DE29603273U1

DE29603273U1 - Koordinatenmeßgerät

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Publication number: DE29603273U1
Application number: DE29603273U
Authority: DE
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Carl Zeiss AG
Priority date: 1995-03-11
Filing date: 1996-02-23
Publication date: 1996-04-18
Anticipated expiration: 2006-02-24
Also published as: DE29504239U1

Description

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Beschreibung: 95010 G DE

Koordinatentneßqerät

Die Erfindung betrifft ein Koordinatenmeßgerät und zwar mit einem sogenannten messenden Tastkopf zur kontinuierlichen Abtastung der zu vermessenden Werkstückoberfläche.

In der Koordinatenmeßtechnik haben sich zwischenzeitlich zwei verschiedene Typen von Koordinatenmeßgeräten etabliert. Die erste Typklasse arbeitet mit sogenannten schaltenden Tastern, die ein impulsförmiges Signal zum Zeitpunkt der Berührung der Werkstückoberfläche abgeben. Mit solchen Koordinatenmeßgeräten sind nur Einzelpunktmessungen möglich. Diese Geräte sind hinsichtlich der Bedienung relativ unkritisch, da der Meßablauf wenig Variationsmöglichkeiten bietet. In der Regel fährt die Maschine bei einem programmierten Meßablauf zwischen einzelnen Stützpunkten im sogenannten Eilgang, d.h. mit höchstmöglicher Geschwindigkeit und von den Stützpunkten aus dann mit geringerer, der sogenannten Antastgeschwindigkeit auf das Werkstück zu. Da sich die Maschine beim Antasten mit gleichförmiger Geschwindigkeit bewegt, spielen Verformungen des Geräteaufbaus aufgrund der Dynamik der Maschine nur eine sehr untergeordnete Rolle.

Beim kontinuierlichen Abtasten der Werkstückoberfläche mit Hilfe eines messenden Tastkopfes, dem sogenannten "Scanning", bei dem im Maschinentakt eine Vielzahl von Meßpunkten generiert wird, sind die Verhältnisse jedoch anders. Dann treten nämlich während der Meßpunktaufnahme abhängig von der Krümmung der Abtastbahn beschleunigungsabhängige Reaktionskräfte auf, die den Maschinenaufbau verformen, so daß es zu Fehlmessungen kommt. Die Wahl der dem Meßproblem angepaßten Geschwindigkeit verlangt deshalb vom Benutzer Kenntnis über die Dynamik des Meßgeräts. Außerdem hat er eine Reihe weiterer Parameter auszuwählen, die einzustellen sind. Beispielsweise ist das Filter zu wählen, mit dem der Meßpunktzug hoch- oder niederfrequent gefiltert wird, um Störungen und "Ausreißer" zu

unterdrücken. Schließlich wird man im Hinblick auf kurze Meßzeit auch die Anzahl der Meßpunkte und damit die Schrittweite bei der Punktaufnahme wählen wollen. Das Arbeiten mit einem Koordinatenmeßgerät des genannten Typs verlangt vom Bediener deshalb eine Vielzahl von Kenntnissen über das Zusammenwirken der einzelnen Steuerungsparameter und Auswerteparameter, wenn er seine Meßaufgabe optimal lösen will. Sind diese Kenntnisse nicht vorhanden, so kann es zu Fehlmessungen kommen mit der Folge, daß Teile, die in der Toleranz liegen, als fehlerhaft deklariert werden und ungerechtfertigt als Ausschuß behandelt werden.

Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Koordinatenmeßgerät zu schaffen, das möglichst exakte Meßergebnisse liefert und dennoch leicht zu bedienen ist.

Diese Aufgabe wird mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Im Gegensatz zu den bisher bekannten Koordinatenmeßgeräten mit messendem Tastkopf, bei denen die unterschiedlichen Steuerungsund Auswerteparameter vom Benutzer direkt ausgewählt und eingegeben werden, ist bei dem neuen Koordinatenmeßgerät das Eingabemittel, beispielsweise die Rechnertastatur in Verbindung mit dem Bildschirm des Rechners, für das Auswählen unterschiedlicher Meßaufgaben hergerichtet und der Rechner enthält einen Speicher, in dem zu wählbaren Meßaufgaben passende Steuerungsparameter, insbesondere die für das Meßproblem jeweils passende Meßgeschwindigkeit, abgelegt sind. Das hat den Vorteil, daß der Benutzer wenig Hintergrundwissen über die Maschine benötigt, auch keine Handbücher und Tabellen walzen muß, sondern nach Eingabe seiner Meßaufgabe direkt den dafür passenden und vom Maschinenhersteller vorbereiteten und abgespeicherten Parametersatz angezeigt bekommt, den er dann verwenden kann und der sicherstellt, daß das Meßgerät bei Wahl dieser Kombination innerhalb der spezifizierten Genauigkeitsangaben arbeitet.

Die ausgewählten Meßaufgaben können beispielsweise auf fest definierte Funktionstasten am Rechner des Koordinatenmeßgerätes, auf spezielle Bedientasten bei einem mit dem KMG verbundenen Bedienpult oder auch auf symbolisierte Eingabefelder am Bildschirm des KMG gelegt sein, die dann über die Tastatur oder einen Mauscursor angeklickt werden. Weiterhin ist es zweckmäßig, nicht nur die Steuerungsparameter, sondern auch die wählbaren Auswerteparameter der Meßaufgabe zugeordnet im Speicher des Rechners des KMG abzulegen, sowie die passenden Auswerteprogramme für die jeweiligen Meßaufgaben.

Erhöht wird die Flexibilität des KMG dadurch, daß die über die "Meßaufgabentaste" wählbare Parameterkombination vor der Übergabe an die Steuerung des Koordinatenmeßgerätes angezeigt und von der Bedienperson noch abgeändert werden kann. Auf diese Weise lassen sich anwenderseitig optimale Parameterkombinationen für bestimmte, gerade für ihn wichtige Meßaufgaben zusammenstellen, die der Hersteller des KMG nicht bereits vorgesehen und in der Zusammenstellung eingespeichert hat.

Die Steuerungs- bzw. Auswerteparameter sind vorteilhaft tabellarisch in Form einer mehrdimensionalen Datentabelle der gewählten Meßaufgabe und der Art bzw. der Größe des zu vermessenden Geometrieelementes zugeordnet, d.h. beispielsweise daß bei der Vermessung von Geometrieelementen auf kreisförmigen Abtastbahnen die Meßgeschwindigkeit mit dem Durchmesser des Kreises und der geforderten Toleranz verkoppelt ist und durch Eingabe des betreffenden Nennmaßes ausgewählt werden kann.

Bei Ebenenmessungen kann die Meßgeschwindigkeit variabel sein, abhängig von der Krümmung des jeweiligen Bahnabschnitts, auf dem die Ebene abgetastet wird. Hier gibt die Bedienperson lediglich den Verrundungsfaktor ein, der die Krümmung der Streckenabschnitte beschreibt, mit dem die vom Benutzer gesetzten Stützpunkte auf der zu vermessenden ebenen Fläche abgefahren werden sollen. Die Bahn selbst wird dann vom entsprechenden Programmmodul im Hinblick auf möglichst kurze Meßzeit entlang der Stützpunkte generiert.

Einige messende Tastköpfe für Koordinatenmeßgeräte erlauben das Einstellen unterschiedlicher Meßkräfte und Regelbereiche der Tasterauslenkung. Diese Parameter werden zweckmäßig ebenfalls als Steuerungsparameter im Speicher des KMG abgelegt.

Die Meßaufgaben selbst, mit denen die Steuerungs- und Auswerteparameter gekoppelt sind, lassen sich in drei Hauptgruppen einteilen: Oft wird nur die Lage des jeweiligen Geometrieelementes am Werkstück bestimmt. Diese Aufgabe kann durch Aufnahme relativ weniger Meßpunkte bei hoher Meßgeschwindigkeit ohne all zu große Einbußen an die Genauigkeit der Messung durchgeführt werden. Wird hingegen das Maß des betreffenden Geometrieelementes gefordert, dann werden mehr Meßpunkte benötigt und darf die Abtastgeschwindigkeit auch nicht zu hoch sein, um beispielsweise bei Kreismessungen Durchmesserverfälschungen aufgrund der auf den Tastkopf wirkenden Fliehkräfte auszuschließen. Höchste Anforderungen verlangen Formmessungen. Hier werden besonders hohe Meßpunktzahlen benötigt, um die Form verläßlich abbilden zu können und die Abtastgeschwindigkeit muß so niedrig liegen, daß Formfehler nicht einfach "überfahren" werden.

Besonders zweckmäßig und für die Bedienperson hilfreich ist es, wenn die sich aus den eingestellten Steuerungs- und 'Auswerteparametern ergebende Meßunsicherheit auf dem Bildschirm des KMG angezeigt ist. Alternativ dazu oder ergänzend kann auch eine Einrichtung vorgesehen sein, die das Überschreiten der Meßunsicherheit, die der Bediener in Verbindung mit der von ihm gewählten Meßaufgabe spezifiziert, durch ein entsprechendes Signal beispielsweise am Bildschirm anzeigt. Dadurch wird verhindert, daß die Bedienperson die angezeigten Parameter unbeabsichtigt so verändert, daß die Meßunsicherheit der Maschine aufgrund der Änderungen dann die für das zu messende Werkstück spezifizierten Toleranzen übersteigt.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Figuren 1-3 der beigefügten Zeichnungen.

Figur 1 ist ein Blockschaltbild der wesentlichen Komponenten der Steuerung eines Koordinatenmeßgeräts mit messendem Tastkopf;

Figur 2 ist ein Blockschaltbild, das für die Koordinatenmessung wesentlichen Funktionsblöcke im Rechner (30) des KMG nach Figur la zeigt;

Figur 3 ist eine Skizze der auf dem Bildschirm (6) des Rechners des KMG dargestellten Bedienoberfläche für das Geometrieelement Kreis;

Figur 4 ist ein Flußdiagramm für das an die Bedienoberfläche nach Figur 3 gekoppelte Programmodul 21.

Der mechanische Aufbau eines Koordinatenmeßgerätes wird als bekannt vorausgesetzt und an dieser Stelle deshalb nicht in einer Figur dargestellt. Generell besteht ein solches KMG aus drei senkrecht zueinander angeordneten, aufeinander aufbauenden Meßschlitten, die motorisch angetrieben sind. Der dritte Meßschlitten trägt den Tastkopf des KMG. Dieser Tastkopf ist in Figur 1 mit (1) bezeichnet und ist ein sogenannter messender Tastkopf, der aus drei entsprechend den Meßachsen des KMG ausgerichteten, aneinanderhängenden Parallelogrammen aufgebaut ist. Ein solcher Tastkopf ist beispielsweise in der DE-PS 22 42 355 sowie der DE-OS 44 24 225 beschrieben. Der Tastkopf (1) in Figur 1 besitzt wie der in der letztgenannten Schrift beschriebene Tastkopf (1) den Parallelogrammen zugeordnete Tauchspulen für das Aufschalten der Meßkraft bzw. das Auslenken der Parallelogramme. Diese Tauchspulen, von denen eine, nämlich die Tauchspule (17) dargestellt ist, werden von dem Funktionsblock (45) in der Steuerung (40) mit Strom beaufschlagt. Gleichfalls besitzt der Tastkopf (1) drei Induktivmeßsysteme, mit denen die Auslenkung der jeweiligen

Parallelogramme und damit des in den drei Raumrichtungen (X, Y, Z) beweglichen Trägers,(10) für den Taststift (2) gemessen wird. Die Signale (X', Y¹, Z¹) der drei Induktivmeßsysteme werden in einem Funktionsblock (42) der Steuerung (40) gefiltert, verstärkt und in Digitalsignale gewandelt und in dem Takt, der dem gewählten Abstand ^i &eegr; der Meßpunkte entspricht, in einen Zwischenspeicher (52) eingelesen. In gleicher Weise sorgt der Funktionsblock (43) "Wegmessung" dafür, daß die sinusförmigen Ausgangssignale der inkrementalen Längenmeßsysteme des Koordinatenmeßgerätes in den drei Meßachsen (X, Y, Z) in an sich bekannter Weise interpoliert, gezählt und dann als digitale Koordinatenmeßwerte in den Zwischenspeicher (52) eingelesen werden und zwar ebenfalls in dem Takt, der dem Meßpunktabstand &Dgr;&eegr; entspricht.

Der Inhalt des Zwischenspeichers (52) wird entweder komplett nach Abschluß eines Meßvorganges oder bereits während des noch laufenden Meßvorganges in Blöcken über die Sendeschnittstelle (41) in der Steuerung (40) an den Rechner (30) des KMG übergeben .

Gesteuert werden die Antriebe des KMG und damit die Position des Tastkopfs (1) im Meßbereich des Geräts mit Hilfe der 3-Achsen-Bahnsteuerung (46). Die Bahnsteuerung erhält die Positionsdaten des abzufahrenden Geometrieelementes von einem Interpolator (48), der die vom KMG-Modul (39) (Figur 2) des Rechners (30) der Steuerung (40) über die Empfangsschnittstelle (4 9) übergebenen Geometriedaten nach deren Transformation in Steuerdaten im Funktionsblock (47) entsprechend der gewählten Soll-Geschwindigkeit (Vg_o]_]_) untersetzt.

Über die Empfangsschnittstelle (49) enthält auch das Steuermodul (45), das den Strom für die Tauchspulen bzw. die Meßkraftgeneratoren im Tastkopf generiert, die nötige Information über die entsprechend der Meßaufgabe einzustellende Meßkraft F_so]_]_. Mit (a und b) sind die Rückkopplungsleitungen bezeichnet, über die die Lageregelkreise der verfahrbaren

Meßschlitten des KMG bzw. der Tauchspulen (17) im Tastkopf (1) geschlossen werden.

Der Aufbau des Rechners {3 0) bzw. die Struktur der für die Bedienung des KMG und Auswertung der Meßwerte erforderlichen Programmodule ist in Figur 2 skizziert. Der Rechner (3 0) besitzt einen Speicher (24) für die Meßwerte, die das auf den Speicher (24) zugreifende Modul Meßwertaufbereitung (25) von der Sendeschnittstelle (41) in der Steuerung (40) nach Figur erhält. Das Modul (25) Meßwertaufbereitung enthält Programmroutinen zur digitalen Filterung der gespeicherten Meßwerte entsprechend der vom Bediener gewählten Meßaufgabe. Die aufbereiteten Meßwerte werden in einem Auswertemodul (23) entsprechend den für Form, Lage und Maßbestimmungen vorgesehenen, an sich bekannten Algorithmen ausgewertet und die Meßergebnisse auf einer Anzeigeeinheit (26) dargestellt. Hierbei kann es sich um den Bildschirm (6) des Rechners, um einen angeschlossenen Drucker oder Plotter handeln.

Kernstück für die Bedienung des Koordinatenmeßgerätes ist ein Expertenmodul (21), d.h. ein Programmodul, das den von der Bedienperson über die Bedienoberfläche (7) eingegebenen Meßaufgaben die in einem zweiten Speicher (22) abgelegten optimalen Steuerungs- und Auswerteparameter zuordnet. Die ausgewählten Parameterkombinationen werden dann über das KMG-Modul an die Empfangsschnittstelle (49) der Steuerung in Figur 1 weitergegeben, soweit es sich um Steuerungsparameter handelt, während die Auswerteparameter an das Auswertemodul (23) sowie das Modul (25) Meßwertaufbereitung weitergegeben werden.

Die Bedienoberfläche (7) ist in Figur 3 so dargestellt, wie sie sich der Bedienperson auf dem Bildschirm (6) des Rechners (3 0) darbietet. Jenachdem, welches Geometrieelement gemessen werden soll, werden von der Bedienoberfläche unterschiedliche Eingaben verlangt. Im dargestellten Beispiel soll das Geometrieelement Kreis vermessen werden. Hier werden entsprechend der gewählten Meßaufgabe vier standardmäßige Auswertungen angeboten, die durch Anklicken der mit Kl, K2, K3 und K4 bezeichneten Felder

mit zum Beispiel dem Mauscursor des Rechners (3 0) ausgewählt werden können. Natürlich können statt der Beschriftungen auch Symbole zur Kennzeichnung dieser vier Felder verwendet sein.

Das Feld Kl hat die Bedeutung "messe Maß, Form und Lage genau", Diese Auswahl ist beispielsweise dann zu treffen,'wenn die Form eines kreisförmigen Werkstücks mit der höchstmöglichen Genauigkeit bestimmt werden soll, die aufgrund der Spezifikation des Koordinatenmeßgerätes erwartet werden kann. Nach dem Anklicken dieser Taste wird die Eingabe der Mittelpunktskoordinaten (X, Y) sowie der Schnitthöhe (Z) erwartet. Diese Werte können auch durch Antasten der entsprechenden Stellen am Werkstück eingesetzt werden. Weiter wird von der Bedienperson die Eingabe des Durchmessers gefordert, wenn das Nennmaß bekannt ist, damit die so definierte bekannte Kreiskontur möglichst schnell abgefahren werden kann. Im Feld Formtoleranz kann die Bedienperson noch spezifizieren, mit welcher Genauigkeit das Meßergebnis benötigt wird.

Durch Anklicken des Feldes (20) wird die aufgrund der eingegebenen Angaben vom Expertenmodul (21) aus den dort tabellarisch abgelegten gespeicherten Parametern zusammengestellte Parameterkombination in einem Fenster (12) dargestellt. Die Parameterkombination für das Abscannen von kreisförmigen Konturen mit einem Durchmesser bis zu 50 mm und einer Formtoleranz von 0,015 mm sieht dann beispielsweise folgendermaßen aus: Abtastgeschwindigkeit: 5 mm/sec, Schrittweite: 0,05 mm, Punktezahl: 3000, Filtertyp: Tiefpaß, 50 W/U, Meßkraft: 0,2 Newton, Regelbereich: linear, Form, Maß- und Lagebestimmung: ja, Formplott: ja. Ein wesentlicher Parameter ist wie bereits erwähnt die Abtastgeschwindigkeit. Da diese auch die Meßzeit beeinflußt, wird sie vom Programmodul entsprechend der gespeicherten Tabelle bei größeren Kreisdurchmessern bis 100 mm z.B. auf 10 mm/sec. gesetzt und für Kreisdurchmesser bis 200 mm beispielsweise auf 20 mm/sec, wenn die gewünschte Formtoleranz von 0,015 mm eingehalten werden soll.

Die im Fenster (12) angezeigten Daten können von der Bedienperson noch geändert werden, indem in die angezeigten Felder andere Werte eingegeben werden. Beispielsweise kann bei der Formauswertung für das Filtern der Meßwerte ein anderer Filtertyp eingestellt werden oder eine andere Meßpunktezahl.

Für die geänderten Parameterkombinationen wird im Feld (13) die resultierende Meßunsicherheit angezeigt. Übersteigt diese die vorgewählte Formtoleranz, so wird diese Überschreitung durch eine akustische Warnung oder durch Blinken des entsprechenden Feldes (13) kenntlich gemacht.

Die geänderten Einstellparameter können dann vom Benutzer über die Taste (15) gespeichert werden und einem der mit (Ul, U2, U3 und U4) bezeichneten benutzerspezifischen Feldern zugeordnet werden.

Auf das zweite vordefinierte Feld K2 ist die Auswahl der Meßaufgabe "messe Maß, Form und Lage schnell, aber mit reduzierter Formtoleranz" gelegt. Hier beträgt beispielsweise die Formtoleranz 0,025 mm und für Kreisdurchmesser von bis zu 5 0 mm wird die im Vergleich zu Kl vierfache Abtastgeschwindigkeit von 2 0 mm/sec. angeboten. Diese vierfache Geschwindigkeit gilt auch für die übrigen Kreisdurchmesser im Vergleich zu denen bei der Meßaufgabe Kl.

Dem Feld mit der Bezeichnung K3 ist die Meßaufgabe zugeordnet "messe den Kreis auf Maß und Lage, d.h. auf Durchmesser und Mittelpunktskoordinaten". Da bei dieser Meßaufgabe die Form keine Rolle mehr spielt, wird die Meßpunktzahl reduziert, die damit verkoppelte Schrittweite erhöht und auch die Meßgeschwindigkeit nochmals um 50% im Vergleich zur Meßaufgabe K2 angehoben. Die entsprechenden Parameter werden dann im Fenster (12) angezeigt.

Dem Feld mit der Bezeichnung K4 ist die Meßaufgabe zugeordnet "messe lediglich die Lage des Kreises". Hier wird der Bedienperson über das Fenster (12) im wesentlichen die gleiche

Punktezahl wie bei der Meßaufgabe K3 angeboten, jedoch die Meßgeschwindigkeit nochmals deutlich erhöht. Außerdem wird wie schon bei der Meßaufgabe K3 der Regelbereich der Tasterauslenkung, der in Figur 1 auch als A A bezeichnet ist, auf den maximal zulässigen Wert heraufgesetzt.

Die den einzelnen Meßaufgaben zugeordneten optimalen Parameter sind einmal vom Hersteller des Koordinatenmeßgerätes für Geometrieelemente verschiedener Art und Größe bestimmt worden und so ausgewählt worden, daß die spezifizierte Meßunsicherheit des Koordinatenmeßgerätes nicht überschritten wird, ansonsten aber möglichst kurze Meßzeiten resultieren. Es ist klar, daß diese Parameterkombinationen je nach Typ und Modell des jeweiligen KMG unterschiedliche Werte annehmen können.

Der Ablauf einer Vielpunktmessung durch kontinuierliches Abtasten einer kreisförmigen Kontur mit einem KMG des vorstehend beschriebenen Typs mit messendem Tastkopf ist in dem Flußdiagramm nach Figur 4 nochmals dargestellt. Dieses Flußdiagramm ist weitestgehend selbsterklärend, so daß auf eine nochmalige Beschreibung an dieser Stelle verzichtet werden kann.

Claims

Schutzansprüche:

1. Koordinatenmeßgerät mit

einem messenden Tastkopf (1) zur Abtastung der zu vermessenden Werkstückoberfläche, motorischen Antrieben (44) für die beweglichen Meßschlitten des KMG, mittels derer der Tastkopf (1) geführt ist,

einer Steuerelektronik (40), die mit den Antrieben ve rbunden ist,

einem Rechner (30) mit Bildschirm (6) sowie Eingabe-(5) und Ausgabemitteln (26) zur Bedienung des KMG und für die Auswertung der MeSergebnisse, wobei die Steuerung (40) des Einstellen unterschiedlicher Steuerungsparameter, insbesondere das Einstellen unterschiedlicher Meßgeschwindigkeiten (Vg_o]_]_) der Antriebe erlaubt,

die Eingabemittel (5) für das Auswählen unterschiedlicher Meßaufgaben hergerichtet sind, der Rechner (30) einen Speicher (22) enthält, in dem zu wählbaren Meßaufgaben passende Steuerungsparameter abgelegt sind.

2. KMG nach Anspruch 1, wobei den wählbaren Meßaufgaben bzw. den zugehörigen Steuerungsparametern fest definierte Eingabetasten bzw. Eingabefelder (Kl - K4, Ul - U4) zugeordnet sind.

3. KMG nach Anspruch 1, wobei die vom KMG gelieferten Meßwerte im Rechner (3 0) nach unterschiedlichen Kriterien auswertbar sind und im Rechner (3 0) die zu den wählbaren Meßaufgaben passenden Auswerteprogramme und Auswerteparameter ebenfalls gespeichert sind.

4. KMG nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm (6) des Rechners (3 0) zur Anzeige der passenden Steuerungsparameter eingerichtet ist und derart mit der Eingabeeinheit (5)

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gekoppelt ist, daß die angezeigten Parameter änderbar sind.

5. * KMG nach einem der Ansprüche 1-4, wobei die Steuerungs-

bzw. Auswerteparameter tabellarisch in Form einer mehrdimensionalen Datentabelle der gewählten Meßaufgabe und der Art bzw. der Größe des zu vermessenden Geometrieelementes zugeordnet sind.

6. KMG nach Anspruch 5, wobei für Kreismessungen die Meßgeschwindigkeit abhängig vom Nennmaß des Kreises und von der Genauigkeitsklasse abgespeichert ist, die der gewählten Meßaufgabe entspricht.

7. KMG nach einem der Ansprüche 1-4, wobei für Ebenenmessungen die Meßgeschwindigkeit variabel, abhängig von der Krümmung des jeweiligen Bahnabschnittes und von der Genauigkeitsklasse abgespeichert ist, die der gewählten Meßaufgabe entspricht.

8. KMG nach Anspruch 7, wobei für die Messung an Ebenen eine Einrichtung vorgesehen ist, die aus eingegebenen, auf der zu messenden Ebene liegenden Stützpunkten einen Linienzug generiert, entlang dessen der Tastkopf (1) von der Steuerung (40) bzw. den Antrieben (44) verfahren wird.

9. KMG nach Anspruch 10, wobei der Linienzug aus Geraden und Kreisabschnitten besteht und die Krümmung der Kreisabschnitte ebenfalls als Parameter in dem Speicher (22) abgelegt ist.

10. KMG nach einem der Ansprüche 1-9, wobei die Steuerung (40) das Einstellen unterschiedlicher Meßkräfte Fg_o]_]_ und Tasterauslenkbereiche (Regelbereiche &Dgr; A) erlaubt und die Meßkräfte und Regelbereiche ebenfalls als Steuerungsparameter in dem Speicher (22) abgelegt sind.

11. KMG nach einem der Ansprüche 1-10, wobei die Steuerung (40) das Einstellen unterschiedlich großer Meßpunktzahlen bzw. Meßpunktabstände (Schrittweite A n) erlaubt und diese Größen ebenfalls als Steuerungsparameter in dem Speicher (22) abgelegt sind.

12. KMG nach einem der Ansprüche 3-11, wobei die Auswerteprogramme ein Filtern der Meßwerte vorsehen, und die wählbare Charakteristik bzw. der Typ des Filters als Auswerteparameter im Speicher (22) abgelegt ist.

13. KMG nach einem der Ansprüche 3 - 12, wobei die zu den Meßaufgaben passenden Auswerteprogramme (23) eine Auswertung der Meßwerte hinsichtlich der Form, der Lage und des Maßes des gemessenen Geometrieelementes vorsehen.

14. KMG nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm (6) zur Anzeige der sich aus den eingestellten Parametern ergebenden Meßunsicherheit des KMG eingerichtet ist.

15. KMG nach Anspruch 4 und 14, wobei das KMG eine Einrichtung zur Erzeugung eines Signals besitzt, das die Überschreitung der Meßunsicherheit anzeigt, die aufgrund der gewählten Meßaufgabe erforderlich ist.

16. KMG nach Anspruch 4, wobei die geänderten Parameter speicherbar sind und die gespeicherten Parameterkombinationen über die Eingabeeinheit (5) bzw. den Bildschirm (6) auswählbaren, benutzerdefinierten Tasten bzw. Eingabefeldern (Ul - U4) zugeordnet sind.