DE20221476U1

DE20221476U1 - Optisches Präzisionsmessgerät

Info

Publication number: DE20221476U1
Application number: DE20221476U
Authority: DE
Original assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Priority date: 2001-04-18
Filing date: 2002-04-05
Publication date: 2006-02-23
Anticipated expiration: 2012-04-06

Abstract

Optisches Präzisionsmessgerät umfassend wenigstens eine Bildaufnahmevorrichtung (5) und eine zugeordnete Bildverarbeitungsvorrichtung (9), die zur Optimierung der Zielgrößen eines Messablaufs aus Bildinformationen (11) eines zu vermessenden Werkstückes (7) Hilfsparameter gewinnt und aus diesen Hilfsparametern Steuerinformationen für Einflussgrößen dieser Zielgrößen abgeleitet, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerinformationen in der Bildverarbeitungsvorrichtung wie folgt abgeleitet werden:
– Bestimmung der Verläufe der Hilfsparameter in Abhängigkeit von wenigstens einer Einflussgröße, wobei die Verläufe der Hilfsparameter so bestimmt werden, dass die Verläufe ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße besitzen
– Bestimmung eines Gesamtverlaufes der Hilfsparameter in Abhängigkeit von der Einflussgröße durch gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter
– Bestimmung eines Extremums des Gesamtverlaufes der Hilfsparameter
– Ermittlung des zugehörigen Wertes der Einflussgröße am Ort des bestimmten Extremums als Steuerinformation für die Einflussgröße

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Präzisionsmessgerät bei dem ein Verfahren zur Optimierung der Zielgrößen für die optische Präzisionsmesstechnik durch Gewinnung von Hilfsparametern aus den Bildinformationen und Ableitung von Steuerinformationen für die Einflussgrößen eingesetzt wird.
Derartige Verfahren werden heute bereits in der Präzisionsmesstechnik an nachfolgend beschriebenen optischen Messverfahren eingesetzt. Beispielsweise werden in der Präzisionsmesstechnik Videokameras mit einem eindimensionalem CCD-Chip oder einem zweidimensionalem CCD-Chip verwendet, über die ein zu vermessendes Werkstück oder Teile davon aufgenommen werden können. Wenn die Videokamera relativ zu dem zu vermessenden Werkstück in einer oder mehreren Dimensionen beweglich gelagert ist, beispielsweise wenn die Videokamera als Sensor in einem Koordinatenmessgerät eingesetzt wird, können auch mehrere unterschiedliche Ausschnitte des zu vermessenden Werkstückes aufgenommen werden und dann geometrisch in Relation zueinander gebracht werden. Aus den Grauwertdifferenzen des aufgenommenen Bildes, die an den Kanten eines zu vermessenden Werkstückes entstehen, kann dann die Lage der Kante ermittelt werden. Hierüber kann in zwei Dimensionen das Werkstück oder einzelne Merkmale hiervon, wie beispielsweise Bohrungen, vermessen werden.
Die Bestimmung der Kante aus den Grauwerten ist jedoch insbesondere dann nicht ohne weiteres möglich, wenn das zu vermessende Werkstück mit Auflicht beleuchtet wird. Für eine eindeutige Bestimmung der Kante sollte die Werkstückoberfläche nämlich eine gleichmäßige Helligkeit aufweisen. Tatsächlich jedoch hebt die Beleuchtung mit Auflicht die Strukturen auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes hervor, so dass keine symmetrischen Intensitätsverläufe entstehen. Damit müssen bei der Bildauswertung Hilfsparameter gewonnen werden, die als sogenannte Kantenortskriterien bezeichnet werden, anhand derer eine Kante als gegeben festgestellt wird. Ein solches Kantenortskriterium ist beispielsweise ein sogenanntes differentielles Kantenortskriterium, das eine Kante dann als gegeben feststellt, wenn die Grauwertdifferenzen nebeneinanderliegender Bildpunkte eine maximale Änderung aufweisen. Ein anderes Kantenortskriterium ist das sogenannte Schwellwertkriterium, das eine Kante dann als gegeben feststellt, wenn sich die Grauwerte eines Bildelementes in einem vorgegebenen Bereich befinden.
Sollen nicht nur zweidimensionale Merkmale, wie beispielsweise die Außenabmessungen einer Leiterplatte, bestimmt werden, sondern eine vollständige Geometriebestimmung in allen drei Dimensionen vorgenommen werden, so ist neben der lateralen zweidimensionalen Bildinformation die Raumzuordnung über die Abstandsinformation zwischen der Videokamera und der Werkstückoberfläche notwendig. Diese Abstandsinformation der Werkstückoberfläche zur Videokamera kann mit Hilfe von Fokusverfahren gewonnen werden. Hierzu muss jedoch der Fokus der Videokamera automatisiert auf die Werkstückoberfläche eingestellt werden. Hierzu sind unterschiedliche sogenannte Fokuskriterien bekannt. Ein derartiges Kriterium ist beispielsweise der Kontrast des durch die Videokamera aufgenommenen Bildes. Wenn dieser Maximal ist, wird angenommen, dass sich die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes im Fokus befindet. Andere Kriterien sind beispielsweise die Grauwertdifferenzen zwischen unterschiedlichen Bildelementen oder der Mittelwert aller Graubildwerte oder die Standardabweichung der Graubildwerte.
Es ist also Ziel in den angegebenen Messverfahren, die Lage der Kante und/oder den Abstand der Werkstückoberfläche zur Videokamera so exakt wie möglich zu bestimmen, um das Werkstück so genau wie möglich vermessen zu können. Damit müssen also die Zielgrößen 2D-Strukturort und/oder Fokusort optimiert werden. Diese Zielgrößen variieren jedoch mit unterschiedlichen Einflussgrößen. Einflussgrößen, die auf die Zielgröße 2D-Struktorort einwirken, sind beispielsweise die Helligkeit, die Wellenlänge oder die Lage einer Beleuchtung, die ein zu vermessendes Werkstück beleuchtet. Besonders schwierig gestaltet sich dies insbesondere, wenn mehre unterschiedliche Beleuchtungen vorhanden sind.
Eine andere Einflussgröße, die auf die Zielgröße 2D-Strukturort einwirkt ist das Kantenortskriterium. Eine Einflussgröße, die auf den Fokusort einwirkt, ist beispielsweise die Wahl eines geeigneten Fokuskriteriums.
In der Vergangenheit wurden die Steuerinformationen für die Einflussgrößen, also z.B. die Steuerinformation für die unterschiedlichen Helligkeiten mehrerer Beleuchtungen, die Wahl eines geeigneten Kantenortskriteriums oder die Wahl eines geeigneten Fokuskriteriums vom Programmierer des Messablaufes subjektiv aus den Videobildern der Videokamera abgeleitet. Der Programmierer des Messablaufes hat hierbei auf Basis eines Videobildes der Kamera, das von einem Monitor wiedergegeben wurde, die Beleuchtungen so verstellt und/oder ein Fokuskriterium und/oder ein Kantenortskriterium derart ausgewählt, dass seiner subjektiven Einschätzung nach eine optimale Vermessung des betreffenden Kantenortes möglich schien.
Mit anderen Worten besteht bei solchen optischen Inspektionssytemen und Koordinatenmessgeräten für den Bediener die Aufgabe, die Beleuchtungsverhältnisse unter Berücksichtigung der optischen Eigenschaften des Messobjektes derart anzupassen, dass eine Fokussierung und Gewinnung von Antastpunkten (Geometrieantastung) mit höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit möglich ist. Dazu ist durch den Bediener eine Auswahl des Fokuskriteriums sowie des Antastverfahrens (Kantenortskriterium) zur Ermittlung des Strukturortes entsprechend den Eigenschaften des Messobjektes und den Beleuchtungsverhältnisse erforderlich. Die Qualität der ermittelten Ergebnisse hängt demzufolge von der Erfahrung des Messtechnikers ab.
Nachteilig an dieser herkömmlichen Vorgehensweise ist hierbei, dass die Einstellung der Einflussgrößen alleine an die Fähigkeiten des Programmierers gekoppelt ist und insbesondere optimale Wahl der Einflußgrößen praktisch nicht möglich war.
Die EP 0 566 307 A2 zeigt eine automatische Fokusregelung, bei der nur ein einziges Fokuskriterium verwendet wird, nämlich die mittlere Helligkeit des Bildes, die im Fokus maximal wird. Um festzustellen, in welche Richtung die Linse bewegt werden muss, um sich in Richtung Fokus zu bewegen, wird die mittlere Helligkeit in mehreren unterschiedlichen Frequenzbändern bestimmt. Die Helligkeitsmesswerte der unterschiedlichen Frequenzbänder zweier benachbarter Stellungen der Linse werden dann mathematisch so weiterverarbeitet, dass die Richtung ermittelt werden kann, in die die Linse bewegt werden muss, um in den Fokus zu gelangen.
Das Dokument EP 0 606 018 A1 zeigt eine Vorrichtung zur automatischen Einstellung des Fokus einer Videokamera. Hierin wird ebenfalls nur ein Fokuskriterium „Kontrast" aus den Bilddaten abgeleitet, wobei der Verlauf dieses Fokuskriteriums einmal in horizontaler Bildrichtung ermittelt wird und zum anderen in vertikaler Bildrichtung ermittelt wird. Die beiden Verläufe des Fokuskriteriums werden separat daraufhin ausgewertet, an welcher Linsenposition diese maximal werden. Die Ergebnisse werden an einen sogenannten Lens Controller gegeben, der die Position der Objektivlinsen verstellen kann. Führt eines der Verläufe zu keinem brauchbaren Ergebnis, wird der Fokus nur auf Basis des anderen Verlaufes vom Lens Controller eingestellt. Führen hingegen beide Verläufe zu einem Ergebnis, so wird der Fokus auf Basis eines der beiden Verläufe eingestellt.
Im Patent DE 34 20 359 C2 ist eine Lichtregelung für ein Bildlesegerät (Scanner) beschrieben. Diese beruht auf der Auswertung des digitalen Bildes, bei dem gleichzeitig eine Abschattungkorrektur vorgenommen wird. Die hierin beschriebene Regelung ist aufgrund der völlig anderen Anforderungen, die bei der Vermessung eines Strukturortes in der optischen Präzisionsmesstechnik notwendig sind, nicht brauchbar.
Die EP 0 016 122 A1 beschreibt eine automatische Belichtungsregelung für eine Fernsehkamera, bei der die in die Videokamera einfallende Lichtmenge durch pulsförmiges öffnen und schließen eines Shutters geregelt wird. Auch die hierin beschriebene Belichtungsregelung ist aufgrund der völlig anderen Anforderungen, die bei der Vermessung eines Strukturortes in der optischen Präzisionsmesstechnik notwendig sind, nicht brauchbar.
Des weiteren wurde am 5. Oktober 2001 die Dissertationsschrift mit dem Titel Beleuchtungs- und Fokusregelungen für die objektivierte optische Präzisionsantastung in der Koordinatenmessung – Edition Wissenschaft, Unterbereich Maschinenbau, von Uwe Nehse, Tectum Verlag Marburg, 2001, ISBN 3-8288-1207-4 nachveröffentlicht, in der wesentliche Bestandteile der Erfindung veröffentlicht sind.
Hiervon ausgehend liegt unserer Erfindung die Aufgabe zugrunde ein Verfahren für ein optisches Präzisionsmessgerät anzugeben, mit dem besonders vorteilhaft automatisiert Steuerinformationen für die Einflussgrößen erzeugt werden können.
Die Aufgabe wird durch ein optisches Präzisionsmessgerät gemäß den Merkmalen des unabhängigen Anspruches 1 gelöst.
Die Besonderheit der Erfindung ist hierbei darin zu sehen, wie die Steuerinformationen für die Einflussgrößen abgeleitet werden.
Zur Bestimmung der Steuerinformationen werden zunächst Verläufe der Hilfsparameter in Abhängigkeit von einer oder mehreren Einflussgrößen bestimmt. Die Verläufe der Hilfsparameter werden hierbei so bestimmt, dass die Verläufe ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße besitzen, das heißt also, dass entweder alle Verläufe im Optimum ein Maximum aufweisen oder alle Verläufe im Optimum ein Minimum aufweisen. Soweit dies bei einzelnen Hilfsparametern nicht unmittelbar möglich ist, kann ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße durch Differenzbildung eines ermittelten Wertes mit einem Vorgabewert erfolgen.
Es soll an dieser Stelle ausdrücklich darauf hingewiesen werden, dass es sich hierbei um die Verläufe wenigstens zweier unterschiedlicher Hilfsparameter handelt, die nach unterschiedlichen Verfahren ermittelt werden, also beispielsweise Kontrast, Homogenität, mittlere Helligkeit und/oder Anstieg. Nicht gemeint sind hingegen unterschiedliche Verläufe gleicher Hilfsparameter, die beispielsweise für unterschiedliche Bildbereiche oder unterschiedliche Frequenzbänder ermittelt werden, wie dies EP 0 606 018 A1 oder EP 0 566 307 A2 zeigen.
In einem nächsten Schritt wird der Gesamtverlauf der Hilfsparameter in Abhängigkeit von der Einflussgröße bzw. der Einflussgrößen durch gewichtete Summation der einzelnen Verläufe der Hilfsparameter bestimmt.
Danach wird ein Extremum, also ein Maximum oder ein Minimum des Gesamtverlaufes der Hilfsparameter bestimmt.
In einem letzten Schritt wird der zugehörige Wert der Einflussgröße am Ort des bestimmten Extremums als Steuerinformation für die Einflussgröße bestimmt. Diese Steuerinformation definiert, wie die Einflussgröße eingestellt werden soll.
Die Wichtungsfaktoren für die gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter können unterschiedlich gewählt und prinzipiell experimentell ermittelt werden. Besonders vorteilhaft werden diese jedoch so gewählt, dass eine Normierung aller Hilfsparameter erfolgt. Hierdurch kann weitgehend sichergestellt werden, dass der Verlauf jedes Hilfsparameters zum Ergebnis beiträgt.
Durch die Ableitung des Verlaufes der Hilfsparameter aus Bildpunkten, die beidseitig vom Strukturübergang angeordnet sind, lassen sich besonders gut auswertbare Verläufe der Hilfsparameter erzielen. Vorteilhaft ist die Anzahl der ausgewerteten Bildpunkte auf der einen Seite des Strukturübergangs gleich oder nahezu gleich der Anzahl der auf der anderen Seite des Strukturübergangs ausgewerteten Bildpunkte.
Um die Anzahl der auszuwertenden Bildpunkte und damit die Auswertezeit zu reduzieren, können die auszuwertenden Bildpunkte auf einer oder mehreren Auswertelinien liegen, die sich beidseits des Strukturübergangs erstreckt. Obwohl dies nicht zwingend erforderlich ist, stehen die Auswertelinien dennoch vorteilhaft im wesentlichen lotrecht zum Strukturübergang.
Die Bildinformation, anhand derer die Hilfsparameter bestimmt werden, wird üblicherweise unmittelbar von der Bildaufnahmevorrichtung zur Vermessung des Werkstückes, also in aller Regel von einer Videokamera bereitgestellt. Alternativ kann die Ermittlung der Hilfsparameter, insbesondere für Einflussgrößen der Beleuchtung, vorteilhaft auch aus simulierten Bildinformationen erfolgen, die mit Beleuchtungsmodellen der Computergrafik erzeugt werden.
Besonders vorteilhaft betrifft wenigstens eine der Einflussgrößen die Beleuchtung, da gerade hierfür, anders als bei der Regelung des Fokusorts, bislang überhaupt keine brauchbaren Hilfsparameter zur Verfügung standen, mit denen eine optimale Einstellung der Beleuchtungen in der optischen Präzisionsmesstechnik möglich gewesen wäre. Die Ermittlung eines Parametersatzes der Reflektions- und Transmissionseigenschaften, der auch als bidirektionale Reflektanzfunktion bezeichnet wird, ermöglicht besonders Vorteilhaft die Bestimmung des Verlaufes von geeigneten Hilfsparametern.
Als wichtige Einflußgrösse der Beleuchtung, für die Steuerparameter abgeleitet werden können, ist die Helligkeit der Beleuchtungen zu nennen. Als weitere Einflussgrößen sind die Wellenlänge zu nennen, mit der die Beleuchtungen das Werkstück beleuchten und der Ort, von dem aus die Beleuchtungen das Werkstück beleuchten.
Für die Bestimmung des Verlaufes der Hilfsparameter, aus denen ein Steuerparameter für die Einflussgröße für die Beleuchtung abgeleitet werden kann, müssen eine Vielzahl von Bildern aufgenommen werden, wobei in jedem Bild jeweils eine andere Beleuchtungseinstellung, also eine andere Einstellung der Helligkeit, der Wellenlänge und/oder des Ortes einer der Beleuchtungen eingestellt werden muss. Um diese Bildinformationen zur Ermittlung des Verlaufes der Hilfsparameter möglichst schnell erzielen zu können, kann von einer Kamera eine Bildsequenz mit einer synchronisiert steuerbaren Beleuchtungsquelle aufgenommen werden, wobei zwischen den Bildern die Beleuchtungseinstellung geändert wird.
In einer anderen besonders vorteilhaften Ausführungsform betrifft wenigstens eine der Einflussgrößen den potentiellen Strukturort. An dieser Stelle soll kurz auf den Unterschied zwischen den Begriffen „Struktur" und „Kante" eingegangen werden. Eine Kante ist lediglich ein Spezialfall einer Struktur. Dies soll an einem kurzen Beispiel verdeutlicht werden. Beispielsweise kann mit der optischen Präzisionmesstechnik der Übergang zweier aneinanderstoßender Materialien (z.B. Kupfer und Graphit) gemessen werden, wenn diese unterschiedliche optische Eigenschaften aufweisen. Obwohl keine Kante vorliegt, kann dennoch der betreffende Strukturort festgestellt werden.
Die Erfindung soll nunmehr anhand der Figuren beschrieben werden. Hierin zeigen:
1: Ein Koordinatenmessgerät auf dem ein erfindungsgemäßes Verfahren ausgeführt werden kann
2: Ein rein schematischer Meßaufbau zur optischen Vermessung eines Werkstückes
3a: Eine rein schematische Darstellung eines Videobildes, das mit dem Messaufbau gemäß 2 aufgenommen wurde
3b: Das Videobild gemäß 3a, in das Auswertungslinien 14a,14b...14g eingefügt wurden
4: Eine rein schematische Darstellung eines normierten Grauwertverlaufes im Bereich der Kante Ka gemäß 3a
5: Eine rein schematische Darstellung der Winkelverhältnisse zwischen Lichtquelle 10b und Videokamera 5
6: Eine rein schematische Darstellung des Verlaufes zweier Fokuskriterien
7: Eine rein schematische Darstellung des Verlaufes zweier Kantenkriterien
1 zeigt rein beispielhaft ein Präzisionsmessgerät in Form eines Koordinatenmessgerätes, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren ausgeführt werden kann. Dieses weist einen Messtisch 1 auf, auf dessen Oberfläche ein zu vermessendes Werkstück 7 gelagert werden kann. Entlang der Messtischoberfläche ist ein Portal 2 in der mit dem Pfeil y bezeichneten Richtung beweglich geführt, wobei die jeweilige Position des Portals in der mit dem Pfeil y bezeichneten Richtung durch einen hier nicht sichtbaren Ablesekopf ermittelt werden kann, der den Maßstab 8c abtastet. Zusätzlich ist ein Antrieb vorgesehen.
Entlang dem den Messtisch 1 überspannenden Teil des Portals 2 ist ein Schlitten 3 in der mit dem Pfeil x bezeichneten Richtung beweglich geführt, wobei dessen Position ebenfalls durch Abtasten eines Maßstabes 8a ermittelt werden kann und der Schlitten ebenfalls durch einen Antrieb bewegt werden kam. An dem Schlitten 3 wiederum ist in der mit dem Pfeil z bezeichreten Richtung eine Pinole 4 beweglich geführt, deren Position durch Abtasten des an der Pinole 4 befestigten Maßstabes 8b bestimmt werden kann. Die Pinole kann ebenfalls motorisch angetrieben werden. Am unteren Ende der Pinole 4 ist als Meßsensorik eine Videokamera 5 befestigt, mit der die obere Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes 7 optisch abgetastet werden kann. Die Videokamera 5 weist neben den üblichen Einrichtungen zur Aufnahme eines Bildes, wie dem Objektiv und einem CCD-Chip, zusätzlich in das Gehäuse der Videokamera 5 integrierte Beleuchtungen bzw. Lichtquellen auf, über die das Werkstück 7 beleuchtet werden kann.
Zum Verfahren der Videokamera 5 in den drei Koordinatenrichtungen x,y,z ist ein Rechner 9 vorgesehen, der dazu die Antriebe für das Portal 2, den Schlitten 3 und die Pinole 4 ansteuert. Außerdem dient der Messrechner zum Auswerten der von den Maßstäben 8a,8b,8c abgetasteten Positionswerten und als Bildauswertevorrichtung zur Auswertung der von der Videokamera 5 gelieferten Bildinformationen, um hieraus Messergebnisse auswerten zu können.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung eines Koordinatenmessgerätes kann die Videokamera 5 über eine sogenannte Dreh-Schwenkeinheit an der Mechanik befestigt sein. Eine solche Dreh-Schwenkeinheit weist zwei senkrecht aufeinander stehende Drehgelenke auf. Durch Verdrehung um diese Drehgelenke kann zusätzlich die Raumlage der Videokamera 5 verändert werden, so dass bezogen auf das Koordinatenmessgerät gemäß 1 auch die vertikalen Seitenflächen des Werkstückes 7 mit der Videokamera 5 abgetastet werden können.
Es versteht sich, dass das hier gezeigte Koordinatenmessgerät rein beispielhaft ausgestaltet ist. Beispielsweise könnte anstelle der hier gezeigten Portalmechanik eine andere Mechanik verwendet werden, um die Videokamera relativ zum Werkstück in den drei Koordinatenrichtungen bewegen zu können. Beispielsweise könnte eine sogenannte Ständermechanik vorgesehen sein. Wesentlich für ein Koordinatenmessgerät ist lediglich, dass die die Meßsensorik, hier die Videokamera 5, relativ zum Werkstück 7 in den drei Koordinaten x,y,z bewegt werden kann.
Anstelle eines Koordinateninessgerätes kann für einfachere Messaufgaben, wie beispielsweise die Vermessung von Leiterplatinen, natürlich auch ein sehr viel einfacheres Präzisionsmessgerät verwendet werden, bei dem die Videokamera 5 nur in zwei Koordinatenrichtungen oder nur in einer Koordinatenrichtung oder sogar gar nicht relativ zum Werkstück bewegt werden kann.
Das Antasten eines Werkstückes 7 mit einer Videokamera soll hierbei im Zusammenhang mit den rein schematischen 2, 3a und 3b dargestellt werden.
2 zeigt hierbei rein schematisch die wesentliche Komponenten, die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens notwendig sind. Es sind hierin das zu vermessende Werkstück 7 gezeigt, dessen Kante Ka vermessen werden soll. Die Kante Ka wird hierbei von der Videokamera 5 beobachtet, wobei das Werkstück 7 von zwei Lichtquellen bzw. Beleuchtungen 10a und 10b beleuchtet wird. Die Videokamera 5, wie auch die Beleuchtungen 10a, 10b sind hierbei mit dem Rechner 9 verbunden. Der Rechner 9 kann hierbei, neben einer Reihe von anderen Funktionen unter anderem die Helligkeit der Beleuchtungen 10a,10b verändern, wie auch den Fokus des Objektives verstellen und die von der Videokamera 5 aufgezeichneten Bilddaten auswerten.
In 3a ist hierbei ebenfalls rein schematisch ein Bild 11 der Videokamera 5 gezeigt. Wie hieraus ersichtlich, ist im rechten Bereich des Bildes 11 die von den Beleuchtungen 10a und 10b erhellte Oberfläche des Werkstücks 7 zu sehen. Links von der Kante Ka ist das Bild hingegen dunkel. Wie bereits Eingangs erwähnt, hebt die Beleuchtung mit Auflicht die Strukturen auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes 7 hervor, so dass keine symmetrischen Intensitätsverläufe entstehen.
3b zeigt ebenfalls das Bild 11 der Videokamera 5 gemäß 3a, wobei zusätzlich entlang der Kante Ka sogenannte Auswertungslinien 14a, 14b...14g eingezeichnet sind, deren genaue Funktion noch weiter unten erläutert wird.
In 4 ist hochauflösend der Intensitätsverlauf bzw. der Grauwertverlauf im Bereich der Kante Ka entlang der Auswertungslinie 14a gezeigt. Aus diesem Intensitätsverlauf der abgebildeten Kante lassen sich Hilfsparameter ableiten, die die Zielgrößen der optischen Präzisionsmessung eindeutig beschreiben, um hieraus Steuerparameter für die Einflußgrössen der Zielgrößen abzuleiten.
Das diesbezügliche Vorgehen soll für unterschiedliche Einflussgrößen näher erläutert werden.
Regelung der Beleuchtung
Ein erster Komplex von Einflussgrößen der Zielgrösse „resultierende Ortsabweichung" sind Einflussgrößen, die die Beleuchtung des Werkstückes betreffen. Derartige Einflussgrößen, für die Steuerparameter bestimmt werden müssen, sind beispielsweise die Wellenlängen λ mit denen die Beleuchtungen 10a und 10b das Werkstück beleuchten, der Ort der Beleuchtungen 10a und 10b und insbesondere die Helligkeit der Beleuchtungen 10a und 10b.
Beispielsweise können dazu der Kontrast, die mittlere Helligkeit und die Störsignalamplitude im Bereich des Strukturübergangs der Kante Kaverwendet werden. Die Zielgrößen sind einerseits die Sicherheit und Robustheit bei der Antastung im Bild (Zs), das heißt also, ob eine wiederholte Antastung des Werkstückes reproduzierbar sinnvolle Ergebnisse liefert und die resultierende Ortsabweichung (Zo) bei der Positionsbestimmung. Als Zielgrösse, die die beiden eben genannten Zielgrössen implizit vereinigt, kann also insbesondere die 2D-Strukturauflösung genannt werden. Wenn, wie weiter unten ausführlich beschrieben, zusätzlich auch der Abstand zwischen dem Sensor, hier der Videokamera 5 und der Werkstückoberfläche bestimmt wird, kann als Zielgrösse auch die 3D-Strukturauflösung genannt werden.
Zur Bestimmung der Steuerinformationen müssen zunächst die Verläufe der Hilfsparameter in Abhängigkeit von einer oder mehreren Einflussgrößen bestimmt werden, wie dies im Folgenden rein beispielhaft für die Einflußgröße „Helligkeit" der Beleuchtungen 10a und 10b gezeigt werden wird.
Dazu muß zunächst der Parametersatz der Reflexions- und Transmissionseigenschaften p_bdrf, der auch als bidirektionale Reflektanzfunktion bezeichnet wird, durch Variation aller Beleuchtungskombinationen und Intensitätsauswertung im Bild ermittelt werden, was über nachfolgende Gleichungen 1 und 2 geschieht:
Hierin bedeuten:

Beleuchtungsstärkefunktion der Beleuchtung L_k
bidirektionale Reflektanzfunktion für einen Punkt links von der Kante
Gesamtintensitätsfunktion für einen Punkt links von der Kante, die sich aufgrund der Intensität Ia_li der konstanten Umgebungshelligkeit und der Intensität aufgrund der Beleuchtung L_k ergibt.
konstante Intensität aufgrund der Umgebungshelligkeit links von der Kante
k Nummer der jeweiligen Beleuchtung
L_k Beleuchtung Nummer k, also hier Beleuchtung 10a oder 10b
Wellenlänge, mit der die Beleuchtung L_k leuchtet
Θ_S Azimutwinkel des Sensors, hier also der Videokamera 5
Ξ_S Elevationswinkel des Sensors, hier also der Videokamera 5
Azimutwinkel der Beleuchtung L_k, hier also Beleuchtung 10a oder 10b
Elevationswinkel der Beleuchtung L_k, hier also Beleuchtung 10a oder 10b

Gleichung 2
Hierin bedeuten:

bidirektionale Reflektanzfunktion für einen Punkt rechts von der Kante
Beleuchtungsstärkefunktion der Beleuchtung L_k
Gesamtintensitätsfunktion eines Bildpunktes rechts von der Kante, die sich aufgrund der Intensität Ia_rc der konstanten Umgebungshelligkeit und der Intensität aufgrund der Beleuchtung L_k ergibt.
konstante Intensität aufgrund der Umgebungshelligkeit rechts von der Kante

Die restlichen Bezeichnungen stimmen mit den Bezeichnungen gemäß Gleichung 1 überein.
Der Azimutwinkel Θ_S und Elevationswinkel Ξ_S der Videokamera 5, wie auch Azimutwinkel
und Elevationswinkel
der Beleuchtung L_k (Beleuchtung L_k ist hier beispielhaft die Beleuchtung 10b) sollen, obwohl diese im Zusammenhang mit dem weiter unten beschriebenen Ausführungsbeispiel keine weitere Rolle mehr spielen, dennoch anhand von 5 kurz erläutert werden. Es handelt sich hierbei, wie aus 5 ersichtlich, um die Kugelkoordinatenwinkel eines von der Lichtquelle 10b ausgesandten Lichtstrahls 12 und 13, der von einem auszuweitenden Punkt auf der Obefläche des Werkstückes 7 reflektiert wird, wobei der Ursprung des Koordinatensystems x,y,z sich in diesem auszuwertenden Punkt der Obefläche des Werkstückes befindet.
Gemäß Gleichung 1 wird die bidirektionale Reflektanzfunktion
für einen Punkt links der Kante K bestimmt, während Gleichung 2 die bidirektionale Reflektanzfunktion
für einen Punkt rechts der Kante K bestimmt.
Bei der praktischen Umsetzung wird mit Hilfe der steuerbaren Lichtquellen bzw. Beleuchtungen 10a und 10b und dem Bildverarbeitungssystem, das durch den Rechner 9 gebildet ist, die Parametermatrix p_bdrf der Einflüsse der einzelnen Beleuchtungsquellen auf den zu untersuchenden Bereich ermittelt (bidirektionale Reflektanzfunktion).
Um die bidirektionale Reflektanzfunktion für einen Punkt auf der Werkstückoberfläche entweder links von der Kante oder rechts von der Kante ermitteln zu können, wird hierbei wie folgt vorgegangen.
Zunächst muß im Bild 11 der Ort der Kante Ka festgestellt werden. Dazu wird das Bild 11 der Kante Ka gemäß 3a und 4 mit einer willkürlichen Helligkeitseinstellung der Beleuchtungen 10a und 10b aufgenommen. Aus diesen Bildinformationen wird dann grob überein Kantenortskriterium die Lage der Kante Ka bestimmt. Dass die Lage der Kante Ka in Ermangelung optimaler Einstellungen der Einflussgrößen hierbei nur ungenau bestimmt wird spielt hierbei keine Rolle. Ausgehend von der festgestellten Lage der Kante Ka werden dann auf beiden Seiten der Kante Ka eine vordefinierte Anzahl an Pixeln des Bildes als Übergangsbereich definiert, wobei dann alle Pixel des Bildes 11 außerhalb des Übergangsbereiches auf der einen Seite der Kante Ka als links von der Kante Ka definiert werden und alle Pixel des Bildes 11 außerhalb des Übergangsbereiches auf der anderen Seite der Kante Ka als rechts von der Kante Ka definiert werden, wie dies auch 4 zeigt. Natürlich sind die Bezeichnungen links und rechts rein willkürlich und werden lediglich der Anschaulichkeit halber gewählt.
Zusätzlich werden hier beispielhaft gleichverteilt entlang des Verlaufes der Kante Ka die Auswertelinien 14a, 14b...14g berechnet, wie dies 3b darstellt. Diese Auswertelinien werden alleine deshalb berechnet, damit künstlich definierte Bildbereiche generiert werden, entlang denen die betreffenden Bildpunkte des Bildes 11 ausgewertet werden können, um nicht alle Bildpunkte des Bildes 11 auswerten zu müssen. Natürlich müssen diese Auswertelinien nicht gleichverteilt sein; vielmehr kann der Abstand der Linien beliebig variieren. Alternativ könnten auch, wenn dies gewünscht ist, alle Bildpunkte ausgewertet werden, wobei dann ganz auf die Linien verzichtet werden könnte.
In einem nächsten Schritt werden dann alle Beleuchtungen 10a und 10b ausgeschaltet und erneut durch die Videokamera 5 ein Bild aufgenommen. Durch Messung von Farbwerten oder Grauwerten in Bildbereichen rechts oder links der Kante Ka, können dann für den betreffenden auszuwertenden Bildbereich die Intensitäten
aufgrund der Umgebungshelligkeit lniks oder rechts von der Kante Ka ermittelt werden.
Danach wird separat für jede Lichtquelle 10a und 10b schrittweise die Beleuchtungsstärke erhöht und für jede eingestellte Beleuchtungsstärke erneut durch die Videokamera 5 ein Bild 11 aufgenommen. Durch Messung von Farbwerten oder Grauwerten in Bildbereichen rechts oder links der Kante Ka, können dann für den betreffenden auszuwertenden Bildbereich die Gesamtintensitäten links oder rechts von der Kante Ka, die sich aufgrund der der Intensität Ia_li bzw. Ia_re der konstanten Umgebungshelligkeit und der Intensität aufgrund der Beleuchtung L_k gemäß ergeben gemessen werden. Betrachtet man die eingestellten Helligkeiten als Funktionswerte der Beleuchtungsstärkefunktion der
betreffenden Beleuchtung und die gemessenen Gesamtintensitäten als Funktionswerte der Gesamtintensitätsfunktion
bzw.
so kann über Gleichung 1 oder 2 die bidirektionale Reflektanzfunktion
bzw.
bestimmt werden.
Aus der Beziehung gemäß Gleichung 1 lässt sich die Funktion der Gesamtintensität I_li links vom Kantenort, die sich aufgrund der Intensität
oder Umgebungshelligkeit und der Summe der Intensitätsfunktionen der einzelnen Beleuchtungen k=1..n ergibt, wie folgt darstellen: Gleichung 3
Analog läßt sich die Funktion der Gesamtintensität I_re für einen Bildbereich rechts vom Kantenort wie folgt darstellen: Gleichung 4
Unter Berücksichtigung von Gleichungen 3 und 4 kann aus den aufgenommenen Parametern nunmehr eine Kontrastfunktion gemäß folgender Gleichung 5 berechnet werden:
Gleichung 5
Unter Berücksichtigung von Gleichungen 3 und 4 kann ferner aus den aufgenommenen Parametern auch eine Funktion der mittleren Helligkeit I gemäß folgender Gleichung 6 berechnet werden:
Gleichung 6
Des weiteren kann auch eine Homogenitätssfunktion gemäß folgenden Gleichung 7 bis 9 berechnet werden:
Gleichung 7
Hierin bedeutet:

H_li Homogenitätsfunktion links von der Kante Ka
s Die Nummer einer der Auswertelinien 14a, 14b .. 14g
m Die Gesamtanzahl der Auswertelinien 14a,14b..14g
Die Gesamtintensitätsfunktion gemäß Gleichung 3, allerdings nur für Bildpunkte auf der jeweiligen Auswertelinie s, die links von der Kante Ka liegen
Die bidirektionale Reflektanzfunktion gemäß Gleichung 1, allerdings nur für Bildpunkte auf der jeweiligen Auswertelinie s, die links von der Kante Ka liegen

H_re Homogenitätsfunktion rechts von der Kante Ka
s Die Nummer der einer der Auswertelinien 14a, 14b .. 14g
m Die Gesamtanzahl der Auswertelinien 14a, 14b..14g
Die Gesamtintensität gemäß Gleichung 4, allerdings nur für Bildpunkte auf der jeweiligen Auswertelinie s, die rechts von der Kante Ka liegen
Die bidirektionale Reflektanzfunktion gemäß Gleichung 1, allerdings nur für Bildpunkte auf der jeweiligen Auswertelinie s, die rechts von der Kante Ka liegen

H(ΘS,ΞS ;ΘL,ΞL;EL;λL)= Hli(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;EL;λL)+ Hre(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;EL;λL) Gleichung 9

Hierin bedeuten:

H die gesamte Homogenitätsfunktion
H_li Homogenitätsfunktion links von der Kante Ka gemäß Gleichung 7
H_re Homogenitätsfunktion rechts von der Kante Ka gemäß Gleichung 8

Es sei an dieser Stelle vorsorglich darauf hingewiesen, dass die Gleichungen 1 bis 6 der besseren Verständlichkeit halber so aufgestellt sind, dass diese jeweils nur für einen Bildpunkt links und einen Bildpunkt rechts der Kante des Bildes 11 gelten. Obwohl die Auswertung prinzipiell mit solchen einzelnen Bildpunkten möglich wäre, werden die Auswertungen tatsächlich natürlich wegen der Streuungen der Farbwerte oder der Grauwerte innerhalb des Bildes 11 für eine Vielzahl von Bildpunkten auf den Abtastlinien 14a..14g vorgenommen und diese Ergebnisse dann arithmetisch gemittelt. Im Falle der Gleichungen 5 und 6 werden dazu zunächst die Funktionen der Gesamtintensität I_li gemäß Gleichungen 1 und 3 für eine Vielzahl von Bildpunkten auf den Abtastlinien 14a...14g links vom Kantenort vorgenommen und diese dann gemittelt. Analog werden danach die Funktionen der Gesamtintensität I_re gemäß Gleichung 4 für eine Vielzahl von Bildpunkten auf den Abtastlinien 14a...14g rechts vom Kantenort vorgenommen und diese dann gemittelt. Mit diesen gemittelten Gesamtintensitäten kann dann gemäß der Beziehungen nach Gleichungen 5 und 6 die Kontrastfunktion und die Funktion der mittleren Intensität berechnet werden.
Für Gleichungen 7 bis 9 wird hierbei analog vorgegangen, wobei die Gesamtintensitäten I_li und I_re nur für die Bildpunkte jeweils einer Auswertelinie s gemittelt werden.
Durch die Berechnung der Kontrastfunktion, der Funktion der mittleren Helligkeit und der Homogenitätssfunktion wurden also Parameter in Abhängigkeit einer Einflussgröße, nämlich der Beleuchtungshelligkeit der Beleuchtungen 10a und 10b bestimmt. Allerdings sind diese Parameter noch nicht alle unmittelbar als Hilfsparameter im Sinne der Erfindung verwendbar, da die Kontrastfunktion bei einem Optimum der Beleuchtungshelligkeiten ein Maximum aufweist, die Funktion der mittleren Helligkeit überhaupt kein Extremum aufweist und die Homogenitätsfunktion bei einem Optimum der Beleuchtungshelligkeiten ein Minimum aufweist. Damit die bestimmten Verläufe der Parameter als Hilfsparameter im Sinne der Erfindung weiterverwendet werden können, müssen diese jedoch so bestimmt werden, dass die Verläufe ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße besitzen, das heißt also, dass entweder alle Verläufe im Optimum der Beleuchtungshelligkeit ein Maximum aufweisen oder alle Verläufe im Optimum der Beleuchtungshelligkeit ein Minimum aufweisen. Damit dies möglich ist, kann ein gleichartigen Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße durch Differenzbildung eines ermittelten Wertes mit einem Vorgabewert erfolgen.
Für die Kontrastfunktion kann der Verlauf eines Hilfsparameters wie folgt bestimmt werden: Kmax–K(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;EL;λL) wobei K_max der maximal möglichen Kontrast bezeichnet
Für die Funktion der mittleren Helligkeit kann der Verlauf eines Hilfsparameters wie folgt bestimmt werden: (Imax/2)-Iwobei I_max die maximal mögliche Intensität bezeichnet
Für die Homogenitätsfunktion kann der Verlauf eines Hilfsparameters wie folgt bestimmt werden: H(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;λL)
Die für die Optimierung der Zielgrößen notwendigen Hilfsparameter, wurden also aus den Bildbereichen unter Verwendung der Parametermatrix pbdrf und der Beleuchtungskombinationen synthetisch ermittelt.
In einem nächsten Schritt wird der Gesamtverlauf der Hilfsparameter in Abhängigkeit von der Einflussgröße Beleuchtungshelligkeit durch gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter bestimmt und in einem weiteren Schritt ein Extremum, hier also das Minimum dieses Gesamtverlaufes der Hilfsparameter ermittelt, wie dies rein schematisch gezeigt wird:
Die Formulierung der zu optimierenden Zielfunktion kam allgemein wie folgt formuliert werden: FK·(Kmax – Kontrast) + FI·|(Imax/2) – mittlereHelligkeit| + FH·Homogenität ⇒ min
Mit den konkreten Verläufen der Hilfsparameter, die wie oben beschrieben ermittelt wurden wird das Optimierungskriterium wie folgt aufgestellt: FK·(Kmax – K(Θs,Ξs;ΘL,ΞL;EL;λL)) + F1((Imax/2) – I(Θs,Ξs;ΘL,ΞL;EL;λL)) + FH · H(Θs,Ξs;ΘL,ΞL;EL;λL) ⇒ min
Hierin bedeuten:

F_K Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung der Hilfsparameter (Kmax–K(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;EL;λL))
F_I Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung der Hilfsparameter (Imax/2 – I(ΘS,ΞS;ΘL,ΞL;EL;λL)))
F_H Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung der Hilfsparameter H(Θ_S,Ξ_S;Θ_L,Ξ_L;E_L;λ_L)

Die Faktoren F_K, F_I und F_H dienen zur unterschiedlichen Wertung der Eigenschaften des Bildausschnittes. Diese Faktoren sind je nach dem angewendeten Kantenortskriterium wählbar. Das hier beschrieben Verfahren funktioniert bei jeder Art und Anzahl von Beleuchtungsquellen. Im Ergebnis der Optimierung erhält man die Einstellungen jeder einzelnen Lichtquelle oder einer Kombination von Lichtquellen.
Die Bestimmung des Extremums, hier des Minimums, erfolgt nach den allseits aus der Mathematik bekannten verfahren. Beispielsweise kann das Simplexverfahren angewendet werden.
In einem letzten Schritt werden die zugehörigen Werte der Einflussgrößen, also die Beleuchtungshelligkeiten
der Beleuchtungen 10a und 10b am Ort des bestimmten Extremums als Steuerinformation für diese Einflussgröße, also als einzustellende Beleuchtungshelligkeit bestimmt, wobei diese Beleuchtungshelligkeit gemäß dieser Steuerinformationen eingestellt wird.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens kann die Aufnahme einer Bildsequenz von einer Kamera mit einer synchronisierten steuerbaren Beleuchtungsquelle erfolgen. Dabei wird zwischen den Bildern der Sequenz die Beleuchtungseinstellung geändert. Diese Vorgehensweise hat gegenüber dem oben beschriebenen Vorgehen den besonderen Vorteil, dass die Bildinformationen, die zur Ermittlung des Verlaufes der Hilfsparameter notwendig sind, sehr schnell aufgenommen werden können.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des hier beschriebenen Verfahrens zur Maximierung der Detektionssicherheit (Zs) und Minimierung der Positionsabweichung (Zo) ist möglich, wenn die Bildinformationen über die synthetische Erzeugung von Bildszenen durch Simulation gewonnen werden. Dazu ist die Kenntnis über die Reflexions- und Transmissionseigenschaften der Materialien, die Art des Kantenübergangs und die Beleuchtungsverhältnisse erforderlich. In diesem Falle würden die Bildinformationen gemäß 3a und 4 simuliert und hieraus über die Methoden der Computersimulation der Parametersatz der Reflexions- und Transmissionseigenschaften p_bdrf, der auch als bidirektionale Reflektanzfunktion bezeichnet wird, rein rechnerisch ermittelt.
Dieses weitergebildete Verfahren bedient sich dann der bekannten Methoden der Computergrafik und der Optimierung. Bekannte Beleuchtungsmodelle der Computergrafik sind beispielsweise das Raytracing- und das Radiocity-Verfahren.
Regelung des Fokus
Für eine korrekte Geometriebestimmung an dreidimensionalen Messobjekten ist neben der lateralen zweidimensionalen Bildinformation auch die Raumazuordnung über die Entfernungsinformation notwendig, also des Abstandes zwischen der Videokamera und der Werkstückoberfläche. Diese Abstandsinformation kann mit Hilfe von Fokusverfahren gewonnen werden. Als Zielgröße dieser Optimierung ist deshalb der bestimmte Fokusort zu nennen. Eine wesentliche Einflussgröße ist die Linsenposition des Objektives 15 der Videokamera 5, mit der der Fokus verstellt werden kann. Zur Steuerung dieser Einflussgröße Linsenposition wurde in der Vergangenheit die Linsenposition des Objektives 15 der Videokamera 5 von einer Endposition zur anderen Endposition durchfahren und aus den hierbei aufgenommenen Bildinformationen die Verläufe von Hilfsparametern ermittelt, wobei diese Hilfsparameter als Fokuskriterien bezeichnet wurden. Aus einem festgestellten Extremum des Verlaufes eines solchen Hilfsparameters bzw. Fokuskriteriums wurde dann auf die geeignete Linsenposition geschlossen.
Die in der Praxis eingesetzten Verläufe von Hilfsparametern bzw. Kriterien zur Fokussierung, wie der Verlauf des Kontrastes, der Verlauf der Grauwertdifferenzen oder der Verlauf des Mittelwertes und der Standardabweichung, sind stark von den Beleuchtungsverhältnissen und den optischen Eigenschaften der Messobjekte abhängig. Es ist deshalb ein sehr robustes Kriterium für alle Arten von Messobjekten notwendig, um eine einfache Bedienung der Geräte und ein sicheres Arbeiten automatischer Messabläufe zu ermöglichen.
Da jedoch jedes der Fokuskriterien bzw. präziser gesagt, der Verlauf jedes der Fokuskriterien mit einer unterschiedlichen Amplitudendifferenz auf das gleiche Messobjekt bzw. Werkstück anspricht, ist dies mit einem einzelnen Fokuskriterium nicht möglich. Unter Amplitudendifferenz ist hierbei die maximale Änderung des Wertes des betreffenden Fokuskriteriums zu verstehen.
Eine Alternative bietet die gewichtete Addition der Verläufe der Hilfsparameter (Fokuskriterien) zu einem Gesamtverlauf der Hilfsparameter Die Ausprägung der Fokuskurve kann dabei sehr unterschiedlich sein, wie dies beispielhaft aus 6 ersichtlich ist. Wie hieraus zu sehen, sind hierin zwei Verläufe von Hilfsparametern eingezeichnet, die mit „Kriterium 1" und „Kriterium 2" bezeichnet sind. Durch eine solche Kombination mehrerer Verläufe von Fokuskriterien durch gewichtete Addition zu einem Gesamtverlauf, der in 6 mit „Summe" bezeichnet ist, kann ein universelles Ansprechen auf viele Messobjekte erreicht werden. Wie nämlich aus 6 zu sehen ist, weist der Verlauf des Hilfsparameters „Kriterium 1" nahezu keine Amplitudendifferenz auf, während der Verlauf des Hilfsparameters „Kriterium 2" eine relativ große Amplitudendifferenz aufweist. Durch gewichtete Summation erhält auch der Gesamtverlauf der Hilfsparameter, der in 6 mit „Summe" bezeichnet ist, eine relativ große Amplitudendifferenz. Bei einem anderen Werkstück oder bei anderen Beleuchtungsverhältnissen ist es hingegen möglich, dass umgekehrt der Hilfsparameter „Kriterium 1" eine große Amplitudendifferenz aufweist, während der Hilfsparameter „Kriterium 2" nahezu keine Amplitudendifferenz aufweist. Durch die gewichtete Summation weist der Gesamtverlauf der Hilfsparameter dann jedoch trotz der völlig unterschiedlichen Verläufe der Hilfsparameter „Kriterium 1" und „Kriterium2" eine große auswertbare Amplitudendifferenz auf.
Dadurch ist also eine robustere Detektion des Fokuszustandes möglich.
Die zu optimierende Zielfunktion kann wie folgt definiert werden: F1·Fokuswert1 + F2·Fokuswert2 + ...FN·FokuswertN => max
Hierin bedeuten:

Fokuswert₁: Verlauf eines ersten Hilfsparameters bzw. Fokuskriteriums (z.B. Kontrast) in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. Linsenposition des Objektives 15)
Fokuswert₂: Verlauf eines zweiten Hilfsparameters bzw. Fokuskriteriums (z.B. Grauwertdifferenz) in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. Linsenposition des Objektives 15)
Fokuswert_N: Verlauf eines letzten Hilfsparameters bzw. Fokuskriteriums in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. Linsenposition des Objektives 15)
F₁: Wichtungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Fokuswert₁
F₂: Wichtungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Fokuswert₂
F_N: Wichtungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Fokuswert_n

Es bestehen insbesondere unterschiedliche Möglichkeiten, um die Wichtungsfaktoren F₁,F₂..F_n für die Kriterien festzulegen. Beispielsweise könnte dies anhand der Materialien, des Kantentypes oder adaptiv anhand des Anstiegs der Fokusfunktionen der einzelnen Fokusverfahren erfolgen.
Objektiviertes Kantenortskriterium
Kernaufgabe der optischen Präzisionsmesstechnik ist die genaue Lagebestimmung der optisch wirksamen Struktur und die Zuordnung zu den funktionsbestimmenden Körperkanten und Geometriemerkmalen., sodass als Zielgröße auch hierfür die 2D-Strukturauflösung oder wenn zusätzlich noch der Abstand zwischen Kamera und Werkstückoberfläche gemessen wird die 3D-Strukturauflösung festzulegen ist.
Dazu stehen unterschiedliche Hilfsparameter, hier als Kantenortskriterien bezeichnet, wie beispielsweise differentielle, integrale und Schwellwertkriterien, zur Tierfügung. Die Messunsicherheit jedes Kantenortskriteriums ist vom jeweiligen Intensitätsübergang abhängig. Die Einstellung des am besten geeigneten Kantenortskriteriums ist demzufolge mit viel Erfahrung des Messtechnikers verbunden. Auch hier sind robuste Antaststrategien und automatische Auswahlverfahren für Kantenortskriterien erforderlich, die auf unterschiedliche Objekte reagieren und sicher ansprechen. Wenn der Strukturort mit hoher Sicherheit gefunden wurde, kann im nächsten Schritt eine Präzisionsantastung mit Subpixelauflösung durchgeführt werden.
Wie bereits oben ausgeführt treten die Hauptprobleme der Detektion des Intensitätsübergangs bei Beleuchtung mit Auflicht auf. Diese Beleuchtungsart hebt die Strukturen auf der Oberfläche hervor, so dass keine symmetrischen Intensitätsverläufe entstehen. Dies wird durch starke Intensitätsschwankungen in den „hell "-Gebieten des Intensitätsverlaufs deutlich, wie dies aus 7 anhand der Kurve mit der Bezeichnung „Grauwertverlauf" deutlich wird. Dieser Grauwertverlauf könnte beispielsweise entlang einer Abtastlinie 14b des Bildes 11 gemäß 3b aufgenommen worden sein.
Aus diesem Grauwertverlauf wurde der Verlauf mehrerer Hilfsparameter, die hier als Kantenortskriterien bezeichnet werden, bestimmt, nämlich ein differentielles Kantenortskriterium und ein Schwellwertkriterium angewendet. Als Einflussgröße wäre hierbei der potentielle Strukturort der Kante Ka zu nennen, der hier einem Ort bzw. einem Bildpunkt auf der Abtastlinie 14b entspricht.
Das differentielle Kantenortskriterium bildet die Grauwertdifferenzen, also die Differenzen der Grauwerte nebeneinanderliegender Bildpunkte und bestimmt folgend aus dem Betrag der Funktion den maximalen Anstieg. Da der Grauwertverlauf ein relativ großes Rauschen aufweist, ist es durch das Rauschen zufällig, wo die größte Grauwertdifferenz auftritt, wie dies aus der Kurve mit der Bezeichnung „differentielles Kriterium" in 7 ersichtlich ist.Die Messunsicherheit für die Antastung wird dadurch größer.
Das Schwellwertkriterium bestimmt den Grauwert der einzelnen Bildpunkte und selektiert in dem hier gezeigten Beispiel alle Bildpunkte, deren Grauwert zwischen 100 und 128 GW liegt. Für alle Bildpunkte, deren Grauwert zwischen 100 und 128 GW liegt, nimmt der Verlauf des Schwellwertkriterium den Wert 255 GW an, während für alle anderen Bildpunkte der das Schwellwertkriterium den Wert 0 GW annimmt. Damit weist der Verlauf des Hilfsparameters „Schwellwertkriterum" einen digitalen Verlauf auf. Der Verlauf dieses Hilfsparameters ist in 7 als Kurve mit der Bezeichnung „Schwellwertkriterium" abgebildet. Infolge des Rauschens der Grauwerte des Bildes (siehe Kurve „Grauwertverlauf" in 7) ist ebenfalls nicht immer eine eineindeutige Detektion des Kantenortes möglich.
Durch die gewichtete Addition der beiden Verläufe entsteht die zu optimierende Zielfunktion also der Gesamtverlauf der Hilfsparameter, die in 7 mit „Summenfunktion" bezeichnet ist. Bei dieser ist die Detektion des maximalen Anstieges mit höherer Sicherheit möglich. In dem hier dargestellten Fall sind die Wichtungsfaktoren beide gleich eins. F1·Kantenortskriterium1 + F2·Kantenortskriterium2 + ... + FN·KantenortskriteriumN => max
Hierin bedeuten:

Kantenortskriterium₁: Verlauf eines ersten Hilfsparameters bzw. Kantenortskriteriums (z.B. differentielles Kantenortskriterium) in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. potentieller Strukturort)
Kantenortskriterium₂: Verlauf eines zweiten Hilfsparameters bzw. Kantenortskriteriums (z.B. Schwellwertkriterium) in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. potentieller Strukturort)
Kantenortskriterium_N: Verlauf eines letzten Hilfsparameters bzw. Fokuskriteriums in Abhängigkeit von der Einflußgröße (z.B. potentieller Strukturort)
F₁: Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Kantenortskriterium1
F₂: Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Kantenortskriterium2
F_N: Wertungsfaktor zur gewichteten Wertung des Hilfsparameters Kantenortskriterium n

Die Festlegung der Wichtungsfaktoren F₁, F₂,...F_N spielt in diesem Fall eine große Rolle. Am günstigsten wäre eine adaptive Festlegung der Wichtungsfaktoren, sowie der Parameter der Kantenortskriterien.
Durch eine Realisierung der im diesem Patent beschriebenen Verfahren kommt es zu einer entscheidenden Vereinfachung der optischen Antastung, weil die Beleuchtung, der Fokus und das Kantenortskriterium nicht mehr durch den Messtechniker eingestellt werden müssen.
Für die Gleichungen 1 bis 7 wurde hierbei nachfolgende Nomenklatur verwendet:
mit m> 1

E: Beleuchtungsstärke
H: Homogenität
I: Helligkeit
Ia: Umgebungshelligkeit
K: Kontrast
L: Beleuchtungsstärke
li: Bereich links vom Strukturübergang bzw. der Kante K
re: Bereich rechts vom Strukturübergang bzw. der Kante K
S: Sensor
λ: Wellenlänge
Θ: Azimutwinkel
Ξ: Elevationswinkel

Claims

Optisches Präzisionsmessgerät umfassend wenigstens eine Bildaufnahmevorrichtung (5) und eine zugeordnete Bildverarbeitungsvorrichtung (9), die zur Optimierung der Zielgrößen eines Messablaufs aus Bildinformationen (11) eines zu vermessenden Werkstückes (7) Hilfsparameter gewinnt und aus diesen Hilfsparametern Steuerinformationen für Einflussgrößen dieser Zielgrößen abgeleitet, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerinformationen in der Bildverarbeitungsvorrichtung wie folgt abgeleitet werden: – Bestimmung der Verläufe der Hilfsparameter in Abhängigkeit von wenigstens einer Einflussgröße, wobei die Verläufe der Hilfsparameter so bestimmt werden, dass die Verläufe ein gleichartiges Extremum der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße besitzen – Bestimmung eines Gesamtverlaufes der Hilfsparameter in Abhängigkeit von der Einflussgröße durch gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter – Bestimmung eines Extremums des Gesamtverlaufes der Hilfsparameter – Ermittlung des zugehörigen Wertes der Einflussgröße am Ort des bestimmten Extremums als Steuerinformation für die Einflussgröße
Präzisionsmessgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Präzisionsinessgerät ein Koordinatenmessgerät ist, in dem die Bildaufnahmevorrichtung (5) an einer Mechanik (2,3,4) befestigt ist, über die die Bildaufnahmevorrichtung (5) relativ zu einem zu vermessenden Werkstück in den drei Koordinatenrichtungen (x,y,z) bewegt werden kann.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, dass die Bildverarbeitungsvorrichtung als Hilfsparameter den Kontrast, die Homogenität, die mittlere Helligkeit und/oder der Anstieg verwendet.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, dass die Bildverarbeitungsvorrichtung die Hilfsparameter aus simulierten Bildinformationen ermittelt, die mit Beleuchtungsmodellen der Computergrafik erzeugt werden.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet dadurch, dass die Bildverarbeittingsvorrichtung zumindest einzelne der Hilfsparameter zum Erzielen eines gleichartigen Extremums der funktionalen Abhängigkeit von der Einflussgröße durch Differenzbildung eines ermittelten Wertes mit einem Vorgabewert erfolgt.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet dadurch, dass die Bildverarbeittingsvorrichtung die Wichtungsfaktoren für die gewichtete Summation der Verläufe der Hilfsparameter so bestimmt, dass eine Normierung aller Hilfsparameter erfolgt.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet dadurch, dass die Bildverarbeitungsvorrichtung die Bestimmung der Hilfsparameter aus jeder Art von Farbbildern oder Grauwertbildern vornimmt.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet dadurch, dass die Zielgrößen 2D-Strukturorte und/oder Fokusorte beschreiben.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dass die Zielgrößen 3D-Strukturorte beschreiben.
Präzisionsmessgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1–8, gekennzeichnet dadurch, dass wenigstens eine Einflussgröße die Beleuchtung betrifft.
Präzisionsmessgerät nach Anspruch 10, gekennzeichnet dadurch, dass zur Bestimmung des Verlaufes der Hilfsparameter zunächst eine bidirektionale Reflektanzfunktion (pbdfr) bestimmt wird.
Präzisionsmessgerät nach einem der Ansprüche 10 oder 11, gekennzeichnet dadurch, dass als Bildinformationen zur Ermittlung des Verlaufes der Hilfsparameter von einer Kamera eine Bildsequenz mit einer synchronisiert steuerbaren Beleuchtungsquelle aufgenommen wird, wobei zwischen den Bildern die Beleuchtungseinstellung geändert wird.