DE3783552T2 - Magneto-optisches informationswiedergabegeraet. - Google Patents

Magneto-optisches informationswiedergabegeraet.

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DE3783552T2 DE8787309127T DE3783552T DE3783552T2 DE 3783552 T2 DE3783552 T2 DE 3783552T2 DE 8787309127 T DE8787309127 T DE 8787309127T DE 3783552 T DE3783552 T DE 3783552T DE 3783552 T2 DE3783552 T2 DE 3783552T2
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10532Heads
    • G11B11/10541Heads for reproducing
    • G11B11/10543Heads for reproducing using optical beam of radiation

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein magnetooptisches Informationswiedergabegerät, das den magnetooptischen Effekt zum Reproduzieren von magnetisch auf einem Aufzeichnungsträger aufgezeichneten Informationen benutzt.
  • Verwandter Stand der Technik
  • In den letzten Jahren wurden optische Speicher für das Aufzeichnen und Reproduzieren mit einem Laserstrahl intensiv untersucht und für den praktischen Einsatz als Speicher zur Aufzeichnung in hoher Dichte entwickelt. Von diesen wurden für das Löschen und Neubeschriften geeignete magneto-optische Platten als vielversprechend angesehen, zusammen mit ausschließlich der Wiedergabe dienenden optischen Platten, typischerweise Kompaktplatten, und optischen Platten für das unmittelbare Lesen nach dem Schreiben (DRAW). Magneto-optische Platten sind derart beschaffen, daß Informationen auf magnetische Weise durch Nutzung des durch Aufbringen eines Laserstrahlenpunktes verursachten örtlichen Temperaturanstiegs eines magnetischen Dünnfilmes aufgezeichnet werden, und die Informationen durch den magneto-optischen Effekt (insbesondere den Kerr-Effekt) reproduziert werden. Der Kerr-Effekt ist die Erscheinung, daß bei der Reflexion von Licht durch einen magnetischen Aufzeichnungsträger die Polarisationsebene gedreht wird.
  • Der grundlegende Aufbau eines dem Stand der Technik entsprechenden magneto-optischen Plattengerätes ist in Fig. 1 der beiliegenden Zeichnungen gezeigt. In Fig. 1 bezeichnen: 1 einen Halbleiterlaser, 2 eine Kollimator linse, 11 und 20 halbdurchlässige Spiegel, 4 ein Objektiv, 6 einen magneto-optischen Aufzeichnungsträger, 7&sub1; und 7&sub2; Analysatoren, 8 einen Kondensor und 9&sub1; und 9&sub2; Photodetektoren. Die Richtung der P-Polarisation ist parallel zur Zeichnungsebene und die Richtung der S-Polarisation ist senkrecht zur Zeichnungsebene.
  • Nun soll ein Fall beschrieben werden, bei dem in einem solchen Gerät magneto-optische Informationen reproduziert werden. Vom Halbleiterlaser 1 als in Richtung der P-Polarisation geradlinig polarisiertes Licht ausgesendete Lichtstrahlen werden von der Kollimatorlinse 2 parallel gerichtet und durch den halbdurchlässigen Spiegel 11 hindurchgeleitet. Falls der Amplitudendurchlaßgrad für die P-polarisierte Komponente tp ist und der Amplitudendurchlaßgrad für die S-polarisierte Komponente ts ist, gilt tp ² = ts ² = 0.5 für den halbdurchlässigen Spiegel 11. Das Lichtstrahlenbündel wird durch das Objektiv 4 als winzigen Punkt auf den magnetooptischen Aufzeichnungsträger 6 abgebildet. Wenn ein magnetischer Abschnitt (Grübchen) auf dem Träger 6 vorgeformt ist, wird gemäß Fig. 2 der beiliegenden Zeichnungen das vom Träger 6 reflektierte Licht durch den Kerr-Effekt einer Drehung der Polarisationsebene um ± Rk unterworfen, je nachdem, ob die Magnetisierungsrichtung der mit dem Lichtpunkt bestrahlten Fläche nach oben oder nach unten zeigt. Wenn hierbei R die P-polarisierte Komponente des Amplitudenreflexionsvermögens des Aufzeichnungsträgers 6 ist und K die S-polarisierte Komponente, läßt sich folgende Gleichung aufstellen:
  • Das magneto-optisch modulierte reflektierte Licht wird durch das Objektiv 4 wieder parallel gerichtet und vom halbdurchlässigen Spiegel 11 reflektiert, worauf es durch den Kondensor 8 zu einem konvergenten Lichtstrahlenbündel gemacht und vom halbdurchlässigen Spiegel 20 geteilt wird, und die Lichtstrahlen passieren nach der Teilung jeweils die Analysatoren 7&sub1; und 7&sub2; und werden durch die Photodetektoren 9&sub1; und 9&sub2; als hinsichtlich der Intensität modulierte Lichtstrahlenbündel erfaßt. Das heißt, gemäß Fig. 2 ist der Winkel zwischen der optischen Achse des Analysators und der P-Polarisationsrichtung ± RA, je nachdem, ob es sich um den Analysator auf der Durchlaßseite oder der Reflexionsseite handelt, und die Lichtstrahlen werden als reguläre Projektion der Amplitude derselben auf die optische Achse des Analysators untersucht.
  • In Anbetracht der Tatsache, daß der Kerr-Drehungswinkel von der Größenordnung 10 ist und daß das Ausmaß der magneto-optisch modulierten Komponente äußerst gering ist, ist es nötig, den Azimuthwinkel RA der optischen Achse des Analysators so in eine optimale Lage einzustellen, daß das C/N-Verhältnis (das Verhältnis zwischen der Trägerwelle und dem Rauschen) des erfaßten Signals maximal wird. Beispielsweise ist in dem am 4. Februar 1986 erteilten US-Patent 4 569 035 ein Beispiel für ein Gerät dargestellt, in dem als Photodetektor eine Lawinen-Photodiode (APD) oder dergleichen mit Vervielfachungsfunktion verwendet wird, wobei der Azimuth der Durchlaßachse (der optischen Achse) des Analysators optimiert ist. Andererseits wurde in einem Gerät, in dem eine PIN-Photodiode oder dergleichen ohne Vervielfachungsfunktion als Photodetektor verwendet wird, der Azimuthwinkel RA der optischen Achse des Analysators auf 45º eingestellt, so daß das Signallicht maximal wird. Ist der Kerr-Drehungswinkel +Rk, dann ist, wenn die auf den Aufzeichnungsträger auftreffende Lichtmenge I&sub0; ist, die durch den Analysator hindurchgehende und auf den Photodetektor treffende Lichtmenge für die Durchlaßseite einerseits und für die Reflexionsseite andererseits gegeben durch:
  • Durchlaßseite: It = 1/4 I&sub0; ( R cos 45º) + K sin 45º)²
  • Reflexionsseite: Ir = 1/4 I&sub0; ( R cos 45º) - K sin 45º)²
  • Da Rk 1º, ergibt sich R ² » K ² und daher kann Gleichung (2) folgendermaßen ausgedrückt werden:
  • It = 1/8 I&sub0; ( R ² + 2 R K )
  • Ir = 1/8 I&sub0; ( R ² + 2 R K )
  • In Gleichung (3) ist der zweite Term in der Klammer die magneto-optisch modulierte Komponente und der erste Term in der Klammer ist die unmodulierte Komponente. Das Licht wird jeweils durch die Photodetektoren 9&sub1; und 9&sub2; photoelektrisch umgewandelt und dann durch eine nicht gezeigte Differenzschaltung unter Differenzbildung erfaßt, wodurch ein magneto-optisches Signal erhalten wird. Wenn jedoch das dem Erfassungssignal überlagerte Rauschen in Betracht gezogen wird, ist mit RA = 45º nicht immer ein maximales C/N zu erzielen.
  • Andererseits wird in dem am 24. Dezember 1985 erteilten US-Patent 4 561 032 ein magneto-optisches Wiedergabegerät vorgeschlagen, das an Stelle des in Fig. 1 gezeigten halbdurchlässigen Spiegels 11 einen polarisierenden Strahlenteiler verwendet, um das C/N-Verhältnis des vorangehend genannten Wiedergabesignals zu verbessern. Ferner wird in dem am 10. Dezember 1985 erteilten US-Patent 4 558 440 ein Beispiel offenbart, bei dem die Polarisiercharakteristik dieses polarisierenden Strahlenteilers so eingestellt ist, daß C/N maximal ist. Jedoch ist auch bei diesen Beispielen der Azimuthwinkel der optischen Achse des Analysators auf 45º festgelegt und eine Optimierung dieses Azimuthwinkels sowie ein bestimmtes Verfahren hierfür sind mit keinem Wort erwähnt.
  • Das in Fig. 1 der vorliegenden Anmeldung gezeigte Gerät ist, zum Beispiel, in dem US-Patent 4 451 863 offenbart.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist Aufgabe der Erfindung den vorangehend beschriebenen Stand der Technik weiter zu verbessern und ein magneto-optisches Informationswiedergabegerät zu schaffen, das von einfachem Aufbau und geeignet ist, unter Verwendung eines preisgünstigen Photodetektors, wie einer PIN-Photodiode ohne Verstärkungsfunktion, hinsichtlich des C/N-Verhältnisses gute Signale zu reproduzieren.
  • Diese Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch Gestalten eines magneto-optischen Informationswiedergabegeräts mit einer Vorrichtung, die in einer vorbestimmten Richtung polarisierte Lichtstrahlen auf einen Aufzeichnungsträger richtet, auf dem Informationen magnetisch aufgezeichnet sind, einer Vorrichtung zum Teilen des von dem Aufzeichnungsträger reflektierten oder durchgelassenen Lichtstrahlenbündels, das durch den magneto-optischen Effekt in Übereinstimmung mit den Informationen in einen Polarisationszustand moduliert ist, einem Paar Analysatorvorrichtungen, deren optische Achsen gegenüber der vorbestimmten Richtung in entgegengesetzte Richtungen geneigt sind, zum Analysieren der aus der Teilung hervorgegangenen Lichtstrahlenbündel, einem Paar Photodetektoren ohne Verstärkungsfunktion zur photoelektrischen Erfassung der von den Analysatorvorrichtungen durchgelassenen Lichtstrahlen und einer Signalverarbeitungseinrichtung zur Verstärkung der Detektorsignale des Paares von Photodetektoren, zur Subtraktion der Signale voneinander und zur Wiedergabe der Informationen, wobei das Wiedergabegerät dadurch charakterisiert ist, daß der von den optischen Achsen der Analysatorvorrichtungen und der vorbestimmten Richtung gebildete Winkel RA folgende Bedingungen erfüllt:
  • wobei I&sub0; die Lichtmenge des auf den Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtstrahlenbündels, R das Amplitudenreflexionsvermögen des Aufzeichnungsträgers, ε der Wirkungsgrad der Lichtausnutzung durch das optische System vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren mit Ausnahme der Analysatorvorrichtungen, κ der Wirkungsgrad der photoelektrischen Umwandlung der Photodetektoren, e die Ladungsmenge, S das Schrotrauschen der Photodetektoren, T das thermische Rauschen der Verstärkereinrichtung bei einer magneto-optischen Signalaufnahmefrequenz, ΔB die Bandbreite der magneto-optischen Signalaufnahmefrequenz, tA der Amplitudendurchlaßgrad der Analysatorvorrichtungen und ηA das Extinktionsverhältnis der Analysatorvorrichtungen sind.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 zeigt schematisch ein Beispiel für ein magnetooptisches Informationswiedergabegerät nach dem Stand der Technik.
  • Fig. 2 veranschaulicht das Prinzip der üblichen magnetooptischen Signalerfassung.
  • Fig. 3 zeigt schematisch ein einem Ausführungsbeispiel der Erfindung entsprechendes optisches System.
  • Fig. 4 zeigt schematisch ein zu dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel gehörendes Signalverarbeitungssystem.
  • Fig. 5 und 6 zeigen schematisch weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung.
  • Fig. 7 zeigt den Polarisationszustand des von einem magneto-optischen Aufzeichnungsträger reflektierten Lichts.
  • Fig. 8 und 9 sind graphische Darstellungen, die den Zusammenhang zwischen der Polarisiercharakteristik eines polarisierenden Strahlenteilers der Erfindung und C/N zeigen.
  • Fig. 10A und 10B zeigen schematisch noch ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Im folgenden soll die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben werden.
  • Die Fig. 3 und 4 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen magneto-optischen Informationswiedergabegerätes und etwas spezieller zeigt Fig. 3 den Aufbau eines optischen Systems und zeigt Fig. 4 schematisch den Aufbau einer Signalverarbeitungsschaltung. In Fig. 3 bezeichnen: 21 einen Halbleiterlaser, 22 eine Kollimatorlinse, 12 einen polarisierenden Strahlenteiler, 24 eine Objektivlinse, 26 einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger, 27&sub1; und 27&sub2; Analysatoren, 28 einen Kondensor, 29&sub1; und 29&sub2; Photodetektoren, wie zum Beispiel PIN-Photodioden ohne Verstärkungsfunktion, und 30 einen halbdurchlässigen Spiegel. Die P-Polarisationsrichtung ist parallel zur Zeichnungsebene und die S-Polarisationsrichtung ist senkrecht zur Zeichnungsebene. Die Bezugsnummern 13 und 14 bezeichnen durch die Analysatoren 27&sub1; und 27&sub2; durchgelassene Lichtstrahlenbündel. Die erfaßten Lichtstrahlenbündel 13 und 14 werden durch die Photodetektoren 29&sub1; und 29&sub2; photoelektrisch umgesetzt und gemäß Fig. 4 durch Verstärker 15&sub1; und 15&sub2; mit Lastwiderständen 16&sub1; und 16&sub2; hinsichtlich der Spannung verstärkt, worauf sie durch einen Differenzverstärker 18 voneinander subtrahiert werden und das Ergebnis als Wiedergabesignal aus einem Anschluß 14 ausgegeben wird.
  • In dem vorstehend beschriebenen Gerät sendet der Halbleiterlaser 21 P-polarisierte Lichtstrahlen aus. Diese ausgesendeten Lichtstrahlen werden durch die Kollimatorlinse 22 parallel gerichtet, durch den polarisierenden Strahlenteiler durchgelassen und durch die Objektivlinse 24 in Form eines Lichtpunktes der Intensität I&sub0; auf den Aufzeichnungsträger 26 aufgebracht. Die vom Aufzeichnungsträger 26 reflektierten Lichtstrahlen werden in Übereinstimmung mit den auf magnetische Weise auf dem Aufzeichnungsträger 26 aufgezeichneten Informationen in einen Polarisationszustand moduliert, passieren wieder die Objektivlinse 24, werden vom polarisierenden Strahlenteiler 12 reflektiert, durch den Kondensor 28 zu einem konvergenten Strahlenbündel gemacht und auf den halbdurchlässigen Spiegel 30 gerichtet. Das vom halbdurchlässigen Spiegel 30 reflektierte Lichtstrahlenbündel und das durch den Spiegel durchgelassene Lichtstrahlenbündel treten durch die jeweiligen Analysatoren 27&sub1; und 27&sub2; hindurch, wodurch sie hinsichtlich ihrer Intensität moduliert werden, und werden durch die Photodetektoren 29&sub1; und 29&sub2; aufgenommen. Wenn der Amplitudendurchlaßgrad des polarisierenden Strahlenteilers für P-polarisiertes Licht tp und für S-polarisiertes Licht ts ist und das Amplitudenreflexionsvermögen des polarisierenden Strahlenteilers für P-polarisiertes Licht rp und für S-polarisiertes Licht rs ist, können die Intensitäten It und Ir der erfaßten Lichtstrahlenbündel 13 und 14 für den Fall eines Kerr-Drehungswinkel von +Rk folgendermaßen ausgedrückt werden:
  • Unter Beachtung von R ² » K ² läßt sich Gleichung (4) folgendermaßen ausdrücken:
  • In dem Ausdruck (5) ist der zweite Term in der Klammer die magneto-optisch modulierte Komponente und der erste Term in der Klammer ist die unmodulierte Komponente. Wenn diese unter Differenzbildung durch die in Fig. 4 gezeigte Schaltung erfaßt werden, hebt sich der erste Term auf und der nur von der magneto-optisch modulierten Komponente herrührende Photostrom idiff ist gegeben durch:
  • Wenn der Kerr-Drehungswinkel Rk ist, lautet Gl. (6)
  • und es wird ein magneto-optisch moduliertes Signal erhalten. κ bedeutet hierbei den photoelektrischen Wandlerwirkungsgrad und ist durch folgende Gleichung gegeben:
  • wobei e die Ladungsmenge, h die Plancksche Konstante, φ der Quantenwirkungsgrad der Photodetektoren und ν die Schwingungsfrequenz der Lichtstrahlen ist. Die Intensität der magneto-optisch modulierten Komponente IK und die Intensität der unmodulierten Komponente IR lassen sich wie folgt ausdrücken:
  • Es ist anzumerken, daß die Ausgangsleistung des Halbleiterlasers unabhängig vom Amplitudendurchlaßgrad tp bzw. ts des polarisierenden Strahlenteilers eingestellt ist, so daß die Menge des einfallenden Lichts I&sub0; eine vorbestimmte Größe ist.
  • Bei der Erfindung wurde, als Ergebnis vieler experimenteller Untersuchungen über das dem Erfassungssignal überlagerte Rauschen, herausgefunden, daß es die folgenden vier Arten von Rauschen gibt und daß sie verschiedene Abhängigkeiten vom Azimuthwinkel RA der Analysatoren aufweisen.
  • 1) Das Rauschen, das der quadratischen mittleren Intensitätsschwankung ΔIR² einer unmodulierten Lichtkomponente IR zuzuschreiben ist;
  • 2) das Rauschen, das der quadratischen mittleren Intensitätsschwankung ΔIK² einer modulierten Lichtkomponente IK zuzuschreiben ist;
  • 3) das Schrotrauschen der Photodetektoren und
  • 4) das thermische Rauschen durch die Verstärker.
  • Von diesen wird das vorstehend unter Punkt 1) genannte Rauschen ΔIR² durch das Erfassen mit Differenzbildung ausgeschaltet, aber das jeweils unter den Punkten 2), 3) und 4) genannte Rauschen bleibt und insbesondere das thermische Rauschen verdoppelt sich wegen der Verwendung zweier Verstärker.
  • Das Rauschen ΔIK² wird durch die Oberflächenrauhigkeit und die Ungleichmäßigkeit des Aufzeichnungsträgers und Intensitätsschwankungen des Halbleiterlasers verursacht und, wenn die durch diese Rauschquellen bestimmte Konstante ξ ist und der Mittelwert der tatsächlichen Effektivwerte der modulierten Komponente ist, läßt sich folgende Gleichung aufstellen:
  • wobei ΔB die Bandbreite des erfaßten Signals ist. Das ΔIK² zuschreibbare Rauschen FK, das Schrotrauschen S und das thermische Rauschen T lassen sich wie folgt ausdrücken:
  • wobei der Mittelwert der unmodulierten Komponente, k die Boltzmann-Konstante, Te die äquivalente Rauschtemperatur und Rf der Widerstandswert der Lastwiderstände 16&sub1; und 16&sub2; sind. Aus den Ausdrücken (8) und (9) ergibt sich für die Intensität IK der magneto-optisch modulierten Komponente eine Abhängigkeit vom Azimuthwinkel RA der optischen Achsen der Analysatoren von sin 2RA und für die Intensität IR der unmodulierten Komponente eine Abhängigkeit von cos²RA und deshalb lassen sich die RA-Abhängigkeiten der jeweiligen Rauscharten folgendermaßen ausdrücken:
  • Durch Anwenden dieser Gleichungen kann C/N in Dezibel folgendermaßen ausgedrückt werden:
  • Das C/N-Verhältnis aus Gleichung (17) ist eine Funktion des Amplitudenreflexionsvermögens rp und des Amplitudenreflexionsvermögens rs des polarisierenden Strahlenteilers und des Winkels RA, den die optischen Achsen der Analysatoren jeweils mit der P-Polarisationsrichtung einschließen, und deshalb ist die Gleichung (17) nach rp , rs und RA abzuleiten, um den Extremwert wie folgt zu finden:
  • Der in bezug auf rp ² erhaltene Extremwert lautet
  • und der in bezug auf rs ² erhaltene Extremwert lautet
  • und der in bezug auf RA erhaltene Extremwert lautet
  • Wenn unter Verwendung eines polarisierenden Strahlenteilers mit einer den Gleichungen (18) mit (22) genügenden Polarisiercharakteristik die optischen Achsen der Analysatoren im Verhältnis zur P-Polarisationsrichtung geneigt werden, läßt sich für C/N ein Maximalwert erreichen. Jedoch ist in Gleichung (18) das einfallende Licht P-polarisiert und deshalb ist dieser Ausdruck in Wirklichkeit nicht möglich und es muß ein passender Wert bestimmt werden.
  • Fig. 5 zeigt schematisch den Aufbau eines einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung entsprechenden optischen Systems. Dieses Ausführungsbeispiel ist eine Abwandlung des vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsbeispiels, wobei die durch den polarisierenden Strahlenteiler 12 durchgelassenen Lichtstrahlen erfaßt werden können. In Fig. 5 haben Bauteile, die denen in Fig. 3 gleichartig sind, gleiche Bezugsnummern erhalten und brauchen nicht im einzelnen beschrieben werden. Die Signalverarbeitungsschaltung kann der nach Fig. 4 gleichartig sein.
  • Für die Behandlung des vorliegenden Ausführungsbeispiels kann für die Polarisationsrichtung des Halbleiterlasers 21 die zur Zeichnungsebene senkrechte S-Polarisationsrichtung angesetzt werden und die bei der Beschreibung von Fig. 3 benutzten Richtungen der P-Polarisation und der S-Polarisation können miteinander vertauscht werden. Jedoch müssen in den Gleichungen (4) bis (10) rp und rs jeweils durch ts und tp ersetzt werden. Das heißt
  • Das C/N-Verhältnis aus Gleichung (17) ist eine Funktion des Amplitudendurchlaßgrades ts und des Amplitudendurchlaßgrades tp des polarisierenden Strahlenteilers und der Neigung RA der optischen Achsen der Analysatoren gegenüber der S-Polarisationsrichtung und deshalb ist, um den Extremwert zu finden, Gleichung (17) nach ts , tp und RA abzuleiten. Der in bezug auf ts ² erhaltene Extremwert lautet
  • und der in bezug auf tp ² erhaltene Extremwert lautet
  • und der in bezug auf RA erhaltene Extremwert lautet
  • Wenn unter Verwendung eines polarisierenden Strahlenteilers mit einer den Gleichungen (25) mit (29) genügenden Polarisiercharakteristik die optischen Achsen der Analysatoren im Verhältnis zur S-Polarisationsrichtung geneigt werden, läßt sich für C/N ein Maximalwert erreichen. Jedoch ist in Gleichung (26) das einfallende Licht S-polarisiert und deshalb ist dieser Ausdruck in Wirklichkeit nicht möglich und es muß ein passender Wert bestimmt werden.
  • Fig. 6 zeigt schematisch ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung. In Fig. 6 haben Bauteile, die denen in Fig. 3 gleichartig sind, gleiche Bezugsnummern erhalten und brauchen nicht im einzelnen beschrieben werden. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist das den Photodetektoren 29 nachgeschaltete Signalverarbeitungssystem wie in Fig. 4 gestaltet.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird an Stelle des polarisierenden Strahlenteilers 12 des ersten Ausführungsbeispiels ein polarisierender Strahlenteiler 23 mit Strahlenformungsfunktion verwendet. Dadurch kann das Lichtstrahlenbündel des Halbleiterlasers 21 mit einem elliptischen Fernfeldbild wirkungsvoll als kreisförmiger Punkt auf dem Aufzeichnungsträger 26 abgebildet werden. Eine Fläche a des polarisierenden Strahlenteilers 23 ist unter einem vorbestimmten Winkel so geneigt, daß kein Streulicht auf die Photodetektoren 29 fällt. Auf dem Aufzeichnungsträger 26 sind (nicht gezeigte) Nachführrillen in einer zur Zeichnungsebene senkrechten Richtung ausgebildet und das durch die Objektivlinse 24 auf den Aufzeichnungsträger 26 gebündelte Licht wird durch diese Rillen gebeugt. Die Bezugsnummer 25 bezeichnet einen Photodetektor zum Erfassen einer durch Spurabweichung verursachten Unausgeglichenheit von gebeugtem Licht der Ordnung ± 1. Der Photodetektor 25 ist an dem Rand einer Öffnung in der Objektivlinse 24 befestigt. Das hat den Vorteil, daß hinsichtlich des Nachführfehlersignals selbst dann keine Versetzung hervorgerufen wird, wenn die Objektivlinse 24 in einer zu den Nachführrillen senkrechten Richtung bewegt wird.
  • Die Photodetektoren 29 sind Photodetektoren ohne Verstärkungsfunktion, wie etwa Si-PIN-Photodioden, und bewirken das Erfassen eines magneto-optischen Signals und eines Fokussierfehlersignals. Für das Erfassen des Fokussierfehlers wird ein herkömmliches Verfahren benutzt, aber es steht in keinem direkten Zusammenhang mit der Erfindung und braucht daher nicht ausführlich beschrieben werden.
  • Bei der Beschreibung von Fig. 3 wurde die Verringerung des Signalpegels als nicht durch den Aufzeichnungsträger und das optische System verursacht beschrieben, aber sie muß bei einer genauen Vorhersage des C/N-Verhältnisses in dem tatsächlichen optischen System in Betracht gezogen werden. Folgende zwei Punkte lassen sich als Ursachen der Verringerung des Signalpegels ausmachen:
  • (I) Lichtmengenverlust (Verringerung der Amplitude durch Absorption und Abdeckung) und
  • (II) die Phasendifferenz zwischen dem P-polarisierten Licht und dem S-polarisierten Licht.
  • (I) und (II) tragen zur Verringerung der Intensität der magneto-optisch modulierten Komponente bei, und (I) allein trägt zur Verringerung der Intensität der unmodulierten Komponente bei. Zum Bewerten der Verringerung der Intensität der magneto-optisch nicht modulierten Komponente (des Lichtmengenverlustes), wird der Lichtnutzungswirkungsgrad εR definiert. Es ist anzumerken, daß bei der Erfindung dem Verhältnis zwischen der Lichtmenge auf dem Aufzeichnungsträger und der die Photodetektoren erreichenden Lichtmenge als dem Lichtnutzungswirkungsgrad Aufmerksamkeit geschenkt wird. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wurden beim Ermitteln von εR folgende Punkte in Betracht gezogen:
  • (A) Die Rate, mit der das von den Nachführrillen (Teilungsabstand 1,6 um, Tiefe λ/8, λ = 835 nm) gebeugte Licht auf die Eintrittspupille der Objektivlinse trifft, wird als der Lichtnutzungswirkungsgrad betrachtet; und
  • (B) bei Berücksichtigung des entlang des optischen Weges gebildeten Produkts aus den Quadraten der für die P-Polarisationsrichtung geltenden Amplitudendurchlaßgrade (bzw. -reflexionsgrade) von n optischen Elementen des vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren führenden optischen Weges mit Ausnahme des polarisierenden Strahlenteilers und der Analysatoren wird der Lichtnutzungswirkungsgrad ε&sub1; definiert. Wenn der Amplitudendurchlaßgrad und das -reflexionsvermögen des i-ten optischen Elements tpi und rpi sind, läßt sich ε&sub1; wie folgt ausdrücken:
  • In Gleichung (30) ist für diejenigen optischen Elemente, an denen die Lichtstrahlen reflektiert werden, tpi ² durch rpi ² zu ersetzen. Die Polarisiercharakteristik rp ² des polarisierenden Strahlenteilers und die Durchlässigkeit der Analysatoren werden bei der Berechnung von C/N als variable Größen gehandhabt und werden deshalb von ε&sub1; ausgenommen. Gemäß (A) und (B) läßt sich der Lichtnutzungswirkungsgrad εR der magneto-optisch nicht modulierten Komponente folgendermaßen schreiben:
  • Nun wird die Verringerung der Intensität der magnetooptisch modulierten Komponente betrachtet. Zu diesem Zweck muß zusätzlich zum Lichtmengenverlust die Phasendifferenz zwischen dem P-polarisierten Licht und dem S-polarisierten Licht berücksichtigt werden. Es ist zum Beispiel bekannt, daß das vom Aufzeichnungsträger reflektierte Licht gemäß Fig. 7 im allgemeinen nicht, wie in Fig. 2 gezeigt, geradlinig polarisiertes Licht ist, sondern auf Grund der zwischen der P-polarisierten Komponente und der S-polarisierten Komponente erzeugten Phasendifferenz elliptisch polarisiertes Licht ist, dessen Hauptachse um den Kerr-Drehungswinkel Rk geneigt ist. Das heißt, die P- und S-polarisierten Komponenten R und K des Amplitudenreflexionsgrades des Aufzeichnungsträgers lassen sich folgendermaßen ausdrücken:
  • wobei α&sub0; und β&sub0; die Phasenkomponenten der jeweiligen Amplitudenreflexionsgrade sind. In diesem Fall läßt sich der Kerr-Drehungswinkel Rk wie folgt ausdrücken:
  • Für Δ&sub0; = nπ (n = ganze Zahl) ist das vom Aufzeichnungsträger reflektierte Licht geradlinig polarisiert, anderenfalls hingegen wird Rk vermindert, was nicht wünschenswert ist.
  • Dies gilt auch für die optischen Elemente und für das vorliegende Ausführungsbeispiel wird zur Bewertung der Verringerung der Intensität der magneto-optisch modulierten Komponente der Lichtnutzungswirkungsgrad εK definiert und bei der Ermittlung von εK wurde folgender Punkt beachtet.
  • Für die magneto-optisch modulierte Komponente wird bei Berücksichtigung des entlang des optischen Weges gebildeten Produkts aus den für die P- und S-Polarisationsrichtung geltenden Amplitudendurchlaßgraden (bzw. -reflexionsgraden) von n optischen Elementen des vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren führenden optischen Weges mit Ausnahme des polarisierenden Strahlenteilers und der Analysatoren der Lichtnutzungswirkungsgrad ε&sub2; definiert. Wenn der Amplitudendurchlaßgrad des i-ten optischen Elementes für die P-Polarisationsrichtung tpi und für die S-Polarisationsrichtung tsi (im Falle des Reflexionsgrades rpi bzw. rsi) ist, lassen sich folgende Gleichungen aufstellen:
  • Unter Ausnutzung von Gleichung (34) läßt sich folgendermaßen schreiben:
  • In Gleichung (35) ist für die optischen Elemente, an denen die Lichtstrahlen reflektiert werden, tpi tsi durch rpi rsi zu ersetzen.
  • Die Polarisiercharakteristik des polarisierenden Strahlenteilers und die Durchlässigkeit der Analysatoren werden bei der Berechnung von C/N als variable Größen gehandhabt und werden deshalb von ε&sub2; ausgenommen.
  • Daher wird der Lichtnutzungswirkungsgrad εK der magnetooptisch modulierten Komponente wie folgt ausgedrückt
  • Was den polarisierenden Strahlenteiler betrifft, so gilt, wenn der Amplitudenreflexionsgrad für die P-Polarisationsrichtung rp und für die S-Polarisationsrichtung rs ist, folgende Beziehung
  • wobei γ und σ die Phasenkomponenten der jeweiligen Amplitudenreflexionsgrade sind. Eine genauere Bewertung wird auch für die Analysatoren durchgeführt. Bei einer Betrachtung der Analysatoren ist, wenn der Amplitudendurchlaßgrad eines jeden Analysators tA und das Extinktionsverhältnis ηA sind, in Gleichung (4) cos RA durch tA ·(cos RA + ηA sin RA) und sin RA durch tA ·(sin RA + ηA cos RA) zu ersetzen. Da R ² » K ² ist, ergibt sich die Intensität der magneto-optisch modulierten Komponente aus dem Produkt aus εK und der durch folgende Gleichung gegebenen Durchlässigkeit ε&sub3; des Analysators:
  • Es ist jedoch zu verstehen, daß bei den Analysatoren der Amplitudendurchlaßgrad zwischen der Richtung der P-polarisierten Komponente und der Richtung der S-polarisierten Komponente gleich ist und keine Phasendifferenz zwischen dem P-polarisierten Licht und dem S-polarisierten Licht verursacht.
  • Für die magneto-optisch nicht modulierte Komponente ist das Produkt aus εR und der durch die folgende Gleichung gegebenen Durchlässigkeit ε&sub4; der Analysatoren zu bilden:
  • Daher lassen sich die Intensität I der magneto-optisch modulierten Komponente und die Intensität IR der magnetooptisch nicht modulierten Komponente folgendermaßen ausdrücken:
  • Durch Einsetzen der Ausdrücke (40) und (41) in Gleichung (17) lassen sich die Polarisiercharakteristik des polarisierenden Strahlenteilers, bei der C/N maximal wird, und der Winkel RA, den die optischen Achsen der Analysatoren jeweils mit der P-Polarisationsrichtung einschließen, folgendermaßen bestimmen:
  • Jedoch ist in Gleichung (43) das einfallende Licht P-polarisiert und deshalb ist diese Gleichung in Wirklichkeit nicht möglich und für das Ausführungsbeispiel muß ein passender Wert bestimmt werden.
  • Die Bedingungen für die Berechnung sind nachstehend aufgeführt.
  • Der Halbleiterlaser 21 hat eine Wellenlänge von λ = 835 nm und seine Ausgangsleistung ist unabhängig vom Durchlaßgrad tp ² des polarisierenden Strahlenteilers so eingestellt, daß die Menge -des auf den Aufzeichnungsträger 26 fallenden Lichts I&sub0; = 2·10&supmin;³ W ist.
  • Als Aufzeichnungsträger 26 wird GdTbFeCo verwendet, wofür R ² = 0,12, Rk = 0,74º gilt, und die Phasendifferenz zwischen den Phasenkomponenten α&sub0; und β&sub0; der Amplitudenreflexionsgrade für die P- und S-Polarisationsrichtung ist Δ&sub0; = 20º.
  • Der Lichtnutzungswirkungsgrad ε&sub0; ist ε&sub0; = 0,6, wenn das von den Nachführrillen (Teilungsabstand 1,6 um und Tiefe λ/8) gebeugte Licht von einer Objektivlinse mit der numerischen Apertur N.A. = 0,5 aufgenommen wird. Der Lichtnutzungswirkungsgrad ε&sub1; ist ε&sub1; = 0,79, wenn das Produkt der Durchlässigkeiten der auf dem vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren führenden optischen Weg liegenden optischen Elemente mit Ausnahme des polarisierenden Strahlenteilers und der Analysatoren berücksichtigt wird.
  • Was den Lichtnutzungswirkungsgrad ε&sub2; anbelangt, ist das Produkt der P- und S-Amplitudendurchlaßgrade der auf dem vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren führenden optischen Weg liegenden optischen Elemente mit Ausnahme des polarisierenden Strahlenteilers und der Analysatoren zu berücksichtigen. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist kein optisches Element vorhanden, das eine Phasendifferenz zwischen dem P-polarisierten Licht und dem S-polarisierten Licht erzeugt, wenn diese zueinander äquivalent sind und deshalb gilt
  • und ebenso tpi = tsi und deswegen ist ε&sub2; = 0,79.
  • Der Photodetektor 25 ist eine Si-Photodiode mit einem photoelektrischen Wandlerwirkungsgrad κ = 0,54. Die durch die Rauschquellen, wie zum Beispiel den Aufzeichnungsträger und den Halbleiterlaser, bestimmten Konstanten und sind wie folgt gegeben:
  • Ebenso ergibt sich mit der Boltzmann-Konstante k, die einen Wert von k = 1,38·10&supmin;²³ hat, der äquivalenten Rauschtemperatur Te mit einem Wert von Te = 300 [K], dem Lastwiderstand Rf je Verstärker mit einem Wert von Rf = 1·10&supmin;&sup5; [Ω] und der Signalerfassungsbandbreite ΔB mit einem Wert von ΔB = 3·10&sup4; [1/Hz] das thermische Rauschen T für zwei Verstärker zu t = 1·10&supmin;²&sup0;. In einigen Fällen kann das thermische Rauschen T in Abhängigkeit von der Kapazität oder dergleichen von den Photodetektoren nicht in so einfacher Form wie in Gleichung (14) dargestellt werden und deshalb muß T in solchen Fällen nicht dieser Form entsprechen.
  • Durchlässigkeit tA ² und Extinktionsverhältnis ηA der Analysatoren sind jeweils tA ² = 0,84 und ηA = 1·10&supmin;³. Nach Gleichung (42) liefert rp ² = 1 einen Maximalwert für C/N. Das stellt für den Fall eines optischen Systems, bei dem die durch den Aufzeichnungsträger durchgelassenen Lichtstrahlen erfaßt werden, kein Problem dar, während es für den Fall eines optischen Systems wie des vorliegenden Ausführungsbeispieles, bei dem die reflektierten Lichtstrahlen erfaßt werden, nicht realistisch ist. Fig. 8 zeigt die Abhängigkeit von C/N von der Polarisiercharakteristik rp ² des polarisierenden Strahlenteilers. C/N wurde für rs ² = 1 und für einen durch die Ausdrücke (44), (45) und (46) gegebenen Optimalwert des Winkels RA berechnet, den die optischen Achsen der Analysatoren jeweils mit der P-Polarisationsrichtung einschließen. Aus Fig. 8 ist ersichtlich, daß für rp ² > 0,2 nur eine leichte Verbesserung von C/N zu verzeichnen ist. Dementsprechend ist es bei Berücksichtigung des Nutzungswirkungsgrades der Ausgangsleistung des Halbleiterlasers nicht unbedingt vorteilhaft, wenn rp ² annähernd 1 ist. So wurde nach Untersuchen vieler Bedingungen neben den vorstehend genannten Bedingungen gefunden, daß ein ausreichend gutes C/N erzielt werden kann, wenn die Polarisiercharakteristik des polarisierenden Strahlenteilers den nachstehend angegebenen Wert annimmt.
  • Fig. 9 zeigt einen das C/N-Verhältnis betreffenden Vergleich des vorliegenden Ausführungsbeispiels mit einem herkömmlichen Gerät, das einen halbdurchlässigen Spiegel verwendet, wobei rp ² = 0,3 und rs ² = 1 gilt.
  • In Fig. 9 repräsentiert die Ordinate C/N und die Abszisse repräsentiert RA. Bei dem Ausführungsbeispiel (durchgezogene Linie) wird C/N für RA = 61º maximal und im Vergleich zu dem herkömmlichen Gerät (strichpunktierte Linie), das einen halbdurchlässigen Spiegel verwendet und bei dem die Signalerfassung bei RA = 45º erfolgt, ist das Ausführungsbeispiel hinsichtlich C/N um 4 dB verbessert. Bei der Verwendung eines halbdurchlässigen Spiegels ergibt sich für RA = 65º ein maximales C/N, aber bei dem Ausführungsbeispiel ist C/N noch um 2 dB besser.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel läßt sich verglichen mit dem herkömmlichen Gerät, das einen halbdurchlässigen Spiegel verwendet, ein gutes C/N-Verhältnis erreichen, wenn RA zwischen 50º und 70º liegt.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel hat die vom polarisierenden Strahlenteiler verursachte Phasendifferenz ΔPBS zwischen der P- und der S-Polarisationsrichtung den Wert ΔPBS = 160º und erfüllt die Beziehung
  • im Hinblick auf die vom Aufzeichnungsträger verursachte Phasendifferenz Δ&sub0;. Dadurch wird eine Verringerung der Intensität der magneto-optisch modulierten Komponente verhindert. Die Herstellung eines polarisierenden Strahlenteilers mit einer solchen Polarisiercharakteristik ist einfach.
  • Fig. 10A und 10B zeigen schematisch ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei Fig. 10B eine Ansicht in der Richtung des Pfeiles von Fig. 10A ist. In den Fig. 10A und 10B haben Bauteile, die denen in Fig. 6 gleichartig sind, gleiche Bezugsnummern erhalten und brauchen nicht im einzelnen beschrieben werden. Auch in diesem Ausführungsbeispiel ist das den Photodetektoren 29 nachgeschaltete Signalverarbeitungssystem gemäß Fig. 4 aufgebaut. Das vorliegende Ausführungsbeispiel verwendet an Stelle des polarisierenden Strahlenteilers 23 des dritten Ausführungsbeispiels einen polarisierenden Strahlenteiler 10 und ist so gestaltet, daß das durch den polarisierenden Strahlenteiler 10 durchgelassene Licht erfaßt wird. Eine Fläche b des polarisierenden Strahlenteilers 10 ist unter einem vorbestimmten Winkel so geneigt, daß kein Streulicht auf die Photodetektoren 29 fällt.
  • Für die Behandlung dieses Ausführungsbeispiels können die bei der Beschreibung von Fig. 6 benutzten Richtungen der P-Polarisation und der S-Polarisation miteinander vertauscht werden. Jedoch müssen dann in den Gleichungen (41) und (42) jeweils rp und rs durch ts und tp ersetzt werden. Das heißt die Intensität IK der magneto-optisch modulierten Komponente und die Intensität IR der magneto-optisch nicht modulierten Komponente lassen sich folgendermaßen ausdrücken:
  • Durch Einsetzen der Ausdrücke (49) und (50) in Gleichung (17) ergeben sich die Polarisiercharakteristik des Polarisierenden Strahlenteilers, bei der C/N maximal wird, und der Winkel RA, den die optischen Achsen der Analysatoren jeweils mit der P-Polarisationsrichtung einschließen, wie folgt. Jedoch ergibt sich, was ts ² anbelangt, eine Betrachtung auf die gleiche Weise wie bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 6.
  • Falls die gleichen Bedingungen für die Berechnung gewählt werden, wird ein dem in Fig. 9 gezeigten Ergebnis gleichartiges Ergebnis erhalten. Jedoch repräsentiert die Abszisse ts ². Die Herstellung eines solchen polarisierenden Strahlenteilers 10 mit einer Polarisiercharakteristik, die die vom Aufzeichnungsträger verursachte Phasendifferenz zwischen dem P-polarisierten Licht und dem S-polarisiertem Licht kompensiert, ist einfach.
  • Die Erfindung erlaubt neben den im vorangehenden beschriebenen Ausführungsbeispielen vielfältige Anwendungen. Zum Beispiel wird bei den dargestellten Ausführungsbeispielen das vom magneto-optischen Aufzeichnungsträger reflektierte Licht erfaßt, aber alternativ dazu kann die Ausführung auch dergestalt sein, daß das durch den magneto-optischen Aufzeichnungsträger durchgelassene und durch den Faraday-Effekt modulierte Lichtstrahlenbündel erfaßt wird. Die Erfindung deckt alle derartigen Anwendungen ab, ohne von ihrem Geltungsbereich, wie er in den anliegenden Patentansprüchen definiert ist, abzuweichen.

Claims (5)

1. Magneto-optisches Informationswiedergabegerät mit einer Vorrichtung (10, 12, 21 bis 24), die in einer vorbestimmten Richtung polarisierte Lichtstrahlen auf einen Aufzeichnungsträger (26) richtet, auf dem Informationen magnetisch aufgezeichnet sind, einer Vorrichtung (30) zum Teilen des von dem Aufzeichnungsträger reflektierten oder durchgelassenen Lichtstrahlenbündels, das durch den magneto-optischen Effekt in Übereinstimmung mit den Informationen in einen Polarisationszustand moduliert ist, einem Paar Analysatorvorrichtungen (27&sub1;, 27&sub2;), deren optische Achsen gegenüber der vorbestimmten Richtung in entgegengesetzte Richtungen geneigt sind, zum Analysieren der aus der Teilung hervorgegangenen Lichtstrahlenbündel, einem Paar Photodetektoren (29&sub1;, 29&sub2;) ohne Verstärkungsfunktion zur photoelektrischen Erfassung der von den Analysatorvorrichtungen durchgelassenen Lichtstrahlen und einer Signalverarbeitungseinrichtung (15&sub1;, 15&sub2;, 16&sub1;, 16&sub2;, 18) zur Verstärkung der Detektorsignale des Paares von Photodetektoren, zur Subtraktion der Signale voneinander und zur Wiedergabe der Informationen, dadurch gekennzeichnet, daß der von den optischen Achsen der Analysatorvorrichtungen und der vorbestimmten Richtung gebildete Winkel RA folgende Bedingungen erfüllt:
wobei I&sub0; die Lichtmenge des auf den Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtstrahlenbündels, R das Amplitudenreflexionsvermögen des Aufzeichnungsträgers, der Wirkungsgrad der Lichtausnutzung durch das optische System vom Aufzeichnungsträger bis zu den Photodetektoren mit Ausnahme der Analysatorvorrichtungen, κ der Wirkungsgrad der photoelektrischen Umwandlung der Photodetektoren, e die Ladungsmenge, S das Schrotrauschen der Photodetektoren, T das thermische Rauschen der Verstärkereinrichtung bei einer magneto-optischen Signalaufnahmefrequenz, ΔB die Bandbreite der magneto-optischen Signalaufnahmefrequenz, tA der Amplitudendurchlaßgrad der Analysatorvorrichtungen und ηA das Extinktionsverhältnis der Analysatorvorrichtungen sind.
2. Magneto-optisches Informationswiedergabegerät nach Anspruch 1, das darüberhinaus einen polarisierenden Strahlenteiler (12) enthält, der das vom Träger (26) kommende Lichtstrahlenbündel reflektiert und es zu der Teilervorrichtung (30) lenkt, und bei dem das Amplitudenreflexionsvermögen rp des polarisierenden Strahlenteilers für die in der vorbestimmten Richtung polarisierte Komponente und das Amplitudenreflexionsvermögen rs des polarisierenden Strahlenteilers für die senkrecht zu der vorbestimmten Richtung polarisierte Komponente jeweils folgende Bedingungen erfüllen:
3. Magneto-optisches Informationswiedergabegerät nach Anspruch 1, das darüberhinaus einen polarisierenden Strahlenteiler (12) enthält, der das vom Träger kommende Lichtstrahlenbündel durchläßt und es zu der Teilervorrichtung (30) lenkt, und bei dem der Amplitudendurchlaßgrad ts des polarisierenden Strahlenteilers für die in der vorbestimmten Richtung polarisierte Komponente und der Amplitudendurchlaßgrad tp des polarisierenden Strahlenteilers für die senkrecht zu der vorbestimmten Richtung polarisierte Komponente jeweils folgende Bedingungen erfüllen:
4. Magneto-optisches Informationswiedergabegerät nach Anspruch 1, bei dem die ein Lichtstrahlenbündel auf den Träger richtende Vorrichtung eine Lichtquelle (21) und ein optisches System (22) enthält, das die von der Quelle ausgesandten Lichtstrahlen auf den Träger (26) konzentriert.
5. Magneto-optisches Informationswiedergabegerät nach Anspruch 1, bei dem die Photodetektoren (29&sub1;, 29&sub2;) PIN- Photodioden sind.
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