DE2050720B2 - Elektrisch und optisch setzbares speicherelement - Google Patents

Elektrisch und optisch setzbares speicherelement

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DE2050720B2 DE19702050720 DE2050720A DE2050720B2 DE 2050720 B2 DE2050720 B2 DE 2050720B2 DE 19702050720 DE19702050720 DE 19702050720 DE 2050720 A DE2050720 A DE 2050720A DE 2050720 B2 DE2050720 B2 DE 2050720B2
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektrisch und optisch setzbarcs Speicherelement mit einer Speicherzelle, die zwei über Kreuz gekoppelte Transistoren enthält, welche über je ein Lastimpedanzci-.'ment mit einer Spannungsquellc verbunden sind stören 7", bzw. 7'.,. Die Transistoren T.. und TA sind über einen Schalter 6 mit dem negalisen Pol —V einer Spannungsvolle verbunden, deren anderer Pol an einem Bezugspotentialpunkt (Masse) liegt.
Die Transistoren T1 bis T1 sind MOS-FeldeiTekliransistore". (MOS — Meia!!-Oxvd-Ha!b!ei!e!). Jeder dieser Transistoren hat, wie für den Transistor 7\, gezeigt, eine Quellenelektrode 7, eine Abflußclektrocie 8 und ein Gitter (Steuerelektrode 9). Die Schaltung mit den Transistoren T1 bis T4 ist eine bistabile Kippschaltung oder ein Flipflop bekannter Art.
Das Flipflop ist als Speicherzelle in einer Anordnung oder Matrix von solchen Speicherzellen geschaltet, wobei Einrichtungen zum elektrischen Einspeichern oder Einschreiben eines Informationsbits in die Speicherzelle sowie zum Auslesen des Inforrnationsbits aus der Speicherzelle vorgesehen sind. Die Ansteucrcinrichtimg enthält eine mit einer Bitspaltenleitung dn verbundene Bitansteuer- und Lese-
schaltung Dn und eine mit einer Bitspaltenleitung (I1 verbundene Bitansteuer- und Leseschaltung D1 sowie einen mit einer Wortzeilenleiuing w0 verbundenen Worttreiber Wu und einen mit einer Wortzeilenleitung w, verbundenen Worttreiber (F1,
Die Bitleitung </0 ist über einen Schleusentransistor 7- mit dem Abfluß (.Ausgang) Ii) des Transistors T1 sowie mit dem Gitter l) des Transistors T., verbunden. Der Schleusentransistor T, wird durch ein seinem (utter über die Wcrtleitung n>0 zugeleiteten Signal aufgetastet. Die Bitleitung rf, ist über einen Schleusentransistor T6 an aen Abfluß (Ausgang) 11 des Transistors 7\, sowie an das Gitter des Transistors T1 angekoppelt. Der Schlcusemransistor T1. wird durch ein Signal aus der Wortleitung If1 aufgetastet.
Die Schaltung nach F i g. 1 enthält ferner eine jni-Photodiode I). die mit ihrer Anode an den Abfluß 1(1 des Transistors V1 sowie über die eine ÜberkreuzkoppelleiHmg mit dem Cutter l) des 'r'ransi";tors 7'., \erblinden und mit ihrer Kathode 14 an Masse, gebildet durch das Siliciumsubstrat des Transistors 7",, liegt. Bei Aufbau der Schaltung in integrierter Form kann das Siliciumsubstrat auch den Transistoren 7'., bis V1. gemeinsam sein.
F i g. 3 und 4 zeigen eine mögliche räumliche Auslülmmgsfonn des elektrisch und optisch setzbaren Speicherelements nach Fig. 1. Die Schaltung ist auf einem η-leitenden Siliciumsubstrat 20 aufgebaut, in welchem Gebiete aus ρ : -Silicium ausgebildet sind, die als Quellen- und Abflußelemente der Transistoren dienen. Die ρ----Gebiete und die dazwischen befindlichen Gebiete sind mit einer Schicht aus SiIiciumdioxyd (SiO.,). die einen elektrischen Isolator bildet, bedeckt, über den Gebieten zwischen den jeweiligen Quellen und Abflüssen sind leitende Gitterelektrode η angebracht. Auf der Siliciumdioxydschicht angebrachte elektrische Leiter kontaktieren durch ÖITnungen in der Siliciumdioxydschicht die darunter befindlichen ρ :- -Gebiete.
Die in F i g. 1 gezeigten Transistoren T1 bis T0 sind in F i g. 3 mit den gleichen Bezeichnungen T1 bis V1. versehen. Der Transistor Tx hat. wie man in F i g. 3 und 4 sieht, eine ρ 4--leitende Quelle 21 im Abstand von einem ρ 4- -leitenden Abfluß 22. Eine dünne Siliciumdioxvdschicht auf dem Flächenbereich zwischen Quelle 2! und AbIIuIJ 22 bildet ein Isoliergebiet, über welchem eine leitende Gitterelektrode 11' angebracht ist. Die Bitleiter d0 und U1 sind auf der Oberseite der Siliciumdioxydschicht angebracht. Ein Masseleiler G auf der Siliciumdioxydschicht kontaktiert mit einem die Siliciumdioxydschicht durchsetzenden Kontaktbereich 24 das die Quelle 21 des Transistors T1 bildende p4-\1aterial. Die Konstruktion des Lastimpedanz-T: 'sistors '/"., ist cberua!ls sowohl in F i g. 3 als auch ir, F i g. 4 gezeigt.
Der Abfluß 22 des Transistors T1 ist in F i g. 3 und 4 als aus ρ 4--Material bestehend dargestellt, das sich längs des η-leitenden Substrats 20 bis zu einer verhältnismäßig großen quadratischen Fläche 22' erstreckt. Das ρ----Material der Fläche 22' bildet die Anode 13 der Photodiode D in Fig. 1. Das n-leitenc.c Material 20 bildet die Kathode 14 der Photodiode D in Fig. 1. Die große Fläche des p-f-Materials 22' ist d"rch eine Öffnung 24 in der Siliciumdioxydschicht sichtbar. Das Material 22' ist. wie in F i g. 4 gezeigt, nicht mit Siliciumdioxyd bedeckt. Gcwünschtenfalls kann man jedoch zum Zwecke der Passivierung und der wirksameren Lichtüberiragung die Fläche 22' mit einer dünnen Schicht aus. Siliciumdioxyd, deren Dicke ungefähr gleich ' Ί der Wellenlänge des Lichtsignals L ist, bedecken, so daß die Reflexionen des Lichtsignal an der Oberfläche des Siliciums minimalisiert werden.
Die Bodenfläche des n-Siliciumsubstrats 20 κι.·ηη
mit eiiiei dünnen η 4--Schicht 26 versehen sein, aiii der eine metallische Grund- oder Masseschicht 28 angebracht ist. Die metallische Masseschicht 28 ist
ίο durch eine äußere Drahtverbindung 29 mit dem Masseleiter G auf der Oberseite der integrierten Schaltung verbunden. Da der Aufbau integrierter
MOS-Schaltungen allgemein bekannt ist, braucht die in Fi g. 3 und 4 gezeigte Anordnung hier nicht weiter erläutert zu werden.
Es soll jetzt an Hand der Signalverläufe nach F i g. ?. die Arbeitsweise der Schaltung nach F > g. 1 erläutert werden. Es sei ang· "ommen. daß das HipHop zum Zeitpunkt t„ sich im gesetzten Zustand bei leitendem Transistor T1 und gesperrtem Transistor I1 befindet. Da die Schaltung auf ein optisches Eingangssignal (Lichtsignal) nur dann anspricht, w.nn da., Flipflop sich im rückgesetzten Zustand befindet, muß das Flipflop routinemäßig vor Anlegen eines Lichtsignals elektrisch rückgesetzt werden. Dies erfolgt zum Zeitpunkt I1 durch Beaufschlagen der Buleilung du mit einem negativen Impuls (F i g. 2 c) und gleichzeitiges Beaufschlagen der Worüeiuing ir„ mit einem negativen Impuls (Fig. 2b). so daß der Schleusentransistor T. aufgetastet wird. Der den Schleusentransistor Tr> durchlaufende negative Impuls gelangt zum Abfluß 10 des Transistors T1 und zum Gilter 9 des Transistors T.,. Dadurch wird der Transistor 7'., leitend und, durch Rückkopplung /wischen den über Kreuz gekoppelten Trarsisto-en. der Transistor T1 nichtleitend. Das Flipflop befindet sich sodann im rückgesetzten Zustand, wobei am Ablluß 10 des Transistors T1 und an der Photodiode D die Spannung - ν liegt. Die Geschwindigkeit des Rücksetzens wird dadurch erhöht, daß gleichzeitig das Signal 2(Y der Wortleitung n·, und das Signal Ic der Bitleitung dx zugeleitet werden. Die Photodiode wird jetzt auf die Spannung ν aufgeladen.
Um die Schaltung lichtempfindlich, d. h. ansprechbereit für Licht zu machen, muß die Photodiode D isoliert werden, damit verhindert wird, daß sie durch Strom von irgendeiner Quelle im aufgeladenen Zustand gehalten wird. Nach dem Zeitpunkt ;., wird aus der Bitlcitung <·/„ über den Schleusentransistor V. kein Strom mehr angeliefert, und die Photodiode D kann mit Hilfe des Schalters 6, der die Vorspannung V (Fig. 2a) abschaltet, zu einem Zeitpunkt vor dem Zeitpunkt /.„ zu welchem Eingangslicht empfangen werden kann, isoliert werden. Damit der Transistor T., au! eine Spannimgsänderung an seinem Gitter ansprechen kann, wird die Bitlcitung dx zum Zeitpunkt ?„ mit eine Spannung — ν (F i g. 2e) beaufschlagt, die durch den Schlcusemransistor 'I1. (der bereits durch ein Signal aus der Wortleitimg wv Fig. 2d, abgetastet ist) zum Abfluß 11 des Transistors 7'., gelangt. Dadurch wird effektiv der Transistor Tx als Laslimpedanz für den Transistor T., durch den Schleusentransistor T1. ersetzt. Gemäß einer alternativen Betriebsweise kann auch der Schalter 6 geschlossen bleiben und statt dessen der Schalter 6' geöffnet werden.
Wenn während des Intervalls zwischen /., und /, kein Einiianiislichisisnal auf die Photodiode D ein-
fällt, wird die Ladung der Photodiode nur geringfügig durch Ableitung verringert, wie durch die gestrichelte LinielS in Fig. 2f angedeutet. Zum Zeitpunkt f4, wenn die Vorspannung — V wiederhergestellt wird, bleibt dann das Flipflop im rückgesetzten Zustand.
Wenn dagegen nach dem Zeitpunkt f., ein Eingangslichtsignal auf die Photodiode D auftrifft, wird die Photodiode leitend gemacht und ihre Ladung abgebaut, wie durch die Linie 16 in Fig. 2f angedeutet. Diese Spannung wird auf das Gitter des Transistors T1, gekoppelt, dessen Leitvermögen durch die entsprechende Spannungsverringerung erniedrigt wird, bis zum Zeitpunkt f., die Schwellenspannung von Tx erreicht ist. Dann wird durch Rückkopplungswirkung der Transistor T1 leitend gemacht, und das FlipRop befindet sich im gesetzten Zustand. Der gesetzte Zustand des Flipflops wird durch Wiederherstellen der Vorspannung — V zum Zeitpunkt J4 vor Entfernen der Spannung — V von der Bitleitung d, (Fig. 2e) und von der Wortleitung W1 (Fig. 2d) zum Zeitpunkt f. erhalten.
Statt MOS-Feldeffekttransistoren mit p-Kanal kann ίο man auch MOS-Feldeffekttransistoren mit n-Kanal oder komplementäre MOS-Feldeffekttransistoren verwenden. Ferner kann man die Schaltung sowohl auf einem Siliciumsubstrat als auch nach der Silicium auf-Saphir-Tcchnik ausbilden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Patentansprüche:
1. Elektrisch und optisch setzbares Speicherelement mit einer Speicherzelle, die zwt; über Kreuz gekoppelte Transistoren enthält, welche über je ein Lastimpedanzelement mit einer Spannungsuuelle verbunden sind und je zwei Hauptelektroden sowie eine Steuerelektrode aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß eine Photodiode (D) mit ihrer einen Elektrode an die Steuerelektrode (9) des zweiten Transistors (T.,) und mit ihrer anderen Elektrode an einen Bezugspotentiaipunk; (Masse) angeschlossen ist und daß diese Photodiode in Sperrichtung vorgespannt und auf im wesentlichen das Potential der Spannungsquelle (- V) aufgeladen wird, wenn der erste Transis.v r (T1) im wesentlichen nicht leitend und der zweite Transistor ('/".,) leitend ist.
2. Speicherelement nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherzelle aus gitterisolierten Feldeffekttransistoren mit AbIIuB- und Quellenelektrode als Hauptelektroden und Gitter als Steuerelektrode aufgebaut rt.
3. Speicherelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Transistoren je eine Quelle und einen Abfluß gegebenen Leitungstyps auf einem Substrat eines anderen Leitungstyps aufweisen und daß die eine Elektrode der Photodiode VD) di.ch eine Verlängerung des Abflusses (HP) des ersten Transistors (T1) gebildet wird.
4. Speicherelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3. gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Unterbrechen der Verbindung der Spannungsquelle mit dem ersten Transistor (T1) und der Photodiode (D). derari, daß auf die Photodiode einfallende Lichtenergie bewirkt, daß die Speicherzelle gesetzt wird.
5. Speicherelement nach Anspruch 4. gekennzeichnet durch eine Anordnung zum Wiederherstellen der Verbindung der Spannungsquelle mit dem ersten Transistor und der Photodiode, derari. daß der bestehende elektrische Zustand der Speicherzelle erhalten bleibt.
(S. Speicherelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß außerdem ein Schleusentransistor (T.) vorgesehen ist. der im aufgetasteten Zustand die Photodiode (D) mit einem Sperrspannungsimpuls beaufschlagt, derart, daß an der Photodiode eine Ladung hergestellt wird: und daß mindestens während eines anschließenden Zeitintervalls, wenn die Photodiode für ein Eingangslichtsignal emplangsbercit ist, die Anwesenheit eines Eingangsliclusi^nals eine Entladung der Photodiode unter Abgabe eines Eingangssign'.'s an die Speicherzelle bewirkt.
7. Speicherelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherzelle eine bistabile Kippschaltung ist.
und je zwei Hauptelektroden sowie eine Steuerelektrode aufweisen.
Datenverarbeitungsanlagen und Einrichtungen zur Informationsverarbeitung enthalten häufig Register
und Speicherwerke, die für die Speicherung von binären Ihformationsbits jeweils eine entsprechende Anzahl von bistabilen Halbleiierkippsc-ialiungLn oder Flipflops aufweisen. Die Register und Speicherwerke sind zum Einspeichern, und Auslesen der
ίο Binärinformation elektrisch anstei.erbar. Es besteht jedoch ein wachsende·; Interesse an Datenverarbeiiungs- und Rechenanlagen mit Bauelementen oder baugruppen, in welchen die Binärinformation durch optische oder Lichtsignale anstatt durch elektrische
Signale dargestellt wird. In diesem Falle ist es dann wünschenswert, die Lichtsignale in entsprechende elektrische Signale umzusetzen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Speicherelement zu schallen, das diesen Erfordernissen genügt.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe durch ein Speicherelement der eingangs genannten Art gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist. daß eine Photodiode mit ihrer ein^n Elektrode an die Steuerelektrode des zweiten Transistors und mit ihrer anderen Elektrode an einen Bezugspotentialpunkt angeschlossen ist und daß dies»? Photodiode in Sperrichtung vorgespannt und auf im wesentlichen das Potential der Spannungsquelle aufgeladen wird, wenn der erste Transistor im wesentlichen nicht leitend und der zweite Transistor leitend ist.
Der Eriindungsgedanke wird im folgenden an Hand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 das Schaltschema e;nes elektrisch und optisch setzbaren Flipflops gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,
F i g. 2 ein Diacramm, das verschiedene Spannungsverläufe, die im Betrieb der Schaltung nach Fig.] auftreten, wiedergibt,
F i g. 3 den Grundriß einer integrierten Schaltungsausführung der Schaltung nach F i g. 1 und
F i g. 4 einen Schnitt entlang der Schnittlinie 4-4 in Fi g. 3.
in F i g. 1 ist eine elektrisch und opiisch setzbare bistabile Kippstufe oder Flipflopstufe gezeigt. Der Fiipflopteil der Schaltung enthält die über Kreuz gekoppelten Transistoren Tx und 7., sowie die Lastimpedanz-Transistoren T.t und
T1 für die
: ransi-
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