DE69727322T2 - Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit Download PDFInfo
- Publication number
- DE69727322T2 DE69727322T2 DE69727322T DE69727322T DE69727322T2 DE 69727322 T2 DE69727322 T2 DE 69727322T2 DE 69727322 T DE69727322 T DE 69727322T DE 69727322 T DE69727322 T DE 69727322T DE 69727322 T2 DE69727322 T2 DE 69727322T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- filter unit
- fan
- pair
- blower
- baffles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/165—Axial entry and discharge
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/42—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps
- F04D29/4206—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/4226—Fan casings
- F04D29/4246—Fan casings comprising more than one outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/663—Sound attenuation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/007—Ventilation with forced flow
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von Luftbewegungsvorrichtungen auf ein Minimum. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein System zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit in einer Reinraum-Anlage.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Es ist bei einer modernen Produktions- und Prüfanlage üblich, die Teilchen in der Luft zu kontrollieren, die innerhalb einer Reinraum-Anlage zirkuliert, um die Qualität von deren Produktion zu sichern. Ob es Waferchips, Compact Disks oder Speicherplatten-Laufwerke sind, es werden wirksame Gebläse-Filter-Einheiten benötigt, nicht nur, um den Teilchengehalt innerhalb des Reinraums auf annehmbaren Niveaus zu halten, sondern auch, um die Luft umzuwälzen, die der Beschäftigte atmet.
- Solche starken Gebläse-Filter-Einheiten erzeugen jedoch ein übermäßiges Geräusch. Es ist bekannt, daß längs der Leitung zu den Gebläse-Filter-Einheiten oder innerhalb derselben mit Dämm-Material ausgekleidet wird, um das durch die Windradgebläse erzeugte Geräusch zu verringern. Mit der Zeit werden jedoch Teilchen oder Fasern vom Dämm-Material von der Oberfläche gelöst und verunreinigen die Reinraum-Anlage.
- Das mit dem Teilchengehalt in einer Reinraum-Anlage verbundene Problem wird in einem engen Raum oder Gehäusen, wie beispielsweise einer mehrstöckigen Wafer-Fertigungsfabrik, verschärft. Mit einem engen Raum wird bei der vorliegenden Erfindung gemeint, daß die Höhe der Decke geringer ist als drei Meter. Auf Grund des niedrigen Freiraums in der Höhe wird das Geräusch von den Gebläse-Filter-Einheiten besonders deutlich.
- DE-A-35 13 902 legt eine Luftreinigungsvorrichtung für die Zufuhr von reiner Luft zu einem Arbeitsraum offen. Die Vorrichtung umfaßt ein Gehäuse, das ein durch einen Motor angetriebenes Zentrifugalgebläse, einen Filter, eine erste, zwischen dem Gebläse und dem Filter angeordnete, Ablenkplatte und eine zweite Ablenkplatte enthält. Das Gebläse zieht Luft durch einen Polyurethanschaum-Filter, und die erste Ablenkplatte leitet die Luft nach außen zur zweiten Ablenkplatte hin. Die zweite Ablenkplatte lenkt die Luft nach innen zum Filter hin ab. An den Ablenkplatten wird schalldämmendes Material bereitgestellt, und die Vorrichtung bildet eine kompakte Einheit.
- ZIEL DER ERFINDUNG
- Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, das durch Gebläse-Filter-Einheiten erzeugte Geräusch auf ein Minimum zu verringern, ohne die Teilchenzahlen einer mit solchen Einheiten verbundenen Reinraum-Anlage zu steigern.
- Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, das durch Gebläse-Filter-Einheiten erzeugte Geräusch auf ein Minimum zu verringern, ohne vorhandene Windradgebläse in einer engen Reinraum-Anlage abzuschaffen, und insbesondere ohne jedes herkömmliche Schalldämm-Material.
- ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung stellt eine Gebläse-Filter-Einheit bereit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte angeordnetes Windradgebläse, ein an die Grundplatte gekoppeltes oberes Gehäuse mit einer Einlaßöffnung und ein an das obere Gehäuse gekoppeltes seitliches Gehäuse zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei die Gebläse-Filter-Einheit folgendes umfaßt:
wenigstens ein Paar von S-förmigen Führungen, angeordnet auf der Grundplatte innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses, zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft,
wenigstens ein Paar von perforierten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen, zum Zerstreuen des Luftstroms von denselben,
und wenigstens ein Paar von gewölbten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die perforierten Ablenkplatten, um den Luftstrom unter die Grundplatte zu leiten,
Ablenkplattenmittel, die sich unter der Grundplatte (14 ) befinden, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen,
wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S-förmigen Führungen, das Paar von perforierten Ablenkplatten und das Paar von gewölbten Ablenkplatten hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen. - Die vorliegende Erfindung stellt außerdem ein Verfahren zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum bereit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte angeordnetes Windradgebläse, ein an die Grundplatte gekoppeltes oberes Gehäuse mit einer Einlaßöffnung und ein an das obere Gehäuse gekoppeltes seitliches Gehäuse zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung und zum Ausstoßen der Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt:
Bereitstellen eines Paars von S-förmigen Führungen, angeordnet auf der Grundplatte innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses, zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft,
Zerstreuen des Luftstroms mit wenigstens einem Paar von perforierten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen, und
Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte mit wenigstens einem Paar von gewölbten Ablenkplatten, angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die perforierten Ablenkplatten, und
gleichmäßiges Verteilen des Luftstroms unter Verwendung von Ablenkplattenmitteln, die sich unter der Grundplatte befinden,
wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S-förmigen Führungen, das Paar von perforierten Ablenkplatten und das Paar von gewölbten Ablenkplatten hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen. - Vorzugsweise gibt es zum gleichmäßigen Verteilen des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte angeordnete V-förmige Ablenkplatte.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 ist eine auseinandergezogene rechtsseitige perspektivische Ansicht der vorliegenden Erfindung, die als Teil einer Gebläse-Filter-Einheit (Filter nicht gezeigt) integriert wird. -
2 ist eine Querschnittsvorderansicht des Systems von geometrischen Führungen und Ablenkplatten der vorliegenden Erfindung, zusammen mit dem Filter einer Gebläse-Filter-Einheit. -
3 ist eine Draufsicht des Schnitts A-A in2 , welche die S-förmige Führung und die gewölbte Ablenkplatte der vorliegenden Erfindung hervorhebt. -
4 zeigt die Stellen in der Gebläse-Filter-Einheit, an denen die Geschwindigkeit des Luftstroms gemessen wurde. -
5 ist ein Diagramm, das die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe über einen Bereich der Windradgebläse-Stromversorgung (gemessen in Hz) vergleicht. -
6 ist ein Diagramm, das den Geräuschpegel von einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe und gemessen an einer Stelle einen Meter unmittelbar unterhalb des Auslasses der Einheit vergleicht. - BESCHREIBUNG DES AUSFÜHRUNGSBEISPIELS DER ERFINDUNG
- Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum beschrieben. In der folgenden Beschreibung werden zahlreiche spezifische Details, wie beispielsweise Führungen und Ablenkplatten usw., dargelegt, um ein gründliches Verständnis der vorliegenden Erfindung zu gewährleisten. In anderen Fällen werden gut bekannte Teile, wie beispielsweise die Motoren für das Windradgebläse und die an die Gebläse-Filter-Einheiten angeschlossenen Leitungen, nicht gezeigt, um die vorliegende Erfindung nicht unklar zu machen.
-
1 ist eine auseinandergezogene rechtsseitige perspektivische Ansicht der vorliegenden Erfindung, die als Teil einer Gebläse-Filter-Einheit10 (Filter nicht gezeigt) integriert wird. Die Gebläse-Filter-Einheit umfaßt ein innerhalb einer Grundplatte14 angeordnetes Windradgebläse12 , ein oberes Gehäuse16 bzw. seitliche Gehäuse22 . Das Windradgebläse wird durch eine Halterung20 an der Unterseite der Grundplatte in der Grundplatte getragen. Nicht gezeigt, aber entscheidend für die Gebläse-Filter-Einheit10 , ist ein unterhalb des Windradgebläses12 angeordneter Motor zum Gewährleisten einer Drehbewegung für das Windradgebläse. - Die Gebläse-Filter-Einheit allein zieht äußere Luft von einem Lufteinlaß
18 ein und stößt sie über eine Auslaßöffnung19 aus, wie es in2 gezeigt wird. An der Auslaßöffnung wird ein Filter32 angeordnet, um große Teilchen oder Verunreinigungen zu entfernen. Während die Gebläse-Filter-Einheit wirksam ist beim Umwälzen von Luft oder Belüften in einer Reinraum-Anlage, ist das durch eine solche Einheit erzeugte Geräusch lästig. In der Industrie ist es Praxis, die Gebläse-Filter-Einheit durch Auskleiden des Innern der Gebläse-Filter-Einheit mit Dämm-Materialien, wie beispielsweise Schaumstoff, PVC-Schaum oder Glasfasern, zu dämmen. Unglücklicherweise neigt solches Dämm-Material mit der Zeit dazu, die Reinraum-Anlage zu verunreinigen, wenn Teilchen von der Oberfläche gelöst und in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit eingeführt werden. Ohne Kenntnis des Reinraum-Bedieners wird die Gebläse-Filter-Einheit eine Verunreinigungsquelle. In dem Prozeß wird die Produktion aus der Reinraum-Anlage, wie beispielsweise Waferchips, Compact Disks oder Plattenlaufwerke, verunreinigt. - Unter erneuter Bezugnahme auf
1 ist die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Anbringen von geometrischen Führungen und Ablenkplatten an strategischen Stellen längs der Luftstrombahn innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit, um das Geräusch von derselben auf ein Minimum zu verringern, ohne die durch dieselbe strömende Luft zu verunreinigen. Die vorliegende Erfindung umfaßt wenigstens einen Satz von S-förmigen Führungen24 , angeordnet um den Umfang des Windradgebläses, einen weiteren Satz von porösen Ablenkplatten26 und gewölbten Ablenkplatten28 zum Zerstreuen und Leiten des Luftstroms von den S-förmigen Führungen24 und schließlich eine V-förmige Ablenkplatte30 unterhalb des Windradgebläses zum gleichmäßigen Verteilen der Luft zum Filter32 . -
3 ist eine Draufsicht des Schnitts A-A in2 , welche die S-förmige Führung und die gewölbte Ablenkplatte der vorliegenden Erfindung hervorhebt. Die S-förmigen Führungen24 werden so konturiert, daß sie die vom Windradgebläse12 (in einem gestrichelten Kreis gezeigt) ausgestoßene Luft aufnehmen und den Luftstrom mit einem minimalen Maß an Turbulenz zu einem Satz von perforierten Ablenkplatten26 hin führen. Vorzugsweise werden die S-förmigen Führungen aus einem metallischen Material hergestellt, dessen Rückfederungswirkung es dem Monteur ermöglicht, sie durch Einstecken derselben zwischen einer Vielzahl von auf der Grundplatte14 angeordneten Klammern36 einfach einzubauen. Die perforierten Ablenkplatten26 können aus einem Metallblech mit einer Matrix von Löchern bestehen. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung haben die Löcher einen Durchmesser von 3,3 mm mit etwa 50% Zwischenraum. Die perforierten Ablenkplatten werden in Winkeln von etwa 45 Grad angeordnet, um die Luft von den S-förmigen Führungen24 zu zerstreuen. Angrenzend an die Unterkante der perforierten Ablenkplatten26 und unterhalb derselben werden die gewölbten Ablenkplatten28 zum erneuten Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte angeordnet. Obwohl die gewölbten Ablenkplatten28 eine gerade Vorderkante annehmen können, empfiehlt die vorliegende Erfindung gerade, aber abfallende Vorderkanten35 , wie es in2 und3 illustriert wird. In3 ist ebenfalls zu bemerken, daß die Anbringung der S-förmigen Führungen24 , der perforierten Ablenkplatten26 und der gewölbten Ablenkplatten28 in Bezug auf eine Rotationsachse von 180 Grad, zentriert in dem Windradgebläse, symmetrisch zueinander ist. Das letzte, aber nicht das unwichtigste, ist die V-förmige Ablenkplatte30 , angeordnet unterhalb der Windradgebläse-Halterung, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen, bevor er durch die Auslaßöffnung19 der Gebläse-Filter-Einheit10 ausgestoßen wird. -
5 ist ein Diagramm, das die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe über einen Bereich von Windradgebläse-Einstellungen (gemessen in Hz) vergleicht. Die Durchschnittsgeschwindigkeit des Luftstroms wird an fünfzehn unterschiedlichen Punkten in der Gebläse-Filter-Einheit gemessen, die jeweils in4 illustriert werden. Unter Bezugnahme auf5 ist zu erkennen, daß die Durchschnittsgeschwindigkeit einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung höher und gleichmäßiger ist als jene ohne die vorliegende Erfindung. Es ist offensichtlich, daß der Druckverlust einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung geringer ist als jener ohne die vorliegende Erfindung. Daher kann mit der Zeit eine beträchtliche Energieeinsparung erreicht werden. - Als letztes und wichtigstes ist
6 ein Diagramm, das den Geräuschpegel von einer Gebläse-Filter-Einheit mit der vorliegenden Erfindung und ohne dieselbe und gemessen an einer Stelle einen Meter unmittelbar unterhalb des Auslasses der Einheit vergleicht. Gemessen einen Meter unterhalb einer Gebläse-Filter-Einheit, ermöglicht die vorliegende Erfindung, daß die Gebläse-Filter-Einheit mit viel weniger Geräusch arbeitet als eine ohne die vorliegende Erfindung. - Während die vorliegende Erfindung besonders unter Bezugnahme auf
1 bis6 beschrieben worden ist, unter Hervorhebung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum, sollte es sich von selbst verstehen, daß die Abbildungen nur der Illustration dienen und nicht als eine Begrenzung der Erfindung genommen werden sollten. Außerdem ist es klar, daß das Verfahren und die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung eine Gebrauchseignung bei vielen Anwendungen haben, bei denen eine Geräuschminderung erforderlich ist.
Claims (14)
- Gebläse-Filter-Einheit, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte (
14 ) angeordnetes Windradgebläse (12 ), ein an die Grundplatte (14 ) gekoppeltes oberes Gehäuse (16 ) mit einer Einlaßöffnung (18 ) und ein an das obere Gehäuse (16 ) gekoppeltes seitliches Gehäuse (22 ) zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse (22 ) außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse (12 ) zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung (18 ) und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Gebläse-Filter-Einheit folgendes hat: wenigstens ein Paar von S-förmigen Führungen (24 ), angeordnet auf der Grundplatte (14 ) innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses (12 ), zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft, wenigstens ein Paar von ersten Ablenkplatten (26 ), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen (24 ), zum Zerstreuen des Luftstroms von denselben, wenigstens ein Paar von zweiten Ablenkplatten (28 ), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die ersten Ablenkplatten (26 ), um den Luftstrom unter die Grundplatte (14 ) zu leiten, und Ablenkplattenmittel, die sich unter der Grundplatte (14 ) befinden, um den Luftstrom gleichmäßig zu verteilen, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S-förmigen Führungen (24 ), das Paar von ersten Ablenkplatten (26 ) und das Paar von zweiten Ablenkplatten (28 ) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die S-förmigen Führungen (
24 ) aus Metall hergestellt werden. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten (
26 ) aus Metall hergestellt werden. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten perforiert sind.
- Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die zweiten Ablenkplatten (
28 ) aus Metall hergestellt werden. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die zweiten Ablenkplatten gewölbt sind.
- Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der das Ablenkplattenmittel zum gleichmäßigen Verteilen des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte angeordnete V-förmige Ablenkplatte (
30 ) umfaßt, wobei der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht die S- förmige Führung (24 ), das Paar von ersten Ablenkplatten (26 ), das Paar von gewölbten Ablenkplatten (28 ) und die V-förmige Ablenkplatte (30 ) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 7, bei der die V-förmige Ablenkplatte (
30 ) aus Metall hergestellt wird. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die S-förmigen Führungen (
24 ) mit einer Vielzahl von Klemmnen (36 ) an die Grundplatte gekoppelt werden. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die ersten Ablenkplatten (
26 ) in einem Winkel von 45 Grad im Verhältnis zur Oberfläche des seitlichen Gehäuses angeordnet werden. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die unteren Kanten der zweiten Ablenkplatten (
28 ) wesentlich gewölbt sind. - Gebläse-Filter-Einheit nach Anspruch 1, bei der die unteren Kanten der zweiten Ablenkplatten (
28 ) zwischen den Ecken wesentlich gerade sind. - Verfahren zum Verringern des Geräuschs von einer Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum, wobei die Gebläse-Filter-Einheit wenigstens ein auf einer Grundplatte (
14 ) angeordnetes Windradgebläse (12 ), ein an die Grundplatte (14 ) gekoppeltes oberes Gehäuse (16 ) mit einer Einlaßöffnung (18 ) und ein an das obere Gehäuse (16 ) gekoppeltes seitliches Gehäuse (22 ) zum Umschließen der Gebläse-Filter-Einheit umfaßt, wobei das seitliche Gehäuse (22 ) außerdem eine Auslaßöffnung hat, wobei das Gebläse zum Einziehen von Luft durch die Einlaßöffnung (18 ) und zum Ausstoßen von Luft durch die Auslaßöffnung vorgesehen ist, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet wird, daß es die folgenden Schritte umfaßt: Bereitstellen eines Paars von S-förmigen Führungen (24 ), angeordnet auf der Grundplatte (14 ) innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und um den Umfang des Windradgebläses (12 ), zum Aufnehmen der von demselben ausgestoßenen Luft, Zerstreuen des Luftstroms mit wenigstens einem Paar von ersten Ablenkplatten (26 ), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und am Auslaß der S-förmigen Führungen (24 ), und Leiten des Luftstroms unter die Grundplatte (14 ) mit wenigstens einem Paar von zweiten Ablenkplatten (28 ), angeordnet innerhalb der Gebläse-Filter-Einheit und angrenzend an die ersten Ablenkplatten (26 ), und gleichmäßiges Verteilen des Luftstroms unter Verwendung von Ablenkplattenmitteln, die sich unter der Grundplatte (14 ) befinden, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S-förmigen Führungen (24 ), das Paar von ersten Ablenkplatten (26 ) und das Paar von zweiten Ablenkplatten (28 ) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird, wodurch das Geräusch von der Gebläse-Filter-Einheit auf ein Minimum verringert wird, ohne herkömmliches Schalldämm-Material in Kontakt mit der Luftstrombahn zu erfordern und ohne Verunreinigungen aus einem solchen Schalldämm-Material in den Luftstrom durch die Gebläse-Filter-Einheit einzubringen. - Verfahren nach Anspruch 11, bei dem der Schritt des gleichmäßigen Verteilens des Luftstroms wenigstens eine auf der Unterseite der Grundplatte (
14 ) angeordnete V-förmige Ablenkplatte (30 ) verwendet, wodurch der Luftstrom, verglichen mit einer Gebläse-Filter-Einheit, die nicht das Paar von S- förmigen Führungen (24 ), das Paar von ersten Ablenkplatten (26 ), das Paar von zweiten Ablenkplatten (28 ) und die V-förmige Ablenkplatte (30 ) hat, mit verringerter Turbulenz geführt wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/SG1997/000040 WO1999011984A1 (en) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | A method and apparatus for minimising noise from fan filter unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69727322D1 DE69727322D1 (de) | 2004-02-26 |
DE69727322T2 true DE69727322T2 (de) | 2004-11-25 |
Family
ID=20429567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69727322T Expired - Lifetime DE69727322T2 (de) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1378669A1 (de) |
CN (1) | CN100436836C (de) |
CA (1) | CA2302177A1 (de) |
DE (1) | DE69727322T2 (de) |
HK (1) | HK1019629A1 (de) |
MY (1) | MY111326A (de) |
TW (1) | TW375760B (de) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005073563A1 (en) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Farmer Controls Plc | Electric fan |
TWI487558B (zh) * | 2012-08-03 | 2015-06-11 | Ping Fa Hung | Foam-type snow machine improved |
US9752794B2 (en) | 2013-12-23 | 2017-09-05 | 3M Innovative Properties Company | Curvilinear sound absorber |
CN107795514B (zh) * | 2017-11-29 | 2024-03-26 | 莱克电气股份有限公司 | 一种具有叶轮结构的离心风机 |
GB201808894D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
GB201808949D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
GB201808893D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
CN108386889B (zh) * | 2018-05-31 | 2024-03-08 | 广东美的厨房电器制造有限公司 | 吸油烟机 |
WO2019229469A1 (en) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
GB201808912D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
GB201808932D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
CN113685373B (zh) * | 2020-05-19 | 2022-11-01 | 宁波方太厨具有限公司 | 一种风机***的进风口圈的选定方法 |
CN115111198B (zh) * | 2022-06-24 | 2024-05-07 | 大连海事大学 | 一种多翼离心风机的陷窝结构及多翼离心风机 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3065684A (en) * | 1958-05-22 | 1962-11-27 | Cortland N O'day | Air distributor |
US4023472A (en) * | 1974-06-04 | 1977-05-17 | Ciba-Geigy Corporation | Apparatus for producing a laminar flow |
US4560395A (en) * | 1984-04-17 | 1985-12-24 | Environmental Air Control, Inc. | Compact blower and filter assemblies for use in clean air environments |
DE3438710C2 (de) * | 1984-10-23 | 1986-11-27 | Wilhelm Gebhardt Gmbh, 7112 Waldenburg | Dachventilator |
EP1019659B1 (de) * | 1997-09-03 | 2004-01-21 | Kyodo-Allied Industries Limited | Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit |
-
1997
- 1997-09-03 TW TW086112677A patent/TW375760B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-09-03 EP EP03077576A patent/EP1378669A1/de not_active Withdrawn
- 1997-09-03 CA CA002302177A patent/CA2302177A1/en not_active Abandoned
- 1997-09-03 CN CNB02122661XA patent/CN100436836C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-03 DE DE69727322T patent/DE69727322T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-18 MY MYPI97006131A patent/MY111326A/en unknown
-
1999
- 1999-08-30 HK HK99103719A patent/HK1019629A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69727322D1 (de) | 2004-02-26 |
MY111326A (en) | 1999-11-30 |
TW375760B (en) | 1999-12-01 |
EP1378669A1 (de) | 2004-01-07 |
CA2302177A1 (en) | 1999-03-11 |
HK1019629A1 (en) | 2000-02-18 |
CN100436836C (zh) | 2008-11-26 |
CN1447031A (zh) | 2003-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69727322T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur geräuschminderung von einer filter-lüftereinheit | |
DE3513902C2 (de) | ||
DE69219247T2 (de) | Paneel mit gerichtetem Luftauslass für Reinraumlüftungssysteme | |
DE69213079T2 (de) | Fluidansaugvorrichtung und Fluidbehandlungsgerät | |
US6030186A (en) | Method and apparatus for minimizing noise from fan filter unit | |
DE60011339T2 (de) | Motorkühlung und schalldämmendes System | |
DE69915367T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur lüftung eines reinraums | |
DE69614892T2 (de) | Anordnungen für Luftgebläse und Luftfilter | |
DE1679471A1 (de) | Luft-Ventilations- und Zirkulationssystem | |
DE2612734A1 (de) | Raumklimaanlage mit ventilator und waermetauscher | |
EP0942639A2 (de) | Belüftbarer Elektronikschrank | |
DE69929618T2 (de) | Vorrichtung zur geräuschverminderung eines gebläses | |
DE60132218T2 (de) | Zierplatte für klimaanlage, abblaseinheit für luftauslass und klimaanlage | |
EP1530109B1 (de) | Ventilator-Anlage und Verfahren zur Regelung des Luftstroms einer Ventilator-Anlage | |
EP0606538A1 (de) | Steinstaubabsaugung | |
DE3642038A1 (de) | Eigenbeluefteter elektromotor fuer spinnereimaschinen | |
DE69631114T2 (de) | Klimaanlage mit exzentrisch angeordnetem Gebläse | |
EP0585196B1 (de) | Ummantelung einer Karde | |
DE202021101555U1 (de) | Vorrichtung zur Filtration von Luft | |
DE69916087T2 (de) | Filter für ventilator mit hoher filterleistung, geringem energieverbrauch und geringer gräuschaussendung | |
DE69328491T2 (de) | Eine anordnung in verbindung mit einer klimaanlage für grosse räume | |
CH660910A5 (de) | Verfahren zum durchfluten eines von einer wandung umgebenen raumes mit einem gas. | |
EP0093426B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen der Luft von Cyanacrylat-Dämpfen | |
CH625877A5 (en) | Method and device for conditioning products | |
DE20008641U1 (de) | Vorrichtung zum Klimatisieren eines Raumes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |