DE3132919A1 - Servo-drive - Google Patents
Servo-driveInfo
- Publication number
- DE3132919A1 DE3132919A1 DE19813132919 DE3132919A DE3132919A1 DE 3132919 A1 DE3132919 A1 DE 3132919A1 DE 19813132919 DE19813132919 DE 19813132919 DE 3132919 A DE3132919 A DE 3132919A DE 3132919 A1 DE3132919 A1 DE 3132919A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- actuator according
- item
- bearing
- sliding frame
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
- B23Q1/522—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair which is perpendicular to the working surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
Description
StellantriebActuator
Anwendungsgebiet der Erfindung Die Erfindung betrifft einen Stellantrieb, wie er zur Messzlg von Ilaibleiterscheiben bis 150 mm Durchmesser auf Waferprobern eingesetzt werden kann. Dabei kann die Halbleiterscheibe Dickentoleranzen aufweisen.Field of application of the invention The invention relates to an actuator, as he used to measure Ili conductor disks up to 150 mm in diameter on wafer probes can be used. The semiconductor wafer can have thickness tolerances.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Zur Positionierung von Halbleiterscheiben unter dem Sondensystem eines Waferprobers sind verschiedene Stellsystete bekannt.Characteristics of the known technical solutions for positioning of semiconductor wafers under the probe system of a wafer prober are different Stellsystete known.
In dem DD-WS 137 037 ist eine prellfreie Hubeinrichtung beschrieben, bei der in die Anschlagflächen eines Hubd ankers über gleichmäßig verteilte Düsen Druckluft eingeblasen wird, wodurch die Bewegungen von der unteren zu der oberen Höhenlage und umgekehrt gedämpft werden.In the DD-WS 137 037 a bounce-free lifting device is described, in the case of the stop surfaces of a lifting anchor via evenly distributed nozzles Compressed air is blown in, causing the movements from the lower to the upper Altitude and vice versa.
Ebenfalls sind die Führungen für die axialen Bewegungen mit luftlagern ausgerüstet, wodurch eine Verschleißfrei~ heit erzielt wird.The guides for the axial movements also have air bearings equipped, whereby a wear resistance is achieved.
Nachteilig ist hierbei, daß keine direkte Drehung des Scheibentellers und kein Ausgleich von Dickentoleranzen der Halbleiterscheiben vorgesehen sind.The disadvantage here is that there is no direct rotation of the disk plate and no compensation for thickness tolerances of the semiconductor wafers are provided.
In den US-PS 4,066,943 und 3,936,743 ist ein schneller Spannkopf für Halbleiterscheiben zur Verwendung auf Waferprobern beschrieben. Eier erfolgt die Höhenverstellung über einen Schrittmotor, der auf seiner Achse einen Exzenter trägt. Durch Drehung des Exzenters um einen bestimmten Winkel wird der Spannkopf über geeignete Mittel zwischen zwei Endlagen bewegt. Die Bewegung erfolgt dabei auf einer prellfreien Sinusiodalkurve.In U.S. Patents 4,066,943 and 3,936,743 a fast clamping head is for Semiconductor wafers for use on wafer probes described. Eggs is made Height adjustment via a stepper motor that has a eccentric wearing. By turning the eccentric through a certain angle, the clamping head moved by suitable means between two end positions. The movement takes place on a bounce-free sinusoidal curve.
Der Spannkopf ist um seine Achse über manuell betätigte Mittel drehbar.The clamping head can be rotated about its axis by manually operated means.
Nachteilig ist hierbei, daß die Drehbewegung manuell erfolgt, wodurch die Automatisierung erschwert wird. befalls ist auch keine Möglichkeit der Messung von dicken toleranzbehafteten Halbleiterscheiben ohne Veränderung der Bedingungen für die schnelle Hubbewegung gegeben.The disadvantage here is that the rotary movement takes place manually, as a result of which automation is made more difficult. infestation is also not a possibility of measurement of thick semiconductor wafers subject to tolerances without changing the conditions given for the rapid lifting movement.
Ziel der Erfindung Das Ziel der Erfindung besteht in der Schaffung eines Stellantriebes zur Prüfung von integrierten Schaltkreisen auf einer Halbleiterscheibe, mit dem die Halbleiterscheibe mechanisch um beliebige Winkel gedreht sowie zwischen zwei Höhenlagen prellfrei und schnell hin- und herbewegt werden kann. Dickentoleranzen der Iilblelterscholbe sollen dabei auszugleichen sein, ohne die Bedingungen für die prellfreie Hubbewegung zu verändern.Object of the invention The object of the invention is to provide an actuator for testing integrated circuits on a semiconductor wafer, with which the semiconductor wafer is mechanically rotated through any angle as well as between two altitudes can be moved back and forth quickly and without bouncing. Thickness tolerances the Iilblelterscholbe should be compensated without the conditions for to change the bounce-free stroke movement.
Darlegung des Wesens der Erfindung Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Stellantrieb zu schaffen, mit dem eine automatische Drehung eines Scheibentellers um die vertikale Achse sowie eine schnelle, prellfreie und verschleißfreie Hubbewegung zwischen zwei Höhenlagen über einen drehbaren Ausheber erfolgt. Ein Antrieb dreht den Ausheber und ein zweiter Antrieb dient zum Ausgleichen von Dickentoleranzen durch einen zusätzlichen Höhentrieb.Statement of the essence of the invention The object of the invention is in creating an actuator with which an automatic rotation of a disk plate around the vertical axis as well as a fast, bounce-free and wear-free lifting movement takes place between two heights using a rotatable lifter. A drive turns the lifter and a second drive are used to compensate for thickness tolerances by an additional height shoot.
Merkmale der Erfindung Die Erfindung umfaßt einen Stellantrieb zur Prüfung von integrierten Schaltkreisen auf einer Halbleiterscheibe, die auf einer Scheibenauflage angeordnet ist, wobei die Scheibenauflage in x- und in y-Richtung positioniert ist und Mittel zur Verstellung der Scheibenauflage zwischen zwei stabilen Lagen in z-Riehtung sowie ein Antrieb zur Drehung um die z-Achse vorgesehen sind.Features of the Invention The invention includes an actuator for Testing of integrated circuits on a semiconductor wafer, which on a Disc support is arranged, the disc support in the x- and in the y-direction is positioned and means for adjusting the disc support between two stable Layers in the z-direction and a drive for rotation about the z-axis are provided.
Erfindun#sgemäß sind dabei die Mittel zur Verßtellung der Scheibenauflage zwischen den zwei stabilen Lagen ein rotationssymmetrischer Hubmagnet und ein, den Hubmagneten umfassender, rotationssymmetrischer Gleitrahmen. Der Antrieb zur Drehung der Scheibenauflage um die z-Achse besteht aus einem Lagerring mit in diesem angeordneten Polen sowie dem Gleitrahmen. Der Stellantrieb weist einen weiteren Antrieb für eine von der genannten Hubbewegung unabhängigen Bewegung der Scheibenauflage in z-Riohtung auf, um Dickentoleranzen der Halbleiterscheiben auszugleichen.According to the invention, the means for adjusting the disk support are thereby between the two stable layers a rotationally symmetrical lifting magnet and a, the Rotationally symmetrical sliding frame comprising lifting magnets. The drive for rotation the disk support around the z-axis consists of a bearing ring arranged in it Poland as well as the sliding frame. The actuator has a further drive for a Movement of the disc support in the z-direction, independent of the said lifting movement to compensate for thickness tolerances of the semiconductor wafers.
In Ausgestaltung der Erfindung ist der ersten stabilen Trage des Gleitrahmens bezüglich des Hubmagnetens ein ersteß luftlager zugeordnet, das durch eine obere luftlager fläche des Hubmagnetens und eine obere Platte des Gleit rahmens gebildet ist. Der zweiten stabilen Lage ist ein zweites luftlager zugeordnet, das durch eine untere luftlagerfläche und eine untere Platte gebildet ist. In den luftlagerflächen sind mit Druckluft gespeiste Düsen gleichmäßig verteilt angeordnet.In an embodiment of the invention, the first stable stretcher is the sliding frame with respect to the solenoid, a first air bearing assigned, which is supported by an upper Air bearing surface of the solenoid and an upper plate of the sliding frame formed is. The second stable position is assigned a second air bearing, which is supported by a lower air bearing surface and a lower plate is formed. In the air storage areas nozzles supplied with compressed air are evenly distributed.
Die Platten sind dabei an dem Gleitrahmen befestigt.The plates are attached to the sliding frame.
Weiterhin sind in dem Lagerring die Pole in Ausnehmungen befestigt und in den Flächen zwischen den Ausnehmungen sind mit Druckluft gespeiste Düsen angeordnet. Dabei ist der Gleitrahmen als bewegliches Teil sowohl des Rubmagnetens als auch des Antriebes für die Drehbewegung des Scheibentellers in dem ersten Luftlager oder in dem zweiten luftlager in z-Richtung gelagert und in dem luftlager zwischen den Flächen des Lagerringes und der Mantelfläohe des Gleitrahmens in radialer Richtung gelagert. Weiterhin besteht der Antrieb für die stetige, von der Hubbewegung unabhängige z-Bewegung aus mindestens einem stator und einem Zahnrad mit Zähnen aus magnetisierbaren Material.Furthermore, the poles are fastened in recesses in the bearing ring and in the areas between the recesses there are nozzles fed with compressed air arranged. The sliding frame is a movable part of both the rub magnet as well as the drive for the rotary movement of the disk plate in the first air bearing or stored in the second air bearing in the z-direction and in the air bearing between the Surfaces of the bearing ring and the outer surface of the sliding frame in the radial direction stored. Furthermore, there is the drive for the constant, independent of the lifting movement z-movement from at least one stator and one gear with teeth made of magnetizable Material.
Das Zahnrad ist dabei mit einer Mutter verbunden, die auf dem Außengewinde einer Spindelbuchse beweglich angeordnet ist. Vorzugsweise befinden sich zwei Statoren der nach folgend beschriebenen Bauart in dem Stellantrieb.The gear is connected to a nut on the external thread a spindle sleeve is movably arranged. There are preferably two stators of the type described below in the actuator.
Der Stator besteht dabei aus zwei Polträgern mit je zwei Polen, wobei die Pole mit je einer Spule versehen sind und Zähne aufweisen, die die gleiche Teilung wie die Zähne des Zahnrades aufweisen und die Zähne der Pole in der Teilung von Pol zu Pol auf geeignete Weise versetzt sind.The stator consists of two pole carriers with two poles each, with the poles are each provided with a coil and have teeth that have the same pitch as the teeth of the gear have and the teeth of the poles in the pitch of Are appropriately offset from pole to pole.
Bei Anlegen geeigneter Spannungen an die Pole dreht sich das Zahnrad und wird gleichzeitig über die Mutter in z-Richtung je nach Drehrichtung auf- oder abwärtsbewegt.When suitable voltages are applied to the poles, the gear rotates and is at the same time opened or closed via the nut in the z-direction depending on the direction of rotation moving downwards.
Weiterhin trägt der Antrieb für die z-Bewegung auf der Nutter ein Axiallager, auf dem mittels einer Buchse der IIubmagnet befestigt ist. Der Hubmagnet ist dabei nicht drellbar und wird durch Anschlußstutzen, die durch die ')pinclel.-buchse geführt sind, in seiner lage gehalten.Furthermore, the drive for the z-movement enters the nut Axial bearing on which the sub magnet is attached by means of a socket. The lifting magnet cannot be drilled and is secured by connecting pieces that pass through the ') pinclel.-socket are held in its position.
Das Axiallager besteht aus einem, auf der Mutter befestigten lagerring, zwei Kugelringen und zwei miteinander verbundenen lagerschalen. Auf der oberen Lagerschale ist dabei auf einem Absatz die Buchse für den Hubmagneten befesteigt.The axial bearing consists of a bearing ring attached to the nut, two ball rings and two bearing shells connected to one another. On the upper bearing shell the socket for the solenoid is attached to a shoulder.
Weiterhin weist die Spindelbuchse in ihrem oberen Teil eine äußere lagerfläche und die Buchse des Hub magneten eine innere lagerfläche auf. Zwischen den lagerflächen ist ein Kugelkäfig mit Kugeln zur Vertikalführung angeordnet, wobei die Kugeln die lagerflächen berühren.Furthermore, the spindle bushing has an outer one in its upper part bearing surface and the socket of the lifting magnet on an inner bearing surface. Between A ball cage with balls for vertical guidance is arranged on the bearing surfaces, with the balls touch the bearing surfaces.
Weiterhin weist der iTubmagnet zur l;,rzielung von verlustleistungsfreien stabilen lagen einen oder mehrere Permanen-tmagneten auf. Zwei Spulen bewirken in Zusammenwirken mit; den Permanentmagneten, daß der umschließende Gleitrahmen entweder in der oberen oder in der unteren Lage stabil verharrt.Furthermore, the iTubmagnet points to the achievement of power loss-free One or more permanent magnets were placed on the stable ones. Two coils operate in Cooperation with; the permanent magnet that the enclosing sliding frame either remains stable in the upper or lower layer.
Weiterhin ist auf der oberen Platte des Gleitrahmens mittels Gewindebuchsen und Justierschrauben ein Tragring der cheibenauflage isoliert befestigt. Dazu sind die Gewindebuchsen in der oberen Platte in Kunststoff eingebettet.Furthermore, on the upper plate of the sliding frame by means of threaded bushings and adjusting screws attached to a support ring of the disk support insulated. These are the threaded sockets in the top plate are embedded in plastic.
Weiterhin besitzt die Scheibenauflage einen relativ zu ihr drehbaren Dichtkolben.Furthermore, the disc support has a rotatable relative to it Sealing piston.
Auf dem Tragring der Scheibenauflage ist dabei ein Scheibenteller angeordnet. Ein erstes Kanalsystem führt von einer Vakuumversorgung über den Dichtkolben zu einer radialen Bohrung in dem Scheibenteller. Das Kanalsystem ist mittels Bohrungen mit der Oberfläche des Scheibentellers verbunden. In der radialen Bohrung sind im Verlauf gleichmäßig Ventile angeordnet, die in der offenen Stellung eine Verbindung zu Ringnuten auf der Oberfläche des Scheibentellers und dem weiteren Verlauf der radialen Bohrung besitzen. Die Mündungen der Bohrungen auf der Oberfläche des Scheibentellers liegen innerhalb eines Kreises mit einem Durchmesser von 37 mm und der Durchmesser der Ringnuten ist jeweils kleiner als d = (50 + n.25) mm mit n# # fo (1) 45 Dadurch lassen sich Halbleiterscheiben mit einem Durchmesser von 37 mm bis 150 mm in den üblichen Größen festspannen.There is a disc plate on the support ring of the disc support arranged. A first channel system leads from a vacuum supply via the sealing piston to a radial hole in the disc plate. The canal system is by means of bores connected to the surface of the disc plate. In the radial bore are im Course evenly arranged valves that connect in the open position to ring grooves on the surface of the disc plate and the further course of the possess radial bore. The mouths of the holes on the surface of the disk plate lie within a circle with a diameter of 37 mm and the diameter the ring grooves are each smaller than d = (50 + n.25) mm with n # # fo (1) 45 thereby semiconductor wafers with a diameter of 37 mm to 150 mm can be inserted into the the usual sizes.
Zur Scheibenrückkontaktierung ist der Scheibenteller mit einem elektrischen Anschluß leitend verbunden.The disc plate is equipped with an electrical one for rear contacting the disc Connection conductively connected.
Dabei ist der elektrische Anschluß in dem Dichtkolben befes-tigt und zwischen dem drehbaren Dichtkolben und dem Scheibenteller besteht die elektrische Verbindung über einen Regel und eine Druckfeder sowie einen Einsatz und eine Schraube, mit der der Scheibenteller an dem Einsatz befestift ist.The electrical connection is fastened in the sealing piston and between the rotatable sealing piston and the disc plate is the electrical Connection via a rule and a compression spring as well as an insert and a screw, with which the disc plate is attached to the insert.
T-Jeiterhin ist der Lagerring über daran befestigte Füße und arretierbare Buchsen auf der Grundplatte des Stellantriebes justiert.T-Jeiterhin is the bearing ring via attached feet and lockable Adjusted the sockets on the base plate of the actuator.
weiterhin ist in der Grundplatte eine erste Anschlagschra be und in dem Zahnrad eine zweite Anschlagsehraube befestigt. Bei Abwärtsbewegung des Zaimrades auf der Spindel Buchse wirken die beiden Anschlagsehrauben zusammen und verhindern ein Weiterdrehen und damit ein Festdreben der Mutter bzw. des z-Antriebes.furthermore, a first stop screw is in the base plate and in a second stop screw is attached to the gear. With downward movement of the toothed wheel The two stop screws work together on the spindle socket and impede further turning and thus tightening of the nut or the z-drive.
Weiterhin besitzt der Stellantrieb eine erste lichtschranke, die dem Zahnrad zugeordnet ist, wobei eine Spiegelflä che zwischen zwei Zähnen des Zahnrades befestigt ist.Furthermore, the actuator has a first light barrier that the Gear is assigned, with a Spiegelflä surface between two teeth of the gear is attached.
Dadurch wird die Winkellage des Zahnrades und damit die Höhenlage bis auf die Ganghöhe bestimmt.This determines the angular position of the gear and thus the altitude determined down to the pitch.
Weiterhin ist dem Gleitrahmen eine zweite Lichtschranke zugeordnet, wobei an dem Gleitrahmen ein Steg mit einer spiegelnden Stirnfläche befestigt ist.Furthermore, a second light barrier is assigned to the sliding frame, wherein a web with a reflective end face is attached to the sliding frame.
Dadurch wird die Winkellage des Gleitrahmens, der in seinen Drehbewegungen durch Magnetlcräfte geführt und gefesselt wird, bestimmt.This determines the angular position of the sliding frame, which in its rotary movements is guided and tied up by magnetic forces.
In Ausgestaltung befindet sich die zweite lichtschranke innerhalb der untersten Umdrehung der Mutter relativ zur Spindelbuchse in Wirkungseingriff, wodurch die Winkellage des Gleitrahmens und die Höhenverstellung der Scheibenauflage eindeutig bestimmt sind.In one embodiment, the second light barrier is located inside the lowest rotation of the nut relative to the spindle bushing in operative engagement, whereby the angular position of the sliding frame and the height adjustment of the pane support are clearly determined.
Ausführungsbeispiel Die Erfindung ist anhand von vier Zeichnungen und in einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. Dabei zeigen: Fig. 1 den Stellantrieb in perspektivischer Ansicht Fig. 2 den Schnitt längs der linie A - A SigX 3 die Darstellung von zwei Polen im Lagerring Fig. 4 einen Stator des Antriebes für die Höhenverstellung Fig. 5 die Befestigung des Stators für die Höhenverstellung Fig. 6 die erste Lichtschranke Fig. 7 die zweite Lichtschranke Fig. 8 den Anschlußblock Der in Fig. 1 dargestellte Stellantrieb 10 ist auf einer Grundplatte 11 befestigt. Es ist mit einer Abdeckurl 1?, die mittels Schrauben 13 an der Grundplatte 11 befestigt ist abgedeckt.Exemplary embodiment The invention is based on four drawings and explained in more detail in an exemplary embodiment. They show: Fig. 1 the actuator in a perspective view Fig. 2 the section along the line A - A SigX 3 die Representation of two poles in the bearing ring Fig. 4 shows a stator of the drive for the Height adjustment Fig. 5 the attachment of the stator for the height adjustment Fig. 6 the first light barrier, FIG. 7 the second light barrier, FIG. 8 the connection block The actuator 10 shown in FIG. 1 is fastened on a base plate 11. It is provided with a cover 1? Which is fastened to the base plate 11 by means of screws 13 is covered.
In Fig. 2 ist der Schnitt längs der Linie A - A in Fig. 1 dargestellt. Die Grundplatte 11 enthält vier nicht dargestellte Justierschrauben, um den Stellantrieb 10 an anderen Baugruppen befestigen zu können. Weiterhin besitzt die Grundplatte 11 eine zentrale Bohrung, die von einem Zentrierbund 11.1 umgeben ist.In FIG. 2, the section along the line A - A in FIG. 1 is shown. The base plate 11 contains four adjusting screws, not shown, to the actuator 10 to be able to attach to other assemblies. The base plate also has 11 a central bore which is surrounded by a centering collar 11.1.
Eine Spindelbuchse 15 steckt auf dem Zentrierbund11.1 und ist mittels Schrauben an der Grundplatte 11 befestigt#.A spindle bushing 15 is placed on the centering collar 11.1 and is by means of Screws attached to the base plate 11 #.
Aus Gründen der zeichnerischen Ubersicht sind sie lediglich durch eine Strich-Punkt-linie angedeutet, wie auch in den Fällen, wo nicht gezeichnete Schraubverbindungen vorliegen.For the sake of the graphic overview, they are only through a dash-dot line indicated, as well as in the cases where not drawn Screw connections are available.
Weiterhin befinden sich in der Grundplatte 11 Gewindebuchsen 16, die zum Befestigen später zu beschreibender Bauteile dienen, sowie eine erste Anschlägschraube 17, deren Anschlagstift 17.1 über das Niveau der Grundplatte 11 ragt.Furthermore, there are in the base plate 11 threaded sockets 16, the are used to attach components to be described later, as well as a first stop screw 17, the stop pin 17.1 of which protrudes above the level of the base plate 11.
Die Spindelbuchse 15 besitzt im unteren Teil ein Außengewinde 15.1, während der obere Teil eine zylindrische Lager fläche 1E.2 bildet. Der obere Teil ist noch von mehreren, vertikal stehenden langlöchern 15.3 durchbrochen.The spindle bushing 15 has an external thread 15.1 in the lower part, while the upper part forms a cylindrical bearing surface 1E.2. The upper part is still pierced by several, vertically standing elongated holes 15.3.
Dem Außengewinde 15.1 ist eine Mutter 18 zugeordnet, an der ein Zahnrad 19 aus Weicheisen befestigt ist, Eine zweite Anschlagschraube 21 ist so in dem Zahnrad 19 befestigt, daß deren Anschlagstift 21.1 bei einer bestiinr# ten Abwärtsbewegung des Zahnrades 19 über die Mutter 18 relativ zur Spindelbuchse 15 mit dem Anschlagstift 17.1 zusammenwirkt und ein Weiterdrehen verhindert.The external thread 15.1 is assigned a nut 18 on which a gearwheel 19 is made of soft iron, a second stop screw 21 is so in the gear 19 fastened that the stop pin 21.1 with a certain downward movement of the gear 19 via the nut 18 relative to the spindle bushing 15 with the stop pin 17.1 cooperates and prevents further turning.
Die Mutter 18 besitst einen Absatz, auf dem ein Lagerring 22 befestigt ist. Der Lagerring 22 besitzt eine obere und eine untere lagerfläche, auf denen jeweils ein Kugelring 23 aufliegt.The nut 18 has a shoulder on which a bearing ring 22 is attached is. The bearing ring 22 has an upper and a lower bearing surface on which a ball ring 23 rests in each case.
Eine obere und untere, miteinander verbundene Lagerschale 24 bilden mit dem Lagerring 22 und den Kugelringen 23 ein Axiallager.An upper and lower, interconnected bearing shell 24 form with the bearing ring 22 and the ball rings 23, an axial bearing.
Auf der oberen Lagerschale 24 sitzt eine Buchse 25 auf, deren Innenbohrung als lagerfläche 25.1 ausgebildet ist.A bushing 25 is seated on the upper bearing shell 24 and has an inner bore is designed as a storage area 25.1.
Zwischen den Lagerflächen 15.2 und 25.1 befindet sich ein Kugelkäfig 26 mit Kugeln 27. In der Buchse 25 befinden sich noch Bohrungen 25.2 und in dem Kugelkäfig 26 Lang eher 26.1, die den Langlöchern 15.3 zugeordnet sind und durch die später beschriebene elektrische und pneumatisehe leitungen geführt werden.A ball cage is located between the bearing surfaces 15.2 and 25.1 26 with balls 27. In the socket 25 there are holes 25.2 and in the Ball cage 26 long rather 26.1, which are assigned to the elongated holes 15.3 and through the electrical and pneumatic lines described later are routed.
Ein Absatz der Buchse 25 trägt einen Hubmagneten 30. Der Innenring 31 des Hubmagneten 30 ist dabei mittels Schraube ben durch einen Bund der Buchse 25 an der oberen Lagersc1nale 24 befestigt. Diese Schrauben sind nicht dargestellt, sondern durch eine Strich-Punkt-linie symbolisiert. Der Innenring 31 enthält in Höhe der Bohrungen 25.2 zugeordnete Bohrungen 31.1 sowie eine Bohrung 31.2 mit Innen#ewinde.A shoulder of the socket 25 carries a lifting magnet 30. The inner ring 31 of the solenoid 30 is by means of screw ben through a collar of the socket 25 attached to the upper bearing scale 24. These screws are not shown, but symbolized by a dash-dot line. The inner ring 31 contains in Bores 31.1 assigned to the height of the bores 25.2 and a bore 31.2 with an internal thread.
In die Bohrung 31.2 ist ein Anschlußstutzen 32 einbeschraubt, der durch jo eine rler:Rohrullfren 25.2 und der langlöcher 26.1 und 15.3 in den Innenraum der Spindelbueh se 15 ragt, wo ein Schlauchstutzen 33 befestigt ist.In the bore 31.2 a connecting piece 32 is screwed, the by jo a rler: Rohrullfren 25.2 and the elongated holes 26.1 and 15.3 in the interior the Spindelbueh se 15 protrudes where a hose connector 33 is attached.
Außen umschließt den Innenring 31 ein Magnettrö%#er 34 mit Permanentmagneten 35.On the outside, the inner ring 31 is surrounded by a magnetic trough 34 with permanent magnets 35.
Der Magnetträger 34 besitzt ein Kanalsystem 34.1, das die Bohrung 31.2 mit konzentrisch verteilten Düsen 36 verb in det, wobei die Düsen 36 an der Ober- und Unterseite des Magnetträgers 34 enden. Der Magnetträger 34 ist von zwei Außenringen 37 umschlossen. In dem von je einem Außenring 37 und den Permanentmagneten 35 gebildeten Raum ist eine Spule 38 und ein Isolierring 39 untergebracht. Die Spulen 38 sind dabei auf geeignete Weise isoliert. Die vier Wieklungsenden der zwei Spulen 38 sind mit drei Lötanschlüssen 41 verbunden, die jeweils über Buchsen 42 in Bohrungen 34.2 eingeklebt sind. Der in die Bohrungen 31.1 ragende Teil des Lötanschlusses 41 ist mit einem Gewinde versehen, auf das ein Adapter 43 aufgeschraubt ist, der in den Innenraum der Spindelbuchse 15 ragt.The magnet carrier 34 has a channel system 34.1 that the bore 31.2 with concentrically distributed nozzles 36 verb in det, the nozzles 36 at the The top and bottom of the magnet carrier 34 end. The magnet carrier 34 is of two Outer rings 37 enclosed. In each of an outer ring 37 and the permanent magnet 35 formed space is a coil 38 and an insulating ring 39 accommodated. The spools 38 are isolated in a suitable manner. The four cradle ends of the two reels 38 are connected to three soldered connections 41, each of which has sockets 42 in bores 34.2 are glued in. The part of the solder connection protruding into the bores 31.1 41 is provided with a thread onto which an adapter 43 is screwed, the protrudes into the interior of the spindle sleeve 15.
Der Innenring 31, der Magnetträger 34 und jeweils ein Außenring 37 bilden eine obere und eine untere luftlager fläche 44; 45.The inner ring 31, the magnet carrier 34 and an outer ring 37 each form upper and lower air bearing surfaces 44; 45.
Die Form des Hubmagneten 30 ist rotationssymmetrisch und wird von einem ebenfalls rotationssymmetrischen Gleitrahmen 50 umschlossen. Der Gleitrahmen 50 besteht aus einem Zahnring 51, an dem eine kreisringförmige obere und untere Platte 52; 53 befestigt sind. Die obere Platte 52 besitzt noch Gewindebuchsen 54.The shape of the solenoid 30 is rotationally symmetrical and is of a likewise rotationally symmetrical sliding frame 50 enclosed. The sliding frame 50 consists of a toothed ring 51, on which an annular upper and lower Plate 52; 53 are attached. The upper plate 52 also has threaded sockets 54.
Zwischen dem Zahnring 51 und den Permanentmagneten 35 beeht ein luftspalt von 0,2 mm.There is an air gap between the toothed ring 51 and the permanent magnets 35 of 0.2 mm.
In den Platten 52; 53 befinden sich weiterhin nicht dargestellte Entliif.tungsb ehrungen.In the plates 52; 53 are still not shown Entliif.tungsb honors.
Der Abstand der Platten 52; 53 des Gleitrahmens 50 ist 0,4 mm größer als der Abstand der luftlagerflächen 44; 45 wodurch sich im Zusammenwirken mit den Permanentmagneten 35 zwei stabile Lagen des Gleitrahmens 50 zu dem Eubmagne ten 30 ergeben, nämlich eine obere und eine untere lage.The spacing of the plates 52; 53 of the sliding frame 50 is 0.4 mm larger as the distance between the air bearing surfaces 44; 45 which, in cooperation with the Permanent magnets 35 two stable layers of the sliding frame 50 to the Eubmagne th 30 result, namely an upper and a lower layer.
Durch Impulse auf die Spulen 38 wird der Gleitrahmen 50 zwischen den beiden Lagen umgeschaltet.By pulses on the coils 38, the sliding frame 50 is between the switched to both positions.
Beim Anlegen von Druckluft an den Schlauchstutzen 33 bildet sich je nach der ausgewählten stabilen Lage zwischen der luftlagerfläche 44 und der Platte 52 bzw. zwischen der luftlagerfläche 4-5 und der Platte 53 über die Düsen 36 ein Luftlager mit einem Spalt von 10...20/um.When compressed air is applied to the hose connector 33, each is formed after the selected stable position between the air bearing surface 44 and the plate 52 or between the air bearing surface 4-5 and the plate 53 via the nozzles 36 Air bearing with a gap of 10 ... 20 / um.
Beim Umschalten der Spulen 38 springt der Gleitrahmen 50 aus einer Lage in die andere; das sich aufbauende luftlager wirkt als Polster, wodurch das Umschalten prellarm bis prellfrei abläuft.When switching over the coils 38, the sliding frame 50 jumps out of a Position in the other; the air bearing that builds up acts as a cushion, whereby the Switch over with low bounce to bounce-free.
Der Gleitrahmen 50 mit dem Zahnring 51 bildet einen Rotor, der in einem Lagerring 60 drehbar angeordnet ist. Ein Flansch 61 des Lagerringes 60 umfa-ßt den Zahnring 51.The sliding frame 50 with the toothed ring 51 forms a rotor, which in a bearing ring 60 is rotatably arranged. A flange 61 of the bearing ring 60 comprises the toothed ring 51.
Der Flansch 61 besitzt am Umfang acht Ausfräsungen, wodurch acht Flächen 61.1 stehenbleiben. Zwischen dem Flansch 61 und dem Zahnring 51 befindet sich ein Spalt von 10...20»tm für das luftlager. In den Flächen 61.1 sind Düsen 62 angeordnet, die den Spalt mit einem Verteilerraum 63 verbinden.The flange 61 has eight cutouts on the circumference, as a result of which eight surfaces 61.1 stop. Between the flange 61 and the toothed ring 51 there is a Gap of 10 ... 20 »tm for the air bearing. Nozzles 62 are arranged in surfaces 61.1, which connect the gap with a distribution space 63.
Der Verbellerrnum 63 ist mit einer Platte 64 abgedichtet.The Verbellerrnum 63 is sealed with a plate 64.
Jedem der acht Verteilerräume 63 ist im Flansch 61 ein Kanalsystem 61.2 zugeordnet, das mit einem Schlauchstutzen 65 verbunden ist.Each of the eight distribution rooms 63 has a channel system in the flange 61 61.2, which is connected to a hose connector 65.
Auf Grund der rotationssymmetrischen Ausführung des Gleitrahmens 50 kann sich der Gleitrahmen 50 um den Hubmagneten 30 drehen, wobei der Gleitrahmen 50 in den acht luftlagern zwischen dem Zahnring 51 und den Flächen 61.1 radial und in jeweils einem luftlager zwischen der luftlagerfläche 44 und der Platte 52 bzw. der luftlagerfläche 45 und der Platte 53 axial gehalten wird.Due to the rotationally symmetrical design of the sliding frame 50 the sliding frame 50 can rotate around the lifting magnet 30, the sliding frame 50 in the eight air bearings between the toothed ring 51 and the surfaces 61.1 radially and in each case an air bearing between the air bearing surface 44 and the plate 52 or the air bearing surface 45 and the plate 53 is held axially.
An dem Flansch 61 sind vier Füße 66 befestigt, in die jeweils eine Buchse 67 eingeschraubt ist. Dabei ist die Einsohraubhöhe des Lagerringes 60 durch die Buchsen 67 einstellbar und arretierbar. Nach der Zentrierung des Lagerringes 60 durch die Luftlager ist der Lagerring 60 über die Buchsen 67 mittels Schrauben 68 und Kalottenscheiben 69 in den Gewindebuchsen 16 befestigt.Four feet 66 are attached to the flange 61, one in each Bushing 67 is screwed in. The Einohraubhöhe of the bearing ring 60 is through the sockets 67 adjustable and lockable. After centering the bearing ring 60 through the air bearings is the bearing ring 60 via the bushings 67 by means of screws 68 and dome washers 69 are fastened in the threaded sockets 16.
In den Ausfräsungen des Flansches 61 befinden sich Pole 70, welche mit Stiften 71 in dem Flansch 61 befestigt sind, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Jeder Pol 70 weist zwei Zahnbereiche 72 auf. Zwei Pole 70 sind jeweils mit einem Permanentmagneten 73 verbunden. Um jeden Pol 70 ist eine Spule 74 gewickelt, deren Wicklungsenden mit lötösen 75 verbunden sind. Die Lötösen 75 befinden sich auf einer Leiste 76, die an den Polen 70 befestigt ist.In the milled-out portions of the flange 61 there are poles 70, which are fixed with pins 71 in the flange 61, as shown in FIG. Everyone Pole 70 has two tooth areas 72. Two poles 70 each have a permanent magnet 73 connected. A coil 74 is wound around each pole 70, the winding ends of which with solder lugs 75 are connected. The soldering lugs 75 are located on a bar 76, which is attached to the poles 70.
Die Zahnbereiche 72 und der Zahnring 51 weisen Zähne mit gleicher Teilung aus magnetisierbaren Material auf, die nicht dargestellt sind. Dabei ist der Zwischenraum mit nichtmagnetischen Material ausgefüllt. Die vier Zahnbereiche 72 zweier magnetisch verbundener, Pole 70 sind in der Teilung versetzt, so daß bei geeigneter Ansteuerun# der Spulen 74 eine Tangentialkraft zwischen den Polen 70 und dem Zahnring 51 ergibt, wodurch sich der Gleitrahmen 50 in den oben beschriebenen luftlagern dreht.The tooth areas 72 and the toothed ring 51 have teeth with the same Division made of magnetizable material, which are not shown. It is the gap filled with non-magnetic material. The four tooth areas 72 of two magnetically connected, poles 70 are offset in the division, so that at Suitable control of the coils 74 creates a tangential force between the poles 70 and the toothed ring 51 results, whereby the sliding frame 50 in the above-described air bearings rotates.
Das Zahnrad 19 bildet mit zwei Statoren 80 einen weiteren Antrieb für die Höhenverstellung. Ein Stator 80 ist in Fig. 4 dargestellt.The gear 19 forms a further drive with two stators 80 for height adjustment. A stator 80 is shown in FIG.
Der Stator 80 besitzt zwei Polträger 81, zwischen denen sich ein Permanentmagnet 82 befindet. An jedem Polträger 81 sind zwei Pole 83 befestigt, die jeweils eine Spule 84 tragen. Die Polträger 81 und der Permanentmagnet 82 werden durch einen Bügel 85 verbunden. Auf dem Bügel 85 sind Lötösen 86 isoliert befestigt, die mit den Wicklungsenden der Spulen 84 verbunden sind.The stator 80 has two pole carriers 81, between which there is a permanent magnet 82 is located. On each pole carrier 81 two poles 83 are attached, each one Coil 84 wear. The pole carrier 81 and the permanent magnet 82 are connected by a bracket 85. Solder lugs 86 are fastened in an insulated manner on the bracket 85, which are connected to the winding ends of the coils 84.
Das Zahnrad 1.9 besitzt Zähne 19.1, wie auch die Pole 83 die Zähne 83.1,' zwischen denen ein Spalt von 0,15 mm bestehet. Die Zähne 83.1 sind von Pol 83 zu Pol 83 so in der Teilung versetzt, daß bei geeigneter Ansteuerung der Spulen 84 sich das Zahnrad 19 dreht und über die Mutter 18 und die Spindelbuchse 15 den Hubmagneten 30 mit dem Gleitrahmen 50 au£- oder abwärtsbewegt. Der Gleitrahmen 50 führt dabei keine Drehbewegungen aus, da er durch das Ma gnetsystem zwischen dem Zahnring 51 und den Polen 70 in der Winkellage gehalten ist.The gear 1.9 has teeth 19.1, like the pole 83, the teeth 83.1, 'between which there is a gap of 0.15 mm. The teeth 83.1 are from Pol 83 to pole 83 so offset in the division that with suitable control of the coils 84 the gear 19 rotates and about the nut 18 and the spindle sleeve 15 the Lifting magnet 30 with the sliding frame 50 upwards or downwards. The sliding frame 50 does not perform any rotational movements, as it is through the magnet system between the Toothed ring 51 and the poles 70 is held in the angular position.
An jedem Stator 80 sind zwei Böcke 87 mit Schrauben 88 befestigt, die die Verbindung zur Grundplatte 11 mittels Schrauben 89 herstellen, wie in Fig. 5 gezeigt ist.Two brackets 87 are attached to each stator 80 with screws 88, which establish the connection to the base plate 11 by means of screws 89, as shown in Fig. 5 is shown.
Weiter ist in Pig. 2 gezeigt, daß der Gleitrahmen 50 eine Jcheibenauflage 100 trägt. Die Scheibenauflage 100 sitzt auf einem Tragring 101, an dessen Umfang sich Justierschrauben 102 befinden. ueber Schrauben ist der Tragring 101 in den Gewindebuchsen 54 befestigt. Dabei dienen die Justierschrauben 102 zum Justieren einer Drehung der Scheibenauflage ohne Taumelfehler.Next is in Pig. 2 shown that the sliding frame 50 is a Jcheibenauflage 100 carries. The pane support 100 is seated on a support ring 101 on its circumference adjusting screws 102 are located. The support ring 101 is in the Threaded sockets 54 attached. The adjusting screws 102 are used for adjustment a rotation of the disk support without wobble.
Der Tragring 101 weist eine axiale Bohrung auf. In der Bohrung befinden sich eine Buchse 103 und darin ein Dicht1Lolben 104. Der Dichtkolben 104 besitzt einen Schlauchstutzen 105 für Vakuum, einen Schlauchstutzen 106 für Druckluft sowie einen elektrischen Anschluß 107 für die Scheibenkontak tierung.The support ring 101 has an axial bore. Located in the hole a bush 103 and a sealing piston 104 therein. The sealing piston 104 has a hose connector 105 for vacuum, a hose connector 106 for compressed air and an electrical connection 107 for the Scheibenkontak benefits.
Eine Stiftschraube 108, die im Tragring 101 befestigt ist, ragt mit ihrem Stift durch die Buchse 103 in eine Ringnut 104.1 des Dichtkolbens 104.A stud screw 108, which is fastened in the support ring 101, also protrudes its pin through the socket 103 into an annular groove 104.1 of the sealing piston 104.
Damit sind die Buchse 103 und der Dichtkolben 104 in der Bohrung axial arretiert und der Tragring 101 kann sich um den Dichtkolben 104 drehen.The bush 103 and the sealing piston 104 are thus axial in the bore locked and the support ring 101 can rotate around the sealing piston 104.
Weiterhin befindet sich ein Einsatz 109 in der Bohrung des Tragringes 101. Zwischen dem Einsatz 109 und dem Dichtkolben 104 ist ein Kegel 111 mit einer Druckfeder 112 angeordnet, welche den elektrischen Kontakt von dem Anschluß 107 über den Dichtkolben 104 bis zu dem Einsatz 109 gewährleistet.There is also an insert 109 in the bore of the Support ring 101. Between the insert 109 and the sealing piston 104 is a cone 111 with a Compression spring 112 arranged, which the electrical contact from the terminal 107 Guaranteed via the sealing piston 104 up to the insert 109.
Der Tragring 101 trägt einen, durch den Einsatz 109 zentrierten Scheibenteller 113, der mit einer Schraube 114 am Einsatz 109 befestigt ist. Diese Schraube 114 dient gleichzeitig als elektrische Verbindung von dem Scheibenteller 113 zum Einsatz 109 und damit zum Anschluß 107.The support ring 101 carries a disk plate centered by the insert 109 113, which is fastened to the insert 109 with a screw 114. This screw 114 serves at the same time as an electrical connection from the disk plate 113 to use 109 and thus to connection 107.
In dem Scheibenteller 113 befinden sich radiale Bohrungen 113.1 und 113.2, die durch Dichtschrauben 115 verschlossen sind.In the disk plate 113 there are radial bores 113.1 and 113.2, which are closed by sealing screws 115.
Ein erstes Kanalsystem 116 verbindet den Schlauchstutzen 106 mit den Bohrungen 113.1, von denen aus schräge Bohrungen 113.3, die alle in eine Transportrichtung zeigen, bis zur Oberfläche des Scheibentellers 113 führen. Beim Anlegen von Druckluft an den Schlauchstutzen 106 wird eine nicht dargestellte Halbielterscheibe von dem Scheibenteller 113 auf einem Iuftpolster in Transportrichtung bewegt.A first channel system 116 connects the hose connector 106 with the Bores 113.1, of which inclined bores 113.3, all in one transport direction show up to the surface of the disk plate 113 lead. When applying compressed air to the hose connector 106 is a non-illustrated half plate of the Disk plate 113 moved on an air cushion in the transport direction.
Von dem Schlauchstutzen 105 führt ein zweites Kanalsystem 117 zu der Bohrung 113.2.A second channel system 117 leads from the hose connector 105 to the Hole 113.2.
Die Bohrung 113.2 weist in ihrem Verlauf mehrere Ventile 118 auf. Die Ventile 118 sind mittels Schrauben 119 in zwei Stellungen arretierbar und geben Je nach Stellung den weiteren Verlauf der Vakuumversorgung in der Bohrung 113.2 und eine Verbindung zu Ringnuten 113.4 frei oder nicht. Weiterhin führen von dem Kanalsystem 117 acht schr&'-ge Bohrungen 113.5 bis zur Oberfläche des Scheibentellers 113. Somit lassen sich bei Anlegen von Vakuum an den Schlauchstutzen 105 und gleichzeitigem Abschalten der Druckluft an den Schlauchstutzen 106 über die Bohrungen 113.5 Halbleiterscheiben von 37 mm bzw. 1 1/2?? Durchmesser und durch Zuschalten der Ringnuten 113.4 Ealbleitersebeiben von 50 mm bzw. 2" bis 150 mm bzw. 6" Durchmesser fes-Dspannen.The bore 113.2 has several valves 118 in its course. The valves 118 can be locked in two positions by means of screws 119 and are open Depending on the position, the further course of the vacuum supply in the bore 113.2 and a connection to annular grooves 113.4 free or not. Continue to lead from that Channel system 117 eight inclined bores 113.5 up to the surface of the disk plate 113. Thus, when a vacuum is applied to the hose connector 105 and at the same time Switching off the compressed air at the hose connector 106 via the bores 113.5 semiconductor wafers of 37 mm or 1 1/2 ?? Diameter and by connecting the annular grooves 113.4 Ealbleitersebeiben from 50 mm or 2 "to 150 mm or 6" diameter fes-D.
Die Scheibenauflage 100 führt weiterhin alle Bewegungen des Gleitrahmens 50 wie Drehen um beliebige Winkel, stetige Höhenverstellung zum Ausgleichen von Dickentoleran zen der Halbleiterscheiben und schnelles Ausheben zur Kontaktierung der Halbleiterscheiben mit den Sonden eines Waferprobers aus.The pane support 100 continues to guide all movements of the sliding frame 50 like turning around any angle, constant height adjustment to compensate for Thickness tolerances of the semiconductor wafers and quick lifting for contacting the semiconductor wafers with the probes of a wafer prober.
Entsprechend Fig. 6 ist eine erste Lichtschranke 120 an dem Flansch 61 befestigt. Zwischen zwei Zähnen 19.1 ist eine Spiegelfläche 121 eingeklebt, über die das Licht reflektiert wird. Dadurch ist eine Grundstellung des Zahnrades 19 definiert.According to FIG. 6, a first light barrier 120 is on the flange 61 attached. A mirror surface 121 is glued in between two teeth 19.1, over which the light is reflected. This is a basic position of the gear 19 Are defined.
Eine zweite lichtschranke 125 ist dem Gleitrahmen 50 zugeordnet, wie in Fig. 7 dargestellt ist Dazu ist an dem Zahnring 51 ein Steg 126 mit einer spiegelnden Stirnfläche 126.1 angebracht, die den Lichtweg bei einer bestimmten Winkellage des Gleitrahmens 50 in der unteren Stellung des Zahnrades 19 schließt.A second light barrier 125 is assigned to the sliding frame 50, such as is shown in Fig. 7 For this purpose, a web 126 with a reflective is on the toothed ring 51 Front face 126.1 attached, which defines the light path at a certain angular position of the Sliding frame 50 in the lower position of the gear 19 closes.
Wenn beide lichtschranken 120; 125 einen geschlossenen Lichtweg aufweisen, sind Winkellage und Höhenlage des Gleitrahmens 50 und damit der Scheibenauflage 100 eindeutig bestimmt.If both light barriers 120; 125 have a closed light path, are the angular position and height of the sliding frame 50 and thus the disk support 100 clearly determined.
Am Umfang der Grundplatte 11 ist in einer Ausnehmung 11.2 ein Anschlußblock 130 befestigt, wie in Fig. 8 dargestellt ist. In einem Grundkörper 131 sind Schlauchstutzen 132 befestigt, von denen aus nicht dargestellte Schläuche zu den Schlauchstutzen 65 führen.On the circumference of the base plate 11 is a connection block in a recess 11.2 130 as shown in FIG. Hose connectors are located in a base body 131 132 attached, from which hoses, not shown, to the hose connector 65 lead.
Sin weiterer Schlauchstutzen 133 ist mit dem Schlauchstutzen 33 verbunden.A further hose connector 133 is connected to the hose connector 33.
Die Schlauchstutzen 132 und 133 sind über Kanäle im Innern des Grundkörpers 131 mit einem ersten Hauptanschluß 134 für die Druckluft der luftlager verbunden. Ein zweiter Rauptanschluß 135 ist über einen Schlauchstutzen 136 und Schlauch mit dem Schlauchstutzen 105 verbunden und bildet die Vakuunrversorgung. Ein dritter Hauptanschluß 137 ist über einen Schlauchstutzen 138 mit dem Schlauchstutzen 106 verbunden-und bildet die Transportluftversorgung.The hose connections 132 and 133 are via channels in the interior of the base body 131 connected to a first main connection 134 for the compressed air of the air bearings. A second main connection 135 is connected via a hose connector 136 and hose connected to the hose connector 105 and forms the vacuum supply. A third The main connection 137 is connected to the hose connector 106 via a hose connector 138 connected-and forms the transport air supply.
Auf der Oberseite des Grundkdrpers 131 ist eine Platte 139 mit einem Stecker 141 befestigt. Der Stecker 141 ist mit einer Abdeckung 142 versehen.On the top of the base body 131 is a plate 139 with a Connector 141 attached. The connector 141 is provided with a cover 142.
Der Stecker 141 ist mit den Lötösen 75, den lötösen 86, den Adaptern 43, dem Anschluß 107 und den Lichtschranken 120; 125 verbunden.The plug 141 is with the soldering lugs 75, the soldering lugs 86, the adapters 43, the connection 107 and the light barriers 120; 125 connected.
Der Anschlußblock 130 ermöglicht somit einen einfachen Anschluß des Stellantriebes 10 an eine hier nicht beschriebene externe Steuerung.The connection block 130 thus enables a simple connection of the Actuator 10 to an external control not described here.
Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen zur Patentanmeldung ~Stellantrieb 10 Stellantrieb 27 Kugeln 11 Grundplatte 30 Hubmagnet 11.1 Zentrierbund 31 Innenring 11.2 Ausnehmung 31.1 Bohrung 12 Abdeckung 31.2 Bohrung 13 Schrauben 32 Anschlußstutzen 14 Justierschraube 33 Schlauchstutzen 15 Spindelbuchse 34 Magnetträger 151 Außengewinde 34.1 Kanalsystem 15.2 Lagerfläche 34.2 Bohrung 15.3 Langloch 35 Permanentmagnet 16 Gewindebuchsen 36 Düse 17 Ansohlagsohraube 37 Außenring 17.1 Anschlagstift 38 Spule 18 Mutter 39 Isolierring 19 Zahnrad 41 Lötanschluß 19.1 Zahn 42 Buchse 21 Anschlagsohraube 43 Adapter 21.1 Anschlagstift 44 tuftlagerfläche 22 Lagerring 45 Luftlagerfläche 23 Kugelring 50 Gleitrahmen 24 Lagerschale 51 Zahnring 25 Buchse 52 Platte 25.1 Lagerfläche 53 Platte 25.2 Bohrung 54 Gewindebuchse 26 Kugelkäfig 2d Langloch 60 Lagerring 100 Scheibenauflage 61 Flansch 101 Tragring 61.1 Fläche 102 Justierschrauben 61.2 Kanalsystem 103 Buchse 62 Düse 104 Dichtkolben 63 Verteilerraum 104.1 Ringnut 64 Platte 105 Schlauchstutzen 65 Schlauchstutzen 106 Schlauchstutzen 66 Puß 107 Anschluß 67 Buchse 108 Stiftschraube 68 Schraube 109 Einsatz 69 Kalottenscheibe 111 Kegel 70 Pol 112 Druckfeder 71 Stift 113 Scheibenteller 72 Záhllbereieh 113.1 Bohrung 73 Permanentmagnet 113.2 Bohrung 74 Spule 113.3 Bohrung 75 Ldtöse 113.4 Ringnut 76 Leiste 113.5 Bohrung 80 Stator 114 Schraube 81 Polträger 115 Dichtschraube 82 Permanentmagnet 116 Kanalsystem 83 Pol 117 Kanalsystem 83.# Zahn 118 Ventil 84 Spule 119 Schraube 85 Bügel 120 Lichtschranke 86 Lötöse 121 Spiegelfläche 87 Bock 125 Lichtschranke 88 Schraube 126 Steg 89 Schraube 126.1 Stirnfläche 130 Anschlußblock 131 Grundkörper 132 Schlauchstutzen 133 Schlauchstutzen 134 Hauptanschluß 135 Hauptanschluß 136 Schlauchstutzen 137 Hauptansohluß 138 Schlauchstutzen 139 Platte 140 Stecker 142 AbdeckungList of the reference numbers used for the patent application ~ actuator 10 actuator 27 balls 11 base plate 30 solenoid 11.1 centering collar 31 inner ring 11.2 Recess 31.1 Bore 12 Cover 31.2 Bore 13 Screws 32 Connection piece 14 Adjusting screw 33 Hose connector 15 Spindle socket 34 Magnetic carrier 151 External thread 34.1 Channel system 15.2 Bearing surface 34.2 Bore 15.3 Long hole 35 Permanent magnet 16 Threaded bushings 36 Nozzle 17 Soldering tube 37 Outer ring 17.1 Stop pin 38 Coil 18 nut 39 insulating ring 19 gear 41 solder joint 19.1 tooth 42 socket 21 Stop screw 43 adapter 21.1 stop pin 44 air bearing surface 22 bearing ring 45 Air bearing surface 23 ball ring 50 sliding frame 24 bearing shell 51 toothed ring 25 bushing 52 Plate 25.1 Bearing surface 53 Plate 25.2 Bore 54 Threaded bush 26 Ball cage 2d elongated hole 60 bearing ring 100 washer support 61 flange 101 support ring 61.1 Surface 102 Adjustment Screws 61.2 Duct System 103 Socket 62 Nozzle 104 Sealing Piston 63 Distribution area 104.1 Ring groove 64 Plate 105 Hose connector 65 Hose connector 106 hose connector 66 socket 107 connection 67 socket 108 stud screw 68 screw 109 Insert 69 Dome washer 111 Cone 70 Pole 112 Compression spring 71 Pin 113 Disc plate 72 Counting range 113.1 Bore 73 Permanent magnet 113.2 Bore 74 Coil 113.3 Bore 75 Ldtöse 113.4 Ring groove 76 Strip 113.5 Bore 80 Stator 114 Screw 81 Pole carrier 115 Sealing screw 82 Permanent magnet 116 Duct system 83 Pole 117 Duct system 83. # Tooth 118 valve 84 coil 119 screw 85 bracket 120 light barrier 86 solder lug 121 mirror surface 87 Bock 125 light barrier 88 screw 126 web 89 screw 126.1 face 130 Connection block 131 Base body 132 Hose connector 133 Hose connector 134 Main connection 135 Main connection 136 Hose connection 137 Main connection 138 Hose connection 139 Plate 140 connector 142 cover
Claims (21)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD22858580 | 1980-12-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3132919A1 true DE3132919A1 (en) | 1982-09-02 |
Family
ID=5529834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813132919 Withdrawn DE3132919A1 (en) | 1980-12-09 | 1981-08-20 | Servo-drive |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3132919A1 (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0114712A2 (en) * | 1983-01-21 | 1984-08-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for photolithographically treating a thin substrate |
EP0128433A2 (en) * | 1983-06-10 | 1984-12-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment apparatus |
EP0130358A1 (en) * | 1983-06-10 | 1985-01-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment device |
EP0130357A1 (en) * | 1983-06-10 | 1985-01-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment assemblies |
US4711610A (en) * | 1986-04-04 | 1987-12-08 | Machine Technology, Inc. | Balancing chuck |
DE3826863A1 (en) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Wolfgang Dipl Ing Koenig | Device for positioning a workpiece or an auxiliary device in two coordinates with high displacement resolution for NC milling machines |
DE19608562A1 (en) * | 1996-03-07 | 1997-09-11 | Basler Gmbh | Axially moving hub seat rotary recording device for compact disk |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
DD137037A1 (en) * | 1978-06-01 | 1979-08-08 | Eberhard Riessland | BELL-FREE HUB DEVICE |
-
1981
- 1981-08-20 DE DE19813132919 patent/DE3132919A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
US4066943A (en) * | 1974-03-05 | 1978-01-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
DD137037A1 (en) * | 1978-06-01 | 1979-08-08 | Eberhard Riessland | BELL-FREE HUB DEVICE |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0114712A2 (en) * | 1983-01-21 | 1984-08-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for photolithographically treating a thin substrate |
EP0114712A3 (en) * | 1983-01-21 | 1984-08-22 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken | Device for photolithographically treating a thin substrate |
EP0128433A2 (en) * | 1983-06-10 | 1984-12-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment apparatus |
EP0130358A1 (en) * | 1983-06-10 | 1985-01-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment device |
EP0130357A1 (en) * | 1983-06-10 | 1985-01-09 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment assemblies |
EP0128433A3 (en) * | 1983-06-10 | 1985-01-16 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment apparatus |
US4711610A (en) * | 1986-04-04 | 1987-12-08 | Machine Technology, Inc. | Balancing chuck |
DE3826863A1 (en) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Wolfgang Dipl Ing Koenig | Device for positioning a workpiece or an auxiliary device in two coordinates with high displacement resolution for NC milling machines |
DE19608562A1 (en) * | 1996-03-07 | 1997-09-11 | Basler Gmbh | Axially moving hub seat rotary recording device for compact disk |
DE19608562C2 (en) * | 1996-03-07 | 1999-06-10 | Basler Gmbh | Rotary drive device with axially movable holder |
US6021885A (en) * | 1996-03-07 | 2000-02-08 | Basler Ag | Rotary drive device with axially movable receptacle |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3885832T2 (en) | Probe manipulator with improved suspension. | |
EP0300959B1 (en) | Process and apparatus for centering a pilot arbor | |
DE19605776A1 (en) | Coordinate measuring device with a stylus, the orientation of which is adjustable | |
DE2163970B2 (en) | TEST DEVICE FOR TESTING CIRCUIT BOARDS | |
DE3132919A1 (en) | Servo-drive | |
DD155863A3 (en) | ACTUATOR | |
DE1964522A1 (en) | Measuring device for determining the doping profile of a measuring object made of semiconductor material | |
DE2812637C3 (en) | Arrangement for the automatic insertion of a floppy disk into a floppy disk drive | |
DE4326406C1 (en) | Gear testing device (apparatus, set, instrument) | |
DE3142010C2 (en) | ||
EP0416524B1 (en) | Device for the change of calipers for measuring devices | |
DE3802145C1 (en) | Optoelectrical device | |
DE3931305A1 (en) | TEST CARD DEVICE | |
DE3142459C2 (en) | Eddy current sensor arrangement | |
DE2724435A1 (en) | BALL BEARING CAM ARRANGEMENT | |
WO1998021548A1 (en) | Measuring device | |
DE3339077C2 (en) | ||
DE2126398A1 (en) | Magnetic support bearing for rotatable rotors about vertical axes of electrical measuring devices, especially of Elektnzitatszah learn | |
EP0216019A2 (en) | Material-testing machine using weights for the application of the load | |
DE956615C (en) | Electron lens | |
DE20113548U1 (en) | Double flank gear tester | |
DE2042506A1 (en) | Measuring device for determining position and dimensional deviations on workpieces | |
DE2242356A1 (en) | FINE ADJUSTABLE PRECISION LOCK | |
DE3931609C2 (en) | Device for connecting a base object to a rotating object through a flexible line | |
DE3329401C2 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8180 | Miscellaneous part 1 |
Free format text: DIE PRIORITAET(EN) LAUTET(EN) RICHTIG: 09.12.80 DD WPH01L 225885 |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |