DE3937522A1 - Mit einem traegerelement verbundener halbleiter-drucksensor - Google Patents
Mit einem traegerelement verbundener halbleiter-drucksensorInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen mit einem Trägerelement
verbundenen Halbleiter-Drucksensor mit einem Substrat aus
Halbleitermaterial, das eine aktive Oberfläche zur Aufnahme
integrierter Bauelemente und eine Rückseite aufweist, in der
zur Erzeugung einer an die aktive Oberfläche angrenzenden,
dem zu messenden Druck ausgesetzten Membran eine von dicken
Randbereichen umgebene Ausnehmung gebildet ist, wobei auf der
aktiven Oberfläche integrierte Bauelemente vorgesehen sind,
die unter dem Einfluß mechanischer Verformungen der Membran
einen ihrer elektrischen Parameter ändern.
Halbleiter-Drucksensoren dieser Art waren unter Verwendung
einer Elastomerdichtung mit den die Membran umgebenen dicken
Randbereichen auf Seiten der Substratrückseite mit dem Träger
element verklebt. Die Klebewirkung kam dabei durch die Adhä
sionskräfte zwischen den beteiligten Materialien zustande.
Der zu messende Druck wird von der Substratrückseite her auf
die Membran zur Einwirkung gebracht. Dies bedeutet aber, daß
der zu messende Druck eine Kraft ausübt, die die Adhäsions
kräfte zwischen dem Substrat und dem Trägerelement zu überwin
den sucht, was zur Folge hat daß bei zu hohen Drücken die Ver
bindung zwischen dem Substrat und dem Trägerelement gelöst
wird. Der Drucksensor wird dadurch unbrauchbar. Dieses Prob
lem konnte nicht einfach dadurch beseitigt werden, daß die
dicken Randbereiche des Substrats mit mechanischen Mitteln
von der aktiven Oberfläche des Substrats her fest mit dem Trä
gerelement verbunden werden. Bei einer solchen Lösung würden
nämlich in der Membran mechanische Spannungen hervorgerufen,
die sich aus Temperaturänderungen und damit verbundenen Form
änderungen der Befestigungsstruktur ergeben. Diese mechani
schen Spannungen erzeugen in der Membran unerwünschte elektri
sche Ausgangssignale, die sich den vom zu messenden Druck ver
ursachten Ausgangssignalen überlagern und somit zu einer Ver
fälschung der Meßergebnisse führen. Drucksensoren der eingangs
angegebenen Art sind daher nur für einen sehr eingeschränk
ten Druckbereich verwendbar, was insbesondere dann gilt, wenn
auf eine möglichst spannungsfreie Montage des Drucksensors
und somit auf möglichst unverfälschte Meßergebnisse geachtet
werden muß.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Halbleiter-
Drucksensor der eingangs angegebenen Art zu schaffen, der
sich für den Einsatz bei hohen Drücken eignet und dessen Aus
gangssignale von Formänderungen des Trägerelements kaum beein
flußt werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das
Substrat an den die Membran umgebenden Bereichen der aktiven
Oberfläche unter Verwendung einer Elastomerdichtung mit dem
Trägerelement verbunden ist und daß die Membran von der Rück
seite des Substrats her mit einer Zuleitung für den zu messen
den Druck in Verbindung steht.
Beim erfindungsgemäßen Halbleiter-Drucksensor erfolgt die
Verbindung mit dem Trägerelement auf der aktiven Oberfläche
des Substrats unter Zwischenfügung einer Elastomerdichtung.
Dies bedeutet, daß bei Einwirkung des Drucks auf die Membran
eine Kraft auf die Verbindungsstelle zwischen den Drucksensor
und dem Trägerelement entsteht, die die Dichtwirkung um so
größer macht, je größer der Druck wird. Eine zusätzliche star
re Einspannung des Substrats am Trägerelement ist nicht erfor
derlich, so daß die gewünschte Unabhängigkeit von mechanischen
Verformungen des Trägerelements erzielt wird.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unter
ansprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird nun anhand der Zeichnung beispielshalber
erläutert, in der der erfindungsgemäße Drucksensor mit seinen
für die Erfindung wesentlichen Merkmalen in einer Schnittan
sicht dargestellt ist.
Der in der Zeichnung dargestellte Drucksensor 10 enthält ein
Halbleitersubstrat 12, das eine aktive Oberfläche 14 und eine
Rückseite 16 aufweist. In der Rückseite 16 ist eine Ausneh
mung 18 so gebildet, daß eine an die aktive Oberfläche 14
angrenzende Membran 20 gebildet wird, die von dicken Randbe
reichen 22, 24 umgeben ist.
In der aktiven Oberfläche 14 sind integrierte Bauelemente,
beispielsweise integrierte Widerstände 26, 28 gebildet, die
bei einer Verformung der Membran 20 ebenfalls eine mechani
sche Formänderung erleiden und dabei einen ihrer elektrischen
Parameter, im angegebenen Beispiel ihren Widerstandswert,
ändern.
Die Zu- und Ableitung elektrischer Signale zu den integrier
ten Bauelementen 26, 28 erfolgt mit Hilfe von Bonddrähten
30, 32.
Der Drucksensor 10 ist in einem Trägerelement 34 angebracht,
das mit einer Öffnung 36 versehen ist, deren Innenumfangsflä
che eine Stufe 38 aufweist. Der Drucksensor 10 ist dabei un
ter Zwischenfügung einer Elastomerdichtung 40 auf die Stufe
38 des Trägerelements 34 aufgeklebt. Die Klebewirkung kommt
dabei durch die zwischen den beteiligten Materialien wirksame
Adhäsionskraft zustande. Als Material für die Elastomerdich
tung kann beispielsweise Siliconkautschuk, Butylkautschuk
oder auch Nitrilkautschuk verwendet werden. Jedes andere Ma
terial mit vergleichbaren Eigenschaften kann natürlich zum
Einsatz kommen.
Das Trägerelement 34 ist seinerseits in einem Gehäuse 42 be
festigt, das eine Öffnung 44 zur Einleitung des zu messenden
Drucks aufweist. Wie in der Zeichnung zu erkennen ist, wirkt
der Druck auf die zur Rückseite des Drucksensors 10 gewandte
Fläche der Membran 20. Dies hat die Wirkung, daß der einwir
kende Druck eine Kraft erzeugt, die die Dichtwirkung der Ela
stomerdichtung 40 um so mehr verstärkt, je höher der Druck
ist. Der Drucksensor 10 kann aufgrund seiner speziellen Befe
stigung daher für hohe Drücke eingesetzt werden.
Zur mechanischen Entkoppelung zwischen dem Trägerelement 34
und dem Drucksensor 10 kann in der aktiven Oberfläche des
Substrats 12 in dem Bereich zwischen der Membran 20 und dem
Verbindungsbereich mit dem Trägerelement 34 eine die Membran
umgebende Vertiefung 46 angebracht sein. Mechanische Verfor
mungen, die aufgrund von Temperaturänderungen im Trägerele
ment hervorgerufen werden, werden auf diese Weise daran ge
hindert, Verformungen der Membran 20 hervorzurufen, die eine
Verfälschung des Meßergebnisses zur Folge hätten. Diese zu
sätzlich zur Verwendung der Elastomerdichtung 40 wirksame
mechanische Entkoppelung ermöglicht hysteresefreie Meßergeb
nisse, die sehr weitgehend frei von Temperatureinflüssen sind.
Falls eine weitere mechanische Entkoppelung wünschenswert
ist, können auch mehrere Vertiefungen nach Art der Vertiefung
46 in den dicken Randbereichen 22, 24 des Substrats angebracht
werden. Auch die Anbringung solcher Vertiefungen von der Rück
seite des Substrats 12 her ist möglich.
In der Zeichnung ist der Drucksensor 10 nur schematisch dar
gestellt; wie elektrische Signale zu- und abgeleitet werden
muß nicht besonders dargestellt werden, da dies für die Erfin
dung unwesentlich ist.
Claims (3)
1. Mit einem Trägerelement verbundener Halbleiter-Drucksen
sor mit einem Substrat aus Halbleitermaterial, das eine akti
ve Oberfläche zur Aufnahme integrierter Bauelemente und eine
Rückseite aufweist, in der zur Erzeugung einer an die aktive
Oberfläche angrenzenden, dem zu messenden Druck ausgesetzten
Membran eine von dicken Randbereichen umgebene Ausnehmung ge
bildet ist, wobei auf der aktiven Oberfläche integrierte Bau
elemente vorgesehen sind, die unter dem Einfluß mechanischer
Verformungen der Membran einen ihrer elektrischen Parameter
ändern, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (12) an den
die Membran (20) umgebenden Bereichen der aktiven Oberfläche
(14) unter Verwendung einer Elastomerdichtung (40) mit dem
Trägerelement (34) verbunden ist und daß die Membran (20) von
der Rückseite (16) des Substrats (12) her mit einer Zulei
tung (44) für den zu messenden Druck in Verbindung steht.
2. Halbleiter-Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß im Bereich zwischen der Membran (20) und dem
Verbindungsbereich zwischen dem Substrat (12) und dem Träger
element (34) in der aktiven Oberfläche (14) des Substrats
(12) Vertiefungen (46) zur Erzielung einer mechanischen Ent
koppelung zwischen der Membran (20) und dem Trägerelement
(34) angebracht sind.
3. Halbleiter-Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Elastomerdichtung (40) aus Silicon
kautschuk, Butylkautschuk oder Nitrilkautschuk besteht.
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