DE19823951A1 - Fokussensor für Hochenergielaser - Google Patents
Fokussensor für HochenergielaserInfo
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Description
Diese Erfindung betrifft im allgemeinen aktive optische Systeme
und insbesondere interferometrische Sensoren, die für die Mes
sung von Fokusänderungen benutzt werden, die aus der Hitzeent
wicklung in optischen Hochleistungssystemen und den damit ver
bundenen Verzerrungen der Wellenfront dieser Hochleistungsstrah
len resultieren. Der Begriff "aktive Optiken" bezieht sich auf
optische Komponenten, deren Eigenschaften zur Steuerung opti
scher Wellenfronten während des eigentlichen Betriebes einge
stellt werden. Der Begriff "optischer Strahl" beschreibt die
Ausbreitungsrichtung einer Strahlung und eine "Wellenfront" ist
eine dreidimensionale Oberfläche konstanter Lichtweglänge, die
orthogonal zu einer aus einer Strahlungsquelle austretenden
Strahlengruppe ist. Um ein Bild einer punktförmigen Strahlen
quelle zu erhalten, müssen alle Strahlen in dieser Gruppe die
selbe optische Weglänge aufweisen. In einem Medium mit konstan
tem Brechungsindex wird dies durch die Erzeugung einer sphäri
schen Wellenfront oder, wenn die Punktquelle im Unendlichen
liegt, einer planaren Wellenfront erreicht. Obwohl die geometri
schen Vorstellungen von optischen Strahlen und Wellenfronten
keine reale physikalische Existenz haben, sind diese für den
Entwurf und das Verständnis von optischen Systemen unverzichtbar
und werden daher in dieser Beschreibung benutzt.
In Anwendungen von Hochleistungs- oder Hochenergielaserstrahlen,
der Begriff ist austauschbar, kann die Absorption der Laser
strahlen durch optische Elemente mit nachfolgenden Abbil
dungsfehlern zu einer Verzerrung der Wellenfront des Hochlei
stungsstrahls führen, insbesondere mit einer Änderung des Fokus.
Diese Fokusänderung kann beträchtlich sein und ohne Einrichtun
gen zur Erkennung und Korrektur dieser Fokusänderung kann sich
die Brauchbarkeit des Lasersystems deutlich verschlechtern.
Hochenergetische optische Lasersysteme haben eine Ausgangslei
stung von ca. einer Million Watt, stellen eine relativ neue Ent
wicklung dar und sind in industriellen Anwendungen noch nicht
weit verbreitet. Folglich hat sich der Stand der Technik noch
nicht unmittelbar mit dem Problem der Fokusänderungen von
hochenergetischen Laserstrahlen beschäftigt. Mögliche industri
elle Anwendungen schließen Schweiß- oder Schneidevorgänge mit
Hilfe von Lasern ein, die gemeinhin in verschiedenen Industrien
Anwendung finden, beginnend bei der Automobilherstellung, der
Bekleidungsindustrie und der mikroelektronischen Industrie und
anderen Präzisionslaserschweiß- und -herstellungsindustrien.
Eine Vorrichtung zur Fokusdetektion mit einer Korrektur der Wel
lenfrontaberration unter Verwendung von elektrischen Berechnun
gen ist im US-Patent Nr. 4 748 321 offenbart. Diese Vorrichtung
nutzt zur Korrektur der Wellenfrontaberration komplexe elektro
nische numerische Berechnungen und ist für die Aufgabe, ledig
lich Fokusänderungen zu erkennen, unverhältnismäßig komplex.
Zusätzlich ist ein interferometrisches System, das mit einem De
tektor zur Kompensation der Wellenfrontaberration verbunden ist,
in US-Patent Nr. 4 682 025 offenbart. Diese Vorrichtungen nutzen
komplexe Detektoranordnungen und mehrfache flexible Spiegelele
mente, die ebenfalls unverhältnismäßig komplex für die Aufgabe,
lediglich die Fokusänderung in Hochenergielaserstrahlen zu er
kennen, sind. Soweit kann festgestellt werden, daß kein bekann
tes System alle Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung
beinhaltet.
Die Überlagerungsinterferometrie ist eine Methode, die in eini
gen bekannten Systemen genutzt wird. Bei dieser Methode werden
die Phasenwinkelunterschiede, die an einer Wellenfront gemessen
werden, von einem dem System überlagerten hochfrequenten
"Zitter"-Signal getragen. Diese Phasenwinkelunterschiede werden
dann in einem synchronen Detektionsschritt extrahiert. Der
hauptsächliche Vorteil der Überlagerungsinterferometrie ist, daß
sie in hohem Maße unempfindlich gegenüber Rauschsignalen ist,
die normalerweise die Genauigkeit der Phasenwinkelmessung ver
zerren würden. In einer Publikation von N.A. Massie et al.:
"Flow Field Testing with 64 Parallel Channel Heterodyne Inter
ferometer", Proc. of SPIE-The International Society for Optical
Engineering, Vol. 351, Wavefront Sensing, pp. 141-147, August
1982, und in anderen darin zitierten Publikationen wird eine
Version einer Vorrichtung offenbart, auf die als Überlagungsin
terferometer verwiesen wird. Dennoch verbinden andere Strahlen
systeme diese Methode nicht mit einem interferometrischen Sensor
einfacher Bauweise.
Trotz dieser Entwicklungen besteht weiterhin der Bedarf nach ei
ner schnellen, einfachen und zuverlässigen Methode zur Erkennung
und Messung der Fokusänderung eines Hochenergielaserstrahls.
Idealerweise wird der Fokusänderungssensor ein einfaches Instru
ment mit möglichst wenigen beweglichen Teilen sein, auf einer
zuverlässigen und erprobten Technologie basieren und eine
schlichte und robuste Bauweise aufweisen, die schnelle und zu
verlässige Messungen ermöglichen. Des weiteren sollte der Fokus
sensor für Hochenergielaser weniger komplex sein als andere be
kannte interferometrische Systeme und sollte in der Lage sein
eine Messung der Fokusänderungen ohne komplexe numerische Be
rechnungen zu ermöglichen. Die vorliegende Erfindung erfüllt
diese Anforderungen und weist zusätzliche Vorteile gegenüber be
kannten Vorrichtungen auf.
Im weitesten Sinne stellt die vorliegende Erfindung einen in
sich geschlossenen (selbständigen) Fokussensor zur Verfügung,
der in der Lage ist Fokusänderungskorrektursignale für einen
Hochenergielaserstrahl, z. B. einen Laserstrahl mit über einer
Million Watt Ausgangsleistung, zu erzeugen. Aber wie in der fol
genden Beschreibung verdeutlicht ist, ist die vorliegende Er
findung nicht auf Laserstrahlen mit Ausgangsleistungen im Be
reich von einer Million Watt beschränkt. Spiegel und Linsen ver
zerren proportional zur Bestrahlungsstärke (Watt/cm2) und nicht
zu der auf sie gerichteten Leistung (Watt). Daher können kleine
re Laser, die kleine Optiken benutzen, deutliche Verzerrungspro
bleme haben. Dies ist darauf zurückzuführen, daß die Werte der
Bestrahlungsstärke in dem optischen System groß sein können. Um
gekehrt können Millionen-Watt-Laser mit großen Optiken überhaupt
keine Verzerrungsprobleme haben. Ist jedoch ein Millionen-Watt-
Laser mit Optiken, deren Durchmesser einige Zehntel Zentimeter
hat, erwünscht, können Linsenverzerrungen schwerwiegende Proble
me erzeugen. Da alle praktischen Anwendungen optische Elemente
zu relativ kleinen Baugrößen zwingen, wird die Kontrolle des Fo
kus unentbehrlich.
Kurz und allgemein formuliert umfaßt der Gegenstand der Erfin
dung Einrichtungen zur Teilung eines Eingangsstrahls in einen
Referenzarmstrahl und einen Probenstrahl, Einrichtungen zur Er
zeugung eines Referenzstrahles mit einer gleichförmigen Phasen
oberfläche aus dem Referenzarmstrahl, Einrichtungen zur Rekombi
nation des Probenstrahls und des Referenzstrahls, um ein Inter
ferenzmuster zu erzeugen, und Einrichtungen zum Fokussieren des
Interferenzmusters auf einen Detektor.
Die Erfindung umfaßt auch Neigungskorrektureinrichtungen zur Zen
trierung des in das Interferometer geschickten Eingangsstrahls,
Einrichtungen zur Modulation des Referenzstrahls mit einem hoch
frequenten Zittersignal, Detektionseinrichtungen zur Erzeugung
eines die Intensität des Interferenzmusters wiedergebenden elek
trischen Signals, und einem elektronischen Schaltkreis, der zur
Erzeugung eines Fokusänderungskorrektursignals mit den Detekti
onseinrichtungen verbunden ist. Das Neigungskorrektursystem um
faßt einen Steuerspiegel, einen Strahlteiler(-Aufnehmer) und ei
nen Vierzellendetektor. Der Steuerspiegel ist ein reflektieren
der bewegbarer Spiegel, der kontinuierlich zur Änderung der Nei
gung des Eingangsstrahls eingestellt werden kann, während der
halbdurchlässige Strahlteiler(-Aufnehmer) einen Teil des Ein
gangsstrahls vom Steuerspiegel zum Vierzellendetektor richtet.
Der Vierzellendetektor erzeugt proportional zu der Menge des auf
die Vierzellendetektoroberfläche abgeleiteten einfallenden Lich
tes ein Signal und nutzt dieses Signal, um den Steuerspiegel zum
Nullabgleich des Signals zu steuern.
Der elektrische Schaltkreis umfaßt einen Transimpedanzverstär
ker, synchrone Detektoreinrichtungen zur Entfernung der Zitter
frequenzkomponenten, Integrationseinrichtungen zur Erzeugung ei
nes Fehlersignals, das die Fokusänderungen in dem hochenergeti
schen Eingangslaserstrahl wiedergibt, einen Steuerverstärker,
der ein Fokusänderungskorrektursignal ausgibt, und Einrichtungen
zur Kopplung des Fokusänderungskorrektursignals an eine axial
justierbare Linse, die zur Erzeugung einer Änderung der Phasen
krümmung der Wellenfront des Referenzstrahls benutzt wird. Die
justierbare Linse wird mit einem elektrischen Servokreis-
Schaltkreis zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des
Referenzstrahls automatisch eingestellt, um diese der des Pro
benstrahls anzupassen. Da der Gegenstand der Erfindung weder
komplexe numerische Berechnungen zur Erkennung der Fokusänderung
eines Strahls benötigt noch zahlreiche bewegbare Komponenten
verwendet, wie z. B. ein Detektorarray oder mehrfache flexible
Spiegel- oder Linsenelemente, ist die Bauweise weniger teuer,
einfacher und daher robuster.
Im Sinne einer Methode zur Erkennung einer Fokusänderung eines
hochenergetischen Laserstrahls umfaßt diese Erfindung grundle
gende Maßnahmen zur Korrektur beliebiger Neigungen von Eingangs
strahlen, Teilung des Eingangsstrahles in einen Referenz
armstrahl und einen Probenstrahl, Erzeugung eines Referenzstrah
les aus dem Referenzarmstrahl und Kombination des Probenstrahls
und des Referenzstrahls, um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
das anschließend mit einer Linse auf einen Detektor fokussiert
wird. Der Probenstrahl ist auf einen sich in einem Schenkel des
Interferometers der Michelson-Bauart befindenden reflektierenden
Spiegel gerichtet und kann durch einen Dämpfungsfilter geleitet
werden, falls eine Photonendämpfung notwendig ist. Zusätzlich
umfaßt die Erfindung Maßnahmen zur Modulation des Refe
renzsignals mit einem hochfrequenten Zittersignal, um ein zeit
lich sich änderndes Signal über der Detektoroberfläche zu erzeu
gen. Der Detektor erzeugt dann ein sinusförmiges elektrisches
Signal als Antwort auf das zeitlich sich ändernde Signal.
Die verbleibenden Maßnahmen dieser Methode umfassen eine syn
chrone Detektion des sinusförmigen elektrischen Signals des De
tektors, der durch die Entfernung der Zitterfrequenzkomponenten
demoduliert, eine Integration der detektierten Signale zur Er
zeugung eines Fokusänderungskorrektursignals, wie des zeitlichen
Integrals des demodulierten sinusförmigen elektrischen Signals,
wobei das Fokusänderungskorrektursignal die Fokusänderung des
Strahls wiedergibt, und eine Kopplung des Fokusänderungskorrek
tursignals an eine axial justierbare Linse, wobei die justier
bare Linse zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des
Referenzstrahls automatisch eingestellt wird, um diese an die
des Probenstrahls anzupassen. Hinter dem Strahlteiler kann das
Fokusänderungskorrektursignal zur Beseitigung oder Kompensation
der Fokusänderung des hochenergetischen Laserstrahls benutzt
werden.
Ausgehend hiervon ist festzustellen, daß die vorliegende Erfin
dung einen deutlichen Fortschritt auf dem Bereich der aktiven
optischen Systeme darstellt. Insbesondere stellt diese Erfindung
ein neigungskorrigiertes Überlagerungsinterferometer einer ein
fachen und zuverlässigen Bauweise zur Verfügung, in dem ein Ein
gangsstrahl überprüft und mit einem Referenzstrahl verglichen
wird. Der Referenzstrahl wird dann unter Verwendung einer axial
justierbaren Linse zur Erzeugung einer Phasenkrümmung einge
stellt, um diese der des Probenstrahls anzupassen. Die axial ju
stierbare Linse stellt einen kennzeichnenden Vorteil der Erfin
dung dar. Das aus der Einstellung des Referenzstrahls resultie
rende Signal kann dann zur Korrektur einer beliebigen Fokusände
rung in dem hochenergetischen Laserstrahl benutzt werden. Andere
Aspekte und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden de
taillierteren Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten
Zeichnungen ersichtlich.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung zur Verdeutlichung des
Prinzips eines Michelson-Interferometers.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung eines Fokussensors für
hochenergetische Laser in Übereinstimmung mit der Erfindung.
Fig. 3 ist ein schematisches Diagramm eines elektro-optischen
Servoschaltkreises, der in dem Fokussensor für hochenergetische
Laser aus Fig. 2 verwendet wird.
Wie in den Zeichnungen zur Veranschaulichung gezeigt ist, be
trifft die vorliegende Erfindung eine Anwendung eines aktiven
optischen Systems zur Erkennung von Fokusänderungen von hoch
energetischen Laserstrahlen. Die Erkennung von Fokusänderungen
beruhte in der Vergangenheit prinzipiell auf Verfahren zur Re
konstruktion von Wellenfronten. Diese Verfahren erfordern kom
plexe digitale numerische Berechnungen und/oder komplexe opti
sche Komponenten, wie z. B. flexible Spiegel unter Servokreis
steuerung. Diese Verfahren, obwohl sie zur Erkennung von Fokus
änderungen bei Anwendungen von hochenergetischen Laserstrahlen
geeignet sind, erfordern komplexe und zahlreiche Komponenten und
Steuermechanismen, die diese unnötig teuer, aufwendig und unzu
verlässig machen. Die vorliegende Erfindung nutzt eine wesent
lich einfachere robuste Bauweise, die schnelle und zuverlässige
Messungen von Fokusänderungen ermöglicht.
In Übereinstimmung mit der Erfindung wird die Erkennung von Fo
kusänderungen schnell und einfach unter Verwendung von Einrich
tungen eines Fokusänderungssensors durchgeführt, die ein Inter
ferometer der Michelson-Bauart umfassen. Das Interferometer wird
automatisch zur Variation der Phasenkrümmung des Referenzstrahls
derart gesteuert, daß diese mit der des Probenstrahls überein
stimmt. Die elektrischen Kontrollsignale, die zur Steuerung des
Interferometers benutzt werden, geben die Fokusänderung des Pro
beneingangsstrahls wieder und können zur Korrektur der Fokusän
derung eines hochenergetischen Laserstrahls benutzt werden.
Im Sinne einer Darstellung der Grundlagen ist in Fig. 1 ein Mi
chelson-Interferometer abgebildet. Ein Eingangsstrahl, bezeich
net durch die Referenzziffer 10, fällt auf einen halbdurchlässi
gen Strahlteiler 12. Ein Teil des Eingangsstrahles geht durch
den Strahlteiler 12 zu einem planen Referenzspiegel 14, während
der übrige Teil in einem Winkel von 90° zu einem bewegbaren pla
nen Spiegel 16 reflektiert wird. Etwas des vom Referenzspiegel
14 reflektierten Lichts wird am Strahlteiler 12 erneut reflek
tiert und fällt durch eine Feldlinse 18 und auf eine Beobach
tungsebene 20. In ähnlicher Weise fällt etwas des von dem be
wegbaren Spiegel 16 reflektierten Lichts durch den Strahlteiler
12, wonach es sich mit dem Licht vom Referenzspiegel 14 kombi
niert, und fällt durch die Feldlinse 18 und auf die Beobach
tungsebene 20. Die zwei Strahlen des Lichts, die auf der Beob
achtungsebene 20 ankommen, haben unterschiedliche optische Wege
zurückgelegt und haben im allgemeinen eine unterschiedliche re
lative Phase. Im ursprünglichen Michelson-Interferometer konnte
der Spiegel 16 mit Einrichtungen einer Mikrometerschraube bewegt
werden und die resultierenden Interferenzstreifen auf der Beob
achtungsebene 20 wurden benutzt, um den optischen Weglängenun
terschied zwischen den Schenkeln auf Null (weiße Lichtquelle)
oder ein vielfaches dieser Wellenlänge (kohärente Lichtquelle)
abzugleichen.
Das Interferometer der vorliegenden Erfindung nutzt das Michel
son-Prinzip in einer neuartigen Bauweise, die in Fig. 2 gezeigt
ist. Die vorliegende Erfindung nutzt ein Neigungskorrektur
system, im allgemeinen durch 25 bezeichnet, um zu gewährleisten,
daß der in das Interferometer geschickte Eingangsstrahl zen
triert wird. Das Neigungskorrektursystem 25 umfaßt einen Steuer
spiegel 30, einen Strahlteiler(-Aufnehmer) 32 und einen Vierzel
lendetektor 36. Ein Interferometereingangsstrahl 40 fällt in ei
nem Winkel von 45° auf einen 50-50 Strahlteiler 42, der den
Strahl in einen Probenstrahl 44 und einen Referenzarmstrahl 50
teilt. Der Referenzarmstrahl 50 wird mit einer Linse 52 durch
einen räumlichen Lochfilter 54 fokussiert und mit einer Linse 56
auf einen Spiegel 58 rekollimiert. Vom Spiegel 58 reflektiertes
Licht wird mit der Linse 56 durch den räumlichen Lochfilter 54
fokussiert und mit der Linse 52 auf den 50-50 Strahlteiler 42
rekollimiert. Licht, das durch den räumlichen Filter 54 zurück
reflektiert und auf den 50-50 Strahlteiler 42 kollimiert wird,
hat eine gleichförmige Phasenoberfläche, die durch den zweifa
chen Durchgang durch den räumlichen Filter 54 entsteht, und
scheint aus einer im Unendlichen liegenden punktförmigen Quelle
auszutreten. Dieser reflektierte Strahl stellt den Referenz
strahl 50 dar, hat eine nahezu planare Wellenfront und wird zu
mindest teilweise durch den 50-50 Strahlteiler 42 in einem Win
kel von 90° zu dem Detektor 64 reflektiert.
Im anderen Schenkel des Interferometers kann der Probenstrahl 44
durch einen Dämpfungsfilter 46 und auf einen planen Spiegel 48
fallen. Der Probenstrahl 44 wird dann zurück durch den Dämp
fungsfilter 46 und zum 50-50 Strahlteiler 42 reflektiert, der
einen beträchtlichen Teil dieses Strahls zur Rekombination mit
dem Referenzstrahl durchläßt. Der rekombinierte Probenstrahl 44
und Referenzstrahl 50 fallen auf eine Linse 62, wo ein Interfe
renzmuster erzeugt wird. Der Probenstrahl 44 und der Referenz
strahl 50 werden mit der Linse 62 auf den Detektor 64 fokus
siert. Der Detektor 64 ist ein photoelektrischer Wandler, der
ein entsprechendes elektrisches Signal auf einer Ausgabeleitung
68 (s. Fig. 3) erzeugt, das zu einem elektronischen Modul ge
koppelt ist, welches ein die Fokusänderung des Eingangsstrahls
wiedergebendes Fokusänderungskorrektursignal berechnet und die
ses Fokusänderungskorrektursignal über eine Leitung 84 (s. Fig.
3) zu der Linse 52 überträgt, die axial einstellbar ist.
Der Steuerspiegel 30 des Neigungskorrektursystems 25 ist ein re
flektierender bewegbarer Spiegel, der kontinuierlich zur Ände
rung der Neigung des in das Interferometer geschickten Inter
ferometereingangsstrahls 40 eingestellt werden kann, während der
halbdurchlässige Strahlteiler(-Aufnehmer) 32 einen Teil des re
flektierten Eingangsstrahls 28 vom Steuerspiegel 30 zum Vierzel
lendetektor 36 sendet. Der Strahlteiler(-Aufnehmer) 32 erzeugt
einen Neigungsprobenstrahl 34, der benutzt wird, um festzustel
len, ob die einfallende Wellenfront geneigt ist. Der Neigungs
probenstrahl 34 ist zu dem Vierzellendetektor 36 gerichtet. Der
Vierzellendetektor 36 ist ein standardisierter π-förmiger Detek
tor, der geeignet ist einfallendes Licht zu detektieren und dif
ferentielles Detektorsignal zu erzeugen, das proportional zu der
Menge des auf die Detektoroberfläche 64 abgelenkten einfallenden
Lichtes ist. Wenn die Wellenfront des reflektierten Ein
gangsstrahls 28 geneigt ist, stellt der Vierzellendetektor 36
ein Ungleichgewicht zwischen gegenüberliegenden Detektorelemen
ten des Vierzellendetektors 36 fest und erzeugt das differenti
elle Detektorsignal 38, das zur Steuerung des Steuerspiegel 30
benutzt wird, um das differentielle Detektorsignal 38 auf Null
abzugleichen. Das durch das Vierzellensystem 36 der Erfindung
erzeugte differentielle Detektorsignal 38 kann zur Bestimmung
des Grades der Neigung der Wellenfront des reflektierten Ein
gangsstrahls 28 benutzt werden, die dann korrigiert werden kann.
Die axial justierbare Linse 52 wird zur Änderung der Phasenkrüm
mung des Referenzstrahls 50 bewegt, um diese an die des Proben
strahls 44 anzupassen. In einem Ausführungsbeispiel wird die
Linse 52 mit einem Schneckengetriebe axial eingestellt. Daher
geben die elektrischen Detektorsignale auf Leitung 68 (s. Fig.
3) die Fokusänderung des Eingangsstrahls 22 an. Das in Fig. 2
abgebildete Instrument arbeitet als unabhängiger interferometri
scher Sensor, der Fokusänderungskorrektursignale auf der Leitung
84 (s. Fig. 3) zur Verfügung stellt, die die Fokusänderung des
Eingangsstrahls 22 angeben. Das in Fig. 2 gezeigte Interferome
ter kann wirksam in hochenergetischen Laserstrahleinrichtungen
zur aktiven Kompensation von Fokusänderungen eingesetzt werden.
Ein weiterer Aspekt des Interferometers aus Fig. 2 wird im fol
genden beschrieben. Der zur Erzeugung des Referenzstrahls 50 be
nutzte Spiegel 58 ist ebenfalls axial bewegbar. Das von einem
Generator 74 stammende Phasenzittersignal wird über die Leitung
86 zugeführt, um den Spiegel 58 mit Einrichtungen eines geeigne
ten piezoelektrischen Wandlers (s. Fig. 3) entlang seiner opti
schen Achse zu oszillieren. Da die Zitterfrequenz typischerweise
zur Vermeidung eines 1/f-Rauschens gewählt wird, beträgt die
Zitterfrequenz etwa 10 kHz. Dies stellt den Überlagerungsaspekt
des Aufbaus dar. Aufgrund des Zitterns des Spiegels 58 enthält
der Referenzstrahl 50 Frequenzkomponenten, die die Summe und die
Differenz der Frequenzen des Eingangsstrahls und des Zitter
signals wiedergegeben.
Wie im folgenden unter Bezugnahme auf Fig. 3 kurz beschrieben
wird, wird die Zitterkomponente in einem elektronischen Modul 90
durch eine synchrone Detektion unter Verwendung eines elektri
schen Zittersignals 76, das vom Generator 74 zu dem Modul 90
übertragen wird, entfernt. Der primäre Vorteil dieses Überlage
rungsvorganges des Interferometers ist, daß das Fokusänderungs
signal wirkungsvoll auf eine zitterfrequente Trägerwelle modu
liert wird und das System inhärent unempfindlich gegenüber Rau
schen ist.
Fig. 3 zeigt die Komponenten des elektronischen Moduls 90. Die
Komponenten umfassen einen Transimpedanzverstärker 70, einen
synchronen Detektor 72, einen Integrator 78 und einen Steuerver
stärker 82 zum Antrieb der axial justierbaren Linse 52. Vom De
tektor 68 erhaltene elektrische Signale werden zuerst im Trans
impedanzverstärker 70 verstärkt. Der Transimpedanzverstärker 70
ist ein Vorverstärker eines Typs, der üblicherweise in Verbin
dung mit Photodetektoren zur Impedanzanpassung verwendet wird,
und wird benutzt, um eine Aufladung des Detektors 64 zu verhin
dern. Nach der Verstärkung wird ein vom Detektor 68 erhaltenes
elektrisches Signal 71 synchron detektiert 72 und an einen Inte
grator 78 weitergeleitet. Der Integrator 78 ist ein Standardbau
teil und umfaßt einen Widerstand 92, eine Kapazität 94 und einen
Operationsverstärker 96. Ein Fehlersignal, das vom Steuerver
stärker 82 zur Ausgabe eines Fokusänderungskorrektursignales 84
verstärkt wird, tritt aus dem Integrator 78 auf Leitung 80 aus.
Das Vorzeichen des Fokusänderungskorrektursignals 84 bestimmt
die Richtung der Bewegung und dessen Größe bestimmt das Ausmaß
der Bewegung. In einer Ausführung ist das Fokusänderungskorrek
tursignal 84 an ein elektrisch angetriebenes Schneckengetriebe
gekoppelt, das zum Antrieb der axial justierbaren Linse 52 be
nutzt wird.
Die Messung der Fokusänderung umfaßt die Kombination des ver
stärkten elektrischen Detektorsignals 71 mit einem synchronen
zitterfrequenten Referenzsignal 76, um ein demoduliertes
Ausgangssignal auf Leitung 73 zu erhalten, welches proportional
zur Differenz zwischen den Phasenkrümmungen der Wellenfronten
des Referenzstrahls 50 und des Probenstrahls 44 ist. Das demodu
lierte Ausgangssignal 73 wird dann integriert, um ein Fokusände
rungskorrektursignal zu erzeugen, wobei dieses Fokusänderungs
korrektursignal das zeitliche Integral des demodulierten Aus
gangssignals 73 ist. Das von dem Oszillator 74 erzeugte zitter
frequente Signal wird ebenfalls über die Leitung 86 an den Spie
gel 58 weitergeleitet. Der gezeichnete Servokreis-Schaltkreis
ist ein sogenannter null-suchender Servokreis. In Übereinstim
mung mit Gleichung 6 wird die Fehlercharakteristik bei Δf = 0 mit
einem Vorzeichen, das mit dem Vorzeichen der Differenz der Fo
kuslängen übereinstimmt, zu Null. Dies führt zu einer schnellen
Synchronisation der Phasen des interferierenden Probenstrahls 44
und Referenzstrahls 50 und erzeugt ein Fokusänderungskorrektur
signal 84, das den Referenzstrahls 50 in Phase mit dem Proben
strahl 44 hält. Das Fokusänderungskorrektursignal 84 gibt die
Fokusänderung des Eingangsstrahls 22 an.
Dieses Fokusänderungskorrektursignal kann durch die Berechnung
einer Fehlercharakteristik analytisch quantifiziert werden. Un
ter der Annahme einer Probenwelle Es und einer Referenzwelle Eref,
die folgende Form haben, gilt:
a und b sind hier komplexe Konstanten, f1 und f2 sind die zwei
fraglichen Fokuslängen und η, θ beschreiben die Ausdehnung des
Hochfrequenz-Zitterspiegels 58 und dessen Frequenz, angegeben im
Winkelformat, wobei beispielsweise das Produkt der Winkelfre
quenzen die Zeit angibt. Die beiden Felder kombinieren sich an
dem Strahlteiler 42, wie in Gleichung (1) gezeigt ist. Das Sum
menfeld fällt durch die Linse 62 und wird auf dem Detektor 64
abgebildet. Das Fernfeld auf dem Detektor 64 ist die Fourier
transformierte der Felder, die die Linsenapertur 62 ausfüllen.
Die Transformierte wird unter der Annahme angenähert, daß bei
einem gegen Unendlich gehenden Radius der Linse 62 der Durchmes
ser der Linse 62 vielen Wellenlängen entspricht, um so eine ana
lytische Berechnung der Transformierten zu erlauben. Das Schlüs
selintegral hat die Form:
Mit dieser Transformation, der Definition der Felder in Glei
chung (1) und der Fokuslänge f3 der Linse 62 kann die Be
strahlungsstärke in der Detektorebene 64 wie folgt beschrieben
werden:
Der Winkel Φ ist hier ein beliebiger Phasenwinkel zwischen dem
Referenzstrahl 50 und dem Probenstrahl 44. Die Bestrahlungsstär
ke füllt oder überfüllt die Apertur des Detektors 64, die den
Durchmesser d hat. Daher ist die Detektorspannung I das Integral
von I über die Aperturfläche:
Die Größe ξ beschreibt hier die Quantenausbeute des Detektors, h
ist die Planck'sche Konstante und λ die Betriebswellenlänge. Eine
elektrische Spannung, die proportional zu der in Gleichung (4)
ist, wird synchron an 72 detektiert und an 78 integriert. Mathe
matisch gesprochen multipliziert der Ausgang 76 des Zittergene
rators die in der oben aufgeführten Gleichung gezeigte Spannung
und mittelt das Ergebnis über eine Zitterperiode:
Abgesehen von einigen nicht bedeutsamen konstanten Verstärkungs
faktoren ist die Spannung Ve die erwünschte Fehlerspannung, die
das Fokusänderungskorrektursignal 84 wiedergibt. Die Konstante κ
faßt alle räumlichen Größen, wie die Quantenausbeute, die Elek
tronenladung, die Planck'sche Konstante usw., zusammen. Es ist
zu bemerken, daß der erste Term in der Klammer eine gerade Funk
tion von Δf/λ ist, während der zweite eine ungerade ist. Daher
wird ein Wert von Φ, der ungleich Null ist, den Nulldurchgang
derart sperren, daß der Servo bei einer festen mittleren Phasen
differenz zwischen den Wellenfronten des Probenstrahls 44 und
des Referenzstrahls 50, die ungleich Null ist, sperrt. In einem
passend konstruierten Interferometer kann dieser Phasenwinkel
sorgfältig abgestimmt werden. Somit ist der geeignete endgültige
funktionale Term für die Fehlercharakteristik:
Es ist klar, daß die Fehlercharakteristik proportional zu Größe
und Vorzeichen von Δf und der Zittergröße sowie zu dem Gesamt
verstärkungsfaktor durch den Vorverstärker 70, den Integrator 78
und den Steuerverstärker 82 ist. Die Fehlercharakteristik ver
läßt den Steuerverstärker 82 als Fokusänderungskorrektursignal,
wobei dieses Fokusänderungskorrektursignal mit der axial ju
stierbaren Linse gekoppelt ist, die zur Anpassung der Phasen
krümmung des Referenzstrahls 50 an die des Probenstrahls 44 ge
eignet ist.
Während hier besondere Elemente, Ausführungsformen und Anwendun
gen der vorliegenden Erfindung gezeigt und beschrieben wurden,
ist es natürlich verständlich, daß diese Erfindung nicht hierauf
beschränkt ist, da Modifikationen durch Fachleute, insbesondere
angesichts der vorhergehenden Lehren, durchgeführt werden kön
nen. Daher wird die Erfindung durch die beigefügten Ansprüche so
betrachtet, daß solche Modifikationen, wie die Einbeziehung der
Merkmale, die im Bereich des Erfindungsgedankens sowie des
Schutzbereichs der Erfindung liegen, abgedeckt sind.
Claims (32)
1. Ein Fokussensor für Hochenergielaser mit:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung eines Eingangsstrahls (22),
- - Strahlteilereinrichtungen (42) zur Teilung des Eingangsstrahls (22) in einen Referenzarmstrahl (50) und einen Probenstrahl (44),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem Referenzarmstrahl (50),
- - Einrichtungen zur Modulation (90) des Referenzstrahls (50) mit einem hochfrequenten Zittersignal (76),
- - Einrichtungen für eine axial justierbare Linse (52) zur Erzeu gung von Wellenfrontänderungen in dem Referenzstrahl (50),
- - Einrichtungen zur Rekombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Detektionseinrichtungen (64) zur Erzeugung von elektrischen Signalen (68), die das Interferenzmuster wiedergeben,
- - einem mit den Detektionseinrichtungen verbundenen elektrischen Schaltkreis, wobei der elektrische Schaltkreis synchrone Detek toreinrichtungen zur Entfernung der Zitterfrequenzkomponenten aus den elektrischen Signalen (68) und Einrichtungen zur Erzeu gung eines Fokusänderungskorrektursignals (84) aus den elektri schen Signalen (68) umfaßt, und
- - Einrichtungen für die Kopplung des Fokusänderungskorrektursi gnals an die Einrichtungen der axial justierbaren Linse (52), so daß die Einrichtungen der justierbaren Linse automatisch einge stellt werden, um die Phasenkrümmung der Wellenfront des Refe renzstrahls (50) auf die des Probenstrahls (44) anzupassen.
2. Ein Fokussensor für Hochenergielaser nach Anspruch 1, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl (22) zu einem Strahltei ler(-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem der Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetek tor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differenzielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
3. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 1, wo
bei:
- - die Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls einen Spiegel (58) umfassen, der den Referenzstrahl zu den Strahltei lungseinrichtungen zurück reflektiert,
- - die Einrichtungen der axial justierbaren Linse (52) so ange bracht sind, daß sie den Referenzstrahl (50) zu den Strahltei lungseinrichtungen zurücksenden, und
- - die Strahlteilungseinrichtungen den Referenzstrahl (50) und den Probenstrahl (44) rekombinieren.
4. Ein Fokussensor für Hochenergielaser- gemäß Anspruch 3, wo
bei die Einrichtungen zur Modulation des Referenzstrahls mit ei
nem hochfrequenten Zittersignal (76) umfassen:
- - einen Zitterfrequenzsignalgenerator (74), und
- - Meßumformeinrichtungen, die mit dem Zitterfrequenzsignalge nerator (74) verbunden sind, um den zur Erzeugung des Referenz strahls benutzten Spiegel (58) zu oszillieren.
5. Ein Fokussensor für Hochenergielaser zur Erkennung von Fo
kusänderungen in einem Eingangsstrahl, wobei der Sensor umfaßt:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung des Eingangsstrahls (22),
- - Einrichtungen zum Erhalt eines Probenstrahls (44) aus dem Ein gangsstrahl (22),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem Eingangsstrahl (22),
- - Einrichtungen zur Kombination des Probenstrahls (44) mit dem Referenzstrahl (50), um ein korrespondierendes Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Einrichtungen zur Fokussierung des Interferenzmusters auf ei nem Detektor (64), wobei dieser Detektor so angebracht ist, daß er das Interferenzmuster erfaßt und ein entsprechendes elektri sches Signal (68), das das Interferenzmuster wiedergibt, er zeugt, und
- - elektronische Schaltkreiseinrichtungen zur Erzeugung eines Fo kusänderungskorrektursignals (84) aus den elektrischen Detektor signalen (68) und zur Kopplung des Fokusänderungskorrektursi gnals an eine axial justierbare Linse (52), wobei die Linse zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese der des Proben strahls (44) anzupassen, und die Fokusänderungskorrektursignale (84) Angaben über den Grad der Fokusänderungen in dem Eingangs strahl (22) zur Verfügung stellen.
6. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 5, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl zu einem Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
7. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 5, wo
bei die Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls aus
dem Eingangsstrahl umfassen:
- - einen Strahlteiler (42), um einen Referenzanteil (50) aus dem Eingangsstrahl (22) zu erhalten,
- - einen räumlichen Lochfilter (54), der zum Empfang des Refe renzanteils (50) des Eingangsstrahls (22), der durch die axial justierbare Linse (52) fokussiert wird, angeordnet ist, und
- - einen Spiegel (58) zur Reflektion des Referenzanteils (50) des Strahls zurück durch den räumlichen Lochfilter (54), so daß der Referenzstrahl (50) eine gleichförmige Phasenoberfläche auf weist.
8. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 7, wo
bei:
- - die Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls zusätz lich eine rekollimierende Linse (62) zur Rekollimation des Refe renzanteils (50) des Strahls, der aus dem räumlichen Lochfilter (54) austritt, umfassen,
- - die axial justierbare Linse (52) als rekollimierende Linse ar beitet, und
- - der Spiegel (58) zur Reflektion des Referenzanteils (50) des Strahls ein planer Spiegel ist.
9. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 8 wei
ter umfaßt:
- - einen Zitterfrequenzgenerator (74) und Einrichtungen zur Über tragung einer axialen Bewegungen in der Zitterfrequenz zu dem Spiegel (58) in den Einrichtungen zur Erzeugung des Referenz strahls (50), und
- - die elektrischen Schaltkreiseinrichtungen synchrone Detek toreinrichtungen zur Demodulation des elektrischen Detektorsi gnals (68) und Integrationseinrichtungen (78) zur Erzeugung des Fokusänderungskorrektursignals (84), wie z. B. des zeitlichen Integrals des demodulierten elektrischen Detektorsignals, umfas sen.
10. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 5 wei
ter umfaßt:
- - Einrichtungen zur Überlagerung des Referenzstrahls (50) bei einer Zitterfrequenz, und
- - Einrichtungen in den elektrischen Schaltkreiseinrichtungen zur synchronen Detektion der elektrischen Detektorsignale (68).
11. Ein Fokussensor für Hochenergielaser mit:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung eines Eingangsstrahls (22),
- - Strahlteilungseinrichtungen (42) zur Teilung des Eingangs strahls in einen Referenzarmstrahl (50) und einen Probenstrahl (44),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem Referenzarmstrahl (50), die einen räumlichen Lochfilter (54), eine rekollimierende Linse (56) und einen Referenzstrahlspiegel (58) zur Reflektion des Referenzarms zurück durch den räumlichen Filter (54) zu den Strahlteilungseinrichtungen (42) umfassen,
- - einem Probenstrahlspiegel (48), der zur Reflektion des Proben strahls (44) zurück zu den Strahlteilungseinrichtungen (42) an gebracht ist, die Strahlteilungseinrichtungen (42) den Proben strahl (44) und den Referenzstrahl (50) rekombinieren, um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Einrichtungen zur Oszillation des Referenzstrahlspiegels (58), um den Referenzstrahl (50) mit einem hochfrequenten Zittersignal (76) zu modulieren,
- - Detektionseinrichtungen, die so angebracht sind, daß sie den rekombinierten Proben- und Referenzstrahl empfangen und elektri sche Detektorsignale (68) zur Verfügung stellen, die das resul tierende Interferenzmuster wiedergeben,
- - einem mit den Detektionseinrichtungen verbundenen elektroni schen Schaltkreis, wobei der elektrische Schaltkreis synchrone Detektoreinrichtungen zur Entfernung der Zitterfrequenzkompo nenten und Einrichtungen zur Erzeugung eines Fokusänderungskor rektursignals (84) aus den elektrischen Signalen (68) umfaßt, und
- - Einrichtungen zur Kopplung der Fokusänderungskorrektursignale (84) an eine axial justierbare Linse (52), so daß die justier bare Linse zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese an die des Probenstrahls (44) anzupassen, wobei die justierbare Linse (52) auch als rekollimierende Linse arbeitet.
12. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 11, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl (22) zu einem Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellengenerator (36) ein differentielles Detektorsi gnal (38) in Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
13. Ein Verfahren zur Erkennung von Fokusänderungen von Hoch
energielaserstrahlen die Maßnahmen umfaßt:
- - Teilung eines Eingangsstrahles (22) in einen Referenzarmstrahl (50) und einen Probenstrahl (44),
- - Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem Referenzarmstrahl (50),
- - Modulation des Referenzstrahls (50) mit einem hochfrequenten Zittersignal (76),
- - Kombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Fokussierung des Interferenzmusters mit einer Linse (62) auf einen Detektor (64) und Erzeugung von elektrischen Signalen (68), die das Interferenzmuster wiedergeben,
- - eine synchrone Detektion der elektrischen Detektorsignale (68) durch das Entfernen von Zitterfrequenzkomponenten,
- - Integration der synchron detektierten elektrischen Signale (73), um ein Fokusänderungskorrektursignal (84) zur Verfügung zu stellen, und
- - Anlegen des Fokusänderungskorrektursignals (84) an eine axial justierbare Linse, so daß die justierbare Linse (52) zur Ände rung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese an die des Probenstrahls (44) anzupassen.
14. Ein Verfahren gemäß Anspruch 13 zusätzlich die Maßnahmen
umfaßt:
- - Korrektur des Eingangsstrahls (22) hinsichtlich der Neigung mit einem Steuerspiegel (30), einem Strahlteil(-Aufnehmer) (32) und einem Vierzellendetektor (36),
- - der Steuerspiegel (30) den Eingangsstrahl (22) zum Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu dem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
15. Ein Verfahren gemäß Anspruch 13 zusätzlich Maßnahmen zur
Anordnung der axial justierbaren Linse (52) in einem interfero
metrischen Sensor und zur Bereitstellung eines Maßes der Fo
kusänderungen in dem Eingangsstrahl (22) unter Verwendung der
Fokusänderungskorrektursignale (84) umfaßt.
16. Ein Fokussensor für Hochenergielaser mit:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung eines Eingangsstrahls (22),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) und ei nes Probenstrahls (44) aus einem Eingangsstrahl (22),
- - Einrichtungen zur Modulation des Referenzstrahls (50) mit ei nem hochfrequenten Zittersignal (76),
- - Einrichtungen zur Kombination des Referenz- und des Proben strahls, um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Detektionseinrichtungen (64), die zur Erzeugung von das Inter ferenzmuster kennzeichnenden elektrischen Signalen (68) ange bracht sind,
- - Einrichtungen für eine axial justierbare Linse (52) zur Erzeu gung von Wellenfrontänderungen in dem Referenzstrahl (50), und
- - einem mit den Detektionseinrichtungen verbundenen elektrischen Schaltkreis, um ein Fokusänderungskorrektursignal (84) aus den elektrischen Detektorsignalen (68) herzuleiten, wobei die Fo kusänderungskorrektursignale (84) an die Einrichtungen der axial justierbaren Linse gekoppelt (52) sind, so daß die justierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese an die des Probenstrahls (44) anzupassen, und wobei die mit den Einrichtungen der justierbaren Linse (52) gekoppelten Fokusände rungskorrektursignale (84) die Fokusänderungen des Eingangs strahls (22) wiedergeben.
17. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 16, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl (22) zu einem Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
18. Ein Verfahren zur Erkennung von Fokusänderungen in hochener
getischen Laserstrahlen die Maßnahmen umfaßt:
- - Herleitung eines Probenstrahls (44) und eines Referenzstrahls (50) aus einem Eingangsstrahl (22),
- - Modulation des Referenzstrahls (50) mit einem hochfrequenten Zittersignal (76),
- - Kombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Detektion des Interferenzmusters mit einem Detektor (64) und Erzeugung von das Interferenzmuster kennzeichnenden elektrischen Signalen (68),
- - Herleitung von Fokusänderungskorrektursignalen (84) aus den elektrischen Detektorsignalen (68), und
- - das Anlegen der Fokusänderungskorrektursignale (84) an eine axial justierbare Linse (52), wobei die justierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Refe renzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese an die des Probenstrahls (44) anzupassen, und wobei die Fokusände rungskorrektursignale (84) den Grad der Fokusänderungen in dem Probenstrahl (44) angeben.
19. Ein Verfahren gemäß Anspruch 18 weiter die Maßnahmen um
faßt:
- - Korrektur des Eingangsstrahls (22) hinsichtlich der Neigung mit einem Steuerspiegel (30), einem Strahlteil(-Aufnehmer) (32) und einem Vierzellendetektor (36),
- - der Steuerspiegel (30) den Eingangsstrahl (22) zum Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu dem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
20. Ein Fokussensor für Hochenergielaser mit:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung eines Eingangsstrahls (22),
- - Strahlteilungseinrichtungen (42) für die Teilung des Eingangs strahls (22) in einen Referenzarmstrahl (50) und einen Proben strahl (44),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls aus dem Re ferenzarmstrahl,
- - Einrichtungen zur Modulation des Referenzstrahls (50) mit ei nem oszillatorischen Zittersignal (76),
- - Einrichtungen zur Rekombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Detektionseinrichtungen, die zur Erzeugung von das Interfe renzmuster kennzeichnenden elektrischen Signalen (68) angebracht sind,
- - einem mit den Detektionseinrichtungen verbundenen elektrischen Stromkreis, wobei der elektrische Stromkreis synchrone Detek toreinrichtungen zur Entfernung Zitterfrequenzkomponenten aus den elektrischen Detektorsignalen (68) und Einrichtungen zur Er zeugung eines Fokusänderungskorrektursignals (84) aus den elek trischen Signalen (68) umfaßt,
- - einer axial justierbaren Linse (52), die so angebracht ist, um Wellenfrontänderungen in dem Referenzstrahl (50) zu verursachen, und
- - Einrichtungen für die Kopplung des Fokusänderungskorrektursi gnals (84) an die Einrichtungen der justierbaren Linse (52), so daß die justierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese der des Probenstrahls (44) anzupassen.
21. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 20, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl (22) zu einem Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
22. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 20, wo
bei:
- - die Einrichtungen der axial justierbaren Linse (52) so ange bracht sind, daß sie den Referenzstrahl (50) zu den Strahltei lungseinrichtungen (42) zurücksenden, und wobei die justierbare Linse (52) auch als rekollimierende Linse arbeitet,
- - die Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) ei ne rekollimierende Linse (56) umfassen, die den Referenzstrahl (50) auf einen Spiegel (58) richten, der den Referenzstrahl (50) zurück zu den Strahlteilungseinrichtungen (42) reflektiert, und
- - die Strahlteilungseinrichtungen (42) auch als Einrichtungen zur Rekombination des Referenzstrahls (50) und des Probenstrahls (44) arbeiten.
23. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 22, wo
bei die Einrichtungen zur Modulation des Referenzstrahls mit ei
nem oszillierenden Zittersignal umfassen:
- - einen Zitterfrequenzsignalgenerator (74), und
- - mit dem Zitterfrequenzsignalgenerator (74) verbundenen Meßum formeinrichtungen sind, um den zur Erzeugung des Referenzstrahls benutzten Spiegel (58) zu oszillieren.
24. Ein Fokussensor für Hochenergielaser zur Erkennung von Fo
kusänderungen in einem Eingangsstrahl, wobei der Sensor umfaßt:
- - Neigungskorrektureinrichtungen (25) zur Korrektur der Neigung des Eingangsstrahls (22),
- - Einrichtungen zum Erhalt eines Probenstrahls (44) aus dem Ein gangsstrahl (22),
- - Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem Eingangsstrahl (22),
- - Einrichtungen zur Kombination des Probenstrahls (44) mit dem Referenzstrahl (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - einen Detektor (64), der zur Erkennung des Interferenzmusters und zur Erzeugung entsprechender das Interferenzmuster kenn zeichnender elektrischer Signale (68) angebracht ist, und
- - elektrische Schaltkreiseinrichtungen zur Erzeugung von Fo kusänderungskorrektursignalen (84) aus den elektrischen Detek torsignalen (68) und Kopplung der Fokusänderungskorrektursignale (84) an eine axial justierbare Linse (52), so daß die ju stierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellen front des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese der des Probenstrahls anzupassen, und die Fokusänderungs korrektursignale (84) Angaben über die Fokusänderung in dem Ein gangsstrahl (22) zur Verfügung stellen.
25. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 24, wo
bei:
- - die Neigungskorrektureinrichtungen (25) einen Steuerspiegel (30) umfassen, der den Eingangsstrahl (22) zu einem Strahlteil- (-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu einem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
26. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 24, wo
bei die Einrichtungen zur Erzeugung eines Referenzstrahls aus
dem Eingangsstrahl weiter umfassen:
- - einen Strahlteiler (42), um einen Referenzanteil (50) aus dem Eingangsstrahl (22) zu erhalten,
- - einen räumlichen Lochfilter (54), durch den der Referenzanteil (50) des Eingangsstrahls (22) mit der axial justierbaren Linse (52) fokussiert wird, wobei die justierbare Linse (52) auch als rekollimierende Linse arbeitet, und
- - einen Spiegel (58), der den Referenzanteil des Eingangsstrahls reflektiert, so daß der Referenzstrahl eine gleichförmige Pha senoberfläche aufweist.
27. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 26, wo
bei:
- - der Spiegel (58) zur Reflektion des Referenzanteils (50) des Strahls ein planer Spiegel ist, und
- - die Einrichtungen zur Erzeugung des Referenzstrahls des weite ren eine rekollimierende Linse (56) umfassen.
28. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 26 zu
sätzlich umfaßt:
- - einen Zitterfrequenzgenerator (74) und Einrichtungen zur Über tragung axialer Bewegungen in der Zitterfrequenz zu dem Spiegel (58) in den Einrichtungen zur Erzeugung des Referenzstrahls (50), und
- - die elektrischen Schaltkreiseinrichtungen (72) synchrone De tektoreinrichtungen zur Demodulation der elektrischen Detektor signale (68) und Integrationeinrichtungen (78) zur Erzeugung der Fokusänderungskorrektursignale (84), wie z. B. des zeitlichen Integrals der demodulierten elektrischen Detektorsignale (73), umfassen.
29. Ein Fokussensor für Hochenergielaser gemäß Anspruch 24 zu
sätzlich umfaßt:
- - Einrichtungen zur Überlagerung des Referenzstrahls (50) bei einer Zitterfrequenz, und
- - Einrichtungen innerhalb der elektrischen Schaltkreiseinrich tungen zur synchronen Detektion der elektrischen Detektor signale.
30. Ein Verfahren zur Erkennung von optischen Fokusänderungen
die Maßnahmen umfaßt:
- - Erzeugung eines Probenstrahls (44) aus einem Eingangsstrahl (22),
- - Erzeugung eines Referenzstrahls (50) aus dem gleichen Ein gangsstrahl (22),
- - Modulation des Referenzstrahls (50) mit einem oszillatorischen Zittersignal (76),
- - Kombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Detektion des Interferenzmusters mit einem Detektor (64) und Erzeugung von das Interferenzmuster wiedergebenden elektrischen Signalen (68),
- - eine synchrone Detektion von Phasendifferenzsignalen in den elektrischen Detektorsignalen (68) durch die Entfernung von Zit terfrequenzkomponenten,
- - Integration der detektierten Signale zur Erzeugung eines Fo kusänderungskorrektursignals (84), und
- - Anlegen der Fokusänderungskorrektursignale (84) an eine axial justierbare Linse (52), so daß die justierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese der des Proben strahls (44) anzupassen.
31. Ein Verfahren gemäß Anspruch 30 zusätzlich die Maßnahmen
umfaßt:
- - Korrektur des Eingangsstrahls (22) hinsichtlich der Neigung mit einem Steuerspiegel (30), einem Strahlteil(-Aufnehmer) (32) und einem Vierzellendetektor (36),
- - der Steuerspiegel (30) den Eingangsstrahl (22) zu dem Strahl teil(-Aufnehmer) (32) reflektiert,
- - der Strahlteil(-Aufnehmer) (32) einen Neigungsprobenstrahl (34) zu dem Detektorelemente aufweisenden Vierzellendetektor (36) richtet,
- - der Vierzellendetektor (36) ein differentielles Detektorsignal (38) als Antwort auf ein beliebiges Ungleichgewicht zwischen den Detektorelementen erzeugt, und
- - das differentielle Detektorsignal (38) den Steuerspiegel (30) zum Nullabgleich des differentiellen Detektorsignals (38) steu ert.
32. Ein Verfahren zur Erkennung von optischen Fokusänderungen
die Maßnahmen umfaßt:
- - Herleitung eines Probenstrahls (44) und eines Referenzstrahls (50) aus einem Eingangsstrahl (22),
- - Kombination des Probenstrahls (44) und des Referenzstrahls (50), um ein Interferenzmuster zu erzeugen,
- - Modulation des Referenzstrahls mit einem oszillatorischen Zit tersignal (76),
- - Fokussierung des Interferenzmusters mit einer Linse (62) auf einen Detektor (64) und Erzeugung von das Interferenzmuster kennzeichnenden elektrischen Signalen (68),
- - Herleitung von Fokusänderungskorrektursignalen (84) aus den elektrischen Signalen (68), und
- - Anlegen der Fokusänderungskorrektursignale (84) an eine axial justierbare Linse (52), so daß die justierbare Linse (52) zur Änderung der Phasenkrümmung der Wellenfront des Referenzstrahls (50) automatisch eingestellt wird, um diese der des Proben strahls (44) anzupassen, und wobei die Fokusänderungskorrektur signale (84) den Grad der Fokusänderung in der Wellenfront des Probenstrahls (22) angeben.
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