DE3122408C2 - - Google Patents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vor
richtung zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche
eines Ultraschall-Objektivs.
Aus der DE-OS 25 04 988 ist ein akustisches Mikroskop
bekannt. Wesentlicher Teil dieses Mikroskops ist eine
akustische Linse zur Fokussierung von Schallwellen.
Zur Erzeugung und zum Nachweis der Schallwellen dient
ein auf der akustischen Linse angebrachter piezoelek
trischer Wandler, der an einen Hochfrequenzgenerator
bzw. Empfänger angekoppelt ist. Das aus akustischer
Linse und piezoelektrischem Wandler bestehende Bau
element soll als Ultraschall-Objektiv bezeichnet wer
den.
Der piezoelektrische Wandler erzeugt in der akustischen
Linse eine ebene Schallwelle. Durch eine besondere
Formgebung der Frontfläche der akustischen Linse wird
die austretende Schallwelle beim Übergang in ein Medi
um mit geringerem Schallgeschwindigkeitskoeffizienten
fokussiert. Üblicherweise ist die Frontfläche konkav
sphärisch geformt, wobei die Fläche noch poliert und
reflexionsmindernd vergütet wird. Der Krümmungsradius
dieser Frontfläche beträgt etwa 100 µm und der Durch
messer etwa 80 µm.
Für den Übergang der Schallwelle in das Medium mit
geringerem Schallgeschwindigkeitskoeffizienten (Immer
sion) ist es wichtig, daß ein ungestörter, inniger
Kontakt zwischen Linsenfrontfläche und Immersion be
steht. Dazu müssen insbesondere alle Niederschläge
auf der Frontfläche beseitigt werden, die die Ober
flächenspannung der Linse erhöhen, da sonst die Front
fläche nur unvollkommen mit der Immersion benetzt und
eine Luftblase in der von der Frontfläche gebildeten
Kugelkalotte eingeschlossen wird.
Die Reinigung und Benetzung der Frontfläche des Ultra
schall-Objektivs muß vor jedem Arbeitsbeginn und Prä
paratwechsel beim akustischen Mikroskop durchgeführt
werden. Die übliche Methode besteht darin, mit einem
mit destilliertem Wasser angefeuchteten Wattestäbchen
so lange über die Frontfläche zu reiben, bis am Signal
ausgang des Mikroskops ein aus der Bewegung des Watte
stäbchens resultierendes Videosignal entsteht. Danach
wird mit einer Pipette ein Tropfen der Immersion, beispiels
weise ebenfalls destilliertes Wasser, auf die Frontfläche gegeben.
Diese Art der Reinigung und Benetzung ist mühsam und sehr zeitauf
wendig. Für die Erstreinigung vor Arbeitsbeginn sind hierfür oft
Zeiten zwischen 30 und 45 Minuten nötig. Das erklärt sich daraus,
daß der Kopf des Wattestäbchens sehr viel größer als die zu reini
gende Frontfläche des Ultraschall-Objektivs ist und es mehr vom
Zufall abhängt, ob einzelne Fasern in die Kugelkalotte eintauchen
und über die Frontfläche wischen. Neben dem großen Zeitaufwand be
steht noch die Gefahr, daß die Vergütungsschicht beschädigt wird.
Eine Automatisierung des Vorgangs mit reproduzierbaren Ergebnissen
ist nicht möglich.
An sich ist die Verwendung von Flüssigkeitsstrahlen für die Rei
nigung bekannt. So geben die DE-A 28 24 302 und DE-Z. LABO, Heft
Oktober 1975, Seiten 906 bis 911 Einrichtungen zur chemischen Rei
nigung von stabförmigen Körpern durch Flüssigkeitsstrahlen an.
Der Düsenquerschnitt ist offenbar klein gegen die Körperabmes
sungen und nach Abschluß der Reinigung muß die chemisch reini
gende Flüssigkeit wieder von den Körpern entfernt werden, um deren
Funktion zu ermöglichen.
Eine Einrichtung nach DE-OS 23 35 893 erzeugt einen pulsierenden
Flüssigkeitsstrahl mit extremem Stoßdruck, welcher auf ein Ultra
schallobjektiv zerstörend wirken müßte.
Aus der DE-OS 22 07 581 ist ein Verfahren zur Reinigung von Haus
fassaden bekannt, bei dem ein Flüssigkeitsstrahl über die große
zu reinigende Fläche hinweg bewegt wird.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und
eine geeignete Vorrichtung anzugeben, mit der eine schnelle und
sichere Reinigung und Benetzung der Frontfläche des Ultraschall
objektivs möglich ist, wobei die Arbeitsabläufe und der Betrieb
der Vorrichtung auch automatisierbar sein sollte.
Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Verfahren durch die
kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1, bei einer gattungsgemäßen
Vorrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 6
gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteran
sprüche 2 bis 5 und 7 bis 15.
Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden
anhand der Zeichnungen beschrieben. Diese zeigt schematisch in
Fig. 1 einen Schnitt durch die Reinigungsvorrichtung
in Arbeitsstellung,
Fig. 2 eine Aufsicht,
Fig. 3 ein Blockschaltbild für eine vollautomatische Reini
gungsvorrichtung.
In Fig. 1 ist an einem Stativ 10 ein Haltearm 11 be
festigt, der das Ultraschallobjektiv 12 mit der kon
kav sphärisch geformten Frontfläche 13 trägt. In den
Haltearm 11 ist eine Schwingvorrichtung 14 eingebaut,
durch die das Ultraschall-Objektiv 12 in Schwingbe
wegungen entlang der Pfeilrichtung versetzt werden
kann.
Die Reinigungs- und Benetzungsvorrichtung besteht
aus einer Düse 15, deren Öffnung 16 gegen die Front
fläche 13 des Ultraschall-Objektivs gerichtet ist.
In die Düse 15 wird über einen Schlauch 17 die Reini
gungs- bzw. Benetzungsflüssigkeit geleitet. Die Düse
15 ist von einem Auffanggefäß 18 umgeben, das eine
Ausflußöffnung 19 besitzt, an die ein Schlauch 20
angeschlossen ist. Düse 15 und Auffanggefäß 18 sind
starr miteinander verbunden und auf einem Schwenk
arm 21 angeordnet, der um eine Achse 22 schwenkbar
ist. Dies kann z. B. die Achse eines Motors 23 sein,
der ebenfalls an dem Stativ 10 befestigt ist.
Die Aufsicht in Fig. 2 zeigt die Reinigungs- und Be
netzungsvorrichtung im ausgeschwenkten Zustand neben
der akustischen Mikroskopeinrichtung, zu der z. B.
auch ein an dem Stativ 10 befestigter Objekttisch ge
hört, der nicht weiter dargestellt ist, da er z. B.
von dem Haltearm 11 verdeckt wird. Für den Schwenk
arm 21 ist ein Anschlag 24 vorgesehen. Bei Anlage
des Schwenkarms 21 an diesem Anschlag 24 ist die
Düsenöffnung 16 in die Achse 25 des akustischen
Mikroskops eingeschwenkt.
Die Schläuche 17 und 20 sind mit einer Pumpe 26 ver
bunden, die aus einem Vorratsgefäß 27 Flüssigkeit in
die Düse 15 hineindrückt und die im Auffanggefäß 18
befindliche Flüssigkeit in ein Gefäß 28 hineinleitet.
Die Arbeitsweise der Pumpe 26 ist z. B. so ausgelegt,
daß periodisch in der Düsenleitung 17 ein Überdruck
und in der Ablaugleitung 20 ein Unterdruck erzeugt
wird. Auf diese Weise wird ein pulsierender Strahl
der Reinigungsflüssigkeit aus der Düsenöffnung 16
austreten.
Das Blockschaltbild nach Fig. 3 zeigt eine vollauto
matische Vorrichtung, die z. B. über einen Mikropro
zessor 29 programmgesteuert wird. Über eine Start
taste 30 wird der Motor 23 für die Schwenkvorrichtung
21/22 in Richtung auf die Anschlagfläche 24 in Gang
gesetzt und bei Anlage über den Schalter 31 abge
stellt. Danach werden die Pumpe 26 und der Schwinger
14 eingeschaltet. Durch die Düse 16 hindurch wird
ein Flüssigkeitsstrahl gegen die Linsenoberfläche des
Ultraschall-Objektivs 12 gedrückt. Die von der Ober
fläche des Objektivs abtropfende Flüssigkeit wird in
dem Auffanggefäß 18 gesammelt und von der Pumpe abge
saugt. Das piezoelektrisch gewandelte Ultraschallsi
gnal am Ausgang 32 des Objektivs 12 wird in den Mikro
prozessor 29 eingegeben, der nach Vorliegen einer
entsprechenden Signalgröße zunächst die Pumpe 26 und
den Schwinger 14 abschaltet und danach den Motor 23
einschaltet, der den Schwenkarm 21 gegen eine An
schlagfläche 33 schwenkt. Bei Anlage an dieser Fläche
schaltet ein Schalter 34 die Reinigungsvorrichtung
ab.
Da die Düsenöffnung 16, wie in Fig. 1 dargestellt,
einen sehr geringen Abstand von der zu reinigenden
Frontfläche 13 hat, bleibt nach dem Ausschwenken der
Reinigungsvorrichtung ein Tropfen der verwendeten
Flüssigkeit an dieser Fläche haften, so daß das Ob
jektiv automatisch benetzt ist. Da überwiegend de
stilliertes Wasser zur Reinigung und als Immersion
benutzt wird, erfolgt somit Reinigung und Benetzung
in einem Arbeitsgang.
Der Durchmesser des aus der Düse 16 austretenden
Strahls ist, wie ebenfalls aus Fig. 1 ersichtlich,
etwas größer als der Durchmesser der als Kugelka
lotte ausgebildeten Fläche 13, so daß gewisse Tole
ranzen beim Einschwenken der Vorrichtung zulässig
sind und außerdem sichergestellt ist, daß beim
Schwingen des Ultraschall-Objektivs die zu reinigen
de Fläche 13 immer bestrahlt wird. Die Bewegung des
Objektivs quer zur Richtung des Flüssigkeitsstrahls
ist vorteilhaft aber nicht Voraussetzung für die
Funktionsweise der Vorrichtung. Hier hat sich in
überraschender Weise gezeigt, daß allein ein ge
ringer Strahldruck und die im Strahl vorhandenen
bzw. die beim Auftreffen des Strahls auf die Linsen
oberfläche durch unterschiedliche Reflexion ent
stehenden Wirbel die Reinigung bewirken und Luftbla
sen aus der Kugelkalotte herausdrücken. Außerdem
konnte festgestellt werden, daß nach einer ersten
Grundreinigung die erforderlichen Reinigungszeiten
auch nach Betriebsunterbrechung von einigen Tagen
deutlich geringer sind als bei der Grundreinigung.
Das in den Figuren dargestellte Ausführungsbeispiel
benutzt z. B. ein in Reflexion arbeitendes Ultra
schall-Objektiv, das oberhalb des Objektes angeordnet
ist. Die Reinigungsvorrichtung wird daher unter das
Objektiv geschwenkt und die vom Objektiv abtropfende
Reinigungsflüssigkeit kann einfach in einem Gefäß
aufgefangen werden. Es ist jedoch auch die umgekehrte
Betriebsweise möglich. Um dann zu verhindern, daß die
Reinigungsflüssigkeit in die Fassung des Ultraschall-
Objektivs hineinläuft, kann um die Düsenöffnung 16
herum ein Absaugkanal angeordnet werden, in dem über
die Pumpe 26 ein ausreichender Unterdruck erzeugt
wird, der die Reinigungsflüssigkeit vom Objektiv ab
saugt. Durch geeignete zeitliche Abstimmung zwischen
Strahlen und Absaugen kann erreicht werden, daß auch
bei Beendigung des Reinigungsvorganges noch ein
Tropfen der Flüssigkeit die Frontfläche 13 benetzt.
Bei Verwendung von Ultraschall-Objektiven, bei denen
eine elektrische Messung des Ultraschallkontaktes
zwischen der Frontfläche 13 und dem Übertragungsmedi
um nicht möglich ist, kann für den Reinigungsvorgang
eine nach der Erfahrung bestimmte Zeit vorgegeben
werden. Diese kann beispielsweise an dem Mikropro
zessor 29 eingestellt werden. Sie liegt auf jeden
Fall deutlich unter den bisher benötigten Zeiten
beim mechanischen Wischen über die Linsenoberfläche.
Claims (15)
1. Verfahren zur Reinigung und Benetzung der Frontflächen eines
Ultraschallobjektivs, dadurch gekennzeichnet,
daß
- a) der Linsenfrontfläche (13) in geringem Abstand eine Düsen öffnung (16) gegenübergestellt wird, die einen etwas grö ßeren Durchmesser aufweist als die zu reinigende und/oder zu benetzende konkave Linsenfrontfläche (23),
- b) durch die Düsenöffnung ein feiner Strahl einer Reinigungs- und/oder Benetzungsflüssigkeit unter geringem Strahldruck gegen die konkave Fläche gelenkt wird, wobei die von dem Ultraschallobjektiv (12) abtropfende Flüssigkeit von einem um die Düse (15/16) angeordneten Auffangsystem aufgenommen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß ein pulsierender Strahl der Flüssigkeit gegen
die Linsenfrontfläche (13) gelenkt wird.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Ultraschallobjek
tiv (12) während des Reinigungsvorgangs quer zum
Strahl der Flüssigkeit schwingt.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß mit destilliertem
Wasser gereinigt und benetzt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß bei einem in Reflexion
arbeitenden Ultraschallobjektiv (12) während des
Reinigungsvorgangs das am Signalausgang entstehende
elektrische Signal gemessen und in Abhängigkeit von
der Signalgröße das Ende der Reinigung bestimmt
wird.
6. Vorrichtung zur Reinigung und Benetzung der Frontfläche eines
Ultraschallobjektivs, dadurch gekennzeichnet,
daß
- a) eine Düse (15/16) vorgesehen ist, die über eine Leitung (17) mit einem Vorratsgefäß (27) für die Reinigungs- und/ oder Benetzungsflüssigkeit verbunden ist,
- b) eine Vorrichtung vorgesehen ist, durch die die Düsen öffnung (16) und die konkave Linsenfrontfläche (13) ein ander in geringem Abstand gegenübergestellt werden kön nen,
- c) die Düsenöffnung (16) einen etwas größeren Durchmesser auf weist als die konkave Linsenfrontfläche (13),
- d) die Düse von einem Auffanggefäß (18) umgeben ist, und
- e) in die Leitung (17) eine Pumpe (26) eingefügt ist, die die Flüssigkeit unter Druck durch die Düsenöffnung (16) preßt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Düse (15/16) aufwärts gerichtet unterhalb
der Linsenfrontfläche (13) angeordnet
ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet,
daß an das Auffanggefäß (18) eine Absaugleitung
(20) angeschlossen ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Pumpe (26)
auch mit der Absaugleitung (20)
verbindbar ist und in der Düsenleitung (17) einen
Überdruck und in der Absaugleitung (20) einen Unterdruck
erzeugt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß die Pumpe (26) einen pulsierenden Über-
bzw. Unterdruck erzeugt.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Düsenöffnung (16)
konzentrisch von einem Absaugkanal umgeben ist,
in dem während des Reinigungsvorgangs ein Saug
strom erzeugt wird.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, da
durch gekennzeichnet, daß der die Düse (15/16)
enthaltende Teil auf einer Schwenkvorrichtung (21,
22) befestigt ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich
net, daß der Schwenkvorrichtung (21, 22) ein An
schlag (24) derart zugeordnet ist, daß die Düsen
öffnung (16) bei Anlage an diesem Anschlag der zu
reinigenden bzw. zu benetzenden Linsenfrontfläche
(13) gegenüberliegt.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkvorrich
tung (21, 22) mit einem motorischen Antrieb (23)
versehen ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Programmablauf
steuerung (29) für einen automatischen Reinigungs-
und/oder Benetzungsvorgang vorgesehen ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813122408 DE3122408A1 (de) | 1981-06-05 | 1981-06-05 | Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives |
JP57094150A JPS58751A (ja) | 1981-06-05 | 1982-06-03 | 超音波対物レンズの前面を清掃しそして湿らすための方法および装置 |
US06/384,893 US4472204A (en) | 1981-06-05 | 1982-06-04 | Process and apparatus for cleaning and wetting the concave surface of an acoustic lens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813122408 DE3122408A1 (de) | 1981-06-05 | 1981-06-05 | Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3122408A1 DE3122408A1 (de) | 1982-12-23 |
DE3122408C2 true DE3122408C2 (de) | 1990-07-26 |
Family
ID=6134036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813122408 Granted DE3122408A1 (de) | 1981-06-05 | 1981-06-05 | Verfahren und vorrichtung zur reinigung und benetzung der frontflaeche eines ultraschall-objektives |
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---|---|
US (1) | US4472204A (de) |
JP (1) | JPS58751A (de) |
DE (1) | DE3122408A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015200927A1 (de) | 2015-01-21 | 2016-07-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung eines Immersionsmittelfilms |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086960U (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波顕微鏡装置 |
US4754771A (en) * | 1985-07-17 | 1988-07-05 | Hybritech Incorporated | Apparatus for washing beads |
DE102004033208B4 (de) * | 2004-07-09 | 2010-04-01 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils mit einem Immersionsobjektiv |
EP3699585A3 (de) * | 2019-02-25 | 2020-10-07 | Battenberg Robotic GmbH&Co. KG | Verfahren zur überprüfung einer schweissung sowie ultraschallprüfkopfanordnung |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3360400A (en) * | 1961-06-07 | 1967-12-26 | Ajem Lab Inc | Method for power washing, surface reforming and the like |
US3212378A (en) * | 1962-10-26 | 1965-10-19 | Union Carbide Corp | Process for cutting and working solid materials |
DE2207581A1 (de) * | 1972-02-18 | 1973-08-23 | Klaus Grohmann | Druck-saugduese zum reinigen von vorzugsweise aussenflaechen von hochhaeusern und wohnhaeusern |
JPS5030592A (de) * | 1973-06-11 | 1975-03-26 | ||
CH570855A5 (de) * | 1973-06-12 | 1975-12-31 | Cerac Inst Sa | |
US3928063A (en) * | 1974-06-05 | 1975-12-23 | Exxon Research Engineering Co | Method for cleaning a crystal microbalance |
JPS5827837Y2 (ja) * | 1976-11-27 | 1983-06-16 | 出光興産株式会社 | ガラス器具洗浄器 |
SE7702537L (sv) * | 1977-03-07 | 1978-09-08 | Aga Ab | Forfarande och anordning for att rengora en lutande eller vertikal yta pa ett optiskt element |
CH623243A5 (de) * | 1977-09-23 | 1981-05-29 | Zellweger Uster Ag |
-
1981
- 1981-06-05 DE DE19813122408 patent/DE3122408A1/de active Granted
-
1982
- 1982-06-03 JP JP57094150A patent/JPS58751A/ja active Granted
- 1982-06-04 US US06/384,893 patent/US4472204A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015200927A1 (de) | 2015-01-21 | 2016-07-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung eines Immersionsmittelfilms |
EP3048466A1 (de) | 2015-01-21 | 2016-07-27 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | Vorrichtung und verfahren zur ausbildung eines immersionsmittelfilms |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58751A (ja) | 1983-01-05 |
JPH0379663B2 (de) | 1991-12-19 |
US4472204A (en) | 1984-09-18 |
DE3122408A1 (de) | 1982-12-23 |
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