DE60210361T2 - System und Verfahren zur Herstellung von Flüssigkristall-Mikroanzeigen - Google Patents
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Description
- TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Testen und Befüllen von halbleiterbasierten Flüssigkristallanzeigen, die auch als Mikro-LCD-Anzeigen (liquid crystal micro displays, Lcmds) bekannt sind.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Lcmds sind kleine Flüssigkristall- bzw. LCD-Anzeigen, die üblicherweise eine Anzeigefläche von weniger als 1 Quadratzentimeter und eine Dicke von ungefähr 1 mm aufweisen. Sie werden primär als Sucher in Vorrichtungen wie Kameras verwendet, und werden ferner als Teil einer größeren Anzeigekomponente verwendet, in der das von der Lcmd stammende Bild projiziert und vergrößert wird. Jede Lcmd umfaßt typischerweise Hunderttausende Pixel, wobei einige über eine Million Pixel enthalten können.
- Die Herstellung von Lcmds wird typischerweise in einer Reinraumumgebung ausgeführt, in der Maßnahmen getroffen werden, um Staub und andere Kontaminationsstoffe aus der umgebenden Atmosphäre zu entfernen. Der Grad, in dem die Herstellungsumgebung reingehalten wird, hängt von den Faktoren wie die Größe und die Dichte der integrierten Schaltkreise ab, die in den Lcmds enthalten sind, von der gewünschten Qualität der Lcmds und von den Kosten, welche mit der Aufrechterhaltung der verschiedenen Grade an Reinheit verknüpft sind. Es können statistische Modelle verwendet werden, um eine Kosten-/Nutzenanalyse zur Ermittlung eines idealen Grads an Reinheit zur Herstellung von Lcmds eines bestimmten Typs, Größe und Qualität auszuführen.
- Bezugnehmend auf die
1 und2 (Stand der Technik) wird jede Lcmd-Marge typischerweise aus zwei Substraten hergestellt. Üblicherweise ist ein Substrat eine Halbleiterschicht, beispielsweise ein Siliziumwafer9 , der viele integrierte Schaltkreise ("ICs")12 enthält. Obwohl zu Darstellungszwecken die1 zeigt, daß der Siliziumwafer9 nur neun ICs12 enthält, umfaßt jeder Siliziumwafer9 typischerweise Hunderte von ICs12 , die in Reihen und Spalten angeordnet sind. Jeder IC12 umfaßt ein Pixelarray bzw. Pixelgruppe mit IC- Elektroden16 , die über entsprechende Schaltelemente17 angesteuert werden. Das andere Substrat ist typischerweise ein Glaswafer10 , auf dem eine transparente Elektrode15 pro IC12 vorgesehen ist. Jedes Substrat ist typischerweise, jedoch nicht notwendigerweise, weniger als 1 mm dick, wobei die Dicke jedes Substrats abhängig von der Anwendungsart der Lcmds variieren kann. - Auf eines der Substrate wird ein Dichtmittel aufgebracht, das die Lcmd-Wände
11 ausbildet. Üblicherweise umgibt die Wand11 jeden IC12 nicht vollständig, wobei eine kleine Lücke13 verbleibt, durch die das Flüssigkristallmaterial fließt, um die Lcmds zu füllen. Der Siliziumwafer9 wird daraufhin zu dem Glaswafer10 ausgerichtet und mit diesem zusammengefügt, so daß die transparenten Elektroden15 mit den entsprechenden ICs12 ausgerichtet sind. Es werden Abstandhalter (nicht dargestellt) verwendet, um die Substrate mit einem kleinen Abstand, der typischerweise in der Größenordnung von wenigen Mikrometern liegt, getrennt voneinander zu halten. Die Abstandhalter können beispielsweise auf den Siliziumwafer geätzt werden. Nachdem die Substrate zusammengefügt sind, werden Lcmds8 ausgebildet, die jeweils einen IC12 enthalten. - Da der Abstand zwischen dem Siliziumwafer
9 und der Glaswafer10 in der Größenordnung von Mikrometern liegt, ist es für Flüssigkristallmaterial aufgrund von Viskositätsbeschränkungen gegebenenfalls unmöglich, viele, wenn nicht die meisten der inneren Lcmds8 vor deren Trennung zu erreichen. Daher werden die Lcmds8 über Öffnungen13 mit Flüssigkristallmaterial gefüllt, nachdem diese getrennt sind. - Die Lcmds
8 können beispielsweise mittels eines Ritz- und Brechprozesses (scribe and break) voneinander getrennt werden. In einem Ritz- und Brechprozeß wird der Halbleiterwafer9 entlang der Anritzlinien14 angeritzt (typischerweise mit einer speziellen Säge oder Laser), um die Stellen zu schwächen, an denen die Trennung stattfinden soll. Ferner wird der Glaswafer10 mittels eines Schneidwerkzeugs angeritzt, beispielsweise mittels eines Lasers oder einer speziell eingerichtete Säge angeritzt. Die Wafers9 und10 werden daraufhin typischerweise temporär auf ein flexibles Material geklebt, das daraufhin gebogen wird, um die Wafers aufzubrechen und die Lcmds zu trennen. Der Ritz- und Brechprozeß führt zu kleinen Trümmern des Halbleiter- und Glasmaterials, welches sich um die Lcmd-Öffnungen13 herum ansammeln. - Nachdem die Lcmds getrennt sind, werden diese mit Flüssigkristallmaterial gefüllt. Das Füllen wird vorzugsweise in einer Vakuumeinheit ausgeführt, in der die Lcmds in Flüssigkristallmaterial eingetaucht werden. Nachdem eine Lcmd
8 befüllt wurde, wird das Loch13 , durch das diese befüllt wurde, mit einem Klebemittel- oder Epoxymaterial abgedichtet. - Der oben beschriebene bekannte Füllprozeß führt oft zu einer großen Anzahl defekter Lcmds, da die von dem Ritz- und Brechprozeß stammenden Trümmer durch das Hineinfließen des Flüssigkristallmaterials häufig in viele der Lcmds
8 eingezogen werden. Die Trümmer können eine elektronische Fehlfunktion verursachen oder können ein Bild stören, indem sie den von der Lcmd gesteuerten Weg der elektromagnetischen Strahlung blocken oder verändern. Die von den Trümmern verursachten Defekte werden nicht entdeckt, bis die Lcmds in einem Gehäuse untergebracht bzw. verpackt sind, da durch das Verpacken eine Verdrahtung vorgesehen wird, durch die die Lcmd Bild- und Testsignale empfängt. - Das Verpacken einer Lcmd umfaßt das Montieren und das Verdrahten. Die Lcmd wird in/auf eine Verpackungseinheit in einem bestimmten Winkel und an einer bestimmten Stelle montiert, so daß das erzeugte Bild korrekt fokussiert und ausgerichtet ist. Die Lcmds werden ferner mit Anschlüssen auf der Verpackungseinheit verdrahtet. Diese Anschlüsse werden eventuell mit einer Hostvorrichtung verbunden, beispielsweise mit einer Kamera, und empfangen von dieser bildbezogene und andere Signale. Der Bereich, welcher die Verdrahtungsverbindungen umgibt, ist typischerweise mit einem Klebstoff oder Epoxymaterial gefüllt, das die Verbindungen stabilisiert und die Drähte vor gegenseitiger Berührung schützt.
- Nachdem die Lcmds verpackt sind, werden sie getestet, so daß defekte Einheiten erfaßt und verworfen werden. Das Testen kann schwierig und kostenintensiv sein, da jede einzelne Lcmd getrennt getestet werden muß. Der Grund dafür, daß diese Lcmds nicht getestet werden, während diese noch Teil einer Substrat- bzw. Trägeranordnung sind, liegt darin, daß das Testen nach dem Prozeß der Flüssigkristallbefällung (der wegen der Viskositätsbeschränkungen üblicherweise nach der Trennung der Lcmds
8 durchgeführt werden muß) stattfindet. Der Verpackungsprozeß ist relativ kostenintensiv und kann den Hauptkostenanteil einer gefertigten Lcmd darstellen. Das Verpacken der Lcmds vor dem Testen erhöht die mit den defekten Einheiten verknüpften Kosten deutlich, da solche Kosten auch die Kosten des Verpackens umfassen würden. - Die Druckschrift US-A-6,122,033 offenbart ein Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl von Flüssigkristall-Mikroanzeigen durch eine Wafer-Scale-Verarbeitung, einschließlich eines Substrats, in das hinein ein Loch erzeugt wird, um einen Raum der Lcmd mit einem Flüssigkristallmaterial zu füllen. Daraufhin wird das Loch abgedichtet. Die Löcher zum Füllen des Raums werden in der Glasplatte vorgesehen. Ein ähnlicher Stand der Technik ist in der Druckschrift JP-A-56 128919 beschrieben, wobei dort ein Halbleitersubstrat offenbart ist, welches von einer Glaselektrodenplatte überdeckt ist, wobei in der Glaselektrodenplatte ein Injektionsloch für das Flüssigkristallmaterial ausgebildet wird.
- Es besteht daher Bedarf an einem System und einem Verfahren zum Herstellen und Testen von Lcmds, das zu einer höheren Ausbeute und zu geringeren Kosten führt.
- ABRISS DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung sieht ein Verfahren zum Herstellen von Mikro-LCD-Anzeigen (Lcmds) nach Anspruch 1 und eine Anordnung mit einer Vielzahl von Lcmds nach Anspruch 8 vor.
- Eine Mikro-LCD-Anzeige (liquid crystal micro display, Lcmd) wird hergestellt, indem in einer Lcmd-Oberfläche ein Loch erzeugt wird, die Lcmd über das Loch mit Flüssigkristall- bzw. LCD-Material befüllt, und daraufhin das Loch versiegelt bzw. abgedichtet wird. Die Erfindung ermöglicht das Testen einer Lcmd von seiner Trennung von anderen Lcmds und vor seiner Verpackung. Dadurch erhöht die Erfindung die Ausbeute und verringert die mit der Lcmd-Herstellung verknüpften Kosten.
- KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 zeigt eine beispielhafte Aufsicht einer Lcmd-Substratanordnung nach dem Stand der Technik. -
2 zeigt eine Querschnittsansicht der in1 dargestellten Lcmd nach dem Stand der Technik. -
3 zeigt ein Flußdiagramm, welches ein Verfahren zum Herstellen von Lcmds gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt. -
4 zeigt eine beispielhafte Aufsicht einer Lcmd-Substratanordnung, die in dem in3 dargestellten Verfahren verwendet wird. -
5 zeigt eine Querschnittsansicht einer Lcmd von4 . -
6 zeigt einen Schritt zum Testen einer Lcmd gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- Unter der weiteren Bezugnahme auf die
4 und5 zeigt die3 ein Flußdiagramm, welches ein Verfahren zum Herstellen von Lcmds gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt. Die Lcmds werden unter Verwendung von zwei Substraten ausgebildet. In einer Ausführung ist das erste Substrat eine Siliziumwafer21 (mit einer Dicke von weniger als 1 mm), auf die eine Vielzahl (typischerweise Hunderte) von ICs ausgebildet werden. Jeder IC22 umfaßt eine große Anzahl (typischerweise eine halbe Million) aktiver Pixel, die Elektroden40 umfassen, welche von entsprechenden Schaltelementen41 angesteuert werden. Die Dicke jedes Substrats kann gemäß der Anwendung variiert werden, für die die Lcmds vorgesehen sind. Das zweite Substrat ist transparent und ist typischerweise als dünner Glaswafer26 vorgesehen, welcher die transparenten Elektroden42 einer entsprechenden Anzahl von Lcmds aufweist. Die transparenten Elektroden42 werden aus einem transparenten leitenden Material, beispielsweise Indiumzinnoxid, hergestellt. - Die Füllöcher
33 werden in einer der Wafer erzeugt, wie in Schritt3A dargestellt ist. Die Füllöcher33 werden genau positioniert, um Zugang zu den Kammern35 jeder Lcmd30 vorzusehen, ohne die ICs22 oder den Anzeigebereich der Lcmd30 zu beschädigen. Beispielsweise kann ein Fülloch33 positioniert werden, wie in den4 und5 dargestellt ist. Durch das anisotrope Ätzen wird ein trichterförmiges Fülloch33 in der Siliziumwafer21 erzeugt, so daß die Öffnung in der inneren Oberfläche der Siliziumwafer21 schmaler als die Öffnung in der äußeren Oberfläche ist, wie es5 darstellt. Das anisotrope Ätzen dient zur genaueren Plazierung der Füllöcher33 in den gewünschten Bereichen der inneren Oberfläche der Siliziumwafer21 . - Nachdem die Füllöcher
33 erzeugt wurden, werden die Wafer21 und26 zusammengefügt, wie es in Schritt3B dargestellt ist. Dieser Schritt umfaßt typischerweise das Aufbringen eines Dichtmaterials um jeden IC22 herum, woraufhin die Wafer zusammengefügt werden, um die Lcmd-Einheiten30 auszubilden. Daraufhin werden die Lcmd-Einheiten30 über die Füllöcher mit Flüssigkristallmaterial befüllt, wie in Schritt3C dargestellt ist. Das Befüllen wird vorzugsweise ausgeführt, indem eine übliche Vakuum-Befüllungstechnik verwendet wird, wobei die Lcmds in einer Vakuumkammer (nicht dargestellt) plaziert werden, in der daraufhin der Luftdruck verringert wird; die Lcmd-Einheiten werden daraufhin in ein Bad aus Flüssigkristallmaterial eingelassen, und der Druck in der Vakuumkammer wird wieder hergestellt, so daß die Druckdifferenz zwischen den Lcmd-Kammern35 und deren Umgebung das Flüssigkristallmaterial über die Füllöcher33 in die Lcmd-Kammern35 zwingt. Es können auch andere Füllmethoden verwendet werden, beispielsweise das Injizieren oder Eingießen des Flüssigkristallmaterials in die Lcmds über deren jeweilige Füllöcher33 . Diese alternativen Befüllungsmethoden können durch die Erzeugung von Auslaßlöchern in einem Substrat vereinfacht werden, so daß die Luft innerhalb einer Lcmd-Kammer35 während des Befüllens der Lcmd-Kammer35 mit Flüssigkristallmaterial entweichen kann. Nachdem die Lcmds befüllt werden, werden die Füllöcher33 (und jegliche Auslaßlöcher) mittels eines Abdichtgegenstands, beispielsweise ein Verschluß oder mittels Dichtmaterial wie Klebemittel, Epoxy oder Lötmittel, abgedichtet, wie es in Schritt3D dargestellt ist. - Daraufhin werden die Lcmds getestet, wie in Schritt
3E dargestellt ist. Da die Lcmds noch Teil des gemeinsamen Substrats und noch körperlich verbunden sind, können diese während des Testens einfach gehandhabt werden. Jede Zeile oder Spalte der Lcmds kann das (die) gleiche(n) Testsignal(e) verwenden, wie in der4 dargestellt ist und in der folgenden bezugnehmenden Beschreibung betrachtet wird. Lcmds, die defekt erscheinen, werden mittels einer Tintenmarkierung markiert, so daß diese identifiziert und zu einem späteren Zeitpunkt entfernt werden können. Nachdem die Lcmds getestet sind, werden diese mittels eines Ritz- und Brechprozesses, wie oben beschrieben, entlang von Ritzlinien36 (wie in Schritt3F dargestellt ist) getrennt. Durch Ausführen der oben genannten Schritte sollten die durch den Ritz- und Brechprozeß verursachten Trümmer die Qualität oder Leistungsfähigkeit der Lcmds nicht beeinflussen, da diese bereits befällt und abgedichtet sind, bevor die Trümmer erzeugt werden. - Es ist zu bemerken, daß in einigen Anwendungen die Schritte
3A –3E in einer anderen Reihenfolge auftreten können, wie sie in3 dargestellt ist. Als nicht-beschränkendes Beispiel kann der Schritt3B vor dem Schritt3A durchgeführt werden. Ferner kann jeder der Schritte3A –3F Unterschritte umfassen. - Die
4 ist eine Aufsicht eines Beispiels einer Lcmd-Substratanordnung, die von der Siliziumwafer21 und26 gebildet wird, bevor diese in einzelne Lcmds unterteilt wird. Zu Darstellungszwecken ist die Siliziumwafer21 mit lediglich neun ICs dargestellt. Typischweise würde eine Siliziumwafer jedoch Hunderte von ICs enthalten. Jeder IC, beispielsweise IC22 , ist von einer Abdichtungswand21 umgeben und weist eine ohmsche Verbindung bzw. Widerstandsverbindung mit anderen ICs sowie mit einem Testanschluß auf, beispielsweise Testanschluß25 , der auf der Siliziumwafer21 angeordnet ist und zum Empfangen eines Testsignals verwendet wird. Ein Glaswafer26 überdeckt die ICs und ist über die Abdichtwände23 , welche die ICs umgeben, mit der Siliziumwafer zusammengefügt. Die Glaswafer26 ist mit typischerweise einer transparenten Elektrode42 (5 ) pro Lcmd beschichtet. Die transparente Elektrode42 ist aus einem transparenten Material hergestellt, beispielsweise Indiumzinnoxid. Es werden parallele Wege verwendet, beispielsweise die Wege28 ,29 , um den Einfluß von offenen Schaltungen während des Testvorgangs zu verringern. Der Glaswafer26 ist über der Siliziumwafer derart angeordnet, daß sie die Testanschlüsse auf Siliziumwafern nicht überdeckt. - Die
5 ist eine Querschnittsansicht einer vereinfachten Version einer Lcmd30 von4 . Die Lcmd30 enthält eine Lcmd-Kammer35 , die über das Fülloch33 mit Flüssigkristallmaterial befällt wird. Das Befüllen wird vorzugsweise wie oben beschrieben in einer Vakuumkammer ausgeführt. Nachdem die Lcmd-Kammer35 befüllt wurde, wird das Fülloch33 unter Verwendung eines Abdichtgegenstands, beispielsweise ein Verschluß oder ein Abdichtmaterial wie Klebemittel, Epoxy oder Lötmittel, abgedichtet. Die Befüllungs- und Testprozesse dieser Erfindung sind weniger komplex als übliche Befüllungs- und Testschritte, da die Lcmds nicht einzeln gehandhabt werden müssen. Statt dessen werden die Lcmds vor deren Trennung befüllt und getestet. Ferner werden weniger Defekte während des neuen Befül lungsprozesses verursacht, da keine von dem Ritz- und Brechprozeß stammenden Trümmern in die Lcmds hineingezogen werden. - Die
6 zeigt das Testen einer Lcmd gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung. Lediglich zu Darstellungszwecken sind nur sehr wenige Pixelelektroden30 und entsprechende Schaltelemente41 dargestellt. Jedoch kann jede getestete Lcmd Hunderte oder Tausende oder sogar Millionen von Pixeln umfassen. Nachdem die Lcmds befüllt und abgedichtet sind, jedoch vor deren Trennung, wird ein elektrisches Signal über einen Testanschluß, beispielsweise Testanschluß25 (4 ), an einen oder an mehrere ICs22 übertragen. Das Testsignal wird durch eine Verbindung54 an ein Schaltelement53 umgeleitet, welches in dem IC22 erzeugt wurde, oder einen Teil des ICs22 bildet. Jede Verbindung, beispielsweise die Verbindungen54 und56 , kann eine Widerstandsverbindung bzw. Ohmsche Verbindung sein und/oder kann ein Widerstandselement umfassen. Das Testsignal verursacht, daß das Schaltelement53 die Pixelelektroden40 über jeweilige Schaltelemente41 mit einem Erdungs- bzw. Masseanschluß52 verbindet. Der Masseanschluß52 kann auf der Siliziumwafer angeordnet sein und kann über eine Verbindung, die zwischen den Ritzlinien verläuft, mit Masse verbunden sein. - Wenn alle Pixelelektroden
40 mit Masse verbunden bzw. geerdet sind, kann eine entsprechende transparente auf dem Glaswafer26 vorgesehene Elektrode42 (5 ) mit verschiedenen Spannungen angesteuert werden, um eine vollständig schwarze, eine vollständig weiße und/oder eine graue Zwischenstufe anzuzeigen. Daraufhin kann eine optische Testausrüstung verwendet werden, beispielsweise eine spezielle Kamera, um die Leistungsfähigkeit der Lcmd in Reaktion auf das Testsignal auszuwerten. Die optische Testausrüstung führt Tests durch, um festzustellen, ob die Lcmd ein ungleichmäßiges Bild erzeugt. Ein Lcmd-Bild kann aus verschiedenen Gründen ungleichmäßig sein, beispielsweise aufgrund von vorliegenden Trümmern in der Lcmd oder durch unvollständige Flüssigkristallbefüllung. Eine Lcmd, die ein ungleichmäßiges Bild erzeugt, kann beispielsweise unter Verwendung einer Tintenmarkierung markiert werden, so daß sie nach der Trennung der Lcmds verworfen werden kann. Der oben beschriebene Ansatz eliminiert die Schwierigkeiten, welche mit der Handhabung von getrennten Lcmds während des Testens verbunden sind, sowie die unnötigen Kosten, die mit dem Verpacken von defekten Einheiten verknüpft sind. - Es ist ersichtlich, daß die oben beschriebenen und hier angefügten Figuren und die dort dargestellten Gegenstände nicht notwendigerweise maßstäblich sind oder mit genauen Proportionen vorgesehen sind. Vielmehr geben die Figuren vereinfachte Darstellungen wieder, die dazu geeignet sind, die Grundlagen der Erfindung klar darzustellen. Ferner sind die oben beschriebenen Ausführungen der vorliegenden Erfindung lediglich mögliche Beispiele von Implementierungen, welche ein klares Verständnis der Grundlagen der Erfindung wiedergeben. Es können zahlreiche Variationen und Modifikationen der oben beschriebenen Ausführungen der Erfindung ausgeführt werden, ohne von den Grundlagen der Erfindung abzuweichen. Alle derartigen Modifikationen und Variationen sollen in den Umfang der Offenbarung und der vorliegenden Erfindung fallen und werden durch die folgenden Ansprüche geschützt.
Claims (9)
- Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl von Mikro-LCD-Anzeigen, im weiteren Lcmd genannt, wobei das Verfahren umfaßt: Vorsehen eines Halbleitersubstrats (
21 ) mit einer Vielzahl von Lcmds (30 ), die miteinander verbunden sind; Erzeugen einer Vielzahl von Löchern (33 ) in dem Substrat (21 ), wobei sich jedes Loch ausgehend von einer Hauptoberfläche des Substrats durch dieses hindurch in eine jeweilige Lcmd hinein erstreckt, Zusammenfügen des Halbleitersubstrats mit einem transparenten Substrat, wodurch die Lcmds ausgebildet werden; Bewirken, daß Flüssigkristallmaterial durch jedes Loch fließt und jede Lcmd (30 ) füllt; und Versiegeln der Vielzahl von Löchern (33 ). - Verfahren nach Anspruch 1, umfassend: Prüfen der Vielzahl von Lcmds (
30 ) nach dem Versiegeln der Vielzahl von Löchern. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend: Trennen der Vielzahl von Lcmds (
30 ) voneinander, nachdem die Vielzahl von Lcmds geprüft wurden. - Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei das Halbleitersubstrat (
21 ) einen integrierten Schaltkreis umfaßt. - Verfahren nach Anspruch 4, wobei das Halbleitersubstrat ein Teil einer Siliziumwafer (
21 ) ist. - Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei die Vielzahl von Löchern (
33 ) mittels eines Versiegelungsmaterials ausgewählt aus der Gruppe Klebstoff, Epoxidharz und Lötzinn versiegelt werden. - Verfahren nach Anspruch 4, wobei der integrierte Schaltkreis Elektroden umfaßt.
- Anordnung mit einer Vielzahl von Mikro-LCD-Anzeigen, im weiteren Lcmd genannt, umfassend: ein erstes Substrat (
26 ); ein zweites Substrat (21 ) mit einem Paar entgegengesetzter Hauptoberflächen, wobei das Substrat eine Vielzahl von Löchern (33 ) umfaßt, wobei sich jedes der Löcher (33 ) ausgehend von einer Hauptoberfläche des Substrats (21 ) durch dieses hindurch in eine jeweilige Lcmd (30 ) hinein erstreckt; Flüssigkristallmaterial, das zwischen dem ersten Substrat (26 ) und dem zweiten Substrat (21 ) der Anordnung vorgesehen ist, wobei die Löcher (33 ) Fülllöcher sind, die zum Füllen jeder Lcmd mit dem Flüssigkristallmaterial geeignet sind, gekennzeichnet dadurch, daß das zweite Substrat (21 ) ein Halbleitersubstrat ist, das einen integrierten Schaltkreis umfaßt. - Lcmd-Anordnung nach Anspruch 8, wobei das erste Substrat (
26 ) Glas umfaßt.
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