DE4234433A1 - Längen- oder Winkelmeßeinrichtung - Google Patents
Längen- oder WinkelmeßeinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Längen- oder Winkelmeß
einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Derartige Meßeinrichtungen werden vor allem zur
Messung von Relativbewegungen bei Werkzeug- oder
Meßmaschinen verwendet.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine Justierein
richtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 13.
Aus der DE-83 20 135 U1 ist eine lichtelektrische
Längen- oder Winkelmeßeinrichtung bekannt, bei der
eine Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung der
Abtaststelle in einer Fassung mit radial federnden
Haltezungen angeordnet ist. Die Beleuchtungsein
richtung kann zur Justage in der Fassung um ihre
Längsachse gekippt und verschoben werden. Wenn die
optimale Justierung erreicht ist, wird die Beleuch
tungseinrichtung mit der Fassung vergossen und be
hält diese Position dauerhaft bei.
Diese Anordnung weist den Nachteil auf, daß die
Beleuchtungseinrichtung nicht nur die zur Justie
rung erforderlichen Bewegungsfreiheitsgrade be
sitzt. Die federnden Haltezungen sind sehr labil,
was eine genaue Justierung erschwert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ju
stiereinrichtung, insbesondere bei einer Längen-
oder Winkelmeßeinrichtung anzugeben, bei der mit
einfachen Mitteln eine feinfühlige Justierung einer
Strahlungsquelle ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Ein
richtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 oder
des Anspruches 13 gelöst.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht da
rin, daß die Strahlungsquelle besonders genau ju
stiert werden kann. Für diese Justierung ist keine
separate externe Justiereinrichtung erforderlich.
Da die Justiereinrichtung in der Meßeinrichtung
integrierbar ist, kann auch zu jeder Zeit eine
Nachjustierung erfolgen. Durch die Ausgestaltung
der Justiereinrichtung ist es nicht erforderlich,
die justierte Strahlungsquelle mittels eines Kle
bers zu fixieren. Zur Fixierung ist eine einfache
Klemmung ausreichend, die jederzeit für einen neuen
Justiervorgang oder zum Wechsel der Strahlungs
quelle gelöst werden kann.
Mit Hilfe der Zeichnungen wird die Erfindung anhand
von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine räumliche Darstellung der
wesentlichsten Komponenten einer
Längenmeßeinrichtung,
Fig. 2 die Justiereinrichtung aus Fig. 1
im Längsschnitt,
Fig. 3 die Justiereinrichtung aus Fig. 1
im Querschnitt III-III,
Fig. 4 ein zweites Beispiel einer Ju
stiereinrichtung,
Fig. 5 eine dritte Ausführung einer Ju
stiereinrichtung und
Fig. 6 eine Ausgestaltung einer Diode.
Die Längenmeßeinrichtung nach Fig. 1 weist einen
Träger 1 für eine Maßverkörperung 2 auf. Zur Mes
sung der relativen Verschiebung zweier Objekte ist
der Träger 1 am einen Objekt befestigt und wird von
einer, am anderen Objekt befestigten Abtasteinheit
3 abgetastet. Die Abtasteinheit 3 weist eine Diode
4, eine Abtastplatte 5 und mehrere Detektoren 6
auf. Das von der Diode 4 abgestrahlte Licht wird
von einer Linse 7 kollimiert und gelangt als pa
ralleles Lichtbündel durch die Abtastplatte 5 und
den Träger 1 auf die Detektoren 6. Die elektrischen
Signale der lichtempfindlichen Detektoren 6 werden
einer Auswerteeinheit zur Ermittlung der Position
zugeführt.
Damit von der Linse 7 ein paralleles Lichtbündel
mit symmetrischer Intensitätsverteilung erzeugt
werden kann, muß der lichterzeugende Kristall 41
der Diode 4 exakt im Brennpunkt der Linse 7 liegen.
Da die Dioden 4 eine große Exemplarstreuung bezüg
lich der Lage des Kristalls 41 und somit ihrer
Leuchteigenschaften haben, muß jede Diode 4 indivi
duell relativ zur Linse 7 justiert werden.
Hierzu ist eine Justiervorrichtung, bestehend aus
einer Fassung 9 und einem darin schwenkbar und ver
schiebbar gelagerten Kugelkörper 10 vorgesehen. Im
ersten Ausführungsbeispiel ist die Diode 4 in einer
Bohrung 11 eines Kugelringes 10 als Kugelkörper
befestigt. Die kugelförmig gewölbte Oberfläche 101
des Kugelringes 10 steht mit einer Passungsbohrung
13 der Fassung 9 in Kontakt, so daß die Diode 4 mit
dem Kugelring 10 in der Passung 13 spielfrei in
alle Richtungen verschwenkt bzw. verdreht sowie
längs der Achse der Passungsbohrung 13 verschoben
werden kann. Der Radius der Kugelwölbung 101 des
Kugelringes 10 entspricht dabei dem Radius der Pas
sungsbohrung 13.
In Fig. 2 ist die optimal eingestellte Lage der
Diode 4 dargestellt. Der Kristall 41 der Diode 4
liegt exakt im Brennpunkt der Linse 7, die bevor
zugt ebenfalls in der Fassung 9 angeordnet ist. Zur
Lagefixierung der eingestellten Diode 4 ist die
Fassung 9 längs der Passungsbohrung 13 geschlitzt,
wodurch der Kugelring 10 durch Anziehen einer
Schraube 8 mit der Fassung 9 umfangsmäßig radial
geklemmt wird.
Wenn die Gehäuseoberfläche der Diode 4 selbst ku
gelförmig gewölbt ist, kann der Kugelring 10 ent
fallen. Die gewölbte Gehäuseoberfläche der Diode 4
steht dann direkt mit der Passungsbohrung 13 in
Kontakt. Eine derartige Ausbildung der Diode 4 ist
in Fig. 4 und Fig. 6 gezeigt.
Dieses erste Ausführungsbeispiel hat den Vorteil,
daß zum Verschwenken und Verschieben nur eine Pas
sungsbohrung 13 erforderlich ist. Bei den weiteren
Ausführungsbeispielen sind zwei Passungen 131, 14
bzw. 132, 15 erforderlich.
Beim zweiten Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 ist
die Gehäuseoberfläche 42 der Diode 4 kugelförmig
gewölbt und in einer Kugelschale 131 als Passung
verschwenk- und verdrehbar gelagert. Die Kugel
schale 131 ist wiederum in einer weiteren Passung,
die als Längsbohrung 14 in der Fassung 9 vorgesehen
ist, längsverschiebbar gelagert.
In nicht gezeigter Weise kann auch hier eine Diode
4 mit zylindrisch geformter Oberfläche und einem
daran befestigten Kugelring 10 Verwendung finden.
Zur Klemmung nach erfolgter Einstellung der Diode 4
müssen die Kugelschale 131 und die Fassung 9 ge
schlitzt ausgeführt sein.
Im dritten Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 ist die
Diode 4 mit dem zylindrisch geformten Gehäuse in
einer Passungsbohrung 15 eines Kugelringes 102
längsverschiebbar gelagert. Der Kugelring 102 ist
wiederum in einer Kugelschale 132 der Fassung 9
verschwenkbar gelagert. Zum Fixieren der Diode 4
sind der Kugelring 102 und die Fassung 9 geschlitzt
ausgeführt. Die Klemmung der Diode 4 erfolgt somit
radial von der Fassung 9 über den Kugelring 102 auf
das zylindrische Gehäuse der Diode 4.
Die Erfindung kann auch bei Meßsystemen eingesetzt
werden, bei denen mehrere Strahlungsquellen zur
Beleuchtung einer Maßverkörperung vorgesehen sind.
Beispielsweise zur Einstellung der Phasenbeziehung
von Abtastsignalen mehrerer Abtaststellen eines
inkrementalen Meßsystems, wobei jeder Abtaststelle
eine eigene Strahlungsquelle zugeordnet ist.
Anstelle von Dioden (LED′s, Laserdioden) können
auch andere Strahlungsquellen verwendet werden.
Bei den gezeigten Beispielen ist der Kristall 41
der Diode 4 zentrisch relativ zu den Passungen 13,
131, 132, 14, 15 angeordnet, und der Kristall 41
ist in Richtung der Linse 7 verschiebbar, um seine
eigene Achse drehbar und um senkrecht dazu stehende
Achsen schwenkbar.
Vorteilhaft kann es sein, wenn der Kristall nicht
mit dem Drehpunkt des Kugelkörpers zusammenfällt.
Wenn der Drehpunkt und somit der Mittelpunkt des
Kugelkörpers in Achsrichtung, das heißt in Strahl
richtung vom Kristall beabstandet ist, verursacht
ein Verschwenken der Diode um den Drehpunkt eine
Verlagerung des Kristalls aus der Längsachse.
Wie bereits in Fig. 4 gezeigt ist, ist es beson
ders vorteilhaft, wenn das Gehäuse der Diode 4
selbst kugelförmig gewölbt ist und diese umfangs
mäßig gewölbte Gehäuseoberfläche 42 direkt in einer
Passung 133 verschwenkbar gelagert ist. Eine derart
ausgebildete Diode 4 ist zusätzlich in Fig. 6 im
Detail dargestellt. Diese besonders ausgebildete
Diode 4 ist für viele optische Geräte verwendbar.
Beispielsweise für Sensorsysteme, Lichtschranken,
CD-Player, Barcodeleser, Autofocussysteme, Laser
drucker oder Lichtleitertechnik. Die Diode 4 ist um
den Mittelpunkt M der gewölbten Gehäuseoberfläche
42 verschwenk- bzw. verdrehbar. Der Radius R der
Wölbung ist vorteilhafterweise senkrecht zur
Strahlrichtung bzw. Längsachse der Diode 4 ausge
richtet. Die Wölbung mit dem Radius R ist am Ge
häuse der Diode 4 angeformt.
Die nach Fig. 6 ausgebildete Diode 4 kann eine
LED, eine Laserdiode oder eine andere strahlungs
aussendende Halbleiterdiode sein.
Die Diode 4 ist in einer Passungsbohrung 133 ver
schwenkbar sowie längsverschiebbar gelagert. Diese
Diode 4 kann aber auch in einer Passung, die als
Kugelschale ausgebildet ist, verschwenkbar gelagert
sein. Zur Fixierung der eingestellten Lage ist die
Diode 4 radial in der Passung klemmbar.
Auch hier kann es vorteilhaft sein, wenn der Kri
stall 41 vom Mittelpunkt M der Gehäuseoberfläche 42
in Achsrichtung, das heißt in Strahlrichtung beab
standet angeordnet ist.
Claims (16)
1. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung zur Messung der relativen Verschiebung
zweier Objekte, bei der die Maßverkörperung
eines Trägers, der mit dem einen Objekt verbun
den ist, von einer Abtasteinheit, die mit dem
anderen Objekt verbunden ist, abgetastet wird,
wobei die Abtasteinheit zumindest eine in einer
Fassung schwenkbar angeordnete Strahlungsquelle
zur Beleuchtung der Maßverkörperung aufweist,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Kugelkörper (10,
102, 4) vorgesehen ist, dessen kugelförmig ge
wölbte Oberfläche (101, 42) mit einer Passung
(13, 131, 132) der Fassung (9) in Kontakt steht
und die Strahlungsquelle (4) mit dem Kugelkörper
(10, 102, 4) in der Passung (13, 131, 132)
schwenkbar gelagert ist.
2. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Passung eine Bohrung (13) ist, in der
der Kugelkörper (10) mit der Strahlungsquelle
(4) verschwenkbar und längs der Bohrungsachse
verschiebbar gelagert ist.
3. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Radius der Kugelwölbung (101) des Kugel
körpers (10) dem Radius der Bohrung (13) ent
spricht.
4. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle eine
Diode (4) ist, die in einer Bohrung (11) eines
Kugelringes (10) befestigt ist.
5. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Passung eine Kugelschale (131) ist.
6. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kugelschale (131) mit der Strahlungs
quelle (4) in einer weiteren Passung (14) längs
verschiebbar ist.
7. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1
bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strah
lungsquelle eine Diode (4) ist, deren Gehäuse
oberfläche (42) kugelförmig gewölbt ist und
selbst den Kugelkörper bildet.
8. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Passung eine Kugelschale (132) ist, die
eine weitere Passung (15) zur Aufnahme der
Strahlungsquelle (4) aufweist, wobei die Strah
lungsquelle (4) in dieser weiteren Passung (15)
längsverschiebbar ist.
9. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß der Kugelkörper (10, 102, 4)
nach der Einstellung in der Passung (13, 131,
132, 14, 15) klemmbar ist.
10. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Fassung (9) geschlitzt ist.
11. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (4) in
der Passung (13, 131, 132, 14, 15) relativ zu
einer im Strahlengang liegenden Abbildungsoptik
(7) verschiebbar und/oder schwenkbar gelagert
ist, wodurch die Strahlungsquelle (4) in den
Brennpunkt der Abbildungsoptik (7) bringbar ist.
12. Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrich
tung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abbildungsoptik (7) in der Fassung (9)
angeordnet ist.
13. Justiereinrichtung zur schwenkbaren Justierung
einer strahlungsaussendenden Diode, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Gehäuse der Diode (4) am
Umfang kugelförmig gewölbt ausgebildet ist und
mit dieser Oberfläche (42) in einer Passung
(133) schwenkbar ist.
14. Justiereinrichtung nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß die Diode (4) in einer
Bohrung (133) verschwenkbar und längsverschieb
bar gelagert ist.
15. Justiereinrichtung nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß die Diode in einer Kugel
schale verschwenkbar gelagert ist.
16. Justiereinrichtung nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß die Diode in der Passung
radial klemmbar ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924234433 DE4234433C2 (de) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE9218544U DE9218544U1 (de) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4234433A1 true DE4234433A1 (de) | 1994-04-14 |
DE4234433C2 DE4234433C2 (de) | 1994-09-01 |
Family
ID=6470313
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924234433 Expired - Fee Related DE4234433C2 (de) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE4234433C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0720005A2 (de) * | 1994-12-27 | 1996-07-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Optischer Sensor |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8320135U1 (de) * | 1983-12-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung | |
DE3820894A1 (de) * | 1988-06-21 | 1989-12-28 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Beleuchtungskoerper |
-
1992
- 1992-10-13 DE DE19924234433 patent/DE4234433C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8320135U1 (de) * | 1983-12-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung | |
DE3820894A1 (de) * | 1988-06-21 | 1989-12-28 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Beleuchtungskoerper |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0720005A2 (de) * | 1994-12-27 | 1996-07-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Optischer Sensor |
EP0720005A3 (de) * | 1994-12-27 | 1997-01-15 | Canon Kk | Optischer Sensor |
US5742391A (en) * | 1994-12-27 | 1998-04-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical type sensor for use as an optical measuring head or optical pickup |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4234433C2 (de) | 1994-09-01 |
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