DE2412359A1 - Verfahren und geraet zur beruehrungslosen vermessung von objektkonturen - Google Patents

Verfahren und geraet zur beruehrungslosen vermessung von objektkonturen

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DE2412359A1
DE2412359A1 DE2412359A DE2412359A DE2412359A1 DE 2412359 A1 DE2412359 A1 DE 2412359A1 DE 2412359 A DE2412359 A DE 2412359A DE 2412359 A DE2412359 A DE 2412359A DE 2412359 A1 DE2412359 A1 DE 2412359A1
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Klaus Dr Baerwinkel
Walter-Michael Dr Ewers
Heinz Dipl Phys Wachutka
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Dornier System GmbH
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Dornier System GmbH
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/021Interferometers using holographic techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Verfahren und Gerät zur berührungslosen Vermessung von Objektkonturen Die Erfindung beirifft ein Verfahren und ei.n Gerät zur berührungslosen Vermessung von Objektkonturen, wobei durch Beleuchtung mit kohärentem Licht ein räumliches Interferenzfeld und dadurch auf dem Objekt ein Interferenzstreifennuster erzeugt wird.
  • Die Bestimmung der Oberflachengestalt beliebiger Objekte bzw.
  • die Darstellung von Höhenschichtlinien dreidimensionaler Gegenstände sind überall da von Interesse, wo von einem Modell eines Erzeugnisses Werkzeichnungen, Lehren sowie Gießformen für die Serienherstellung angefertigt oder Steuersignale für numerisch gesteuerte Werkzeugmaschinen gewonnen werden sollen. Die Verwendung von mechanischen oder induktiven Meßfühlern zur Kontur@ermessung erfordert wegen der punktweisen Abtastung einen hohen zeitlichen Aufwand und erweist sich bei großen Objekten als ungeeignet. Optisch-interferometrische Methoden dagegen gestatte@ berührungsfrei ein direktes Höhensd@i chtlinienbild des zu vermessenden Gegenstandes herzustellen Es ist bekannt, durch Beleuchtung mit kohärentes Licht aus zwei punktförmigen Lichtqueller ein räumliches Interferenzfeld zu erzeugen, in das der zu vermessende Gegenstand eingebracht wird. Er erscheint dann von einem System heller und dunkler Streifen übersogen, die Schnitte der Objektoberfläche mit den räumlichen Kurvenscharen des Interferenzfeldes darstellen. Entsteht das Winter ferenzfeld z. B. durch Überlagerung zweier ebener Wellen, so sind die Interferenzstreifen auf dem Gegenstand die Schnittkurven von zueinander parallelen äquidistanten Ebenen mit der Objektoberfläche, während bei Verwendung zweier Kugelwellen die Interferenzen auf dem Gegenstand die Schnittkurven von Ratationshyperboloiden mit der Objektoberfläche sind. Bei Kenntnis der optischen Anordnung kann aus diesen @nter@erogrammen der Abstand jedes Oberflächenpunktes von einer Bezugsebene mit großer Genauigkeit angegeben werden Es sind verschiedene holographische Methoden zur Erzeugung von Interferenzmustern als Höhenschichtlinien räumlicher Objekte bekannt. Sie beruhen alle darauf, daß der zu vermessende Gegen stand zweimal nacheinander mit kohärentem Licht beleuchtet wirdt wobei während jeder der beiden Teilbeleuchtungen auf einer einzigen Hologrammplatte ein Hologramm des Gegenstandes angefertigt wird. Die Lictitwellen für die beiden Teilbeleuchtungen unterscheiden sich dabei entweder durch ihre Wellenlänge oder ihre Phase. Bei der Holograrnrnrekonstruktion erhält man dann ein Bild des von Interferenzlinien überzogenen Gegenstandes.
  • Die-prinzipiellen Nachteile dieser bekannten interferometrischen und holographisch-interferometrischen Verfahren liegen darin, daß sie nur unter erheblichem experimentellem Aufwand in einem den All forderungen der Interferometrie und Holographie entsprechenden Labor durchgeführt werden können. Für jede Vermessung ist ein vollständiges, -empfindliches Interferometer oder eine komplette Holographie-Anordnung notwendig, an die extreme Stabilitätsanforderun gen zu stellen sind. So müssen z. B. die optischen Wege im Interferometer- bzw. im Holographie-Aufbau auf Bruchteile einer Wellenlänge konstant bleiben Das gelingt nur mit stabilen Holographie-Tischen und massiven, erschütterungsfreien Aufbauten, von denen mechanische und thermische Störungen, z. B. durch laufende Maschinen, L@ftschlieren usw.) ferngehalten werden müssen. Weiterhin sind für die klassischen Interferometer hochpräzise Spiegel und Strahlenteiler erforderlich. Durch die genannten Störeinflüsse werden möglicherweise nicht vorhandene Formabweichungen vorgetauscht oder auch vorhandene Abweichungen nicht erkannt, wenn nicht evtl. sogar die Vermessung bzw. der Vergleich von Untersuchungs-Objekten gänzlich unmöglich gemacht wird.
  • Um die bei den bekannten Methoden auftretenden Schwierigkeiten und Nachteile zu vermeiden, ist schon vorgeschlagen worden, den zu vermessenden Gegenstand in ein durch die Rekonstruktion eines Hologrammes, in dem wenigstens zwei Lichtquellen gespeichert sind, erzeugtes räumliches Interferenzfeld zu bringen. Bei der Rekonstruktion der in dem Hologramm gespeicherten Lichtquellen werden die von den virtuellen Bildern dieser Lichtquellen ausgehenden Wellen gleichzeitig freigesetzt und bilden durch Interferenz das gewünschte räumliche Interferenzfeld, in das dann der zu vermessende Gegenstand eingebracht wird. Sind z. B. im Hologramm zwei Punktlichtquellen gespeichert, so entsteht bei der Rekonstruktion durch die Interferenz der beiden freigesetzten sphärischen Wellen ein räumliches Interferenzfeld in Form einer Schar von Rotationshyperboloiden.
  • Nach dem Vorschlag ist zur Erzeugung von Interferenzmustern, insbesondere zur Erzeugung von Höhenschichtlinien zur Konturvermessung, nur ein in geeigneter Weise hergestelltes Hologramm nötig, das mit monochromatischem Licht beleuchtet wird Es entfallen also die bei den bisherigen bekannten Methoden notwendigen, sehr umfangreichen und störanfälligen Interferometer- bzw. Holographie-Aufbauten. Es kann dabei ein Phasen-Hologramm oder ein Amplituden-Hologramm Verwendung finden. Insbcsondere sind stabile, Schwingungsisolierte Holographie-Tische bei der Vermessung unnötig und es kann mit einem Minimum von optischen Komponenten gearbeitet werden, so daß die Messung mit einem transportablen Gerät in einfacher Weise in jedem beliebigen Raum (z. B. Werkstatt) durchgerührt werden kann, der nicht speziell für Interferometrie oder Holographie ausgelegt sein muß, wie es bei den bekannten Verfahren der Fall ist.
  • Der Erfindung lag die Auf gabe zugrunde, ein Verfahren zu schaffen, das es gestattet, schnell und auf einfache Weise aus dem Streifenmuster eines mit den Höhenschichtlinien überzogenen Gegonstandes die genaue Objektkontur zu bestimmen. Die Daten einer solchen Konturvermessung sind, wie eingangs schon gesagt, z. B.
  • von Bedeutung bei der Steuerung von Werkzeugmaschinen nach vorliegenden Modellen oder bei der Anfertigung von Zeichnungen oder Schnittkurven nach diesen Modellen. Es ist daher die spezielle Aufgabe der Erfindung, die Vermessung der Objektkontur weitestgehend zu automatisieren. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß auf/einer Referenzebene mit wenigstens drei Punkten von bekannter Lage ein InterferrnzstreiMennuster erzeugt wird und aus dem Muster, seiner Abbildung und der Abbildung der bekannten Punkte die Daten der optischen Anordnung von Lichtquellen, Abbildungsoptik und Bildebene ermittelt werden, daß ferner ein nicht aufgeweiteter Laserstrahl in Richtung der Mittelsenkrechten auf der Verbindungsstrecke der beiden Lichtquellen die Interferenz nullter Ordnung auf dem Objekt markiert und daß durch einen Rechner aus den Koordinaten der Bildpun@te und den zugehö renden Interferenzordnungen die räumliche Lage der zugehörenden Objektpunkte und somit die Objektkontur berechnet wird.
  • Dadurch, daß dem Rechner die ges@mten Daten dev optischen Anordnung, d.h. Lage der Lichtquellen und des Ixlterferenzfeldes sowie die Lage des Projektionszentrums und der Bildebene zur Referenzebene ermittelt und eingegeben werden können, ist es bei geeigneter Programmierung möglich, durch laufende punktweise Abtastung des Bildes sofort punktweise die räumlichen Koordinaten der Objektkontur zu erhalten und damit z. B. direkt eine Werkzeugmaschine zu steuern. Andererseits ist es auch möglich, mit den Ausgabedaten des Rechners eine automatische Zeichenmaschine so zu steuern, daß sie die Objektkontur in Form von Schnittkurven aufzeichnet Das Verfahren ist für verschiedene Arten der Erzeugung von Interferenzstreifennustern anwendbar. So kann z. B. das räumliche In terferenzfeld durch die oben genannte Rekonstruktion eines Hologrammes mit zwei gespeicherten Lichtquellen erzeugt werden. Es sind aber auch die anderen, in der Holographie üblichen Methoden der Streifenerzeugung mittels Doppelbelichtung nach der "Zwei-Objekt-Wellen-Methode" möglich. In diesem Falle wird vorteilhafterweise die nullte Interferenzordnung durch eine zusätzliche dritte Belichtung mit einem nicht aufgeweiteten Laserstrahl markiert. Die oben beschriebene Auswertung geschieht dann am virtuellen Bild des dreifach belichteten Hologramms.
  • Sin Ausführungsbeispiel der Erfindung ist an Hand der Zeichnung erläntert.
  • Der Aufbau der Anordnung ist aus der Zeichnung zu entnehmen, Zunachst ist angenommen, daß zur Erzeugung eines Interferenzstrei fenmusters ein Hologramm H vorgesehen ist, das aus einer monochromatischen Lichtquelle L (Laser) über eine Aufweitungsoptik S beleuchtet wird. Das auf diese Weise aus dem Hologramm rekonstruierte Interferenzfeld I entspricht einem von den beiden Lichtquellen Pl und P2 erzeugten Interferenzfeld. Ferner ist in dem Hologramm H noch ein nicht aufgewei.teter Laserstrahl R gaspei c ert, der in der Mttelsenkrechten der Verbindungsstrecke zwischen den Lichtquellen Pl,, P2 verlauft. Mit RE ist eine Referenz ebene bezeichnet. Auf ihr sind wenigstens drei Punkte 1, 2, 3 von vorgegebener Lage dargestellt. Ferner ist im Interferenzfeld das zu vermessende Objekt G eingezeichnet. Dieses Objekt ist hier andeutungsweise von Interferenzstreifen überzogen, die zur Vermessung der Kontur herangezogen werden. Die Anordnung enthält ferner eine Projektionsoptik O mit dem Projektionszentrum Z, welche die Referenzebene RE und das Objekt G auf eine Bildebene BE abbildet. Ferner ist ein Rechner C angedeutet, in den die Daten der optischen Anordnung in grober Annäherung vorab eingegeben werden. Diese Eingabe erfolgt über Dl. In den Rechner werden außerdem die in der Bildebene BE abgetasteten Bildpunkte über die Eingabeeinrichtung D3 eingespeist. Die Abtastung ist durch die Abtasteinrichtung A angedeutet. Sie erfolgt in an sich bekannter elektrooptischer Weise. Es ist aber auch jegliche andere Art der Abtastung bzw. Vermessung von Bildpunkten nach der Koordinatenlage möglich. An den Rechner sind beisiiielsweise weiterhin noch angeschlossen eine Ausgabeeinrichtung KD, die hier als Keordinatendrucker für die räumlichen Koordinaten der Objektpunkte angenommen.sind. Als weiterer Ausgang ist eine Einrichtung ZM vorgesehen. Hier im Beispiel eine vom Rechner automatisch gesteuerte Zeichenmaschine oder Werkzeugmaschine.
  • Die Wirkungsweise des Verfahrens ist folgende: Zur Konturvermessung ist es wesentlich, daß zunächst sämtliche Daten der optischen Anordnung bekannt sind. Diese Daten werden mit Hilfe der Referenzebene RE ermittelt und dem Rechner C zugeführt. Die Daten bzw. die Lage der Projektionsoptik O, insbesondere die genaue Lage des Projektionszentrums Z und der Bildebene BE zur Referenzebene-RE wird durch die in BE abgebildeten Punkte l, 2, 3 der Referenzebene RE ermittelt. Nachdem in der Eingabe Dl in grober, erster Annäherung diese Werte in den Rechner C eingegeben wurden, können mit Hilfe eines bekannten Iterationsverfahrens aus den auf der Bildebene BE vermessenen Abbildungen der Punkte 1, 2, 3 die genauen Daten ermittelt und endgültig im Rechner C gespeichert werden. Diese Speicherung ist durch die Eingabeeinrichtung D2 angedeutet.
  • Die Ermittlung der genauen Lage der hier im Beispiel rekonstruierten Lichtquellen Pl und P2 bezüglich der Referenzebene RE kann dadurch erfolgen, daß auf der Referenzebene vorab ein Muster aufgebracht wird, das einem beliebigen' Schnitt mit dem Interferenzfeld einer bestimmten Lichtquellenanordnung entspricht. Die Referenzebene mit dem aufgebrachten Muster wird dann im eigentlichen Interferenzfeld I so justiert, daß das Muster mit dem nunmehr auf der Referenzebene PE abgebildeten Streifenmuster zur Deckung kommt. Damit liegen die Lichtquellen in der durch das gewählte Muster vorgegebenen Lage. Diese Angaben können wiederum in den Rechner C.eingegeben werden. Das Muster auf der Bezugsebene kann z. B. zeichnerisch aufgebracht werden oder auch durch fotographische Belichtung in einem bekannten Interferenzfeld Die Bestimmung der räumlichen Lage von Pl und P2 kann auch derartig erfolgen, daß der Schnitt des in der Anordnung verwendeten Interferenzfeldes I mit der Referenzebene RE auf BE abgebildet wird. Dasselbe geschieht mit dem nicht aufgeweitetem Laserstrahl R, der als Punkt die nullte Interferenzordnung markiert, Durch Vermessung des abgebildeten Streifenmusters ist es dann leicht mit Hilfe des Rechners C möglich, die genauen Daten der Lage von Pl und P2 zu ermitteln und für die Konturvermessung zu speichern.
  • Nach diesen vorbereitenden Verfahrensschritten, die der Ermittlung der notwendigen Daten der optischen Anordnung dienten, wird das Objekt G in das Interferenzfeld I gebracht. Das Objekt wird mit seinen Interferenzstreifen und dem nicht aufgeweiteten Laserstrahl, der sich hier als Punkt auf dem Objekt darstellt, über die Optik 0 auf der Bildebene BE abgebildet. Durch einfache Vermessung öder auch elektrooptische Abtastung drch die Einrichtung A werden laufend die Koordinaten der abgebildeten Objektpunkte zusammen mit der zugehörigen Interferenzordnung über die Einrichtung D3 in den Rechner C eingegeben. Dort werden auf Grund der vorher ermittelten und gespeicherten Daten der optischen Anordnung die räumlichen Koordinaten der einzelnen Objektpunkte errechnet. Die Ausgabe der errechneten Werte erfolgÇz. B. über einen Koordinatendrucker KD in numerischer Form. Selbstverständlich ist jede Art von Ausgabe und Speicherung möglich, die eine manuelle oder maschinelle Verwertung dieser Koordinaten zuläßt.
  • Diese Art der Ausgabe ist durch die oben erwähnte automatische Zeichenmaschine ZM im Prinzip angedeutet.
  • Statt der erwähnten automatischen, elektrooptischen Abtastung in der Bildebene können auch andere Methoden zur Vermessung der einzelnen Bildpunkte und ihrer zugehörigen Interferenzordnungen verwendet werden, Auch diese vermessenen Angaben werden dene Rechner C zugeleitet. Beispielsweise istt es möglich, in der Bildebene BE eine fotographische Abbildung durchzuführen und diese Abbildung, evtl. sogar eine Vergrößerung dieser Abbildung, manuell zu vermessen und die jeweiligen Werte dem Rechner C zuzuführen.
  • Sofern die Geräte zur Erzeugung des Interferenzfeldes und die Abbildungsoptik mit Bildebene in ihrer relativen Lage unveränderlich zusammengefalat sind, brauchen die Daten der optischen Anordnung in der oben beschriebenen Weise nur einmal ermittelt und im Rechner C gespeichert zu werden; es können dann verschiedene Objekte G nacheinander in beliebiger Zeit vermessen werden.
  • Eine Neuermittlung der Daten für die optische Anordnung ist nur dann erforderlich wenn das Gerät abgebaut und für neue Blessungen wieder neu zusammengestellt wird.

Claims (11)

  1. Patentansprüche
    0 Verfahren und Gerät zur berührungslosen Vermessung von Objekt konturen, wobei durch Beleuchtung mit kohärentem Licht aus zwei punktförmigen Lichtquellen ein räumliches Interferenzfeld erzeugt und auf dem Objekt ein optisches Interferenzstreifenmuster erzeugt und durch Zentralprojektion in einer Bildebene abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Referenzebene (RE) mit wenigstens drei Punkten (1, 2, 3) von bekannter Lage ein Interferenzstreifenmuster erzeugt wird und aus dem Muster, seiner Abbildung und der Abbildung der bekannten Punkte die Daten der optischen Anordnung von Lichtquellen (pl, P2), Abbildungsoptik (0) und Bildebene (BE) ermittelt werden, daß ferner ein nicht aufgeweiteter Lasers strahl (R) in Richtung der Mittelsenkrechten auf der Verbindungsstrecke der beiden Lichtquellen (Pl, P2) die Interferenz nul-lter Ordnung markiert und 4aß durch einen Rechner (C) aus den Koordinaten der Bildpunkte und den zugehörenden Interferenzordnungen die räumliche Lage der zugehörenden Objektpunkte und somit die Objektkontur berechnet wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch elektrooptiw Sche Abtastung (A) der Bildebene (DE) und Einspeisung (D1, D2, D3) der für die Daten der optischen Anordnung und der Bildpunkte gewonnenen Signale in den Rechner( C).
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch fotograpbi sche Abbildung in der Bildebene (BE) und anschließende Vermessung der Bildpunkte.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch Zwischenvergrößerung des Bildes.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch holographische Speicherung und anschließende elektrooptische Abtastung der Abbildung.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage der Objektpunkte vom Rechner (C) numerisch durch räumliche Koordinaten (KD) angegeben, z. B. ausgedruckt, wird.
  7. 7, Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Rechner (C) durch seine Ausgabedaten eine automatische Bearbeitungsmaschine steuert,
  8. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gakennzeichnet, daß von den Ausgabedaten des Rechners (C) eine automatische Zeichenmaschine (ZM) gesteuert und die Objektkontur als Schnittkurve angegeben wird.
  9. 9 Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Rekonstruktion eines Hologramms (H) mit zwei gespeicherten Lichtquellen (Pl, P2) zur Erzeugung eines räumlichen Interferenzfeldes (I), wobei außerdem der nicht aufgeweitete Laserstrahl (R) im Hologramm (TI) gespeichert ist.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Referenzebene (RE) ein Muster aufgebracht wird, das einem Schnitt mit dem Interferenzfeld einer bestimmten Lichtquellenanordnung entspricht und das Muster der Referenzebene im eigentlichen In-terferenzfeld (I) zur deckungsgleichen Lage mit deln vorn Interferenzfeld erzeugten Streifenmuster gebracht wird,
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Daten de@optischen Anordnung von Bildebene (BE) und Projektionsoptik (0) bezüglich der Referenzebene (RE) in grober Annäherung in den Rechner (C) vora'» eingegesben (Dl) und die genauen Daten durch Vermessung der abgebildeten Referenzpunkte mit Hilfe eines Iterationsverfahrens gewonnen und gespeichert werden.
    L e e r s e i t e
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