DE69727322T2

DE69727322T2 - Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit

Info

Publication number: DE69727322T2
Application number: DE69727322T
Authority: DE
Inventors: Tang Zong LEE
Original assignee: Kyodo-Allied Industries Ltd
Current assignee: Kyodo-Allied Industries Ltd
Priority date: 1997-09-03
Filing date: 1997-09-03
Publication date: 2004-11-25
Anticipated expiration: 2017-09-04
Also published as: DE69727322D1; MY111326A; TW375760B; EP1378669A1; CA2302177A1; HK1019629A1; CN100436836C; CN1447031A

Description

GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von Luftbewegungsvorrichtungen auf ein Minimum. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein System zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit in einer Reinraum-Anlage.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Es ist bei einer modernen Produktions- und Prüfanlage üblich, die Teilchen in der Luft zu kontrollieren, die innerhalb einer Reinraum-Anlage zirkuliert, um die Qualität von deren Produktion zu sichern. Ob es Waferchips, Compact Disks oder Speicherplatten-Laufwerke sind, es werden wirksame Gebläse-Filter-Einheiten benötigt, nicht nur, um den Teilchengehalt innerhalb des Reinraums auf annehmbaren Niveaus zu halten, sondern auch, um die Luft umzuwälzen, die der Beschäftigte atmet.
Solche starken Gebläse-Filter-Einheiten erzeugen jedoch ein übermäßiges Geräusch. Es ist bekannt, daß längs der Leitung zu den Gebläse-Filter-Einheiten oder innerhalb derselben mit Dämm-Material ausgekleidet wird, um das durch die Windradgebläse erzeugte Geräusch zu verringern. Mit der Zeit werden jedoch Teilchen oder Fasern vom Dämm-Material von der Oberfläche gelöst und verunreinigen die Reinraum-Anlage.
Das mit dem Teilchengehalt in einer Reinraum-Anlage verbundene Problem wird in einem engen Raum oder Gehäusen, wie beispielsweise einer mehrstöckigen Wafer-Fertigungsfabrik, verschärft. Mit einem engen Raum wird bei der vorliegenden Erfindung gemeint, daß die Höhe der Decke geringer ist als drei Meter. Auf Grund des niedrigen Freiraums in der Höhe wird das Geräusch von den Gebläse-Filter-Einheiten besonders deutlich.
DE-A-35 13 902 legt eine Luftreinigungsvorrichtung für die Zufuhr von reiner Luft zu einem Arbeitsraum offen. Die Vorrichtung umfaßt ein Gehäuse, das ein durch einen Motor angetriebenes Zentrifugalgebläse, einen Filter, eine erste, zwischen dem Gebläse und dem Filter angeordnete, Ablenkplatte und eine zweite Ablenkplatte enthält. Das Gebläse zieht Luft durch einen Polyurethanschaum-Filter, und die erste Ablenkplatte leitet die Luft nach außen zur zweiten Ablenkplatte hin. Die zweite Ablenkplatte lenkt die Luft nach innen zum Filter hin ab. An den Ablenkplatten wird schalldämmendes Material bereitgestellt, und die Vorrichtung bildet eine kompakte Einheit.
ZIEL DER ERFINDUNG
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, das durch Gebläse-Filter-Einheiten erzeugte Geräusch auf ein Minimum zu verringern, ohne die Teilchenzahlen einer mit solchen Einheiten verbundenen Reinraum-Anlage zu steigern.
Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, das durch Gebläse-Filter-Einheiten erzeugte Geräusch auf ein Minimum zu verringern, ohne vorhandene Windradgebläse in einer engen Reinraum-Anlage abzuschaffen, und insbesondere ohne jedes herkömmliche Schalldämm-Material.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung stellt eine Gebläse-Filter-Einheit bereit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte angeordnetes Windradgebläse, ein an die Grundplatte gekoppeltes oberes Gehäuse mit einer Einlaßöffnung und ein an das obere Gehäuse gekoppeltes seitliches Gehäuse zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei die Gebläse-Filter-Einheit folgendes umfaßt:
wenigstens ein Paar von S-förmigen Führungen, angeordnet auf der Grundplatte innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses, zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft,
wenigstens ein Paar von perforierten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen, zum Zerstreuen des Luftstroms von denselben,
und wenigstens ein Paar von gewölbten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die perforierten Ablenkplatten, um den Luftstrom unter die Grundplatte zu leiten,
Ablenkplattenmittel, die sich unter der Grundplatte (14) befinden, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen,
wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S-förmigen Führungen, das Paar von perforierten Ablenkplatten und das Paar von gewölbten Ablenkplatten hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen.
Die vorliegende Erfindung stellt außerdem ein Verfahren zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum bereit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte angeordnetes Windradgebläse, ein an die Grundplatte gekoppeltes oberes Gehäuse mit einer Einlaßöffnung und ein an das obere Gehäuse gekoppeltes seitliches Gehäuse zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung und zum Ausstoßen der Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt:
Bereitstellen eines Paars von S-förmigen Führungen, angeordnet auf der Grundplatte innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses, zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft,
Zerstreuen des Luftstroms mit wenigstens einem Paar von perforierten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen, und
Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte mit wenigstens einem Paar von gewölbten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die perforierten Ablenkplatten, und
gleichmäßiges Verteilen des Luftstroms unter Verwendung von Ablenkplattenmitteln, die sich unter der Grundplatte befinden,
wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S-förmigen Führungen, das Paar von perforierten Ablenkplatten und das Paar von gewölbten Ablenkplatten hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen.
Vorzugsweise gibt es zum gleichmäßigen Verteilen des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte angeordnete V-förmige Ablenkplatte.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine auseinandergezogene rechtsseitige perspektivische Ansicht der vorliegenden Erfindung, die als Teil einer Gebläse-Filter-Einheit (Filter nicht gezeigt) integriert wird.
2 ist eine Querschnittsvorderansicht des Systems von geometrischen Führungen und Ablenkplatten der vorliegenden Erfindung, zusammen mit dem Filter einer Gebläse-Filter-Einheit.
3 ist eine Draufsicht des Schnitts A-A in 2, welche die S-förmige Führung und die gewölbte Ablenkplatte der vorliegenden Erfindung hervorhebt.
4 zeigt die Stellen in der Gebläse-Filter-Einheit, an denen die Geschwindigkeit des Luftstroms gemessen wurde.
5 ist ein Diagramm, das die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe über einen Bereich der Windradgebläse-Stromversorgung (gemessen in Hz) vergleicht.
6 ist ein Diagramm, das den Geräuschpegel von einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe und gemessen an einer Stelle einen Meter unmittelbar unterhalb des Auslasses der Einheit vergleicht.
BESCHREIBUNG DES AUSFÜHRUNGSBEISPIELS DER ERFINDUNG
Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum beschrieben. In der folgenden Beschreibung werden zahlreiche spezifische Details, wie beispielsweise Führungen und Ablenkplatten usw., dargelegt, um ein gründliches Verständnis der vorliegenden Erfindung zu gewährleisten. In anderen Fällen werden gut bekannte Teile, wie beispielsweise die Motoren für das Windradgebläse und die an die Gebläse-Filter-Einheiten angeschlossenen Leitungen, nicht gezeigt, um die vorliegende Erfindung nicht unklar zu machen.
1 ist eine auseinandergezogene rechtsseitige perspektivische Ansicht der vorliegenden Erfindung, die als Teil einer Gebläse-Filter-Einheit 10 (Filter nicht gezeigt) integriert wird. Die Gebläse-Filter-Einheit umfaßt ein innerhalb einer Grundplatte 14 angeordnetes Windradgebläse 12, ein oberes Gehäuse 16 bzw. seitliche Gehäuse 22. Das Windradgebläse wird durch eine Halterung 20 an der Unterseite der Grundplatte in der Grundplatte getragen. Nicht gezeigt, aber entscheidend für die Gebläse-Filter-Einheit 10, ist ein unterhalb des Windradgebläses 12 angeordneter Motor zum Gewährleisten einer Drehbewegung für das Windradgebläse.
Die Gebläse-Filter-Einheit allein zieht äußere Luft von einem Lufteinlaß 18 ein und stößt sie über eine Auslaßöffnung 19 aus, wie es in 2 gezeigt wird. An der Auslaßöffnung wird ein Filter 32 angeordnet, um große Teilchen oder Verunreinigungen zu entfernen. Während die Gebläse-Filter-Einheit wirksam ist beim Umwälzen von Luft oder Belüften in einer Reinraum-Anlage, ist das durch eine solche Einheit erzeugte Geräusch lästig. In der Industrie ist es Praxis, die Gebläse-Filter-Einheit durch Auskleiden des Innern der Gebläse-Filter-Einheit mit Dämm-Materialien, wie beispielsweise Schaumstoff, PVC-Schaum oder Glasfasern, zu dämmen. Unglücklicherweise neigt solches Dämm-Material mit der Zeit dazu, die Reinraum-Anlage zu verunreinigen, wenn Teilchen von der Oberfläche gelöst und in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit eingeführt werden. Ohne Kenntnis des Reinraum-Bedieners wird die Gebläse-Filter-Einheit eine Verunreinigungsquelle. In dem Prozeß wird die Produktion aus der Reinraum-Anlage, wie beispielsweise Waferchips, Compact Disks oder Plattenlaufwerke, verunreinigt.
Unter erneuter Bezugnahme auf 1 ist die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Anbringen von geometrischen Führungen und Ablenkplatten an strategischen Stellen längs der Luftstrombahn innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit, um das Geräusch von derselben auf ein Minimum zu verringern, ohne die durch dieselbe strömende Luft zu verunreinigen. Die vorliegende Erfindung umfaßt wenigstens einen Satz von S-förmigen Führungen 24, angeordnet um den Umfang des Windradgebläses, einen weiteren Satz von porösen Ablenkplatten 26 und gewölbten Ablenkplatten 28 zum Zerstreuen und Leiten des Luftstroms von den S-förmigen Führungen 24 und schließlich eine V-förmige Ablenkplatte 30 unterhalb des Windradgebläses zum gleichmäßigen Verteilen der Luft zum Filter 32.
3 ist eine Draufsicht des Schnitts A-A in 2, welche die S-förmige Führung und die gewölbte Ablenkplatte der vorliegenden Erfindung hervorhebt. Die S-förmigen Führungen 24 werden so konturiert, daß sie die vom Windradgebläse 12 (in einem gestrichelten Kreis gezeigt) ausgestoßene Luft aufnehmen und den Luftstrom mit einem minimalen Maß an Turbulenz zu einem Satz von perforierten Ablenkplatten 26 hin führen. Vorzugsweise werden die S-förmigen Führungen aus einem metallischen Material hergestellt, dessen Rückfederungswirkung es dem Monteur ermöglicht, sie durch Einstecken derselben zwischen einer Vielzahl von auf der Grundplatte 14 angeordneten Klammern 36 einfach einzubauen. Die perforierten Ablenkplatten 26 können aus einem Metallblech mit einer Matrix von Löchern bestehen. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung haben die Löcher einen Durchmesser von 3,3 mm mit etwa 50% Zwischenraum. Die perforierten Ablenkplatten werden in Winkeln von etwa 45 Grad angeordnet, um die Luft von den S-förmigen Führungen 24 zu zerstreuen. Angrenzend an die Unterkante der perforierten Ablenkplatten 26 und unterhalb derselben werden die gewölbten Ablenkplatten 28 zum erneuten Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte angeordnet. Obwohl die gewölbten Ablenkplatten 28 eine gerade Vorderkante annehmen können, empfiehlt die vorliegende Erfindung gerade, aber abfallende Vorderkanten 35, wie es in 2 und 3 illustriert wird. In 3 ist ebenfalls zu bemerken, daß die Anbringung der S-förmigen Führungen 24, der perforierten Ablenkplatten 26 und der gewölbten Ablenkplatten 28 in Bezug auf eine Rotationsachse von 180 Grad, zentriert in dem Windradgebläse, symmetrisch zueinander ist. Das letzte, aber nicht das unwichtigste, ist die V-förmige Ablenkplatte 30, angeordnet unterhalb der Windradgebläse-Halterung, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen, bevor er durch die Auslaßöffnung 19 der Gebläse-Filter-Einheit 10 ausgestoßen wird.
5 ist ein Diagramm, das die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe über einen Bereich von Windradgebläse-Einstellungen (gemessen in Hz) vergleicht. Die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms wird an fünfzehn unterschiedlichen Punkten in der Gebläse-Filter-Einheit gemessen, die jeweils in 4 illustriert werden. Unter Bezugnahme auf 5 ist zu erkennen, daß die Durchschnittsgeschwindigkeit einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung höher und gleichmäßiger ist als jene ohne die vorliegende Erfindung. Es ist offensichtlich, daß der Druckverlust einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung geringer ist als jener ohne die vorliegende Erfindung. Daher kann mit der Zeit eine beträchtliche Energieeinsparung erreicht werden.
Als letztes und wichtigstes ist 6 ein Diagramm, das den Geräuschpegel von einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe und gemessen an einer Stelle einen Meter unmittelbar unterhalb des Auslasses der Einheit vergleicht. Gemessen einen Meter unterhalb einer Gebläse-Filter-Einheit, ermöglicht die vorliegende Erfindung, daß die Gebläse-Filter-Einheit mit viel weniger Geräusch arbeitet als eine ohne die vorliegende Erfindung.
Während die vorliegende Erfindung besonders unter Bezugnahme auf 1 bis 6 beschrieben worden ist, unter Hervorhebung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum, sollte es sich von selbst verstehen, daß die Abbildungen nur der Illustration dienen und nicht als eine Begrenzung der Erfindung genommen werden sollten. Außerdem ist es klar, daß das Verfahren und die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung eine Gebrauchseignung bei vielen Anwendungen haben, bei denen eine Geräuschminderung erforderlich ist.

Claims

Gebläse-Filter-Einheit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte (14) angeordnetes Windradgebläse (12), ein an die Grundplatte (14) gekoppeltes oberes Gehäuse (16) mit einer Einlaßöffnung (18) und ein an das obere Gehäuse (16) gekoppeltes seitliches Gehäuse (22) zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse (22) außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse (12) zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung (18) und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Gebläse-Filter-Einheit folgendes hat: wenigstens ein Paar von S-förmigen Führungen (24), angeordnet auf der Grundplatte (14) innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses (12), zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft, wenigstens ein Paar von ersten Ablenkplatten (26), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen (24), zum Zerstreuen des Luftstroms von denselben, wenigstens ein Paar von zweiten Ablenkplatten (28), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die ersten Ablenkplatten (26), um den Luftstrom unter die Grundplatte (14) zu leiten, und Ablenkplattenmittel, die sich unter der Grundplatte (14) befinden, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S-förmigen Führungen (24), das Paar von ersten Ablenkplatten (26) und das Paar von zweiten Ablenkplatten (28) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die S-förmigen Führungen (24) aus Metall hergestellt werden.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten (26) aus Metall hergestellt werden.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten perforiert sind.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die zweiten Ablenkplatten (28) aus Metall hergestellt werden.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die zweiten Ablenkplatten gewölbt sind.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der das Ablenkplattenmittel zum gleichmäßigen Verteilen des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte angeordnete V-förmige Ablenkplatte (30) umfaßt, wobei der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S- förmige Führung (24), das Paar von ersten Ablenkplatten (26), das Paar von gewölbten Ablenkplatten (28) und die V-förmige Ablenkplatte (30) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 7, bei der die V-förmige Ablenkplatte (30) aus Metall hergestellt wird.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die S-förmigen Führungen (24) mit einer Vielzahl von Klemmnen (36) an die Grundplatte gekoppelt werden.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten (26) in einem Winkel von 45 Grad im Verhältnis zur Oberfläche des seitlichen Gehäuses angeordnet werden.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die unteren Kanten der zweiten Ablenkplatten (28) wesentlich gewölbt sind.
Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die unteren Kanten der zweiten Ablenkplatten (28) zwischen den Ecken wesentlich gerade sind.
Verfahren zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte (14) angeordnetes Windradgebläse (12), ein an die Grundplatte (14) gekoppeltes oberes Gehäuse (16) mit einer Einlaßöffnung (18) und ein an das obere Gehäuse (16) gekoppeltes seitliches Gehäuse (22) zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse (22) außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung (18) und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet wird, daß es die folgenden Schritte umfaßt: Bereitstellen eines Paars von S-förmigen Führungen (24), angeordnet auf der Grundplatte (14) innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses (12), zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft, Zerstreuen des Luftstroms mit wenigstens einem Paar von ersten Ablenkplatten (26), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen (24), und Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte (14) mit wenigstens einem Paar von zweiten Ablenkplatten (28), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die ersten Ablenkplatten (26), und gleichmäßiges Verteilen des Luftstroms unter Verwendung von Ablenkplattenmitteln, die sich unter der Grundplatte (14) befinden, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S-förmigen Führungen (24), das Paar von ersten Ablenkplatten (26) und das Paar von zweiten Ablenkplatten (28) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen.
Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der Schritt des gleichmäßigen Verteilens des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte (14) angeordnete V-förmige Ablenkplatte (30) verwendet, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S- förmigen Führungen (24), das Paar von ersten Ablenkplatten (26), das Paar von zweiten Ablenkplatten (28) und die V-förmige Ablenkplatte (30) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird.