DE69015065T2 - Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und nach diesem Verfahren hergestellter Kopf. - Google Patents

Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und nach diesem Verfahren hergestellter Kopf.

Info

Publication number
DE69015065T2
DE69015065T2 DE69015065T DE69015065T DE69015065T2 DE 69015065 T2 DE69015065 T2 DE 69015065T2 DE 69015065 T DE69015065 T DE 69015065T DE 69015065 T DE69015065 T DE 69015065T DE 69015065 T2 DE69015065 T2 DE 69015065T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic
spacer
axis
vertical
legs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69015065T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69015065D1 (de
Inventor
Jean-Marc Fedeli
Hubert Moriceau
Viviane Muffato
Marie-Helene Vaudaine
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Application granted granted Critical
Publication of DE69015065D1 publication Critical patent/DE69015065D1/de
Publication of DE69015065T2 publication Critical patent/DE69015065T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/21—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features the pole pieces being of ferrous sheet metal or other magnetic layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers
    • G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
    • G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
    • G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49034—Treating to affect magnetic properties
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
    • Y10T29/49043—Depositing magnetic layer or coating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung hat ein Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und einen nach diesem Verfahren hergestellten Kopf zum Gegenstand. Die Erfindung findet eine Anwendung bei der magnetischen Aufzeichnung. Der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Kopf kann entweder zum Schreiben und zum Lesen sein oder nur zum Schreiben oder zum Lesen.
  • Die Figuren 1 und 2 zeigen eine Ausführungsart von magnetischen Schreib- und Leseköpfen für schmale Aufzeichnungsspuren. Der Magnetkopf 10 ist auf der Seitenfläche 12 eines Trägers 14 angeordnet, der die generelle Form eines Katamarans aufweist. Der Aufzeichnungsträger trägt die Referenz 16. Seine Breite ist in der Größenordnung 2 um.
  • Der Kopf umfaßt im wesentlichen einen Magnetkreis mit einem ersten Teil, gebildet durch zwei Polschuhe PP1, PP2 (z.B. aus FeNi) mit geringer Dicke (z.B. 2 um), getrennt durch einen sehr schmalen Luftspalt G (z.B. 0,3 um). Diese Polschuhe bilden ein U-förmiges Muster init zwei "vertikalen" Schenkeln BV1, BV2 (d.h. mit einer zur Ebene des Aufzeichnungsträgers allgemein senkrechten Richtung), wobei diese Schenkel ziemlich breit sind (einige Zehntel Millimeter), und einem sehr viel schmaleren (ca. 0,1 mm) "horizontalen" Abschnitt BH (d.h. parallel zum Aufzeichnungsträger).
  • Der Magnetkopf umfaßt einen zweiten Teil, der dem magnetischen Fluß ermöglicht, sich zu schließen. In Figur 2 weist dieser zweite Teil die Form eines Ferritstabs 20 auf, der mit seinen beiden Enden auf die Polschuhe geklebt ist. Dieser Stab ist umgeben von einer leitenden Wicklung 22, z.B. aus Kupfer, mit einem Durchmesser von 15 um.
  • Ein solcher Kopf kann auf dem Träger 16 magnetische Aufzeichnungen schreiben und lesen.
  • Es gibt zahlreiche andere Kopftypen, z.B. mit einer den Techniken der Mikroelektronik entsprechend aufgebrachten Dünnschichtenspule, wie beschrieben in FR-A-2 604 021, oder auch Köpfe zum Lesen, nur mit magnetosensiblen, in den Magnetkreis eingefügten Elementen, wie beschrieben in FR-A-2 612 676 oder EP- A-0 269 129.
  • Da die Erfindung sich im wesentlichen auf die Herstellung des ersten Teils des magnetischen Kreises bezieht, d.h. den U-förmigen Teil mit zwei Polschuhen und einem Luftspalt, ist es nicht erforderlich, alle diese Varianten zu beschreiben, da die der Figuren 1 und 2 ausreichen zum Verständnis des Problems, das durch die Erfindung gelöst wurde.
  • Die Figur 3 erinnert an die wesentlichen Funktionen, die ein solcher Kopf erfüllt.
  • Der Kopf ist vor einer Spur 16 angeordnet, deren Magnetisierung die eine oder die andere der beiden Richtungen aufweisen kann. Die magnetische Induktion in den Polschuhen PP1 und PP2 wird durch Pfeile dargestellt; diese Induktion schließt sich über einen nicht dargestellten, hinteren Teil 25. Die Induktion ist im wesentlichen horizontal in dem schmalen horizontalen Abschnitt BH (d.h. parallel zu einer Achse x) und im wesentlichen vertikal in den beiden vertikalen Schenkeln BV1, BV2 (d.h. parallel zu einer Achse y).
  • Um das Rauschen in dem elektrischen Lesesignal zu reduzieren und eine hohe Empfindlichkeit des Kopfes zu erhalten, muß die Achse leichter Magnetisierung der die Polschuhe bildenden Magnetschicht (Magnetisierung, die man bei Fehlen von jeglichem Fremdfeld erzielt) senkrecht sein zur der Induktion, die man erhält bei Vorhandensein eines Aufzeichnungsträgers.
  • Bei Ruhe, d.h. fern von jedem Aufzeichnungsträger, müßte die Magnetisierung folglich idealerweise das in Figur 4 dargestellte Aussehen haben, mit einer vertikalen Hauptrichtung, (parallel zu y) in dem schmalen horizontalen Abschnitt BH und um den Luftspalt herum, und eine allgemein horizontale Richtung (parallel zu x) in den beiden breiten vertikalen Schenkeln BV1 und BV2.
  • Wenn man ohne spezielle Vorsichtsmaßnahmen die bekannten Herstellungsverfahren solcher Köpfe anwendet, und z.B. die Verfahren mit galvanischem Niederschlag wie beschrieben in US- A-4,402,801 oder in EP-A-0 262 028, ist man weit von diesem idealen Zustand entfernt. Man kann sogar den entgegengesetzten Zustand erhalten, wie ihn die Figur 5 zeigt, die einige Schritte der Herstellung eines solchen Kopfes zeigt.
  • Die auf bekannte Weise unternommenen Schritte sind die folgenden:
  • - auf einem nichtleitenden Substrat 30 scheidet man eine Metallschicht 32 ab und, auf dem Ganzen, ein Harz 34 (a); (wenn das Substrat leitend ist oder halbleitend, kann man auf die Metallschicht verzichten);
  • - man belichtet dieses Harz und entwickelt es, um eine Stufe 36 zu erhalten (b);
  • - man scheidet auf dem Ganzen eine Schicht aus nichtmagnetischem Material 38 ab, z.B. aus Siliciumdioxid (c);
  • - durch reaktives Ionenätzen entfernt man die horizontalen Teile der Schichten 36 und 38, um nur eine nichtmagnetische Mauer 40 stehenzulassen (d);
  • - man bedeckt das Ganze mit Harz 42 (e);
  • - man ätzt in das Harz einen Graben 44 mit der Form des U-förmigen Musters, das die zukünftigen Polschuhe darstellen soll (f als Draufsicht, g als Schnitt durch die Mauer 40);
  • - man bildet einen galvanischen Niederschlag 46 in dem Graben, z.B. aus FeNi bei Vorhandensein eines Fremdfeldes Hext (h);
  • - man beseitigt den Rest des Harzes und man erhält den U-förmigen Kreis mit seinen beiden Polschuhen PP1 und PP2 und dem nichtmagnetischen Spacer 40 in dem Luftspalt G (i, j)
  • Um zu versuchen, eine Achse leichter Magnetisierung parallel zum Luftspalt zu erhalten, wird Hext parallel zur Mauer 40 ausgerichtet; zwar ist dann die Achse leichter Magnetisierung in den vertikalen Schenkeln des U parallel zu Hext, kippt jedoch in dem schalen, horizontalen Abschnitt aufgrund eines sehr starken, eine Anisotropie erzeugenden Randeffekts und legt sich parallel zu den horizontalen Rändern.
  • Das erzielte Resultat (j) ist daher das Gegenteil des angestrebten Resultats (Fig. 4).
  • Würde man das Fremdfeld Hext um 90º kippen, erhielte man in den breiten Schenkeln sehr wohl die gesuchte Ausrichtung, jedoch wäre die Ausrichtung in der Nähe des Luftspalts um so schlechter. Nun, in dieser Zone sind die magnetischen Phänomene am stärksten und erfordern eine passende Ausrichtung der Achse leichter Magnetisierung.
  • Die vorliegende Erfindung hat genau eine Beseitigung dieses Nachteils zur Zielsetzung. Zu diesem Zweck schlägt sie ein Verfahren vor, das ermöglicht, in dem schmalen horizontalen Abschnitt, beiderseits des Luftspalts, eine Ausrichtung der Achse leichter Magnetisierung parallel zum Luftspalt zu erhalten (d.h. parallel zum Spacer oder zur y-Achse).
  • Bei einer vorteilhaften Variante sieht die Erfindung außerdem die Merstellung einer Ausrichtung der Achse leichter Magnetisierung in den beiden breiten vertikalen Schenkeln vor, die senkrecht ist zu der vorhergehenden Richtung (d.h. senkrecht zum Luftspalt oder zum Spacer oder zur y-Achse).
  • Dieses Ziel wird erreicht aufgrund der Bildung eines magnetischen Musters mit großen Dimensionen, das die Randeffektphänomene vermeidet, wobei dieses Muster anschließend auf die erforderlichen Dimensionen gebracht wird, sobald die Magnetisierung passend ausgerichtet ist.
  • Genaugenommen hat die Erfindung hat ein Verfahren zum Gegenstand, das im wesentlichen die folgenden Schritte umfaßt:
  • - man bildet zunächst einen nichtmagnetischen Spacer auf dem Substrat, wobei der Spacer eine Dicke gleich der Dicke des zukünftigen Luftspalts und eine bestimmte Hauptrichtung hat,
  • - man scheidet anschließend um diesen Spacer herum eine magnetische Schicht ab, um ein Muster zu bilden, das in dem Bereich des Spacers viel größere Abmessungen als die des zukünftigen schmalen, horizontalen Abschnitts hat und wendet während dieser operation ein Magnetfeld an, parallel zu der Richtung des Spacers, wobei die so erhaltene magnetische Schicht in der Gesamtheit des Musters eine Achse leichter Magnetisierung parallel zu dieser Richtung und zu dem Spacer aufweist,
  • - man entfernt den überflüssigen Teil dieser Schicht um nur den Bereich des Spacers um den horizontalen, schmalen erwünschten Abschnitt zu bewahren, wobei dieser Abschnitt dann eine Achse leichter Magnetisierung parallel zu dem Spacer aufweist.
  • Die Erfindung sieht zwei Varianten dieses Verfahrens vor:
  • - bei der ersten bildet man ein im wesentlichen rechtwinkliges magnetisches Muster um den Spacer herum, und man ätzt anschließend dieses Muster, um nur den erwünschten U-förmigen Kreis mit seinem schmalen, horizontalen Abschnitt und seinen beiden breiten, vertikalen Schenkeln übrigzulassen; der erhaltene Aufbau wird dann auf herkömmliche Weise geschliffen,
  • - bei der zweiten bildet man ein Muster mit zwei vertikalen Schenkeln, die schon die endgültige Form aufweisen, und einen horizontalen Abschnitt, sehr viel breiter als der erwünschte endgültige Abschnitt; man durchschneidet dann das Ganze und schleift es senkrecht zum Spacer, um den unteren, überflüssigen Teil des horizontalen Abschnitts zu entfernen und diesem seine endgültige Breite zu geben.
  • Um in dem horizontalen Abschnitt und den beiden vertikalen Schenkeln zugleich die beiden erforderlichen, idealen Ausrichtungen zu erhalten, kann man das Verfahren fortsetzen durch Abscheiden - auf den vertikalen Schenkeln - einer zusätzlichen Magnetschicht bei Vorhandensein eines zur Richtung des Spacers senkrechten Magnetfeldes, um zwei überdicken zu erhalten, die eine Achse der leichten Magnetisierung senkrecht zur Richtung des Spacers haben.
  • Bei allen diesen Ausführungarten kann das Abscheiden der Magnetschicht(en) durch die Technik des galvanischen Niederschlags erfolgen, jedoch kann jede andere bekannte Technik wie z.B. das Sputtern verwendet werden.
  • Die vorliegende Erfindung hat auch einen Magnetkopf zum Gegenstand, hergestellt nach dem soeben beschriebenen Verfahren. Er ist dadurch gekennzeichnet, daß - in dem schmalen horizontalen Abschnitt des U - die Achse der leichten Magnetisierung parallel ist zum Spacer.
  • Bei einer vorteilhaften Variante weist jeder der beiden breiten, vertikalen Schenkel eine überdicke auf mit einer Achse der leichten Magnetisierung senkrecht zum Spacer.
  • Auf jeden Fall werden die Merkmale und Vorteile der Erfindung besser verständlich durch die folgende Beschreibung. Diese Beschreibung betrifft erläuternde und keinesfalls einschränkende Ausführungsbeispiele und bezieht sich auf die beigefügten Zeichnungen:
  • - die Figur 1, schon beschrieben, zeigt einen Magnetkopf, angebracht auf einem Gleitschuh des Typs Katamaran;
  • - die Figur 2, schon beschrieben, zeigt die Anbringung eines Ferritstabs mit Wicklung;
  • - die Figur 3, schon beschrieben, zeigt die Linien des Magnetfelds in den Polschuhen;
  • - die Figur 4, schon beschrieben, zeigt die ideale Ausrichtung, die die Achse der leichten Magnetisierung haben sollte;
  • - die Figur 5, schon beschrieben, zeigt diverse Schritte eines Ausführungsverfahrens eines Magnetkopfes nach der vorhergehenden Technik;
  • - die Figur 6 zeigt die hauptsächlichen Schritte eines erfindungskonformen Verfahrens;
  • - die Figur 7 zeigt eine Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens;
  • - die Figur 8 zeigt diverse Ausführungsschritte einer perfektionierten Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren übernimmt die ersten Operationen des in Verbindung mit der Figur 5 beschriebenen Verfahrens und, genauer, die Operationen, die zu den Schritten führen, die dargestellt sind in den Figuren a bis e (einschließlich). Die Figur 6 zeigt die Folge der Operationen, die ab dem im Teil e dargestellten Bauteil durchzuführen sind. Dieses Bauteil umfaßt ein Substrat 30, eine Metallschicht 32, einen nichtmagnetischen Spacer 40 und eine Harzschicht 42 (die Figur 6a ist folglich identisch mit der Figur 5e). Erfindungsgemäß setzt sich das Verfahren durch folgende Operationen fort:
  • - man maskiert das Harz, um ein im wesentlichen rechtwinkliges, den Spacer umgebendes Muster zu definieren, man belichtet und man entfernt das Harz, um einen Graben 50 zu bilden (b in der Draufsicht, c im Schnitt);
  • - man bildet eine magnetische Schicht 52 z.B. durch galvanischen Niederschlag bei Verwendung der Metallschicht 32 als Elektrode, indem man ein elektrisches Fremdfeld Hext parallel zur y-Achse anwendet, d.h. parallel zum Spacer (d, e), wobei die Achse mit leichter Magnetisierung dann in der Gesamtheit des magnetischen Musters parallel zu Hext (d.h. zur y-Achse) ist und die großen Abmessungen des rechteckigen Musters das Auftreten von Randeffekten verhindern;
  • - man entfernt das restliche Harz und man ätzt das magnetische Muster durch ein beliebiges herkömmliches Ätzverfahren, um ihm die U-Form zu geben mit den beiden Polschuhen PP1, PP2, getrennt durch einen Luftspalt G, ausgefüllt durch den Spacer 40 (f); die Achse mit leichter Magnetisierung bewahrt ihre Ausrichtung während dieser Ätzung und ist folglich passend ausgerichtet, d.h. parallel zum Luftspalt (oder zum Spacer).
  • Bei einer zweiten Ausführungsvariante der Erfindung umfaßt das ausgebildete magnetische Muster schon seine beiden vertikalen U-Schenkel. Dazu geht man folgendermaßen vor:
  • - man stellt in dem Harz 42 einen Graben 60 her entsprechend Figur 7 (a) mit den schon ausgebildeten vertikalen Schenkeln 61, 62 und einem horizontalen Teil 63, der viel breiter ist als der zukünftige horizontale Abschnitt BH;
  • - man bildet in diesem Graben eine magnetische Schicht 64, z.B. durch galvanischen Niederschlag, bei Vorhandensein eines entsprechend der y-Achse ausgerichteten Magnetfelds Hext (b); man durchschneidet anschließend das erhaltene Teil, schleift es dann, um den unteren Teil 65 zu entfernen, bis man für den horizontalen Teil 66 die erwünschte Breite erhält (c); bei diesen Schneid- und Schleifoperationen bleibt die Achse mit leichter Magnetisierung parallel zu der durch Hext aufgezwungenen Richtung, d.h. parallel zum Spacer 40.
  • Das soeben beschriebene Verfahren löst zwar das Problem der Herstellung einer Achse mit leichter Magnetisierung, parallel zum Luftspalt in dessen Nähe, jedoch ist der Kopf nicht perfekt, da die Achse mit der leichten Magnetisierung in den vertikalen U- Schenkeln nicht die erhoffte Ausrichtung hat (s. Fig. 4).
  • Obgleich sekundär, kann dieses Problem wieder durch die Erfindung gelöst werden, indem man das Verfahren fortsetzt durch die in der Figur 8 dargestellten Operationen.
  • Das erhaltene, wie vorhergehend beschriebene Bauteil (durch eine beliebige der Varianten der Figuren 6 oder 7) wird mit Harz 70 bedeckt, das durch eine Maske belichtet, dann entwickelt und entfernt wird, um zwei Gräben 72, 74 übrigzulassen über den vertikalen Schenkeln BV1, BV2 der schon hergestellten Polschuhe (a).
  • In diesen beiden Gräben bildet man, z.B. durch galvanisches Aufwachsen, eine magnetische Schicht bei Vorhandensein eines magnetischen Fremdfeldes Hext parallel zur x- Achse (b), und man entfernt das Harz. Man erhält dann zwei überdicken 76, 78 (b und c), bei denen die Achse leichter Magnetisierung parallel ist zu der x-Achse und senkrecht zum Fluß, der dann vorzugsweise in diesen überdicken verläuft. Diese Bereiche verringern außerdem die Reluktanz des Magnetkreises, was die Leistung des Kopfes verbessert, ohne der Dünn- bzw. Schmalheit der Polschuhe im Bereich des Luftspalts abträglich zu sein.
  • Der erhaltene Kopf (Fig. 8, Teil c) weist dann eine Doppelausrichtung der Achse mit leichter Magnetisierung auf: nahe dem Luftspalt parallel zur y-Achse und in den breiten Schenkeln parallel zur x-Achse. Dies ist der gesuchte Idealkopf.

Claims (7)

1. Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Schreibund/oder Lesekopfs, bei dem man auf einem Substrat (30) einen Magnetkreis bildet, der einen ersten Teil, der von zwei Polstücken (PP1, PP2), die ein U mit zwei vertikalen, langen Schenkeln (BV1, BV2) und einem horizontalen, schmalen Abschnitt (BH) gebildet ist, der von einem Spalt (G) unterbrochen ist, und einen zweiten Teil (25) zum Schließen des Magnetflusses umfaßt, der die zwei vertikalen Schenkel des U verbindet, wobei der Magnetkreis mit einer Einrichtung (20, 22) zum Erfassen und/oder Erzeugen einer Flußänderung ausgerüstet ist, und das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt, um den U-Teil herzustellen:
man bildet zuerst ein nichtmagnetisches Abstandsteil (40) auf dem Substrat, wobei das Abstandsteil (40) eine Dicke gleich derjenigen des zukünftigen Spalts (G) und eine gewisse, allgemeine Richtung (y) hat,
man bringt dann um das Abstandsstück (40) herum eine magnetische Schicht (52) auf, um ein Muster zu bilden, das in dem Bereich des Abstandsstücks viel größere Abmessungen als diejenigen des zukünftigen, horizontalen, schmalen Abschnitts (EH) hat, und man legt während dieses Vorgangs ein Magnetfeld (Hext) in paralleler Richtung (y) zu der des Abstandsstücks an, wobei die derart erhaltene magnetische Schicht (52) in der Gesamtheit des Musters eine Achse leichter Magnetisierung parallel zu dieser Richtung und zu dem Abstandsstück (40) darstellt,
man entfernt den überflüssigen Teil dieser Schicht (52) in dem Bereich des Abstandsstücks, um nur den horizontalen, schmalen, erwünschten Abschnitt (BH) zu bewahren, wobei dieser Abschnitt dann eine Achse leichter Magnetisierung parallel zu dem Abstandsstück (40) darstellt.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein im wesentlichen rechteckförmiges, magnetisches Muster (50) um das Abstandsstück (40) herum bildet und man dann dieses Muster ätzt, um nur den erwünschten Kreis in U-Form mit seinem horizontalen, schmalen Abschnitt (BH) und seinen zwei vertikalen, breiten Schenkeln (BV1, BV2) übrig zu lassen.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Muster (61, 62) mit zwei vertikalen Schenkeln (BV1, BV2), die bereits die endgültige Form des U haben, und einem horizontalen Abschnitt (63) bildet, der viel breiter als der erwünschte, horizontale, entgültige Abschnitt (BH) ist, man dann die Gesamtheit durchschneidet und sie senkrecht zu dem Abstandsstück schleift, um den unteren, überflüssigen Teil des horizontalen Abschnitts (63) zu unterdrücken und diesem seine endgültige Breite (BH) zu geben.
4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß man, nachdem der Magnetkreis in U- Form hergestellt worden ist, auf einem Abschnitt der vertikalen Schenkel (BV1, BV2) eine zusätzliche, magnetische Schicht in Gegenwart eines Magnetfelds (H'ext) in Richtung (x) senkrecht zu derjenigen des Abstandsstücks (40) aufbringt, um zwei Überdicken (76, 78) mit einer Achse der leichten Magnetisierung senkrecht zu der Richtung des Abstandsstücks (40) zu erhalten.
5. Verfahren gemäß irgendeinem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß man Magnetschichten (52, 76, 78) durch elektrolytisches Wachsen eines magnetischen Materials bildet.
6. Magnetischer Schreib- und/oder Lesekopf, der durch das Verfahren nach Anspruch 1 erhalten wird, wobei dieser Kopf einen Magnetkreis umfaßt, der einen ersten Teil in U-Form mit zwei vertikalen, breiten Schenkeln (BV1, BV2) und einem horizontalen, schmalen Abschnitt (BH) umfaßt, der von einem Spalt (G) unterbrochen ist, der von einem nichtmagnetischen Abstandsstück (40) gefüllt ist, und einen zweiten Teil (25) zum Schließen des Flusses aufweist, der die zwei vertikalen U-Schenkel verbindet, wobei dieser Kreis mit einer Einrichtung (20, 22) zum Erfassen und/oder zum Erzeugen einer magnetischen Flußänderung ausgerüstet ist, und dieser Kopf dadurch gekennzeichnet ist, daß die vorhandene, magnetische Schicht in dem horizontalen, schmalen Abschnitt (BH) eine Achse leichter Magnetisierung parallel zu dem Abstandsstück (40) aufweist.
7. Magnetischer Schreib- und/oder Lesekopf gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß ferner jeder der zwei vertikalen, breiten Schenkel (BV1, BV2) eine Überdicke (76, 78) mit einer Achse leichter Magnetisierung senkrecht zu dem Abstandsstück aufweist.
DE69015065T 1989-09-06 1990-09-04 Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und nach diesem Verfahren hergestellter Kopf. Expired - Fee Related DE69015065T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8911643A FR2651600B1 (fr) 1989-09-06 1989-09-06 Procede de realisation d'une tete magnetique a axe de facile aimantation convenablement oriente et tete obtenue par ce procede.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69015065D1 DE69015065D1 (de) 1995-01-26
DE69015065T2 true DE69015065T2 (de) 1995-07-20

Family

ID=9385176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69015065T Expired - Fee Related DE69015065T2 (de) 1989-09-06 1990-09-04 Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und nach diesem Verfahren hergestellter Kopf.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5113575A (de)
EP (1) EP0416994B1 (de)
JP (1) JP2957664B2 (de)
DE (1) DE69015065T2 (de)
FR (1) FR2651600B1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5184267A (en) * 1989-06-02 1993-02-02 Digital Equipment Corporation Transducer with improved inductive coupling
DE69229906T2 (de) * 1991-12-18 1999-12-23 Hewlett-Packard Co., Palo Alto Induktiver Dünnfilmwandler mit verbesserter Schreibfähigkeit
FR2726931B1 (fr) * 1994-11-16 1996-12-06 Commissariat Energie Atomique Tete magnetique verticale a bobinage integre et son procede de realisation
FR2774797B1 (fr) * 1998-02-11 2000-03-10 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation d'un ensemble a plusieurs tetes magnetiques et ensemble a tetes multiples obtenu par ce procede
DE10210326B4 (de) * 2002-03-08 2019-02-21 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetisieren von magnetischen Meßkörpern
US7522380B2 (en) * 2005-06-14 2009-04-21 Seagate Technology Llc Head to disc interface tunneling giant magnetoresistive sensor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4399479A (en) * 1981-02-04 1983-08-16 Eastman Kodak Company Thin film magnetic head having good low frequency response
JPS5960723A (ja) * 1982-09-30 1984-04-06 Fujitsu Ltd 薄膜磁気ヘツドのコア形成方法
JPS5972636A (ja) * 1982-10-20 1984-04-24 Nec Corp 薄膜ヘツドの製造方法
EP0152064A3 (de) * 1984-02-08 1987-06-03 Hitachi, Ltd. Dünnfilm-Magnetkopf und Herstellungsverfahren
JPS62124620A (ja) * 1985-11-25 1987-06-05 Yokogawa Electric Corp 薄膜磁気ヘツドの製造方法
JPS6484406A (en) * 1987-09-26 1989-03-29 Sony Corp Manufacture of thin film magnetic head

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0393007A (ja) 1991-04-18
FR2651600A1 (fr) 1991-03-08
US5113575A (en) 1992-05-19
FR2651600B1 (fr) 1991-10-25
EP0416994A1 (de) 1991-03-13
JP2957664B2 (ja) 1999-10-06
EP0416994B1 (de) 1994-12-14
DE69015065D1 (de) 1995-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68924919T2 (de) Herstellungsverfahren von magnetischen Aufzeichnungspolen.
DE3876849T2 (de) Magnetkopfzusammenbau fuer senkrechte magnetaufzeichnung.
DE69124850T2 (de) Dünnfilmaufzeichnungskopf mit Magnetpolkonfiguration zur Aufzeichnung mit hoher Dichte
DE69130368T2 (de) Planarer Dünnfilmmagnetkopf
DE69019282T2 (de) Herstellungsverfahren eines Magnetaufzeichnungskopfes und nach diesem Verfahren erhaltener Kopf.
DE3750607T2 (de) Anordnung magnetischer Pole, Anwendung in einem Schreib/Lese-Magnetkopf und Herstellungsverfahren.
DE2600630C3 (de) Integrierter Dünnschicht-Magnetkopf
DE3883819T2 (de) Magnetkopf zum Lesen von Spuren mit sehr schmaler Breite und Herstellungverfahren.
DE3787509T2 (de) Dünnfilmmagnetkopf.
DE69025164T2 (de) Verfahren zur Erzeugung einer Polspitzenstruktur bei einem magnetischen Wandler in Dünnfilmausführung
DE69634922T2 (de) Dünnschichtkopfanordnung mit Spule und mit Kokonstruktur zum Schutz und zur Planarisierung
DE69031453T2 (de) Magnetischer Lese-/Schreibkopf und Herstellungsverfahren eines solchen Kopfes
DE3229774A1 (de) Magnetoresistives element
DE3346876A1 (de) Kombinierter schreib- und lese-magnetkopf zur senkrechten magnetisierung eines entsprechenden aufzeichnungsmediums
DE69222559T2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Magnetkopfes und Magnetkopfgruppe hergestellt nach diesem Verfahren
DE69627562T2 (de) Dünnfilmmagnetkernwicklung
DE68923083T2 (de) Herstellungsverfahren eines aufnahme-/wiedergabekopfes und nach diesem verfahren erhaltener kopf.
DE3888287T2 (de) Film-Magnetkopf.
DE69112252T2 (de) Herstellungsverfahren von einem magnetischen Wiedergabe-Aufzeichnungskopf.
DE2355672A1 (de) Magnetischer wandler in duennschichttechnik
DE69015065T2 (de) Herstellungsverfahren eines Magnetkopfes mit passend orientierter Achse mit leichter Magnetisierung und nach diesem Verfahren hergestellter Kopf.
DE69119045T2 (de) Verfahren zur herstellung von aufnahme- und/oder wiedergabeköpfen für magnetische aufnahme
EP0135739A1 (de) Kombinierter Schreib- und Lese-Magnetkopf für ein senkrecht zu magnetisierendes Aufzeichnungsmedium
DE2260972A1 (de) Magnetaufzeichnungskopf
DE3390321C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee