DE2250763B2 - Vorrichtung zur steuerbaren Ablenkung eines Lichtstrahls - Google Patents
Vorrichtung zur steuerbaren Ablenkung eines LichtstrahlsInfo
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Description
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeich- Oberflächenabtastungsvorrichtung mit einem perinet
durch eine die Belichtung von zeichenförmi- odisch abgelenkten Abtaststrahl beschrieben, bei der
gen Bereichen der abgetasteten Fläche (9) bewir- ein von einem beleuchteten Spalt ausgehender Lichtkende
Vorrichtung zur Steuerung der die Inten- 60 strahl durch ein erstes fokussierendes Element über
sitätsmodulation des Abtaststrahls bewirkenden ein Spiegelrad im Bildraum fokussiert wird und über
Anordnung (3). zwei feststehende Spiegel und eine Zylinderlinse auf
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch ge- der abzutastenden Fläche einen Lichtfleck erzeugt,
kennzeichnet, daß die abgetastete Fläche (9) Bei keiner der in den oben aufgeführten Literaturdurch
eine aus photoleitendem Material beste- 65 stellen beschriebenen Vorrichtungen wird die Seitenhende
Trommel gebildet wird. Stabilität der Abtastspui· durch besondere Maßnahmen
gegen den Einfluß von Abweichungen der von
_______ der Rotationsachse und den Spiegelflächen gebilde-
ten Winkel von ihren Sollwerten unempfindlich ge- tion des Abtaststrahles vorgesehen, so können auf der
macht Eine besonders hohe Genauigkeit der Abtast- abgetasteten rotierenden Trommel durch geeignete
spur ist bei den oben aufgeführten Anwendungen zeitliche Intensitätsmodulation des Abtaststrahls be-
auch nicht zwingend notwendig, da das geforderte liebige Figuren aufgezeichnet werden. Wird auf der
Auflösungsvermögen, beispielsweise bei Fernseh- 5 Trommel eine lichtempfindliche Schicht befestigt oder
oder Faksimileabtastem, relativ große Toleranzen zu- über die Trommel ein mit einer lichtempfindlichen
läßt. Anders liegen die Verhältnisse aber bei Anwen- Schicht überzogener Aufzeichnungsträger geführt, so
düngen, wo die aufzulösenden Punkte in der Größen- kann die erfindungsgemäße Anordnung als optischer
Ordnung von 1 μία liegen, wie das beispielsweise bei Hochgeschwindigkeitsdrucker verwendet werden. Bei
der Abtastung und Aufzeichnung von Masken bei io Verwendung einer mit einer photoleitenden Schicht,
der Herstellung vor? integrierten Schaltungen oder beispielsweise Germanium, überzogenen Trommel
bei optischen Speichern der Fall ist Die in solchen können die durch den Abtaststrahl aufgezeichneten
Fällen erforderliche Spurtreue und Konstanz der Muster bei Verwendung eines geeigneten Toners auf
Durchmesser de" Abtaststrahls kann mit keiner der blattförmige Aufzeichnungsträger übertragen werden,
oben beschriebenen Vorrichtungen erzielt werden, da 15 wie das beispielsweise bei elektrophotographischen
Spiegelräder mit den dazu erforderlichen engen ToIe- Vervielfältigern der Fall ist.
ranzen mit einem, wirtschaftlich vertretbaren Auf- Die Erfindung wird anschließend an Hand der Fi-
wand nicht hergestellt werden können. Aber selbst gurer. näher erläutert. Es zeigt
bei Verwendung von Spiegelrädern mit den erforder- F i g. 1 die vereinfachte Darstellung tines Ausfüh-
lichen engen Toleranzen würde die Spurtreue des so rungsbeispiels der Erfindung,
Abtaststrahls durch Vibration des rotierenden Sy- F i g. 2 die schematische Darstellung des unge-
stems beeinträchtigt werden. knickten Strahlenganges eines Ausführungsbeispiels
Die Erfindung geht von der Aufgabenstellung aus, der Erfindung,
eine Vorrichtung zur steuerbaren Ablenkung eines F i g. 3 die schematische Darstellung des geLichtstrahls
mittels bewegter reflektierender Flächen 25 knickten Strahlenganges eines Ausführungsbeispiels
anzugeben, bei der Änderungen des Strahldurchmes- der Erfindung,
sers und die senkrecht zur Abtastrichtung auftreten- F i g. 4 die schematische Darstellung der eine Zy-
den Abweichungen des erzeugten Lichtfleckes mit linderlinse und eine sphärische Linse durchsetzenden
geringem Aufwand und in einfacher Weise sehr klein Strahlen.
gehalten werden können. Insbesondere sollen senk- 30 In dem in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
recht zur Abtastrichtung auftretende Verschiebungen erzeugt eine beispielsweise als Laser ausgebildete
des Lichtfleckes beim Übergang des Abtaststrahls von Lichtquelle einen Strahl kohärenten Lichtes, der
einer spiegelnden Fläche eines Spiegelrades zur an- einen Modulator 3 durchsetzt, der beispielsweise als
deren vermindert oder vermieden werden. elektrooptischer, akustooptischer oder mechanischer
Die dem Anmeldungsgegenstand zugrunde liegende 35 Modulator ausgebildet sein kann. Der den Modula-Aufgabe
wird durch die im Anspruch 1 gekennzeich- tor 3 verlassende Lichtstrahl durchsetzt eine Anordnete
Ausbildung der Ablenkvorrichtung gelöst. nung 4 zur Verbreiterung des Strahlenquerschnittes
Durch die erfindungsgemäße Anordnung der fo- und gelangt dann zu einer zylindrischen Linse 5, die
kussierenden Elemente in bezug auf das Spiegelrad den Strahl in einer Dimension auf einer reflektierenwird,
wie im folgenden an Hand der F i g. 2, 3 und 4 40 den Fläche 6 eines rotierenden Polygonspiegels abausführlich
erläutert, die Lage der Abtastspur auf der bildet. Der an einer Fläche dieses Spiegels reflektierte
abgetasteten Fläche weitgehend unabhängig von Ab- Strahl gelangt zu einer zweiten zylindrischen Linse 7,
weichungen der durch die Rotationsachse eines Spie- durch die der ursprüngliche kreisförmige Querschnitt
gelrades und den Spiegelflächen gebildeten Winkel des Strahls angenähert wieder hergestellt wird. Der
von ihren Sollwerten. 45 Strahl wird dann einer weiteren Linse 8 zugeführt, die
Gemäß einem besonders vorteilhaften Ausfüh- beispielsweise als sphärische Linse ausgebildet ist und
rungsbeispiel der Erfindung wird in einer zur Abtast- den Strahl in einer Bildebene 9 fokussiert. Die Bildrichtung
senkrechten Ebene durch eine zylindrische ebene kann beispielsweise als Mattscheibe, als Prooder
torische Linse ein heller linienförmiger Bereich jektionsschirm, als lichtempfindliche Schicht oder als
auf der ablenkenden spiegelnden Fläche erzeugt. 50 eine andere zur Beobachtung einer Bildebene ge-Durch
die der ablenkenden spiegelnden Fläche nach- eignete Vorrichtung ausgebildet sein. Dabei kann es
geschaltete zweite zylindrische oder torische Linse sich entweder um ebene oder zylinderförmige EIe-
und die im weiteren Strahlverlauf angeordnete sphä- mente handeln.
rische Linse wird der an der ablenkenden spiegelnden Bei dem in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbei-Fläche
erzeugte linienförmige Bereich in der Bild- 55 spiel sind die zylindrischen Linsen S und 7 so in beebene
als Punkt fokussiert. Da dieser Punkt eine zug auf die reflektierende Fläche 6 ausgerichtet, daß
Abbildung des linienförmigen leuchtenden Bereiches die Einfallebene des reflektierten Strahls senkrecht zu
auf dem ablenkenden Spiegel ist, haben Abweichun- dieser Fläche liegt. Die zylindrische Linse 5 weist zu
gen von der vorgeschriebenen Winkellage der einzel- der reflektierenden Fläche 6 einen Abstand auf, der
nen ablenkenden spiegelnden Bereiche in bezug auf 60 gleich ihrer Brennweite ist. Die Hauptachse der zydie
Rotationsachse keine Verschiebungen der punkt- lindrischen Linse liegt parallel zu den zylinderförmiförmigen
Abbildung in der Bild- bzw. Abtastebene gen Linsenflächen. Definitionsgemäß liegt die Nebensenkrecht
zur Abtastrichtung zur Folge. Tastet der achse senkrecht dazu. Wird bei Verwendung einer
durch die ablenkenden Spiegel in einer Richtung ab- zylindrischen Linse S davon ausgegangen, daß die
gelenkte Lichtstrahl einen rotierenden Zylinder ent- 63 Haupt- und die Nebenachse voneinander verschielang
einer Erzeugenden ab, ergibt sich eine zwei- dene Brechkräfte haben, um auf der reflektierenden
dimensionale Abtastung in Form eines Fernseh- Fläche 6 den von der Lichtquelle 1 ausgehenden
rasters. Werden ferner Mittel zur Intensitätsmodula- Lichtstrahl als einen linienförmigen, parallel zur
den, so liegen die Verhältnisse bei Verwendung von gemacht werden, daß die zylindrischen und torischen
torischen Linsen entsprechend. numerischen Aperturen so gewählt werden, daß die
, Die Linsen 5 und 7 können entweder beide als zy- Bewegung der reflektierenden Fläche kleiner ist als
lindrische oder beide als torische Linsen ausgebildet S die Schärfentiefe.
sein. Es ist aber auch möglich, eine dieser Linsen als In F i g. 3 ist eine Draufsicht der in F i g. 2 darge-
zylindrische und die andere als torische Linse auszu- stellten Anordnung wiedergegeben,
bilden. In F i g. 4 wird der Strahlenverlauf und die Wir-
Durch die Verwendung der beiden zylindrischen kungsweise eines Ausführungsbeispiels der Erfindung
Linsen 5 und 7 ist es möglich, die Anforderungen an io nochmals veranschaulicht. Die in dieser Figur dardie Genauigkeit der Parallel-Lage der spiegelnden gestellte Anordnung besteht aus einer rotierenden reFlächen 6 des Polygonspiegels während des Betriebs flektierenden Fläche 40, einer zylindrischen Linse 41,
gegenüber einer herkömmlichen Anordnung, bei der einer sphärischen Linse 42 und einer Bildebene 43.
die Toleranzen bezüglich der genauen Lage des Ab- Wird der rotierend Spiegl 40 beispielsweise um einen
tastlichfleckes in der Bildebene 9 beispielsweise bei 15 Winkel Φ gekippt, so bildet der Hauptstrahl Fl mit
+ 0,0125 mm liegen, um Größenordnungen herab- . ... . , „.., . ,,,. , , 2<l>
zusetzen. Mit Hilfe der Zylinderlinsen ist es auch in der °Ptlschen Achse im Blldraum einen Winkel—,
einfacher Weise möglich, den Querschnitt des Ab- was eine vertikale Verschiebung des Lichtfleckes bei
taststrahls in der Bildebene elliptisch zu machen. größerwerdendem horizontalen Abtastwinkel zur
Liegt die Hauptachse des elliptischen Strahlquer- ao Folge hat. So hat beispielsweise die durch ein einschnittes senkrecht zur Ebene des reflektierten zelnes sphärisches Element mit einer Brennweite von
Strahls, so kann ein guter Anschluß der nebeneinan- 38,10 cm und einer Brechzahl von 1,5 erzeugte Bildderliegenden Abtastlinien bei gleichzeitiger Übertra- ebene einen Radius von
gung hoher räumlicher Frequenzen in der Bildebene r = f-n = 38 10 cm-15 = 57 15 cm
sichergestellt werden. »5 ' ' '
drischcn Linsen zu ersehen, durch die der Lichtstrahl Durchbiegung ist
auf einer der rotierenden reflektierenden Flächen in
einer Dimension abgebildet und anschließend wieder ^L — _i?P'J?)*_ _ H6,6 __ ...
kollimiert wird. Das erste zylindrische Element 20 30 2r 2(57,15) ~ 114,3 ' '
fokussiert den von einer Lichtquelle 21 kommenden
und eine Anordnung 22 zur Vergrößerung des Strahl- wobei y der lineare Abstand in der Zeichnungsebene
querschnittes und einen Modulator 23 durchsetzen- gemessen zwischen 0° und dem maximalen Bildfeld-
den Lichtstrahl auf einer drehbaren reflektierenden winkel ist (beispielsweise entlang der Linie 27,
wird durch die zylindrische Linse 25 wieder kolli- Die durch die Neigung des Hauptstrahles verur-
miert. Die sphärische Linse 26 fokussiert den kolli- sachte vertikale Lichtfleckverschiebung am Rande
mierten Strahl auf der Bildebene 27. Der Strahl wird des Bildfeldes ist:
somit durch das erste zylinderfönnige Element auf
der rotierenden reflektierenden Fläche 24 als zur Ro- 40 1n _ . _
tationsebene parallelliegender Schlitz abgebildet. Das D= u>zmmtan^UJ = 7,9 μπι,
zweite zylindrische Element 25 nimmt diesen Strahl 7,5
auf und kollimiert ihn erneut, um ihn der sphärischen
tierende Fläche wird der auf die sphärische Linse sehen und zylindrischen Brennweiten m ist.
auffallende Strahl außerordentlich unempfindlich in Der Lichtfleck ist über dieses gekrümmte Bildfeld
bezug auf Änderungen des Winkels Φ zwischen der scharf eingestellt, da im vorliegenden Fall für die
lange der Winkel Φ bei der in Fig. 4 dargestellten ° ± Z*<W - ± 2 (6328 μ) (200)« «50 mm,
halb der Apertur der zylindrischen linse verbleibt, / die Brennweite der letzten abbildenden Linse und
wird der Strahl kollimiert and fäBt senkrecht auf die # der Durchmesser des Lichtstrahls im Bereich dei
sphärische Linse. 55 abbildenden linse ist
Die zulässige Winkeltoleranz wird durch die Tat- Bei einer im Verlaufe des an der ablenkenden resache begrenzt, daß der Hacptstrafal nach Verlassen flektierenden Fläche reflektierten Strahles angeordder sphärischen linse mit der optischen Achse einen neten torischen linse ist die Wirkung der Brechkraft-Winkel einschließt und daß diese linse, sofern sie änderung bei einer Änderung des Einfallwinkels fax
racht in geeigneter Weee korrigiert ist, eine Bildfeld- 60 VergJsich zn den Verhältnissen bei einer zylindrikrihnmung aufweist. Ein weiterer toleranzbegrenzen- sehen Linse kleiner. Bei einem zylindrischen Elemeni
der Faktor ist darin begründet, daß bei Drehspiegel- wird die bei senkrechtem Einfall wirksame Brechkrafi
anordnungen die zur Ablenkung erforderliche Win- Pa bei Vergrößerung des Einfallwinkels in der Ab
keldrehung im allgemeinen nicht innerhalb der spie- testebene verändert Bei einem torischen Element trit
gelnden Fläche stattfindet. Das hat zur Folge, daß 65 dieser Effekt entweder überhaupt nicht oder nur it
die reflektierende Fläche sich abwechselnd in und aus geringem Umfang auf.
dem Schärfenbereich bewegt, was eine Defokussie- Werden bei der in Fig. 1 dargestellten Anordnung
rung der endgültigen Abbildung zur Folge hat Diese keine zylindrischen Linsen verwendet, so ist eine To
: iid feld
;iie 27,
;iie 27,
verur-Randc
leranz des von den reflektierten Flächen und der Rotationsachse gebildeten Winkels von 2,4· 10~s Radian
(5 Bogensekunden) zulässig, wenn die vertikale Lichtfleckverschiebung ± 5 % eines 250 μην im
Durchmesser aufweisenden Lichtstrahles nicht überschritten werden soll. Werden zylindrische Linsen
mit einer Brennweite von 50 mm und sphärische Linsen mit einer Brennweite von 38-10 cm verwendet,
so wird die besagte Winkeltoleranz auf 2,9 · 10~8 Radian
(10 Bogenminuten) vergrößert. Eine Winkeltoleranz von 5 Bogenminuten ist leicht zu erreichen und
kann eine Genauigkeit der Lichtfleckbewegung von 5*/o liefern. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung
kann daher die oben beschriebene Toleranz um den Faktor 50 vergrößert werden, so daß die konstruktiven
Schwierigkeiten wesentlich herabgesetzt werden. Es ist auch möglich, die Toleranzen nötigenfalls zwischen
dem Parallelismus der reflektierenden Flächen und dem Lagerspiel der rotierenden Achse bei der
in F i g. 1 dargestellten Anordnung zu verteilen. Bei den heute üblichen Preisen kostet ein Spiegel mit der
niedrigeren der obengenannten Toleranzen Vio eines Spiegels, der die höhere der obengenannten Toleranzen
aufweist.
Bei der in F i g. 1 dargestellten Anordnung wird der Polygonspiegel mit den reflektierenden Flächen 6
durch einen Motor 11 mit konstanter Geschwindigkeit angetrieben. Die Rotationsgeschwindigkeit kann
durch die Wahl eines geeigneten Verhältnisses zwischen den beiden Riemenscheiben eingestellt werden.
Wird eine Anordnung ohne die zylindrischen Linsen 5 und 7 verwendet, so muß die Motorachse ein Teil
der Drehachse des Polygonspiegels sein, um die engen Toleranzen sicherstellen zu können. In diesem Fall
ist es nicht ohne weiteres möglich, die Rotationsgeschwindigkeit des Polygonspiegels gleich einem
Teilvielfachen der Zeilentrequenz, beispielsweise 36OOU.p.M., 1800U.p.M. usw. zu machen, das leicht
einzuhalten wäre. Da eine einfache Möglichkeit zur Einstellung eines gewünschten Verhältnisses der Umdrehungszahlen
des Motors und des Polygonspiegels nicht vorhanden ist, müssen besondere Kraftquellen
oder Steuervorrichtungen zur Aufrechterhaltung der richtigen Umdrehungszahlen zur Verfügung gestellt
werden. Durch Verwendung zylindrischer Linsen ist es jedoch möglich, auf eingebaute Motor- und Umdrehungszahlen-Steuervorrichtungen
zu verzichten, was die Kosten der Vorrichtung zur steuerbaren Ablenkung eines Lichtstrahls noch weiter herabsetzt.
Durch einen in bekannter Weise in der Bildebene
Durch einen in bekannter Weise in der Bildebene
ίο angeordneten Photodetektor 10 kann der Zeitpunkt
festgestellt werden, in dem die Abtastung der Bildebene beginnt. Durch einen dabei abgeleiteten Zeitgeberimpuls
kann die Zufuhr von Daten zum Modulator 3 gesteuert werden. Zur Steuerung der Abtastbewegung
sind eine Reihe von Verfahren bekannt, so daß diese Maßnahmen nicht näher beschrieber
werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann ir besonders vorteilhafter Weise als Laserdrucker verwendet
werden. In diesem Fall enthält die in F i g. 1
ao dargestellte Vorrichtung eine als He-Ne-Laser ausgebildete
Lichtquelle 1, deren Ausgangsstrahl der Modulator 3 durchsetzt. Dieser Modulator kann beispielsweise
mit einem Computer verbunden sein, dei die Belichtung einer die Trommel 9 überziehender
elektrophotographischen Fläche, beispielsweise zui Erzeugung eines matrixförmigen Punktrasters, steuert.
Die aus photoleitfähigem Material bestehend« Trommel 9 enthält durch die Belichtung mit dem Ab
taststrahl ein Ladungsbild, das mit Hilfe eines Toner; sichtbar gemacht und auf einem blattförmigen Auf
zeichnungsträger in an sich bekannter Weise über tragen werden kann.
Durch die Verwendung zylindrischer oder torischei Linsen ist es möglich, bei Verwendung einfacher unc
billiger Spiegelablenksysteme sehr preiswerte Abtast systeme oder optische Drucker herzustellen. Für di(
Zwecke der vorliegenden Erfindung kann eine Viel zahl von an sich bekannten Modulatoren und ein«
Vielzahl von Lichtquellen zur Erzeugung von weißen monochromatischen, kohärenten oder inkohärentei
Licht verwendet werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur steuer-Patentansprüche: baren Ablenkung eines Lichtstrahls mittels bewegter !.Vorrichtung zur steuerbaren Ablenkung reflektierender Flächen, beispielsweise mittels emes eines Lichtstrahls mittels bewegter reflektierender Spiegelrades mit im Lichtweg vor und hinter den abFlächen, beispielsweise eines Spiegelrades, mit 5 lenkenden reflektierenden Flachen angeordneten föhn Lichtweg vor und hinter den ablenkenden kussierenden Elementen.reflektierenden Flächen angeordneten fokussie- In der Technik der_ Datenübertragung und Datenrenden Elementen, gekennzeichnet verarbeitung ist es in vielen Fallen erforderlich, d u r c h ein den ablenkenden reflektierenden Flä- einen Lichtstrahl steuerbar über eine abzutastende chen (6) vorgeschaltetes, zwei Achsen (Haupt- i» Fläche entlang einzelner Linien oder m Form emes und Nebenachse) mit voneinander verschiedenen aus einer Vielzahl von nebeneinanderlegenden Zeilen Brechkräften aufweisendes, den abzulenkenden bestehenden Fernsehrasters abzulenken. Diese Strahl-Strahl jeweils auf eine ablenkende reflektierende ablenkung kann beispielsweise zur Aufnahme und Fläche (6) oder auf eine in der Mittellage dieser Wiedergabe von Fernsehbildern, zur Abtastung von Fläche liegende gedachte Ebene als gestreckten 15 Belegen bei automatisclien Lesemaschmen oder zum Brennfleck fokussierendes Element (5), durch ein Ein- und Auslesen von optischen Speichern erforderden ablenkenden reflektierenden Flächen nach- lieh sein. In der Frühzeit der Fernsehtechmk erfolgte geschaltetes, zwei Achsen mit voneinander ver- die Erzeugung eines Fernsehrasters über sogenannte schiedenen Brechkräften aufweisendes und den Nipkow-Scheiben oder Spiegelrader, wie sie beispielsabgelenkten Strahl kollidierendes zweites fokus- ao weise im Handbuch der Bildtelegraphie und des Fernsierendes Element (7), wobei die auf die reflek- sehens von Fritz Schröder, Verlag von Julius tierende Fläche auftreffenden und von ihr reflek- Springer, 1932, S. 29, 31 und 45, beschrieben werden, tierten Strahlen in der durch die Reflexionsnor- In den deutschen Patentschriften 569 574 und 726 185 malen der reflektierenden Flächen beschriebenen wird ein Fernsehempfänger mit konstanter Licht-Ebene liegen, und durch ein im Strahlengang 35 quelle, Ke:rzelle, Kreislochscheibe und schwingenhinter dem zweiten zweiachsigen fokussierenden dem oder rotierendem Spiegelsystem zum Bildaufbau Element (7) angeordnetes weiteres optisches EIe- bzw. eine Vorrichtung zum punktweisen Abtasten ment (8) zur Fokussierung des abgelenkten Strahls von bewegten Filmen und Gegenständen, bei welcher auf einer abzutastenden Fläche (9). die Zerlegung durch eine mit schmalen Schlitzen ver-
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- 30 sehene rotierende Scheibe und einem Spiegelrad erkennzeichnet, daß das zwei Achsen mit vonein- folgt, beschrieben. In beide» Fällen werden Zylinderander verschiedenen Brechkräften aufweisende linsen vorgeschlagen, die zur Anpassung der Form erste optische Element (5) und/oder das zwei des Lichtstrahls an die Nipkow- oder Schlitzscheiben Achsen mit voneinander verschiedenen Brech- bzw. an die Kerrzellen dienen. Weitere rotierende kräften aufweisende zweite opiische Element (7) 35 Spiegelsysteme werden in den USA.-Patentschriften als zylindrische Linse ausgebildet ist. 2 692 370, 2 976 361 und 3 345 120 beschrieben. Eine
- 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- weitere Anordnung mit einem rotierenden Spiegelkennzeichnet, daß das zwei Achsen mit vonein- system wird in der Literaturstelle »Television«, vom ander verschiedenen Brechkräften aufweisende . V. K. Z ν, ο r y k i η, Wiley & Sons, 2. Auflage, New erste optische Element (S) und/oder das zwei 40 York, 1940, 1954, S. 277, beschrieben. Aus keiner Achsen mit voneinander verschiedenen Brech- dieser Literaturstellen ist zu entnehmen, da der abkräften aufweisende zweite optische Element (7) zulenkende Lichtstrahl durch eine Zylinderlinse auf als torische Linse ausgebildet ist. die Fläche eines rotierenden Spiegels fokussiert wird.
- 4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Die Genauigkeit der Verschiebung des Lichtstrahls in Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß 45 Richtung der und senkrecht zu den einzelnen Abtastdas den abgelenkten Strahl auf die abzutastende zeilen wird durch die Toleranzen der verwendeten Fläche (9) fokussierende sammelnde optische EIe- Spiegelräder bestimmt. Hochpräzise Spiegelräder ment (8) als sphärische Linse ausgebildet ist. sind sehr teuer, da für hohe Anforderungen die zu-
- 5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der lässigen Abweichungen des Winkels zwischen der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch eine im 50 Rotationsachse und der Fläche der einzelnen Spiegel Verlaufe des abzulenkenden Strahles angeordnete in der Größenordnung von 2,4 · 10~5 Radian (5 Bo-Anordnung (3) zur Intensitätsmodulation. gensekunden) liegen. Mit derartig genauen Spiegel-
- 6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der rädern ist es möglich, die Abweichungen eines beAnsprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß wegten Strahls senkrecht zur Abtastrichtung etwa in die abzutastende Fläche (9) aus einer lichtemp- 55 der Größenordnung von 5 °/o zu halten, findlichen Schicht besteht. In der DT-AS 1 154 656 wird eine photoelektrische
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