DE2555428A1

DE2555428A1 - Verfahren zur bestimmung des flaechenwiderstands von metallfilmen

Info

Publication number: DE2555428A1
Application number: DE19752555428
Authority: DE
Inventors: Dan William Peters
Original assignee: Sierracin Corp
Current assignee: Sierracin Corp
Priority date: 1975-12-09
Filing date: 1975-12-10
Publication date: 1977-06-16
Also published as: FR2334962A1; FR2334962B1

Description

Verfahren zur Bestimmung des Flädhenwiderstands von
Metall filmen Die Erfindung beschäftigt sich mit einem Verfahren, mit dem die Verteilung des Flächenwiderstands im Vakuum aufgedampfter Metallen überwacht werden kann.
Dünne, im Vakuum abgeschiedene Metallfilme haben große Verwendung als durchsichtigte Widerstands-Heizer zum Enteisen und Entfeuchten durchsichtiger Deckel oder Platten, wie beispielsweise Windschutzscheiben, gefunden. Oblicherweise bestehen solche Scheiben aus einem dünnen durchsichtigen Kunststoffträger, auf welchem ein dünner leitfähiger Metallfilm abgeschieden ist, der an kräftige Leiter angeschlossen werden kann, welche an den seitlichen Rändern des Films angeordnet sind. Schließlich wird der metallisierte Träger zwischen zwei feste durchscheinende Scheiben aus Glas eingebracht und laminiert, so daß sich ein beheizbares Sicherheitsglas ergibt.
Damit die zugeführte elektrische Energie auf optimale Weise speziell zum Enteisen des transparenten Laminats eingesetzt werden kann, und damit weiterhin die erforderlichen optischen Eigenschaften der Windschutzscheibe oder dergleichen erhalten bleibt, muß die Widerstandsverteilung des abgeschiedenen Metallfilm enge Toleranzen einhalten. Bislang wurde der örtliche Widerstand dadurch ermittelt, daß der gesamte zwischen den Leitern vorhandene Widerstand des fertigen Produktes bestimmt und dann der ermittelte Wert zu einer Quadratfläche in Beziehung gesetzt wurde. Diese Methode erfordert die Herstellung eines guten Kontaktes des bereits mit den Anschluß leitern ausgerüsteten Fertigprodukts. Es erweist sich jedoch als wünschenswert, den Widerstand des metallisierten Trägers vor dem Aufbringen der Anschlußleiter oder dergleichen elektrischer Ausrüstungsgegenstände zu bestimmen. Dazu ist in der US-Patentschrift 3 086 889 empfohlen, den elektrischen Widerstandswert einer zusammenhängenden, aufgedampften Metallschicht mit Hilfe einer Brückenschaltung gegen einen zwischen elektrischen Kontakten gemessenen Widerstand abzugleichen, die die beschichtete Seite einer dielektrischen Platte ergreift. Wenn der Metallfilm, dessen Widerstand gemessen werden soll, jedoch so dünn ist, wie das zur Erzielung einer Durchsichtigkeit erforderlich ist, dann verhindert die leichte Verletzlichkeit der dünnen Metallschicht die Anwendung von Meßmethoden, die mit Kontaktmessung arbeiten. Wenn nämlich der metallisierte Film danach an Spannung gelegt wird. dann geben Kratzer oder andere Verletzungen der empfindlichen Schicht Anlaß zum Entstehen örtlicher Bereiche hoher Stromdichte, die Ursache zu Fehlverhalten im Betrieb geben. Es besteht daher das Bedürfnis nach einer Einrichtung, die ein nicht zerstörendes Feststellen und Messen des örtlichen Widerstands dünner vakuum-aufgedampfter Metallfilme gestattet.
Dazu wird in der US-Patentschrift 3 397 672, Spalte 3, Zeilen 2-5 empfohlen, die Dicke oder Stärke aus Dampf abgeschiedenen Aluminiums durch Feststellen der von der Schicht abgegebenen Strahlung zu messen, wenn die Schicht Röntgenstrahlung ausgesetzt wird. Eine Röntgenstrahl-Anlage ist jedoch sehr kostenintensiv und zu den wirtschaftlichen Nachteilen gesellt sich ferner die Gefahr, daß sich das Bedienungspersonal der Anlage in unnötiger und doch unvermeidbarer Weise Röntgen-Streustrahlung aussetzt.
Überlegungen der Wirtschaftlichkeit und der Sicherheit reichen jedoch nicht aus, eine Strahlungsform zu finden, die zur Feststellung und Überwachung des Widerstandes von vakuum-aufgedampften Metallschichten geeignet wäre.
Man braucht nämlich ein Wellen-Längenintervall, das eine relativ steile und lineare Durchlässigkeit oder Reflexion gegenüber dem Widerstand zeigt. Außerdem muß in Fällen, bei denen die Durchlässigkeit gemessen werden soll, ein Spektralbereich gewählt werden, in welchem die Durchlässigkeit des freien Trägers hoch ist, mit anderen Worten, man braucht ein spektrales Fenster.
Dazu wird erfindungsgemäß ein Verfahren zur Feststellung der Flächenwiderstandsverteilung von aus dem Vakuum aufgedampftem Silber, Gold oder Kupfer auf durchsichtigen Kunststoffträger, d.h. also auf durchsichtigem metallisiertem Kunststoffilm, vorgeschlagen. Das Verfahren sieht vor, daß der metallisierte Film elektromagnetischer Strahlung ausgesetzt wird, die aus dem Wellenlängenbereich von etwa 1,5 bis 3,0 Mikron stammt, wobei dann eine Bandbreite durch den metallisierten Film durchgetretener Strahlung aus dem Wellenlängenbereich von 1,5 bis 3,0 Mikron bestimmt wird.
Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Auführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren im einzelnen beschrieben, wobei auch die Vorteile der Erfindung deutlich zutage treten werden. Im einzelnen zeigen: Fig. 1 eine schematische l)arstellung einer Vakuum-Aufdampfvorrichtung, in der die Erfindung realisiert werden kann; Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Anzeigesystems, mit dem die Erfindung praktisch ausführt werden kann; und Fig. 3 eine graphische Darstellung der prozentualen Durchlässigkeit von Strahlung verschiedener Bandbreiten gegen den Widerstand von auf einen Träger im Vakuum aufgedampften Metall.
Fig. 1 zeigt eine Elektronenstrahlkanone 10, die unterhalb eines bewegten Trägers 11 angeordnet ist. Der Elektronenstrahl aus der Kanone wird auf ein zu verdampfendes Metall 12 gerichtet, welches sich in einem in der Elektronenstrahlkanone 10 ausgebildeten Tiegel 13 befindet. Das zu verdampfende Metall 12 wird in Drahtform auf einer Spule bereitgehalten. Der Draht wird dem Tiegel 13 durch einen Zuführmechanismus 16 zugeleitet.
Der Träger 11 wird von einer Vorratstrommel 17 an der Elektronenstrahlkanone 10 vorbei auf eine Aufspultrommel 18 über einen Reibradantrieb 19 geführt, welcher auf einer Antriebsrolle 20 wirkt. Die Reibradwalz 19 ist über eine Kette und ein Getriebe an einen nicht dargestellten, reversiblen Universalmotor angeschlossen.
Der Widerstand der auf den Träger 11 aufgebrachten Metallschicht wird durch Messen der durch den metallisierten Film 21 hindurchgelassenen elektromagnetischen Strahlung aus dem Wellenbereich von 1,5 bis 3,0 Mikron bestimmt.
Zur Erläuterung ist eine wechselspannungsbetriebene Strahlungsquelle 22 und ein Strahlungsempfänger 23 dargestellt, die beiderseits des Metallschichtfilm 21 unterhalb der Aufdampfstelle angeordnet und yestatten die Durchlässigkeit bestimmter Banden der Strahlung zu ermitteln. Die trahlungsquelle und der Strahlungsempfänger können mit Masken und Blenden versehen sein, um sie gegen die Einflüsse der Streustrahlung zu schützen.
Die Vakuum-Aufdampfvorrichtung ist in einer Vakuumkammer 24 angeordnet, wobei eine Wand 25 eine Öffnung 26 aufweist, die zum Zwecke des Druckausgleichs vorgesehen ist und eine VErdampfungskammer gegen den Rest der Vakuumkammer abgrenzt.
Die Wand 25 besitzt einen Schlitz-26a, der das Einsetzen von Masken oder Blenden gestatten kann, mit welchen die Größe der Schlitzöffnung in Länge und Breite verändert werden kann. Eine geeignete Öffnung der Blende wird durch den Abstand zwischen dem Träger und dem Aufdampfmetall 12 bestimmt. Die Schlitzöffnung in Längsrichtung, d.h. in Richtung des Trägervorschubs wird durch den Öffnungswinkel des Metalldampfstrahls bestimmt, der sich aus den Tangenten an die Antriebsrolle 20 bestimmt, welche aus einer Stelle in der Mitte des Tiegels 13 gezogen werden können. Die Breite des Schlitzes kann in ähnlicher Weise ermittelt werden, indem die Kanten des Kunststoffträgers als Begrenzungen genommen werden. Gasentladungselektroden 27 und 27' können auf Wunsch zur Oberflächenbehandlung des Trägers 11 in üblicher Weise vorgesehen sein. Vorzugsweise wird der gesamte Träger 11 vor dem Beginn des Aufdampfens elektrostatisch behandelt.
Die Aufdampfgeschwindigkeit wird, wie bekannt, durch die Geschwindigkeit der Metallverdampfung, die Vorschubgeschwindigkeit des Trägers, die Art der elektrostatischen Vorbehandlung, durch den Abstand von der Metalldampfquelle zum Träger sowie durch den Systemdruck bei Verdampfung beeinflußt. In der dargestellten Ausführungsform findet die elektrostatische Behandlung bei einem Argon-Druck von 50 Mikron bei einer Wechselspannung von 1,4 kV und einer Vorschubgeschwindigkeit von 6 Zoll pro Minute statt.
Für das Aufdampfen wurde die Trägergeschwindigkeit auf etwa 2 Fuß pro Minute (etwa 61 cm pro Minute) eingestellt und die Verdampfungsleistung betrug 0,2 kW . Der Abstand zwischen Dampfquelle und Träger betrug 8 Zoll und die Verdampfung selbst fand bei einem Druck von 2 bis 5 mal -5 10 5 Torr. statt.
In der bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Messung wird eine mit Wechselspannung betriebene Strahlungsquelle etwa in Form einer Glühlampe benutzt, deren Gleißtemperatur größer als etwa 8000 C beträgt, wobei ein Modulator oder ein optischer Zerhacker Verwendung findet und eine Optik benutzt wird, mit der die zerhackte Strahlung durch den Prüfling auf einen geeigneten Fotodetektor gerichtet wird, dessen Ausgang über einen Gleichrichter und Verstärker einer Anzeigeeinrichtung zugeführt wird.
Figur 2 zeigt schematisch ein geeignetes Anzeigesystem, bei dem ein Signalgenerator 28 ein durch das Element 29 verstärktes Signal der Strahlungsquelle 30 zuführt. Die Strahlung wird durch den in der Figur nicht dargestellten Träger geschickt und die durch den Träger hindurchgehenden Strahlung wird von einem mit geeigneter Vorspannung betriebenen Fotodetektor 31 wahrgenommen. Es empfiehlt sich die Verwendung eines Bleisulfid-Detektors für die im Rahmen der Erfindung benutzten Banden. Die durch den Metallfilm hindurchgelassene Strahlung wird durch ein optisches Interferenz-Filter oder Bandfilter geführt, ehe sie auf das Bleisulfid auftrifft. Das von dem Detektor 31 erzeugte Signal wird durch das Element 35, welches einen Filter sowie einen zweipoligen, schmalbandigen Vorverstärker enthält, einen Zweiweggleichrichter-Verstärker 32 zugeführt. Bei 32 wird das empfangene Signal mit einem Referenzsignal verglichen, das über Leitung 34 herangeführt wird, und die sich ergebende Information wird auf dem Rekorder 33 aufgezeichnet oder angezeigt.
Das im Rahmen der Erfindung verwendete Trägermaterial besteht vorzugsweise aus durchsichtigtem Kunststoffilm von einer Stärke zwischen etwa 0,00025 bis etwa 0,012 Zoll (etwa o,ooo635 cm bis etwa 0,0381 cm). Bevorzugt werden Träger aus Zellulose-Triacetat, Zellulose-Acetat, fluorisierte Äthylen-Propylen-Copolymere sowie Polyäthylen Terephathalat-Polyesterfilme. Außerdem können als Träger noch folgende Stoffe in Frage kommen: Zellulose-Acetat-Butyrat, Zellulose Propionat, Athyl-Zellulose, Polymethacrylat, Polytrifluorchloräthylen-Copolymer, Polyvinylfluorid, Polycarbonat, Vinyliden-Chlorid-Vinylchlorid- Copolymer, Polyvinylchlorid, Vinylchlorid-Acetat-Copolymer sowie regenerierte Zellulosefilme. Natürlich können auch andere als durchsichtige Kunststoffträger-Filme Verwendung finden, wie beispielsweise feste, transparente Glasscheiben, gestrecktes Polymethylmethacrylat, Polycarbonat, etc. Vorzugsweise beträgt die Stärke dieser festen Scheiben zwischen etwa 0,02 bis o,25 Zoll (0,058 bis 0,6 cm). Die auf dem Träger aufgedampften Metalle können Silber, Gold oder Kupfer sein und in einer Stärke von etwa 100 bis 500 Angstroem aufgedampft sein. Der sich ergebende Widerstand der Metallschicht liegt allgemein im Bereich von etwa 10 bis etwa 25 Ohm pro Quadratzoll.
Sowohl der Trägerfilm wie auch die Metallschicht, die auf ihn aufgebracht ist, sind durchsichtig in dem Sinne, daß sichtbares Licht ohne wesentliche Streuung durchgelassen wird, so daß Gegenstände klar sichtbar bleiben. Vorzugsweise zeigt der metallisierte Träger eine Lichtdurchlässigkeit von mehr als 20%, vorzugsweise mehr als etwa 70%.
Wie erwähnt, ergeben die Wellenlängen im Bereich von 1,5 bis 3 Mikron einen sehr guten Zusammenhang mit dem Widerstand von im Vakuum abgeschiedenen Gold, Silber und Kupfer.
Bei Wellenlängen von weniger als 1,5 Mikron wird die erforderliche Neigung und relative Linearität der Durch-Iässigkeitsiderstands-Funktion nur selten erhalten.
Die Ansprech-Empfindlichkeit des Detektors fällt zwischen 3 und 4 Mikron rapide ab und die Metallfilme zeigen bei größeren Wellenlängen gleichmäßige Reflexion unabhängig vom Widerstand. Die besten Ergebnisse wurden beim Arbeiten mit Wellenlängen zwischen 1,5 und 2,0 Mikron erhalten, vorzugsweise bei 1,8 Mikron. Figur 3 zeigt die Beziehung zwischen prozentualer Durchlässigkeit der verschiedenen gemessenen Banden und dem Widerstand von Gold, das im Vakuum auf einen fluorierten Äthylen-Propylenfilm aufgedampft wurde. Kurve 36 gibt die prozentuale Durchlässigkeit weißen Lichtes wieder, das von einem Cadmium-Sulfid-Detektor gemessen wurde. Die Kurven 37,38,39 zeigen die Durchlässigkeit als Funktion des Widerstandes f;ur Banden bei 1,0, 1,5 und 2,0 Mikron. Die letzten drei Kurven wurden aus Spektralphotometer-Ablesungen gewonnen. Die Kurven 36, 37,38,39 wurden erhalten, indem die Infrarot-Durchlässigkeit durch das mit der Metallschicht versehene Träger material bei verschiedenen Dichten gemessen und quadratische Teile des beschichteten Trägers ausgeschnitten wurden, welche das mit Infrarot gemessene Gebiet enthalten, dann Anschluß leisten angesetzt wurden und der Widerstand direkt mit einem Gleichspannungs-Ohmmeter gemessen wurde. Der bei Ausführung der Erfindung erzielbare Vorteil in Form der Linearität und der Neigung der Durchlässigkeit-Widerstandskurve ist aus Figur 3 zu erkennen. Der kritische Einfluß des erfindungsgemäß verwendeten Wellenlängenintervalls wird deutlich, wenn man die Kurve 37 genauer betrachtet, welche über einen großen Teil ihrer Länge keine größere Neigung als die für weißes Licht zeigt, obgleich die für Kurve 37 festgestellte Wellenlänge nur um 0,5 Mikron kleiner als diejenige für Kurve 38 ist. Bei auf einem Zellulose-Triacetat aufgedampftem Gold wurden die Durchlässigkeits-Widerstandskurven erhalten, die zwischen 8 und 20 Ohm pro Quadratzoll linear sind und eine Neigung in diesem Bereich von 0,83 prozentualer Durchlässigkeit pro Ohm pro Quadratzoll besitzen, d.h. 12% bis 20% Durchlässigkeit entsprechend von 8 bis 20 Ohm pro Quadratzoll. Bei Polyäthylenterephthalat Polyesterfilm beträgt die Neigung der Durchlässigkeit-Widerstandskurve 1,72 prozentualer Durchlässigkeit pro Ohm pro Quadratzoll über einen Bereich von 9 bis 20 Ohm pro Quadratzoll entsprechend 23 bis 42 Prozent Durchlässigkeit bei einer Bande, deren Mittelwellenlänge bei 1,8 Mikron liegt.
Bei diesem Wellenlängenintervall ist die Durchlässigkeit des freien Trägers außerordentlich hoch, d.h. 92% Durchlässigkeit im Vakuum.
In der bevorzugten Ausführungsform ist die festgestellte Strahlung diejenige, die durch den metallisierten Träger hindurchgeht. Natürlich kann die Erfindung auch so ausgeführt werden, daß die reflektierte Strahlung gemessen wird, in welchem Fall der Reflexionswinkel so schmal sein sollte wie möglich, in Anbetracht des Umstandes, daß Strahlung aller Wellenlängen bei streifendem Einfall reflektiert wird. Man kann demzufolge geeignete optische Einrichtungen schaffen, die mit einem Reflexionswinkel von nahezu 0° arbeiten. Obgleich also die Erfindung auch im Rahmen der Messung reflektierter Strahlung benutzt werden kann, verdient dennoch die Feststellung durchgelassener Strahlung den Vorzug. Geringe Torsionsbewegung des Trägers während seines Vorschubs, die zu einer Ablenkung der reflektierten Strahlung führen kann, kann den Lichtstrahl aus seinem Weg in den Detektor heraus lenken und fälschlich Schwankungen der Reflexionseigenschaft des beschichteten Trägers vortäuschen. Aus diesem Grunde erfordern die mit reflektierter Strahlung arbeitenden Systeniz eine ausgeklügeltere Detektoroptik, etwa in der Form von Feldlinsen-Systemen, um eine gleichmäßige Ausleuchtung des Detektors auch bei Torsionsbewegungen des Trägers und dadurch bedingte Strahlablenkung sicherzustellen.
Die Erfindung wurde vorstehend anhand des Vakuum-Aufdampfens von dünnen Metallschichten beschrieben. Natürlich kann die Erfindung auch mit anderen Verfahren zur Abscheidung oder Erzeugung dünner Schichten realisiert werden. Ferner ist klar, daß auch ein Gleichspannungs-Detektorsystem anstelle des oben beschriebenen Wickelspannungssystems eingesetzt werden kann. Bei Gleichspannungsdetektorsystemen werden die aufwendigen Signalgeneratoren und -Verstärker durch preiswertere Batterien und Gleichspannungsvoltmeter ersetzt.
Jedoch ist das Gleichspannungs-Detektorsystem einem Temperaturgang unterworfen, so daß Kühlung oder andere geeignete Maßnahmen zur Ausschaltung dieses Effekts vorgesehen sein müssen.
Aus der vorstehenden Beschreibung ist deutlich, daß das erfindungsgemäße Verfahren für viele Anwendungen in Frage kommen kann. Beispielsweise kann die Erfindung als Qualitätskontrolle oder Inspektionsverfahren mit diskreten beschichteten Teilen ausgeführt werden. Alternativ kann'das erfindungsgemäße Verfahren auch zur Überwachung der klümpchenweisen Beschichtung einzelner Teile benutzt werden, gemäß der die Abscheidung solange erfolgen kann, bis ein vorbestimmter Widerstandswert erreicht wurde; danach kann die Abscheidungsvorrichtung entweder automatisch abgeschaltet werden oder es kann Vorsorge dafür getroffen werden, daß das beschichtete Teil durch ein nächstes zu beschichtendes Teil ersetzt wird. In ähnlicher Weise kann die Erfindung für kontinuierliches Vakuumbeschichten mit Metallen verwendet werden, wobei eine Metalischicht auf einen bewegten Träger aufgebracht wird, der beispielsweise die Form eines Films, eines Gewebes oder eines Bandes haben kann, das entweder kontinuierlich oder halbkontinuierlich an einer Aufdainpfstelle vorbeibewegt wird. In diesem Fall wird die durch den metallisierten Film durchgehende Strahlung an einer Stelle festgestellt, die unmittelbar hinter der Abscheidungsstelle oder Aufdampfstelle sich befindet, wobei der Wert der festgestellten Strahlung oder des abgefühlten Signals mit einem vorbestimmten Referenzwert verglichen werden kann und ein Fehlersignal gegebenenfalls erzeugt werden kann. Das Fehlersignal kann als Regelsignal zur Steuerung des Trägervorschubs, der Leistung der Elektronenkanone, der Beschickungs-Geschwindigkeit für den Tiegel der Elektronenkanone oder überhaupt zur Regelung der Verdampfungsgeschwindigkeit verwendet werden, um auf diese Weise eine endlose Schicht zu erhalten, deren lokale Widerstandswerte vorgegebene Grenzen einhalten.
Insgesamt wurde ein Verfahren zum Feststellen, Abfühlen und Überwachen einer Flächenwiderstandsverteilung eines dünnen, durchsichtigen, im Vakuum aufgedampften Metallfilms auf einem bewegten Kunststoffträger beschrieben.
Das Verfahren sieht vor, daß der metallisierte Träger mit elektromagnetischer Strahlung beaufschlagt und eine Bande der von dem metallisierten Träger durchgelassenen elektromagnetischen Strahlung im nahen Ultrarot-Gebiet, insbesondere im Wellenlängenbereich von 1,5 bis 3,0 Mikron, festgestellt wird. Die festgestellte Bande zeigt eine ausgezeichnete Korrelation zwischen der durchgelassenen Strahlung und der örtlichen Leitfähigkeit oder, reziprok genommen, dem örtlichen Widerstand einer im Vakuum aufgedampften Gold-, Silber- und/oder Kupferschicht. Das Aufbringen der Schicht im Vakuum kann entweder durch Verdampfen oder durch Zerstäuben geschehen. Die metallisierten Träger werden bei der Herstellung elektrisch beheizbarer durchsichtiger Scheiben, etwa für Kraftfahrzeug-Windschutzscheiben, verwendet.
L e e r s e i t e

Claims

Ansprüche 9 1 2 Verfahren zur Herstellung eines durchsichtigen, mit Silber, Gold und/oder Kupfer beschichteten Trägers, dessen Lichtdurchlässigkeit mehr als 20% beträgt, wobei das Metall im Vakuum auf den Träger aufgebracht wird und der Flächenwiderstand der Schicht auf dem Träger bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der beschichtete Träger (21) mit einen elektromagnetischen Strahlung aus einem Wellenlängenbereich von 1,5 bis 3,0 Mikron beaufschlagt wird, das eine durch den beschichteten Träger durchgelassene Strahlung aus dem Wellenlängenbereich von 1,5 bis 3,0 Mikron erfaßt und die Größe des erfaßten Signals mit dem Flächenwiderstand der Schicht auf dem Träger in Beziehung gebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung des Metalls auf dem Träger so lange fortschreitet, bis ein vorbestimmter Wert des Widerstandes erreicht ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall auf einen bewegten Träger (11) aufgebracht wird und daß der Träger unmittelbar hinter der Aufbringstelle des Metalls mit der elektromagnetischen Strahlung beaufschlagt wird.
4.Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe des festgestellten Signals mit einem vorbestimmten Wert zur Erzeugung eines Fehlersignals verglichen wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Fehlersignal als Regelsignal die auf dem Träger abgeschiedene Metallmenge derart steuert, daß der sich ergebende Widerstandswert zwischen etwa 10 bis etwa 25 Ohm pro Flächeneinheit liegt.
6.Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Fehlersignal als Regelsignal zur Steuerung der Abscheidegeschwindigkeit des Metalls auf dem Film verwendet wird, so daß sich eine endlose Schicht ergibt, deren lokale Widerstandswerte innerhalb bestimmter Grenzen liegen.
7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger eine Stärke von etwa 0,00025 bis 0,015 Zoll (0,0006 cm bis 0,04 cm) besitzt und daß die Schicht einen Widerstandswert von etwa 5 bis 50 Ohm pro Flächeneinheit besitzt.
8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger aus Zellulose-Acetat, oder Zellulose Triacetat oder fluorisiertem Athylen-Propylen Copolymer, oder Polyäthylen-Terephthalat-Polyesterfilm oder aus einer Mischung der genannten Stoffe besteht.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das im Vakuum abgeschiedene Metall Gold ist.
10. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger ein Polyäthylen-Terephthalat-Polyesterfilm ist.
11. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der metallisierte Kunststoffilm eine gesamte Durchlässigkeit für sichtbares Licht von mehr als 70% besitzt.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlungsquelle eine Glühlampe verwendet wird, deren Leuchttemperatur höher als 800" C ist.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erfaßte Strahlung eine Wellenlänge von etwa 1,8 Mikron besitzt.
14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die prozentuale Durchlässigkeit der auf den beschichteten Träger aufgegebenen Strahlung aus der Größe des erfaßten Signals und der mit dem Flächenwiderstand der Schicht zusammenhängenden prozentualen Durchlässigkeit bestimmt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht einen Widerstandswert von etwa 10 bis etwa 25 Ohm pro Flächeneinheit besitzt.