other are in the order of negative and positive, it can be determined that the rotating shaft 1 is rotating clockwise, and if the two pulse voltages approaching each other are in the order of positive and negative. The rotation axis 1 can be determined to be counterclockwise.
【００５８】実施形態の回転数計測装置によれば、Ｎ
極，Ｓ極のパルス信号を検出することにより、回転軸１
の回転方向を判定することが可能となるので、１つのセ
ンサ６Ａにより、正，逆の回転方向と回転数とを計測す
ることができる利点がある。また、本実施形態では、第
１，２実施形態と同様に、強磁性体製の軸受保持器５Ａ
を磁化することにより回転軸１にＮ極，Ｓ極を設けるよ
うにしているので、以下のような効果や利点がある。According to the rotation speed measuring device of the embodiment, N
By detecting the pulse signals of the pole and the S pole, the rotation axis 1
It is possible to determine the rotation direction of the rotation direction, and there is an advantage that it is possible to measure the forward and reverse rotation directions and the number of rotations with one sensor 6A. In this embodiment, similarly to the first and second embodiments, the ferromagnetic bearing holder 5A is used.
Are magnetized to provide an N pole and an S pole on the rotating shaft 1, and thus have the following effects and advantages.
【００５９】回転軸１に、貼り付けや切り欠き加工する
ための開放作業が不要となり、その結果、加工費および
開放工事費が節約でき、経済性が向上する効果がある。
また製品を傷付けることがないため、製品の品質を低下
させることがない。さらに、簡単で確実に回転数の計測
を行なうことができる。回転軸１に薄板を貼り付けて検
出する場合のように、高速回転時に遠心力によって薄板
が外れるようなことがないため、確実に検出を行なえ、
且つ、薄板が外れて潤滑油の異物になるような不具合も
発生しない。Opening work for pasting or notching on the rotating shaft 1 is not required, and as a result, processing costs and opening work costs can be saved, and there is an effect of improving economic efficiency.
Further, since the product is not damaged, the quality of the product is not reduced. Furthermore, the rotation speed can be measured simply and reliably. Unlike a case where a thin plate is attached to the rotating shaft 1 for detection, the thin plate does not come off due to centrifugal force during high-speed rotation.
In addition, there is no problem that the thin plate comes off and becomes a foreign matter of the lubricating oil.
【００６０】回転軸１に薄板を貼り付けて検出する場合
や切り欠き加工を施して検出する場合のように、軸受に
アンバランス等が発生し回転系の振動が増大するという
不具合がなく、回転系の性能を損なうことがない。した
がって、回転数モニタとして高速回転域までの広い範囲
で使用することができ、回転数計測装置としての信頼性
が向上する。As in the case of detecting by attaching a thin plate to the rotating shaft 1 or detecting by applying notch processing, there is no problem that unbalance or the like occurs in the bearing and the vibration of the rotating system increases. Does not impair system performance. Therefore, it can be used as a rotation speed monitor in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved.
【００６１】回転する機械装置等で磁性体で形成された
回転部分であれば簡単に磁化することができるため、種
々多様な機械要素の回転数検出に利用することができ
る。しかも、検出が容易であり信頼性も高い。なお、本
発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、
本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態に種々
の変形を加えて適用しうるものである。例えば軸受構造
についても、上記実施形態のものに限定されるものでは
ない。また、上述の各実施形態では、磁化又は磁性体製
の薄膜の蒸着によってＮ極，Ｓ極をそれぞれ回転方向に
ずらせて一対だけ形成した例を説明しているが、当然な
がらこのようなＮ極，Ｓ極の組を適当な個数設けて、Ｎ
極，Ｓ極数に応じて回転角度レベルを細かく検出できる
ようにしてもよい。A rotating portion formed of a magnetic material by a rotating mechanical device or the like can be easily magnetized, and can be used for detecting the rotational speed of various mechanical elements. In addition, detection is easy and reliability is high. Note that the present invention is not limited to the above embodiments,
Various modifications can be applied to the above embodiment without departing from the spirit of the present invention. For example, the bearing structure is not limited to the above embodiment. Further, in each of the embodiments described above, an example is described in which only one pair is formed by shifting the N pole and the S pole in the rotation direction by vapor deposition of a thin film made of magnetized or magnetic material. , S poles are provided in an appropriate number, and N
The rotation angle level may be finely detected according to the number of poles and S poles.
【００６２】[0062]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の回転数計
測装置によれば、回転数計測対象に貼り付けや切り欠き
加工するための開放作業が不要となるため、加工費およ
び開放工事費が節約でき、経済性が向上する効果があ
る。また製品を傷付けることがないため、製品の品質を
低下させることがなく、さらに、簡単で確実に回転数の
計測を行なうことができる利点がある（請求項１〜
５）。As described above in detail, according to the rotation speed measuring apparatus of the present invention, since the opening work for attaching or notching the rotation speed measurement target is not required, the processing cost and the opening work are required. This has the effect of saving costs and improving economics. Further, since the product is not damaged, there is an advantage that the quality of the product is not degraded, and the number of rotations can be measured simply and reliably.
5).
【００６３】回転数モニタとして高速回転域までの広い
範囲で使用することができ、回転数計測装置としての信
頼性が向上する（請求項１〜５）。回転数計測対象に薄
板を貼り付けて検出する場合のように、高速回転時に遠
心力によって薄板が外れるようなことがないため、確実
に検出を行なえ、且つ、薄板が外れて潤滑油の異物にな
るような不具合も発生しない。また、回転数計測対象に
薄板を貼り付けて検出する場合や切り欠き加工を施して
検出する場合のように、軸受にアンバランス等が発生し
回転系の振動が増大するという不具合がなく、回転系の
性能を損なうことがない（請求項１，２，５）。The rotation speed monitor can be used in a wide range up to a high speed rotation range, and the reliability as a rotation speed measurement device is improved (claims 1 to 5). Since the thin plate does not come off due to centrifugal force during high-speed rotation, as in the case where a thin plate is pasted on the rotation speed measurement target and detected, the detection can be performed reliably, and the thin plate comes off and foreign matter in the lubricating oil is removed. No inconvenience occurs. In addition, there is no problem that bearings become unbalanced and vibration of the rotating system increases, as in the case of detecting by attaching a thin plate to the rotation speed measurement target or by performing notch processing. The performance of the system is not impaired (claims 1, 2, 5).
【００６４】回転する機械装置等で磁性体で形成された
回転部分であれば簡単に磁化することができるため、種
々多様な機械要素の回転数検出に利用することができ、
しかも、検出が容易であり信頼性も高い（請求項１，
２，５）。回転数計測対象が非磁性体であっても、薄膜
の強磁性体を蒸着することにより、ホール素子を用いて
容易で確実な回転数計測を行なうことができ、種々多様
な機械要素の回転数検出に利用することができる（請求
項３，４）。A rotating part made of a magnetic material in a rotating mechanical device or the like can be easily magnetized, and can be used for detecting the rotational speed of various mechanical elements.
Moreover, the detection is easy and the reliability is high.
2,5). Even if the rotation speed measurement target is a non-magnetic material, it is possible to easily and reliably measure the rotation speed by using a Hall element by depositing a thin-film ferromagnetic material, and to realize the rotation speed of various mechanical elements. It can be used for detection (claims 3 and 4).
【００６５】Ｎ極，Ｓ極のパルス信号を検出することに
より、回転数計測対象の回転方向を判定することが可能
となるので、１つの回転検出用ホール素子により、回転
数計測対象の正，逆の回転方向と回転数とを計測するこ
とができる利点がある（請求項５）。By detecting the pulse signals of the N pole and the S pole, it is possible to determine the rotation direction of the rotation speed measurement target. There is an advantage that the reverse rotation direction and the number of rotations can be measured (claim 5).
【図１】本発明の第１実施形態にかかる回転数計測装置
をそなえた機械装置の要部断面図であり、（Ａ）はその
回転軸方向に沿った縦断面図、（Ｂ）はその軸受保持器
の外周面の展開図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of a mechanical device provided with a rotation speed measuring device according to a first embodiment of the present invention, (A) being a longitudinal sectional view along a rotation axis direction, and (B) being a longitudinal sectional view thereof. It is a development view of an outer peripheral surface of a bearing retainer.
【図２】本発明の第１実施形態にかかるホール素子を説
明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a Hall element according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２実施形態にかかる回転数計測装置
をそなえた機械装置の要部断面図であり、（Ａ）はその
回転軸方向に沿った縦断面図、（Ｂ）はその軸受保持器
の外周面の展開図である。FIGS. 3A and 3B are main-portion cross-sectional views of a mechanical device including a rotation speed measuring device according to a second embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a longitudinal cross-sectional view along the rotation axis direction, and FIG. It is a development view of an outer peripheral surface of a bearing retainer.
【図４】本発明の第３実施形態にかかる回転数計測装置
をそなえた機械装置の要部断面図であり、（Ａ）はその
回転軸方向に沿った縦断面図、（Ｂ）はその軸受保持器
の外周面の展開図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of a mechanical device provided with a rotation speed measuring device according to a third embodiment of the present invention, wherein (A) is a longitudinal sectional view along a rotation axis direction, and (B) is a longitudinal sectional view thereof. It is a development view of an outer peripheral surface of a bearing retainer.
【図５】本発明の第４実施形態にかかる回転数計測装置
をそなえた機械装置の要部断面図であり、（Ａ）はその
回転軸方向に沿った縦断面図、（Ｂ）はその軸受保持器
の外周面の展開図である。FIG. 5 is a sectional view of a main part of a mechanical device provided with a rotation speed measuring device according to a fourth embodiment of the present invention, wherein (A) is a longitudinal sectional view along a rotation axis direction, and (B) is a longitudinal sectional view thereof. It is a development view of an outer peripheral surface of a bearing retainer.
【図６】本発明の第５実施形態にかかる回転数計測装置
をそなえた機械装置の回転軸の要部を示す図であり、
（Ａ）はその回転軸端部の側面図、（Ｂ）はその回転軸
端部の正面図である。FIG. 6 is a view showing a main part of a rotating shaft of a mechanical device provided with a rotational speed measuring device according to a fifth embodiment of the present invention;
(A) is a side view of the rotation shaft end, and (B) is a front view of the rotation shaft end.
【図７】本発明の第５実施形態にかかる回転数計測装置
の検出データの例を示す図であり、（Ａ）は右回りの例
を、（Ｂ）は左回りの例を示す。FIGS. 7A and 7B are diagrams showing examples of detection data of a rotation speed measuring device according to a fifth embodiment of the present invention, wherein FIG. 7A shows a clockwise example and FIG. 7B shows a counterclockwise example.
【図８】従来の回転数計測装置をそなえた機械装置の要
部断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a main part of a mechanical device provided with a conventional rotation speed measuring device.
【図９】従来の回転数計測装置をそなえた機械装置の軸
受保持器の平面図である。FIG. 9 is a plan view of a bearing holder of a mechanical device provided with a conventional rotation speed measuring device.
【図１０】従来の回転数計測装置をそなえた機械装置の
軸受保持器の縦断面図（図９のＡ−Ａ矢視断面図）であ
り、（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ異なる例を示している。FIG. 10 is a longitudinal sectional view (sectional view taken along the line AA in FIG. 9) of a bearing retainer of a mechanical device provided with a conventional rotational speed measuring device, wherein (A) and (B) are different examples. Is shown.
１ 回転軸（回転する機械要素） ２ 軸受内輪 ３ 円筒ころ ４ 軸受外輪 ５Ａ 回転する機械要素としての軸受保持器（強磁性体
製） ５Ｂ 回転する機械要素としての軸受保持器（非磁性体
製） ６Ａ 回転検出用ホール素子（回転検出センサ） ６Ｂ 回転検出用電磁誘導器（回転検出センサ） ６ｂ サーチコイル ７ 給油ノズル ８ 上部蓋 ９ 軸受ハウジング ９Ａ 延設部 ９Ｂ 段部 １０ 軸受外輪押さえ １１ オイルシール １２ 薄膜の磁鉄鋼（強磁性体）DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rotary shaft (rotating machine element) 2 Bearing inner ring 3 Cylindrical roller 4 Bearing outer ring 5A Bearing holder as a rotating machine element (made of ferromagnetic material) 5B Bearing holder as a rotating machine element (made of non-magnetic material) 6A Rotation detection hall element (rotation detection sensor) 6B Rotation detection electromagnetic inductor (rotation detection sensor) 6b Search coil 7 Refueling nozzle 8 Upper lid 9 Bearing housing 9A Extension 9B Step 10 Bearing outer ring retainer 11 Oil seal 12 Thin-film magnetic steel (ferromagnetic material)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鍵本 良実 長崎市深堀町五丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 東崎 康嘉 長崎市深堀町五丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 Ｆターム(参考） 3J101 AA01 AA32 AA62 BA77 EA67 EA74 FA23 GA60 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yoshimi Kagimoto 5-717-1 Fukahori-cho, Nagasaki-shi Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Nagasaki Research Laboratory (72) Inventor Yasuka Higashizaki 5-717-1, Fukahori-cho, Nagasaki-shi No. Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Nagasaki Research Laboratory F-term (reference) 3J101 AA01 AA32 AA62 BA77 EA67 EA74 FA23 GA60
Claims (5)
回転数を計測する回転数計測装置において、 上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍に、
Ｎ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，Ｓ極
に対向するように回転検出用ホール素子を配設し、該回
転検出用ホール素子により該機械要素の回転数を検出す
ることを特徴とする、回転数計測装置。1. A rotation speed measuring device for measuring the rotation speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material, comprising:
A magnetizing N-pole and S-pole, and a rotation detecting Hall element is disposed so as to face the above-mentioned N-pole and S-pole, and the rotation number of the mechanical element is detected by the rotation detecting Hall element. A rotation speed measuring device characterized by the above-mentioned.
回転数を計測する回転数計測装置において、 上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍に、
Ｎ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，Ｓ極
に対向するように回転検出用電磁誘導器を配設し、該回
転検出用電磁誘導器により該機械要素の回転数を検出す
ることを特徴とする、回転数計測装置。2. A rotation speed measuring device for measuring a rotation speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material, comprising:
In addition to magnetizing the N pole and the S pole, a rotation detecting electromagnetic inductor is disposed so as to be opposed to the N pole and the S pole, and the rotational speed of the mechanical element is detected by the rotation detecting electromagnetic inductor. A rotational speed measuring device.
の回転数を計測する回転数計測装置において、 上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍に、
薄膜の磁鉄鋼を蒸着したＮ極，Ｓ極の磁化を行なうとと
もに、上記のＮ極，Ｓ極に対向するように回転検出用ホ
ール素子を配設し、該回転検出用ホール素子により該機
械要素の回転数を検出することを特徴とする、回転数計
測装置。3. A rotation speed measuring device for measuring the rotation speed of a rotating mechanical element made of a non-magnetic material, comprising:
The thin film magnetic steel is magnetized to form N and S poles, and a rotation detecting Hall element is disposed so as to face the N and S poles. A rotation speed measuring device, wherein the rotation speed is detected.
の回転数を計測する回転数計測装置において、 上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍に、
薄膜の磁鉄鋼を蒸着したＮ極，Ｓ極の磁化を行なうとと
もに、上記のＮ極，Ｓ極に対向するように回転検出用電
磁誘導器を配設し、該回転検出用電磁誘導器により該機
械要素の回転数を検出することを特徴とする、回転数計
測装置。4. A rotation speed measuring device for measuring the rotation speed of a rotating mechanical element made of a non-magnetic material, comprising:
In addition to magnetizing the N and S poles on which the thin-film magnetic steel is deposited, a rotation detecting electromagnetic inductor is disposed so as to face the above N and S poles. A rotational speed measuring device for detecting a rotational speed of a machine element.
回転数を計測する回転数計測装置において、 上記の回転する機械要素の同一円周上又はその近傍に、
Ｎ極，Ｓ極の磁化を行なうとともに、上記のＮ極，Ｓ極
に対向するように回転検出用ホール素子を配設し、該回
転検出用ホール素子により該機械要素の回転数と回転方
向とを検出することを特徴とする、回転数計測装置。5. A rotation speed measuring device for measuring the rotation speed of a rotating mechanical element made of a magnetic material, wherein the rotating mechanical element is provided on or around the same circumference of the rotating mechanical element.
In addition to magnetizing the N pole and the S pole, a rotation detecting Hall element is disposed so as to face the N pole and the S pole, and the rotation number and rotation direction of the machine element are determined by the rotation detecting Hall element. A rotation speed measuring device, wherein
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202323A JP2000035435A (en) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Rotation number measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202323A JP2000035435A (en) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Rotation number measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10202323A Pending JP2000035435A (en) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Rotation number measuring device |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000035435A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005331097A (en) * | 2004-01-29 | 2005-12-02 | Nsk Ltd | Rolling bearing unit |
| JP2008514930A (en) * | 2004-09-28 | 2008-05-08 | ザ・ユニバーシティ・オブ・クイーンズランド | Magnetic dosimeter |
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-
1998
- 1998-07-16 JP JP10202323A patent/JP2000035435A/en active Pending
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