DE20212624U1 - Excimer-Laser - Google Patents

Excimer-Laser

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Claims (6)

1. Ein Excimer-Laser, bestehend aus einem Körper, in dem sich ein System zur Bildung eines Gasstroms, ein Vorionisierer, eine Erdelektrode und eine Hochspannungselektrode befinden, der sich dadurch entscheidet, daß der Laserkörper als Keramikrohr ausgeführt ist, auf dessen Innenfläche sich die Hochspannungselektrode befindet, und in das zwei Führungen für den Gasstrom mit zylindrischer Oberfläche eingeführt sind, die aus Keramik bestehen und auf beiden Seiten der Hochspannungselektrode ausgeführt sind, so daß die gebildeten zylindrischen Flächen der Führungen des Gasstroms parallel zur Achse des Körpers verlaufen, und daß ihre Kanten an der einen Seite an die Hochspannungselektrode anstoßen.
2. Ein Excimer-Laser gemäß Ziffer 1, der sich dadurch unterscheidet, daß ein zylinderförmiges Gehäuse eingeführt wird, das aus einem mechanisch beständigem dielektrischen Material ausgeführt ist, zum Beispiel aus Glasfaserkunststoff, und das auf der äußeren Oberfläche des Laserkörpers ausgeführt ist.
3. Ein Excimer-Laser gemäß den Ziffern 1 und 2, der sich dadurch unterscheidet, daß ein Vorionisierer in Form eines System der Erzeugung einer Gleitentladung auf der Oberfläche einer planen dielektrischen Platte ausgeführt ist.
4. Ein Excimer-Laser gemäß den Ziffern 1 bis 3, der sich dadurch unterscheidet, daß eine Elektrode des Lasers teilweise durchsichtig ausgeführt ist, zum Beispiel mit Schlitzfenstern, die in perpendikulärer Richtung zur Längsachse der Elektrode verlaufen, wobei der Vorionisierer auf der Seite der nicht aktiven Oberfläche der teilweise durchsichtigen Elektrode angebracht und symmetrisch zur Ebene ausgerichtet ist, welche die Längsachsen der Elektroden umfaßt.
5. Ein Excimer-Laser gemäß der Ziffer(n) 4, der sich dadurch unterscheidet, daß die Erdelektrode halbdurchsichtig ausgeführt ist, und daß ein zusätzliches System der Bildung eines Gasstroms über die halbdurchsichtige Elektrode eingeführt ist.
6. Ein Excimer-Laser gemäß den Ziffern 1 bis 5, der sich dadurch unterscheidet, daß ein länglicher zylinderförmiger Außenkörper ausgeführt ist, wobei der Laserkörper in dem Außenkörper untergebracht ist, und wobei der Raum zwischen den Laserkörper und dem Außenkörper mit einem elektrisch beständigen Gas mit hohem Druck ausgefüllt ist, zum Beispiel mit Druckluft.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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