DE3729450A1 - Process and device for coating both sides of a film web - Google Patents
Process and device for coating both sides of a film webInfo
- Publication number
- DE3729450A1 DE3729450A1 DE19873729450 DE3729450A DE3729450A1 DE 3729450 A1 DE3729450 A1 DE 3729450A1 DE 19873729450 DE19873729450 DE 19873729450 DE 3729450 A DE3729450 A DE 3729450A DE 3729450 A1 DE3729450 A1 DE 3729450A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coating
- carrier film
- double
- carrier
- drying device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/04—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material to opposite sides of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
- B05D7/02—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber
- B05D7/04—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber to surfaces of films or sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/32—Processes for applying liquids or other fluent materials using means for protecting parts of a surface not to be coated, e.g. using stencils, resists
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D2252/00—Sheets
- B05D2252/02—Sheets of indefinite length
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D2252/00—Sheets
- B05D2252/10—Applying the material on both sides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0393—Flexible materials
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0091—Apparatus for coating printed circuits using liquid non-metallic coating compositions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum beiderseitigen Beschichten eines Folienbandes und zum Glätten der beiden Beschichtungsfilme auf den beiden Seiten des Folienbandes.The invention relates to a method and a device for coating a film strip on both sides and to smooth the two coating films on the both sides of the foil tape.
Mit Fotoresist beschichtete Folien sind im allgemeinen einseitig beschichtet, jedoch sind auch Verfahren bekannt, bei denen fotoempfindliche Materialien erzeugt werden, die an beiden Seiten einer Träger- bzw. Substratschicht eine Fotoresistschicht tragen. Dies kann in der Weise geschehen, daß eine Seite der Trägerschicht, die beispielsweise aus einer Folie besteht, zuerst beschichtet und gelatiniert wird und anschließend die gegenüberliegende Seite der Trägerschicht beschichtet wird, während die gelatinierte Seite in direktem Kontakt mit einer Aufwickelrolle sich befindet. Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß auf die eine Seite der Trägerschicht Fotoresist aufgetragen wird und die Trägerschicht durch einen Gasstrom, der aus Öffnungen in der Oberfläche einer Stützrolle, die als Gasinjektor ausgebildet ist, austritt, in Schwebe gehalten wird und im Schwebezustand die gegenüberliegende Seite der Trägerschicht beschichtet wird.Films coated with photoresist are generally coated on one side, but methods are also known where photosensitive materials are produced be on both sides of a carrier or substrate layer wear a layer of photoresist. This can happen in such a way that one side of the backing layer, which consists for example of a foil, is first coated and gelatinized and then coated the opposite side of the carrier layer while the gelatinized side is in direct There is contact with a take-up roll. Another possibility is that on one Side of the carrier layer is applied photoresist and the backing layer through a gas stream coming out of openings in the surface of a support roller that acts as a gas injector trained, emerges, held in limbo the opposite side and in limbo the carrier layer is coated.
Bei der ersten Methode ist nachteilig, daß direkte Fehler in der aufzubringenden Fotoresistschicht auftreten können, wenn die Aufwickelrolle Kratzer in der Manteloberfläche enthält oder Staubteilchen trägt. Selbst wenn keine Kratzer oder Staubteilchen vorhanden sind, kann es zu Störstellen in der aufgetragenen Fotoresistschicht kommen, wenn beispielsweise ein Teil der Trägerschicht eine Dickenänderung der aufgetragenen Schicht aufweist, wie sie an einem Anfangsteil und einem verklebten Teil auftreten kann, der dann im Kontakt über die Stützrolle läuft, wobei ein Teil der aufgetragenen Schicht an der Rolle haftet und dadurch die nachfolgend aufgetragene Schicht stört.The disadvantage of the first method is that direct errors occur in the photoresist layer to be applied can if the take-up reel scratches the surface of the jacket contains or carries dust particles. Self if there are no scratches or dust particles, There may be defects in the applied photoresist layer come when, for example, part of the Carrier layer a change in thickness of the applied Has layer, as at an initial part and a glued part can occur, which is then in contact runs over the support roller, with some of the applied Layer adheres to the roll and thereby the following applied layer interferes.
Auch bei dem Verfahren, bei dem die Trägerschicht in Schwebe nach dem Aufbringen der ersten Schicht auf der einen Seite gehalten wird, kann es zu einer ungleichen Beschichtung in Form von horizontalen Streifen kommen, die durch kleine Fluktuationen im Schwebeabstand von der Stützrolle verursacht werden können.Also in the process in which the carrier layer in Hover on the top after applying the first layer holding one side can lead to an uneven one Coating come in the form of horizontal stripes, caused by small fluctuations in the floating distance of the support roller can be caused.
Aus den US-PS 34 96 005 und 35 89 331 sind Beschichtungsverfahren bekannt, bei denen eine Auftrageinrichtung und ein Gasinjektor in einander gegenüberstehenden Stellungen auf beiden Seiten eines kontinuierlich laufenden Trägerbandes angeordnet sind und aus dem Gasinjektor ein Gas gegen das Trägerband geblasen wird, um dieses mittels der Auftragseinrichtung zu beschichten, während das Trägerband außer Berührung mit dem Gasinjektor gehalten wird.From US-PS 34 96 005 and 35 89 331 are coating processes known where an order facility and a gas injector facing each other Positions on both sides of a continuously running Carrier tape are arranged and from the gas injector a gas is blown against the carrier tape in order to to coat this by means of the application device, while the carrier tape is out of contact with the gas injector is held.
In der EP-B1 00 93 177 ist ein ähnliches Beschichtungsverfahren beschrieben, bei dem die Auftragseinheit auf Abstand zum Träger angeordnet ist, so daß der Träger ausschließlich unter dem Gleichgewicht der Kräfte, mit denen der Träger durch den auf ihn einwirkenden Gasdruck des aus dem Gasinjektor ausgeblasenen Gases und die auf den Träger ausgeübte Zugkraft beaufschlagt wird, in einem Schwebezustand gehalten werden kann. Der Speisedruck des in den Gasinjektor eingefüllten Gases, der Druckabfall im Inneren des Gasinjektors und eine auf den Träger ausgeübte Zugkraft werden vor dem Beschichtungsvorgang so eingestellt, daß der in einem Spalt zwischen dem Träger und dem Gasinjektor erzeugte statische Druck eine Größe entsprechend 1 Zehntel bis 1 Tausendstel des Speisedrucks annimmt und der Abstand des Trägers von der Auftrageinheit an der Berührungsstelle mit der Beschichtungslösung 20 bis 500 µm beträgt.EP-B1 00 93 177 describes a similar coating process described in which the order unit on Distance to the carrier is arranged so that the carrier exclusively under the balance of power, with to those of the wearer due to the gas pressure acting on them the gas blown out of the gas injector and the tensile force exerted on the carrier is applied, can be kept in limbo. The food pressure of the gas filled in the gas injector, the Pressure drop inside the gas injector and one on The tensile force exerted on the carrier is applied before the coating process set so that in a gap Static generated between the carrier and the gas injector Print a size corresponding to 1 tenth to 1 thousandth of the food pressure and the distance of the carrier from the application unit at the point of contact with the coating solution is 20 to 500 µm.
Aus der EP-A1 02 05 446 (PCT/F185/00037) ist ein Beschichtungsverfahren für zwei Seiten eines bewegten Bandes, wie beispielsweise eines Papierbandes, bekannt, bei dem anschließend an die Beschichtung geglättet wird. Die Bewegungsrichtung des Bandes ist im wesentlichen senkrecht nach oben, wobei das Band durch eine Beschichtungskammer geführt wird, und die Beschichtung unmittelbar an der Spitze der Kammer geglättet wird. Die Spitze der Kammer bildet eine biegsame Klinge und ein drehbar gelagerter Stab. Die Klinge und der Stab formen einen Spalt, in welchem die Beschichtung geglättet wird, wenn das Band den Spalt durchläuft, wobei dieser Spalt in kurzem Abstand von den beidseitigen Auslässen der Beschichtungskanäle angeordnet ist.EP-A1 02 05 446 (PCT / F185 / 00037) describes a coating process for two sides of a moving one Tape, such as a paper tape, known which is then smoothed after coating. The direction of movement of the belt is essentially vertically upwards, the tape passing through a coating chamber is performed, and the coating immediately is smoothed at the top of the chamber. The summit the chamber forms a flexible blade and a rotatable one stored rod. The blade and the rod form one Gap in which the coating is smoothed, when the tape passes through the nip, this nip a short distance from the bilateral outlets of the Coating channels is arranged.
Aufgabe der Erfindung ist es, Trägerschichten mit verdoppeltem Ausstoß einseitig mit Fotoresist zu beschichten, ohne daß hierzu die Beschichtungsgeschwindigkeit und die Laufgeschwindigkeit der Trägerschicht gegenüber bekannten Beschichtungsverfahren erhöht werden muß.The object of the invention is to support layers with double Ejection on one side with photoresist coat without affecting the coating speed and the running speed of the support layer be increased compared to known coating processes got to.
Diese Aufgabe wird verfahrensgemäß dadurch gelöst, daß zwei Trägerfolienbänder zusammengeführt und an den Folienrändern in Transportrichtung zu einem Doppelband zusammengefügt werden, daß das Doppelband durch eine Beschichtungslösung hindurchgeführt, senkrecht nach oben umgelenkt, eine nachgeordnete Dosier-, Glättungs- und Trocknungszone durchläuft und daß danach das Doppelband in die beiden Trägerfolienbänder aufgetrennt wird.According to the method, this object is achieved in that two carrier film tapes brought together and on the film edges in the direction of transport to a double belt be put together that the double band by a Coating solution passed through vertically deflected above, a downstream metering, smoothing and drying zone and then the double belt separated into the two carrier tapes becomes.
Die weitere Ausgestaltung des Verfahrens ergibt sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 6.The further design of the method follows from the features of claims 2 to 6.
Die Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten eines Folienbandes und zum Glätten der Beschichtungsfilme auf den beiden Seiten des Folienbandes zeichnet sich dadurch aus, daß zwei Vorratsrollen von Trägerfolienbändern im Abstand voneinander, vertikal übereinander angeordnet sind, daß Preßwalzen in einem Ständer vorhanden sind, durch deren Spalt die Trägerfolienbänder aufeinanderliegend horizontal hindurchlaufen und über Umlenkrollen in eine Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung eintreten, die eine Beschichtungsbadkammer im unteren Teil, ein darüber befindliches Dosierwalzenpaar, Glättwalzenpaar und Lamellenheizungen aufweist, und daß nach der Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung Trenneinrichtungen für die Trägerfolienbänder vorhanden sind.The device for coating a film strip on both sides and for smoothing the coating films the two sides of the film strip are characterized by this from that two supply rolls of carrier film tapes spaced from each other, vertically one above the other are that press rolls in a stand are, through the gap of the carrier film tapes lying on top of each other Walk horizontally and over pulleys in a coating and drying facility enter that a coating bath chamber in lower part, a pair of metering rollers above, Has a pair of smoothing rollers and lamella heaters, and that after the coating and drying device Separating devices for the carrier film strips available are.
Die weitere Ausgestaltung der Vorrichtung ergibt sich aus den Merkmalen der Patentansprüche 8 bis 20.The further configuration of the device results from the features of claims 8 to 20.
Mit der Erfindung wird der Vorteil erzielt, daß mit relativ geringem Aufwand ein Verfahren und eine Vorrichtung zum einseitigen Beschichten einer Trägerfolie mit einem Material in ihrer Produktivität um den Faktor 2 erhöht werden können.With the invention the advantage is achieved that with relative a method and a device with little effort for one-sided coating of a carrier film with a material in its productivity by a factor of 2 can be increased.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von zeichnerisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.The invention is illustrated below with reference to drawings illustrated embodiments explained in more detail.
Es zeigen:Show it:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform der Vorrichtung, bestehend aus Zufuhrrollen für Trägerfolienbänder, Klebstoffextruder, Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung sowie Trenneinrichtungen, nach der Erfindung in schematischer Ansicht; Figure 1 shows a first embodiment of the device, consisting of feed rolls for carrier film tapes, adhesive extruders, coating and drying device and separation devices, according to the invention in a schematic view.
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform der Vorrichtung, ähnlich der ersten Ausführungsform, jedoch mit beheizten Rändelrädern und ohne Klebstoffextruder, in schematischer Ansicht; Fig. 2 shows a second embodiment of the device, similar to the first embodiment, but with heated knurled wheels and without adhesive extruder, in a schematic view;
Fig. 3 in schematischer Ansicht eine dritte Ausführungsform der Erfindung mit zwei hintereinander angeordneten Beschichtungs- und Trocknungseinrichtungen; Figure 3 is a schematic view of a third embodiment of the invention with two series-arranged coating and drying facilities.
Fig. 4 eine Seitenansicht eines Details der erfindungsgemäßen Vorrichtung, und Fig. 4 is a side view of a detail of the device according to the invention, and
Fig. 5 in schematischer Draufsicht eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die gegenüber der ersten Ausführungsform geringfügig abgewandelt ist. ., Which is slightly modified from the first embodiment Figure 5 is a schematic plan view of a fourth embodiment of the device according to the invention.
Die erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach Fig. 1 zum beidseitigen Beschichten eines Folienbandes und zum Glätten der Beschichtungsfilme auf den beiden Seiten des Folienbandes besteht im wesentlichen aus einer Station, in der zwei Trägerfolienbänder 3 und 4 zu einem Doppelband 56 zusammengefügt werden und aus einer Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11, in der die beiden Seiten des Doppelbandes 56 beschichtet und die aufgebrachten Schichten getrocknet werden.The first embodiment of the device according to the invention according to FIG. 1 for coating a film strip on both sides and for smoothing the coating films on the two sides of the film strip essentially consists of a station in which two carrier film strips 3 and 4 are joined to form a double strip 56 and of a coating - And drying device 11 , in which the two sides of the double belt 56 are coated and the applied layers are dried.
Die Trägerfolienbänder 3 und 4 sind auf zwei Vorratsrollen 1 und 2 aufgewickelt, die ein einem Rahmen 59 im Abstand voneinander und vertikal übereinander angeordnet sind. Auf einer Vorratsrolle 45 ist eine Materialzwischenlage 51, beispielsweise eine Papierbahn, aufgewickelt, die beim Zusammenführen der Trägerfolienbänder 3 und 4 zwischen diesen als Zwischenlage eingebracht wird. Die Trägerfolienbänder 3 und 4 werden schräg auf Preßwalzen 6 und 7 zugeführt und durchlaufen einen Spalt 5 zwischen diesen Preßwalzen, die in einem Ständer 8 angeordnet sind. Unmittelbar vor dem Spalt 5 befindet sich ein Extruder 37 für Klebstoff, auf einer Konsole 60, die mittels Gleitrollen 61 und 62 quer zur Transportrichtung A, die durch einen entsprechenden Pfeil angezeigt ist, verfahrbar ist. Der Extruder 37 kann beispielsweise so ausgestaltet sein, daß er zwei Austrittsdüsen aufweist, deren Abstand voneinander verstellbar ist, so daß dadurch eine Einstellung auf unterschiedliche Breiten der Trägerfolienbänder 3 und 4 ermöglicht wird. Der aus den beiden Düsen des Extruders 37 austretende Klebstoff wird beispielsweise nahe den Rändern des unteren Trägerfolienbandes 3 in dünner Schicht aufgetragen. Beim Durchgang der beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 durch den Spalt 5 zwischen den Preßwalzen 6 und 7 werden dann die beiden Folienbänder miteinander verklebt, wobei die Materialzwischenlage 51 sicherstellt, daß die Verklebung nur auf einen schmalen Streifen entlang der Folienlängsränder beschränkt bleibt und durch die Dicke der Materialzwischenlage 51 ein Ausgleich in der Planlage der beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 aufeinander erfolgt, da die Dicke so gewählt wird, daß sie der Dicke der durch die Verklebung entstehenden Randwülste entspricht. Die Trägerfolienbänder 3, und 4, die unmittelbar vor den Spalt 5 zusammengeführt werden, durchlaufen aufeinanderliegend horizontal den Spalt 5 und gelangen über Umlenkrollen 9 und 10 in die Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11.The carrier film strips 3 and 4 are wound on two supply rolls 1 and 2 , which are arranged in a frame 59 at a distance from one another and vertically one above the other. A material intermediate layer 51 , for example a paper web, is wound on a supply roll 45, which is introduced as an intermediate layer between the carrier film strips 3 and 4 when they are brought together. The carrier film strips 3 and 4 are fed obliquely on press rolls 6 and 7 and pass through a gap 5 between these press rolls, which are arranged in a stand 8 . Immediately in front of the gap 5 there is an extruder 37 for adhesive, on a bracket 60 which can be moved transversely to the transport direction A , which is indicated by a corresponding arrow, by means of sliding rollers 61 and 62 . The extruder 37 can, for example, be designed in such a way that it has two outlet nozzles whose spacing from one another is adjustable, so that this enables adjustment to different widths of the carrier film strips 3 and 4 . The adhesive emerging from the two nozzles of the extruder 37 is applied, for example, in a thin layer near the edges of the lower carrier film strip 3 . When the two carrier film tapes 3 and 4 pass through the gap 5 between the press rolls 6 and 7 , the two film tapes are then bonded to one another, the intermediate layer 51 ensuring that the bond remains limited to only a narrow strip along the longitudinal edges of the film and due to the thickness of the Intermediate material layer 51 compensates for each other in the flat position of the two carrier film strips 3 and 4 , since the thickness is chosen so that it corresponds to the thickness of the edge beads produced by the adhesive bonding. The carrier film strips 3 and 4 , which are brought together directly in front of the gap 5 , pass horizontally through the gap 5 lying one above the other and reach the coating and drying device 11 via deflection rollers 9 and 10 .
Die Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 besteht aus einem hohlzylindrischen Innenteil 19, das von einem zylindrischen Gehäuse 20 mit kuppelförmigem Abschluß 21 umgeben ist. Im unteren Teil der Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 befindet sich eine Beschichtungsbadkammer 12, in der eine Tauchwalze 25 vollständig in die Beschichtungslösung eintaucht. Im kreisringförmigen Innenraum 22 zwischen dem Innenteil 19 und dem Gehäuse 20 sind zu beiden Seiten des Innenteils vertikal übereinander Lamellenheizungen 17 und 18 angeordnet. Über der Beschichtungsbadkammer 12 befindet sich ein Dosierwalzenpaar 13, 14 und ein Glättwalzenpaar 15, 16. Der kuppelförmige Abschluß 21 der Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 ist mit einem Absaugstutzen 23 ausgerüstet, in welchem eine Drosselklappe 24 angeordet ist. Durch den Absaugstutzen 23 wird die durch Lösungsmittel des Fotoresists angereicherte Luft abgesaugt und anschließend in nicht dargestellter Weise gefiltert.The coating and drying device 11 consists of a hollow cylindrical inner part 19 which is surrounded by a cylindrical housing 20 with a dome-shaped closure 21 . In the lower part of the coating and drying device 11 there is a coating bath chamber 12 in which an immersion roller 25 is completely immersed in the coating solution. In the annular interior 22 between the inner part 19 and the housing 20 , lamella heaters 17 and 18 are arranged vertically one above the other on both sides of the inner part. A pair of metering rollers 13, 14 and a pair of smoothing rollers 15, 16 are located above the coating bath chamber 12 . The dome-shaped end 21 of the coating and drying device 11 is equipped with a suction nozzle 23 in which a throttle valve 24 is arranged. The air enriched with solvent from the photoresist is sucked off through the suction nozzle 23 and then filtered in a manner not shown.
Das Gehäuse 20 der Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 besitzt an der einen Seite eine Eintrittsöffnung in einer schrägen Seitenfläche 31, durch die die Trägerfolienbänder 3 und 4 in Form des Doppelbandes 56 in die Beschichtungsbadkammer 12 eingeleitet werden. Die zu dem Doppelband 56 zusammengefügten, nahezu senkrecht einlaufenden Trägerfolienbänder 3 und 4 werden um die Tauchwalze 25 im Beschichtungsbad herumgeführt und senkrecht nach oben durch eine Spalt 26 des Dosierwalzenpaares 13 und 14 und durch einen Spalt 27 der Glättwalzen 15 und 16 hindurchgeleitet. Die Deckfläche 32, die einen Durchgang für das Doppelband 56 aufweist, trennt den unteren Teil, bestehend aus der Beschichtungsbadkammer 12, den Dosierwalzen 13 und 14 sowie den Glättwalzen 15 und 16 von der in Fig. 1 rechten Lamellenheizung 17.The housing 20 of the coating and drying device 11 has on one side an inlet opening in an inclined side surface 31 through which the carrier film strips 3 and 4 in the form of the double strip 56 are introduced into the coating bath chamber 12 . The carrier film tapes 3 and 4 , which converge to form the double belt 56 and run almost vertically, are guided around the immersion roller 25 in the coating bath and passed vertically upward through a gap 26 of the metering roller pair 13 and 14 and through a gap 27 of the smoothing rollers 15 and 16 . The top surface 32 , which has a passage for the double belt 56 , separates the lower part, consisting of the coating bath chamber 12 , the metering rollers 13 and 14 and the smoothing rollers 15 and 16, from the lamella heater 17 on the right in FIG. 1.
Die Dosierwalzen 13 und 14 sind horizontal gegeneinander verfahrbar, und oberhalb der Dosierwalzen sind verschiebbare Abdeckungen 28 und 29 (vergl. Fig. 4) angeordnet.The metering rollers 13 and 14 can be moved horizontally against one another, and displaceable covers 28 and 29 (see FIG. 4) are arranged above the metering rollers.
Das Doppelband 56 aus den beiden Trägerfolienbändern 3 und 4 wird im kreisringförmigen Innenraum 22 der Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 entlang einer Bahn mit nach oben gerichtetem, U-förmigem Verlauf über Umlenkrollen 34, 35 und 36 geführt. Die Umlenkrollen 34 und 36 sind symmetrisch zu der gedachten vertikalen Mittellinie der Einrichtung 11 angeordnet, während die Umlenkrolle 35 auf dieser gedachten Mittellinie unterhalb des Absaugstutzens 23 angebracht ist. Das Doppelband 56 wird über die Umlenkrolle 36 senkrecht nach unten gelenkt und durchläuft die Lamellenheizung 18. Am unteren Ende der Lamellenheizung 18 befindet sich eine weitere Umlenkrolle 63, um die das Doppelband 56, schräg seitlich umgelenkt, durch eine Austrittsöffnung 33 im Gehäuse 20 aus der Einrichtung 11 herausgeführt wird. Anschließend durchläuft das Doppelband 56 paarweise angeordnete Trenneinrichtungen, wie beispielsweise Schneideinrichtungen 43, 43, und 44, 44, bei denen es sich um Rotationsmesserpaare handelt, die entlang beider Folienlängsränder angeordnet sind und das Doppelband 56 entlang dieser Ränder aufschneiden. Dadurch wird das Doppelband 56 wieder in die beiden ursprünglichen Trägerfolienbänder 3 und 4 aufgetrennt. Diese beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 werden auf eine Aufwickelrolle 52 aufgewickelt, wobei gleichzeitig von einer Vorratsrolle 53 eine Papierlage 58 eingeschossen wird. Wie anhand von Fig. 2 noch näher erläutert werden wird, kann das Aufwickeln des aufgetrennten Doppelbandes 56 auch in der Weise erfolgen, daß die beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 sowie die Materialzwischenlage 51 jeweils getrennt auf eine eigene Aufwickelrolle aufgewickelt werden.The double tape 56 from the two carrier film tapes 3 and 4 is guided in the annular interior 22 of the coating and drying device 11 along a path with an upward, U-shaped course over deflection rollers 34, 35 and 36 . The deflection rollers 34 and 36 are arranged symmetrically to the imaginary vertical center line of the device 11 , while the deflection roller 35 is attached on this imaginary center line below the suction nozzle 23 . The double belt 56 is directed vertically downward via the deflection roller 36 and passes through the lamella heating 18 . At the lower end of the lamella heater 18 there is a further deflection roller 63 , around which the double band 56 , deflected laterally at an angle, is led out of the device 11 through an outlet opening 33 in the housing 20 . The double belt 56 then passes through separating devices arranged in pairs, such as, for example, cutting devices 43, 43 , and 44, 44 , which are pairs of rotary knives which are arranged along both longitudinal edges of the film and cut open the double belt 56 along these edges. As a result, the double tape 56 is separated again into the two original carrier film tapes 3 and 4 . These two carrier film tapes 3 and 4 are wound on a take-up roll 52 , a paper layer 58 being shot in at the same time by a supply roll 53 . As will be explained in more detail with reference to Fig. 2, the winding of the separated double tape 56 can also be carried out in such a way that the two carrier film tapes 3 and 4 and the intermediate material layer 51 are each wound separately on a separate winding roll.
Die in Fig. 2 dargestellte zweite Ausführungsform der Vorrichtung nach der Erfindung ist ähnlich zu der ersten Ausführungsform gemäß Fig. 1 aufgebaut, mit dem einen Unterschied, daß die Trägerfolienbänder 3 und 4 nicht miteinander verklebt werden, sondern stattdessen miteinander entlang den Folienlängsrändern verschweißt werden. Gegenüber der Ausführungsform nach Fig. 1 fehlen bei der zweiten Ausführungsform der bzw. die Extruder für das Aufbringen des Klebstoffs, stattdessen sind in Transportrichtung A der Trägerfolienbänder 3 und 4 nach den Preßwalzen 6 und 7 ober- und unterhalb der Trägerfolienbänder im Bereich der Folienlängsränder paarweise beheizte Rändelräder 38, 39 bzw. 40, 41 zum Verschweißen der Trägerfolienbänder zu dem Doppelband 56 angeordnet.The second embodiment of the device according to the invention shown in FIG. 2 is constructed similarly to the first embodiment according to FIG. 1, with the difference that the carrier film strips 3 and 4 are not glued together, but instead are welded together along the longitudinal edges of the film. Compared to the embodiment according to FIG. 1, the second embodiment does not have the extruder or the extruders for applying the adhesive; instead, the carrier film strips 3 and 4 are in pairs in the transport direction A after the press rollers 6 and 7 above and below the carrier film strips in the region of the longitudinal edges of the film heated knurled wheels 38, 39 and 40, 41 are arranged for welding the carrier film strips to the double strip 56 .
Die Materialzwischenlage 51 wird bei dieser Ausführungsform ebenso wie bei der ersten Ausführungsform nach Fig. 1 mittels einer Stabcorona 46 faltenfrei an das untere Trägerfolienband 3 angelegt, bevor dieses mit dem oberen Trägerfolienband 4 zusammengeführt wird. Die Dicke der Materialzwischenlage 51 ist gleich der Dicke der Schweißwülste der Folienlängsränder, während die Breite der Materialzwischenlage 51 gleich der Breite der Trägerfolienbahnen 3, 4, vermindert um die Breite der Schweißwülste, gewählt ist.The intermediate layer material 51 is same as in the first embodiment of FIG. 1 is applied in this embodiment by means of a rod 46 Corona wrinkle-free on the lower carrier foil strip 3 before it is brought together with the upper carrier foil tape 4. The thickness of the material intermediate layer 51 is equal to the thickness of the weld beads of the longitudinal edges of the film, while the width of the material intermediate layer 51 is selected to be the width of the carrier film webs 3, 4 , reduced by the width of the weld beads.
Die untere Preßwalze 6 im Ständer 8 ist mit einem Preßluftzylinder 42 verbunden, der die untere Preßwalze gegen die lagefeste obere Preßwalze 7 andrückt, sobald die Trägerfolienbänder in den Spalt 5 der Preßwalzen 6 und 7 eintreten.The lower press roll 6 in the stand 8 is connected to a compressed air cylinder 42 which presses the lower press roll against the fixed upper press roll 7 as soon as the carrier film strips enter the gap 5 of the press rolls 6 and 7 .
Das Doppelband 56 wird in der gleichen Weise, wie anhand von Fig. 1 beschrieben wurde, durch die Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11 hindurchgeführt, die gleichartig zu der entsprechenden Einrichtung in Fig. 1 aufgebaut ist und daher nicht nochmals beschrieben wird. Gleiche Bauteile dieser Einrichtung sind sowohl in Fig. 1 als auch in Fig. 2 mit denselben Bezugszeichen belegt. The double belt 56 is passed through the coating and drying device 11 in the same way as was described with reference to FIG. 1, which is constructed in the same way as the corresponding device in FIG. 1 and is therefore not described again. The same components of this device are given the same reference numerals both in FIG. 1 and in FIG. 2.
Überschüssige Beschichtungslösung auf den beiden Seiten des Doppelbandes 56 wird nach dem Durchgang durch das Beschichtungsbad in der Beschichtungsbadkammer 12 mittels der Dosierwalzen 13 und 14 abgestreift, während das nachgeschaltete Glättwalzenpaar 15 und 16 die aufgebrachte Beschichtungslösung, beispielsweise eine Fotoresistlösung, so weit glättet, daß der Beschichtungsfilm weitgehend streifenfrei ist.Excess coating solution on the two sides of the double belt 56 is wiped off after passing through the coating bath in the coating bath chamber 12 by means of the metering rollers 13 and 14 , while the pair of smoothing rollers 15 and 16 connected downstream smoothes the applied coating solution, for example a photoresist solution, to such an extent that the coating film is largely streak-free.
Das Auftrennen des Doppelbandes 56 nach dem Austritt aus der Einrichtung 11 erfolgt in der gleichen Weise wie bei der ersten Ausführungsform der Vorrichtung nach Fig. 1, nämlich durch paarweise, entlang den Folienlängsrändern angeordneten Schneideinrichtungen 43 und 44 in Gestalt von Rotationsmessern. Anders als nach Fig. 1 werden bei dieser Ausführungsform jedes der beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 sowie die Materialzwischenlage 51 auf eine eigene Aufwickelrolle 47, 48 bzw. 49 aufgewickelt.The double band 56 is separated after exiting the device 11 in the same way as in the first embodiment of the device according to FIG. 1, namely by means of cutting devices 43 and 44 in the form of rotary knives arranged along the longitudinal edges of the film. In contrast to FIG. 1, in this embodiment each of the two carrier film strips 3 and 4 and the intermediate material layer 51 are wound on their own winding roll 47, 48 and 49 , respectively.
Fig. 3 zeigt in schematischer Ansicht eine dritte Ausführungsform der Vorrichtung nach der Erfindung, wobei diese Ausführungsform im Vergleich zu der ersten und zweiten Ausführungsform der Vorrichtung noch eine zusätzliche Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 50 enthält, die genauso wie die Einrichtung 11 aufgebaut ist, mit dem einzigen Unterschied, daß in der Beschichtungsbadkammer 57 eine andere Beschichtungslösung als in der Beschichtungsbadkammer 12 der Einrichtung 11 vorhanden ist. Die der Einrichtung 11 nachgeschaltete zweite Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 50 ermöglicht es, auf beiden Seiten des Doppelbandes 56 jeweils eine Schutzschicht auf die Fotoresistschicht aufzubringen, die in der ersten Einrichtung 11 beidseitig aufgetragen wird. Zur besseren Übersicht sind in Fig. 3 jeweils die Station zum Zuführen der Trägerfolienbänder sowie die Einrichtungen nach der zweiten Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 50 weggelassen, da es sich bei diesen Einrichtungen um die gleichen Einrichtungen wie in den Fig. 1 bzw. 2 handelt. Fig. 3 shows a schematic view of a third embodiment of the device according to the invention, this embodiment in comparison to the first and second embodiment of the device also contains an additional coating and drying device 50 , which is constructed in the same way as the device 11 with which The only difference is that a different coating solution is present in the coating bath chamber 57 than in the coating bath chamber 12 of the device 11 . The second coating and drying device 50 arranged downstream of the device 11 makes it possible to apply a protective layer to the photoresist layer on both sides of the double belt 56 , which is applied on both sides in the first device 11 . For a better overview, the station for feeding the carrier film strips and the devices after the second coating and drying device 50 are omitted in FIG. 3, since these devices are the same devices as in FIGS. 1 and 2.
Fig. 4 zeigt in Seitenansicht einen Ausschnitt des Doppelbandes 56 im Bereich der Dosierwalzen 13 und 14. Die das Doppelband 56 bildenden beiden Trägerfolienbänder 3 und 4 sind entlang der Folienlängsränder 54, 55 miteinander verklebt bzw. verschweißt. In der Zeichnung sind die Klebe- bzw. Schweißwülste durch breitere Strichstärken angedeutet. Die Materialzwischenlage 51 besteht aus Papier, Wachspapier oder Folie und hat eine Breite, die gleich der Breite der Trägerfolienbahnen 3, 4, vermindert um die Breite der Klebe- bzw. Schweißwülste, ist, um eine exakte Planlage der Trägerfolienbänder 3, 4 aufeinander zu gewährleisten. Oberhalb der Dosierwalzen 13, 14 sind Abdeckungen 28, 29 angeordnet, die verhindern, daß die von den Dosierwalzen 13, 14 abgestreifte Beschichtungslösung in den Raum oberhalb der Dosierwalzen gelangt. Die Abdeckungen 28, 29 bestehen beispielsweise aus zusammenschiebbaren und auseinanderziehbaren Abschnitten 28 a bis 28 c; 29 a bis 29 c, die eine Anpassung der Abdeckung an die jeweilige Breite des Doppelbandes 56 ermöglichen. Jede der Abdeckungen 28, 29 ist mittels eines Befestigungsteils 64, 65 an der Innenseite des Gehäuses 20 montiert und ist in Richtung auf die Dosierwalzen 13, 14 ausziehbar und in dazu entgegengesetzter Richtung zusammenschiebbar. Zweckmäßigerweise sind die einzelnen Abschnitte 28 a bis 28 c; 29 a bis 29 c gekrümmt, wobei die Krümmung der Krümmung der Umfangsfläche der Dosierwalzen 13, 14 angepaßt sind. Fig. 4 shows a detail in side view of the double tape 56 in the area of the metering rollers 13 and 14. The the double tape 56 forming two carrier foil bands 3 and 4 are bonded to each other along the film longitudinal edges 54, 55 and welded. In the drawing, the adhesive or welding beads are indicated by wider line widths. The intermediate material layer 51 consists of paper, wax paper or film and has a width which is equal to the width of the carrier film webs 3, 4 , minus the width of the adhesive or welding beads, in order to ensure an exact flatness of the carrier film bands 3, 4 on top of one another . Covers 28, 29 are arranged above the metering rollers 13, 14 , which prevent the coating solution stripped from the metering rollers 13, 14 from reaching the space above the metering rollers. The covers 28, 29 consist, for example, of sections 28 a to 28 c which can be pushed together and pulled apart; 29 a to 29 c , which allow adaptation of the cover to the respective width of the double band 56 . Each of the covers 28, 29 is mounted on the inside of the housing 20 by means of a fastening part 64, 65 and can be pulled out in the direction of the metering rollers 13, 14 and pushed together in the opposite direction. The individual sections 28 a to 28 c are expediently; 29 a to 29 c curved, the curvature of the curvature of the peripheral surface of the metering rollers 13, 14 being adapted.
Die schematische Draufsicht in Fig. 5 zeigt in einer vierten Ausführungsform der Vorrichtung eine Station für das Zusammenführen der Trägerfolienbänder 3 und 4 und der Materialzwischenlage 51 vor den Preßwalzen 6 und 7. Es sind zwei Extruder 37, 37′ für Klebstoff vorgesehen, von denen zumindest der eine Extruder 37′ über die Breite der Trägerfolienbänder 3, 4 verfahrbar ist, während der andere Extruder 37 beispielsweise lagefest angeordnet ist. Jedoch kann auch dieser Extruder 37 bei Bedarf verfahrbar ausgestaltet sein. Die beiden fest durchgezeichneten Extruder 37 und 37′ sind in ihren üblichen Arbeitspositionen dargestellt, während bei einer größeren Breite der Trägerfolienbänder der Extruder 37′ die gestrichelt eingezeichnete Lage einnimmt. Durch die Verschiebbarkeit einer oder beider Extruder ist eine Einstellung auf unterschiedliche Breiten der Trägerfolienbänder möglich, so daß stets sichergestellt ist, daß Klebstoff in den Randbereichen entlang den Folienlängsrändern aufgetragen werden kann. Nach dem Durchlauf durch die Preßwalzen 6 und 7 wird das Doppelband 56 auf eine Aufwickelrolle 66 aufgewickelt. Da im allgemeinen die Zusammenführungsstation für die Trägerfolienbänder schneller arbeitet als die Beschichtungs- und Trocknungseinrichtung 11, ist diese Einrichtung bei der vierten Ausführungsform der Vorrichtung nach der Erfindung von der bzw. von den Beschichtungs- und Trocknungseinrichtungen 11 getrennt. Die Zusammenführungsstation kann beispielsweise zwei, aber auch mehr als zwei Beschichtungs- und Trocknungseinrichtungen 11 bedienen. In Fig. 5 sind zwei Einrichtungen 11 gezeigt, die von einer einzelnen Zusammenführungsstation mit dem Doppelband 56 beschickt werden. Die auf Aufwickelrollen 66 aufgerollten Doppelbänder 56 werden dabei jeweils als Vorratsrollen 66′ und 66″ für die beiden Einrichtungen 11 eingesetzt. Nach dem Verlassen der Einrichtung 11 werden die aufgeschnittenen Doppelbänder 56 auf die Aufwickelrollen 52 aufgerollt. Die Schneideinrichtungen zum Auftrennen der Doppelbänder 56 sind in Fig. 5 aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit weggelassen worden.In a fourth embodiment of the device, the schematic plan view in FIG. 5 shows a station for bringing together the carrier film strips 3 and 4 and the intermediate material layer 51 in front of the press rolls 6 and 7 . There are two extruders 37, 37 ' for adhesive, of which at least one extruder 37' can be moved across the width of the carrier film strips 3, 4 , while the other extruder 37 is arranged, for example, in a fixed position. However, this extruder 37 can also be designed to be movable if required. The two solid drawn extruders 37 and 37 ' are shown in their usual working positions, while with a larger width of the carrier film strips the extruder 37' takes the position shown in dashed lines. The displaceability of one or both extruders enables adjustment to different widths of the carrier film strips, so that it is always ensured that adhesive can be applied in the edge regions along the longitudinal edges of the film. After passing through the press rolls 6 and 7 , the double belt 56 is wound on a take-up roll 66 . In general, since the assembly station for the carrier foil strips is faster as the coating and drying device 11, this device is separated in the fourth embodiment of the device according to the invention by the or by the coating and drying facilities. 11 The merging station can serve, for example, two, but also more than two coating and drying devices 11 . In Fig. 5, two devices 11 are shown, which are fed by a single assembly station with the double belt 56. The double tapes 56 rolled up on take-up rolls 66 are used as supply rolls 66 ′ and 66 ″ for the two devices 11 . After leaving the device 11 , the cut double tapes 56 are rolled up onto the take-up rolls 52 . The cutting devices for cutting the double tapes 56 have been omitted in FIG. 5 for reasons of better clarity.
Claims (20)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873729450 DE3729450A1 (en) | 1987-09-03 | 1987-09-03 | Process and device for coating both sides of a film web |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873729450 DE3729450A1 (en) | 1987-09-03 | 1987-09-03 | Process and device for coating both sides of a film web |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3729450A1 true DE3729450A1 (en) | 1989-03-16 |
Family
ID=6335136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873729450 Withdrawn DE3729450A1 (en) | 1987-09-03 | 1987-09-03 | Process and device for coating both sides of a film web |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3729450A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4311235A1 (en) * | 1992-04-24 | 1993-10-28 | Erich Killar | Coating or printing of plastic sheet for audio and video tape - with aq. and/or solvent based coating media allows rapid coating and drying of the sheet |
US5552183A (en) * | 1992-04-24 | 1996-09-03 | Erich Killar | Process for coating or printing a plastic film with water or solvent-containing coating agents or mixtures thereof, U/V-curable paints or inks and PVC pastes |
-
1987
- 1987-09-03 DE DE19873729450 patent/DE3729450A1/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4311235A1 (en) * | 1992-04-24 | 1993-10-28 | Erich Killar | Coating or printing of plastic sheet for audio and video tape - with aq. and/or solvent based coating media allows rapid coating and drying of the sheet |
US5552183A (en) * | 1992-04-24 | 1996-09-03 | Erich Killar | Process for coating or printing a plastic film with water or solvent-containing coating agents or mixtures thereof, U/V-curable paints or inks and PVC pastes |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2557551B1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR APPLYING LIQUIDS, IN PARTICULAR LIQUID ADHESIVES, TO RAIL-SHAPED MATERIAL | |
DE2142345C2 (en) | A method of making a diaper and the like. | |
DE202017006956U1 (en) | Device for laminating a substrate with a thermoplastic coating material | |
EP0791687A1 (en) | Process and device for coating a liquid or pasty material onto a moving web | |
DE4412091A1 (en) | Method and appliance for producing esp. printed sheets | |
EP0951992A2 (en) | Laminating apparatus | |
DE1504766B2 (en) | METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A FINE-PORED SYNTHETIC RESIN FILM | |
DE2747061A1 (en) | Vacuum chamber for coating strip - has air lock chambers to permit continuous coating | |
DE3590386C2 (en) | Tension control of webs in rotary press | |
EP0109924B1 (en) | Process and apparatus for producing a composite web | |
DE2904097A1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR APPLYING GLUE WHEN BINDING BOOKS | |
DE3729450A1 (en) | Process and device for coating both sides of a film web | |
DE4324337C2 (en) | Remoistening device for a printed paper web | |
EP0401289A1 (en) | Strip-type tag label and device for producing it | |
DE2136461C3 (en) | Device for thin and dense coating of flat textile material over the entire surface with a coating material that softens in heat | |
CH414139A (en) | Plastic film welding machine | |
DE69216886T2 (en) | Device for applying adhesive tape and its method | |
EP2017012A2 (en) | Curtain coating machine | |
EP0031301A1 (en) | Process and apparatus for coating photographic record carriers with photographic coating compositions | |
DE3421279A1 (en) | DEVICE AND METHOD FOR ATTACHING ELASTIC TAPES TO A THIN PLASTIC CARRIER FILM OF AN ABSORBENT HYGIENE PRODUCT FOR DISPOSAL USE | |
EP3539763A1 (en) | Method for processing of foams by means of conveyor belts | |
DE2011481A1 (en) | Device for connecting material webs | |
DE3438652A1 (en) | Coating method and device | |
DE2927465A1 (en) | DEVICE FOR PRODUCING PLASTIC BAGS | |
DE19955903C2 (en) | Laminating apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |