DE2526753B2 - Verfahren und Anordnung zur Deformationsmessung großer Objekte durch Laserstrahlreflexion - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur Deformationsmessung großer Objekte durch LaserstrahlreflexionInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Messung der Deformationen großer
Objekte,deren Oberfläche mit reflektierenden Meßflekken
versehen ist, mittels eines Laserstrahles, der von einem ersten Punkt aus über die Oberfläche zeilenweise
abgelenkt und nach seiner Reflexion an den Meßflecken an einem zweiten Punkt empfangen wird, bei dem die
beiden während des Auftreffens auf einen Meßflcck erreichten, zueinander senkrechten Ablenkwinkel des
Laserstrahls und die Laufzeit eines über diesen Meßfleck übertragenenen Lichtimpulses zwischen den
beiden Punkten gemessen und aus den Meßwerten die
Positionen der Meßflecken relativ zu einem Punkt errechnet werden.
Meßverfahren und -anordnungen dieser Art werden in der Meteorologie, aber auch zur Überprüfung
belasteter Brücken, Staumauern und Gebäude z. B. infolge des Windeinflusses, sowie der Einwirkung der
Sonnenstrahlung auf Antennenspiegel, Felsen oder Gletscher oder auch beim Arbeiten mit Erdsatelliten
angewendet.
Aus der deutschen Offenlegungsschrift Nr. 21 13 522 ist ein Verfahren zum schnellen, berührungsfreien
Messen des Profiles einer Oberfläche bekannt bei dem der von einem Sender ausgehende Laserstrahl mit Hilfe
eines oberhalb der zu vermessenden Oberfläche angeordneten akusto-optischen Lichtablenkers zeilenweise
längs der Oberfläche abgelenkt und an dieser reflektiert wird; das reflektierte Licht wird dann von
einer in einem vorgegebenen Abstand über der Oberfläche angeordneten ausblendenden und fokussierenden Optik aufgefangen und auf einen Detektor
geworfen. Aus den Abstrahl- und Empfangswinkeln und/oder den Laufzeiten des Laserstrahles zwischen
dem Sender und Empfänger wird dann unmittelbar das Oberflächenprofil elektronisch ermittelt. Bei einer
Ausführungsform der Meßanordnung werden die Positionen von Meßflecken an der Oberfläche eines
Objektes als Abstände von einer Linie ermittelt, die zugleich den einen Schenkel des Ablenkwinkels des
gesendeten Laserstrahls bildet, so daß alle Positionen
der MeOFIecken auf den Scheitel dieser Ablenkwinkel
bezogen sind, der in die Apertur des dem Sender nachgeschalteten Teleskops gelegt ist.
In dieser deutschen Offenlegungsschrift Nr. 21 13 522
ist ferner auf eine laufende Ermittlung der Standhöhen bei rechnergesteuerten Fertigungsprozessen hingewiesen,
bei der das zuvor bezeichnete Meßverfahren mehrfach wiederholt ablaufen solL Eine Standhöhenänderung
einer Flüssigkeit stellt jedoch normalerweise keine Profiländerung dar, da die meisten Flüssigkeiten
nach einer Änderung ihrer Standhöhe unter dem Einfluß der Schwerkraft wieder ihr ursprüngliches Profil
einnehmen.
Somit liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, von dem die Änderung des
Profiles der Oberfläche eines Objektes innerhalb einer angemessenen Zeitspanne erfaßt werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Positionen der Meßflecken relativ zu einem in
der Oberfläche des Objektes liegenden, wieder.mffindbaren
Referenzpunkt als Abstände von diesem Referenzpunkt errechnet werden, daß nach der Deformation
der Laserstrahl von einem dritten, weiteren Punkt ein zweites Mal über die Oberfläche des Objektes
zeilenweise abgelenkt und nach seiner Reflexion an den
Meßflecken an einem vierten Punkt empfangen wird und während dieser zweiten Übertragung des Laserstrahles
die beiden beim Auftreffen auf einen Meßfleck erreichten, zueinander senkrechten Ablenkwinkel und
die Laufzeit des über diesen Meßfleck übertragenen Lichtimpulses zwischen den dritten und vierten Punkten
gemessen und aus den gewonnenen Meßwerten die neuen Positionen der Meßflecken als Abstände zu dem
Referenzpunkt errechnet werden, und daß durch einen Vergleich der beiden errechneten Abstände der
absolute Wert der Deformation als Koordinatendifferenz ermittelt wird.
Bei diesem Meßverfahren arbeitet die zugehörige Anordnung unabhängig von der Gestalt der Oberfläche
des Objektes, von der Entfernung zwischen der Mcßstelle und dem Objekt, sowie unabhängig von der
relativen Position der Meßstelle zum Objekt, wobei eine Genauigkeit in der Größenordnung von Bruchteilen
eines Millimeters erzielbar ist. Es lassen sich sogar
absolute Meßwerte in den drei räumlichen Koordinatenrichtungen gewinnen.
Wegen dieser Vorteile kann die Meßanordnung so konstruiert werden, daß sie mobil und jederzeit
einsatzbereit ist, ohne daß den Messungen störende Vorbereitunf sarbeiten vorauszugehen brauchen.
Mehrere Ausführungsbeispiele für die Meßanordnung gemäß der Erfindung sind in der Zeichnung
dargestellt und werden im folgenden näher erläutert.
F i g. 1 zeigt eine erste Variante einer erfindungsgemäßen Anordnung zur Vermessung eines Objektes mit
Sirahlablenksystem und Distanzmessung,
F i g. 2 zeigt eine zweite Variante einer et findungsgemäßen
Anordnung zur Vermesseung der Deformation eines großen Objektes mit einer Fernsehkamera und
einem Strahlablenksystem in Stereoanordnung,
F i g. 3 zeigt eine dritte Variante einer erfindungsgemäßen Anordnung zur Vermessung eines Objektes mit
einem Fächer von Laserstrahlen und zwei Fernsehkameras in Stereoanordnung,
F i g. 4 zeigt eine vierte v.ariante einer erfindungsgemäßen
Anordnung mit einem Fächer von Laserstrahlen und einer holographischen Kamera,
Fig.5 zeigt in Form eines Blockschalfbildes eine
Variante einer erfindungsgemäßen Auswertelektronik für die Distanzmessung in der Anordnung nach Fig. 1,
Fig.6 zeigt in Form eines Blockschaltbildes eine
Fig.6 zeigt in Form eines Blockschaltbildes eine
ί Variante einer erfindungsgemäßen Auswertelektronik
für die Distanzmessung mittels eines Pulszuges in einer Anordnung nach F i g. 1,
F i g. 7 zeigt die für die Auswertung der in F i g. 2
dargestellten Variante notwendigen Größen.
κι Man erkennt in Fig. 1 eine Oberfläche 1 eines Objektes, die mit mehreren diffus reflektierenden
Meßflecken 2 versehen ist. Wie weiter unten beschrieben, hängt die Größe der Meßflecken von der
geforderten Meßgenauigkeit ab. Diese Oberfläche 1
ΐϊ wird durch einen Laserstrahl 3 abgetastet, der von
einem Laser 4 erzeugt wird und unter anderem eine Optik 5 zur Fokussierung oder Kollominierung des
Strahls und ein Strahlablenksystem 6 passiert An den Flecken 2 wird der Strahl 3 diffus reflektiert, wodurch
zumindest ein Teil des Laserstrahls 3 u's Strahl 3' auf
einen Detektor 7 gestreut wird.
Um eine elektronische Auswertung der Meßergebnisse vornehmen zu können, wird in der Anordnung gemäß
Fig. 1 noch ein Strahlteiler 11, ein Detektor 10, ein elektronischer Zähler 8 und ein Auswertcomputer 9
benötigt Deren gegenseitiges Zusammenspiel wird weiter unten erläutert.
Es ist bekannt, daß wenn die relative Position des Strahlablenksystems 6 gegenüber dem Detektor 7
in festgelegt und unveränderlich ist der relative Standort
eines jeden Fleckes 2 gegenüber der Position des Detektors 7 mittels der Winkel λ und γ, und dem
Zeitintervall ii zwischen Aussendung eines Lichtimpulses
im Strahlablenksystem 6 und dem Empfang
Γι desselben im Detektor 7, bestimmt werden kann.
Wenn nun gemäß der Erfindung ein beliebiger Fleck 2o als Referenzpunkt mit den Koordinaten x=0; y=0
und z=0 festgelegt und mit einer logischen Struktur versehen wird, können die räumlichen Koordinaten
sämtlicher Flecke 2| bis 2„ in bezug auf den Referenzfleck
2o bestimmt werden. Dadurch läßt sich durch einmaliges Abtasten sämtlicher Flecke 2 ein räumliches
Bild der Oberfläche 1 zum Zeitpunkt Ti mittels Zahlenwerten erstellen. Die dabei ermittelten Koordi-
<r> naten der einzelnen Flecke 2 werden vorzugsweise mit
Hilfe eines Computers 9 erfaßt odert oder mit Hilfe eines (in der Zeichnung nicht dargestellten) Druckers
herausgeschrieben.
Um die Deformation oder die Bewegung einzelner
><> Flecke 2 auf der Oberfläche 1 zu bestimmen, werden zu
einem Zeitpunkt T2 wiederum alle Flecke 2 abgetastet
und ihre relative Position zum Referenzfleck 20 bestimmt und diese Werte mit den im Zeitpunkt T\
ermittelten Koordinatenwerten verglichen.
r,5 Wenn gemäß der Erfindung der Referenzflec* 2o sich
derart von den Meßflecken 2| bis 2„ unterscheidet, daß
der Detektor 7 ihn unfehlbar als solchen erkennt, ist es unwesentlich, ob d'e beiden Messungen zu den
Zeitpunkten 71 und T7 von derselben Stelle im Raum aus
vorgenommen werden oder nicht, da der Computer 9 die ermittelten Koordinatenwerte jederzeit aut das
vorgegebene Koordinatennetz x; y; ζ mit dem Nullpunkt 2ozurückführen kann.
Dabei ist vorzugsweise darauf zu achten, daß die Koordinatenachsen χ und y parallel zu den beiden
Drehachsen (<x und γ)den Strahlablenksystems 6 stehen,
um eine vereinfachte Auswertung ohne Korrekturfaktoren zu erhalten. Als Koordinatenachse ζ wird die
Verbindungslinie Rcferen/fleck 2o — Strahlablenkerheit
6 festgelegt.
Der Fachmann erkennt leicht, daß die Verschiebung eines jeden Fleckes 2 bei der Messung im Zeitpunkt T2
gegenüber der Messung im Zeitpunkt T\ in absoluten Werten für die drei Koordinatenachsen x;y; 7. bestimmt
werden kann. Dies aufgrund der für jeden Fleck 2 zwischen der ersten und der zweiten Messung
ermittelten Differenz der Winkelwerte « und γ und dem Zeitintervall In, das in der Praxis vorteilhafterweise
mittels einer Laufzeitmessung /wischen ausgesendetem und empfangenem Signal oder Lichtimpuls bestimmt
wird.
Die da/u benötigte Elektronik ist in F- i g. b dargestellt.
Die Distanzmessung kann aber auch mittels einer Phasenmessung durchgeführt werden, wozu eine Elektronik
gemäß F-" i g. 5 notwendig ist. Die Arbeitsweise dieser zwei Sciiaiiungen isi weiici linien uesciniubeti.
Für die drei Koordinatenrichtungen x; y und ζ
errechnen sich die absoluten Verschiebungen Δχ;Δ} und
/Iz für jeden Fleck 2 anhand der Formeln:
Iv2n | = A2n(T1) - | V2n(T2), | I2n(T1 |
wobei | ^2n(T2 | ||
und | - -.(T1)SiIi | \2 n( / ι ) | |
^2n(T2) | = rn(T2) sin | \ 2 n\ I 2 ) | |
Iv2n | = V2n(T1)- | V2n(T2) | |
V2n(T,) | = ^n(T1)SJn | 72n(T,)cos | |
V2n(T2) | = r„(T2)sin | Z2n(T2)COS | |
ri! = Ablenkwinkcl \ des Fleckes 2„ im Zeitpunkt
T1
r[) = Ablenkwinkel ζ des Fleckes 2„ im Zeitpunkt
T, ·*>
r x) = Laufzeit des Meßsignals in Sekunden zwischen
Ablenksystem 6 und Detektor 7 im Zeitpunkt T1
V)
c = Lichtgeschwindigkeit.
In der Praxis kann die Anordnung nach Fig. 1 beispielsweise aus folgenden Elementen aufgebaut
werden:
— ali Laser 4 ein Modell 164-10 Ionen-Laser von
Spectra Physics (eingetragenes Warenzeichen) mit einer Modell 365 Intrakavitäts-Moduiation mit
folgenden Daten: Wellenlänge λ=0,5 μ; Strahl- μ
struktur TEMoo-Mode; mittlere Leistung« 1 W;
Pulsdauer 15 ns; Pulsanstiegsdauer 5 ns und Pulsfrequenz 20 MHz;
— als Strahlablenksystem 6 ein System mit folgenden
Eigenschaften: maximaler Abienkwinkei ±0,14 rad; Winkelauflösung ±0,14 mrad und einer
Ablenkgrenzfrequenz von 600 Hz; LIMO Staxy 240011 von Lasag;
- als Detektor 7 typischerweise ein phasenempfindlicher Detektor der Art ITL Type HSD 1850 Instrument
Technology Ltd, mit folgenden Eigenschaften: Auflösungsvermögen bei 20MHz Pulsfrequenz
und 5 ns Anstiegszeit: = 10-': Detektorfläche
= 18 mm 0 = 2,5 cm2; Empfindlichkeil
40 mA/w (Modell), wobei bei einer Distanz Ablenksystem —Objekt von 10 m die Brennweite
der Detektorlinse ca. 10 cm und die Öffnung F/2 beträgt:
- als /ahlcr 8 ein Hewlett Packard HP 4 355 Λ oder
ein IIP 5345 A; Zähler mit einer zeitlichen Auflösung von 2 ps bei einer Rcpctitionsfrequcn/
von <500 MHz:
- als Detektor JO ein dem Detektor 7 identischer
Bauteil;
- als Strahlteilcr M ein LIMO StTI Nr. 24007 der
LiisHg SA;
- und als Computer 9 ein beliebiger handelsüblicher Rechner.
Eine Anordnung, die aus obigen Teilen besteht, hat
eine Auflösung, die es gestattet, auf 10 m einen Fleck 2 eines Durchmessers von ca. 1 mm zu identifizieren und
in allen drei Koordinatenrichtungen auf I mm genau auszumessen. Die Mcßdaucr betrag» dabei bei einer
Ablenkfr< .,i.enz von 600 Hz ca. 1,6 s pro m2 abgetastete
Fläche.
Die hiervor erwähnte Elektronik zur Bestimmung der Distanz Refcrcnzfleck 2o — Strjhlablenkeinheit 6
mittels einer Phasenmessung ist in Form eines
Blockschaltbildes in Fig. 5 dargestellt. Darin erkennt
man einen Taktgeber 13, der auf zwei Oszillatoren 14 und 15 mit Frequenzen f\ bzw. f2 wirkt, den durch den
Oszillator gesteuerten Laser 4, eine erste Mischstufe 16. die die beiden Frequenzen /] und f2 vergleicht, und den
Detektor 7 sowie eine zweite Mischstufe 17. die die Frequenz f2 mit der durch die Messung um die Größe '/'
phasenverschobenen Frequenz /Ί vergleicht, sowie eine Phasenmeßschaltung 18, die die durch die Mischstufen
16 und 17 ermittelten Daten auswertet.
Demgegenüber zeigt die in Fig.6 dargestellte Elektronik, wie die Distanz Referenzfleck 2o —
Strahlablenkeinheit 6 mittels eines Pulszuges bestimmt werden kann. Man erkennt in der Zeichnung den Laser
4, das Ablenksystem 6, den Strahlteiler 11. den Detektor
10, sowie den Detektor 7 mit dem Zähler 8 und dem Computer 9. Zudem benötigt man für dieses Meßverfahren
zwei Diskriminatoren 19 und 20 und einen Mittler 21. Die Funktionsweise dieser Schaltung braucht d.m
Fachmann nicht erläutert zu werden, so daß hier darauf verzichtet wird.
Eine zweite Variante einer erfindungsgemäßen Anordnung zur Vermessung von Objekten geht aus
F i g. 2 hervor, in der man wie in F i g. 1 eine Oberfläche 1 mit den darauf befindlichen Meß-Flecken Z einen
Laser 4, eine Optik 5, eine Strahlablenkung 6 und einen Detektor 7 erkennt. Zusätzlich sind eine Fernseh-Kamera
22, eine Steuerelektronik 23, eine Meßelektronik 24, ein Computer 25 und eine Datenausgabeeinheit 26
dargestellt
Die Auswertung der ausgesendeten und empfangenen Laserstrahl-Signale in der Steuerelektronik 23 und
der Meßelektronik 24 zur Bestimmung der Koordinaten x; y; ζ der einzelnen Funkle 2 kann anhand von F i g. 7
erläutert werden.
Gemäß dieser Variante (F i g. 2) wird das auszumessende Objekt von zwei F*unkten (A und S, die dem
Abtastsystem 6 bzw. der Fernseh-Kamera 22 entsprechen), nämlich von Punkt A aus it dem Laserstrahl 3 und
von Punkt B au* durch den Elektronenstrahl der Kamera abgetastet. Dabei ist vorzugsweise darauf zu
achten, daß die Abtastgeschwindigkeit der Fernseh-Kamera 22 so hoch ist, daß der Elektronenstrahl jeweils
währt/- i der Zeit, während welcher der Laserstrahl 3
von einem Fleck 2 reflektiert wird, zumindest einmal das gesamte Objekt abtastet. Die Vermessung des Objektes
bzw. seiner Oberfläche I erfolgt dabei folgendermaßen. Die Ablenkwinkel i\ und γ des Laserstrahles 3 am
Abtastsystem 6 werden für jeden Reflexionsfleck 2 ermittelt, wobei dies wie bei der Anordnung nach F i g. I
mittels des Detektors 7 geschieht. Gleichzeitig werden die Ablenkwinkel Φ und γ des Elektronenstrahls der
Fernseh-Kamera für diesen durch den Laserstrahl 3 angestrahlten Fleck 2 bestimmt. Die Ermittlung der
r\uuruiiidtcii
T\ uCS 3USg
y
p g
Fleckes 2„ in bezug zum Referenzfleck 20 mit den
Koordinaten «υ γ = 0 bzw. Θγ, γ = 0 erfolgt anhand der
nachfolgenden Formeln, aus welchen auch ersichtlich ist. wie nach der Vermessung des Fleckes 2„ im
Zeitpunkt T2 die Verschiebung des Fleckes 2„ in den drei
Koordinatenachsen berechnet wird.
Ix2n = χ
tg«i"
122. = 22.(7",)-
= al
worin 3= Distanz zwischen Punkt Λ und Punkt B.
Der Fachmann erkennt leicht, daß die erfindungsgemäße Anordnung mobil, beispielsweise in einem
Meßwagen untergebracht, gebaut werden kann. Weiter weist sie gegenüber herkömmlichen Anordnungen den
Vorteil auf, daß ihre MeBgenauigkeit praktisch unabhängig ist von ihrer relativen Lage gegenüber dem
auszumessenden Objekt. Als einzige Vorbereitung der Messungen genügt es, die Objektoberfläche mit diffus
reflektierenden Flecken, beispielsweise aus weißer Farbe, zu versehen, wobei dabei die Stellen, für die eine
erhöhte Meßgenauigkeit erforderlich ist, dichter mit
-> derartigen Flecken versehen werden können. Bei hellen,
Licht reflektierenden Objekten können die Meßflecke auch schwarz oder dunkel sein, so daß dann die nicht
reflektierenden Flecke vermessen werden. Die Größe der Flecke wird entsprechend der erwünschten
in Meßgenauigkeit gewählt.
Es ist naheliegend, daß je nach Objekt ein Auftragen von Reflexionsflecken 2 unmöglich ist. In solchen Fällen
kann das erfindungsgemäße Verfahren aber in einer Variante dennoch angewendet werden, indem der
r> Laserstrahl 3 in mehrere einzelne Strahlen aufgeteilt wird, welche durch das Ablenksystem 6 so abgelenkt
werden, daß sie auf der Oberfläche des Objektes ein r*£jtj>£K "^luffei'es Rssier von !eucb^ri^^n F!pr%k**n ^'~
bis 2'„ aufprojizieren. Diese Flecken 2 werden dann
2» beispielsweise, wie in Fig. 3 dargestellt, mit zwei
Fernseh-Kameras 27 und 28 in Stereoanordnung bezüglich ihrer Position (x; y; 7.) vermessen. Die
Bestimmung der Koordinaten geschieht dabei analog zum im Zusammenhang mit F i g. 2 beschriebenen
r> Verfahren. Dabei ist festzuhalten, daß dieses Verfahren nicht für alle Deformationen gleich empfindlich ist. da
die Verschiebungen von Oberflächenteilen in den Richtungen χ und y durch den Vergleich mit den
Verschiebungen der benachbarten Leuchtflecken 2'
to bestimmt werden müssen.
Als weitere allerdings kostspieligere Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens kann auf nicht mit
Reflexionsflecken 2 versehbaren Objekten mit einem Laser- und Strahlenteiler ein Raster von Lichtflecken
Ji projiziert und diese Lichtflecken holographisch aufgenommen
werden, so daß die dreidimensionale Information jedes Fleckens auf der Fotoplatte gespeichert ist.
Die Auswertung dieser Information kann nachträglich im Labor, z. B. mit einer Stereoabtastanordnung wie
nach Fig. 2 erfolgen. Diese Methode bietet aber den Vorteil, daß sie besonders für schnelle Bewegungen des
Objektes geeignet ist. Sie ist in F i g. 4 dargestellt, in der die holographische Kamera die Referenznummer 29
trägt.
Die Fernseh-Kamera kann auch beispielsweise durch eine Dioden-Matrix-Kamera oder durch eine CCD-(»charge-coupled
device«) oder durch eine CID-(»charge-injection
device«) Bildkamera ersetzt werden.
Hierzu 7 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Verfahren zur Messung der Deformationen großer Objekte, deren Oberfläche mit reflektierenden
Meßflecken versehen ist, mittels eines Laserstrahles, der von einem ersten Punkt aus über die
Oberfläche zeilenweise abgelenkt wird und nach seiner Reflexion an den Meßflecken an einem
zweiten Punkt empfangen wird, bei dem die beiden ι ο während des Auftreffens auf einen Meßfleck
erreichten, zueinander senkrechten Ablenkwinkel des Laserstrahls und die Laufzeit eines über diesen
Meßfleck übertragenen Lichtimpulses zwischen den beiden Punkten gemessen und aus den Meßwerten
die Positionen der Meßflecken relativ zu einem Punkt errechnet werden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Positionen der Meßflecken (2tt ... In) relativ zu einem in der Oberfläche (1) des
Objektes liegenden, wiederauffindbaren Referenz- ?n punkt (2o) als Abstände (x; y; z) von diesem
Referenzpunkt (2o) errechnet werden, daß zur Zeit (Ti) nach der Deformation der Laserstrahl (3) von
einem dritten, weiteren Punkt ein zweites Mal über die Oberfläche (1) des Objektes zeilenweise 2%
abgelenkt und nach seiner Reflexion an den Meßflecken (2i, ... 2„) an einem vierten Punkt
empfangen wird und während dieser zweiten Übertragung des Laserstrahles (3) die beiden beim
Auftreffen auf einen Meßfleck erreichten, zueinan- «>
der senkrechten Ablenkwinkel (a. und γ) und die
Laufzeit (t) des über diesen Meiileck übertragenen
Lichtsignals zwischen dvn dritten und vierten Punkten gemessen und aus ti π gewonnenen
Meßwerten die neuen Positionen der Meßflecken r,
(2 2„) als Abstände (x; y; z) zu dem
Referenzpunkt (2o) errechnet werden, und daß durch einen Vergleich der beiden errechneten Abstände
der absolute Wert der Deformation als Koordinatendifferenz (Δχ, Ay, Δζ) ermittelt wird. 4«
2. Verfahren nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßflecken (2|, ... 2„)
mittels eines Licht- oder Laserstrahles auf die Oberfläche des Objektes geworfen werden.
3. Verfahren nach dem Anspruch I, dadurch ή gekennzeichnet, daß der Referenzpunkt (2o) mit
einer logischen Struktur versehen wird.
4. Verfahren nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände (x und y) in zwei
Koordinatenrichtungen aus den Ablenkwinkeln (<x -><i
und v) eines Strahlablenksystems (6) und der Abstand (z) in der dritten Koordinatenrichtung
durch eine Phasenmessung des Laserstrahles (3) ermittelt werden.
5. Verfahren nach dem Anspruch 1, dadurch «
gekennzeichnet, daß die Abstände (x, y und z) in den
drei Koordinatenrichtungen aus den Ablenkwinkeln (α. und γ) eines ersten Strahlablenksystems und aus
den Ablenkwinkeln (Θ und γ) eines zweiten Strahlablenksystems ermittelt werden. bo
6. Verfahren nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung der Abstände (x
y, z) in den Koordinatenrichtungen mit Hilfe holographischer Bilder des mit Meßflecken (2|, ...
2n/>versehenen Objektes erfolgt.
7. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach dem Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß
sie zumindest einen Laserstrahlsender (4), ein diesem nachgeschaltetes Strahlablenksystem (6), einen auf
die von den Meßflecken (2j, ... 2n) reflektierten Strahlen (3') ansprechenden Empfänger (7; 22; 26',
27; 29) und eine diesem nachgeschaltete Auswerteinheit (9; 18) zur Errechnung der Abstände (x, y, z) in
den drei Koordinatenrichtungen zwischen den Meßflecken (2|, ...2„) und dem Referenzpunkt (2o)
enthält
8. Anordnung nach dem Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlablenksystem (6) in
zwei Koordinatenrichtungen wirksam ist
9. Anordnung nach dem Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß die Auswerteinheit einen
Zähler (8), einen Detektor (10), einen Strahlteiler (11)
und ein Rechengerät (9) enthält
10. Anordnung nach dem Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß sie als zweites Ablenksystem
eine Fernsehkamera(22) enthält.
11. Anordnung nach dem Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, daß sie zwei Fernsehkameras (26', 27) als Empfänger enthält
IZ Anordnung nach dem Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß der Empfänger aus einer
holographischen Kamera (29) besteht
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