DE3520936C2

DE3520936C2 - Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung

Info

Publication number: DE3520936C2
Application number: DE3520936A
Authority: DE
Inventors: Michihiro Murata; Katushiko Tanaka; Hiroyuki Seto
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1984-06-14
Filing date: 1985-06-12
Publication date: 1996-09-26
Anticipated expiration: 2005-06-13
Also published as: DE3520936A1; US4691104A; GB2160709A; JPS612025A; GB8515147D0; GB2160709B; JPH073362B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung mit den Merkmalen des Oberanspruchs des Anspruchs 1.

Ein pyroelektrisches Material erzeugt aufgrund einer Temperaturänderung elektrische Ladungen auf seiner Oberfläche, und ein pyroelektrischer Licht-Sensor, der ein pyroelektrisches Material enthält, vermag das ein fallende Licht thermisch nachzuweisen.

Ein pyroelektrischer Infrarot-Sensor hat folgende cha rakteristische Eigenschaften: Erstens hängt seine Empfindlichkeit nur schwach von der Wellenlänge des Lichtes ab. Zweitens spricht er rasch an, und seine Empfindlichkeit ist bei Raumtemperatur hoch.

Ein pyroelektrischer Sensor wird verwendet als Sensor linearer Anordnung sowie als einzelner Sensor mit einer Fühlerfläche. Ein Sensor linearer Anordnung umfaßt eine Mehrzahl pyroelektrischer Elemente, die linear angeord net sind. Es ist wünschenswert, daß die Anordnung aus kleinen pyroelektrischen Elementen besteht, um die räumliche Auflösung eines optischen Systems zu verbes sern, in dem der Sensor eingesetzt wird.

Die Fig. 1(a) und Fig. 1(b) zeigen einen Grundriß bzw. eine Schnittansicht längs der Linie A-A in Fig. 1(a) eines pyroelektrischen Sensors aus dem Stand der Tech nik vom Typ der linearen Anordnung, der in der JP-A 57-120830 offenbart ist. Ein isolierendes Substrat 1 weist ein Fenster 2 auf. Eine pyroelektrische Sensor- Anordnung 3, hergestellt aus einem pyroelektrischen Material wie Bleizirconiumtitanat-Keramiken und Blei titanat-Keramiken, wird so auf dem Substrat 1 angeord net, daß sie das Fenster 2 bedeckt und wird mit einem elektrisch leitenden Klebemittel 4 an dem Substrat 1 befestigt. Die pyroelektrische Sensor-Anordnung 3 be steht aus einer Mehrzahl pyroelektrischer Elemente 3a, die durch Spalte 5 voneinander getrennt und entlang der Längsrichtung des Sensors angeordnet sind. Elektroden 6, 7 sind auf der oberen und unteren Oberfläche jedes pyroelektrischen Elements 3a ausgebildet. Sämtliche Elektroden 7 sind elektrisch miteinander verbunden, und sie sind weiter durch das oben erwähnte, elektrisch leitende Bindemittel 4 mit einer äußeren Schaltung ver bunden. Jede Elektrode 6 ist mit einem Eingangsanschluß einer Treiberschaltung (nicht dargestellt) so verbun den, daß jedes Ausgangssignal derselben in zeitlicher Reihenfolge abgenommen werden kann.

Ein pyroelektrischer Sensor vom Typ der linearen An ordnung, wie er im Vorstehenden bezeichnet ist, hat Vorteile dahingehend, daß die Bauart der pyroelektri schen Elemente 3a in Form von Einzelplatten es ermög licht, ihre Abmessungen leicht zu verkleinern. Weiter hin läßt sich das Übersprechen zwischen den Elementen verkleinern und ihre Empfindlichkeit vergrößern, da die pyroelektrischen Elemente 3a im wesentlichen voneinan der getrennt sind.

Jedoch weist er die folgenden Probleme auf, die zu lösen sind. Wegen der Bauart der pyroelektrischen Elemente 3a in Form von Einzelplatten diffundiert Wärme stets durch die beiden Enden jedes pyroelektrischen Elements 3a, so daß nicht in genügendem Maße die Empfindlichkeit erhöht und das Übersprechen vermindert werden können.

Aus der US 4 441 023, (vergleiche insbesondere Fig. 1 mit Beschreibung) ist eine eindimensionale pyroelek trische Sensoranordnung (10) auf einer Grundplatte (20), eine Mehrzahl Streifenelemente aus pyroelek trischem Material (8, 9) mit einem wärmeempfindlichen Bereich an einem freien Ende derselben (vergleiche in Spalte 4, Zeile 49 ff.), wobei sie jeweils an dem anderen Ende der Grundplatte (20) gehalten werden, so daß sie eine integrierte Struktur mit der Grundplatte (20) bilden und ein paar Nachweis-Elektroden (11, 13,- 15, 17), das auf dem wärmeempfindlichen Bereich des freien Endes jedes Streifenelementes gebildet ist, bekannt.

Die DE 20 17 067 B2 betrifft einen pyroelektrischen Detektor. Dieser pyroelektrische Infrarotdetektor für die Wahrnehmung von Infrarotenergie in einem Gesichts feld ist gekennzeichnet durch

a) eine Schicht (12) aus pyroelektrischem Material,
b) eine gemeinsame Elektrode (14) auf einer Seite dieser Schicht (12) aus dem pyroelektrischen Material, die für die infrarote Strahlung, welche auf sie auf fällt, transparent ist und die dieser einfallenden Strahlung zugekehrt ist,
c) eine Vielzahl von einzelnen Feldbegrenzungselek troden (15), die auf der Schicht (12) aus dem pyro elektrischen Material und zwar auf der der gemeinsamen Elektrode abgewandten Seite dieser Schicht (12) ange ordnet sind und
d) Ausgangsleitungen (16, 24, 32), die mit der gemein samen Elektrode (14) und der Vielzahl von einzelnen Feldbegrenzungselektroden (15) verbunden sind.

In der US 3 453 432 wird ein pyroelektrischer Strahlungsdetektor beschrieben, der Kompensations einrichtungen gegen Umwelttemperaturveränderungen aufweist. Der pyroelektrische Detektor ist versehen mit einem ersten pyroelektrischen Detektor und einem kompensierenden pyroelektrischen Detektor des gleichen temperaturempfindlichen kristallinen Materials, das zwischen zwei leitfähigen Elektroden eingebettet ist, wobei eine der Elektroden eine übliche ist. Der erste pyroelektrische Detektor und der kompensierende pyro elektrische Detektor sind einander gegenüber polari siert und parallel geschaltet um Umwelttemperatur- Schwankungen auszugleichen.

Die GB 2 034 115 A betrifft Verbesserungen eines pyro elektrischen Detektors. Insbesondere beschrieben wird ein pyroelektrischer Detektor, der ein Element eines pyroelektrischen Materials mit zwei Bereichen aufweist, die parallel miteinander verbunden sind, wobei eine aktiv ist und die andere gegenüber Infrarot-Bestrahlung relativ inaktiv ist. Eine dritte Region, die in Serie mit den anderen beiden Regionen geschaltet ist, ist entgegengesetzt polarisiert und ebenfalls aktiv in Bezug auf Infrarot-Bestrahlung.

Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen pyroelek trischen Sensor vom Typ der linearen Anordnung bereit zustellen, der höhere Empfindlichkeit und geringeres Übersprechen aufweist.

Dies wird mit einer eindimensionalen pyroelektrischen Sensor-Anordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden anhand von Beispielen und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.

Fig. 1(a) und Fig. 1(b) zeigen einen Grundriß bzw. eine Schnittansicht längs der Linie A-A in Fig. 1(a) eines pyroelektrischen Sensors aus dem Stand der Technik vom Typ der linearen Anordnung.

Fig. 2(a) und Fig. 2(b) zeigen eine Grundrißansicht von oben bzw. von rückwärts eines pyroelektrischen Sensors einer ersten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 2(c) und Fig. 2(d) zeigen einen Aufriß und eine Schnittansicht längs der Linie B-B in Fig. 2(c) eines pyroelektrischen Sensors, der an einem Träger befestigt ist.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Ansicht in einem Stadium im Verfahren zur Herstellung einer ersten Ausführungsform der Erfindung.

Fig. 4 zeigt ein Beispiel für ein Diagramm einer Treiberschaltung.

Fig. 5 zeigt ein anderes Beispiel für ein Diagramm einer Treiberschaltung.

Fig. 6(a), Fig. 6(b) und Fig. 6(c) zeigen eine Grund rißansicht von oben, eine Schnittansicht längs der Linie C-C in Fig. 6(a) bzw. eine Schnittansicht längs der Linie D-D in Fig. 6(b) einer zweiten Ausführungs form gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 7 zeigt eine Grundrißansicht von oben einer drit ten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 8(a) und Fig. 8(b) zeigen eine Grundrißansicht von oben bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer vierten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 8(c) zeigt eine Grundrißansicht von oben für ein anderes Beispiel einer vierten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 9(a) und Fig. 9(b) zeigen jeweils ein Beispiel für ein Diagramm einer Treiberschaltung.

Fig. 10(a), Fig. 10(b) und Fig. 10(c) zeigen eine Grundrißansicht von oben, eine Grundrißansicht von rückwärts bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer fünften Ausführungsform gemäß der vor liegenden Erfindung.

Fig. 11(a) und Fig. 11(b) zeigen jeweils ein Beispiel für eine Treiberschaltung.

Fig. 12(a), Fig. 12(b) und Fig. 12(c) zeigen eine Grundrißansicht von oben, eine Grundrißansicht von rückwärts bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer sechsten Ausführungsform gemäß der vor liegenden Erfindung.

Fig. 13 zeigt eine fragmentarische perspektivische An sicht einer siebten Ausführungsform gemäß der vorlie genden Erfindung.

Fig. 14 zeigt ein Beispiel für eine Treiberschaltung.

Fig. 15(a), Fig. 15(b) und Fig. 15(c) sind eine frag mentarische perspektivische Ansicht, eine fragmentari sche Grundrißansicht von oben bzw. eine fragmentarische Aufrißansicht einer achten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 16 zeigt ein Beispiel für eine Treiberschaltung.

In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszahlen die gleichen oder einander in den verschiedenen Darstellun gen entsprechenden Teile.

Fig. 2(a) bis (d) zeigen eine erste Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 2(a) und Fig. 2(b) zeigen eine Grundrißansicht von oben bzw. von rückwärts eines pyroelektrischen Sensors 11 vom Typ einer linearen Anordnung. Fig. 2(c) und Fig. 2(d) zeigen einen Aufriß und eine Schnittansicht längs der Linie B-B in Fig. 2(c) des pyroelektrischen Sensors, der an einem Träger 18 befestigt ist.

Der pyroelektrische Sensor 11 umfaßt eine Platte 12 aus einem pyroelektrischen Material wie einer Bleizirco niumtitanat-Keramik, einer Bleititan-Keramik und Lithiumtantalat. Die Platte 12 kann nach einem wohl bekannten Verfahren hergestellt werden. Sie hat die Form eines Rechtecks, das sich in Fig. 2(a) bis (d) in Längsrichtung von links nach rechts ausdehnt. Lange und enge Räume 13 werden senkrecht durch die Platte 12 hin durch gebildet, und sie erstrecken sich von der ersten Seite 12a der Platte 12 halbwegs in Richtung der zwei ten Seite 12b. Auf diese Weise werden pyroelektrische Segmente 14 zwischen den Räumen 13 gebildet, und diese Segmente haben freie Enden an der ersten Seite 12a.

Erste Elektroden 15 werden auf der oberen Oberfläche der Platte 12 gebildet. Jede erste Elektrode 15 besteht aus einem Licht empfangenden Teil 15a, der sich nahe dem freien Ende eines pyroelektrischen Segments 14 befindet, einem Verbindungsteil 15c in der Nähe der zweiten Seite 12b der Platte 12 und einem Verlänge rungsteil 15b, der die beiden Teile 15a und 15c mitein ander verbindet. Ein lichtabsorbierender Film 16 aus einem Material wie Ni-Cr und Platinschwarz wird genau auf den Licht empfangenden Teilen 15a gebildet. Der Licht aufnehmende Teil 15a sowie der geerdete Teil 17a der Gegenelektrode 17, die im folgenden beschrieben wird, dienen als Nachweiselektroden zum Erfühlen der Wärme. Die Verlängerungsteile 15b und die Verbindungs teile 15c dienen zur Übermittlung eines elektrischen Signals an eine äußere Treiberschaltung, die im Folgen den noch erläutert wird.

Alternativ kann an Stelle einer Ausbildung einer licht absorbierenden Schicht auf dem Licht empfangenden Teil 15a dieser aus einem Material wie etwa einem Ruß- Anstrich und einem Metallmohr-Material hergestellt sein. Weiterhin können sowohl der Verlängerungsteil 15b als auch der Verbindungsteil 15c aus einem solchen Material wie oben erwähnt hergestellt sein.

Zweite Elektroden 17 werden auf der rückwärtigen Ober fläche der Platte 12 in Entsprechung zu den ersten Elektroden 15 gebildet. Eine zweite Elektrode 17 be steht aus einem Masse-Teil 17a, der sich nahe dem freien Ende eines pyrolytischen Segments 14 befindet, einem Verbindungsteil 17c nahe der Seite 12b und einem Verlängerungsteil 17b, der den Masse-Teil 17a und den Verbindungsteil 17c miteinander verbindet. Der Verbin dungsteil 17c ist allen zweiten Elektroden gemeinsam, und er ist weiterhin verbunden mit einem umgefalteten Teil 17d, der auf der oberen Oberfläche der Platte 12 ausgebildet ist. Die Verlängerungsteile 17b, die Ver bindungsteile 17c und der umgefaltete Teil 17d dienen zur Übermittlung eines elektrischen Signals an eine Treiberschaltung, die im folgenden noch erläutert wird. Der Masse-Teil 17a ist gerade dem Licht empfangenden Teil 15a gegenüber angeordnet und dient als Nachweis- Elektrode, die mit dem oben genannten, Licht aufnehmen den Teil 15a ein Paar bildet. Die Verlängerungsteile 17b und die Verbindungsteile 17c der zweiten Elektroden 17 sind so ausgebildet, daß sie die Verlängerungsteile 15b und die Verbindungsteile 15c der ersten Elektroden 15 nicht überlappen, wie dies in den Fig. 2(a) und 2(b) dargestellt ist. Diese Anordnung erniedrigt die Kapazi tät, und dies steigert die Lichtempfindlichkeit.

Der pyroelektrische Sensor 11 ist mit seiner rückwärti gen Oberfläche um die Seite 12b herum an einem Träger 18 befestigt.

Ein Detektor-Teil 19 besteht aus einem Licht empfangen den Teil 15a einer ersten Elektrode 15, einem Masse- Teil 17a, einem pyroelektrischen Material zwischen diesen und dem lichtabsorbierenden Film 16. Wenn das Licht auf den Licht absorbierenden Film 16 auftrifft, treten elektrische Ladungen auf der Oberfläche des pyroelektrischen Materials auf, und die Menge der er zeugten Ladungen kann mit Hilfe einer Treiberschaltung entnommen werden, die im folgenden noch erläutert wird.

Ein pyroelektrischer Sensor mit einer Anordnung vom linearen Typ, wie oben beschrieben wurde, kann mit Hilfe der folgenden Schritte erzeugt werden:

(1) Herstellen einer Platte 12 aus einem pyroelektri schen Material;
(2) Polieren beider Oberflächen der Platte 12, bei spielsweise auf eine Dicke von 50 µm, wodurch Spiegelebenen erhalten werden;
(3) Bilden der ersten Elektroden 15 auf der Oberseite der Platte 12;
(4) Bilden der zweiten Elektroden 17 auf der Rückseite der Platte 12;
(5) Polarisieren des pyroelektrischen Materials durch Anlegen einer Spannung zwischen einer ersten Elek trode 15 und einer entsprechenden zweiten Elektro de 17; die Polarisierungsrichtung ist durch die Pfeile in den Fig. 2(c) und 2(d) angegeben; die Polarisierungsrichtung kann auch entgegengesetzt sein;
(6) Legen einer Mehrzahl von Platten 12 und Befestigen derselben mit Wachs, wie dies in Fig. 3 darge stellt ist;
(7) Ausbilden von Spalten für Räume 13, beispielswei se mit Hilfe einer Substratzerteilersäge, durch Laserstrahl-Schneiden, chemisches Ätzen, Plasma- Ätzen oder durch chemisches Ätzen und Laserstrahl- Schneiden;
(8) Trennen der Platten 12 in die einzelnen Platten 12;
(9) Bilden des lichtabsorbierenden Films 16 auf jedem der Licht empfangenden Teile 15a;
(10) Anbringen von Anschlußdrähten an jedem der verbin denden Teile 15c der ersten Elektroden 15 und an dem umgefalteten Teil 17d mit Hilfe eines Verbin dungsverfahrens.

Die Schritte für die Herstellung eines pyroelektrischen Sensors können auch wie folgt nacheinander durchgeführt werden:
(1)-(2)-(6)-(7)-(8)-(3)-(4)-(5)-(9)- (10) oder (1)-(2)-(3)-(4)-(6)-(7)-(8)-(5)-(9)- (10).

Der Schritt (6) (Fig. 3) ermöglicht die Herstellung einer großen Menge pyroelektrischer Platten 12 durch Stapeln eine größeren Zahl von Platten 12 übereinander und Bilden der Räume 13.

Der pyroelektrische Sensor mit einer Anordnung des linearen Typs kann wie folgt betrieben werden:
Fig. 4 zeigt ein Beispiel für eine Treiberschaltung. Ein Verbindungsteil 15c (Ausgangsanschluß) einer ersten Elektrode 15 wird mit einer Gatt-Elektrode (gate electrode) G eines Feldeffekt-Transistors FET und über einen Widerstand R_g mit Masse (Erde) verbunden. Eine Gleichspannung wird an die Kollektor-Elektrode (drain electrode) D des FET angelegt, und ein Widerstand R_s wird mit der Emitter-Elektrode (source electrode) S des FET und der Masse verbunden. Das Ausgangssignal (Ch₁, Ch₂ . . .) wird von der Emitter-Elektrode S abgenommen. Auf der anderen Seite wird der Masse-Teil 17a einer zweiten Elektrode 17 über den Verbindungsteil 17c und den umgefalteten Teil 17d mit der Masse verbunden.

Wenn auf den (in Fig. 4 aus Gründen der Übersichtlich keit nicht eingezeichneten) lichtabsorbierenden Film 16 Licht auftrifft, steigt die Temperatur des pyroelektri schen Materials in dem Detektor-Teil 19, und auf der Oberfläche des pyroelektrischen Materials treten elek trische Ladungen auf. Die Menge dieser Ladungen hängt von der Temperaturdifferenz zwischen dem pyroelektri schen Material und der Umgebung ab. Dann fließt ein Strom durch den Widerstand R_g und erzeugt an R_g einen Spannungsabfall. Der Spannungsabfall wird als der Span nungsabfall, dem die gleichgerichtete Vorspannung über lagert ist, an dem Widerstand R_s durch eine Emitter- Folgeschaltung des FET abgenommen, die den Scheinwider stand (Impedanz) des Eingangssignals von der Emitter- Elektrode S umformt.

Wenn das Licht auf die gesamte Fläche des pyroelektri schen Sensors 11 fällt, liefert auf diese Weise jeder Kanal Ch₁, Ch₂, . . ., Ch_n ein Ausgangssignal. Wenn ande rerseits das Licht nur auf einen Teil des pyroelektri schen Sensors 11 auftrifft, erscheinen Ausgangssignale nur von den Kanälen, die den beleuchteten Teilen ent sprechen.

Wenn ein Lichtstrahlung abgebendes Material ortsfest ist, sollte über den ersten Elektroden 15 oberhalb der oberen Oberfläche des pyroelektrischen Sensors 11 ein Zerhacker (Chopper) angebracht werden. Weiterhin sollte ein Temperaturkorrektur-Sensor angebracht werden, um die Temperaturdifferenz zwischen dem pyroelektrischen Material und der Umgebung nachzuweisen. Wenn anderer seits das Material sich bewegt oder die Intensität der von dem Material emittierten Strahlung variiert, wird ein Chopper nicht benötigt.

Fig. 5 zeigt ein anderes Beispiel für eine Treiber schaltung, die einen pyroelektrischen Sensor in zeit licher Serie betreiben kann. In dieser Schaltung sind die Verbindungsteile 15c (Ausgangsanschlüsse) der ersten Elektroden 15 jeweils über Schalter S₁, S₂, . . ., S_n mit den Gatt-Elektroden G von FETen verbunden, und die betreffende Gatt-Elektrode G ist über einen Wider stand R_s mit der Masse verbunden. Eine Gleichspannung wird an die Kollektor-Elektroden D der FETen angelegt. Die Emitter-Elektroden S sind über einen gemeinsamen Widerstand R_s mit der Masse verbunden, und der Span nungsabfall an R_g wird als der Spannungsabfall, dem die gleichgerichtete Vorspannung überlagert ist, an dem Widerstand R_s durch eine Emitter-Folgeschaltung des FET abgenommen, die den Scheinwiderstand (Impedanz) des Eingangssignals von der Emitter-Elektrode S umformt.

Wenn auf den (in Fig. 5 aus Gründen der Übersichtlich keit nicht eingezeichneten) lichtabsorbierenden Film 16 Licht auftrifft, werden in dem pyroelektrischen Mate rial zwischen den Licht empfangenden Teilen 15a gerade unterhalb des lichtabsorbierenden Films 16 und den ent sprechenden Masse-Teilen 17a in Abhängigkeit von der Temperatur elektrische Ladungen erzeugt. Wenn Schalter S₁, S₂, . . ., S_n nacheinander geschlossen und geöffnet werden, fließt ein Strom durch den Widerstand R_g, der mit dem geschlossenen Schalter verbunden ist, und die Spannung fällt an dem Widerstand R_g ab durch eine Emitter-Folgeschaltung des FET, die die Impedanz des Signals umformt. So wird in zeitlicher Abfolge ein Wechselspannungssignal als der von der gleichgerichte ten Vorspannung über lagerte Spannungsabfall an R_s ab genommen. Wenn das Licht nur auf einen Teil des pyro elektrischen Sensors auftrifft, erscheinen Ausgangs signale nur bei den beleuchteten Teilen.

Wenn ein Lichtstrahlung abgebendes Material ortsfest ist, sollte über den ersten Elektroden 15 oberhalb der oberen Oberfläche des pyroelektrischen Sensors 11 ein Chopper angebracht werden. In diesem Falle muß der Zeitraum, in dem die Schalter S₁, S₂, . . ., S_n nachein ander geschlossen werden, wesentlich kürzer, d. h. die Abtastgeschwindigkeit sehr viel größer sein als die Zerhacker-Geschwindigkeit des Choppers.

Wenn andererseits das Material sich bewegt oder die Intensität der von dem Material emittierten Strahlung variiert, sollte die Abtastgeschwindigkeit sehr viel größer sein als die Bewegungsgeschwindigkeit des Mate rials oder die Geschwindigkeit der Änderung der Strah lungsintensität.

In der oben beschriebenen ersten Ausführungsform sind die pyroelektrischen Segmente 14 Ausleger, so daß die Wärme nur durch das eine Ende der pyroelektrischen Seg mente 14 fließt. Hierdurch wird der Wärmeverlust ver ringert und die Empfindlichkeit verbessert. Weiterhin wird das Übersprechen (cross-talk) aufgrund thermischer Diffusion unterdrückt, da die pyroelektrischen Segmente 14 durch die Räume 13 voneinander getrennt sind.

Fig. 6(a), Fig. 6(b) und Fig. 6(c) zeigen eine Grund rißansicht, eine Aufrißansicht längs der Linie C-C in Fig. 6(a) bzw. eine Schnittansicht längs der Linie D-D in Fig. 6(b) einer zweiten Ausführungsform 21 gemäß der vorliegenden Erfindung. Diese zweite Ausführungsform 21 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform 11 nur durch die Form der pyroelektrischen Segmente 24 oder der Räume 23. Die Räume 23 sind in der Platte 12 so ausgebildet, daß die Querschnittsfläche des pyro elektrischen Segments 24 verringert wird, auf der der Verlängerungsteil 15b gebildet wird. Dadurch wird im Vergleich zu der ersten Ausführungsform 11 der Wärme verlust von dem pyroelektrischen Segment 24 weiter herabgesetzt, und auch das Übersprechen aufgrund ther mischer Diffusion wird unterdrückt.

Fig. 7 zeigt eine Grundrißansicht von oben einer drit ten Ausführungsform 31 gemäß der vorliegenden Erfin dung. Ein Detektor-Teil 29 umfaßt einen lichtabsorbie renden Teil 15a einer ersten Elektrode, einen (nicht eingezeichneten) Masse-Teil 17a, pyroelektrisches Mate rial des pyroelektrischen Segments 34 zwischen diesen und einen lichtabsorbierenden Film 16 über dem licht absorbierenden Teil 15a. Pyroelektrische Segmente 34 erstrecken sich abwechselnd in Richtung zu der Seite 12a hin oder zu der Seite 12b hin. Dies bedingt, daß die Verbindungsteile 15c ebenfalls abwechselnd in der Nähe der Seite 12b und in der Nähe der Seite 12a ange ordnet sind. Wie aus Fig. 2(b) zu unterstellen ist, werden die zweiten Elektroden 17 mit einem Masse-Teil 17a, einem Verlängerungsteil 17b und einem Verbindungs teil 17c auf der rückwärtigen Oberfläche der Platte 12 gebildet, und sie werden mit einem umgefalteten Teil 17d verbunden, der auf der Oberfläche der Oberseite der Platte 12 gebildet ist. Auf diese Weise werden die Detektor-Teile 29 linear entlang der Mittellinie der Platte 12 zwischen den Seiten 12a und 12b angeordnet. Der Verlust von Wärme von den pyroelektrischen Segmen ten 24 nimmt weiter ab, und das Übersprechen aufgrund thermischer Diffusion wird im Vergleich zu demjenigen der ersten Ausführungsform 11 ebenfalls weiter unter drückt.

Da die Verbindungsteile 15c alternierend gebildet wer den, kann die Fläche eines Verbindungsteils 15c breiter gemacht werden. Infolgedessen können die Leitungsdrähte leicht mit den Verbindungsteilen 15c verbunden werden. Weiterhin können die Verbindungsteile 15c dicht ange ordnet werden.

Fig. 8(a) und Fig. 8(b) zeigen eine Grundrißansicht bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer vierten Ausführungsform 41 gemäß der vorliegenden Er findung. Fig. 8(c) zeigt eine Grundrißansicht eines modifizierten Beispiels einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In dieser Ausführungsform werden pyroelektrische Seg mente 14 parallel zueinander, getrennt durch spalt artige Räume 13, gebildet. Sowohl die ersten Elektroden 45 als auch die zweiten Elektroden 47 der gleichen Breite sind auf derselben Ebene eines pyroelektrischen Segments 14 parallel zueinander, durch einen Zwischen raum getrennt, angeordnet. Eine erste Elektrode 45 er streckt sich von dem freien Ende des pyroelektrischen Segments 14 bis in die Nachbarschaft der Seite 12b. Andererseits erstreckt sich eine zweite Elektrode 47 von dem freien Ende des pyroelektrischen Segments 14 bis zu der Seite 12b, und die Enden sämtlicher zweiten Elektroden 47 sind entlang der Seite 12b miteinander verbunden. Ein lichtabsorbierender Film 46 wird auf einem Teil einer ersten Elektrode 45 nahe dem freien Ende gebildet. Eine Gegenelektrode 40 wird auf der Rückseite des pyroelektrischen Segments 14 gegenüber beiden Teilen der ersten Elektrode 45 gebildet, auf dem der lichtabsorbierende Film 46 gebildet ist, und ein entsprechender Teil einer zweiten Elektrode 47 wird zu dem oben genannten Teil parallel gelegt, wie in Fig. 8(b) dargestellt ist. Ein Detektor-Teil 49 besteht aus einem lichtabsorbierenden Teil 46, den vorerwähnten Teilen einer ersten Elektrode 45 und einer zweiten Elektrode 47, einer Gegenelektrode 40 und pyroelektri schen Materialien zwischen ihnen.

Die Polarisationsrichtung des pyroelektrischen Mate rials wird durch die Pfeile in Fig. 8(b) bezeichnet; sie kann jedoch auch entgegengesetzt sein.

Ein Detektor für Schwingungsrauschen wird nahe dem freien Ende eines pyroelektrischen Elements 14 gebil det, wie im folgenden erläutert wird.

Alternativ kann der lichtabsorbierende Film 46 nahe dem freien Ende einer zweiten Elektrode 47 gebildet werden, wie in Fig. 8(c) gezeigt ist.

Es ist wünschenswert, daß eine lichtabschirmende Platte über die erste oder die zweite Elektrode gelegt wird.

Ein pyroelektrischer Sensor der vierten Ausführungsform gemäß der Erfindung kann wie folgt betrieben werden:
Fig. 9(a) und Fig. 9(b) zeigen jeweils eine Treiber schaltung für einen einzelnen pyroelektrischen Detek tor, wie er in den Fig. 8(a) bzw. 8(c) dargestellt ist. Eine erste Elektrode 45 ist mit einer Gatt-Elektrode G eines FET verbunden. Ein Widerstand R_g ist zwischen der ersten Elektrode 45 und der entsprechenden zweiten Elektrode 47 angeschlossen, die geerdet ist. Eine Gleichspannung wird an die Kollektor-Elektrode D des FET angelegt, während die Emitter-Elektrode S des FET über einen Widerstand R_s mit der Erde verbunden ist. Das Ausgangssignal wird von der Emitter-Elektrode S abgenommen.

Wenn Licht auf die erste Elektrode 45 auftrifft, werden in dem pyroelektrischen Material zwischen den Elektro den 40, 45 in Fig. 9(a) Ladungen erzeugt. Dann fließt durch den Widerstand R_g ein Strom. Der Spannungsabfall über R_g wird als Spannungsabfall an R_s durch eine Emit ter-Folgeschaltung des FET abgenommen, die die Impedanz des Eingangssignals umformt. Dann wird das Wechelstrom- Signal von der Emitterelektrode S, überlagert von der gleichgerichteten Vorspannung, abgenommen.

Das pyroelektrische Material wird in der gleichen Rich tung von der Gegenelektrode 40 zu der ersten Elektrode 45 und der zweiten Eelktrode 47 polarisiert. Dann kann ein Detektor-Teil 49 als einer mit einer äquivalenten Schaltung angesehen werden, in der zwei Sensoren mit umgekehrter Polarität in Reihe verbunden sind.

Wenn Licht auf den Detektor-Teil 49 auftrifft, werden aufgrund des Unterschieds in der Rate der Lichtabsorp tion in dem pyroelektrischen Material, das zwischen der ersten Elektrode 45 und der Gegenelektrode 40 liegt, mehr elektrische Ladungen erzeugt als in demjenigen, das zwischen der zweiten Elektrode 47 und der Gegen elektrode 40 liegt. Dann vermag der Detektor-Teil die Intensität des einfallenden Lichtes nachzuweisen.

Ein Vorteil der vierten Ausführungsform 41 besteht darin, daß auf Schwingungen beruhende Signale gelöscht werden, so daß das Signal/Rausch-Verhältnis S/N ver bessert wird. Schwingungsrauschen aufgrund von Vibra tionen entsteht in äquivalenter Weise sowohl für die erste Elektrode 45 als auch für die zweite Elektrode 47. Da die Polarisationsrichtungen für die erste Elektrode 45 und für die zweite Elektrode 47 entgegen gesetzt sind, haben die in der ersten Elektrode 45 und in der zweiten Elektrode 47 erzeugten elektrischen Ladungen einander entgegengesetzte Polarität. Aus diesem Grunde werden auf Schwingungen beruhende Signale ausgelöscht. Die zweite Elektrode 47 und die Gegen elektrode 40 bilden einen Detektor für Schwingungs rauschen.

In dem in Fig. 8(c) dargestellten pyroelektrischen Sensor 41′ bilden eine erste Elektrode 45 und eine (nicht eingezeichnete) Gegenelektrode 40 einen Detektor für Schwingungsrauschen, der Schwingungsrauschen nach zuweisen vermag.

Fig. 9(a) und Fig. 9(b) zeigen jeweils eine Treiber schaltung für einen einzelnen Detektor-Teil 49. Zum Be treiben einer linearen Anordnung von Detektor-Teilen 49 kann eine Treiberschaltung zusammengesetzt werden, wie dies in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist.

Fig. 10(a), Fig. 10(b) und Fig. 10(c) zeigen eine Grundrißansicht von oben, eine Grundrißansicht von rückwärts bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer fünften Ausführungsform 51 gemäß der vor liegenden Erfindung. Diese Ausführungsform unterschei det sich von der ersten Ausführungsform [Fig. 2(a) bis (c)] in zwei Punkten. Erstens besteht die erste Elek trode 55 aus zwei parallelen Teilen 55′ und 55′′, die jeweils die gleiche Breite besitzen und durch einen Zwischenraum voneinander getrennt sind. Die beiden Teile 55′ und 55′′ sind in der Nähe der Seite 12b der Platte 12 miteinander verbunden. Ein lichtabsorbieren der Film 46 ist auf dem freien Ende entweder des Teils 55′ oder des Teils 55′′ gebildet. Zweitens ist, wie die Pfeile in Fig. 10(c) zeigen, die Polarisationsrichtung des pyroelektrischen Segments 14 zwischen dem ersten Teil 55′ der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode 17 entgegengesetzt zu derjenigen zwischen dem zweiten Teil 55′′ der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode 17.

Ein Detektor-Teil 59 wird in der Nähe des freien Endes jedes pyroelektrischen Segments 14 gebildet.

Bei dem Verfahren zur Polarisierung des pyroelektri schen Materials, wie es im Vorstehenden beschrieben wurde, werden die beiden Teile 55′ und 55′′ der ersten Elektrode voneinander getrennt. Zunächst wird eine Gleichspannung zwischen dem ersten Teil 55′ der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode 17 angelegt, um in einer Richtung zu polarisieren. Dann wird die Gleichs pannung zwischen dem zweiten Teil 55′′ der ersten Elek trode und der zweiten Elektrode 17 angelegt, um in um gekehrter Richtung zu polarisieren. Danach werden die beiden Teile 55′ und 55′′ der ersten Elektroden elek trisch miteinander verbunden.

Es ist wünschenswert, daß eine lichtabschirmende Platte über den zweiten Teil 55′′ der ersten Elektrode 55 ge legt wird.

Fig. 11(a) zeigt eine Treiberschaltung für einen ein zelnen Detektor-Teil 59 einer fünften Ausführungsform, wie er in den Fig. 10(a) bis (c) dargestellt ist. Die Schaltung ähnelt derjenigen, die in Fig. 9(a) darge stellt ist, mit der Ausnahme, daß die beiden Teile 55′ und 55′′ der ersten Elektrode mit der Gatt-Elektrode G verbunden sind, während die zweite Elektrode 17 geerdet ist.

Fig. 11(b) zeigt eine Treiberschaltung für einen ein zelnen Detektor-Teil eines modifizierten Beispiels einer fünften Ausführungsform, bei dem ein lichtabsor bierender Film auf der zweiten Elektrode 17 unter dem freien Ende des ersten Teils 55′ der ersten Elektrode gebildet ist und das Licht auf der Rückseite einfällt.

Da die in dem lichtabsorbierenden Film 46 absorbierte Wärme in die zweite Elektrode 17 diffundiert, und zwar nicht nur in den Teil, auf dem der lichtabsorbierende Film 46 gebildet ist, sondern auch in den anderen Teil, wird die Amplitude des Ausgangssignals niedriger, da die Differenz zwischen den Temperaturen der beiden Teile der zweiten Elektrode 17 kleiner wird. Aus diesem Grunde ist die in Fig. 10(a) bis (c) dargestellte Kon struktion besser als diejenige des in Fig. 11(b) ge zeigten modifizierten Beispiels.

Ein Vorteil der fünften Ausführungsform 51 besteht darin, daß auf Schwingungen beruhende Signale gelöscht werden, so daß das Signal/Rausch-Verhältnis S/N ver bessert wird. In der fünften Ausführungsform ist ein Detektor für Schwingungsrauschen aufgebaut aus dem zweiten Teil 55′′ der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode 17.

Eine Treiberschaltung für eine lineare Anordnung von Detektor-Teilen gemäß der fünften Ausführungsform kann aus den in Fig. 11(a) und Fig. 11(b) dargestellten ein zelnen Treiber-Schaltungen in ähnlicher Weise zusam mengesetzt werden, wie dies in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist.

Fig. 12(a), Fig. 12(b) und Fig. 12(c) zeigen eine Grundrißansicht von oben, eine Grundrißansicht von rückwärts bzw. eine fragmentarische perspektivische Ansicht einer sechsten Ausführungsform 61 gemäß der vorliegenden Erfindung. Die prinzipiellen Unterschiede dieser Ausführungsform von der ersten Ausführungsform liegen in der Position der zweiten Elektroden 67 und in dem Vorhandensein von Gegenelektroden 60. Eine zweite Elektrode 67 wird ebenso wie eine erste Elektrode 65 auf der oberen Seite eines pyroelektrischen Segments 14 gebildet. Ein Licht aufnehmender Teil 65a der ersten Elektrode 65 ist an dem freien Ende des pyroelektri schen Segments 14 nahe einer Seite des Segments 14 angeordnet. Der Masse-Teil 67a hat die gleiche Fläche wie der Licht aufnehmende Teil 65a und ist nahe dem letzteren Teil 65a und nahe der anderen Seite des Seg ments 14 angeordnet. Dann erstrecken sich die Verlänge rungsteile 67b von dem Masse-Teil 67a zu dem gemeinsa men Verbindungsteil 67c an der Seite 12b der Platte 12. Eine Gegenelektrode 60 wird auf der rückwärtigen Ober fläche des pyroelektrischen Segments 14 gebildet. Sie besteht aus zwei Teilen gerade unterhalb des Licht auf nehmenden Teils 65a und des Masse-Teils 67a und einem Verbindungsteil zwischen diesen. Die Polarisationsrich tung des pyroelektrischen Segments 14 ist durch die Pfeile in Fig. 12(c) bezeichnet. Sie kann auch umge kehrt sein.

In diesem Beispiel wird der lichtabsorbierende Film 66 auf dem Licht aufnehmenden Teil 65a gebildet. Ein Detektor-Teil 69 besteht aus dem Licht aufnehmenden Teil 65a, dem Masse-Teil 67a, der Gegenelektrode 60, dem dazwischen liegenden pyroelektrischen Material und dem lichtabsorbierende Film 66. Da der Licht aufnehmen de Teil 65a an dem freien Ende des pyroelektrischen Segments 14 angeordnet ist, diffundiert die Wärme nur durch das pyroelektrische Segment 14. Aus diesem Grunde ist die Empfindlichkeit verbessert, und das Überspre chen wird in wirksamer Weise reduziert.

Ein Vorteil der sechsten Ausführungsform 61 besteht darin, daß auf Schwingungen beruhende Signale gelöscht werden, so daß das Signal/Rausch-Verhältnis S/N ver bessert wird. Ein Detektor für Schwingungsrauschen ist aufgebaut aus der zweiten Elektrode 67 und der Gegen elektrode 60.

Es ist wünschenswert, daß eine lichtabschirmende Platte über die zweiten Elektroden 67 gelegt wird.

Eine in Fig. 4 und 5 dargestellte Treiberschaltung kann zum Betreiben eines pyroelektrischen Detektors der sechsten Ausführungsform verwendet werden.

Fig. 13 zeigt eine fragmentarische perspektivische An sicht eines pyroelektrischen Sensors 71 vom Typ einer linearen Anordnung entsprechend einer siebten Ausfüh rungsform 71 gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine Platte 72 ist zusammengesetzt aus einer ersten pyro elektrischen Schicht 72a, einer wärmeisolierenden Schicht 72b und einer zweiten pyroelektrischen Schicht 72c, die jeweils in dieser Reihenfolge aufeinander auf gebracht werden. Pyroelektrische Segmente 74 werden durch spaltartige Räume 13 getrennt, die wie in der ersten Ausführungsform parallel zueinander gebildet werden. Eine erste Elektrode 75 wird auf der ersten pyroelektrischen Schicht 72a gebildet, und sie besteht auf einem Licht aufnehmenden Teil 75a nahe dem freien Ende des pyroelektrischen Segments 74, einem Verlänge rungsteil 75b, der sich von dem Licht aufnehmenden Teil 75a zu der Basis der Platte 72 erstreckt, und einem Verbindungsteil 75c nahe der Seite der Platte 72. Ein Licht aufnehmender Film 76 ist auf dem Licht aufnehmen den Teil 75a gebildet. Eine erste Zwischenelektrode 70a ist auf der rückwärtigen Oberfläche der pyroelektri schen Schicht 72a gerade unter dem Licht aufnehmenden Teil 75a gebildet. Eine zweite Elektrode 77 ist auf der rückwärtigen Oberfläche der zweiten pyroelektrischen Schicht 72c gebildet, und sie besteht ebenfalls aus einem Masse-Teil 77a, einem (nicht eingezeichneten) Verlängerungsteil und einem (nicht eingezeichneten) Verbindungsteil. Der Masse-Teil 77a ist gegenüber dem Licht aufnehmenden Teil 75a in entsprechender Position angeordnet. Der (nicht eingezeichnete) Verbindungsteil am Ende des Verlängerungsteils ist ähnlich dem Verbin dungsteil 75c gebildet und mit den benachbarten Ver bindungsteilen elektrisch verbunden.

Eine zweite Zwischenelektrode 70b ist auf der oberen Oberfläche der zweiten pyroelektrischen Schicht 72c gerade über dem Masse-Teil 77a angeordnet.

Eine Verbindungselektrode 70c befindet sich auf der Seite des freien Endes des pyroelektrischen Segments 74 und verbindet die erste Zwischenelektrode 70a elek trisch mit der zweiten Zwischenelektrode 70b.

Die Polarisationsrichtungen der pyroelektrischen Schichten 72a und 72c sind durch die Pfeile in Fig. 13 bezeichnet. Sie können auch umgekehrt sein.

In dem Verfahren zur Herstellung eines pyroelektrischen Sensors der siebten Ausführungsform werden zuerst eine erste pyroelektrische Schicht 72a, eine wärmeisolie rende Schicht 72b und eine zweite pyroelektrische Schicht 72c hergestellt. Dann werden erste Elektroden 75 und erste Zwischenelektroden 70a auf der ersten pyroelektrischen Schicht 72a und zweite Elektroden 77 und zweite Zwischenelektroden 70b auf der zweiten pyro elektrischen Schicht 72c gebildet. Die Schichten werden übereinandergelegt und mit Hilfe eines Klebemittels miteinander verbunden. Dann werden Verbindungselektro den 70c gebildet.

Beim Verfahren zum Polarisieren werden sowohl die ersten Elektroden 75 als auch die zweiten Elektroden 77 mit dem einen Ausgangsanschluß einer Gleichstromquelle verbunden, während die Verbindungselektroden 80c mit dem anderen Ausgangsanschluß verbunden werden. Auf an dere Weise können vorher polarisierte pyroelektrische Schichten 72a und 72c mittels einer wärmeisolierenden Schicht 72b haftend verbunden werden. Auf einem weite ren Wege können die pyroelektrischen Schichten 72a und 72c und die wärmeisolierende Schicht 72b, die alle vor her nicht gebrannt waren, durch Laminieren und Brennen integriert werden.

Pyroelektrische Platten 72 können hergestellt werden, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Zuerst wird eine Mehrzahl von pyroelektrischen Platten 72 übereinander geschich tet. Nach dem Fixieren mit Wachs werden spaltartige Räume 13 hergestellt. Danach werden die pyroelektri schen Platten 72 voneinander getrennt.

Fig. 14 zeigt eine Treiberschaltung für einen einzelnen Detektor. Eine erste Elektrode 75a ist mit der Gatt- Elektrode G eines FET verbunden, während eine zweite Elektrode 77a geerdet ist. Das Prinzip der Schaltung ist ähnlich derjenigen, die in Fig. 9(a) dargestellt ist.

Wenn Licht auf die lichtabsorbierende Schicht 76 trifft, steigt die Temperatur der ersten pyroelektri schen Schicht 72a unterhalb der lichtabsorbierenden Schicht 76. Andererseits wird die Diffusion von Wärme zu der zweiten pyroelektrischen Schicht 72c durch die wärmeisolierende Schicht 72b verhindert. Da die Äqui valenzschaltung des Detektor-Teils als umgekehrte Reihenschaltung zweier pyroelektrischer Sensoren genommen werden kann, läßt sich das Schwingungsrauschen auslöschen. Dann kann die Menge der durch das auftref fende Licht erzeugten Ladungen wirksam nachgewiesen werden, und das S/N-Verhältnis wird verbessert. Ein Detektor für Schwingungsrauschen ist aufgebaut aus dem Masse-Teil 77a der zweiten Elektrode 77 und der zweiten Zwischenelektrode 70b.

Fig. 15(a), Fig. 15(b) und Fig. 15(c) sind eine frag mentarische perspektivische Ansicht, eine fragmentari sche Grundrißansicht und eine fragmentarische Aufriß ansicht einer achten Ausführungsform 81 gemäß der vor liegenden Erfindung. Ein prinzipieller Unterschied dieser Ausführungsform von der in Fig. 13 dargestellten siebten Ausführungsform besteht darin, daß die Polari sationsrichtungen der pyroelektrischen Schichten 72a und 72c die gleichen sind, wie durch die Pfeile in Fig. 15(c) dargestellt ist. Die Richtungen können auch die entgegengesetzten sein.

Fig. 15(b) zeigt den Verlängerungsteil 87b und den Ver bindungsteil 87c, die den in Fig. 13 nicht eingezeich neten Teilen 77b und 77c entsprechen.

Fig. 16 ist eine Treiberschaltung für einen einzelnen Nachweis-Teil. Für die achte Ausführungsform sind die erste Elektrode 85 und die zweite Elektrode 87 parallel mit der Gatt-Elektrode G verbunden, und die Verbin dungselektrode 70c ist mit Masse verbunden, ähnlich der Treiberschaltung der Fig. 11(a) für die fünfte Ausfüh rungsform.

Die Prinzipien der Treiberschaltung sind ähnlich der jenigen, die in Fig. 10(a) dargestellt ist.

Die erste pyroelektrische Schicht 72a und die zweite pyroelektrische Schicht 72c sind wie in der siebten Ausführungsform thermisch gegeneinander isoliert. Aus diesem Grunde steigt beim Auftreffen von Licht auf den lichtabsorbierenden Film 76 die Temperatur des Licht aufnehmenden Teils 85a, jedoch die thermische Diffusion zu dem geerdeten Teil 87a wird verhindert. Auf diese Weise kann die Menge der durch das auftreffende Licht erzeugten Ladungen wirksam nachgewiesen werden. Ande rerseits wird das Schwingungsrauschen gelöscht. Dem gemäß wird das S/N-Verhältnis erhöht, die Empfindlich keit wird verbessert, und das Übersprechen nimmt ab. Ein Detektor für Schwingungsrauschen ist aufgebaut aus der zweiten Zwischenelektrode 70b und dem Masse-Teil 87a.

Eine Treiber-Schaltung für einen kompletten Sensor kann aus der in Fig. 16 dargestellten Schaltung in ähnlicher Weise zusammengesetzt werden, wie dies in Fig. 4 und 5 dargestellt ist.

Claims

1. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung aus einer Grundplatte, einer Mehrzahl Streifenelemente aus pyroelektrischem Material mit einem wärmeempfindlichen Bereich an einem freien Ende derselben und einem Paar Nachweis-Elektroden, das auf dem wärmeempfindlichen Bereich des freien Endes jedes Streifenelements an geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Grund platte und die Streifenelemente aus dem gleichen pyro elektrischen Material bestehen, die Streifenelemente integraler Bestandteil der Grund platte sind und jeweils an dem anderen Ende der Grund platte gehalten werden.

2. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen elemente schmal sind, ausgenommen den Bereich, auf dem die Nachweis-Elektroden angeordnet sind.

3. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine licht absorbierende Schicht auf einem der Nachweis-Elek trodenpaare angeordnet ist.

4. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß schmale leit fähige Filme auf den Streifenelementen angeordnet sind, die sich von den Nachweis-Elektroden zu einem Seiten ende der Grundplatte erstrecken.

5. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Nachweis-Elektroden der Nachweis-Elektrodenpaare aus zwei Teilen besteht, die elek trisch miteinander verbunden sind, und die Polarisa tionsrichtungen des pyroelektrischen Materials zwischen dem einen Teil der einen Nachweis-Elektrode und der anderen Nachweis-Elektrode und dem anderen Teil der einen Nachweis-Elektrode und der anderen Nachweis- Elektrode antiparallel zueinander sind.

6. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Nachweis- Elektrodenpaar parallel zueinander auf einer Ebene des Streifenelements ausgebildet ist.

7. Eindimensionale pyroelektrische Sensor-Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine dritte Elektrode auf einer Ebene angeordnet ist, die der Ebene gegenüberliegt, auf der das Nachweis-Elektrodenpaar ausgebildet ist.