DE3020282A1

DE3020282A1 - Durchfluss-stroemungsmesser mit ultraschall

Info

Publication number: DE3020282A1
Application number: DE19803020282
Authority: DE
Inventors: Valentin Dipl.-Phys. 8000 München Magori
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1980-05-28
Filing date: 1980-05-28
Publication date: 1981-12-03
Also published as: US4375767A; JPS5720614A; EP0040837B1; JPS63111619U; DK161259C; EP0040837A1; ATE9184T1; DK233581A; DE3020282C2; DK161259B

Description

AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen

Berlin und· Hinchen · · TPA

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Durchfluß-Strömungsmesser mit Ultraschall.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Durchfluß-Strömungsmesser, wie er im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegeben ist.

Aus dem Stand der Technik "Flow, its Measurement and Control in Science and Industry", Bd.1, Teil 2, "Flow Measuring Devices", Seite 897-915, Instrument Society of Amerca, Pittsburgh (1974) sind eine Anzahl von mit Ultraschall arbeitenden Durchfluß-Stömungsmessern bekannt, wobei sich diese zusammenfassende Druckschrift auf viele ältere druckschriftliche Veröffentlichungen bezieht. Insbesondere die Fig.3 (Seite 905) und 4 (Seite 907) zeigen Anordnungen mit Sende- und Empfangswandlern, deren Strahlungsrichtung schräg zur Achse der Rohrleitung gerichtet ist, in deren Innerem strömendes Medium bezüglich Geschwindigkeit und/oder strömender Menge gemessen werden soll. Alle diese Ausführungen sind derart, daß die Innenoberfläche der Rohrwandung eine Störung durch eine keilförmige Vertiefung oder einen keilförmigen Vorsprung aufweist. Solche Störungen der Rohrinnenwand sind aber sehr unerwünscht, da sie zum einen Störungen des Strömungsprofils und damit Strömungswiderstand hervorrufen und zum anderen Anlaß für Ablagerungen an dieser Stelle geben, wobei diese Ablagerungen außerdem auch noch die Ausbreitung der Ultraschall-Strahlung beeinträchtigen.

Zur Vermeidung solcher Schwierigkeiten sind Aufbauten vorgeschlagen worden, die in der obengenannten Druckst s 1 BIa /19.5.1980

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schrift in Fig.6 (Seite 908) gezeigt sind. Dort ist eine unverändert glatte Rohrinnenwand vorhanden und die Wandler für Senden und Empfangen sind wieder mit zur Rohrachse schräggerichteter Sende- bzw. Empfangsrichtung angebracht. Dabei ist gemäß einem Ausführungsbeispiel eine Einkerbung der Außenwand der Rohrleitung vorgesehen, in der der jeweilige Wandler angebracht ist. Dieser Wandler muß seine Ultraschall-Strahlung durch die Rohrwandung hindurch ausstrahlen bzw. empfangen, wobei an der Grenzfläche zwischen Rohrinnenwandung und Rohrinnenvolumen eine Brechung der sich fortpflanzenden Ultraschall-Strahlung eintritt, die im übrigen von Änderungen des Brechungsindex des in der Rohrleitung strömenden Mediums abhängt.

Eine andere Ausführungsform ist diejenige, bei der schräg in die Rohrwandung ein Übertragungskörper für die Ultraschall-Strahlung eingesetzt ist, an dessen äußerer Stirnfläche der eigentliche Wandlerkörper angebracht ist. Im Bereich der Innenwandung der Rohrleitung hat dieser Übertragungskörper eine die Rohrinnenwandung glatt fortsetzende Fläche. Bei einem derartigen Übertragungskörper tritt der bereits erwähnte Effekt der Strahlungsbrechung auf.

Eine weitere Ausführungsform ist die, in der der Wandlerkörper an einem außen an die Rohrwandung angebrachten Kopplungsblock angebracht ist, wobei ebenfalls die Brechung auftritt.

Diese vielen, schon seit langer Zeit bekannten Ausführungsformen für die Anbringung des Wandlers haben - wie bereits zum Teil erörterte - Nachteile verschiedener Art. Die Ausführungsformen mit Übertragungskörper (Fig.6 der Druckschrift) sind vor allem auch weniger

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empfindlich, da der Ultraschall eine nicht unbeträchtliche Wegstrecke durch jeweils ein Medium hindurchläuft, das von den jeweiligen Bedingungen im strömenden Medium nicht beeinflußt wird.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, für einen Durchfluß-Strömungsmesser nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 solche zusätzlichen Maßnahmen anzugeben, die die Nachteile des Standes der Technik, wie die Bildung von Störmungshindernissen und/oder von Ablagerungsräumen, vermeiden und/oder Minderungen der Meßunempfindlichkeit beseitigen.

Diese Aufgabe wird für den Durchfluß-Strömungsmesser nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Kennzeichens dieses Patentanspruchs gelöst.

Die Erfindung geht von der Überlegung aus, daß diese Probleme dem Prinzip nach dadurch zu lösen sind, daß man die notwendigerweise schräg, vorzugsweise in einem Winkeloi,«45° zur Achse der Rohrleitung, auszusendende und zu empfangende Ultraschall-Strahlung direkt von der Oberfläche der Rohrinnenwand bzw. einer mit dieser Fläche wenigstens im wesentlichen gleichen Fläche aussendet und empfängt. Die diesem erfindungsgemäßen Prinzip zugehörige grundsätzliche Lösung besteht darin, in die Rohrwandung je einen solchen Ultraschall-Wandler einzubauen, dessen Sende- bzw. Empfangsfläche die Fläche der Rohrinnenwandung wenigstens im wesentlichen fortsetzt, vorzugsweise sogar wie die Rohrinnenwandung gekrümmt istjUnd dennoch eine Aussendung bzw. eine Empfangsrichtung für die Ultraschall-Strahlung aufweist,die den Winkel c* der vorgesehenen Durchstrahlungsrichtung des Rohrinnenraumes hat. Bei diesem erfindungsgemäßen

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Wandler treten keine Brechungseffekte wie bei den nach Fig.6 der obengenannten Druckschrift bekannten Anordnungen auf. Statt einer Krümmung des ganzen Wandlerkörpers genügt auch eine Krümmung allein der Innenfläche.

Zusätzliche Möglichkeit der störungsfreien Fortsetzung der Rohrinnenwand besteht in dem Aufsetzen eines Anpassungsstückes aus Kunststoffmaterial auf dem Wandler, das zum Wandler hin plan und zunL_Rohrinnern hin zylindrisch konkav (wie die Rohrinnenwand) gekrümmt ist.

Im Gegensatz zu den dem Stand der Technik entsprechenden, oben erwähnten Übertragungskörpern für in Normalenrichtung strahlende Wandler spielen hierbei refraktäre Einflüsse und deren Änderung bei Medien mit unterschiedlicher Schallgeschwindigkeit praktisch keine Rolle. Für die Komponenten der Schallstrahlung, die in zur Rohrachse parallelen Ebenen liegen, wirkt das erfindungsgemäße Anpassungsstück wie eine planparallele Platte. Für Komponenten, die in zur Rohrachse senkrechten Ebenen liegen, sind die Brechungswinkel sehr klein, da der Krümmungsradius des Rohres gegenüber den Wandlerabmessungen groß ist.

Die bei der Erfindung verwendeten einzelnen Wandler haben eine periodische Struktur, die gemäß der Gleichung

Ä = d · cos oi.

mit A = Wellenlänge im Medium des Rohrinnenraumes und d = Abstand zwischen zwei benachbarten Fingern jeweils eines Kammes der periodischen Interdigitalstruktur, wobei in diesen Abstand Jeweils noch ein Finger des gegenüberliegenden Kammes eingreift -

zu einer mit dem Winkel oC zur Oberfläche des Wandlers schräg gerichteten Abstrahlung von der Oberfläche des

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Wandlerkörpers führt. Diese periodische Struktur kann eine über die (zur Rohrachse parallele) Länge des Wandlerkörpers alternierende Polarität im Material des Wandlerkörpers sein, wobei die zur Dicke des Wandlerkörpers . parallele Polarisation desselben mit dieser Periode alternierend antiparallel gerichtet ist. Eine andere Ausführungsform des Erfindungsprinzips sieht auf der dem Rohrinnenraum abgewandten Oberfläche des Wandlerkörpers eine Interdigitalstruktur als Elektrodenan-Ordnung Tor, wobei diese Elektroden-Interdigitalstruktur aus zwei ineinandergreifenden Kammstrukturen mit jeweils Fingern und Sammelschiene besteht. Solche Interdigitalstruktur en sind im übrigen von piezokeramischen Laufzeitanordnungen her zu anderem Zwecke bekannt.

Eine besonders fortschrittliche Lösung gemäß dem Erfindungsprinzip stellt ein Wandler dar, der sowohl periodisch alternierende Polarisation als auch entsprechend periodisch ausgebildete Interdigitalstruktur auf der dem Rohrinnenraum abgewandten Oberfläche des Wandlerkörpers hat. Diese zweifach alternierend ausgebildete ' Ausführungsform der Erfindung hat bei Anregung mit zwei 90° Grad gegeneinander phasenverschobenen Wechselspannungen eine Sende- und Empfangsrichtung im Winkel #. zur Oberfläche, jedoch nur noch in einer einzigen Richtung. Die Periodizität d gemäß obiger Gleichung gilt dort für den Abstand jeweils solcher nächstbenachbarter Finger, zu denen auch sich wiederholende Polarisation gehört.

Eine weitere, besonders fortschrittliche Lösung hat einen Wandler mit einer doppelten Interdigitalstruktur auf der einen Seite des Wandierkörpers und einheitliche Polarisation des Wandlerkörpers. Die Anregung erfolgt mit vier jeweils 90° phasenversetzten Wechselspannungen, von denen je eine zwischen einer der vier Kammstrukturen

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der doppelten Interdigitalstnikrtur und der gemeinsamen Gegenelektrode der Rückseite angelegt ist. Auch dieser Wandler strahlt ebenfalls nur noch in einer Richtung im Winkel ei ab.
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Weitere Erläuterungen der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung zu den Figzren hervor.

Fig.1 und 1a zeigen eine erste Ausführungsform eines der Erfindung gemäßen Wandlers für einen Durchfluß-Strömungsmesser, wobei dieser Wandler eine Interdigitalstruktur hat.

Fig.2 zeigt eine zweite Ausführungsform mit Periodizität der Polarisation.

Fig.3 zeigt eine weitere Ausführungsform mit auf beiden Seiten vorhandener Interdigitalstruktur,

Fig.4 zeigt eine weitere Ausführungsform mit doppelter Interdigitalstruktur,

Fig.5 zeigt eine Ausführungsform mit'sowohl Interdigitalstruktur als auch Periodizität der Polarisation und

Fig.6 zeigt ein Anpassungsstück.

In Fig.1 ist mit 1 im Schnitt die Rohrleitung bezeichnet, in der das hier nicht dargestellte zu messende Medium strömt und durch dessen Innenraum hindurch Ultraschall in an sich bekannter Weise mit dem Winkel & von einem Wandler 2 zu einem Wandler 3 und zur Differenzbildung von Wandler 3 zum Wandler 2 ausgesendet wird. Der Wandler 2 mit einem plattenförmigen Körper K aus piezo-

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elektrischer Keramik ist in die Wandung des Rohres 1 derart eingebaut, daß die Rohrinnenwandung möglichst kleine Unterbrechung ihrer Form hat. Insbesondere kann die Innenseite 4 des Körpers K des Wandlers 2 der Rohrinnenwandung entsprechende Krüaanung. haben.

Der Wandler 2 hat auf der Innenseite 4 eine wie für piezokeramische Bauelemente übliche Elektrodenbeschichtung 5, die dem jeweiligen strömenden Medium entsprechend ausreichend resistent ist bzw. durch einen akustisch nicht störenden Überzug geschützt ist. Diese Elektrodenbeschichtung 5 ist vorzugsweise mit dem Rohr als eine Anschlußleitung elektrisch leitend verbunden.

Auf der Außenoberfläche 6 des Wandlers 2 ist eine an sich bekannte Interdigitalstruktur, bestehend aus zwei mit ihren Fingern ineinandergreifenden Kammstrukturen, wobei die Finger einer jeden Kammstruktur mit je einer Sammelschiene verbunden sind. Die in der Darstellung der Fig.1 geschnitten wiedergegebenen Finger 7 gehören zu der einen Kammstruktur und die Finger 8 gehören zu der anderen Kammstruktur.

Fig. 1a zeigt zur besseren Erläuterung das Schema einer solchen Interdigitalstruktur 9 mit den Fingern und 8 einer jeweiligen Kammstruktur. Mit 10 und 10· sind die jeweiligen Finger 7 oder 8 miteinander verbindende Sammelschienen bezeichnet.

Mit den Pfeilen 11 ist die permanente Polarisation des piezoelektrischen Keramikmaterials des Wandlers 2 bezeichnet. Diese Polarisationsrichtung kann auch den Pfeilen 11 entgegengerichtet sein, ohne daß sich etwas an der Funktionsweise dieser Ausführungsform nach Fig.1 ändert. Der Wandler 3 kann genau die gleiche

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Ausführungsform wie der Wandler 2 haben.

Die Abmessung d gibt die Periodizität dieser Interdigitalstruktur an. Es ist deutlich zu erkennen, daß zwisehen den jeweils beiden benachbarten Fingern der einen Kammstruktur[7, 1Q] jeweils ein Finger 8 der anderen Kammstruktur [8, 10 Ü liegt.

Wie der Übersichtlichkeit halber nur in der Fig.1a angegeben, wird zwischen dem Anschluß der Kammstruktur der Finger 7 und der Gegenelektrode 5 der Innenseite eine Wechselspannung IL und zwischen dem Anschluß 18 der anderen Kammstruktur der Finger 8 und der Gegenelektrode 5 eine zweite Wechselspannung Ü2 angelegt. Die beiden Wechselspannungen U^ und U2 haben die gleiche üTtraschall-Sendefrequenz f und -Empfangsfrequenz der Wandler 2 und 3, haben gleiche Amplitude, sind aber gegeneinander 180° phasenverschoben. Diese Bedingung und die oben angegebene Winkelbeziehung mit der Periodizität d liefert eine mit dem Winkel vZ vom. Körper K mit vorgegebener Dicke wie dargestellt abgestrahlte Ultraschall-Strahlung 12 mit zu dem dargestellten Pfeil normaler (bis auf die Randbereiche) ebener Wellenfront. Die gleiche scharfe Richtcharakteristik gilt auch für das Empfangsverhalten der Wandler 2 und 3.

Prinzipiell kann die Interdigitalstruktur 9 auch auf der Rohrinnenseite auf dem Körper des Wandlers 2 bzw. angebracht werden (und die Gegenelektrode 5 auf der Außenseite). Schon aus Gründen der Dauerhaftigkeit der Wandler 2 und 3 ist jedoch die wie dargestellte Wahl der Seiten für Interdigitalstruktur und Gegenelektrode vorzuziehen.

Lediglich der Vollständigkeit halber sei darauf hinge-

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wiesen, daß die in Fig.1 dargestellte Ausführungsform auch noch in der mit 12' angegebenen Richtung eine Ultrascha11-Welle aussendet, die sich jedoch in dem Rohrinnern totläuft und für die erfindungsgemäße Strömungsmessung keine nutzbringende Bedeutung hat.

Fig.2 zeigt in vergrößerter Darstellung nur noch den Wandler 22 in seiner speziellen Ausführungsform für einen erfindungsgemäßen Strömungsmesser, wie er anstelle eines Wandlers 2 und 3 in die Rohrwandung einzubauen ist.

Fig.2 zeigt die Ausführungsform mit alternierender Polarisation im Körper K des Wandlers 22; mit 111 und sind die jeweils entgegengesetzten Polarisationsrichtungen der Gesamtpolarisation des piezokeramisehen Körpers K des Wandlers 22 bezeichnet. Eine solche periodische Struktur mit dem Periodizitätsabstand d (zur Erfüllung der obigen Gleichung für die Abstrahlung im Winkelc*) wird durch vorherige Polarisation mit einer entsprechenden rasterförmigen Elektrode ausgeführt. Mit 5 und 5^f sind ganzflächige ElektrodenbeSchichtungen der Oberflächen 4 und 6 des Wandlerkörpers K bezeichnet, wobei bereits oben Einzelheiten zu einer solchen Elektrodenbeschichtung 5 angegeben worden sind. Zwischen diese beiden Elektroden, d.h. an die Anschlüsse 71 und 81 wird die eine einzige Anregungs-Wechselspannung Uvinit der vorgegebenen Frequenz f angelegt. Die Periodizität der Polarisation 111, 112 sorgt für die geforderte Ultraschall-Abstrahlung im Winkelc*. Entsprechenden Winkel o( hat die Empfangscharakteristik eines solchen Wandlers 22 nach Fig.2.

Fig.3 zeigt wieder in vergrößerter Darstellung die spezielle Ausführungsform eines für die Erfindung zu

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verwendenden Wandlers 32, der ebenso wie die Wandler 2 und 3 in die Rohrleitungswandung 1 einzubauen ist.

Mit 11 ist wiederum die Polarisation des Körpers K dieses Wandlers 32 bezeichnet. Dieser Wandler 32 hat auf seinen beiden Oberflächen seines Keramikkörpers je eine Interdigitalstruktur9 ,wie sie in Fig.1a dargestellt ist, d.h. also auch auf der Rohrinnenseite ist eine solche Interdigitalstruktur vorhanden. Mit 7 und 8 sind wieder die Finger der jeweiligen Kammstruktur mit der einen in der Schnittdarstellung sichtbaren Sammelschiene 10 bezeichnet. Mit d ist wieder die Periodizität gemäß obiger Gleichung angegeben. Wie auch in der Darstellung der Fig.3 berücksichtigt, sind die Finger 7 der Interdigitalstruktur der einen Oberfläche 4 des Wandlerkörpers mit den gleich bezeichneten Fingern 7 der Interdigitalstruktur der gegenüberliegenden Oberfläche 6 elektrisch verbunden. Es sind somit die unmittelbar gegenüberliegenden Finger 7, 8 mit dem jeweils entgegengesetzten Anschluß 71 bzw. 81 für die Anregungswechselspannung !^,miteinander verbunden. Aufgrund dieses um d/2 versetzten Anschlusses der gegenüberliegenden Finger bzw. Kammstrukturen 7 und 8 der Interdigitalstrukturen genügt hier der Anschluß einer einzigen Wechselspannung der vorgesehenen Anregungsfrequenz f, um die Abstrahlung 12 (und 12·) im Winkelt» zur Oberfläche 4, 4¹ zu erreichen.

Fig.4 zeigt eine Ausführungsform eines Wandlers für einen erfindungsgemäßen Strömungsmesser, bei der dieser Wandler 42 auf seiner einen Oberfläche eine wie schematisch dargestellte doppelte Interdigitalstruktur mit der Periodizität d hat. Für die Rückseite des Wandlers 42 genügt als Gegenelektrode eine ganzflächige Metallisierung (wie bei den Beispielen der

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Fig.1 und 3).

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Wie dargestellt, "besteht die doppelte InterdigitalstruMur 91 aus insgesamt Tier Kammstrukturen mit je einer Sammelschiene 10, 10^f, 10ⁿ, 10"». Die beiden Sammelschienen 10 und 10" befinden sich auf der einen Randseite der doppelten Interdigitalstruktur, Die Sammelschiene 10 hat die dargestellten Finger 7 und zur Sammelschiene 10" gehören die dargestellten Finger 7'. Die Finger 7 und 7' der beiden Kammstrukturen wechseln, wie aus der Fig.4 ersichtlich, miteinander ab. Interdigital dazu, d.h. in die Kammstrukturen mit den Fingern 7 und 7¹, greifen die Kammstrukturen mit den Fingern 8 und 8¹ ein, wobei wie dargestellt - die Finger 8 mit der Sammelschiene 10' und die Finger 8· mit der Sammelschiene 10^m verbunden sind. Die Anschlüsse der einzelnen Kammstrukturen bzw. der Sammelschienen 10 bis 10"' sind mit 43, 44, 45 und 46 bezeichnet. Zwischen dem Anschluß 43 und der (nicht dargestellten) ganzflächigen Gegenelektrode der Rückseite des Wandlers 42 ist eine erste Wechselspannung U^, mit der vorgesehenen Ultraschall-Frequenz f anzulegen. Zwischen dem Anschluß 44 und der erwähnten Gegenelektrode ist eine zweite Wechselspannung U₂,r anzulegen, die gegenüber der Spannung U^, +90° Phasenverschiebung hat. Zwischen dem Anschluß 45 und der Gegenelektrode ist eine Wechselspannung U^ mit gegenüber U^, +180° Phasenverschiebung und zwischen dem Anschluß 46 und der Gegenelektrode ist eine Wechselspannung U^g mit gegenüber U^-x +270° Phasenverschiebung anzuschließen. Diese vier Wechselspannungen U^, bis U^g haben gleiche Frequenz und gleiche Amplitude. Die permanente Polarisation des Körpers des Wandlers 42 ist in Dickenrichtung desselben im ganzen Körper gleich groß und gleichgerichtet, d.h. einheitlich.

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Der Wandler 42 nach Fig.4 hat zum Torteil gegenüber den Wandlern nach den Fig.1 bis 3 nur eine Abstrahlrichtung 12 mit dem Winkel oC gemäß der obigen Gleichung. Bei einer Ausführungsform eines Wandlers 42 nach Fig.4 entfällt die gestrichelt dargestellte, mit 12' bezeichnete weitere Abstrahlrichtung. Bei einer Ausführungsform nach Fig.4 ist nicht mit Störungen durch in einer Richtung 12· abgestrahlter Ultraschall-Leistung zu rechnen, nämlich mit solchen Rückreflexionen, die von Krümmern, Yerschraubungen u.s.w. der Rohrleitung herrühren könnten. Entsprechend hat dieser Wandler nach Fig.4 auch eine nur einseitige Empfangsempfindlichkeit in allein der Richtung 12. Dieser Wandler ist somit auch unempfindlich gegen Störungen durch mehrfach reflektierten Schall, der in. der Rohrleitung stets aus der Richtung 12¹ einfallen würde.

Der Wegfall der Ausstrahlungsrichtung 12' führt zu einer entsprechenden Verstärkung des Strahles 12 bei gleich großer aufgewendeter elektrischer Wechselspannungs-Leistung und außerdem zu entsprechend erhöhter Empfangsempfindlichkeit.

Fig.5 zeigt eine weitere Ausführungsform zur Erfindung, wobei der Wandler 52 in seinem piezokeramischen Körper K-" eine Periodizität der Polarisation und auf einer Seite, wieder vorzugsweise der Außenseite 6 des in das Rohr eingebauten Wandlers 52, außerdem auch eine Interdigitalstruktur 9 nach Fig.1a hat. Die zu dieser Interdigitalstruktur 9 gehörige alternierende Polarisation ist mit 211 und 212 angegeben. Wichtig ist, zu erkennen, daß benachbarte Finger 7 oder benachbarte Finger 8 der einen bzw. der anderen Kammstruktur im Körper K des Wandlers jeweils einander entgegengesetzte Polarisationsrichtung 211 und 212 haben, und daß erst für den jeweils

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:. zweiten Finger 7 oder Jeweils zweiten Finger 8 der einen bzw. der anderen Kammstruktur jeweils wieder gleiche Polarisationsrichtung 211 oder 212 vorliegt. Im vorliegenden Fall der Flg.5 hat die Interdigitalstruktur 9 angepaßt an die alternierende Struktur der angegebenen Polarisation die wie in der Fig.5 angegebene Periodizität d.

Für die praktische Ausführungsform des Wandlers 52 nach Fig.5 wie auch für den Wandler 42 nach Fig.4 bedeutet dies, daß dort für sonst gleiche Verhältnisse bezüglich des Winkels«^, der Dicke des Körpers des Wandlers, der Anregungsfrequenzfu.s.w. doppelt so enge Abstände zwischen den benachbarten Fingern 7 und 8 (bzw. 7, 7' und 8, 8¹ nach Fig.4) der ganzen Interdigitalstruktur bzw. zwischen den Fingern 7, 7' oder zwischen den Fingern 8, 8' der jeweiligen Kammstruktur vorliegen. Die herzustellende Interdigitalstruktur der Wandler 42 und 52 nach Fig. 4 und 5 erfordert also doppelt so hohe Auflösung der Finger 7, 7% 8 und 8¹.

Zum Anschluß der Interdigitalstruktur 9 des Wandlers sind die Finger 7 mit einem Anschluß und die Finger 8 mit einem zweiten gemeinsamen Anschluß 54 verbunden, und es sind zur Anregung des Wandlers 52 die beiden frequenz- und amplitudengleichen Wechselspannungen U₁₁ und U₁2» wie dargestellt, anzulegen, wobei jedoch U₁₁ und U₁₂ (im Gegensatz zu Fig.1, 1a) nur 90° Phasenverschiebung gegeneinander zu haben brauchen. Die 90° Phasenverschiebung hat den Torteil, daß eine solche Phasenverschiebung elektronisch in einfacher Weise mit einem Kondensator erzeugt werden kann.

Auch der Wandler 52 nach Fig.5 hat nur eine Abstrahlrichtung 12 mit dem Winkel öC gemäß der obigen Gleichung,

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so daß hier wieder das zu Fig.4 gesagte gilt.

Fig.6 zeigt eine Ausschnitts-Ansicht eines wie bereits oben erwähnten AnpassungsStückes 61, wie es für den Wandler 2 (wie dargestellt) auch für alle übrigen Wandler 3, 22, 32, 42 und 52 bei ebenem Wandlerkörper mit gleichem Vorteil zu verwenden ist. Das Bezugszeichen 1 weist auf das Rohr hin.

Aus der obigen Bedingung d«^/coso< ergibt sich <*.= arccos e~r mit c = Schallgeschwindigkeit und t = Frequenz der anregenden Spannung ti»

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Wandler ist, daß durch bloße Frequenzänderung der Anregungs-Wechselspannung(en) der Abstrahlwinkel, d.h. der Winkel (X der Richtung 12, elektrisch nachjustiert bzw. gesteuert werden kann. Dies ist nicht nur für ungenauen ursprünglichen Einbau, sondern auch für beispielsweise temperaturbedingte Änderung des Brechungsindex des strömenden Mediums wichtig. Es kann bei der Erfindung z.B. eine einfache automatische Nachstimmung auf die Optima von Aussenden und Empfangen vorgesehen werden. Im Optimum gilt die Beziehung c = d«f»coset mit konstruktiv vorgegebenem d und (X. D.h., daß der Wert der Schallgeschwindigkeit c/^f ist und aus dem Wert f ermittelt werden kann.

Der Wert c der Schallgeschwindigkeit wird in der endgültigen (für Ultraschall-Strömungsmesser bekannten) zahlenmäßigen Auswertung benötigt und ergibt sich hier in einfacher Weise.

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Claims

Patentansprüche:

Durchfluß-Strömungsmesser für Rohrleitungen mit zwei Ultraschall-Wandlern zum jeweiligen Aussenden und zum jeweiligen Empfangen bezüglich der Rohrleitungsachse schräg in einem Winkel<* durch das in der Rohrleitung strömende Medium gerichteter Ultraschall^Strahlung, wobei aus dem Unterschied zwischen der in der Strömungsrichtung empfangenen Ultraschall-Strahlung und der entgegen der Strömungsrichtung empfangenen Ultraschall-Strahlung ein Maß für die Durchflußmenge und/oder Durchflußgeschwindigkeit abgeleitet wird, gekennzeichnet dadurch, daß für einen die Innenwandung des Rohres (1) wenigstens weitgehend ungestört fortsetzenden Sende- bzw. Empfangswandlers (2, 3; 22; 32; 42; 52) je ein Wandler mit Interdigitalstruktur(9,91) der Elektroden, auf wenigstens einer Fläche (4,6) des Wandlerkörpers (K) und/oder der Polarisation (111,112;2I1j212) des Wandlerkörpers (K) vorgesehen ist, wobei die Dicke des Wandlerkörpers (KT) kleiner als eine halbe Wellenlänge der Ultraschall-Strahlung im Material des Wandlerkörpers ist, und wobei die Periodizität der Interdigitalstruktur die Bedingung

d = a/cos <*

erfüllt, in der d die Periodizität der Interdigitalstruktur (9V91) der Elektroden und/oder der Polarisation(HI,112; (211,2I2)uad A die Wellenlänge '.im strömenden Medium, im Rohrinnern ist, und dadurch, daß Anschlüsse (18, 19; 71, 81; 43, 44* 45, 46; 53, 54) für Anregungswechselspannung (-en) (U₁, U₂; .U_n,; U^ bis U^₆; U₁₁, U₁₂) mit vom Winkel Q^ und der Periodizität d gegebener Frequenz f vorgesenen, sind.

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2. Durchfluß-Strömungsmesser nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Interdigital—, struktur allein durch eine mit der Periodizität(d)in Richtung der Dicke des Wandlerkörpers (K) alternierende

.5 Polarisation (111, 112) gebildet ist (Fig.2).
3. Durchfluß-Strömungsmesser nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß sowohl eine Interdigitalstruktur der Polarisation mit in Richtung der Dicke des Wandlerkörpers (K) alternierender Polarisationsrichtung (211,. 212) als auch eine interdigitale Elektrodenstruktur (9) vorgesehen ist, wobei die beiden Strukti^W/^^^Mf¹ Periodizität (d) haben und die Finger (7) der einen Kammstruktur untereinander und die Finger (8) der anderen Kammstruktur untereinander jeweils gleich große Abstände der Abmessung d/2 haben (Fig.5).
4. Durchfluß-Strömungsmesser nach Anspruch 1, g e kennzeichnet dadurch, daß die Interdigitalstruktur allein durch eine oder mehrere interdigitale Elektrodenanordnungen (9, 91)gebildet ist (Fig.1,3*^).
5. Durchfluß-Strömungsmesser nach Anspruch 4, gekennzeichnet dadurch, daß auf beiden Seiten

(4, 6) des Wandlerkörpers (K) Je eine Interdigitalstruktur (9) vorgesehen ist, die jede für sich die Periodizität (d) haben und die beide um d/2 gegeneinander verschoben sind.
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6. Durchfluß-Strömungsmesser nach Anspruch 4, gekennzeichnet dadurch, daß auf der einen Seite des Wandlerkörpers (K) eine doppelte Interdigitalstruktur (91) mit je zwei Kammstrukturen (7, 7'; 8, 8^f) vorgesehen ist, an die gegenüber der ganzflächigen

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Gegenelektrode (5) der anderen Seite des Wandlerkörpers -(K) je eine von vier Wechselspannungen mit je 90° Phasenverschiebung anzulegen sind, und dadurch, daß die Periodizität (d) durch den Abstand jeweils zweier benachbarter Finger einer jeweils einzigen der insgesamt vier Kammstrukturen gegeben ist (Fig.4).
7* Eurchfluß-Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1, 2, 3, 4 und 6, gekennze. Lehnet dadurch, daß die ganzflächige Gegenelektrode auf der beim eingebauten Wandler dem Rohrinnern zugewandten Oberfläche (4) des Wandlerkörpers angeordnet ist.
8. Durchfluß-Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 7, g e k e η η ζ e ic h η e t dadurch, daß die beim eingebauten Wandler (2, 3, 22, 32, 42, 52) dem Innenraum des Rohres (1) zugewandte Oberfläche (4) des Wandlerkörpers eine derartige zylindrische Krümmung aufweist, daß diese innere Oberfläche (4) des Wandlerkörpers (K) die Rohrinnenwandung fortsetzt.
9. Durchfluß-Strömungsmesser nach einem der Ansprüche

1 bis 7, gekennzeichnet dadurch, daß auf der beim eingebauten Wandler (2, 3, 22, 32, 42, 52) zum Rohrinnenraum zugewandten Oberfläche (4) des Wandlerkörpers (K) ein Anpassungsstück (61) aufgesetzt ist, dessen dem Rohrinnenraum zugewandte Oberfläche zylindrisch gekrümmt ist und eine Fortsetzung der Rohrinnenwand bildet (Fig.6).
10. Terfahren zum Betrieb eines Wandlers in einem Durchfluß-Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 9» ge kenn ze lehnet dadurch, daß durch steuerbare Veränderung der Frequenz f der Anregungswechselspannung (-en) (U₁, U₂; U^; U₄₃ bis U₄₆; U₁₁, U₁₂) der Win-

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kel «L der Ultraschall-Abstrahlung (12) steuerbar verändert werden kann und/oder sich durch (temperaturbedingte) Änderungen des Brechungsindex des in der Rohrleitung (1) strömenden Mediums ergebende Änderungen des Winkels tf nachgeregelt werden.

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