DE69310947T2 - Kompakte Lasersonde für Profilometrie - Google Patents
Kompakte Lasersonde für ProfilometrieInfo
- Publication number
- DE69310947T2 DE69310947T2 DE69310947T DE69310947T DE69310947T2 DE 69310947 T2 DE69310947 T2 DE 69310947T2 DE 69310947 T DE69310947 T DE 69310947T DE 69310947 T DE69310947 T DE 69310947T DE 69310947 T2 DE69310947 T2 DE 69310947T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- frame
- measuring device
- optical measuring
- light guide
- reference beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title description 38
- 238000001314 profilometry Methods 0.000 title 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 16
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 210000003644 lens cell Anatomy 0.000 description 7
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C7/00—Tracing profiles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
- Diese Erfindung betrifft allgemein optische Meßgeräte, und insbesondere einen Referenzstrahlmodulator für einen Lasermeßfühler.
- Ein wichtiger Aspekt bei einem Oberflächen-Meßgerätesystem ist, daß das System unempfindlich gegenüber wärmeinduzierten Driftfehlern ist. Ein anderer wichtiger Aspekt ist für viele Anwendungen, daß das oberflächen-Meßgerätesystem verhältnismäßig kompakt ist und der Verbrauch elektrischer Energie gering ist.
- Eine bekannte Systemart hat eine einzelne Diodenlaserquelle, deren Ausgang unter Verwendung eines piezoelektrisch angetriebenen fokussierenden Elements (Elementen) auf die Probe fokussiert wird. Das gestreute oder reflektierte Licht wird durch das fokussierende Element (die fokussierenden Elemente) auf einen Vierzellen- Fokusdetektor (quad cell focus detector) abgebildet, und das Profil der Probenoberfläche wird durch Verfolgen der Position des fokussierenden Elements (der fokussierenden Elemente) aufgenommen.
- Ein Nachteil dieser "Laserfühler" ("laser stylust") ist ein begrenztes Entfernungs-/Auflösungsverhältnis von 1000/1 für jede Festlegung der Auflösung. Zum Beispiel ergibt eine Entfernung von einem Mikrometer eine Auslösung von einem Nanometer.
- So gesehen ist es eine Aufgabe dieser Erfindung, einen kompakten Lasermeßfühler mit geringem Leistungsverbrauch,
- der im wesentlichen unempfindlich gegenüber wärmeinduzierten Fehlern ist, bereitzustellen.
- Eine andere Aufgabe dieser Erfindung ist es, einen kompakten Lasermeßfühler mit geringem Leistungsverbrauch, der ein großes dynamisches Entfernung/Auflösungs-Verhältnis von wenigstens 10&sup5;:1 aufweist, bereitzustellen.
- Eine andere Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines kompakten Lasermeßfühlers mit geringem Leistungsverbrauch zum Einsatz beispielsweise in Anwendungen bei Fernvermessung oder Robotersteuerung, in-situ Meßanwendungen, als Ersatz für herkömmliche Berührungsmeßfühler oder für den Einsatz als Ausrichtgerät in Anwendungen bei der Halbleiterbearbeitung, wie etwa der Ausrichtung von Masken und/oder der Waferpositionierung.
- Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, einen kompakten Lasermeßfühler mit geringem Leistungsverbrauch für den Einsatz als hochauflösender, berührungsloser Oberflächenabtaster für Halbleiter- und andere Anwendungen, bereitzustellen.
- In der GB-A-2 073 414 ist eine Kompensationsvorrichtung für ein Interferometer offenbart, die externe Faktoren wie etwa meteorologische Einflußgrößen ausgleicht. Die Vorrichtung schließt eine Weglänge eines Referenzstrahles ein, die entsprechend der Ausgangsgröße von Sensoren, die physikalische Umgebungsgrößen messen, variiert wird.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein optisches Meßgerät bereitgestellt, wie es in den Ansprüchen definiert ist.
- Gelöst werden die oben genannten und andere Schwierigkeiten und es werden die Gegenstände der Erfindung verwirklicht durch einen Referenzstrahlmodulator für einen kompakten Meßfühler, der eine Dehnungsrückkopplungschaltung zum Aufrechterhalten einer gewünschten Referenz-Zwischenraumlänge, wenn sich der Meßfühlerkörper ausdehnt oder zusammenzieht, aufweist. Diese Dehnungsrückkopplung führt zu einem im wesentlichen wärmeunempfindlich gemachten Meßfühler. Desweiteren wird der Meßfühlerkörper aus einem Material hergestellt, das einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt, um so die mechanische und optische Stabilität des Systems weiter zu erhöhen und eine Unempfindlichkeit gegenüber Wärmegradienten bereitzustellen.
- Das Verringern der Beiträge der Wärmeausdehnung zur Meßungenauigkeit erhöht die Meßgenauigkeit beträchtlich. Die kompakte Größe verbessert die Verwendbarkeit des Oberflächenmeßgerätes. Die Verwendung eines Niedervolt- Modulators verringert auch die erforderliche Energie für das Oberflächen-Meßgerätesystem.
- Insbesondere stellt die Erfindung ein optisches Meßgerät bereit, speziell eine Lasersonde, und schließt einen Rahmen ein, der aus einem Material besteht, das so ausgewählt wird, daß es einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt. Ein Strahlteiler ist mit dem Rahmen verbunden, um einen optischen Weg eines Probenstrahls und einen optischen Weg eines Referenzstrahles zu erzeugen. Der Strahlteiler ist mit einem Lichtleiter, der Strahlung zum Rahmen hin leitet und von diesem wegführt, optisch verbunden. Ein piezoelektrischer Stapel besitzt ein daran gekoppeltes Anregungssignal und schließt einen Spiegel zum Phasenmodulieren der optischen Weglänge des Referenzstrahles in Antwort auf das Anregungssignal ein. Der Lasermeßfühler schließt eine erste Dehnungsmeßeinrichtung, die mit dem piezoelektrischen Stapel verbunden ist, und eine zweite Dehnungsmeßeinrichtung, die mit dem Rahmen verbunden ist, ein. Ein Regelungssystem mit geschlossenem Ein- und Ausgang variiert das Anregungssignal entsprechend den erfaßten Dehnungen, damit die optische Weglänge des Referenzstrahles in einer vorbestimmten Relation zu einer Weglänge des optischen Weges des Probenstrahles gehalten wird.
- Diese Technik macht den Meßfühler wirkungsvoll wärmeunempfindlich, indem jede Ausdehnung oder Kontraktion des Rahmens durch den piezoelektrischen Stapel abgeglichen wird, wodurch netto eine Nulländerung in außergewöhnlichen Strahlwegslängen erzielt wird. Diese Athermalisierungstechnik verringert Unsicherheiten durch thermische Drift in den Oberflächenmeßdaten.
- Ebenso wird eine Vorrichtung zum Ankoppeln eines Lichtleiters an eine Struktur beschrieben. Diese Vorrichtung schließt einen Lichtleiterträger zum Aufnehmen eines Abschlußendes eines Lichtleiters ein. Der Lichtleiterträger hat eine solche Gestalt, daß er mit der Struktur drehbar verbunden werden kann, damit das Abschlußende des Lichtleiters in einer gewünschten Winkelbeziehung mit einer Oberfläche der Struktur positioniert werden kann. Der Lichtleiterträger schließt ferner einen Klemm-Mechanismus zum Fixieren des Lichtleiterträgers in einer gewünschten Winkelbeziehung zu der Oberfläche der Struktur ein.
- Weiter verdeutlicht werden die oben angegebenen und andere Merkmale der Erfindung in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung, worin:
- Fig. 1 eine den kompakten Lasermeßfühler verdeutlichende Draufsicht ist;
- Fig. 2 eine graphische Darstellung ist, die eine Variation in der Steuerspannung des piezoelektrischen Stapels zeigt;
- Fig. 3 ein vereinfachtes, schematisches Diagramm einer Schaltung ist, die auf die Steuerspannung der Fig. 2 anspricht, um eine Positionsregelung mit geschlossenem Einund Ausgang für einen Referenzlaserstrahl-Modulator bereitzustellen, und
- Fig. 4 eine Darstellung in aufgelösten Einzelteilen einer kompakten Faserpositioniereinrichtung ist, die eine Komponente des kompakten Lasermeßfühlers von Fig. 1 darstellt.
- Nimmt man auf Fig. 1 Bezug, so wird dort eine Draufsicht eines kompakten Lasermeßfühlers 1 verdeutlicht, der gemäß der Erfindung aufgebaut ist und betrieben wird.
- Ein Rahmen, oder Meßfühlerkörper 10, wird vorzugsweise aus einem einzigen Materialstück mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten hergestellt. In einer gegenwärtig bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist dieses Material Super-Invar, obwohl die Ausführung der Erfindung nicht auf dieses spezielle Material beschränkt ist. Der Körper 10 wird maschinell bearbeitet, um die (abmessungsmäßigen und thermischen) stabilen Eigenschaften dieses gegenwärtig bevorzugten Materials zu erhalten. In dem Meßfühlerkörper 10 enthaltene Bestandteile bestehen, sofern machbar, aus dem gleichen Material wie der Meßfühlerkörper 10, um Materialunverträglichkeiten mit dem Meßfühlerkörper 10 zu minimieren. Der Meßfühlerkörper 10 wird unter Verwendung eines einzigen 1/4-20 Bolzen 11a an einem Gestell 11 befestigt, um die Stabilität der Abmessungen des Meßfühlerkörpers 10 zu bewahren. Ungefähre Abmessungen des Meßfühlerkörpers 10 sind eine Länge von 6,5 cm, eine Breite von 5,0 cm und eine Höhe von 1,5 cm.
- Ein Lichtleiter 12 überträgt Licht einer Laserdiode von einer Lichtquellen/Detektor-Einheit (nicht dargestellt) und überträgt ebenfalls aus Referenz- und Probenstrahl kombiniertes Licht zurück zur Lichtquellen/Detektor-Ein heit. Eine geeignete Ausführungsform für die Lichtquellen/Detektor-Einheit 10 ist in US-A-5 153 669, veröffentlicht am 6. Oktober 1992, mit dem Titel "Optisches Drei-Wellenlängen-Meßgerät und -verfahren" ("Three Wavelength Optical Measurement Apparatus and Method") von Peter J. de Groot, beschrieben.
- Der Lichtleiter 12 wird zu den Elementen innerhalb des Lasermeßfühlers 1 mit einer Faser-Positionierungseinrichtung 14 ausgerichtet. Die Positioniereinrichtung 14 enthält eine bewegungsbegrenzte "Kugel" 16 zum winkelmäßigen Einstellen der Faser 12, einen Klemm-Mechanismus 18 und eine Faserhalterungsspindel 20. Nachdem die Faser 12 in der Halterungsspindel 20 positioniert ist, werden Spannschrauben 22 gelöst, um eine Einstellung der Kugel 16 zu ermög lichen. Wenn die Faser 12 korrekt eingestellt ist, werden die Spannschrauben 22 festgezogen, um die Kugel 16 in der gewünschten Position zu befestigen.
- Fig. 4 zeigt eine Darstellung in aufgelösten Einzelheiten der gegenwärtig bevorzugten Ausführungsform der Faserpositionierungseinrichtung 14. Die Faserhalterungsspindel 20 wird in die bewegungsbegrenzte Kugel 16 auf Press-Sitz eingepaßt Die Spindel 20 dient zur Halterung der Faser (nicht dargestellt) und zum Einstellen der Winkelposition der Kugel 16. Die Kugel 16 wird beispielsweise durch Walzen einer Lagerkugel hergestellt, um eine im wesentlichen zylindrische Gestalt zu formen. Die Kugel 16 kann auch durch Formen einer abgerundeten Kante an oberen und unteren Kanten eines Stabes hergestellt werden. Nach welcher Methode die Kugel 16 auch hergestellt wird, das Endergebnis ist, daß ein erstes Ende 16a mit einem einen Krümmungsradius aufweisenden Rand bereit gestellt wird, und ein zweites Ende 16b mit einem einen Krümmungsradius aufweisenden Rand. Die Krümmungsradien der Ränder 16a und 16b werden üblicherweise gleich gewählt, obwohl sie nicht gleich sein müssen.
- Die Lagebefestigung umfaßt den Meßfühlerkörper 10, die Klemme 18 und die vier Spannschrauben 22, von denen lediglich eine in Fig. 4 gezeigt ist. Eine kugelförmige Vertiefung oder Sitz 10a, die einen Krümmungsradius aufweist, der geringfügig größer ist als der Krümmungsradius der abgerundeten Kante 16a, wird in die Oberfläche 10b des Meßfühlerkörpers 10 gedreht. Ein zweiter, ähnlicher kugelförmiger Sitz 18a wird in die Oberfläche 18b der Klemme 18 zum Aufnehmen der Kante 16b gedreht. Die Klemme 18 wird vorzugsweise aus dem gleichen Material hergestellt, wie der Meßfühlerkörper 10, damit die Stabilität der Faserpositioniereinrichtung erhöht wird.
- Ein Ergebnis dieses mechanischen Aufbaus ist, daß die Kugel 16 und die faserenthaltende Spindel 20 drehbar mit dem Körper 10 des Meßfühlers verbunden sind und auf diese Weise einstellbar positioniert werden können, um das Abschlußende der Faser 12 in einer gewünschten Winkelbeziehung mit der Oberfläche 10b festzusetzen. Nach dem Festsetzen der Faser 12 in einer gewünschten Winkelposition werden Schrauben 22 zum Fixieren der Kugel 16 in der gewünschten Position festgezogen.
- Das Laserlicht, das das Abschlußende der Faser 12 verläßt, gekennzeichnet durch den Buchstaben A, wird durch einen Linsenaufbau 28 auf eine Probenoberfläche 24, und auch auf einen Referenzspiegel 26, fokussiert. Der Linsenaufbau 28 enthält eine Super-Invar-Linsenzelle 30, in der eine oder mehrere Abbildungslinsen 32 befestigt sind. Der Brennpunkt wird durch Verschieben der Linsenzelle 30 innerhalb des Meßfühlerkörpers 10 eingestellt. Nach Festlegung einer gewünschten Position für die Linsenzelle 30 wird die Linsenzelle mit Justierschrauben 34 festgespannt. Der "Arbeitsabstand" des Lasermeßfühlers 1 wird so durch Bewegen des Linsenzellenaufbaus 28 fein justiert, um das Licht von der Faser 12 auf eine optische Planfläche zu fokussieren, in der darauffolgend die Probenoberfläche 24 angeordnet wird. Ein nomineller Arbeitsabstand ist 2,5 cm. Die korrekte Brennpunktlage wird bestimmt durch Beobachten der Signalstärke an der Lichtquellen-/Detektor-Einheit während der Positionierung der Linsenzelle 30, bis man eine maximale Signalamplitude erhält.
- Das Licht, das die Linsenzelle 30 verläßt, angezeigt durch den Buchstaben B, wird durch einen polarisierenden Strahlteiler 36 in einen Referenzstrahl (C) und einen Objektstrahl (D) aufgespalten. Der Referenzstrahl (C) wird von einem Umlenkspiegel 38 zum Referenzspiegel 26 reflektiert. Der Winkel des Umlenkspiegels (38) wird mit Kipp-Einstell/Feststell-Schrauben 40 und Roll-Einstell/Feststell-Schrauben 42 eingestellt. Diese Schrauben (40,42) verbinden einen Spiegelträger 44 mit dem Meßfühlerkörper 10.
- Der Referenzspiegel 26 ist auf einer Modulationsstufe 46 montiert. Die Modulationsstufe 46 ist auf einen Niedervolt-piezoelektrischen Stapel 48, der in einem vorzugsweise aus dem gleichen Material wie der Meßfühlerkörper 10 bestehenden Rohr eingebaut ist, aufgesetzt. Der piezoelektrische Stapel 48 ist über eine Verdrahtung 52 an eine Elektronikeinheit 54 angeschlossen, die durch eine Kabelanordnung 56 mit einer entfernt angeordneten Energieversorgung (nicht dargestellt) verbunden ist.
- Die Referenzstrahl-Weglänge wird durch Bewegen des piezoelektrischen Stapels 48 eingestellt, damit man einen Brennpunkt des Referenzstrahls bei einer nominellen Weglänge von 2,5 cm erhält. Wie bei der Einstellung des Brennpunkts des Probenstrahls wird das Signal an der Lichtquellen-/Detektor-Einheit beobachtet, und der Brennpunkt des Referenzstrahls liegt vor, wenn dieses Signal maximal ist. Der Probenstrahl wird während dieser Einstellung vorzugsweise unterbrochen.
- Im Betrieb wird vom Referenzspiegel und von der Oberfläche der Probe 24 reflektiertes Licht in dem polarisierenden Strahlteiler 36 wieder zusammengeführt und durch die Linseneinheit 28 in die Faser 12 eingekoppelt. Das kombinierte Licht wird dann in der Lichtquellen-/Detektor- Einheit interferometrisch verglichen, um die Auslenkung der Probenoberfläche 24 bezüglich dem Strahlteiler 36 zu bestimmen. Diese Auslenkung ist ein Maß für den Abstand zur Probenoberfläche 24 oder für eine ihrer Charakteristika.
- Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird der Niedervoltpiezoelektrische Modulationsstapel 48 für den Referenzspiegel 26 durch zwei Signale gesteuert: einem Gleichstrom(dc)-Vorspannungssignal und einem Wechselstrom-(ac) Modulationssignal. Das Gleichstrom-(dc) -Vorspannungssignal kontrolliert die Nominallänge des piezoelektrischen Stapels 48, während das Wechselstrom-(ac)-Modulationssignal einen Bewegungsbereich des Stapels 48 um die Nominallage herum regelt. Eine geeignete Frequenz für das Wechselstrom-(ac) Modulationssignal beträgt 5 Hz. Die Feineinstellungen des Brennpunktes für den Referenzkanal, und daher der Nominallänge, erfolgen durch Einstellung der Gleichstrom-(dc)-Vorspannung des piezoelektrischen Stapels 48.
- Die Steuerelektronik 54 des piezoelektrischen Stapels legt die Ausgangsgröße einer Dehnungsmeßeinrichtung 58 auf den piezoelektrischen Modulatorstapel 48, um die Bewegung mit der Wechselstrom-(ac)-Modulationsspannung linear zu halten. Die Elektronik 54 verwendet den Ausgang einer ähnlichen, sich auf dem Super-Invar-Meßfühlerkörper 10 angeordneten Dehnungsmeßeinrichtung 60, um die an den piezoelektrischen Modulatorstapel 48 angelegte Gleichstromvorspannung einzustellen, so daß gleichzeitig alle Längenänderungen im Meßfühlerkörper 10 ausgeglichen werden. Diese Technik stabilisiert das piezoelektrische Material des Stapels 48 am Super-Invar-Material des Meßfühlerkörpers 10 und macht dadurch den Referenzstrahlweg thermisch unempfindlich. Signale von der Steuerelektronik 54 werden zu den rauscharmen piezoelektrischen Energieversorgungen über den Aufbau 56 von elektrischen Kabeln übertragen.
- Das heißt, der piezoelektrische Modulatorstapel 48 wird mit der ersten, am piezoelektrischen Stapel 48 befestigten Dehnungsmeßeinrichtung 58 und mit der zweiten, an der zentralen Halteplatte 10 des Meßfühlerkörpers befestigten Dehnungsmeßeinrichtung 60 gesteuert. Diese Technik sorgt dafür, daß der piezoelektrische Stapel thermisch unempfindlich wird, in dem die zweite Dehnungsmeßeinrichtung 60, die an dem Super-Invar-Meßfühlerkörper 10 befestigt ist, dazu verwendet wird, ein Gleichstrom(dc)-Offset für die an dem piezoelektrischen Stapel 48 angelegte Wechselstrom-(ac)-Modulationsspannung bereitzustellen.
- Dies ist in dem Wellenform-Diagramm von Fig. 2 und in dem vereinfachten schematischen Diagramm von Fig. 3 gezeigt. Dadurch, daß das gegenwärtig bevorzugte Material für den Meßfühlerkörper 10 Super-Invar ist, das einen negativen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt, nimmt die Gleichstrom-(dc)-Vorspannung mit zunehmender Temperatur ab. Weist das ausgewählte Material einen positiven Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, so wird die Gleichstrom-(dc)-Vorspannung veranlaßt, mit steigender Temperatur zuzunehmen. Das Endergebnis ist, daß die Gleichstrom-(dc)-Offsetspannung die Null-Modulationslänge des piezoelektrischen Stapels 48 so ändert, daß sich das piezoelektrische Material des Stapels 48 in einer dem Super-Invar des Meßfühlerkörpers 10 ähnlichen Weise verhält.
- Die Wellenform von Fig. 2 zeigt eine beispielhafte Steuerspannung, die den piezoelektrischen Stapel 48 antreibt. Die Steuerspannung ist nominell eine Sägezahn Wellenform mit einer Frequenz von beispielsweise 5 Hz.
- Das Regelungssystem mit geschlossenem Ein- und Ausgang von Fig. 3 betreibt den piezoelektrischen Stapel 48. Die Positionssteuerspannung des piezoelektrischen Stapels wird an einen Eingangsanschluß und, über einen Widerstand R1, an einen Fehlerverstärker A1 angelegt. Der Fehlerverstärker A1 enthält ein Potentiometer R2 zum Einstellen der Servoverstärkung des Regelkreises. Das Ausgangssignal des Fehlerverstärkers wird über den Widerstand R3 an einen Leistungsverstärker A2 angelegt. Die Ausgangsgröße des Verstärkers A2 ist ein Strom, der proportional zur Ausgangsgröße des Fehlerverstärkers A1 ist. Dieser Strom wird an den piezoelektrischen Stapel 48 angelegt, der diesen integriert und seine Position (Länge) in Reaktion auf das Sägezahn-Steuersignal ändert. Der piezoelektrische Stapel 48 ist über einen Widerstand R4 auf Masse gelegt. Befestigt ist am piezoelektrischen Stapel 48 für die Erfassung einer Längenänderung davon die Dehnungsmeßeinrichtung 58. Die Dehnungsmeßeinrichtung 58 bildet in Verbindung mit der an dem Super-Invar-Körper 10 befestigten Dehnungsmeßeinrichtung 60 zwei Schenkel einer abgeglichenen Brückenschaltung Für die gegenwärtig bevorzugte Ausführungsform weist jede Dehnungsmeßeinrichtung (58,60) einen Nennwiderstand von 350 Ohm im ungedehnten Zustand auf. Ein Eingangsknoten jeder der Dehnungsmeßeinrichtungen ist mit einer Bezugsspannungsquelle (VR), die eine positive Referenzspannung an einen Eingangsknoten der Dehnungsmeßeinrichtung 58 und ein gleiches, aber entgegengesetztes Potential an einen Eingangsknoten der Dehnungsmeßeinrichtung 60 liefert, verbunden. Ein Meßverstärker A3 ist an einem Knoten, der zwischen einem Ausgangsknoten von jedem der Dehnungsmeßeinrichtungen 58 und 60 und in Verbindung damit eingesetzt ist, angeschlossen. Ein zweiter Eingang des Verstärkers A3 wird mit einer Bezugsspannung, die von VR ausgegeben wird, beaufschlagt. Diese Referenzspannung ist nominell gleich Null Volt. A3 verstärkt eine Differenzspannung, die von der ½ Brückenschaltung, die durch die Dehnungsmeßeinrichtungen 58 und 60 gebildet wird, geliefert wird. Die Höhe der Differenzspannung ist eine Funktion der Differenz in der Dehnung, die an die Dehnungsmeßeinrichtungen 58 und 60 infolge der erzwungenen Längenänderung des piezoelektrischen Stapels 48 angelegt wird, und, gemäß einem Aspekt der Erfindung, einer thermischen Ausdehnung oder Kontraktion des Super-Invar-Körpers 10. Diese Fehlerspannung wird an den Verstärker A4 angelegt. A4 enthält ein Potentiometer RS zum Einstellen der Rückkoppelungsverstärkung und ein Potentiometer R6 zum Einstellen des Offset (Null). Der Ausgang des Verstärkers A4 wird mit dem Eingang des Verstärkers A1 zum Schließen des Regelkreises um den Spiegel 26, der mit dem piezoelektrischen Stapel 48 verbunden ist, verbunden.
- Diese Technik macht den Meßfühler 1 thermisch unempfindlich, indem jede Ausdehnung oder Kontraktion des Super-Invar von dem piezoelektrischen Stapel 48 abgeglichen wird, wodurch man eine Nettoänderung von Null bei den außergewöhnlichen Strahlwegslängen erhält. Diese Technik, mit der thermische Unempfindlichkeit erzielt wird, verringert im wesentlichen die durch thermische Drift verursachten Unsicherheiten in den Oberflächenmeßdaten.
- Die offene Zellenkonstruktion des kompakten Meßfühlers 1 verringert auch vorteilhafterweise Unsicherheiten in den Oberf lächenmeßdaten aufgrund von Umgebungseffekten, indem sowohl Referenzstrahl- als auch Probenstrahlwege gemeinsame Umgebungen aufweisen.
- Diese Techniken ergeben so einen kompakten Lasermeßfühler mit niedriger Leistungsaufnahme, der im wesentlichen unempfindlich gegenüber thermisch induzierten Fehlern ist und der ein großes dynamisches Entfernung/Auflösungs-Verhältnis von wenigstens 10&sup5;:1 zeigt. Im Ergebnis ist der Lasermeßfühler 1 gut geeignet für den Einsatz in den beispielhaften Anwendungen, die bei den Aufgaben der Erfindung oben aufgeführt worden sind.
- Während die Erfindung im einzelnen im Hinblick auf die gegenwärtig bevorzugten Ausführungsformen davon gezeigt und beschrieben worden ist, ist es für einen Fachmann selbstverständlich, daß Änderungen in der Ausgestaltung und in Einzelheiten durchgeführt werden können, ohne vom Umfang der beanspruchten Erfindung abzuweichen.
Claims (15)
1. Optisches Meßgerät (1) mit
einem Rahmen (10);
einer mit dem Rahmen (10) verbundenen Einrichtung zum
Erzeugen eines Lichtweges eines Probenstrahls und eines
Lichtweges eines Referenzstrahls,
dadurch gekennzeichnet, daß das Gerät
ebenfalls eine Einrichtung (48) umfaßt, die auf eine
Änderung in der Größe des Rahmens (10) anspricht, zum
Verändern der Länge des Lichtweges des Referenzstrahls, so
daß die Länge des Lichtweges des Referenzstrahls in einem
vorbestimmten Verhältnis zur Länge des Lichtweges des
Probenstrahls gehalten wird.
2. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin das
vorbestimmte Verhältnis Gleichheit ist.
3. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin die
Veränderungseinrichtung (48) eine Mehrzahl von übereinander
in Serie angeordneten piezoelektrischen Elementen, wobei zu
dieser Mehrzahl piezoelektrischer Elemente ein daran
angekoppeltes Erregungssignal gehört, und eine Einrichtung
(60), die auf eine Größenänderung des Rahmens (10)
anspricht, zum Einstellen des Erregungssignals derart, daß
eine Größenänderung des Rahmens (10) ausgeglichen wird,
einschließt.
4. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 3, worin die
Veränderungseinrichtung (48) ferner eine erste
Dehnungsmeßeinrichtung (58), die mit der Mehrzahl von
piezoelektrischen Elementen zum Erfassen einer
Längenänderung davon verbunden ist, und eine zweite
Dehnungsmeßeinrichtung (60), die mit dem Rahmen (10) zum
Erfassen einer Größenänderung davon und eine Einrichtung,
die mit der ersten Dehnungsmeßeinrichtung (58) und mit der
zweiten Dehnungsmeßeinrichtung (60) verbunden ist, um das
Erregungssignal entsprechend einer mit der ersten
Dehnungsmeßeinrichtung (58) und mit der zweiten
Dehnungsmeßeinrichtung (60) erfaßten Dehnungsdifferenz zu
verändern, einschließt.
5. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin die
Veränderungseinrichtung (48) ein Regelungssystem mit
geschlossenem Ein- und Ausgang, das auf eine Größenänderung
des Rahmens (10) anspricht, zum Verändern der Weglänge des
Lichtweges des Referenzstrahls einschließt.
6. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin der
Rahmen (10) aus einem Material, das so ausgewählt ist, daß
es einen vorbestimmten Wärmeausdehnungskoeffizienten
besitzt, aufgebaut ist.
7. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin die
Erzeugungseinrichtung eine Einrichtung (14) zum Verbinden
eines Lichtleiters (12) mit dem Rahmen (10) einschließt.
8. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 7, worin der
Lichtweg des Probenstrahls eine Linseneinrichtung (28), die
optisch mit einem Ausgang des Lichtleiters (12) zum
Fokussieren eines Probenstrahis an einer gewünschten Stelle
verbunden ist, und einen Reflektor (38), der innerhalb des
Lichtweges des Referenzstrahls angeordnet ist zum
Ausrichten eines Referenzstrahls auf eine gewünschte
Brennpunktlage, einschließt.
9. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 8, worin die
gewünschte Brennpunktlage eines Probenstrahls in der
Oberfläche (24) eines Probenobjekts liegt und worin die
gewünschte Brennpunktlage des Referenzstrahls in der
Oberfläche eines phasenmodulierenden Spiegels (46) liegt.
10. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 71 worin die
Erzeugungseinrichtung einen optisch mit dem Ausgang der
Lichtleiters (12) verbundenen Strahlteiler (36) zum
Aufteilen des Ausganges des Lichtleiters (12) in einen
Probenstrahl und einen Referenzstrahl einschließt.
11. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 10, worin der
Strahlteiler (36) ebenso einen reflektierten Probenstrahl
und einen reflektierten Referenzstrahl vereint und den
kombinierten Strahl zurück in den Lichtleiter (12) bringt.
12. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin der
Lichtweg des Referenzstrahls ganz innerhalb des Rahmens
(10) liegt.
13. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 7, worin die
Verbindungseinrichtung des Lichtleiters eine
Trägereinrichtung (14) für den Lichtleiter, die zum
Aufnehmen eines Abschlußende eines Lichtleiters (12)
angepaßt ist, wobei die Trägereinrichtung (14) drehbar mit
dem Rahmen (10) verbunden ist, um das Abschlußende des
Lichtleiters (12) in eine gewünschte Winkelbeziehung mit
dem Rahmen (10) bringen zu können, einschließt.
14. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 13, das ferner
eine mit der Trägereinrichtung für den Lichtleiter
verbundene Einrichtung zum Fixieren der Trägereinrichtung
für den Lichtleiter in der gewünschten Winkelbeziehung mit
dem Rahmen (10) einschließt.
15. Optisches Meßgerät (1) nach Anspruch 1, worin der
Lichtweg des Probenstrahls teilweise innerhalb des Rahmens
(10) liegt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/834,758 US5239366A (en) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | Compact laser probe for profilometry |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69310947D1 DE69310947D1 (de) | 1997-07-03 |
DE69310947T2 true DE69310947T2 (de) | 1997-12-18 |
Family
ID=25267734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69310947T Expired - Fee Related DE69310947T2 (de) | 1992-02-12 | 1993-02-11 | Kompakte Lasersonde für Profilometrie |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5239366A (de) |
EP (1) | EP0556041B1 (de) |
JP (1) | JP2505360B2 (de) |
KR (1) | KR930018259A (de) |
DE (1) | DE69310947T2 (de) |
IL (1) | IL104641A0 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10236755B4 (de) * | 2002-08-10 | 2005-04-14 | Sms Meer Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Wanddicke eines Rohres in einem Rohrwalzwerk |
CN104330005A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-02-04 | 重庆佳速汽车零部件有限公司 | 换挡杆的杆体端部位置检具 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5239366A (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-24 | Huges Aircraft Company | Compact laser probe for profilometry |
JP2586371B2 (ja) * | 1992-12-22 | 1997-02-26 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエータ |
EP0708347A1 (de) * | 1994-10-21 | 1996-04-24 | Hewlett-Packard GmbH | Vorrichtung zum Justieren, Abschwächungsvorrichtung, Kopplungsvorrichtung und Filtervorrichtung |
DE4445642A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellelement |
US5895927A (en) * | 1995-06-30 | 1999-04-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Electro-optic, noncontact, interior cross-sectional profiler |
US5659652A (en) * | 1995-09-29 | 1997-08-19 | D'entremont; Joseph P. | Support system for rapid assembly of component infrastructures |
DE19615918C2 (de) * | 1995-12-07 | 1999-12-09 | Walu Labortechnik Gmbh | Repetierpipette |
US5661843A (en) * | 1996-01-30 | 1997-08-26 | Rifocs Corporation | Fiber optic probe |
US5831736A (en) * | 1996-08-29 | 1998-11-03 | Washington University | Method and apparatus for generating a three-dimensional topographical image of a microscopic specimen |
JPH1130508A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Bridgestone Sports Co Ltd | ゴルフボールの表面形状測定方法及び装置 |
US7206623B2 (en) * | 2000-05-02 | 2007-04-17 | Sensys Medical, Inc. | Optical sampling interface system for in vivo measurement of tissue |
US7383069B2 (en) * | 1997-08-14 | 2008-06-03 | Sensys Medical, Inc. | Method of sample control and calibration adjustment for use with a noninvasive analyzer |
US6415167B1 (en) | 2000-05-02 | 2002-07-02 | Instrumentation Metrics, Inc. | Fiber optic probe placement guide |
US5924234A (en) * | 1997-11-20 | 1999-07-20 | Trijicon, Inc. | Optical sighting device |
US7133710B2 (en) * | 2002-03-08 | 2006-11-07 | Sensys Medical, Inc. | Compact apparatus for noninvasive measurement of glucose through near-infrared spectroscopy |
US20070179367A1 (en) * | 2000-05-02 | 2007-08-02 | Ruchti Timothy L | Method and Apparatus for Noninvasively Estimating a Property of an Animal Body Analyte from Spectral Data |
US7519406B2 (en) * | 2004-04-28 | 2009-04-14 | Sensys Medical, Inc. | Noninvasive analyzer sample probe interface method and apparatus |
US7606608B2 (en) * | 2000-05-02 | 2009-10-20 | Sensys Medical, Inc. | Optical sampling interface system for in-vivo measurement of tissue |
US20060211931A1 (en) * | 2000-05-02 | 2006-09-21 | Blank Thomas B | Noninvasive analyzer sample probe interface method and apparatus |
US20020135767A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Richard Jenkin A. | Optical alignment element method |
US6928225B2 (en) * | 2001-04-03 | 2005-08-09 | Schott Glas | Method and assembly for mounting at least one optical fiber |
US6914676B2 (en) * | 2001-07-27 | 2005-07-05 | Oplink Communications, Inc. | System and method for optical multiplexing and/or demultiplexing |
US6898596B2 (en) * | 2001-10-23 | 2005-05-24 | Therma-Wave, Inc. | Evolution of library data sets |
US6798523B2 (en) | 2001-12-04 | 2004-09-28 | Honeywell International Inc. | Sensor and method for detecting fiber optic faults |
US8504128B2 (en) * | 2002-03-08 | 2013-08-06 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for coupling a channeled sample probe to tissue |
US20050187439A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-08-25 | Blank Thomas B. | Sampling interface system for in-vivo estimation of tissue analyte concentration |
US8718738B2 (en) * | 2002-03-08 | 2014-05-06 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for coupling a sample probe with a sample site |
US20050054908A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-03-10 | Blank Thomas B. | Photostimulation method and apparatus in combination with glucose determination |
US7697966B2 (en) * | 2002-03-08 | 2010-04-13 | Sensys Medical, Inc. | Noninvasive targeting system method and apparatus |
US20070149868A1 (en) * | 2002-03-08 | 2007-06-28 | Blank Thomas B | Method and Apparatus for Photostimulation Enhanced Analyte Property Estimation |
US6807742B2 (en) * | 2002-09-06 | 2004-10-26 | Trijicon, Inc. | Reflex sight with multiple power sources for reticle |
DE112004000194T5 (de) * | 2003-01-23 | 2005-12-29 | Corning Inc. | Mit einer Linse versehene Faser mit einem kleinen Formfaktor und Verfahren zur Herstellung derselben |
US20050159656A1 (en) * | 2003-03-07 | 2005-07-21 | Hockersmith Linda J. | Method and apparatus for presentation of noninvasive glucose concentration information |
US20070234300A1 (en) * | 2003-09-18 | 2007-10-04 | Leake David W | Method and Apparatus for Performing State-Table Driven Regression Testing |
US8868147B2 (en) * | 2004-04-28 | 2014-10-21 | Glt Acquisition Corp. | Method and apparatus for controlling positioning of a noninvasive analyzer sample probe |
US20080033275A1 (en) * | 2004-04-28 | 2008-02-07 | Blank Thomas B | Method and Apparatus for Sample Probe Movement Control |
US20060206018A1 (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Alan Abul-Haj | Method and apparatus for noninvasive targeting |
EP1976240B1 (de) | 2007-03-26 | 2009-11-11 | Research In Motion Limited | System und Verfahren zur Bereitstellung von Ruffunktionssymbolen auf einer Benutzeroberfläche, die eine Benutzerauswahl einer Kommunikationsleitung für einen ausgehenden Ruf auf einem mobilen Endgerät ermöglicht |
EP1976241B1 (de) | 2007-03-26 | 2011-01-05 | Research In Motion Limited | System und Verfahren zur Bereitstellung einer Benutzeroberfläche, die eine Benutzerauswahl einer Kommunikationsleitung für einen ausgehenden Ruf auf einem mobilen Endgerät ermöglicht |
US20090036759A1 (en) * | 2007-08-01 | 2009-02-05 | Ault Timothy E | Collapsible noninvasive analyzer method and apparatus |
WO2009076564A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Menard, Inc. | Programmable strain gauge amplifier |
US8593644B2 (en) * | 2010-12-13 | 2013-11-26 | Southwest Research Institute | White light optical profilometer for measuring complex surfaces |
TWI473963B (zh) * | 2011-03-04 | 2015-02-21 | Univ Nat Formosa | 一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法 |
US20150146201A1 (en) * | 2013-05-02 | 2015-05-28 | Michael Burka | Optical probe with extended working distance |
CN104330008B (zh) * | 2014-11-24 | 2016-08-24 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种摇臂组合件尺寸测量装置及测量方法 |
RU2650840C1 (ru) * | 2016-12-27 | 2018-04-17 | Общество с ограниченной ответственностью "Спецдортехника" | Лазерный профилометр для определения геометрических параметров профиля поверхности |
CN111121651A (zh) | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 财团法人工业技术研究院 | 光学测量稳定性控制*** |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2922937C2 (de) * | 1979-06-01 | 1981-07-02 | Fabeg Gmbh, 7518 Bretten | Kabelkupplung zum selbsttätigen Durchkuppeln elektrischer Heiz- und/oder Steuerstromleitungen sowie von Lichtleitern zur optischen Befehlsübertragung, insbesondere für Bahnfahrzeuge |
SE445778B (sv) * | 1980-04-03 | 1986-07-14 | Gerhard Westerberg | Kompensationsanordning vid en laserinterferometer |
JPS6078410A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-04 | Fujitsu Ltd | 調整式光コネクタ |
JPS60111210A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Fujitsu Ltd | 定偏波ファイバ用光コネクタ |
JPS60225005A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Tokyo Erekutoron Kk | レ−ザ−光を利用した位置決め装置の補正方式 |
JPS6124710U (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-14 | 株式会社 高橋製作所 | 反射望遠鏡に於ける温度補償装置 |
US4758065A (en) * | 1985-03-08 | 1988-07-19 | Mechanical Technology Incorporated | Fiber optic sensor probe |
DK155250C (da) * | 1985-08-13 | 1989-07-24 | Lars Bager | Fremgangsmaade og apparat til maaling af afstandsvariationer |
US4639139A (en) * | 1985-09-27 | 1987-01-27 | Wyko Corporation | Optical profiler using improved phase shifting interferometry |
US4667922A (en) * | 1985-11-08 | 1987-05-26 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Support assembly having three dimension position adjustment capabilities |
US4850536A (en) * | 1986-10-14 | 1989-07-25 | Arimitsu Industry Co., Ltd. | Liquid ejection apparatus |
US4814948A (en) * | 1987-07-02 | 1989-03-21 | Yasuo Hasegawa | Light-emitting-end mounting mechanism in optical display panel |
JPH0196610A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光結合装置 |
US5147348A (en) * | 1988-03-18 | 1992-09-15 | Eli Lilly And Company | Optical fiber rotational connector |
JPH0216442A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Mitsubishi Motors Corp | 酸素センサ |
US4909589A (en) * | 1988-12-11 | 1990-03-20 | Morris Robert K | Rotatable photonic coupling |
US5042949A (en) * | 1989-03-17 | 1991-08-27 | Greenberg Jeffrey S | Optical profiler for films and substrates |
JPH02308109A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-21 | Nec Corp | 光モジュールの固定構造 |
JP2959576B2 (ja) * | 1990-02-07 | 1999-10-06 | 富士通株式会社 | 光学部材の固定構造 |
IT1239223B (it) * | 1990-02-20 | 1993-09-28 | Pirelli Cavi Spa | Connettore ottico orientabile per collegamento di fibre ottiche a componenti ottici discreti e sensore impiegante uno o piu' connettori orientabili |
US5138676A (en) * | 1990-06-15 | 1992-08-11 | Aster Corporation | Miniature fiberoptic bend device and method |
JPH0486705A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Canon Inc | ライトガイド |
US5153669A (en) * | 1991-03-27 | 1992-10-06 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Three wavelength optical measurement apparatus and method |
US5293438A (en) * | 1991-09-21 | 1994-03-08 | Namiki Precision Jewel Co., Ltd. | Microlensed optical terminals and optical system equipped therewith, and methods for their manufacture, especially an optical coupling method and optical coupler for use therewith |
US5239366A (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-24 | Huges Aircraft Company | Compact laser probe for profilometry |
-
1992
- 1992-02-12 US US07/834,758 patent/US5239366A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-02-07 IL IL104641A patent/IL104641A0/xx unknown
- 1993-02-11 DE DE69310947T patent/DE69310947T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-02-11 KR KR1019930001875A patent/KR930018259A/ko not_active Application Discontinuation
- 1993-02-11 EP EP93300986A patent/EP0556041B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-12 JP JP5024547A patent/JP2505360B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-24 US US08/021,711 patent/US5448662A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10236755B4 (de) * | 2002-08-10 | 2005-04-14 | Sms Meer Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Wanddicke eines Rohres in einem Rohrwalzwerk |
CN104330005A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-02-04 | 重庆佳速汽车零部件有限公司 | 换挡杆的杆体端部位置检具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IL104641A0 (en) | 1993-06-10 |
EP0556041A2 (de) | 1993-08-18 |
EP0556041B1 (de) | 1997-05-28 |
KR930018259A (ko) | 1993-09-21 |
JP2505360B2 (ja) | 1996-06-05 |
JPH0611317A (ja) | 1994-01-21 |
US5448662A (en) | 1995-09-05 |
EP0556041A3 (de) | 1993-11-10 |
US5239366A (en) | 1993-08-24 |
DE69310947D1 (de) | 1997-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69310947T2 (de) | Kompakte Lasersonde für Profilometrie | |
DE3609507C2 (de) | Faseroptisches Interferometer | |
DE69931520T2 (de) | Anordnung zum messen der dicke eines gewebes | |
DE69122343T2 (de) | Atomkraft-Mikroskopie | |
DE69001386T2 (de) | Hochempfindliches Positionsmess-Verfahren. | |
DE3854620T2 (de) | Tunnel-abtastmikroskop. | |
DE69019913T2 (de) | Atomkraftmikroskop. | |
DE69215369T2 (de) | Positionsmessung | |
DE69115724T2 (de) | Oberflächenmikroskop | |
DE69317857T2 (de) | Linearisierungs- und Eichungssystem für einen Abtastungsapparat | |
EP2363685B1 (de) | Vorrichtung zur Positionserfassung mit konfokalem Fabry-Perot Interferometer | |
DE3335336A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum statischen ausrichten von wellen und zum ueberwachen der wellenausrichtung | |
EP2045572B1 (de) | Vorrichtung zur Positionserfassung | |
US4688908A (en) | Microscope stage | |
DE69828758T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Magnetkraftbildes und Rastersondenmikroskop | |
WO1988006711A1 (fr) | Interferometre a laser pour la mesure des longueurs par interferometrie | |
EP0271646A1 (de) | Vorrichtung zur berührungsfreien Messung eines Abstandes von einer Oberfläche, insbesondere zur Abtastung einer Kontur einer Oberfläche eines Werkstückes länges eines Messweges | |
DE69706819T2 (de) | Halbleiterlaserlichtquelle mit variabler Wellenlänge und mit externem Resonator | |
DE69730670T2 (de) | Rastersondenmikroskop und Signalverarbeitungsgerät | |
EP2977811A1 (de) | System mit einem piezoresistiven Positionssensor | |
DE69431679T2 (de) | Interferenzspektrometer | |
DE2528209C3 (de) | Optischer Feintaster | |
DE69434641T2 (de) | Elektrooptisches Messinstrument | |
DE2606434A1 (de) | Vorrichtung zur messung von kraeften durch optoelektronische bestimmung der verformung von pruefkoerpern | |
WO1999053271A1 (de) | Verfahren zur punktweise scannenden profilbestimmung einer materialoberfläche nach dem autofokusprinzip sowie koordinatenmessgerät |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: RAYTHEON CO., LEXINGTON, MASS., US |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |