DE69215427T2 - Vorrichtung und Verfahren für eine elektrische Übertragungsleitungsschnittstelle - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren für eine elektrische Übertragungsleitungsschnittstelle

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DE69215427T2
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transmission line
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electrical
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bellows
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Mario Enrique Ecker
Lawrence Jacobowitz
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International Business Machines Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/04Fixed joints

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  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Multi-Conductor Connections (AREA)

Description

    BEREICH DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen eine neue Schnittstelle und ein Verfahren zur Herstellung derselben, und in weiteren Einzelheiten eine elektrische Übertragungsleitungsschnittstelle und ein Verfahren zur Herstellung derselben. Auf einem Substrat mit Halbleitern wird ein Treiberoder Empfängerschaltkreis vorgesehen, der als Schnittstelle mit einer elektrischen Übertragungsleitung dient. Integrale Mittel für die elektrische Übertragungsleitungsausrichtung, Halterung und Durchgang durch eine abgedichtete Umgebung ist ebenfalls vorgesehen. Für die verschiedenen Bestandteile, die im Inneren des Gehäuses angeordnet sind, ist auch eine flüssigkeitsdichte Kapselung vorgesehen. Auch variable Zeitverzögerungsmittel können für das Rechnertaktsystem oder sonstige Mikrowellenanwendungen vorgesehen sein.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Zusammenschaltungen bei Computerkommunikationsanwendungen wie Zeittaktverteilung, Speicher und Datenbus zwischen den Prozessoren, Matrix- oder Koppelpunktschalter sind Schlüsselelemente in Systemarchitektur, Packungskonstruktion, Funktion und Leistung. Anordnungen von Übertragungsleitungen in flüssigkeitsdicht gekapselten Halbleiterchip-Packungen führen weiter zu Problemen der Zugentlastung an Vorrichtungsschnittstellen, Ausgangslastfaktorverteilung, Integrierbarkeit und Raumausnutzung. Einige dieser bekannten Probleme wurden durch die vorliegende Erfindung gelöst.
  • Dichtgepackte elektrische Kontaktstift/Buchsen-Steckverbinder für heutige Multichip-Modul-Packungen (MCM) generieren elektromagnetische Induktanz und Rauschankopplung. Ferner verschlechtert das von den Halbleiter-Chips in Vielschicht- Keraniksubstraten induzierte Delta-i-Rauschen mit gleichzeitigem Logikpegelumschalten die elektrischen Signale beim Übergang des elektrischen Signais vom E/A-Kontaktstift zur Oberfläche des MLC-Substrats noch weiter. Im allgemeinen vergrößern diese Rausch- und Dispersionsprobleme direkt mit dem Ansteigen der Signalfrequenz, insbesondere über 100 MHz
  • Die Aufteilung eines Zentraltaktgebersignals oder eines Systemtakts auf die Multichip-Anordnung auf dem Substrat erfordert gesteuerte, angepaßte Zeitverzugsverschiebungen, um ein gleichzeitiges Ankommen der Taktgebersignale zu gewährleisten. Abweichungen von der Gleichzeitigkeit sind bekannt als "Bitversatz" und setzen sich direkt in die Zykluszeitleistung des Rechners um.
  • Die vorliegende Erfindung spricht diese Schwierigkeiten an und sieht Mittel zum Lösen einiger dieser Punkte vor. Zum Beispiel wurde gefunden, daß die direkte Verbindung zur Substratschnittstelle Verbinder- und Substratrauschen minimiert. Daher ist die bevorzugte Verbindung für Hochfrequenzbetrieb eine Kabel-TCM-Schnittstelle, bei der die Verbindung seitlich in das TCM (Thermal Conduction Module - thermisches Leitungsmodul) geführt ist und ein Empfänger auf der Substratoberfläche vorgesehen ist. Zugentlastung des relativ starren Koaxkabels und das Vorsehen der flüssigkeitsdichten Kapselung der Kabelmodul-Schnittstelle sind in der vorliegenden Erfindung ebenfalls angesprochen.
  • Die Forderung nach Kompensierung der Takteingangszeit- Differenzen bezüglich der Fortpflanzungsgeschwindigkeiten in Netzen unterschiedlicher Längen werden ebenfalls von der Erfindung angesprochen. Die konstruktiven Verzögerungen, die zwischen den ICE's (Schnittstellensteuerelementen), SCE's (Systemsteuerelementen) etc. innerhalb und zwischen den gedruckten Leiterplatten (PC) der thermischen Leitungsmodule (TCM) absichtlich eingeführt werden, werden von der Erfindung auf ähnliche Weise angepaßt.
  • Einige der bedeutsamen Merkmale der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind:
  • (1) Die Übertragungsleitung zur Modulschnittstelle,
  • (2) die Schnittstelle zwischen Übertragungsleitung und Substrat,
  • (3) variable Verzögerungsleitungs-Ausführungsformen,
  • (4) Übertragungsleitungsführungs-, Halterungs-, Flüssigdichtkapselungs- und Zugentlastungmittel, und
  • (5) Trennbarkeit der oberen und der unteren Modulhalbebene für Instandsetzung, Test, oder technische Änderung.
  • Probleme beim Zugentlastung an Vorrichtungsschnittstellen, Ausgangsverteilung, Integrierbarkeit und Raumausnutzung sind einige der weiteren Probleme, mit denen man zu tun hat. Einige dieser bekannten Probleme wurden durch die vorliegende Erfindung gelöst.
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwenden kompatible Konstruktionen zur Schnittstellenverbindung mit externen Übertragungsleitugen zu einem flüssigkeitsdicht gekapselten, temperaturgesteuerten Modul und zur direkten Verteilung innerhalb des Moduls auf auswählbare Halbleiterchip-Positionen. Die vorliegende Erfindung lehrt ferner eine direkte Oberflächenverbindung der Übertragungsleitung zur Substratoberfläche und vermeidet somit den Durchgang des elektrischen Signals durch die Modulschichten oder Kühlstrukturen.
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung lassen ferner das Vorkommen von C-4s und der Halbleiterchips auf dem Substrat zu, während einzigartige Mittel zum elektrischen Zusammenschluß der Übertragungsleitung mit einem Empfänger auf der Substratoberfläche vorgesehen ist. Mittel zur geeigneten Anbindung der Übertragungsleitung oder des Signalleiters zu einer Durchkontaktierung in Substrat sind ebenfalls vorgesehen.
  • Ein weiteres einzigartiges Merkmal der vorliegenden Erfindung sind die Faltenbälge für die Übertragungsleitungen, die flüssigkeitsdichte Kapselung und Zugentlastung für den Anschluß der Übertragungsleitung an die Substratoberfläche vorsehen.
  • AUFGABEN UND ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Vorsehen einer oder mehrerer Schnittstellen für Übertragungsleitungen in ein Multichip-Modul oder ein TCM.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Vorsehen von Mitteln zur Zugentlastung für die Übertragungsleitungs-Verbinder.
  • Noch eine weitere Aufgabe der Erfindung ist das Vorsehen einer flüssigkeitsdichten Kapselung für das zusammengebaute Substrat.
  • Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung offenbart ein Gerät für eine elektrische Übertragungsleitungs-Schnittstelle gemäß Definition in Anspruch 1.
  • Noch ein weiterer erfindungsgemäßer Aspekt offenbart ein Verfahren zum Vorsehen einer elektrischen Übertragungsleitungs-Schnittstelle gemäß Definition in Anspruch 1.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Merkmale der Erfindung, die als neu bezeichnet werden, und die Elemente, die für die Erfindung charakteristisch sind, werden im einzelnen in den Unteransprüchen behandelt. Die Figuren dienen nur dem besseren Verständnis und sind nicht maßstabsgetreu gezeichnet. Die Erfindung selbst wird jedoch sowohl in Bezug auf die Organisation als auch auf das Betriebsverfahren am leichtesten verständlich unter Bezugnahme auf die hier folgende detaillierte Beschreibung anhand der begleitenden Zeichnungen, in denen
  • Fig. 1 eine Teilschnittansicht einer erfindungsgemäßen Koaxkabel-Einbaugruppe als Schnittstelle mit einem TCM ist.
  • Fig. 2 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht der zusammengebauten Schnittstelle zwischen der Koaxkabel-Einbaugruppe und den TCM-Elementen.
  • Fig. 3 ist eine Teil-Querschnittsansicht, die den Durchgang des Koaxkabels durch die Koaxkabel-Einbaugruppe zur Koaxkabel-Anschlußstelle zeigt.
  • Fig. 4A ist eine auseinandergezogene Seitenansicht, die die Halterung mit einer Koaxkabel-Führungsnut und sonstigen zugehörigen Elementen zeigt.
  • Fig. 4B zeigt eine modifizierte Halterung mit einer umgekehrten Koaxkabel-Führungsnut.
  • Fig. 5 illustriert einen Dichtungsrahmen mit der modifizierten Halterung der Fig. 4B mit Mitteln zum Ausrichten.
  • Fig. 6 ist eine vergrößerte Ansicht des Koaxkabels und der Mittel zum Anschluß an ein Substrat mit den teilweisen Führungselementen
  • Fig. 7 ist eine vergrößerte Darstellung einer weiteren Ausführungsform des Koaxkabels mit einer spulenförmigen Verzögerungsleitung und Anschlußmitteln an ein Substrat mit teilweisen Führungselementen
  • Fig. 8A ist eine Seitenansicht eines modifizierten Verbinders, der benutzt wird, um das Koaxkabel an das MLC- Substrat anzuschließen.
  • Fig. 8B ist eine Seitenansicht des modifizierten Verbinders aus Fig. 8A.
  • Fig. 9 ist ein Beispiel für eine Verzögerungsleitungskonfiguration mit Abgriff innerhalb eines MLC-Substrats.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Das neuartige Gerät und Verfahren für die erfindungsgemäße Übertragungsleitungsschnittstelle umfaßt viele Aspekte. Der Hauptaspekt der Erfindung ist die Benutzung der Substratoberfläche für die elektrische Kommunikation unter Verwendung einer Übertragungsleitung mit wenig oder gar keiner Auswirkung auf andere elektronische Vorrichtungen, die sich auf der Substratoberfläche befinden können. Auf ähnliche Weise läßt die Erfindung die Veränderung der Kühlkonfiguration eines TCM mit wenig oder gar keiner Auswirkung auf die Kühlungsfähigkeiten des TCM zu. Diese und weitere einzigartige Merkmale der Erfindung werden nachstehend im vorliegenden Abschnitt diskutiert.
  • Eine Übertragungsleitung, die wie hier benutzt wird, bedeutet ein Koaxkabel oder ein verdrilltes Kabel oder eine Bandleitung oder jede Art Leitung, die mindestens zwei elektrische Pfade aufweist, wobei diese Pfade elektrisch gegeneinander isoliert sind und ein festes Dielektrikum die elektrischen Pfade trennt. Herkömmlicherweise werden diese zwei Pfade als Signalweg und als Erde bezeichnet.
  • Die Übertragungsleitungsverbindung weist in der Regel sowohl einen Signalleiter als auch einen Erdleiter auf, und bilden ein elektrisches Kontaktpaar. Das elektrische Kontaktpaar könnte auf der Oberfläche eines Substrats liegen oder zusammen mit einem elektrischen Verbindungsmittel, wie z.B. einem Steckverbinder, ausgebildet sein.
  • Eine elektronische Vorrichtung im hier benutzten Gebrauch könnte passive Schaltelemente beinhalten, wie z.B. Widerstände, Kondensatoren und Induktoren oder Halbleitervorrichtungen, und zugeordnete Schaltelemente wie Dioden, Transistoren und logische Schaltungen, um nur ein paar zu nennen.
  • Nur zum Zweck der Illustration wird in Fig. 1 ein Wärmeleitmodul d.i. TCM (Thermal Conduction Module) 10, enthaltend einen unteren Rahmen 12, einen oberen Rahmen oder Hut 16 gezeigt, die zwischen sich sandwichartig einen Abdichtrahmen 14 einschließen, der modifiziert wurde. Mit der Erfindung können auch noch weitere Modultypen eingesetzt werden, wie z.B. das Multichip-Modul (MCM) oder das luftgekühlte Modul, um nur eine paar zu nennen. Der untere Rahmen 12, der Abdichtrahmen 14 und der obere Rahmen 16 werden durch Befestigungsmittel, wie z.B. Schrauben 18, zusammengehalten. Üblicherweise wird eine Kühlplatte 17 mit einer Anzahl Kühlkanäle 21 auf der oberen Fläche des oberen Rahmens 16 befestigt, wie dem Fachmann bestens bekannt ist. Ein Substrat 40 mit einer abgestuften Kante 42 und mit obenauf befestigten Halbleiterchips 50 wird zwischen der Leiste 41 des unteren Rahmens 12 und der Erweiterung des Abdichtrahmens 14 mit einer dazwischenliegenden Dichtung befestigt. Üblicherweise benutzt man Wärmetauscherelemente 52, wie die Hochleitungs-Kühlelemente (HCC), die in US-Patent Nr. 5,052,481 vom 10 Oktober 1991 (Horvath et al.) geoffenbart sind, um die vom Chip 50 generierte Wärme zum oberen Rahmen d.i. Hut 16 abzuleiten. Nur für die Zwecke leichterer Darstellung wird der obere Rahmen, d.i. der Hut 16, im Zusammenhang mit dem Wärmetauscherelement 52, d.i. dem HCC-Element 52, diskutiert, jedoch könnte der obere Rahmen jede Art Kühlvorrichtung oder -struktur aufweisen, z.B. könnte der obere Rahmen 16 ähnlich dem sein, der in U.S.A. Nr. 4,226,281 oder in U.S.A. Nr. 4,235,283 geoffenbart ist. Natürlich müßte in jeder Situation der obere Rahmen 16 so modifizert sein, daß er eine Führung oder ein halterungsähnliches Element aufnehmen kann, wie später noch im vorliegenden Abschnitt diskutiert wird. Üblicherweise wird eine Halterung 51 benutzt, um die Wärmetauscherelemente 52 an Ort und Stelle zu halten. Wie im vorliegenden Abschnitt später noch diskutiert wird, wird diese Halterung 51 auch benutzt, um Führungsnuten und Haltemittel für eine Übertragungsleitung 23, wie z.B. ein Koaxkabel 23, vorzusehen. Nur für Zwecke der Illustration wird die Übertragungsleitung 23 als Koaxkabel 23 angesprochen, das schließt jedoch andere Formen der Übertragungsleitungen nicht aus, die mit der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden können. Bei den Kühlvorrichtungen oder -strukturen, bei denen es keine Halterung 51 gibt, kann die Kühlvorrichtung oder -struktur von einem Fachmann mit Leichtigkeit dahingehend abgeändert werden, daß die Mittel zum Führen und Befestigen des Koaxkabels 23 von außerhalb des TCM 10 zu einer Stelle, wo das Ende des Koaxkabels 23 am Substrat 40 befestigt wird, vorgesehen sind. Eine flüssigkeitsdichte Kapselung des Modulinneren, das die Chips 50 aufnimmt, die auf dem Substrat 40 angeordnet sind, läßt sich mittels der Dichtungen 46 und 48 erreichen. Eine Koaxkabel-Haltevorrichtung 20 bildet die Schnittstelle zwischen den Koaxkabeln 23 und dem TCM 10. Abdeckscheibe 22, Halter 32, Wellenscheibe 31, Halterung 30 und Schulter 28 sind verschiedene Bestandteile der Koaxkabel- Befestigungsbaugruppe 20, die in der Regel vom Wärmeleitmodul TCM 10 aus nach außen vorstehen.
  • Die Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 kann zwischen einem beliebigen Schraubenpaar 18 entlang den Seiten des TCM 10 angeordnet sein. Dafür kann jede Seite des TCM 10 (N-1) Koaxkabel-Montagebaugruppen 20 aufnehmen, wobei N gleich der Anzahl der Schrauben entlang einer gegebenen Seite des TCM 10 ist. Jede Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 weist wenigstens ein Koaxkabel 23 auf. Jedes Koaxkabel 23 hat in der Regel einen elektrischen Leiter in der Mitte mit einem Isolator kleiner dielektrischer Konstante geeigneter Dicke, der über diesen Zentralleiter geschoben ist, und diese Untergruppe wird dann in einem rohrförmigen elektrischen Leiter untergebracht.
  • Fig. 2 stellt eine Ansicht der Elemente der Koaxkabel- Montagebaugruppe 20 dar, die einen Durchgang durch die Seite des Dichtrahmens 14 bildet. Der Dichtrahmen 14 weist eine Reihe Löcher 19 auf, um die Schrauben 18 aufzunehmen. Eine Zugaufnahmetülle 24 weist Schultern 26 und 28 an beiden Enden auf sowie auch radiale Nuten 27 und 29, die Halteringe 47 bzw. 30 aufnehmen. Die Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 kann vorbereitet werden durch Einführen der Koaxkabel 23 durch die Öffnung in die Zugaufnahmetülle 24.
  • Fig. 2 zeigt ferner eine vergrößerte Schnittansicht der montierten Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 als Teil des Abdichtrahmens 14 und des oberen Rahmens 16 und des unteren Rahmens 12. Die Koaxkabel 23 sind durch die Zugaufnahmetülle 24 geführt, so daß ein Flanschrohr 39 mit seiner Schulter 13 umfangmäßig an den Faltenbaig 11 geschweißt ist. Das andere Ende des Faltenbalgs 11 ist an die Lippe 15 an der Zugaufnahmetülle 24 geschweißt, damit ein Teil des Abdichtsystems für die Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 eingerichtet wird. Das Flanschrohr 39 erstreckt sich von der Fläche der Schulter 26 aus über eine feste Distanz, und ein Abstandshalter wird zeitweilig eingesetzt während die äußeren Leiter der Koaxkabel 23 an die Öffnungen der Fläche des Flansches 34 geschweißt werden. Abziehen der zeitweiligen Abstandshalter ermöglicht es, daß sich die Koaxkabel 23 durch Zusammendrücken des Faltenbalgs 11 entlang der Zugaufnahmetülle 24 bewegen bis der Flansch 34 auf die Fläche der Schulter 26 aufsitzt. Umgekehrt kann sich der Flansch 34 ungehindert von der Fläche der Schulter 26 weg bewegen, indem er den Faltenbalg 11 dehnt. Die Dehnung des Faltenbalgs 11 wird von der Nase 35 begrenzt, die Teil der Vorspannfeder 101 ist, die später noch in Fig. 5 besprochen wird. Die erzwungene axiale Verschiebung des Faltenbalges 11 kompensiert die unterschiedlichen Ausdehnungsfähigkeiten zwischen den halbstarren Koaxkabeln 23 und der TCM-Baugruppe 10.
  • Diese Unterbaugruppe kann jetzt durch das Loch im Dichtrahmen 14 und in der Abdeckscheibe 22 eingeführt werden. Der Haltering 47 wird gedehnt und dann wieder in die Nut 27 eingeschnappt. Die Zugaufnahmetülle 24 wird jetzt vom Dichtrahmen 14 weg- oder zurückgezogen, und der O-Ring 33, der Halter 32, die Wellenscheibe 31 und der Haltering 30 werden an ihren Ort geschoben, um die Zugaufnahmetülle 24 fest am Dichtrahmen 14 zu sichern. Das wird erreicht durch Einschnappen des Halterings 30 in die radiale Nut 29, was diese Baugruppe zusammendrückt und sicher an ihrem Ort gegen die Abdeckscheibe 22 hält. Der Haltering 47, der am anderen Ende der Zugaufnahmetülle 24 in die radiale Nut 27 eingesetzt ist, verriegelt die Zugaufnahmetülle 24 sicher an ihrem Platz.
  • Der untere Rahmen 12 und der obere Rahmen 16 werden mit Dichtungen 46 bzw. 48 abgedichtet. Die Dichtung 33 ist eine wirksame Abdichtung für die Koaxkabel-Montagebaugruppe 20. Die Dichtungen 46 und 48 können eine Dichtung vom "O-Ring- Typ" oder vom "C-Ring-Typ" sein um die Abdichtung zu bewirken, wenn sie unter Verwendung der Schrauben 18 an andere Elemente der TCM 10 angebaut werden. Eine Auflage 43, die zwischen der Kante 41 und der gestuften Leiste 42 liegt, bilden eine Auflagefläche für das Substrat 40.
  • Fig. 3 illustriert eine Teilschnittansicht, die den Durchgang des Koaxkabels 23 durch die Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 zur Koaxkabel-Anschlußstelle 150 zeigt. Die Koaxkabel-Anschlußstelle 150 läßt sich praktisch an jedem beliebigen Ort auf dem Substrat 40 anordnen. Diese Orte können Stellen für Halbleiterchips 50 oder auch Stellen für den Entkoppelungskondensator 74 sein, oder zwischen den Chipkanten sein, um nur ein paar anzuführen. Der bevorzugte Ort für die Koaxkabel-Anschlußstelle 150 wäre es, einen Entkoppelungskondensator 74 zu ersetzen und diesen Ort für die Koaxkabel- Anschlußstelle zu nutzen. Weil ja durch den Ausbau einiger Entkopplungskondensatoren 74 ein vernachlässigbarer Verlust von Rauschstörsicherheit bewirkt wird, jedoch der Ausbau eines Halbleiterchips 50 einen signifikanten Verlust an Schaltkreiskapazität zur Folge haben könnte. Zusätzlich könnte der Ersatz des Entkoppelungskondensators 74 mit geringstem Konstruktionsänderungsaufwand der Substratverdrahtung durchgeführt werden. Die Einführung dieser Koaxkabel bewirkt einen signifikanten Zuwachs bei den Funktionen und Niedrigrausch-Kommuinikationsmitteln.
  • Die Wärmeausdehnungsunterschiede der verschiedenen Materialien im TCM erzeugen eine Zug auf das halbstarre Koaxkabel 23. Dieses Ausdehnungsunterschiedlichkeit zwischen dem Koaxkabel 23 und dem TCM 10 kann vom Faltenbalg 11 aufgefangen werden, der eine gewisse Zusammenziehungs- und Ausdehnungsfähigkeit aufweist. Die Halterung 51 weist Öffnungen 66 auf, um entweder eine Koaxkabelverbindung oder einen Entkoppelungskondensator 74 aufzunehmen.
  • Ebenso wurde gefunden, daß die bestehende Kühlkonfiguration des Teils des oberen Rahmens verändert werden könnte, um Einschließung, Durchführung und Ausrichtung für das Koaxkabel aufzunehmen. Diese Modifikationen ermöglichen eine maximale Verwendung der Kühlkonfiguration ohne Auswirkungen auf die Kühlleistung. Nur zu Zwecken der Darstellung wird in Fig. 4A eine ähnliche Kühlkonfiguration gezeigt wie in US-Patent 5,052,481, erteilt am 1. Okt. 1991 (Horvath et al.), jedoch kann auch jede beliebige Kühlkonfiguration auf ähnliche Weise angepaßt werden, so daß sie erfindungsgemäß anwendbar wird.
  • Um die Koaxkabel 23 innerhalb des verfügbaren Raums im TCM 10 unterbringen zu können, wurde eine Halterung 51 mit dem Führungskanal 69 und dem oberen Rahmen 16 modifiziert. Diese Veränderungen sind in Fig. 4A gezeigt. Der Halterungssitz 53 wird so verändert, daß er die Halterung 51 aufnimmt. Auch die Halterung 51 muß verändert werden, so daß sie Mittel vorsieht, die die Koaxkabel-Verbindermittel, wie z.B. einen Verbinder zum Substrat, sicher befestigen. Der obere Rahmen 16 wird ebenfalls modifiziert durch Verkürzen einer der Halterungsführungen d.i. der großen Rippen 56, so daß sie eine Führungsansatz 58 bildet. Die Führungsansatz 58 hat eine Haltenut 59 oder eine Führungsnase, in Abhängigkeit davon, welche Verzögerung angewandt wird. Wenn eine schraubenförmig gewickelte Koaxkabel-Verzögerungsleitung 71 benutzt wird, sind der abgeschrägte Schlitz 55 in Fig. 4A und die Koaxkabelführung 69 vertauscht, wie in Fig. 4B gezeigt und diskutiert wird. Der Umfang des oberen Rahmens 16 hat eine Nut, um die Dichtung 48 aufzunehmen. Die am oberen Rahmen 16 sitzenden Rippen 54 passen zu den Rippen des HCC-Elements 52, wie in US-Patent 5,052,481, erteilt am 10 Oktober 1991 (Horvath et al.) beschrieben wird. Die Halterung 51 ist eine Standardhalterung, die zusammen mit dem oberen Rahmen 16 benutzt wird, hier aber verändert ist, so daß sie jetzt wenigstens eine Koaxkabelführung 69 mit einem abgeschrägten Kanal 55 und mit der Führungsnase 57 aufweist. Die Halterung 51 weist auch mindestens einen Vorsprung 63 mit Öffnungen 65 auf, um einen exzentrischen Stift 64 aufzunehmen. Eine HCC- Feder 62 ist in der Regel in die Öffnungen im HCC-Element 52 eingeschoben, und diese Unterbaugruppe wird dann in die Öffnungen im oberen Rahmen 16 geschoben. Die Halterung 51 und die Halterungsfeder 60 werden dann mit dem Dichtungsrahmen 14 am oberen Rahmen 16 befestigt, der diese Baugruppe sicher an Ort und Stelle hält. Die Halterungsfeder 60 weist (nicht dargestellte) Öffnungen auf, um das Durchgreifen der oberen Fläche der Koaxkabelführungsnut 69 und der Führungsnase 57 zu ermöglichen, die in die Halterungsnut 59 passen. Das Ergebnis dieser Modifikation ist das Vorsehen einer Koaxkabelführnungsnut 69 und doch die X-, Y- und Z-Achsen-Bewegungssteuerung für das Wärmeaustauschelement d.i. das HCC-Element 52 zu bewirken. Das Koaxkabel 23 wird in den abgeschrägten Halterungskanal 55 gelegt. Die flache Feder 60, die zwischen die Halterung 51 und den oberen Rahmen 16 eingelegt wird, hält den Eingriff des Koaxkabel-Verbindermittels wie z.B. des Substrat-Verbinders während des normalen Betriebs bei und verhindert die Bewegung in der Z-Achse und kompensiert Abweichungen des Substrats 40 infolge der Modulverbinderbetätigung.
  • Fig. 4B zeigt Modifikationen zum Unterbringen der schraubenförmig gewickelten Verzögerungsleitung 71. Die Übertragungsleitung 23 ist schraubenförmig gewickelt, so daß wenigstens ein Teil der Übertragungsleitung 23 benutzt werden kann, um eine schraubenförmig gewickelte Verzögerungsleitung 71 zu bilden. Natürlich könnte die Übertragungsleitung 23 eine oder auch mehrere dieser schraubenförmig gewickelten Verzögerungs leitungen 71 aufweisen. Die Halterung 151 ist ähnlich der Halterung 51 wie oben besprochen, mit dem Unterschied, daß der abgeschrägte Schlitz jetzt ein umgekehrt abgeschrägter Schlitz 155 ist, der benutzt wird, um die schraubenförmig gewickelte integrale Verzögerungsleitung 71 innerhalb des Koaxkabelführungskanals 169 sicher aufzunehmen. Die Verzögerungsleitung 71 wird hergestellt durch schraubenförmiges Wickeln eines Teils des Koaxkabels 23. Die Haltenut 59 wird ersetzt durch eine (nicht gezeigte) passende Führungsnase, um die umgekehrte abgeschrägte Nut 155 aufzunehmen.
  • In einigen Fällen kann es erforderlich sein, die Übertragungsleitung 23 elektrisch gegen die elektronischen Einrichtungen auf dem Substrat zu isolieren, in solche Fällen könnte die Halterung 51 bzw. 151 elektrisch gegen das Substrat isoliert sein durch Mittel, die dem Fachmann wohl bekannt sind, wie z.B. Beschichten oder Anodisieren, um nur ein paar zu nennen. Diese elektrische Isolierung könnte auch erreicht werden durch Beschichten der blanken Übertragungsleitung.
  • Die Halterung 151 mit der Sektorrippe 68 zum Positionieren des HCC-Elements 52 wird mit dem oberen Teil des Dichtungsrahmens 14 zusammengebaut unter Verwendung von zwei seiner anliegenden Kanten zum Zusammendrücken einer Vorspannfeder 101, die innen im Dichtungsrahmen 14 angeordnet ist, wie in Fig. 5 gezeigt wird. Entsprechende Vorsprünge 121 zu den Vorsprüngen 63 an aneinanderliegenden Kanten der Halterung 151 sind innen im Dichtungsrahmen 14 angeordnet. Die Vorspannfeder 101 ist innen im Dichtungsrahmen 14 angeordnet, um die Halterung 151 gegen exzentrische Stifte 64 zu drücken, die auf den Vorsprüngen 121 angeordnet sind. Die aneinanderliegenden Kanten der Halterung 151 sind so ausgebildet, daß sie die Vorspannfeder 101 zusammendrücken, so daß dann die Öffnung 65 die exzentrischen Stifte 64 aufnimmt. Durch Drehen eines der exzentrischen Stifte 64 kann die Halterung 151 in der X- und Y-Achse genau positioniert werden. Das Substrat 40 kann seitlich eingestellt werden, um es für optimale Stift/Verbinderausrichtung zu optimieren und die exzentrischen Stifte 64 werden gedreht, um eine seitliche Beanspruchung der Koaxkabel in den Führungsnuten 155 zu reduzieren. Wenn die verschiedenen Komponenten des TCM 10, wie der untere Rahmen 12, der Dichtungsrahmen 14, der obere Rahmen 16, zu einer Koaxkabel-Montagebaugruppe 20 zusammengebaut werden, muß mit Vorsicht verfahren werden, damit diese Komponenten eine flüssigkeitsdichte Abdichtung bilden, weil die Koaxkabel-Verbinderkomponenten und sonstige elektronische Vorrichtungen auf dem Substrat 40 gegen äußere Umgebungselemente geschützt werden müssen. In einigen Fällen kann das TCM 10 auch ein strömendes Medium enthalten, das als Kühlungs- oder Wärmetransportmittel für die verschiedenen elektrischen Komponenten dient, die sich auf dem Substrat 40 befinden. Die Zugaufnahmetülle 24 kann auch so modifiziert werden, daß sie eine beliebige Anzahl Koaxkabel-Verbinder aufnimmt. Ein solcher Verbinder wird als Koaxkabelverbinder 199 gezeigt. Die Anwendung eines solchen Koaxkabelverbinders 199 würde das TCM 10 modular oder steckerkompatibel machen.
  • Fig. 6 ist eine vergrößerte Ansicht der Koaxkabelanschlußstelle 150 und zeigt auch noch andere zugehörige Elemente auf dem Substrat 40. Das Substrat 40 kann ein Mehrschichten- Keramiksubstrat 110 sein, wie in Fig. 9 dargestellt ist, oder auch jede andere Art Mehrschichtensubstrat. Das Substrat 40 in Fig. 6 weist Lötflecken 129 und 130 zum Anlöten des äußeren Leiters 38 bzw. des inneren Leiters 44 des Koaxkabels 23 auf. Lötflecken werden benutzt, um an Lottropfen 102 auf einem Halbleiterchip 50 oder an einen Entkoppelungskondensator 74 (nicht dargestellt) anzuschließen. Die Sektorrippe 68 wird benutzt, um die (nicht dargestellten) Wärmetauscherelemente zu positionieren. Die Halterung 51 weist eine Führungsnase 57 und eine Koaxkabelführung 69 auf, die den abgeschrägten Kanal 55 aufnimmt, wie in Fig. 4A gezeigt und diskutiert wurde. Die Führungsnase 57 könnte in bestimmten Fällen Öffnungen 104 aufweisen, um die flache Halterungsfeder 60 aufzunehmen unter Verwendung der Verriegelungsnase 49.
  • Der innere und der äußere Leiter 44 und 38, isoliert durch einen Isoliermantel 45, sind durch Aufschmelzlöten auf dem Substrat 40 bzw. 110 befestigt, z.B. an der Position des abgenommenen Eckenkondensators 740 Die elektrische Verdrahtung zu den geeigneten Chips 50 durch die Durchkontaktierungslöcher 181 und 183 erzeugt die elektrische Schaltung, die erforderlich ist, um die verschiedenen elektrischen Merkmale der Erfindung aufzunehmen, wie z.B. die Zentraltaktgeberschaltung oder die Verbindung zur integralen Verzögerungsleitung.
  • Das Substrat 40 bzw. das Mehrschichtensubstrat 110 weist in der Regel n der Unterseite Kontaktstifte auf, die mittels metallgefüllter Durchkontaktierungslöcher 181 und 183 mit Metallschichten verbunden sind. Dieser elektrische Pfad bringt die elektrische Verbindung zu externen Schaltkreisen und zur Energieversorgung.
  • Fig. 7 ist eine Ansicht einer bevorzugten alternativen Ausführungsform eines abziehbaren Verbindermittels zum Befestigen des Koaxkabels 23 an dem Substrat 40 bzw. 110. Das Verbindermittel ist vorzugsweise entlang der Achse der Koaxkabelführung 169 und zwischen einem beliebigen Schraubenpaar 18 positioniert, wie bereits besprochen wurde.
  • Fig. 7 zeigt ferner die schraubenförmig gewickelte Verzögerungsleitung 71, die so konfiguriert ist, daß sie als integraler Teil des steifen Miniatur-Koaxkabels 23 ausgeführt ist. Die Verzögerungsleitung 71 erfordert, daß der abgeschrägte Führungskanal 155 nach oben zum Führungskanal 169 verschoben wird. Diese Verschiebung schließt einen elektrischen Kontakt zwischen dem äußeren Leiter 38 der aufgewickelten Verzögerungsleitung 71 mit den (nicht dargestellten) Lötflecken aus, die auf der Oberfläche des Substrats 40 bzw. 110 angeordnet sind und die zwischen den Kanten benachbarter Halbleiterchips 50 angeordnet sind. Um die unterschiedliche Ausdehnung zwischen der aufgewickelten Verzögerungsleitung 71 zu kompensieren, wird die Anzahl der Spulen beschränkt auf wenigstens zwei weniger als innerhalb des zylindrischen Sitzes 115 möglich wären, angeordnet in dem Kanal 155 mit abgeschrägten Wänden und dem Rippenansatz 58. Im Führungsglied 169 angeordnet ist ein Verbinderhohlraum 129 zum Befestigen der Verbinderbaugruppe 99.
  • Der Führungsansatz 58, der zum oberen Rahmen 16 gehört, ist so ausgebildet, daß er in das Führungsglied 169 eingreift mit Führungsnasen 128, die mit dem Kanal 155 mit abgeschrägten Wänden verriegelt sind, um den Führungsansatz 58 und das Führungsglied 169 auszurichten. Ferner greift der Dreifachvorsprung 113 und 129 in die obere Fläche der Verbinderbaugruppe 99 ein, um sie an Ort und Stelle zu verriegeln.
  • Die geschlitzten T-förmigen Kontakte 105 und 106 sind auf die Lötflecken 108 bzw. 109 aufgelötet, wobei der Isolator 107 die Kontakte 105 und 106 trennt. Der Zusammenbau des oberen Rahmens 16, des Dichtrahmens 14, des unteren Rahmens 12 und der zugehörigen Dichtungen 46 und 48 ergibt die Kontakte 203 und 103, die wie in Fig. 8A gezeigt und besprochen, mit den geschlitzten T-förmigen Kontakten 105 bzw. 106 übereinstimmen. Die abziehbare Verbinderbaugruppe 99 bildet den elektrischen Pfad zwischen dem Koaxkabel 23 und dem Leiterchip 50 über die Verdrahtung im Substrat 40 bzw. 110.
  • Die Verbinderbaugruppe 99 wird in Vorder- und Seitenansicht in Fig. 8A bzw. Fig. 8B gezeigt. Die Verbinderbaugruppe 99 könnte ähnlich dem elektrischen Universalverbinder sein, der im US-Patent 3,915,537 (Harns et al.) geoffenbart ist, wobei diese Offenbarung hier durch Querverweis angezogen wird. Die Verbinderbaugruppe 99 weist ein Paar mit dem Rücken zuemanderstehender Federkontakte 203 und 103 auf. Die Kontakte sind in gesonderte Hohlräume 130 und 131 eingesetzt, so daß sie elektrisch voneinander isoliert sind. Fahnen 132 und 133 sind gekrümmt, so daß sie durch die entsprechend gekrümmten Schlitze 134 und 135 zur Oberfläche der Verbinderbaugruppe 99 vorstehen. Nach Einschieben der gekrümmten Kontaktfahnen 132 und 133 durch die entsprechend gekrümmten Schlitze 134 und 135 werden die Fahnen 132 und 133 flach gedrückt, was die Kontakte 203 und 103 zur Verbinderbaugruppe erfaßt. Die Kontaktfahnen 132 und 133 weisen Schlitze 136 bzw. 137 auf, um den Mittelleiter 44 und den Außenleiter 38 des Koaxkabels 23 aufzunehmen. Die modifizierten Kontakte 203 und 103 werden im Regelfall zum Anschluß an (nicht gezeigte) Kontaktstifte benutzt, die unten im Substrat 40 bzw. 110 angeordnet sind. Die Kontakte 203 und 103 sind doppelt freitragende Auslegerhebel, die in flache Kontaktelemente geeigneter Dicke zwischen den Kontaktstellen 138 und 139 eingreifen. Die Kontakthohlräume 131 und 130 haben winklige Seitenwände 140 bzw. 141, um die Bewegung der doppelt freitragenden Auslegerhebel 203 und 103 aufzunehmen. Die oberen Schultern 143, die unteren Schultern 142 auf der Verbinderbaugruppe 99 sind so konfiguriert, daß sie am Verbinderhohlraum 129 ähnliche Leisten aufweisen wie in Fig. 7 gezeigt wird. Nach Einführen der Verbinderbaugruppe 99 in ihren Sitz im Verbinderhohlraum 129 werden der äußere Leiter 38 und der innere Leiter 44 in den Schlitzen 136 bzw. 137 an die Kontakte 203 und 103 gelötet.
  • Fig. 9 zeigt ein Beispiel für ein gedrucktes Leiterbahnmuster, das in die Verdrahtungsebenen eines MLC-Substrats 110 eingebettet ist. Die elektrische Leiterbahn 127 ist serpentinenförmig angelegt, wie gezeigt wird. Das MLC-Substrat 110 ist mit gleichmäßig beabstandeten Durchkontaktierungslöchern 111 versehen. Um die Abgriffe der Verzögerungsleitung auszubilden, werden die Kontaktierungslöcher 111 in verschiedenen Abständen abgegriffen um Durchkontaktierungsabgriffe 128 auszubilden. Die Durchkontaktierungen 144 sind ähnlich den Durchkontaktierungen 111, mit dem Unterschied, daß die Durchkontaktierungen 144 abgegriffen werden können, um Durchkontaktierungsabgriffe 128 auszubilden. Diese Unterteilung der ursprünglichen Abgriffe ermöglicht eine weitere Feinemstellung der Verzögerung in den elektrischen Leiterbahnen 127 durch diese stufenweisen Änderungen. Das Serpentinenmuster der elektrischen Leiterbahn 127 ist das bevorzugte Muster für die Abgriffsverzögerungsleitung, jedoch kann der Fachmann auch andere zweidimensionale oder dreidimensionale Musterkonfigurationen durch das Mehrschichtensubstrat in einer Mehrebenenkonfiguration aufbauen. Die abgegriffene Verzögerungsleitung wird benutzt, wenn eine Vielzahl von Werten gewünscht wird. Abgegriffene Verzögerungsleitungen lassen sich mit integralen Koaxialverzögerungselementen kombinieren, um varuerbare Verzögerungen einzustellen oder zu erhalten.
  • Wie bereits besprochen, kann das Koaxkabel 23 für Kommunikationen, für Taktverteilung und Datenbusanwendungen benutzt werden. In der Regel besteht ein elektronisches Taktverteilungssystem aus einem Zentraltaktgeber, von dem aus ein Taktimpulszug zu nachgeordneten elektronischen Funktionen geführt wird, wie z.B. zu einem Logikchip auf einem Substrat, der in einem TCM enthalten ist. Die Erfindung ermöglicht die Verteilung von Taktimpulszügen über optimale Übertragungsleitungen, wie Koaxkabel, in einem herkömmlichen TCM. Dieses Koaxkabel-Verteilungssystem ermöglicht gegenüber den heutigen Mikrostreifenleitungs- und Triplate-Übertragungssystemen:
  • a) einen reduzierten Bitversatz, d.i. Taktimpuls-Zeitvariation,
  • b) geringeres Rauschen bei hohen Taktfrequenzen (über 100 MHz),
  • c) erhöhter Abstand zwischen elektrischen Funktionen aufgrund geringerer Wellenformverzerrungen und Rauschankopplung,
  • d) Eliminierung von Geschwindigkeitsanpassungspuffern, und
  • e) Optimierung von Impedanzanpassungs-Kontaktstellen.
  • Wenn ein optischer Taktgeber eingesetzt werden soll, wie z.B. bei der vorliegenden Erfindung, würde eine praktische Implementierung die Verteilung eines Taktimpulszugs auf jeden Quadranten des MLC-Substrats bedeuten. Eine weitere Taktaufteilung durch elektrische Netze innerhalb der einzelnen Quadranten synchronisiert dann die logischen Operationen für die Computerchips auf eine Maschinenzykluszeit.
  • Bei der Datenbusanwendung müssen Hochgeschwindigkeits-Datenbits zwischen Speicherstellen oder zwischen Datenspeicher und Logikchips übermittelt werden. Diese Erfindung ermöglicht die Verwendung von Koaxkabeln zum Zusammenschließen der Chips in dichten Koaxkabelbündeln mit signifikant geringerer Rauschankopplung als die herkömmliche gedruckte Schaltkreisverdrahtung.
  • Die vorliegende Erfindung wurde insbesondere im Zusammenhang mit einer spezifischen bevorzugten Ausführungsform beschrieben; es ist jedoch offensichtlich, daß viele Alternativen, Modifikationen und Variationen dem Fachmann im Licht der vorstehenden Beschreibung ohne weiteres klar sind. Daher wird vorausgesetzt, daß die als Anhang beiliegenden Ansprüche alle solche Alternativen, Modifikationen und Variationen als in den Bereich der vorliegenden Erfindung fallend beinhalten.

Claims (7)

  1. Ein Gerät für eine elektrische Übertragungsleitungsschnittstelle des Typs, der enthält:
    a) Ein Substrat (40),
    b) mindestens ein elektrisches Kontaktpaar (38, 44), das in direkten elektrischen Kontakt mit mindestens einer elektrischen Komponente auf mindestens einer Oberfläche (150) des Substrats steht,
    c) mindestens ein Teil mindestens einer Übertragungsleitung (23), der mit dem mindestens einem elektrischen Kontaktpaar elektrisch in Verbindung steht,
    d) ein Gehäuse (20), das dieses mindestens eine elektrische Kontaktpaar und das Substrat schützt,
    e) Mittel in diesen Gehäuse zur Übermittlung eines elektrischen Signals durch das Gehäuse über die mindestens eine Übertragungsleitung zu dem elektrischen Kontaktpaar,
    wobei dieses Gerät gekennzeichnet ist durch ein Übertragungsleitungs-Durchgriffssystem,
    durch das wenigstens ein Teil der Übertragungsleitung in das Gehäuse führt, wobei das System eine Entspannungshülse (24) beinhaltet, die ein Rohr (39) mit einem Flansch (34) an einem Ende umfaßt und am anderen Ende (13) an einem Ende eines Faltenbalgs (11) befestigt ist, der als Dichtung wirkt, wobei die Übertragungsleitung durch die Kombination Rohr/Faltenbalg führt und an das geflanschte Ende befestigt ist, wobei das andere Ende des Faltenbalgs am anderen Ende der Hülse befestigt ist und wobei das Durchgriffssystem so gebaut ist, daß es eine begrenzte Kontraktion und Ausdehnung des Faltenbalgs zuläßt und auf diese Weise die Entspannung bewirkt.
  2. 2. Das Gerät gemäß Anspruch 1, in dem das Substrat ein Mehrschichten-Keramiksubstrat ist, das mindestens ein Mittel für eine feste und variable Zeitverzögerung aufweist, und wobei das elektrische Kontaktpaar wenigstens eine Signalleitung und wenigstens eine Erdleitung aufweist, und wobei jede der Signalleitungen und Erdleitungen voneinander durch ein festes Dielektrikum isoliert sind.
  3. 3. Das Gerät gemäß Anspruch 1, in dem die Übertragungsleitung Mittel zur Zeitverzögerung aufweist und schraubenförmig gewickelt ist, um wenigstens eine schraubenförmige integrierte Verzögerungsleitung zu bilden, und in dem das Mittel zum Übertragen eines elektrischen Signals durch das Gehäuse wenigstens einen Verbinder aufweist.
  4. 4. Das Gerät gemäß Anspruch 1, in dem das Mittel zum Übertragen eines elektrischen Signals durch das Gehäuse wenigstens eine Übertragungsleitungs-Einbaugruppe aufweist.
  5. 5. Das Gerät gemäß Anspruch 1, in dem das Gehäuse eine Halterung (51) aufweist und die Halterung Mittel zum sicheren Unterbringen wenigstens einer Übertragungsleitung und Mittel zum sicheren Haltern wenigstens eines Teils wenigstens eines Substratverbinders aufweist, wobei die Halterung elektrisch gegen das Substrat isoliert ist.
  6. 6. Das Gerät gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 6, ferner enthaltend
    d) Mittel zum Führen der wenigstens einen elektrischen Übertragungsleitung zu diesem wenigstens einen Kontaktpaar, und
    e) Mittel zum Ausrichten und Befestigen der wenigstens einen Übertragungsleitung an diesem wenigstens einen Kontaktpaar.
  7. 7. Ein Verfahren zum Vorsehen des Geräts gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 6, enthaltend die folgenden Schritte:
    a) Befestigen wenigstens eines elektrischen Kontaktpaars in Kontakt mit wenigstens einer elektrischen Komponente auf wenigstens einer Oberfläche eines Substrats,
    b) Befestigen wenigstens einer elektrischen Übertragungsleitung an diesem wenigstens einen elektrischen Kontaktpaar,
    c) Vorsehen eines Gehäuses zum Schutz des wenigstens einen elektrischen Kontaktpaars und des Substrats, und
    d) Vorsehen von Mitteln in dem Gehäuse, um ein elektrisches Signal durch das Gehäuse über die mindestens eine Übertragungsleitung zu dem elektrischen Kontaktpaar zu schicken,
    wobei das Verfahren durch die folgenden Schritte gekennzeichnet ist,
    Vorsehen eines Übertragungsleitungs-Durchgriffssystems, das sich in das Gehäuse erstreckt und ein Entspannungsrohr (24) aufweist, das ein Rohr mit einem Flansch an einem Ende enthält, und mit dem anderen Ende an einem Faltenbalg befestigt ist, der als Dichtung wirkt; wobei die Übertragungsleitung durch die Kombination Rohr/Faltenbalg führt und die Übertragungsleitung an das geflanschte Ende befestigt ist, und der Faltenbalg am anderen Ende der Hülse befestigt ist, wobei das Durchgriffssystem so ist, daß es eine begrenzte Kontraktion und Ausdehnung des Faltenbalgs zuläßt und auf diese Weise die Entspannung bewirkt.
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