DE3509512C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interfero­ metrischen Prüfung der optischen Homogenität von trans­ parenten plattenförmigen Werkstücken, bei der eine Veränderung der optischen Schichtdicke durch eine flächenhafte Aufzeichnung eines Interferogrammes der Schichtdickeninterferenzen überprüfbar ist, mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines das Werkstück sequen­ tiell abtastend bestrahlenden parallelen kohärenten monochromatischen Lichtstrahlbündels, mit einer das transmittierte und/oder reflektierte Licht in Abhängig­ keit vom jeweils durchstrahlten Ort des Werkstücks zur Aufzeichnung sowie Kartierung erfassenden Detektoran­ ordnung und mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen dem Werkstück und dem Licht­ strahlbündel.

Eine derartige Vorrichtung ist in der nicht vorver­ öffentlichten älteren Patentanmeldung P 33 45 897.9-52 der Anmelderin beschrieben und verfügt über eine Ein­ richtung, mit der das zu untersuchende Werkstück und die Detektoranordnung in Gestalt eines Thermopapiers gemeinsam eine Rotations- und/oder Translationsbewe­ ung zur Erzeugung einer Abtastbewegung durchführen können. Das abtastende Lichtstrahlbündel ist dabei ortsfest angeordnet, um sicherzustellen, daß der Ein­ fallswinkel des abtastenden Lichtstrahlbündels konstant bleibt. Bei einem weiteren in der älteren Anmeldung erwähnten Ausführungsbeispiel erfolgt die Abtastung eines feststehenden Prüfkörpers indem der Lichtbündel­ strahl über das zu untersuchende Werkstück geschwenkt wird. Hierbei ergibt sich jedoch ein sich verändernder Einfallswinkel und eine unterschiedlich durchstrahlte Schichtdicke, die unter Einsatz von Rechenaufwand wieder herausgerechnet werden müssen.

Eine weitere ähnliche Vorrichtung ist aus "Patent Abstracts of Japan 55-35214 (A), May 17, 1980, Vol 4, No 66" bekannt geworden und gestattet es, unter Einsatz nichtkohärenten polychromatischen Lichtes sowie elek­ tronischer Speichertechniken Wellenformen von durch Interferenzen erzeugten Intensitätssignalen unter einer Vielzahl von den jeweiligen Wellenlängen zugeordneten Speicheradressen abzuspeichern. Unter Ausnutzung des Effektes von Schichtdickeninterferenzen wird bei der bekannten Vorrichtung eine spektrale Analyse durchge­ führt, um aus den Wellenlängen von Extrema im Inter­ ferenzspektrum die jeweilige Schichtdicke im Bereich des Lichtstrahles zu ermitteln. Dabei wird lediglich die über den Strahlquerschnitt des Lichtstrahles ge­ mittelte Schichtdicke bestimmt, so daß sich nur eine geringe Ortsauflösung erreichen läßt.

Die Positionierung von Meßstrahlen mit Hilfe von Spie­ geln, die längs Geraden verschiebbar sind, ist in der DE-OS 31 16 235 für ein Werkstatt-Meßgerät zum Über­ prüfen großer Objekte, wie Fahrzeugkörper beschrieben.

Der Einsatz von Spiegeln ist auch aus der DE-OS 28 03 466 für ein optisches Einheitsmeßgerät erörtert, bei dem mit einem von einem Kollimator oder von einem photoelektrischen Autokollimationsfernrohr ausgesandten Meßstrahl eine Fläche sequentiell abgetastet wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vor­ richtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die es gestattet, ein Werkstück schnell und trägheitsarm mit einer hohen Abtastgeschwindigkeit entlang einem be­ liebigen Abtastweg mit hoher Ortsauflösung abzutasten.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Einrichtung zur Erzeugung der Relativbewegung zwi­ schen dem Werkstück und dem Lichtstrahlbündel ein Kurvenschreiber mit einem in Richtung des einfallenden Lichtstrahlbündels verschiebbaren Schlitten und einem auf dem Schlitten verschiebbaren Schreibkopf ist, wobei auf dem Schlitten ein von dem einfallenden Lichtstrahl­ bündel angestrahlter erster Umlenkspiegel so angeordnet ist, daß das umgelenkte Lichtstrahlbündel einen zweiten Umlenkspiegel anstrahlt, der an dem in Ausbreitungs­ richtung des umgelenkten Lichtstrahlbündels entlang dem Schlitten verschiebbaren Schreibkopf auf das Werkstück ausgerichtet befestigt ist.

Dadurch, daß das Werkstück mit der Detektoranordnung feststehend angeordnet ist und die Abtastung lediglich durch das Verschieben von auf dem Kurvenschreiber angeordneten Umlenkspiegeln erfolgt, sind die zu bewe­ genden Massen wesentlich kleiner als die verhältnis­ mäßig großen Massen der zu prüfenden Werkstücke. In­ folge der dadurch geringeren Massenträgheit können die Abtastbewegungen und Änderungen in der Richtung der Abtastbewegung wesentlich schneller erfolgen, ohne daß hohe Trägheitskräfte aufgefangen zu werden brauchen. Außerdem gestattet es die Vorrichtung, jeden beliebigen Punkt auf der Werkstücksoberfläche ohne vorherbestimmte Umwege anzusteuern.

Gegenüber der bereits bekannten, ebenfalls den Effekt von Schichtdickeninterferenzen ausnutzenden Vorrichtung zeichnet sich die erfindungsgemäße Vorrichtung nicht nur durch eine höhere Ortsauflösung, sondern auch durch einen erheblich weniger aufwendigen Aufbau der gesamten Detektoranordnung aus.

Von besonderem Vorteil ist es dabei, daß der Einfalls­ winkel des Lichtstrahlbündels auf die Oberfläche des Werkstücks unabhängig vom jeweils wirksamen Abtastbe­ reich auf dem Werkstück ist. Es verändert sich beim Abtastvorgang lediglich die Gesamtstrecke, die das Lichtstrahlbündel durchlaufen muß, jedoch werden da­ durch weder die Intensität auf der Detektoranordnung noch die Interferenzerscheinungen im plattenförmigen Werkstück mit im wesentlichen planparallelen oder nahezu planparallelen Begrenzungsflächen beeinflußt.

Der zweite Umlenkspiegel ist auf dem Schreibkopf ju­ stierbar befestigt, so daß das oberhalb dem Kurven­ schreiber parallel zu diesem in einer Halterung befe­ stigte Werkstück wahlweise genau lotrecht oder aber mit einem von Null verschiedenen Einfallswinkel bestrahlt wird. Während im ersten Fall das vom Werkstück reflek­ tierte Licht mit Hilfe eines teildurchlässigen Spiegels ausgekoppelt werden kann, um das Reflexionssignal mit Hilfe eines Lichtdetektors und Rechners auszuwerten, ist es im zweiten Fall möglich, ein Interferogramm auf einem Thermopapier zu erzeugen, das auf der Papierträ­ gerplatte des Kurvenschreibers aufgespannt ist und von dem seitlich neben dem Schreibkopf und dem Schlitten auftreffenden reflektierten Lichtstrahlbündel je nach der jeweils auftretenden destruktiven oder konstruk­ tiven Interferenz geschwärzt wird.

Das transmittierte Lichtstrahlbündel fällt ggf. auf ein oberhalb des Werkstücks aufgespanntes Thermoschreib­ papier und erzeugt dort entsprechend den Schichtdicken­ interferenzen ein Interferogramm. Selbstverständlich muß die Intensität des auf den ersten Umlenkspiegel treffenden monochromatischen Lichtstrahlbündels so ge­ wählt werden, daß die Intensitätsmaxima und -minima oberhalb bzw. unterhalb der für die Schwärzung des Thermopapiers erforderlichen Intensität liegen, um zu vermeiden, daß alle Bereiche geschwärzt werden oder alle Bereiche ungeschwärzt bleiben.

Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der in der Zeich­ nung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläu­ tert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorrichtung gemäß der Erfindung in einer schematischen perspektivischen Ansicht,

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer schematischen Seitenansicht und

Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer schematischen Seitenansicht.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung zur interfero­ metrischen Prüfung stellt ein abtastendes Laser-Inter­ ferometer dar, das zur Erzeugung eines Interferogrammes als Lichtquelle einen CO₂-Laser 1 mit einer typischen Leistung von 1 Watt aufweist. Der den CO₂-Laser 1 ver­ lassende Laserlichtstrahl 2 gelangt bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel zu einem Strahlauf­ weiter 3, mit dessen Hilfe ein in seinem Durchmesser erweitertes Lichtstrahlbündel 4 erzeugt wird. Um die Intensität des Lichtstrahlbündels 4 ggf. zu verringern, ist wahlweise ein Abschwächer 5 vorgesehen.

Wie man in Fig. 1 weiterhin erkennt, gelangt das abge­ schwächte Lichtstrahlbündel 6 zu einem ersten Umlenk­ spiegel 7, der auf dem Schlitten 8 eines xy-Plotters oder Kurvenschreibers 9 angeordnet ist. Der Schlitten 8 des Kurvenschreibers 9 ist in an sich bekannter Weise in den durch den Doppelpfeil 10 gezeigten Richtungen entlang der x-Achse des Kurvenschreibers 9 motorisch gesteuert hin- und herbewegbar. Das abgeschwächte Lichtstrahlbündel 6 verläuft ebenfalls in x-Richtung, so daß das abgeschwächte Lichtstrahlbündel 6 bei einer Bewegung des Schlittens 8 den ersten Umlenkspiegel 7 immer in der gleichen Beleuchtungszone 11 bestrahlt.

Der erste Umlenkspiegel 7 ist in einer Ebene angeord­ net, die rechtwinklig zur xy-Ebene des Kurvenschreibers 9 verläuft. Dabei ist der erste Umlenkspiegel gegenüber dem abgeschwächten Lichtstrahlbündel 6 um 45° gedreht, so daß das abgeschwächte Lichtstrahlbündel 6 durch den ersten Umlenkspiegel 7 um 90° in Richtung der y-Achse des Kurvenschreibers 9 bzw. in Richtung des Schlittens 8 des Kurvenschreibers 9 abgelenkt wird.

Das abgelenkte Lichtstrahlbündel 12 verläuft unabhängig von der Positionierung des Schlittens 8 in y-Richtung und trifft auf die Beleuchtungszone 13 eines zweiten Umlenkspiegels 14 auf, der mit dem Schreibkopfteil 15 des Kurvenschreibers 9 verbunden ist.

Der Schreibkopfteil 15 des Kurvenschreibers 9 ist in Richtung des Doppelpfeiles 16 entlang dem Schlitten 8 motorisch gesteuert verschiebbar. Bei einer Bewegung des Schreibkopfteils 15 innerhalb der xy-Ebene erfolgt daher eine entsprechende Abtastbewegung des vom zweiten Umlenkspiegels 14 ausgehenden abtastenden Lichtstrahl­ bündels 17.

Der Schreibkopfteil 15 ist auf einer in Fig. 1 nicht näher dargestellten Führung auf dem Schlitten 8 ver­ schiebbar, der seinerseits mit seinen Enden 18, 19 durch Schlitze 20, 21 hindurch in in der Zeichnung nicht erkennbare Führungen eingreift. Die zur Bewegung des Schlittens 8 und des Schreibkopfteils 15 erforder­ lichen Bauteile sind zur Vereinfachung in Fig. 1 eben­ falls nicht dargestellt.

Die Anordnung des zweiten Umlenkspiegels 14 ist in Fig. 1 so getroffen, daß das abtastende Lichtstrahl­ bündel 17 rechtwinklig zur x-Achse und y-Achse des Kurvenschreibers 9 verläuft. Mit Hilfe einer in Fig. 1 nicht dargestellten Justiervorrichtung ist es jedoch möglich, das abtastende Lichtstrahlbündel 17 durch Verkippen des zweiten Umlenkspiegels 14 wahlweise um einen festen Betrag nach links oder nach rechts zu verschwenken, wie in Fig. 2 veranschaulicht ist.

Oberhalb des Kurvenschreibers 9 befindet sich in einer in der Zeichnung nicht dargestellten mechanischen Halterung ein feststehend eingespanntes Werkstück 22, das der interferometrischen Prüfung unterzogen werden soll. Das Werkstück 22 hat eine plattenförmige Gestalt und ist für die Wellenlänge des jeweils verwendeten Lichtes transparent. Das Werkstück 22 besteht bei­ spielsweise aus einer 2 cm dicken kreisscheibenförmigen Platte mit einem Durchmesser von 20 cm aus Germanium, Zinksulfid, Zinkselenid oder Chalkogenidglas. Bei diesen Materialien handelt es sich um im infraroten Licht transparente, hochbrechende Substanzen.

Um den Einfallswinkel des abtastenden Lichtstrahlbün­ dels 17 zu justieren und um bei vertikalem Verlauf des abtastenden Lichtstrahlbündels 17 eine seitliche Aus­ lenkung des von der unteren Begrenzungsfläche 23 des Werkstücks 22 reflektierten Lichtstrahlbündels 24 zu erreichen, kann die in der Zeichnung nicht näher darge­ stellte Halterung so ausgebildet sein, daß das Werk­ stück 22 um eine auf die Ebene der Fig. 2 senkrecht stehende Achse verkippbar ist.

Das aus der oberen Begrenzungsfläche 25 des Werkstücks 22 austretende transmittierte Lichtstrahlbündel 26 fällt auf ein in Fig. 1 oberhalb dem Werkstück 22 auf­ gespanntes Thermoschreibpapier 27 und bewirkt dort je nach der Intensität des einfallenden Lichtes eine Schwärzung im Auffallbereich 28. Die Intensität im Auf­ fallbereich 28 auf dem Thermoschreibpapier 27 hängt dabei jeweils davon ab, inwieweit konstruktive oder destruktive Interferenzen im Abtastbereich 29 des Werk­ stücks 22 zu einer Veränderung der transmittierten Intensität geführt haben. Die selektive Schwärzung des Thermopapiers 27 infolge von Schichtdickeninterferenzen zwischen der oberen Begrenzungsfläche 25 und der unte­ ren Begrenzungsfläche 23 des Werkstücks 22 gestattet somit die flächenhafte Aufzeichnung eines Interfero­ gramms. Geringfügige Veränderungen der optischen Schichtdicke, d. h. Veränderungen des Produkts aus dem Brechungsindex und der metrischen Schichtdicke im Abtastbereich 29 bewirken Veränderungen der Intensität des transmittierten Lichtstrahlbündels 26. Durch eine Abtastung der gesamten Oberfläche des Werkstücks 22 kann somit eine Kartierung der Veränderung der opti­ schen Schichtdicke des Werkstücks 22 erfolgen. Der Kurvenschreiber 9 gestattet dabei eine schnelle und wahlfreie Abtastung, wobei auf einfache Weise bei­ spielsweise mäanderförmige Abtastmuster oder spiral­ förmige Abtastmuster möglich sind.

Die Bewegung des Schreibkopfteils 15 und damit die Abtastbewegung des abtastenden Lichtstrahlbündels 17 wird mit Hilfe eines Rechners 30 gesteuert, der über Steuerleitungen 31 mit den Antriebsmotoren des Kurven­ schreibers 9 verbunden ist.

Bei der interferometrischen Prüfung kann der Verlauf der optischen Schichtdicke nicht nur durch Auswertung des transmittierten Lichtstrahlbündels 26 in einer An­ ordnung gemäß Fig. 1 überprüft werden, sondern auch in der in Fig. 2 skizzierten Weise mit Hilfe des vom Werk­ stück 22 reflektierten Lichtstrahlbündels 24.

In Fig. 2 erkennt man den CO₂-Laser 1 mit dem Laser­ lichtstrahl 2. Das durch den Strahlaufweiter 3 aufge­ weitete Lichtstrahlbündel 4 gelangt in Richtung des Pfeiles 32 zum ersten Umlenkspiegel 7 und von dort zum zweiten Umlenkspiegel 14, der so justiert ist, daß das abtastende Lichtstrahlbündel 17 in Richtung des Pfeiles 33 in Fig. 2 schräg nach oben abgelenkt wird. Aus diesem Grunde wird das reflektierte Lichtstrahlbündel 24 in Richtung des Pfeiles 34 seitlich neben den Schlitten 8 abgelenkt.

Um das reflektierte Lichtstrahlbündel 24 zur Aufzeich­ nung eines Interferogramms heranzuziehen, ist auf der Papierträgerplatte 35 des Kurvenschreibers 9 statt des bei Kurvenschreibern üblichen normalen Papiers das Thermoschreibpapier 27 aufgebracht. Entsprechend der Bewegung des Schlittens 8 und des Schreibkopfteils 15 wird daher die Fläche des auf der Papierträgerplatte 35 ruhenden Thermoschreibpapiers 27 durch das reflektierte Lichtstrahlbündel 24 abgetastet und je nach der Inten­ sität des durch Schichtdickeninterferenzen modulierten Lichtstrahlbündels 24 geschwärzt. Eine solche Anordnung ist besonders bei kleinerem Brechungsindex, d.h. bei Zinkselenid und Zinksulfid, vorteilhaft, denn durch geeignete Wahl der Intensität des Lichtstrahlbündels 4 kann die Schwellintensität zur Schwärzung des Thermo­ papieres 27 immer zwischen die minimale und maximale Intensität des reflektierten Lichtstrahlbündels 24 gelegt werden.

In Fig. 3 ist eine Vorrichtung dargestellt, mit der das reflektierte Lichtstrahlbündel 24 auch für eine elek­ tronische Aufzeichnung des Interferogramms verwendet werden kann. In Fig. 3 erkennt man wiederum den CO₂- Laser 1 zur Erzeugung eines Laserlichtstrahls 2, der mit Hilfe eines Strahlaufweiters 3 verbreitert wird und in Richtung der Pfeile 32, 36 und 37 zum Werkstück 22 gelangt. Die Umlenkung über den ersten Umlenkspiegel 7 und den zweiten Umlenkspiegel 14 erfolgt dabei so, daß das abtastende Lichtstrahlbündel 17 senkrecht auf die untere Begrenzungsfläche 23 des Werkstücks 22 auf­ trifft. Infolgedessen fällt der Weg des sich in Rich­ tung des Pfeils 38 ausbreitenden reflektierten Licht­ strahlbündels 24 mit dem Weg des abtastenden Licht­ strahlbündels 17 zusammen. Nach einer Umlenkung durch den zweiten Umlenkspiegel 14 und den ersten Umlenkspie­ gel 7 gelangt das reflektierte Licht in Richtung des Pfeils 39 zu einem teildurchlässigen Spiegel 40, wo­ durch ein Teil des reflektierten Lichtes in Richtung des Pfeils 41 über eine Linse 42 zu einem Detektor 43 ausgekoppelt wird. Der Detektor 43 erzeugt entsprechend der Intensität des reflektierten Lichtstrahlbündels 24 elektrische Signale, die mit Hilfe des Rechners 30 ausgewertet werden. Dabei wird das über eine Leitung 44 eingespeiste Detektorsignal dem vom Rechner 30 und Kurvenschreiber 9 definierten xy-Koordinatenpaar in der Ebene des Werkstücks 22 zugeordnet. Das Detektorsignal und die Koordinaten können vom Rechner 30 geordnet abgespeichert und digital weiterverarbeitet werden. Auf diese Weise ist es möglich, allein oder zusätzlich zum Interferogramm auf dem Thermoschreibpapier 27 ein der direkten elektronischen Auswertung zugängliches Inter­ ferogramm zu erstellen und mit den Methoden der Bild­ verarbeitung und Mustererkennung auszuwerten.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur interferometrischen Prüfung der optischen Homogenität von transparenten platten­ förmigen Werkstücken, bei der eine Veränderung der optischen Schichtdicke durch eine flächenhafte Aufzeichnung eines Interferogrammes der Schicht­ dickeninterferenzen überprüfbar ist, mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines das Werkstück sequentiell abtastend bestrahlenden parallelen kohärenten monochromatischen Lichtstrahlbündels, mit einer das transmittierte und/oder reflektierte Licht in Abhängigkeit vom jeweils durchstrahlten Ort des Werkstücks zur Aufzeichnung sowie Kartie­ rung erfassenden Detektoranordnung und mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen dem Werkstück und dem Lichtstrahlbündel, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein­ richtung zur Erzeugung der Relativbewegung zwi­ schen dem Werkstück (22) und dem Lichtstrahlbündel (4, 6, 12, 17) ein Kurvenschreiber (9) mit einem in Richtung (10) des einfallenden Lichtstrahlbün­ dels (4, 6) verschiebbaren Schlitten (8) und einem auf dem Schlitten (8) verschiebbaren Schreibkopf (15) ist, wobei auf dem Schlitten (8) ein von dem einfallenden Lichtstrahlbündel (4, 6) angestrahl­ ter erster Umlenkspiegel (7) so angeordnet ist, daß das umgelenkte Lichtstrahlbündel (12) einen zweiten Umlenkspiegel (14) anstrahlt, der an dem in Ausbreitungsrichtung des umgelenkten Licht­ strahlbündels (12) entlang dem Schlitten (8) verschiebbaren Schreibkopf (15) auf das Werkstück (22) ausgerichtet befestigt ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der zweite Umlenkspiegel (14) auf dem Schreibkopf (15) um eine durch das einfallende Lichtstrahlbündel (12) verlaufende Achse verdrehbar und justierbar so befestigt ist, daß der Einfallswinkel des Lichtstrahlbündels (17) auf die zum Kurvenschreiber (9) weisende Begren­ zungsfläche (23) des über dem Kurvenschreiber (9) feststehend angeordneten Werkstückes (22) zwischen 0° und etwa 15° verstellbar ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß entlang der vom Kur­ venschreiber (9) wegweisenden zweiten Begrenzungs­ fläche (25) des Werkstückes (22) zur Aufzeichnung des Interferogrammes ein Thermoschreibpapier (27) aufgespannt ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge­ kennzeichnet , daß auf der Papierträger­ platte (35) des Kurvenschreibers (9) ein Thermo­ papier (27) aufgespannt ist und der zweite Umlenk­ spiegel (14) so justiert ist, daß das vom Werk­ stück (22) reflektierte Lichtstrahlbündel (24) während der Abtastbewegung seitlich neben dem Schreibkopf (15) und dem Schlitten (8) auf das Thermopapier (27) auftrifft.

5. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Werk­ stück (22) parallel zu der durch die Bewegung der Umlenkspiegel (7, 14) aufgespannten Ebene in einer Halterung befestigbar ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet , daß die Halterung für das Werkstück (22) um eine parallel zur Bewegungsrich­ tung (16) des zweiten Umlenkspiegels (14) verlau­ fende Achse um 0° bis 15° verkippbar ist.

7. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewe­ gung der Umlenkspiegel (7, 14) über ein in einem Rechner (30) gespeichertes Abtastprogramm steuer­ bar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß im Strahlengang zwischen der Lichtquelle (1) und dem ersten Umlenkspiegel (7) ein teildurchlässiger Spiegel (40) angeordnet ist, durch den das bei einem Einfallswinkel von 0° vom Werkstück (22) in entgegengesetzter Richtung (38) zum einfallenden Lichtstrahlbündel (37) re­ flektierte Licht in einen Detektor (43) einkoppel­ bar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Detektorausgangs­ signal (44) an den Rechner (30) angeschlossen ist, durch den die Detektorausgangssignale entsprechend den jeweiligen Positionen der Umlenkspiegel (7, 14) für eine elektronische Aufzeichnung des Inter­ ferogrammes sowie eine Weiterverarbeitung und Aus­ wertung des Interferogrammes speicherbar sind.