DE20120127U1 - Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks - Google Patents
Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines WerkstücksInfo
- Publication number
- DE20120127U1 DE20120127U1 DE20120127U DE20120127U DE20120127U1 DE 20120127 U1 DE20120127 U1 DE 20120127U1 DE 20120127 U DE20120127 U DE 20120127U DE 20120127 U DE20120127 U DE 20120127U DE 20120127 U1 DE20120127 U1 DE 20120127U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- guide
- workpiece
- housing
- guide part
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
Unser Zeichen Datum
Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
Es ist eine Einrichtung der betreffenden Art allgemein bekannt, bei dem der Wandler um eine Achse drehbeweglich an der Vorschubeinrichtung gehalten ist, wobei die Achse quer zur Vorschubrichtung und im wesentlichen parallel zur abzutastenden Oberfläche im Abstand zu der Tastspitze verläuft. Im Bereich der Tastspitze befindet sich eine mit dem Wandler oder seinem ihn umgebenden Gehäuse verbundene Kufe, die beim Abtastvorgang entweder aufgrund des Gewichts von Wandler oder Gehäuse oder durch eine Feder auf der abzutastenden Oberfläche gleitet und so bewirkt, daß die Tastspitze je nach Ausbildung der Kufe einer Grobkontur der Oberfläche eines Werkstücks folgt, so daß die Tastspitze in bezug zu der Kufe lediglich die Feinstruktur der Oberfläche, beispielsweise die Rauheit, abtastet. Ein Nachteil dieser bekannten Einrichtung besteht darin, daß eine Messung zu einer Bezugsebene unmöglich ist. Außer-0 dem ergeben sich Fehler in Abhängigkeit von der Form der Gleitkufe und von Schmutz auf der Oberfläche, der zu unverwünschten Bewegungen der Gleitkufe und damit zu Meßfehlern führt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zu schaffen, bei der die Nachteile der bekannten Einrichtung nicht auftreten, die also eine Messung zu einer Bezugsebene ermöglicht, bei der Fehler durch Schmutz auf der Oberfläche des Werkstücks oder durch Erschütterungen nicht auftreten.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebene Lehre gelöst.
Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, den mechanischelektrischen Wandler nicht in Abhängigkeit von der tatsächlichen Oberfläche eines Werkstücks zu führen, sondern in Abhängigkeit von einer exakten Führungsbahn, die sich an einem gesonderten Führungsteil befindet, das zwei in Führungsrichtung im Abstand zueinander angeordnete Vorsprünge zur Auflage auf der Oberfläche des Werkstücks aufweist.
Der mechanischelektrische Wandler bzw. sein ihn einschließendes Gehäuse weist drei in Führungsrichtung im Abstand zueinander angeordnete Kufen auf, die auf der Führungsbahn des Führungsteils aufliegen. Dadurch wird bewirkt, daß der Wandler bzw. sein ihn umgebendes Gehäuse exakt auf der Führungsbahn geführt ist, die 5 sich an dem Führungsteil befindet, das wiederum eine exakt und genau definierte Lage durch seine auf der Oberfläche des Werkstücks aufliegenden Vorsprünge hat. Somit erfolgen die Bewegungen der Tastspitze des Tastarmes nicht relativ zur Oberfläche des Werkstücks, son-0 dem relativ zu der Führungsbahn des Führungsteils, die ohne Schwierigkeiten hochgenau herstellbar und in der Praxis frei von Verunreinigungen haltbar ist. Die Tastspitze wird in der Regel nicht durch Schmutz auf der Oberfläche, beispielsweise durch eine Ölschicht, beein-
• · ♦ .
flußt. Außerdem können keine Meßfehler durch Erschütterungen auftreten, wie sie sich bei freier Halterung der Einrichtung an einem Stativ ergeben würden. Erfindungsgemäß ist der mechanische Kontaktweg von den Kufen an dem Wandler bzw. an seinem ihn umgebenden Gehäuse über die Führungsbahn, das Führungsteil und die an dem Werkstück aufliegenden Vorsprünge des Führungsteils kurz, so daß Schwingungen oder Erschütterungen nicht auftreten können und immer eine exakte Messung in bezug zu der Führungsbahn des Führungsteils erfolgt.
Die Führungsbahn kann dabei in jedem Fachmann geläufiger Weise gestaltet sein. Sie kann beispielsweise auch ganz einfach Teil einer ebenen Fläche an dem Führungsteil sein.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Vorschubeinrichtung an dem Führungsteil angeordnet. Diese Ausführungsform ist besonders einfach. Eine andere Ausführungsform besteht darin, daß der Wandler oder ein ihn umschließendes Gehäuse über ein Verbindungsteil quer zur Führungsrichtung beweglich mit einem Schlitten oder Wagen verbunden ist, wobei die Vorschubeinrichtung den Schlitten oder Wagen bewegt. Diese Ausführungform ist besonders vorteilhaft bei einer Weiterbildung, bei der das Verbindungsteil eine Gelenkstange ist, die mit ihrem einen Ende gelenkig mit dem Wandler oder mit seinem Gehäuse und mit ihrem anderen Ende mit dem Schlitten oder Wagen über quer zur Bewegungsbahn von Schlitten oder Wagen verlaufende Gelenkachsen gelenkig verbunden ist. Durch die Gelenkstange werden zwar die Vor-0 Schubbewegungen exakt auf den Wandler übertragen, nicht dagegen Bewegungen quer zur Führungs- oder Vorschubrichtung, die die Abtastbewegung der Tastspitze beeinflussen würden, was unerwünscht ist.
Die Gelenkstangen halten das Gehäuse fest in bezug auf Kippbewegungen und entsprechend auch das Führungsteil aufgrund der stabilen Auflage der Kufen auf der Unterseite des Gehäuses auf der Führungsfläche des Führungsteils.
Vorteilhafterweise ist die Führung für den Schlitten oder Wagen unmittelbar oder mittelbar über ein Stativ mit dem Werkstück verbindbar. Obwohl der Verbindungsweg von dem Wandler bzw. seinem Gehäuse über das Stativ zu dem Werkstück verhältnismäßig lang ist und daher unerwünschte Schwingungen des Schlittens oder Wagens auftreten können, so können diese doch nicht durch die Gelenkstange auf den Wandler übertragen werden, so daß keine durch die Schwingungen bedingten Meßfehler auftreten können.
Gemäß einer anderen Weiterbildung dieser Ausführungsform weist das Führungsteil einen in Führungsrichtung verlaufenden Schlitz auf, durch den die Tastspitze ragt und in der sich die Tastspitze beim Abtastvorgang in Vorschubrichtung bewegt. In den Schlitz greift ein an dem Wandler oder seinem Gehäuse angeordneter Zapfen ein. Der Schlitz liegt auf der Verbindungslinie zwischen den beiden Vorsprüngen an dem Führungsteil zur Auflage auf der Oberfläche eines Werkstücks. Diese Vorsprünge an dem Führungsteil sind so unterschiedlich beschaffen oder ausgebildet, daß ihre Haftung an einem Werkstück verschieden ist. Wird bei dieser Ausführungform ein Vorschubprobelauf durchgeführt, so erfolgt dabei eine Ausrichtung des Schlitzes und damit des Führungsteils in Vorschubrichtung, wobei sich das Führungsteil um den Vorsprung dreht, dessen Haftung auf dem Werkstück größer ist als die des anderen Vorsprungs .
Vorzugsweise ist bei dieser Ausführungsform der
**
Stift rund, und ist dann weiter das in Führungsrichtung weisende Ende des Schlitzes v-förmig, so kann erreicht werden, daß bei Einfahren des Stiftes in das v-förmige Ende eine völlig exakte Ausrichtung des Schlitzes und damit des Führungsteils erfolgt. Die Ausrichtung des
Schlitzes hat vor allen Dingen dann Bedeutung, wenn die Führungsbahn ein Teil einer Führungsebene des Führungsteils ist.
Zwecksmäßigerweise ist das Gehäuse des Wandlers quer zur Führungsrichtung formschlüssig an dem Führungsteil gehalten, so daß beide eine Einheit bilden. Anhand der Zeichnung soll die Erfindung an einem schematisch dargestellten Ausführungsbeispeil näher erläutert werden.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel in Seitenansicht und
Fig. 2 ist ein Schnitt II - II durch Figur 1. Das in Figur 1 dargestellte Ausführungsbeispiel weist ein Gehäuse 2 auf, in dem sich nicht sichtbar ein mechanisch elektrischer Wandler befindet, der in bekannter Weise einen Tastarm aufweist, an dessen freiem Ende sich eine Tastspitze 4 zur Abtastung einer Oberfläche 6 eines Werkstücks 8 befindet. Das Gehäuse 2 liegt mit drei Kufen 10 und 12 stabil auf einer eine Führungsbahn 14 bildenden Oberfläche eines Führungsteils 16 auf. Von den drei Kufen 10 und 12 sind in der Seitenansicht von Fig. 1 nur zwei sichtbar. Entweder die Kufe 10 oder die Kufe 12 besteht aus einem Paar Kufen. Auf der der Führungsbahn 14 abgewandten Seite des Führungsteils 16 befinden sich an diesem ein konvexer Vorsprung 18 und ein spitzer Vorsprung 20, die beide auf der Oberfläche 6 des Werkstücks 8 aufliegen.
Das Gehäuse 2 ist über eine Gelenkstange 22 mit einem Wagen 24 verbunden, wobei zur Verbindung der Ge-
lenkstange 22 mit dem Gehäuse 2 eine Gelenkachse 26 und mit dem Wagen 24 eine Gelenkachse 28 dient. Die Gelenkachsen 26 und 28 verlaufen quer zur Bewegungsbahn des Wagens 24.
Der Wagen 24 fährt mittels Rollen 30 und 32 an einer Führung 34, die von einem Stativ 3 6 gehalten ist. Die Mittel, die den Wagen 24 an der Führung 34 halten, sind nicht näher dargestellt. Diese Rollenführung kann auch eine Gleit- oder Luftführung sein. Das Stativ 3 6 weist einen Tisch 38 auf, auf dem das Werkstück 8 aufliegt.
Der Wagen 24 fährt mittels Rollen 30 und 32 an einer Führung 34, die von einem Stativ 3 6 gehalten ist. Die Mittel, die den Wagen 24 an der Führung 34 halten, sind nicht näher dargestellt. Diese Rollenführung kann auch eine Gleit- oder Luftführung sein. Das Stativ 3 6 weist einen Tisch 38 auf, auf dem das Werkstück 8 aufliegt.
Figur 2 zeigt den Schnitt II - II durch Figur 1, also im wesentlichen das Führungsteil 16 in der Draufsicht. Es ist erkennbar, daß ein Zapfen 40, der in Figur 2 geschnitten dargestellt und in Figur 1 von der Seite sichtbar ist, in einen Schlitz 42 eingreift, dessen dem Vorsprung 20 zugewandtes Ende 44 v-förmig ausgebildet ist.
Das in den Zeichnungen dargestellte Ausführungsbeispiel wird wie folgt verwendet. Zunächst wird auf den Tisch 38 das Werkstück 8 mit seiner zu prüfenden Oberfläche 6 nach oben aufgelegt. Danach wird das Führungsteil 16 mit seinen Vorsprüngen 18 und 21 auf die Oberfläche 6 aufgelegt, wonach das Gehäuse 2 mit seinem 5 darin befindlichen mechanischelektrischen Wandler auf die Führungsbahn 14 des Führungsteils 16 aufgesetzt wird, wobei die drei Kufen 10 und 12 stabil auf der Führungsbahn 14 aufruhen und die Tastspitze 4 durch den Schlitz 42 ragt und auf der Oberfläche 6 des Werkstücks 8 aufliegt. Danach wird ein Probevorschub durchgeführt, bei dem sich das Gehäuse 2 in Richtung eines Pfeiles und der Wagen 24 in Richtung eines Pfeiles 48 bewegen, bis der Zapfen 40 in das v-förmige Ende 44 des Schlitzes 42 einfährt, so daß der Zapfen 4 0 exakt in der V-
Lu::.
&igr; * · m im au
S*i » «to &bgr; .
Form liegt. Bei diesem Vorgang dreht sich das Führungsteil 16 um den spitzen Vorsprung 20, während der Vorsprung 18 aufgrund seiner Kuppenform und der dadurch geringeren Reibkraft seiner Auflage auf der Oberfläche 6 des Werkstücks 8 gleitet. Durch diesen Ausrichtvorgang wird erreicht, daß die Tastspitze 4 beim nachfolgenden Meßvorgang sich in dem Schlitz 42 bewegt, ohne seitlich anzustoßen.
Nach diesem Ausrichtvorgang erfolgt der Meßvorgang. Dabei fährt der Wagen 24 entgegen der Richtung des Pfeiles 48 wieder zurück und nimmt dabei auch das Gehäuse 2 entgegen der Richtung des Pfeiles 46 wieder mit zurück. Somit wird auch der in dem Gehäuse 2 befindliche mechanischelektrische Wandler entgegen der Richtung des Pfeiles 4 6 bewegt, daß die Tastspitze 4 die Oberfläche 6 des Werkstücks 8 in der gewünschten Weise abtastet, und zwar in bezug zu der Führungsbahn 14, die aufgrund der Auflage der Vorsprünge 18 und eine genau definierte Bezugslage zu der Oberfläche 6 des Werkstücks hat.
Claims (12)
1. Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks, dadurch gekennzeichnet,
- mit einer Tastspitze, die am freien Ende eines Tastarmes eines mechanischelektrischen Wandlers angeordnet ist, der die Auslenkung der Tastspitze in entsprechende elektrische Signale umwandelt,
- mit einer Vorschubeinrichtung zur Bewegung des Wandlers im wesentlichen parallel zum Tastarm und
- mit Führungsmitteln zur Führung des Wandlers im wesentlichen parallel zur Oberfläche des Werkstücks,
- daß die Führungsmittel ein Führungsteil (16) mit einer Führungsbahn (14) aufweisen,
- daß der Wandler oder ein ihn umgebendes Gehäuse (2) auf der Führungsbahn (14) mittels dreier in Führungsrichtung im Abstand zueinander angeordneter Kufen (10,12) aufliegt und
- daß das Führungsteil (16) in Führungsrichtung im Abstand zueinander angeordnete Vorsprünge (18, 20) zur Auflage auf der Oberfläche (6) des Werkstücks (8) aufweist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorschubeinrichtung an dem Führungsteil (16) angeordnet ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler oder ein ihn umschließendes Gehäuse (2) über ein Verbindungsteil quer zur Führungsrichtung beweglich mit einem Schlitten oder Wagen (24) verbunden ist und daß die Vorschubeinrichtung den Schlitten oder Wagen (24) bewegt.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungsteil eine Gelenkstange (22) ist, die mit ihrem einen Ende gelenkig mit dem Wandler oder seinem Gehäuse (2) und mit ihrem anderen Ende mit dem Schlitten oder Wagen (24) über quer zur Bewegungsbahn von Schlitten oder Wagen (24) verlaufende Gelenkachsen (26, 28) gelenkig verbunden ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Führung (34) für den Schlitten oder Wagen (24) unmittelbar oder mittelbar über ein Stativ (36) mit dem Werkstück (8) verbindbar ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
- daß das Führungsteil (16) einen in Führungsrichtung verlaufenden Schlitz (42) aufweist, durch den die Tastspitze (4) ragt und in dem sich die Tastspitze (4) beim Abtastvorgang in Vorschubrichtung bewegt,
- daß in den Schlitz (42) ein Zapfen (40) an dem Wandler oder seinem Gehäuse (2) eingreift,
- daß der Schlitz (42) auf der Verbindungslinie zwischen den beiden Vorsprüngen (18, 20) an dem Führungsteil (16) zur Auflage auf der Oberfläche eines Werkstücks (8) liegt,
- daß die Vorsprünge (18, 20) an dem Führungsteil (16) zur Auflage an einem Werkstück (8) so unterschiedlich beschaffen oder ausgebildet sind, daß ihre Haftung an dem Werkstück (8) verschieden ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Haftung des in Vorschubrichtungvorn liegenden Vorsprungs (20) größer ist als die des anderen Vorsprungs (18).
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der in Vorschubrichtung vorn liegende Vorsprung (20) spitz und der andere Vorsprung (18) konvex ist.
9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der in Vorschubrichtung vorn liegende Vorsprung einen vorzugsweise als Elektromagnet ausgebildeten Haftmagneten aufweist.
10. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Zapfen (40) rund ist.
11. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das in Führungsrichtung weisende Ende (44) des Schlitzes (42) v-förmig ist.
12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) des Wandlers quer zur Führungsrichtung formschlüssig an dem Führungsteil (16) gehalten ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20120127U DE20120127U1 (de) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE20120127U DE20120127U1 (de) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE20120127U1 true DE20120127U1 (de) | 2002-03-14 |
Family
ID=7965069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE20120127U Expired - Lifetime DE20120127U1 (de) | 2001-12-12 | 2001-12-12 | Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE20120127U1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202008011629U1 (de) | 2008-09-02 | 2008-12-11 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile |
DE102009035747A1 (de) | 2008-09-02 | 2010-03-04 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung |
DE102015203369A1 (de) | 2015-02-25 | 2016-08-25 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen der Messbedingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zum Vermessen der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren |
WO2016184612A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur erfassung dynamischer schwingungen eines rauheitssensors, verfahren zur vermessung der rauheit einer werkstückoberfläche, computerprogrammprodukt sowie messgerät eingerichtet zur durchführung der verfahren |
-
2001
- 2001-12-12 DE DE20120127U patent/DE20120127U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202008011629U1 (de) | 2008-09-02 | 2008-12-11 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile |
DE102009035747A1 (de) | 2008-09-02 | 2010-03-04 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung |
DE202009018897U1 (de) | 2008-09-02 | 2014-04-14 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung |
DE102015203369A1 (de) | 2015-02-25 | 2016-08-25 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen der Messbedingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zum Vermessen der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren |
US9982987B2 (en) | 2015-02-25 | 2018-05-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method for determining measurement conditions of a roughness sensor, method for measuring a roughness of a workpiece surface, computer program product, and measuring device designed to perform the methods |
DE102015203369B4 (de) * | 2015-02-25 | 2020-02-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen der Messbedingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zum Vermessen der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren |
WO2016184612A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur erfassung dynamischer schwingungen eines rauheitssensors, verfahren zur vermessung der rauheit einer werkstückoberfläche, computerprogrammprodukt sowie messgerät eingerichtet zur durchführung der verfahren |
DE102015209193A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Erfassung dynamischer Schwingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zur Vermessung der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren. |
US10837752B2 (en) | 2015-05-20 | 2020-11-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method for capturing dynamic vibrations of a roughness sensor, method for measuring a roughness of a workpiece surface, computer program product and measuring device configured to carry out the methods |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2644027A1 (de) | Tastkopf | |
DE3824549A1 (de) | Lagerung fuer tastkoepfe | |
DE2611476C2 (de) | Profilindikator | |
DE2831395C2 (de) | Prüfeinrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung | |
DE3537407A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen der geradlinigkeit und planheit | |
DE1184972B (de) | Laengenmesstaster | |
DE20120127U1 (de) | Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks | |
DE2537613C3 (de) | Prufkopfhalterung zum selbsttätigen Fuhren von Ultraschallprüfköpfen entlang räumlich gekrümmter Flächen, insbesondere von Reaktordruckbehältern | |
DE723652C (de) | Geraet zum Feststellen der Oberflaechenbeschaffenheit von Koerpern | |
DE4326406C1 (de) | Verzahnungsprüfgerät | |
DE1918898U (de) | Zusatzgeraet fuer eine vorrichtung zum messen der oberflachenrauhigkeit. | |
DE2726867C2 (de) | Halterung für ein Meß- und/oder Prüfgerät | |
DE953922C (de) | Werkstuecklehr- oder -messkopf | |
EP0416524B1 (de) | Einrichtung zum Wechseln von Taststiften für Messeinrichtungen | |
DE827075C (de) | Quer bewegliche Abstuetzung an Achslagern von Schienenfahrzeugen | |
DE4327260C2 (de) | Manuell zu betätigender Härteprüfer | |
DE2935497C2 (de) | ||
DD288872A5 (de) | Einkoordinatenmessgeraet | |
DE554338C (de) | Geraet zum Pruefen der Dicke von walzenfoermigen, kegeligen oder aehnlichen Koerpern | |
DE592719C (de) | Vorrichtung zum Indeckungbringen zweier parallel zueinander bewegbarer Teile | |
DE2129216C3 (de) | Vorrichtung an einer Schleifmaschine zum Einstellen der Diamantspitze der Vorrichtung zum Abrichten der profilierten Schleifscheibe | |
DE2643022C2 (de) | Einrichtung zur Messwertabnahme an stranggepreflten Profilen | |
DE668068C (de) | Vorrichtung zum Abrichten der gekruemmten Arbeitsflaeche von Zahnradschleifscheiben | |
DE3424282A1 (de) | Tastarm-wechsel-kupplung fuer laengenmessgeraete | |
DE1773672C (de) | Vorrichtung zur Übertragung der Winkel bewegung eines Tasthebels |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20020418 |
|
R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20050128 |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: HOMMEL-ETAMIC GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: HOMMELWERKE GMBH, 78056 VILLINGEN-SCHWENNINGEN, DE Effective date: 20070711 |
|
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20080124 |
|
R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20100120 |
|
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |