DE4215165A1 - Raster-scanning-lichtquelle und deren anwendung - Google Patents
Raster-scanning-lichtquelle und deren anwendungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Raster-Scanning-Lichtquelle gemäß An
spruch 1, deren Verwendung in einem Spektralphotometer gemäß Anspruch 8,
sowie die Verwendung des Spektralphotometers in einem Testkit gemäß An
spruch 11.
Optische spektroskopische Meßmethoden haben in der chemischen Analytik eine
sehr große Bedeutung erlangt. Handelsübliche Analysengeräte für den ultraviolet
ten (UV-), sichtbaren (VIS-) und infraroten (IR-) Spektralbereich werden sowohl
für routinemäßige Bestimmungen als auch in der Spurenanalytik verwendet (zur
Übersicht siehe z. B. Nachr.Chem.Tech.Lab. 37 (1989) Sonderheft). Bezüglich der
Kategorisierung der verschiedenen Spektralphotometer spielt die Frage, ob die
Proben von polychromatischem, bandpass-monochromatischem oder monochro
matischem Licht durchstrahlt werden, eine wesentliche Rolle. Nach diesen Krite
rien richtet sich die Bauweise des Lichtquellenteils und die Anordnung des Mono
chromators. Bei allen stetig scannenden Spektralphotometern ist die Verwendung
eines Monochromators zwingend notwendig, wobei dessen Einbau alternativ vor
oder hinter der Probe erforderlich ist. Nach dem heutigen Stand der Technik ist
im wesentlichen zwischen zwei Grundtypen von optischen Spektralphotometern
zu unterscheiden, die sich auch in der Bauweise des Lichtquellenteils grundsätzlich
unterscheiden:
- - Diodenarrayspektrometer:
Bei diesem Spektrometertyp wird die Probe vom Licht einer polychromatischen Quelle durchstrahlt. Hinter der Probe befindet sich der Monochromator, der das Licht dispersiv auf ein Photodiodenarray abbildet. Array und Monochromator bestimmen die Wellenlängenauflösung.
Grundsätzliche Nachteile des Diodenarrayspektrometers sind:
- - die Kalibrierung der Geräte ist schwierig wegen der Drifterscheinungen bei den einzelnen Dioden des Arrays, insbesondere hinsichtlich ihrer geringen Temperaturstabilität. Diese Nachteile lassen sich nur mit einem größe ren Aufwand an Auswertesoftware und mit häufigen Referenzmessungen reduzieren,
- - die Nachweisempfindlichkeit ist wegen der bauartbedingten kleinen Emp fangsflächen der Photodioden des Arrays im Vergleich zu herkömmlichen Gitterspektrometern mit einem empfindlichen Photomultiplier-Detektor (PMD) wesentlich geringer,
- - durch polychromatisches Einstrahlen auf die Probe ist mit der Auslösung von Photoreaktionen und den damit verbundenen Veränderungen der Kon zentrationen im Analyten zu rechnen.
- - Gitterspektralphotometer:
Bei diesen Geräten befindet sich der Monochromator in der Regel vor der Probe, so daß eine monochromatische Einstrahlung auf die Probe erfolgt. Lichtquellenteil und Monochromator müssen von hoher Qualität und korrekter optischer Abbil dungsgeometrie sein.
Nachteile der Gitterspektrometer sind:
- - langsamer Scanvorgang aufgrund mechanisch bewegter Teile
- - aufwendige Präzisionsoptik und Feinmechanik
- - durch den Gerätetyp bedingte, große Bauweise
- - die Detektoren müssen optisch und elektronisch aufwendig gestaltet sein.
Einfache Ausführungen von Spektralphotometern sind grundsätzlich dem Gitter
spektralphotometer verwandt.
Einkanälige Photometeranordnungen mit Leuchtdioden (LED) und Photodioden,
wie sie in Verbindung mit einem optischen Biosensor in der Literatur beschrieben
werden (siehe: Lowe C.R., Goldfinch M.J., Biochem. Soc. Trans. 11, 448, 1983),
sind an einen vorgegebenen Wellenlängenbereich gebunden. Solche Anordnungen
liefern dementsprechend keine spektrale Information. Damit ist der Informati
onsgehalt äußerst klein, so daß beispielsweise Drifterscheinungen und Störungen
nicht erkannt werden.
Die obigen Ausführungen zum Stand der Technik machen deutlich, daß die be
kannten spektralphotometrischen Analysengeräte ausschließlich dann spektrale
Informationen liefern, wenn ein Monochromator, und damit verbunden, optische
Präzisionsbauteile beteiligt sind. Demzufolge sind diese Spektralphotometer auf
wendig gebaute Analysengroßgeräte, die vor allem für das Labor, aber nicht für
Feldversuche (z. B. in der Umweltanalytik) geeignet sind. Ferner erfordern sie in
der Regel geschultes Bedienungspersonal, so daß sowohl die Anschaffung als auch
der Betrieb teuer sind. Da die bekannten Geräte aufgrund des unerläßlichen
Monochromators (einschließlich optischer Präzisionsbauteile) nicht ausreichend
miniaturisierbar sind, werden für Überwachungsaufgaben (inline-Prozeßkontrolle,
Sensorik, etc.) zur Signal-Ein- und -Auskopplung zusätzlich aufwendige Faserop
tiken benötigt.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine neuartige und miniaturi
sierbare Lichtquelle zur Verfügung zu stellen, die - in einem Spektralphotometer
oder Sensor verwendet - es erlaubt, ohne Monochromator spektrale Informationen
zu erhalten.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die Merkmale des Anspruchs 1, 7
bzw. 10.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprü
chen.
Untersuchungen, welchen Informationsgehalt eine farbig gerasterte Spektralpho
tometrie im Vergleich zu normalen scannenden Geräten bietet, haben überra
schend gezeigt, daß die Verwendung der erfindungsgemäßen Raster-Scanning-
Lichtquelle in einem Spektralphotometer mit nur einem Detektor, aber ohne
Monochromator (Raster-Scanning-Spektralphotometer), auf einfache und kosten
günstige Weise neben quantitativen Analysenergebnissen auch qualitative Ergeb
nisse über die Art der Inhaltsstoffe zugänglich macht. Diese Informationen er
lauben spezifische spektrale Muster zu erkennen und der Zusammensetzung bzw.
den Konzentrationsverhältnissen im Analyten zuzuordnen.
Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Raster-Scanning-Lichtquelle können quantita
tive und qualitative optische Untersuchungen von gasförmigen, flüssigen und
überkritischen fluiden Medien im UV-/VIS- und nahen IR-Bereich durchgeführt
werden. Durch sequentielles elektrisches Schalten der einzelnen Farbkanal-Strah
lengänge und durch Verwendung von verschiedenfarbenen Leuchtdioden oder
anderen optischen bzw. optoelektronischen Quellen, wie Laserdioden, Kleinla
sern oder miniaturisierbaren Quarz-Halogen-Lampen mit Vorfilter, die linien- bis
bandpass-monochromatische Charakteristiken aufweisen, sind die Voraussetzun
gen für einen Rasterscan im Lichtquellenteil gegeben. Die Zeitdauer der Licht
quellenaktivierung kann dem jeweiligen Meßproblem und der Lichtquellencha
rakteristik angepaßt werden. In der Regel ist eine Zeitdauer kleiner 1 Sekunde
je Kanal ausreichend.
Durch Bündelung in einen Strahlengang durch beispielsweise eine Spiegel- oder
Lichtleiteroptik wird gewährleistet, daß in einem Spektralphotometer oder Sensor
beim Durchtritt durch den Probenraum während des Wellenlängen-Rasterscans
stets das gleiche Probenvolumen im Analyten durchstrahlt wird. Die Detektion
wird in einfacher Weise mit einem einzigen Photodetektor, wie beispielsweise ei
ner Photodiode oder einem photovoltaischen Detektor realisiert. Mit Hilfe der
gemessenen Spektralinformationen läßt sich neben quantitativen Bestimmungen
die Zusammensetzung des Analyten ermitteln, beziehungsweise können gegebe
nenfalls sich überlagernde Störeinflüsse erkannt werden.
Gegenüber Spektralphotometern nach dem Stand der Technik zeigt ein Spektral
photometer mit der erfindungsgemäßen Raster-Scanning-Lichtquelle eine Reihe
von Vorteilen:
- - robuste Bauweise,
- - kein Monochromator und nur ein Detektor erforderlich,
- - keine mechanisch bewegten Bauteile und keine polychromatische Einstrahlung auf die zu analysierende Probe,
- - durch sequentiellen Rasterscan relativ schnelle Spektralanalyse im Sekunden bereich,
- - einfacher und schneller Zugang zu aussagekräftigen Spektralmustern,
- - Vermeidung von Photoreaktionen dadurch, daß entsprechende Farbkanäle auf einfache Weise selektiv ausgewählt beziehungsweise beim Rasterscan nicht ak tiviert werden. Dadurch Vermeidung aufwendiger Zusatzfilter,
- - modulare Bauweise,
- - höhere quantitative Nachweisempfindlichkeit aufgrund des größeren Strahlen querschnitts und vor allem aufgrund der größeren Detektorfläche als bei den üblichen Diodenarrayspektrometern,
- - breites Anwendungsspektrum für Untersuchungen im Labor, zur Prozeßüber wachung und für den Bereich der Umweltanalytik,
- - Eignung für reaktionskinetische Messungen aufgrund der kurzen Scanzeiten im Vergleich zu den Gitterspektralphotometern,
- - leichte Adaption an spezielle Analysenprobleme aufgrund der Möglichkeit zur Anpassung des Wellenlängen- und Empfindlichkeitsbereichs des Photodetektors und aufgrund des Einsatzes verschiedener preisgünstiger Lichtquellen,
- - Möglichkeit zur miniaturisierten Ausführung des erfindungsgemäßen Raster- Scanning-Spektralphotometers (einschließlich miniaturisierter Raster-Scanning- Lichtquelle) für Überwachungsaufgaben, wie inline-Prozeßkontrolle und Senso rik, dadurch Zugang zu miniaturisierten Einstab-Sensoranordnungen mit dem Bau- und Meß-Prinzip des Raster-Scanning-Spektralphotometers; auf diese Weise Vermeidung von Reflexionsspiegeln, wie sie bei teuren faseroptischen An ordnungen mit Y-Lichtleitern erforderlich sind (siehe z. B. Camman K. et al., Angew. Chem. 103 (1991), 536),
- - für Feldversuche (z. B. in der Umweltanalytik) geeignet,
- - von Laien bedienbar, deshalb auch in Form eines Testkits anwendbar,
- - die Aussagekraft von Messungen mit dem Raster-Scanning-Spektralphotometer kann in Verbindung mit Methoden einer KI-Software erweitert werden. Da durch wird eine lernfähige, aussagekräftige und trotzdem fehlertolerante Muste rerkennung zugänglich.
Im Vergleich zu den herkömmlichen Spektralphotometern ist ein weiterer ent
scheidender Vorteil eines Raster-Scanning-Spektralphotometers, dank der Raster-
Scanning-Lichtquelle, die wesentlich kostengünstigere Realisierbarkeit. Es lassen
sich im Vergleich zu teueren Geräten sehr gute Ergebnisse mit einem Bruchteil
an Aufwand und Kosten erzielen.
Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der
nachfolgenden Beschreibung und anhand der Zeichnung.
Es zeigen:
Fig. 1 schematische Darstellung einer speziellen Ausführungsform der erfindungsge
mäßen Raster-Scanning-Lichtquelle,
Fig. 2 schematische Darstellung einer speziellen Ausführungsform des erfindungsge
mäßen Raster-Scanning-Spektralphotometers,
Fig. 3a-c, 4 u. 5 erläuternde Darstellungen zu den Beispielen.
Fig. 1 zeigt eine vorteilhafte Ausführungsform einer Raster-Scanning-Lichtquelle
1. Hierbei können über konzentrisch angeordnete, leicht abgewinkelte Lichtleiter
3, die für den sichtbaren Bereich aus Glas bestehen können, die Farbkanäle auf
eine kreisförmige Anordnung zusammengeführt werden. Die Zahl der verwen
deten Lichtleiter beträgt bevorzugt bis zu vier, jedoch können auch mehr zum
Einsatz kommen. Durch den optionalen Einbau einer Sammellinse 5 wird, vor
allem bei größerer Schichttiefe, eine wesentliche Verbesserung der Lichtausbeute
erreicht.
Als Quellen können eine Vielzahl von optoelektronischen bzw. optischen Kompo
nenten herangezogen werden, wie beispielsweise Leuchtdioden (LED′s) 2 (z. B.
mit Kunststoffhalterungen 4 befestigt), Laserdioden, Kleinlaser, miniaturisier
bare Mikro-Halogenlampen mit Vorsatzfiltern, usw. Die einzelnen Farbkanäle
werden von einem Elektroniksteuerteil, beispielsweise über Reedrelais oder Halblei
terschalter, sequentiell eingeschaltet und nach Stabilisierung und erfolgter Mes
sung sofort wieder ausgeschaltet. Zur Erreichung einer konstanten Lichtintensität
werden die LED′s und Lichtquellen erforderlichenfalls mit einfachen einstellbaren
Stromstabilisatoren versorgt.
Fig. 2 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform eines Raster-Scanning-Spektralpho
tometers 8 unter Verwendung einer erfindungsgemäßen Raster-Scanning-Licht
quelle 1.
Das Spektralphotometer 8 setzt sich aus 4 Baugruppen zusammen:
- - dem Lichtquellenteil, in Form der erfindungsgemäßen Raster-Scanning- Lichtquelle 1
- - dem Küvettenteil 6
- - dem Detektorteil 7
- - der Steuer- und Auswerteelektronik.
Die Bauweise des Küvettenteils 6 richtet sich nach der gegebenen analytischen
Aufgabenstellung. Beispielsweise lassen sich 10 mm Standard-/Halbmikro-
Küvetten oder zylindrische Durchflußküvetten aus Kunststoff oder Edelstahl ein
setzen.
Der Detektorteil 7 besteht aus nur einem einzigen Photodetektor 9. Für ei
nen weiten Spektralbereich können Si-Photodioden verwendet werden. Zusätz
lich besteht die Möglichkeit, den Spektralbereich des Detektors durch Filter
fenster einzugrenzen, um beispielsweise unerwünschte IR-Strahlung auszublen
den. Hier existiert eine große Auswahl käuflicher Bauteile aus dem Consumer-
oder professionellen Optoelektronik-Markt. Eine besonders kompakte Bauweise
ermöglicht die Integration eines Vorverstärkers auf dem Si-Photodetektor, die
in SMD-Hybridtechnik realisiert werden kann. Hierdurch läßt sich ein deut
lich besseres Signal-Rauschverhältnis erreichen. Bei sehr kleinen Signalhöhen
kann sich die Temperaturdrift der Photodiode deutlich auswirken. Eine Ver
besserung bringt in einfacher Weise eine Thermostatisierung von Detektor- und
Küvetten-Einheit. Messungen zur Temperaturabhängigkeit der Leerlaufspannung
der Photodiode haben gezeigt, daß im üblichen Temperaturbereich von 20 bis
28°C die Abhängigkeit linearisierbar ist. Die Messung der Temperatur mit einem
Halbleiter-Widerstandssensor ermöglicht eine analogelektronische oder computer
gestützte Korrektur des Photodiodensignals.
Der Lichtquellenteil, der Küvettenteil und der Detektorteil sind in einem licht
dichten Gehäuse untergebracht.
Die wesentlichen Komponenten der Steuer- und Auswerte Elektronik sind:
- - Signalverstärker,
- - A/D-Wandler mit Schnittstelle,
- - Auswerterechner,
- - Steuerelektronik (Ablaufprogrammierung, Lichtkanalansteuerung),
- - Stromversorgungen und Konstanter.
Alternativ können alle Funktionen auf einer Elektronikeinheit mit integriertem
downloadprogrammierbarem Mikroprozessor zusammengefaßt werden.
Die folgenden Anwendungsbeispiele sollen die Erfindung weiter verdeutlichen.
- a) Chromalaunlösungen:
0,005 mol KCr(SO4)2 [2,497 g KCr(SO4)2·12H2O] werden in 1000 ml Wasser eingewogen. In der mit ca. 2,5 ml Wasser gefüllten Küvette wird für die vier Farbkanäle rot, gelb, grün und blau eine Referenzmessung der Leerlaufspan nung (EMK) der Photodiode durchgeführt. Anschließend wird die Küvette mit der gleichen Menge Chromalaunlösung gefüllt. Die vom Raster-Scanning- Spektralphotometer für den Analyten erhaltenen Werte der Leerlaufspannung werden vom jeweiligen Referenzwert subtrahiert. In Fig. 3a sind diese auf den Wert des roten Farbkanals bezogenen Intensitätswerte der einzelnen Farb kanäle in einem Histogramm dargestellt. Da der Verlauf der Intensitäts-/ Konzentrations-Kurven für Chromalaun im Bereich von 0,001 bis 0,1 mol/l näherungsweise linear ist, stellt das Histogramm ein für diesen Bereich von der Konzentration unabhängiges Spektralmuster für Chromalaun dar. - b) Kaliumdichromatlösungen:
2 mg K2Cr2O₇ werden in 1000 ml Wasser gelöst und eine Messung entspre chend 1a) durchgeführt. Für den Bereich bis etwa 3 mg/l ist der Verlauf der Intensitäts-/Konzentrations-Kurven für Kaliumdichromat annähernd linear, so daß hier ebenfalls ein für den angegebenen Bereich konzentrationsunabhängi ges Spektralmuster erhalten wird (siehe Fig. 3b). - c) Nitrittest:
Zum Nitritnachweis nach Griess (Griess P., Berichte, 12, 426-428, 1879) kann beispielsweise der Testreagenzien-Satz Spektroquant® Nr.14 776 Nitrit der Fa. E. Merck, Darmstadt verwendet werden. Der Reagenziensatz enthält u. a. eine genaue Durchführungsvorschrift und zusätzliche Literaturangaben. 1 mg NaNO2 wer den in 1000 ml Wasser gelöst. Ein aliquoter Teil der Lösung wird mit Hilfe des im Reagenziensatz beiliegenden Dosierlöffels nach Vorschrift mit dem Reagen ziengemisch versetzt und nach der vorgeschriebenen Wartezeit analog zu Bei spiel 1a) im Raster-Scanning-Spektralphotometer vermessen. Da der Signal- /Konzentrationsverlauf bei diesem Nachweis im Bereich bis 1,5 mg/l Nitrit annähernd linear ist, stellt das Histogramm Fig. 3c ein von der Konzentration an Nitrit unabhängiges Spektralmuster für den proportional zur Nitritmenge erhaltenen Azofarbstoff dar.
Die resultierenden stoffspezifischen Raster-Spektralinformationen entsprechen Aus
schnitten aus dem gesamten stetigen Spektrum der jeweiligen Substanzen.
Eine Stammlösung von 3,1 mg NaNO2 in 1000 ml Wasser wird in aliquoten Tei
len volumetrisch verdünnt. Mit den jeweiligen Testlösungen wird eine Analyse
entsprechend Beispiel 1c) durchgeführt. Es wird ein Signal-/Konzentrations-
Zusammenhang gemäß der Fig. 4 erhalten.
Der Zusammenhang ist im niederen Konzentrationsbereich annähernd linear. Für
höhere Konzentrationsbereiche bzw. die genauere Wiedergabe des Zusammen
hangs muß die Abweichung berücksichtigt werden.
Bei einem Ansatz entsprechend Beispiel 1c) bzw. 2) wird soviel NaOH zuge
geben, daß die Pufferkapazität des im Testreagenz vorhandenen sauren Puffers
(pH ≈ 2,3) erschöpft ist und eine pH-bedingte Farbänderung des Azofarbstoffes
auftritt.
In Fig. 5 sind für vier verschiedene pH-Werte die resultierenden Störeinflüsse - cha
rakterisiert durch die Steilheit (mV·l/mg) des Zusammenhangs zwischen Signal
spannung und Konzentration an Nitrit - in Form eines Histogramms dargestellt.
Es zeigt sich deutlich, daß die Intensität des blauen Farbkanals mit zunehmen
dem pH-Wert nahezu konstant bleibt. Demgegenüber lassen die entsprechenden
Abhängigkeiten für den grünen und den gelben Farbkanal einen deutlichen pH-
Einfluß erkennen. Die pH-Wert-bedingte Intensitätsänderung bei gleicher Nitrit
konzentration würde damit eine Abnahme der Konzentration vortäuschen. Erst
durch die zusätzliche Spektralinformation unter Verwendung des blauen Farbka
nals läßt sich der Störeinfluß erkennen.
Die Erkennung von derartigen Störeinflüssen wird wesentlich erleichtert, wenn die
konzentrationsabhängigen Meßdaten des Raster-Scanning-Spektralphotometers
mit einem neuronalen Backpropagation-Netzwerk weiterverarbeitet werden. Im
gegebenen Fall läßt sich bereits nach 300 Lernschritten eine erfolgreiche Musterer
kennung durchführen, die den Störeinfluß eines pH-Wertes von 3,0 im Analyten
gegenüber dem Sollwert von 2,3 aufzeigt.
Claims (13)
1. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) beinhaltend:
- - mindestens zwei verschiedene optoelektronische oder optische, linien- bis bandpass-monochromatische Quellen aus dem ultravioletten, sichtbaren oder nahen infraroten Wellenlängenbereich, die sequentiell durch elektri sches Schalten in vorgegebener zeitlicher Abfolge und Dauer aktiviert wer den, und
- - eine Vorrichtung zur Bündelung des Lichts der einzelnen Quellen in einen gemeinsamen Strahlengang.
2. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens eine der Quellen eine Leuchtdiode (2) ist.
3. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß mindestens eine der Quellen eine Laserdiode, ein Kleinlaser oder
eine Quarz-Halogen-Lampe mit Vorsatzfilter ist.
4. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Bündelung des Lichts leicht
abgewinkelte konzentrisch angeordnete Lichtleiter (3) beinhaltet.
5. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Zahl der Lichtleiter (3) vier beträgt.
6. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Bündelung des Lichts eine
Sammellinse (5) beinhaltet.
7. Raster-Scanning-Lichtquelle (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß sie in miniaturisierter Form ausgebildet ist.
8. Verwendung der Raster-Scanning-Lichtquelle (1) nach wenigstens einem der
vorhergehenden Ansprüche in einem Spektralphotometer (8) für quantitative
und qualitative optische Untersuchungen von gasförmigen, flüssigen und über
kritischen fluiden Medien, das (8) die Raster-Scanning-Lichtquelle (1), ein Küvet
tenteil (6), ein Detektionsteil (7) mit nur einem Detektor (9), aber keinen Mo
nochromator beinhaltet.
9. Spektralphotometer (8) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß es (8)
in Form einer miniaturisierten Einstabanordnung als aktiver Sensor oder Trans
ducer in einem Sensor ausgebildet ist.
10. Spektralphotometer (8) nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß
es (8) in modularer Bauweise ausgebildet ist.
11. Testkit, beinhaltend das Spektralphotometer (8) nach wenigstens einem der
Ansprüche 8 bis 10 zum qualitativen und quantitativen Nachweis von Inhalts
stoffen in einem Analyten bei gleichzeitiger Erkennung von Störeinflüssen.
12. Testkit nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Störeinflüsse pH-
Änderungen sind.
13. Testkit nach Anspruch 11 und 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Inhaltsstoff
Nitrit ist, dessen Nachweis mit Hilfe der Griess-Reaktion erfolgt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19924215165 DE4215165A1 (de) | 1991-11-08 | 1992-05-08 | Raster-scanning-lichtquelle und deren anwendung |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4136725 | 1991-11-08 | ||
| DE19924215165 DE4215165A1 (de) | 1991-11-08 | 1992-05-08 | Raster-scanning-lichtquelle und deren anwendung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4215165A1 true DE4215165A1 (de) | 1993-06-03 |
Family
ID=25908905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19924215165 Withdrawn DE4215165A1 (de) | 1991-11-08 | 1992-05-08 | Raster-scanning-lichtquelle und deren anwendung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4215165A1 (de) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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