DE68911764T2

DE68911764T2 - Aufzeichnungskopf mit räumlich verschobenen Elektroden.

Info

Publication number: DE68911764T2
Application number: DE68911764T
Authority: DE
Inventors: Yukihisa Takeuchi; Azuma Yamamoto
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1988-06-17
Filing date: 1989-06-16
Publication date: 1994-05-19
Anticipated expiration: 2009-06-17
Also published as: EP0347239A2; EP0347239A3; DE68911764D1; US4965589A; PH25693A; EP0347239B1; ES2049816T3

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen einen Aufzeichnungskopf zur Aufzeichnung oder zum Drucken von Bildern wie Schriftzeichen, Zahlen oder anderen Mustern durch Anlegen eines elektrischen Stroms an ein Band oder einen Film oder an ein Aufzeichnungsmedium. Im spezielleren betrifft die Erfindung eine Anordnung von Aufzeichnungselektroden, die fuhr einen solchen elektrothermischen Aufzeichnungskopf, elektrischen Entladungsaufzeichnungskopf oder elektrostatischen Aufzeichnungskopf verwendet werden. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Aufzeichnungskopfes.

BESPRECHUNG DES STANDS DER TECHNIK

Verschiedene Strukturen oder Anordnungen von Aufzeichnungselektroden sind fur Aufzeichnungsköpfe vorgeschlagen worden, um unter Verwendung eines Aufzeichnungsmediums des elektrischen Entladungsvernichtungstyps, eines Aufzeichnungsmediums mit einem wärmeempfindlichen Farbbildner, eines Aufzeichnungsmediums wie wärmeempfindlichen Papiers oder eines Bandes oder Filmes, die zumindest eine elektrische Widerstandsschicht aufweisen, durch Anlegen von elektrischem Strom einen Aufzeichnungsvorgang zu bewirken. In den offengelegten Veröffentlichungen mit den Nummern 61-171349, 61-272172, 60-78772, 63-51152, 63-87264 und 61-230966 nicht geprüfter japanischer Patentanmeldungen sind Beispiele dieser Aufzeichnungsköpfe offenbart. Diese Aufzeichnungskbpfe werden so betrieben, daß eine Vielzahl von Aufzeichnungselektroden mit einem Band oder einem Film in Kontakt gehalten werden, um elektrischen Strom an lokale Abschnitte ihrer elektrischen Widerstandsschicht anzulegen, um zum Drucken auf ein Aufzeichnungsmedium Wärme zu erzeugen, oder sie werden so betrieben, daß die Elektroden mit einem Aufzeichnungsmedium in Kontakt gehalten werden, das eine dampfabgelagerte Aluminiumschicht, eine schwarzgefärbte Schicht und eine Grundschicht aufweist, um durch elektrische Entladungszerstörung lokale Abschnitte der Aluminiumschicht zu entfernen, um die entsprechenden lokalen Abschnitte der schwarzgefärbten Schicht herauszubringen.
Weiters offenbaren die offengelegten nicht geprüften japanischen Patentanmeldungen 58-12790, 58-104787, 61-37493, 63-30279 und 63-160855 Aufzeichnungsköpfe zum Anlegen eines elektrischen Stroms auf eine Tintenschicht oder eine wärmeempfindliche Schicht, die auf der Oberfläche eines Blattes, eines Bandes, eines Gewebes oder eines anderen filmartigen Elements gebildet wird oder die eine Innenschicht des filmartigen Elements bildet. Die Tintenschicht kann eine elektrisch leitfähige Schicht, eine elektrisch Widerstandsschicht oder eine elektrochemische Reaktionsschicht sein. Die wärmeempfindliche Schicht kann einen Elektrolyten enthalten und erzeugt eine Farben wenn sie Wärme ausgesetzt wird.
Die für solche Aufzeichnungskopfe verwendeten Aufzeichnungselektroden müssen mit hoher Präzision gebildet werden, um ein hohes Maß an Gleichförmigkeit und Reproduzierbarkeit der in einer Punktmatrix gedruckten Bilder zu gewährleisten. Zur verbesserten Auflösung der gedruckten Bilder muß der Aufzeichnungskopf eine hohe Elektrodendichte aufweisen, nämlich eine ausreichend große Anzahl an Elektroden pro Abstandseinheit in der Richtung, in der die Elektroden in gegenseitigem Abstand voneinander angeordnet sind. Zur Erhöhung der Aufzeichnungsgeschwindigkeit und zur Verbesserung der Aufzeichnungsqualität müssen die Elektroden eine ausreichend große Dicke aufweisen, und der Abstand zwischen den angrenzenden Elektroden muß ausreichend kurz sein.
Die offengelegte PS 61-171349 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer Anordnung an Aufzeichnungselektroden, bei der elektrisch leitfähige Drahte oder Nadeln angeordnet und auf einem geeigneten Trägerelement fixiert sind. Dieses Verfahren gestattet jedoch nicht, daß die Drähte oder Nadeln geeignet und sehr wirkungsvoll angeordnet werden können. Wenn die erforderliche Anzahl der Elektroden relativ groß ist, ist das Verfahren hinsichtlich der Herstellungstechnik und der Wirtschaftlichkeit im wesentlichen ungeeignet. Außerdem erlaubt es das Verfahren nicht, daß die Elektroden in einem Abstand voneinander angeordnet sind, der die gewünschte Qualität der gedruckten Bilder gewährleistet.
Es gibt auch bekannte Verfahren, die zur Bildung der Aufzeichnungselektroden die Photolitographie einsetzen. Bei diesem Verfahren wird zuerst eine elektrisch leitende Schicht auf einem elektrisch isolierenden Substrat mittels eines geeigneten Verfahrens gebildet, wie des Dünnfilmbildungsverfahrens durch Plattieren oder Sputtern auf dem Substrat, des Dickfilmbildungsverfahrens durch das Aufbringen einer Schicht einer geeigneten Paste oder eines Resinats auf dem Substrat oder durch das Binden eines elektrisch leitenden Blatts an das Substrat. Die gebildete elektrisch leitende Schicht wird photolitographisch gemustert, um eine gewünschte Anordnung der Aufzeichnungselektroden zu erzeugen. Diese Vefahren ermöglichen die relativ leichte Bildung einer vergleichsweise großen Zahl der Elektroden mit relativ hoher Dichte und Genauigkeit und werden daher auf dem Gebiet der Erfindung in großem Umfang angewendet. Die litographischen Verfahren gestatten es jedoch nicht, daß die Elektroden eine Dicke aufweisen, die größer als der Abstand zwischen den benachbarten Elektroden ist. Daher sind die Aufzeichnungsköpfe, die die durch die betreffenden Verfahren hergestellten Elektroden verwenden, hinsichtlich der Aufzeichnungsgeschwindigkeit und Qualität der gedruckten Bilder nicht zufriedenstellend.
Weiters ist ein Verfahren bekannt, das ein solches Durchstechen einer elektrisch leitenden Tafel durch eine Preßformungsmaschine vorsieht, daß die Öffnungen oder Ausschnitte durch die Tafel gebildet werden, um geeignet angeordnete Elektroden zu definieren. Dieses Verfahren ist in der Mindestbreite der Öffnungen beschränkt, und die Dicke der Elektroden (Dicke der Tafel) kann nicht größer als der Abstand zwischen den Elektroden sein. Die Aufzeichnungsköpfe, die die erfindungsgemäß hergestellten Elektroden verwenden sind hinsichtlich der Aufzeichnungsgeschwindigkeit und Qualität der gedruckten Bilder nicht zufriedenstellend.
US-A-3968 500 beschreibt ein Vefahren zur Herstellung eines Elektrodendruckkopfes durch Erzeugung zweier Blechteile, von denen jeder eine Reihe in einem Abstand voneinander angeordneter Streifenelektroden aufweist, die durch Öffnungen getrennt sind, die breiter als die Tafeldicke sind, und der Anordnung der Teile, sodaß die Reihe von jeweiligen Elektroden abwechselnd ineinandergreifen, um die Elektrodenanordnung des Kopfs zu bilden.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die oben beschriebenen Probleme oder Nachteile des Stands der Technik zu lösen bzw. zu überwinden. Demnach ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Aufzeichnungskopf vorzusehen, der betreibbar ist, um einen elektrischen Strom anzulegen, (und) der eine Anordnung genau gebildeter und positionierter Aufzeichnungselektroden aufweist, die mit hoher Dichte pro Abstandseinheit angeardnet sind, wodurch ein effizienter Aufzeichnungsvorgang mit verbesserter Qualität der aufgezeichneten Bilder ermöglicht wird.
Gemäß eines Aspektes der vorliegenden Erfindung ist ein Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1 vorgesehen.
In einem zweiten Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes nach Anspruch 10 vorgesehen.
Die vorliegende Erfindung hat es ermöglicht, Aufzeichnungselektroden zu bilden, deren Dicke größer ist als der Abstand der Elektroden untereinander. Dies ist gemäß des auf konventionelle Weise photolitographisch gebildeten Elektrodenmusters nicht möglich. Genauer gesagt sind zwei oder mehrere elektisch leitende Tafeln geeignet angeordnet, damit sie Zusammenwirken können, um eine gewünschte Anordnung von Aufzeichnungselektroden zu definieren. Eine Vielzahl an Öffnungen mit einer Breite, die größer als die Dicke der Tafeln ist, wird durch jede der leitenden Tafeln solcherart gebildet, daß die Öffnungen in jeder Tafel eine Vielzahl an Elektrodenabschnitten definieren, sodaß die Elektrodenabschnitte der Vielzahl an Tafeln zusammenwirken, um die Anordnung der Aufzeichnungselektroden zu bilden, wenn die Tafeln aufeinander gelegt und im Verhältnis zueinander in einem vorherbestimmten Positionsverhältnis solcherart genau angeordnet werden, daß die angrenzenden Elektrodenabschnitte (d.h. die Elektroden in Streifenform) der verschiedenen Tafeln einen Schlitz definieren, durch den die Elektrodenabschnitte in einem Abstand voneinander angeordnet sind. Das bedeutet, daß der Abstand zwischen benachbarten Elektrodenabschnitten der Elektrodenanordung, d.h. der Abstand zwischen den Aufzeichungselektroden gleich ist der Breite des Schlitzes, die kleiner als die Dicke der Tafeln ist.
Die Verwendung elektrisch leitender Tafeln mit gleicher Dicke, die wie oben beschrieben aufgebaut sind, liefert ein Muster von Elektrodenabschnitten, die in einem ausreichend kleinen Abstand voneinander durch die passend angeordneten Schlitze, die eine dementsprechend kleine Breite haben, angeordnet sind. Die Elektrodenanordnung, die ein Elektrodenabschnittmuster aufweist, wird in geeigneter Weise verarbeitet, um eine Anordung von Aufzeichnungselektroden in Streifenform zu ergeben. Daher haben die Aufzeichnungselektroden eine gleichmäßige Dicke, die größer als ihr Abstand ist, und eine ausreichend hohe Dichte pro Abstandseinheit in Querrichtung. Außerdem sind die Elektroden genau geformt und in einem Verhältnis zueinander angeordnet und sind in geeigneter Weise für elektrischen Kontakt mit einem Werkstück eingestellt, an das ein elektrischer Strom angelegt wird.
Zur Sicherstellung der genauen Anordnung zweier oder mehrerer elektrisch leitender Tafeln ist gemäß der Erfindung zumindest eine der Tafeln mit einer Vielzahl dünnwandiger Abschnitte versehen, bei denen die Tafeln einander zur relativen Ausrichtung der Tafeln berühren. Diese Anordnung ermöglicht es, daß der Aufzeichnungskopf eine äußerst große Präzision des Abstandzwischenraumes und der Abstandsentfernung der Aufzeichungselektroden aufweist.
Zur Verminderung der Abnützung der Aufzeichnungselektroden aufgrund ihres Kontaktes mit einem Einfärbungsmaterial oder einem Aufzeichnungsmedium sind die elektrisch leitenden Tafeln aus einem elektrisch leitenden Material gefertigt, das eine hohe Verschleißfestigkeit aufweist. Beispielsweise besteht ein wichtiger Bestandteil des leitenden Materials vorzugsweise aus einem Metall wie Chrom, Titan, Molybdän und Wolfram oder einer Legierung oder Verbindung davon. Noch bevorzugter bestehen die Tafeln aus einem elektrisch leitenden Material, dessen wichtigster Bestandteil aus einem Chrommetall, einer Chromlegierung oder einer Chromverbindung besteht, da Chrom hohe mechanische Verschleißfestigkeit aufweist und aufgrund elektrischer Aktivitäten weniger wahrscheinlich zerstört wird. Im besonderen ist es vorzuziehen, eine aus drei Bestandteilen bestehende, Chrom enthaltende Legierung oder Verbindung zu verwenden, wie eine Legierung oder Verbindung, die Molybdän, Chrom und Stickstoff enthält.
Die Anordnung der Aufzeichnungselektroden des erfindungsgemäßen Aufzeichnungskopfes wird von einem Substrat getragen oder unterstützt, das vorzugsweise aus einem Metall mit relativ niedriger Verschleißfestigkeit gebildet wird, insbesondere aus einem Keramikmaterial, dessen Wärmebeständigkeit relativ hoch ist, dessen Härte geringer als die des Elektrodenmaterials ist und das sich leicht abnützt. Noch bevorzugter besteht das Substrat aus einer Tafel aus einstückigem oder geblätterten Glimmer oder ist aus einem Glaskeramikmaterial gebildet, das Glimmer oder Boronnitrid enthält und ein hohes Maß an maschineller Bearbeitbarkeit aufweist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung haben, wie oben beschrieben, die elektrisch leitenden, in der Elektrodenanordnung aufeinanderzulegenden Tafeln Öffnungen, deren Breite größer ist als die Dicke der Tafeln. Zur Verringerung der Zahl der für die Herstellung der Elektrodenanordnung erforderlichen elektrisch leitenden Tafeln ist es wünschenswert, daß die Öffnungen in Querrichtung in einem gleichen Abstand voneinander angeordnet sind.
Zur Sicherstellung einer hohen Anordnungs- oder Abstandsgenauigkeit der Aufzeichnungselektroden werden die elektrisch leitenden Tafeln vorzugsweise mit geeigneten Mitteln zum Anordnen der Elektrodenabschnitte versehen. Die Tafeln sind beispielsweise mit dünnwandigen Abschnitten versehen, die in einem gleichen Abstand wie die Öffnungen voneinander angeordnet sind (deren Breite größer als die Dicke der Tafeln ist). Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß die Elektrodenabschnitte einer oder zweier elektrisch leitender Tafeln in die Öffnungen der anderen Tafel, wie aus Fig.8(e) ersichtlich, eingreifen. Während die dünnwandigen Abschnitte durch ein geeignetes bekanntes Verfahren hergestellt werden können, ist es wünschenswert, diese Abschnitte durch Ätzen der Tafeln zu bilden, durch verschiedene bekannte Verfahren wie das Naßätzen oder das Trockenätzen. Die gewünschte Dicke der dünnwandigen Abschnitte kann durch Auswahl der geeigneten Ätzbedingungen erreicht werden, unter denen die Tafeln unter Verwendung einer passenden Ätzmaske zum Schutz der anderen Tafelabschnitte geätzt werden.
Die Öffnungen der elektrisch leitenden Tafeln können durch verschiedene bekannte Verfahren wie Schneiden, Durchstechen mittels einer Presse oder anderer mechanischer Verfahren oder durch Verwendung von Ultraschallwellen oder Laser gebildet werden. Zur Vermeidung oder Minimierung von Verformungen oder Beanspruchung der Tafeln aufgrund der während des mechanischen Vorgangs der Formung auftretenden Belastungen, ist es vorzuziehen, die Öffnungen durch Atzen herzustellen. Aus dem gleichen Grund ist ein Atzvorgang gegenüber mechanischen Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenanordnung vorzuziehen, um die Aufzeichnungselektroden in Streifenform aus den Elektrodenabschnitten der elektrisch leitenden Tafeln zu gewinnen. Offenkundig ist das Verfahren zur Bildung der Öffnungen oder zur Verarbeitung der Elektrodenabschnitte nicht auf das Ätzverfahren beschränkt.
Zur Herstellung des Aufzeichnungskopfes wird die verarbeitete Elektrodenanordnung z.B. durch ein haftendes Material mit einem Substrat verbunden. In diesem Fall kann das haftende Material ein anorganischer Haftstoff oder ein Harz mit hoher Wärmebeständigkeit wie Epoxy, Phenol und Polyimid oder eine Mischung eines Harzes und eines anorganischen Haftstoffes, wie Tonerde, Silika und Boronnitrid sein. Weiters kann die Verbindung bei hoher Temperatur unter Verwendung eines Lötmaterials oder eines Glasmaterials erfolgen. Es ist auch möglich, geeignete Aufspannvorrichtungen, Einspannvorrichtungen oder andere mechanische Mittel zum Befestigen der verarbeiteten Elektrodenanordnung an dem Substrat unter Druck zu verwenden.
Die vorliegende Erfindung kann auch als ein Aufzeichnungskopf definiert werden, umfassend eine Anordnung von im allgemeinen länglichen Aufzeichnungselektroden die im wesentlichen in einem gleichen Abstand voneinander und in einer zu ihrer Länge senkrechten Richtung angeordnet sind, wobei jede der Aufzeichnungselektroden geätzte Vorderseiten aufweist, die den zwei angrenzenden Elektroden gegenüberliegen. Jede der geätzten Vorderseiten jeder Elektrode hat eine Form, die für das Ätzen einer Öffnung typisch ist, deren Breite gleich dem Abstand zwischen jeder geätzten Vorderseite und der näheren geätzten Vorderseite der Elektrode, die sich nenen der Elektrode befindet, die jeder relevanten geätzten Vorderseite unmittelbar gegenüberliegt.
Im oben dargestellten Fall kann die genannte Öffnung durch eine der zwei elektrisch leitende Tafeln hindurch geätzt werden, aus denen die entprechende Elektrode und die Elektrode, die die oben angeführte nähere geätzte Vorderseite hat, gebildet werden, während die jeder geätzten Vorderseite unmittelbar gegenüberliegende Elektrode aus der anderen der zwei elektrisch leitenden Tafeln gebildet werden kann, die zwei nebeneinanderliegende Öffnungen hat, die durch die Tafel geätzt sind, um die geätzten Vorderseiten der jeder geätzten Vorderseite unmittelbar gegenüberliegenden Elektrode zu definieren. Jede der zwei nebeneinanderliegenden Öffnungen hat die gleiche Breite wie die Öffnung der oben erwähnten einen Tafel.
Die zwei elektrisch leitenden Tafeln können in einer Elektrodenanordnung übereinanderliegen, worin jede der zwei elektrisch leitenden Tafeln eine Vielzahl an im allgemeinen länglichen Elektrodenabschnitten aufweist, die durch die Öffnungen in einem Abstand, der der oben angeführten Breite entspricht, im wesentlichen in gleicher Entfernung zueinander angeordnet sind. In dem vorliegenden Fall bestehen die Aufzeichnungselektroden zumindest aus Teilen der Elektrodenabschnitte der zwei elektrisch leitenden Tafeln. Die zwei elektrisch leitenden Tafeln sind relativ zueinander so angeordnet, daß sich jeder der Elektrodenabschnitte einer der elektrisch leitenden Tafel zwischen den gegenüberliegenden Enden der entsprechenden und jener Öffnung befindet, die in der oben erwähnten anderen elektrisch leitenden Tafel ausgebildet ist.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die oben erwähnten und anderen Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung treten durch das Durchlesen der folgenden ausführlichen Beschreibung derzeit bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung deutlicher zutage, wenn sie in Zusammenhang mit den Begleitzeichnungen betrachtet werden, von denen:
Fig.1 eine fragmentarische schematische Perspektivansicht eines Endabschnitts eines elektrothermischen Aufzeichnugnskopfes gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist;
Figuren 2(a) und 2(b) erklärende Draufsichten zweier elektrisch leitender Tafeln sind, die zur Herstellung der in den Aufzeichnungskopf von Fig.1 eingebauten Aufzeichnungselektroden verwendet werden;
Fig.3 eine erklärende Draufsicht einer Elektrodenanordnung ist, die durch das Übereinanderlegen der zwei leitenden Tafeln aus den Figuren 2(a) und 2(b) gebildet wird;
Figuren 4(a) und 4(b) Draufsichten sind, die modifizierte Ausbildungen der elektrisch leitenden Tafeln sind, die für die Aufzeichnungselektroden des Aufzeichnungskopfes nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung verwendet werden;
Fig.5 eine fragmentarische Draufsicht einer Elektrodenanordnung ist, die durch das übereinanderlegen der zwei leitenden Tafeln der Figuren 4(a) und 4(b) gebildet wird;
Figuren 6(a) und 6(c) erklärende Draufsichten von weiteren modifizierten Ausbildungen der zwei elektrisch leitenden Tafeln nach einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform sind;
Figuren 6(b) und 6(d) Vorderansichten im Querschnitt entlang der Linie B-B von Fig.6(a) und der Linie D-D von Fig.6(c) sind;
Fig.7(a) eine erklärende Draufsicht einer Elektrodenanordnung ist, die durch übereinanderlegen der zwei leitenden Tafeln der Figuren 6(a)-6(d) gebildet wird;
Figuren 7(b) und 7(c) Schnittansichten an den Linien B-B und C-C von Fig.7(a) sind,
Figuren 8(a) und 8(d) erklärennde Draufsichten weiterer Ausbildungen der elektrisch leitenden Tafeln nach weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsformen sind;
Figuren 8(b) und 8(c) Schnittansichten jeweils entlang der Linien B-B und C-C von Fig.8(a) sind;
Fig.8(e) eine erklärende Draufsicht einer Elektrodenanordnung ist, die durch Übereinanderlegen der zwei leitenden Tafeln der Figuren 8(a)-8(d) gebildet wird;
Figuren 8(f), 8(g) und 8(h) Schnittansichten jeweils entlang der Linien F-F, G-G und H-H von Fig.8(e) sind;
Fig.9 eine fragmentarische, schematische Perspektivansicht eines Endabschnitts des Aufzeichnungskopfes nach einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform ist und
Fig.10 eine fragmentarische, schematische Perpektivansicht ist, die das Verhältnis zwischen den gegenüberliegenden Vorderseiten jeder Elektrode und einer in jeder elektrisch leitenden Tafel ausgebildeten geätzten Öffnung veranschaulicht.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFÜRMEN

Während die derzeit bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsformen im Detail bezugnehmend auf die Begleitzeichnungen beschrieben werden, um das Konzept/die Ziele der vorliegenden Erfindung zu veranschaulichen, möge man beachten, daß die Erfindung nicht auf die Details dieser dargestellten Ausführungsformen beschränkt ist.
Man beachte weiters, daß die Erfindung in verschiedenen Veränderungen, Modifizierungen und Verbesserungen ausgeführt sein kann, die nicht auf die dargestellten Ausführungsformen und die vorhergehende Beschreibung beschränkt ist, und die Fachleute auf dem Gebiet durchführen, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.
Bezugnehmend auf die schematische Ansicht von Fig.1 ist ein Endabschnitt des elektrothermischen Aufzeichnungskopfes dargestellt, der so ausgeführt ist, um durch das Anlegen von elektrischem Strom oder elektrischer Spannung auf die Aufzeichnungselektroden einen Aufzeichnungs- oder Druckvorgang zu bewirken. Der Aufzeichnungskopf verwendet ein Glaskeramiksubstrat, das aus einem Glaskeramikmaterial besteht, das Glimmer enthält und ein hohes Maß an maschineller Verarbeitbarkeit aufweist. Der Aufzeichnungskopf weist eine Anordnung von Aufzeichnungselektroden in Form länglicher Streifen 2 auf, die aus rostfreiem Stahlblech gebildet werden. Die länglichen Streifen 2 sind in einer zu ihrer Länge senkrechten Richtung in gleichem Abstand voneinander angebracht. Die Anordnung besteht aus 272 Elektroden 2, die in der oben angeführten Richtung in einem Abstand von 125 um (in einem Abstand zwischen Mittelpunkt und Mittelpunkt von 125 um zwischen nebeneinanderliegenden Elektroden) angeordnet sind. Jede der Elektroden 2 hat eine Breite von 100 um und eine Dicke von 100 um. Die Elektrodenanordnung ist in die Dicke einer Klebeschicht 3 eingebettet, die sich zwischen dem Glaskeramiksubstrat 1 und einer Halteschicht 4 aus Tonerde befindet.
Der Aufzeichnungskopf ist so gestaltet, daß die Elektrodenanordnung 2 durch die Klebeschicht 3 zwischen dem Substrat 1 und der Halteschicht 4 befestigt ist. Man beachte, daß die Halteschicht 4 vorzugsweise aus einem in hohem Maße maschinell bearbeitbaren Glaskeramikmaterial besteht, wie aus jenem, das für das Substrat 1 verwendet wird.
Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufzeichnungskopfes wird in der schematischen Ansicht von Fig.9 dargestellt. Während die Massen der Klebeschicht 3 die länglichen Zwischenräume zwischen den nebeneinanderliegenden Elektroden 2 im Aufzeichnungskof von Fig.1 füllen, werden die entsprechenden länglichen Zwischenräume im Aufzeichnungskopf von Fig.9 als längliche Lücken gelassen, die nicht mit dem Klebematerial 3 gefüllt sind. Diese Lücken 9 werden als Kanäle zur Zufuhr eines geeigneten Aufzeichnungs- oder Drucktintenmaterials zur Aufzeichnungsendvorderfläche des Aufzeichnungskopfes benutzt und bewirken die Aufzeichnung auf einem Aufzeichnungsmedium wie Papieren. Das Tintenmaterial kann eine elektrisch leitende Tinte, eine Tinte mit elektrischem Widerstand oder eine farbgebende Tinte sein, die einen Elektrolyten enthält. Der Aufzeichnungskopf von Fig.9, in den eine Tintenzufuhreinrichtung eingebaut ist, verwendet demnach kein getrenntes Einfärbungsmedium in Form eines Farbbandes, -blattes, -films oder -gewebes.
Bezugnehmend auf Figuren 2(a), 2(b) und 3 sind Verfahrensschritte zur Herstellung der Aufzeichnungsköpfe der Figuren 1 und 9 dargestellt. Als erstes werden zwei elektrisch leitende Tafeln in Form von rostfreien, in den Figuren 2(a) und 2(b) dargestellten Stahltafeln 10a, 10b gebildet. Jede rostfreie Stahltafel 10a, 10b hat eine Vielzahl an rechteckigen Öffnungen 5, die in einem gleichen Abstand voneinander in einer zu ihrer Länge rechtwinkeligen Richtung angeordnet sind, um eine Vielzahl von in gleichem Abstand voneinander angeordneten Elektrodenabschnitten 5a zu definieren. Jede rostfreie Stahltafel 10a, 10b verfügt weiters über eine Vielzahl an dünnwandigen Abschnitten 6. Diese zwei Tafeln 10a, 10b sind, wie weiter unten beschrieben, übereinander gelegt. Die Tafeln 10a, 10b weisen eine Dicke von 100 um auf, und jede Öffnung 5 hat eine Breite von 150 um Die Öffnungen 5 sind in einem Abstand von 250 um voneinander angeordnet. Die dünnwandigen Abschnitte 6 haben eine Dicke von 50 um und eine Breite von 100 um und sind in einem gleichen Abstand von 250 um voneinander angeordnet.
Die Öffnungen 5 und die dünnwandigen Abschnitte 6 werden solcherart durch eine geeignete Atztechnik gebildet, daß die Öffnungen 5 durch die rostfreien Stahltafeln 10a, 10b hindurch ausgebildet sind, während die dünnwandigen Abschnitte 6 durch Entfernen eines Teiles der Dicke an den geeigneten Bereichen der Tafeln gebildet werden, indem die Ätzbedingungen entsprechend gewählt werden. Zwei der dünnwandigen Abschnitte 6 der Tafeln 10a, 10b haben entsprechende Ausrichtungslöcher 7, die durch diese hindurch ausgebildet sind. Im Bedarfsall werden diese Löcher 7 zur relativen Ausrichtung oder zum Fluchten der zwei Tafeln 10a, 10b benutzt, wenn sie übereinandergelegt werden.
Wie aus Fig.3 ersichtlich, liegen die zwei elektrisch leitenden rostfreien Tafeln 10a, 10b in einer Elektrodenanordnung 12 so aufeinander, daß die dünnwandigen Abschnitte 6 der zwei Tafeln in einem gegenseitig ausgerichteten oder überlappendem Verhältnis übereinanderliegen, um eine vorherbestimmte relative Position der zwei Tafeln 10a, 10b zu gewährleisten. Die Ausrichtunglöcher 7 können verwendet werden, um die dünnwandigen Abschnitte 6 der zwei Tafeln genau auszurichten. In der so geschaffenen Elektrodenanordnung 12 ist eine Vielzahl an in einem Abstand voneinander angeordneten, länglichen, rechteckigen parallelen Schlitzen 8 durch die Elektrodenabschnitte 5a der zwei rostreien Stahltafeln 10a, 10b definiert. Jeder Schlitz hat eine Breite, die geringer als die Dicke der rostfreien Tafeln 10a, 10b ist. In der vorliegenden Elektrodenanordnung 12, worin die dünnwandigen Abschnitte 6 der zwei Tafeln 10a, 10b übereinanderliegen, beträgt die Gesamtdicke der übereinanderliegenden Abschnitte 6 im wesentlichen 100 um, ist daher gleich der Dicke jeder Tafel 10a, 10b.
Die Elektrodenanordnung 12 von Fig.3 ist mit dem Glaskeramiksubstrat 1 mittels eines Klebematerials 3 (Klebeschicht 3) verbunden, und die Anordnung 12 wird entlang paralleler gerader Linien, die durch die strichpunktierten Linien an 14 oder 16 in Fig.3 angezeigt werden, mittels eines geeigneten Verfahrens geschnitten oder abgezwickt. Ein Teil der Länge der durch die Schneidelinien 14, 16 definierten Elektrodenabschnitte 5a wird als die verlängerten Elektrodenstreifen 2 benutzt. Der erhaltene Gegenstand wird weiterverarbeitet, um den Aufzeichnungskopf von Fig1 oder Fig.9 zu ergeben.
Bezugnehmend auf Figuren 4(a) und 4(b) sind modifizierte Ausbildungen der elektrisch leitenden rostfreien Stahltafeln allgemein durch 20a, 20b dargestellt, die die rostfreien Stahltafeln 10a, 10b der vorhergehenden Ausführungsform der Figuren 2(a) und 2(b) ersetzen. Im Gegensatz zu den rostfreien Stahltafeln 10a, 10b, haben die rostfreien Stahltafeln 20a, 20b keinen rechteckigen peripheren Rahmen, und jede der länglichen rechteckigen Öffnungen 5 ist an einer ihrer kurzen Seiten offen. Die Dicke der rostfreien Stahltafeln 20a, 20b, die Breite und der Abstand der Öffnungen 5, die Dicke, Breite und der Abstand der dünnwandigen Abschnitte 6 sind jedoch dieselben wie die der in den Figuren 2(a) und 2(b) dargestellten rostfreien Stahltafeln 10a und 10b. Die Öffnungen 5 und die dünnwandigen Abschnitte 6 werden in der gleichen Weise wie in der vorhergehenden Ausführungsform durch Atzen der Tafeln 20a, 20b gebildet. Diese zwei Tafeln 20a, 20b sind aufeinandergelegt, wobei die Ausrichtlöcher 7 der zwei Tafeln miteinander ausgerichtet sind. Als Ergebnis entsteht, wie aus Fig.5 ersichtlich, die Elektrodenanordnung 22. Diese Anordnung 22 wird in der gleichen Weise wie in der vorhergehenden Ausführungsform verarbeitet, wodurch der Aufzeichnungskopf von Fig.1 oder 9 hergestellt wird.
In obigen Ausführungsformen sind die dünnwandigen Abschnitte 6, die lokal auf den elektrisch leitenden Tafeln 10a, 10b, 20a, 20b beispielseise durch eine Ätztechnik ausgebildet sind, wirkungsvoll, um ein genaues, relatives Positionsverhältnis zwischen den leitenden Tafeln 10a, 10b, 20a und 20b herzustellen, wenn die Tafeln in der Elektrodenanordnung 12, 22 übereinanderliegen. Während die dünnwandigen Abschnitte nur auf einer der zwei oder mehrerer elektrisch leitender Tafeln vorgesehen sein können, ist es vorzuziehen, die dünnwandigen Abschnitte auf allen elektrisch leitenden Tafeln, die zusammengefügt werden sollen, vorzusehen. In diesem Fall kann die Gesamtdicke der dünnwandigen Abschnitte der übereinanderliegenden Tafeln vorteilhaft im wesentlichen oder fast an die nominelle Dicke jeder Tafel (Dicke der anderen Abschnitte der Tafel) angeglichen werden, sodaß die übereinanderliegenden dünnwandigen Abschnitte und die Elektrodenabschnitte der Elektrodenanordnung (12, 22) im wesentlichen in derselben Ebene liegen können.
Bezugnehmend auf Figuren 6(a) bis 6(d) und Figuren 7(a) bis 7(c) wird eine weitere Ausführungsform der Erfindung beschrieben. In diesen Ausführungsformen weisen dünnwandige Abschnitte jeder elektrisch leitenden Tafel, wie nachstehend beschrieben, unterschiedliche Dicken auf.
In dieser modifizierten Ausführungsform hat eine elektrisch leitende Tafel in Form einer rostfreien Stahltafel 30, wie aus Fig.6(a) ersichtlich, erste dünnwandige Abschnitte 32a und zweite dünnwandige Abschnitte 32b, wie aus Fig.6(b) ersichtlich. Diese dünnwandigen Abschnitte 32a, 32b werden durch Atzen der jeweiligen Abschnitte der Tafel 30 gebildet. Die ersten dünnwandigen Abschnitte 32a haben eine Dicke, die zwei Drittel (2/3) der Dicke der nominellen Dicke der Tafel 30, d.h. zwei Drittel der Dicke der länglichen, durch die länglichen rechteckigen Öffnungen 5 definierten Elektrodenabschnitte 38 ausmacht. Auf der anderen Seite weisen die zweiten dünnwandigen Abschnitte 32b eine Dicke auf, die ein Drittel der Dicke der Elektrodenabschnitte 38 ausmacht. Eine weitere rostfreie Stahltafel, auf der die Tafel 30 liegt, wird allgemein bei 34 in Figuren 6(c) und 6(d) angezeigt. Diese elektrisch leitende rostfreie Stahltafel 34 hat auch erste dünnwandige Abschnitte 36a und zweite dünnwandige Abschnitte 36b, die durch Ätzen auf der Tafel gebildet werden. Die ersten und zweiten dünnwandigen Abschnitte 36a, 36b haben die gleichen Breiten wie die ersten und zweiten dünnwandigen Abschnitte 32a, 32b. Diese zwei rostfreien Stahltafeln 30, 34 liegen, wie aus Figuren 7(a), 7(b) und 7(c) ersichtlich, so übereinander, daß die ersten dünnwandigen Abschnitte 32a der Tafel 30 in Kontakt mit den zweiten dünnwandigen Abschnitte 36b der Tafel 34 gehalten werden, während die zweiten dünnwandigen Abschnitte 32b der Tafel 30 mit den ersten dünnwandigen Abschnitten 36a in Kontakt gehalten werden. Auf diese Weise entsteht eine Elektrodenanordnung 10 aus den zwei rostfreien Stahltafeln 30, 34.
Da die ersten und zweiten dünnwandigen Abschnitte 32a, 36a, 32b und 36b der rostfreien Tafeln 30, 34 die oben angeführten unterschiedlichen Dicken haben, können die zwei Tafeln 30, 34 der Elektrodenanordnung 40 leicht und mit hoher Genauigkeit im Verhältnis zueinander positioniert und ausgerichtet werden, ohne die Dicke der Elektrodenanordnung 40 an ihren übereinanderliegenden Abschnitten (32a, 32b, 36a, 36b) zu erhöhen.
Eine weitere erfindungsgemäße Ausführungsform wird in Figuren 8(a) bis 8(h) dargestellt, worin jede der zwei rostfreien Stahltafeln 42, 44 als elektrisch leitende Tafeln in einem Abstand voneinander angeordnete Öffnungen 45 aufweist, von denen jede Längenabschnitte unterschiedlicher Breite hat. Genauer gesagt werden die Öffnungen 45 und die dünnwandigen Abschnitte 46 in jeder rostfreien Stahltafel 42, 44, wie in den vorhergehenden Ausführungsformen, durch einen Ätzvorgang ausgebildet. Jede Öffnung 45 hat einen relativ breiten Mittelabschnitt 45a und relativ enge gegenüberliegende Endabschnitte 45b, 45b auf beiden Seiten des Mittelabschnitts 45a. Die Enden der gegenüberliegenden Endabschnitte 45b sind durch die dünnwandigen Abschnitte 46 definiert. Daher definieren die Öffnungen 45 eine Vielzahl von in einem Abstand zueinander angeordneten, im allgemeinen länglichen Elektrodenabschnitten 48, von denen jeder einen relativ engen Mittelabschnitt 48a und relativ breite gegenüberliegende Endabschnitte 48b, 48b aufweist, die in den dünnwandigen Abschnitten 46 enden. Die Breite der relativ engen Endabschnitte 45b der Öffnung 45 wird an die der relativ breiten Endabschnitte 48b des Elektrodenabschnitts 48 angeglichen. Diese rostfreien Stahltafeln 42, 44 haben die gleiche Dicke wie die Tafeln 10a, 10b der Figuren 2(a) und 2(b), und die Öffnungen haben die gleiche Breite (an den breiten Mittelabschnitten) und den gleichen Zwischenraumabstand wie die Ötfnungen 5 der Tafeln 10a, 10b. Die Dicke der dünnwandigen Abschnitte 46 ist die Hälfte der Dicke der Elektrodenabschnitte 48. Die zwei rostfreien Stahltafeln 42, 44 liegen so übereinander, daß die breiten Endabschnitte der Elektrodenabschnitte genau in die entsprechenden engen Endabschnitte 45b der Öffnungen 45 eingepaßt sind, wodurch eine wie in Fig.8(e) dargestellte Elektrodenanordnung 50 entsteht. Die Elektrodenanordnung 50 wird in der gleichen wie der oben angeführten Weise verarbeitet, um den in Figuren 1 oder 9 dargestellten Aufzeichnungskopf zu erzeugen.
Da die engen Endabschnitte 45b der Öffnungen 45 und die breiten Endabschnitte 48b der Elektrodenabschnitte 48 der rostfreien Tafeln 42, 44 im wesentlichen die gleiche Breite haben, können die zwei Tafeln 42, 44 im Verhältnis zueinander mittels des Eingriffs der Endabschnitte 48b in die entsprechenden Endabschnitte 45b genau positioniert werden.
Aus der bisherigen Beschreibung ergibt sich, daß die dargestellten Ausführungsformen eine Anordnung von Aufzeichnungselektroden vorsehen, deren Dicke größer als ihr Abstand zueinander ist und die im Verhältnis zueinander mit einer relativ hohen Dichte pro Abstandseinheit entlang der Querrichtung genau dimensioniert und positioniert werden.
Bezugnehmend auf Fig.10 in Entsprechung zu Fig.1 wird das Verhältnis der Elektroden des Aufzeichnungskopfes von Fig.10 und der durch die zwei rostfreien Stahltafeln 10a, 10b (20a, 20b, 30, 34, 42, 44) ausgebildeten Öffnungen 5 (45) exemplarisch beschrieben. In Fig.10 werden vier nacheinanderfolgende Elektroden bei 2A, 2B, 2C und 2D angezeigt. Die Elektroden 2A und 2C sind aus den Elektrodenabschnitten 5a(48a) der rostfreien Stahltafel 10a gebildet, während die Elektroden 2B und 2D aus den Elektrodenabschnitten 5a der anderen rostfreien Stahltafel 10b gebildet sind. Genauer gesagt hat die aus der Tafel 10a gebildete Elektrode 2A beispielswiese gegenüberliegende Ätzvorderflächen 2a und 2a', die den zwei angrenzenden, aus der anderen Tafel 10b gebildeten Elektroden 2B und 2D gegenüberliegen. Es geht aus der vorhergehenden Beschreibung deutlich hervor, daß jede Vorderseite jeder Elektrode durch eine entsprechende Seitenkante der ertsprechenden Öffnung 5 (45) definiert ist, die durch das Ätzen durch die rostfreie Tafel geformt wird, aus der die jeweilige Elektrode gebildet ist. Die Vorderseite 2a der Elektrode 2A beispielsweise hat eine Form, die für das Atzen der in der Tafel 10a ausgebildeten Öffnung 5 (45) charakteristisch ist, welche Öffnung eine in der Fig.10 dargestellte Breite "d" hat. Die Breite "d" ist gleich dem Abstand zwischen der Vorderseite 2a und einer näheren Vorderseite 2c' der Elektrode 2C, die neben der Elektrode 2B unmittelbar gegenüber der Vorderseite 2a angeordnet ist, und die aus der Tafel 10a gebildet ist, aus der die Elektrode 2A gebildet ist. Die aus der Tafel 10b gebildete Elektrode 2B ist zwischen den Vorderseiten 2a und 2c' der Elektroden 2A und 2C angeordnet, die aus der Tafel 10a gebildet sind und in einem Abstand zueinander angeordnet sind, der gleich ist der Breite "d" der durch die Tafel 10a geformten geätzten Öffnung 5.
Die Elektroden können für einen Hochgeschwindigkeits-Aufzeichnungskopf und für hochqualitative Aufzeichnungen so verwendet werden, daß die Elektroden in gutem elektrischen Kontakt mit einem Druckband oder -film oder einem Aufzeichnungsmedium wie Papier gehalten werden, das aufgrund elektrischer Entladungszerstörung oder Entfernung eines Materials aus einem Aufzeichnungsmedium oder aufgrund des Ausgesetztseins eines wärmeempfindlichen Aufzeichnungsmediums einer durch das Anlegen eines elektrischen Stroms erzeugten Wärme Farbe erzeugt.
Aus den gleichen, bereits angeführten Gründen eignen sich die erfindungsgemäß hergestellten Aufzeichnungselektroden ebenfalls für einen elektrostatischen Hochgeschwindigkeits-Aufzeichnungskopf, der fähig ist, mit hervorragender Bildqualität zu drucken, auf einem elektrostatisch aufzeichenbaren Medium oder unter Verwendung einer dielektrischen Trommel.

Claims

1. Aufzeichnungskopf, der zum Anlegen eines elektrischen Stromes betreibbar ist, umfassend eine Reihe von Aufzeichnungselektroden in der Form von Streifen (2), die im wesentlichen im gleichen oder regelmäßigen Abstand voneinander in eine Richtung senkrecht zu den Längen der Streifen angeordnet sind, wobei die genannten Streifen aus zumindest Teilen von allgemein länglichen Elektrodenabschnitten (5a,38,48) aus einer Vielzahl von elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) bestehen, die in einer vorherbestimmten relativen Position angeordnet sind, um eine Elektrodenanordnung (12,22,40,50) zu bilden, wobei die genannten länglichen Elektrodenabschnitte einer jeden der genannten elektrisch leitenden Tafeln durch eine Vielzahl von Öffnungen (5,45) begrenzt sind, deren Breite größer ist als die Dicke einer jeden genannten elektrisch leitenden Tafel, wobei die genannten länglichen Elektrodenabschnitte der genannten Vielzahl elektrisch leitender Tafeln miteinander zusammenwirken, um eine Vielzahl von Schlitzen (8) zu begrenzen, die benachbarte Elektrodenabschnitte (5a,38,48) der genannten Elektrodenanordnung trennen, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Schlitze (8) jeweils eine Breite aufweisen, die geringer als die genannte Dicke einer jeden der genannten elektrisch leitenden Tafeln ist, und zumindest eine aus der genannten Vielzahl von elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) eine Vielzahl dünnwandiger Abschnitte (6,32a,32b,36a,36b,46) aufweist, an denen die genannten Tafeln in Berührung übereinanderliegen, um die Tafeln in der genannten vorherbestimmten relativen Position auszurichten.

2. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, worin die genannte Elektrodenanordnung (12,22,40,50) aus zwei genannten elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) besteht.

3. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1 oder 2, worin zwei der genannten elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) die genannten dünnwandigen Abschnitte aufweisen und die genannten dünnwandigen Abschnitte (6,32a,32b,46) einer der genannten elektrisch leitenden Tafeln die dünnwandigen Abschnitte (6,36a,36b,46) der anderen elektrisch leitenden Tafeln berühren.

4. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 4, worin die Gesamtdicke der genannten dünnwandigen Abschnitte (6,32a,32b,36a,36b,46) der genannten elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44), die übereinanderliegen, im wesentlichen gleich der genannten Dicke einer jeden der genannten elektrisch leitenden Tafel ist.

5. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, worin die genannten dünnwandigen Abschnitte (32a,32b,36a,36b), die auf der gleichen elektrisch leitenden Tafel (30,34) vorgesehen sind, unterschiedliche Dicken aufweisen.

6. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, worin jeder der genannten Elektrodenabschnitte (48) einen relativ engen Mittelabschnitt (48a) und relativ breite Endabschnitte (48b) aufweist, während jede der genannten Öffnungen (45) einen relativ breiten Abschnitt (45a) und relativ enge Endabschnitte (45b) aufweist, wobei die genannten relativ breiten Endabschnitte (48b) eines jeden genannten Elektrodenabschnitts die im wesentlichen gleiche Breite wie die genannten relativ engen Endabschnitte (45b) einer jeden genannten Öffnung aufweisen.

7. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, worin jede der genannten Vielzahl elektrisch leitender Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) aus einem rostfreien Stahl gebildet ist.

8. Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, der weiters ein Substrat umfaßt, auf dem die genannte Reihe von Aufzeichnungselektroden fix montiert ist.

9. Aufzeichnungskopf nach Anspruch 8, worin die genannte Anordnung von Aufzeichnungselektroden durch ein Klebematerial an das genannte Substrat gebunden ist.

10. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfs, der betreibbar ist, um einen elektrischen Strom anzulegen, wobei der genannte Kopf eine Reihe von Aufzeichnungselektroden in der Form von Streifen (2) umfaßt, die im wesentlichen im gleichen oder regelmäßigen Abstand voneinander in einer Richtung senkrecht zu den Längen der Streifen angeordnet sind, wobei die genannten Streifen aus zumindest Teilen von im allgemeinen länglichen Elektrodenabschnitten (5a,38,48) einer Vielzahl elektrisch leitender Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,43,44) bestehen, wobei das Verfahren die Schritte des Herstellens der genannten Vielzahl elektrisch leitender Tafeln, bei denen jeweils die genannten länglichen elektrischen Abschnitte durch eine Vielzahl von Öffnungen (5,45) begrenzt sind, deren Breite größer als die Dicke einer jeden der genannten elektrisch leitenden Tafeln ist, und des Anordnens der genannten elektrisch leitenden Tafeln zueinander in einer vorherbestimmten relativen Position umfaßt, um eine Elektrodenanordnung (12,22,40,50) zu bilden, in der die genannten länglichen Elektrodenabschnitte (5a,38,48) miteinander zusammenwirken, um eine Vielzahl von Schlitzen (8) zu begrenzen, die benachbarte Elektrodenabschnitte (5a,38,48) trennen, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der genannten Öffnungen (5,45) so gewählt ist, daß die genannten Schlitze (8) jeweils eine Breite aufweisen, die kleiner als die genannte Dicke einer jeden der genannten elektrisch leitenden Tafel ist, und dadurch, daß zumindest eine aus der genannten Vielzahl elektrisch leitender Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) eine Vielzahl dünnwandiger Abschnitte (6,32a,32b,36a,36b,46) aufweist, an denen die genannten Tafeln in Berührung übereinanderliegen, um die Tafeln in der genannten vorherbestimmten relativen Position auszurichten.

11. Verfahren nach Anspruch 10, das den Schritt des Entfernens von Teilen der genannten elektrisch leitenden Tafeln nach deren Anordnung in den genannten vorherbestimmten relativen Positionen umfaßt.

12. Verfahren nach Anspruch 11, worin die genannten entfernten Teile der genannten elektrisch leitenden Tafeln die genannten dünnwandigen Abschnitte (6,32a,32b,36a,36b,46) davon enthalten.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, worin zwei der genannten elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) die genannten dünnwandigen Abschnitte aufweisen und die genannten dünnwandigen Abschnitte (32a,32b,46) der einen der genannten elektrisch leitenden Tafeln mit den dünnwandigen Abschnitten (6,36,36b,46) der anderen elektrisch leitenden Tafeln in Berührung gebracht werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, worin die Gesamtdicke der genannten dünnwandigen Abschnitte (6,32a,32b,36a,36b,46) der genahnten elektrisch leitenden Tafeln (10a,10b,20a,20b,30,34,42,44) die übereinanderliegen, im wesentlichen gleich der genannten Dicke einer jeden genannten elektrisch leitenden Tafel ist.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, worin die genannten Öffnungen (5,45) durch Ätzen geschaffen werden.