DE19751853A1 - Abtastelement für eine Positionsmeßeinrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Abtastelement für eine Positions­ meßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Neben Positionsmeßeinrichtungen, bei denen zur Gewinnung positionsab­ hängiger Informationen eine periodische Meßteilung optisch abgetastet wird, sind Meßsysteme bekannt, die auf alternativen Abtastprinzipien beruhen. Derartige Positionsmeßeinrichtungen erweisen sich insbesondere unter be­ stimmten Umgebungsbedingungen als weniger anfällig als die erwähnten optischen Meßsysteme. Entsprechende Umgebungsbedingungen sind bei­ spielsweise in Anwendungen gegeben, bei denen die Drehbewegung der Welle eines Antriebs erfaßt werden soll. Eine Positionsmeßeinrichtung, die auch unter rauheren Umgebungsbedingungen eingesetzt werden kann, ist beispielsweise in der EP 0 289 033 B1 beschrieben. Hierbei wird eine Tei­ lungsspur mit alternierend angeordneten elektrisch leitfähigen und nicht-leit­ fähigen Bereichen induktiv abgetastet. Das entsprechende Abtastelement umfaßt zu diesem Zweck ein oder mehrere Erregerspulen, die im Bereich der abgetasteten Teilungsspur ein homogenes elektromagnetisches Feld erzeugen. Ferner sind abtastseitig Sensorwicklungen vorgesehen, die ebenfalls im homogenen Feld der Erregerspulen angeordnet sind und zur Erfassung der in den leitfähigen Teilbereichen induzierten elektromagneti­ schen Felder dienen, so daß ein verschiebungsabhängig moduliertes Aus­ gangssignal resultiert. Auf diese Art und Weise läßt sich die Relativbewe­ gung zwischen der Teilungsspur und dem Abtastelement erfassen. Hinsicht­ lich des Funktionsprinzips einer derartigen Positionsmeßeinrichtung sei au­ ßerdem auf die EP 0 182 085 verwiesen.

Eine ähnlich aufgebaute induktive Positionsmeßeinrichtung ist desweiteren aus der DE 195 04 307 bekannt. Dort wird unter anderem auch vorgeschla­ gen, nicht nur eine einzige Teilungsspur abzutasten, sondern vielmehr wei­ tere Spuren vorzusehen, die auf die erläuterte Art und Weise ausgelesen werden können. Details hinsichtlich der konkreten Ausbildung einer Meß­ anordnung mit mehreren abgetasteten Teilungsspuren sowie Möglichkeiten zur Erzeugung der Erregerfelder sind in dieser Druckschrift jedoch nicht an­ gegeben.

Eine weitere induktive Positionsmeßeinrichtung, die nach den oben er­ wähnten Prinzipien arbeitet, ist ferner aus der EP 0743 508 A2 bekannt. Auch aus dieser Druckschrift ergeben sich jedoch keine Hinweise, wie etwa im Fall mehrerer abgetasteter Teilungsspuren das Abtastelement konkret ausgestaltet werden soll. Insbesondere bleibt offen, wie für die verschiede­ nen Abtastspuren etwa eine Erzeugung möglichst homogner Erregerfelder erfolgen soll.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein gattungsgemäßes Ab­ tastelement für eine induktive Positionsmeßeinrichtung derart auszubilden, daß auch im Fall mehrerer vorgesehener Abtastspuren ein zuverlässiges Funktionieren sichergestellt ist. Insbesondere soll dabei auch für mehrere Abtastspuren die Erzeugung homogener Erreger-Felder im Bereich der ver­ schiedenen Abtastspuren gewährleistet sein.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Abtastelement mit den kennzeichnen­ den Merkmalen des Anspruches 1.

Vorteilhafte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Abtastelements ergeben sich aus den Maßnahmen in den abhängigen Ansprüchen.

Gegenstand des Anspruches 12 ist desweiteren eine Positionsmeßeinrich­ tung, in der ein erfindungsgemäß ausgebildetes Abtastelement eingesetzt wird.

Die erfindungsgemäßen Maßnahmen gewährleisten nunmehr, daß auch im Fall mehrerer benachbart angeordneter Abtastspuren die Sensorwicklungen aller vorgesehenen Abtastspuren in einem homogenen elektromagnetischen Feld angeordnet sind. Durch die geeignete Verschaltung der Erreger-Ele­ mente läßt sich jeweils auf einfache Art und Weise ein homogenes Erreger- Feld im Bereich der verschiedenen Abtastspuren erzeugen. Verschiedene Abtastspuren können hierbei zu unterschiedlichsten Zwecken vorgesehen werden, wie etwa eine Abtastspur zur Antriebskommutierung zu nutzen, eine andere zur inkrementalen Positionsbestimmung etc.

Als vorteilhaft erweist sich die Ausbildung der Erreger-Elemente in Form von Leiterbahn-Einheiten, bestehend aus mehreren parallel angeordneten, stromdurchflossenen einzelnen Leiterbahnen. In Verbindung mit dem mehr­ lagigen Aufbau des Abtastelementes läßt sich derart insbesondere eine kompakte Bauweise des Abtastelements bzw. der kompletten Positions­ meßeinrichtung gewährleisten. Hierbei lassen sich in vorteilhafter Weise be­ kannte Techniken aus der Leiterplatten-Herstellung einsetzen, d. h. es ist eine einfache Fertigung eines erfindungsgemäß aufgebauten Abtastele­ mentes möglich.

Hinsichtlich der erfindungsgemäßen Erzeugung der homogenen Erreger- Felder im Bereich der Abtastspuren existieren eine Reihe von Verschal­ tungsmöglichkeiten, d. h. das erfindungsgemäße Abtastelement läßt sich fle­ xibel an verschiedene Meßanforderungen anpassen. Selbstverständlich können die erfindungsgemäßen Maßnahmen darüberhinaus sowohl in linea­ ren als auch in rotatorischen Positionsmeßeinrichtungen eingesetzt werden; ebenso ist auch der Einsatz in verschiedensten Meßsystemen möglich, d. h. sowohl in absoluten wie auch in inkrementellen Meßsystemen unterschied­ lichster Bauart und in entsprechenden Kombinationen derselben.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten des erfindungsgemäßen Abtastelements ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbei­ spiels anhand der beiliegenden Figuren.

Dabei zeigt

Fig. 1 eine seitliche Schnittansicht einer induktiven Positionsmeßeinrichtung mit dem erfindungs­ gemäß ausgebildeten Abtastelement;

Fig. 2 eine Draufsicht auf die in der Positionsmeßein­ richtung gemäß Fig. 1 eingesetzte Ausfüh­ rungsform des erfindungsgemäßen Abtastele­ ments;

Fig. 3 eine Draufsicht auf den mit dem Abtastelement aus Fig. 2 abgetasteten Teilungsträger inklu­ sive der zwei vorgesehenen Teilungsspuren;

Fig. 4 eine schematisierte Darstellung zur Erläuterung der Erregerfeld-Erzeugung;

Fig. 5a-5e jeweils eine alternative Möglichkeit zur Erzeu­ gung der Erreger-Felder für zwei benachbart angeordnete Abtastspuren;

Fig. 6 einen Querschnitt durch das Abtastelement aus Fig. 2.

Eine seitliche Schnittansicht einer Ausführungsform einer induktiven Positi­ onsmeßeinrichtung, in der ein erfindungsgemäß ausgebildetes Abtastele­ ment eingesetzt ist, zeigt Fig. 1. Die dargestellte Positionsmeßeinrichtung ist hierbei als Winkelmeßeinrichtung ausgebildet, die zur Detektion des Drehwinkels der Welle 1 eines Antriebs relativ zu einem stationären An­ triebsteil 2 dient. Mit dem Bezugszeichen R sei in Fig. 1 die Drehachse der Welle 1 bezeichnet; weitere Antriebsdetails sind nicht dargestellt. An der Welle 1 des Antriebs ist eine Teilscheibe 3 befestigt, die mit Hilfe des erfin­ dungsgemäß ausgebildeten, stationären Abtastelementes 5 abgetastet wird. Die mit der Welle 1 um die Drehachse R rotierende Teilscheibe 3 besteht dabei aus einem Teilungsträger 3.1, auf zwei radial benachbarte Teilungs­ spuren angeordnet sind. Das Abtastelement 5 ist im Gehäuse bzw. stationä­ ren Teil 2 des Antriebs 2 an einem Montageelement 6 über eine Schraube 9 befestigt. Nicht dargestellt ist in Fig. 1 eine dem Abtastelement 5 nachge­ ordnete Auswerte- und Versorgungseinheit. Diese dient zum einen zur Ver­ sorgung des Abtastelementes 5 bzw. der darauf angeordneten Erreger-Ele­ mente mit einer Versorgungsspannung sowie zum anderen zur Auswertung der periodisch modulierten, positionsabhängigen Ausgangssignale des Ab­ tastelementes 5, die aus der Abtastung der Teilscheibe 3 resultieren. Eine derartige Auswerte- und Versorgungseinheit kann beispielsweise in Form einer numerischen Steuerung realisiert sein.

Neben der in Fig. 1 dargestellten Meßsystem-Relativanordnung mit der rotierenden Teilscheibe 3 und dem stationären Abtastelement 5 ist selbst­ verständlich auch ein Positionsmeßsystem mit stationärer Teilscheibe und rotierender Abtasteinheit auf Grundlage der erfindungsgemäßen Überlegun­ gen realisierbar.

Zur detaillierten Erläuterung des grundsätzlichen Funktionsprinzips einer derartigen Positionsmeßeinrichtung sei an dieser Stelle auf die bereits ein­ gangs erwähnte EP 0 182 085 B1 verwiesen.

Eine Beschreibung des erfindungsgemäß ausgebildeten Abtastelementes 5 sowie der damit induktiv abgetasteten Teilscheibe 3 im dargestellten Aus­ führungsbeispiel der Fig. 1 folgt anschließend anhand der Fig. 2 und 3. Hierbei zeigt Fig. 2 eine Frontansicht des Abtastelements 5; die damit ab­ getastete Teilscheibe 3 ist in Fig. 3 ebenfalls in einer Frontansicht darge­ stellt.

Im Ausführungsbeispiel der Fig. 1-3 ist hierbei vorgesehen, mit Hilfe des Abtastelementes 5 insgesamt zwei Teilungsspuren T1, T2 auf der Teil­ scheibe 3 induktiv abzutasten. Die beiden Teilungsspuren T1, T2 sind kreis­ förmig ausgebildet und radial benachbart auf einem Teilungsträger 3.1 an­ geordnet. Als Material für den Teilungsträger 3.1 dient im dargestellten Aus­ führungsbeispiel Epoxyd-Material. Die beiden Teilungsspuren T1, T2 beste­ hen jeweils aus einer periodischen Abfolge von alternierend angeordneten elektrisch-leitfähigen Teilungsbereichen T1_L, T2_L und nicht-leitfähigen Tei­ lungsbereichen T1_N, T2_N. Als geeignetes Material für die elektrisch-leitfähi­ gen Teilbereiche T1_L, T2_L erweist sich etwa Kupfer, das auf dem Teilungs­ träger 3.1 aufgebracht wird. In den nicht-leitfähigen Teilungsbereichen T1_L, T2_L wurde der Teilungsträger 3.1 demgegenüber lediglich nicht beschichtet und ist identisch mit dem Material des Teilungsträgers 3.1.

Die innere Teilungsspur T1 besteht in der dargestellten Ausführungsform lediglich aus einem ersten halbkreisförmigen Teilungsbereich T1_L mit elek­ trisch leitfähigem Material sowie einem zweiten halbkreisförmigen Teilungs­ bereich T1_N, in dem kein leitfähiges Material angeordnet ist. Aus der Abta­ stung der Teilungsspur T1 mit Hilfe des nachfolgend erläuterten Abtastele­ ments 5 resultiert eine relativ grobe, absolute Positionsinformation innerhalb einer Umdrehung der Teilscheibe 3 um die Drehachse R.

Radial benachbart zur ersten Teilungsspur T1 ist eine zweite Teilungsspur T2 auf dem Teilungsträger 3.1 angeordnet, die aus einer Vielzahl elektrisch­ leitfähiger Teilungsbereiche T2_L sowie dazwischen angeordneten Teilungs­ bereichen T2_N besteht. Die verschiedenen Teilungsbereiche T2_L, T2_N sind materialmäßig dabei ebenso ausgebildet wie der Teilungsbereich T1_L der ersten Teilungsspur T1. Insgesamt umfaßt die zweite Teilungsspur T2 im dargestellten Ausführungsbeispiel 16 periodisch angeordnete, elektrisch­ leitfähige Teilungsbereiche T2_L sowie entsprechend 16 dazwischen ange­ ordnete nicht-leitfähige Teilungsbereiche T2_N. Die Länge der elektrisch-leit­ fähigen Teilungsbereiche T2_L in Meßrichtung ist dabei über 10mal größer als die entsprechende Länge der nicht-leitfähigen Teilungsbereiche T2_N, d. h. es wird vorzugsweise ein von 1 : 1 abweichendes Verhältnis der Längen der un­ terschiedlichen Teilungsbereiche in dieser Teilungsspur gewählt. Aus der Abtastung der zweiten Teilungsspur T2 ergibt sich demzufolge ein resultie­ rendes Inkrementalsignal bei der Relativbewegung von Teilscheibe 3 und Abtastelement 5. In Verbindung mit der absoluten Positionsbestimmung über die erste Teilungsspur T1 ist über eine derartige Anordnung eine hochauflö­ sende Drehwinkelbestimmung möglich.

Neben der in diesem Ausführungsbeispiel gewählten Kombination mit zwei separaten Teilungsspuren T1, T2, die jeweils eine absolute Positionsbe­ stimmung sowie eine inkrementale Positionsbestimmung ermöglichen, sind selbstverständlich auch weitere Kombinationen möglich, beispielsweise die Ausbildung einer Code-Teilscheibe mit mehreren verschiedenen Spuren etc. Ferner kann auch die Inkremental-Teilungsspur in abgewandelter Form ausgebildet werden, d. h. mit anderen Teilungsverhältnissen. Daneben kön­ nen z. B. auch mehrere parallel benachbarte Inkrementalteilungsspuren mit unterschiedlichen Periodizitäten der Teilungsverhältnisse eingesetzt werden usw.

Das in Fig. 2 gezeigte, zur Abtastung der Teilscheibe 3 vorgesehene er­ findungsgemäße Abtastelement 5 umfaßt zwei, den Teilungsspuren T1, T2 zugeordnete Abtastspuren A1, A2, die ebenfalls kreisförmig ausgebildet und radial benachbart auf einem Trägerelement 10 angeordnet sind. Der einfa­ cheren Verständlichkeit wegen, sei nachfolgend jeweils von einem einzigen Trägerelement 10 die Rede, wenngleich in der gezeigten Ausführungsform des Abtastelements 5 ein mehrlagiger Aufbau desselben mit mehreren Lei­ terplattenlagen, Verbindungslagen und Sensorlagen vorgesehen ist. Hin­ sichtlich dieses Mehrlagen-Aufbaus sei auf die Beschreibung der Fig. 6 verwiesen.

Die der inneren bzw. Absolut-Teilungsspur T1 zugeordnete Abtastspur A1 besteht im dargestellten Ausführungsbeispiel aus insgesamt zwei flach aus­ gebildeten Sensorwicklungen SW_A1 und SW_B1, die über den Umfang der Abtastspur A1 jeweils eine einzige Signalperiode bei der Abtastung liefern. Die beiden Sensorwicklungen SW_A1 und SW_B1 sind hierbei relativ zueinander versetzt auf dem Trägerelement 10 des Abtastelements 5 angeordnet, so daß ausgangsseitig bei der Abtastung der rotierenden Teilscheibe 3 zwei Ausgangssignale SIN₁, COS₁ resultieren, die einen Phasenversatz von 90° zueinander aufweisen. Beide Ausgangssignale SIN₁, COS₁ liefern wie be­ reits erwähnt ein eindeutig-absolutes Positionssignal innerhalb einer Umdre­ hung der Welle 3 des Antriebs. Über die bekannte Auswertung der um 90° phasenversetzten Signale SIN₁, COS₁ ist zudem eine Richtungserkennung bei der Drehbewegung gewährleistet. In Fig. 2 sind die entsprechenden Signalabgriffe des Abtastelementes 5 inclusive der zugehörigen Ausgangs­ signale der verschiedenen Abtastspuren A1, A2 eingezeichnet.

Die zweite Abtastspur A2, geeignet zur Abtastung der zweiten Teilungsspur T2, umfaßt ebenfalls zwei flache Sensorwicklungen SW_A2, SW_B2 die auf dem Trägerelement 10 angeordnet sind. Zwischen den beiden Sensorwicklungen SW_A2, SW_B2 ist ebenfalls ein Relativ-Versatz vorgesehen, so daß ausgangs­ seitig die beiden Signale SIN₂, COS₂ bei der Abtastung der zweiten Tei­ lungsspur T2 resultieren, zwischen denen ein 90° Phasenversatz besteht. Über den gesamten Umfang der zweiten Abtastspur A2 sind hierbei eine Vielzahl von Sensorwicklungen SW_A2 und SW_B2 auf dem Trägerelement 10 angeordnet.

Die Sensorwicklungen SW_A1, SW_B1, SW_A2, SW_B2 der beiden Abtastspuren A1 und A2 sind aus Kupfer gefertigt; das Trägerelement besteht aus Epoxyd- Material. Insgesamt ist das erfindungsgemäße Abtastelement 5 mehrlagig ausgebildet, was etwa in bekannter Leiterplatten-Technologie realisiert wer­ den kann. Zu Details hinsichtlich des Mehrlagen-Aufbaus sei auf die nach­ folgende Beschreibung der Fig. 6 verwiesen.

Neben den Sensorwicklungen SW_A1, SW_B1, SW_A2, SW_B2 in den beiden Ab­ tastspuren A1, A2 umfaßt das erfindungsgemäß ausgebildete Abtastelement 5 ferner Erreger-Elemente E1-E3, die jeweils seitlich benachbart zu den Abtastspuren A1 und A1 auf dem Trägerelement 10 angeordnet sind. Die Erreger-Elemente E1-E3 dienen dabei zur erforderlichen Erzeugung eines homogenen elektromagnetischen Erregerfeldes im Bereich der Abtastspuren A1 und A2 bzw. im Bereich der damit abgetasteten Teilungsspuren T1 und T2. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Erreger-Elemente E1-E3 als Leiterbahneinheiten ausgebildet, die jeweils mehrere planar-parallel auf dem Trägerelement 10 angeordnete stromdurchflossene Leiterbahnen um­ fassen. Werden die Leiterbahnen einer Leiterbahneinheit allesamt in der gleichen Richtung von Strom durchflossen, so bildet sich um die jeweilige Leiterbahneinheit ein schlauch- bzw. zylinderförmig orientiertes elektroma­ gnetisches Feld aus. Die Feldlinien des resultierenden elektromagnetischen Feldes verlaufen in Form konzentrischer Kreise um die Leiterbahneinheiten, wobei die Richtung der Feldlinien in bekannter Art und Weise von der Strom­ richtung in den Leiterbahneinheiten abhängt.

Die Stromrichtung der unmittelbar an eine gemeinsame Abtastspur angren­ zenden Leiterbahneinheiten bzw. die entsprechende Verschaltung dieser Leiterbahneinheiten ist dabei entgegengesetzt zu wählen, so daß die Feld­ linien im Bereich der Abtastspuren jeweils identisch orientiert sind. Die Ver­ sorgung der Leiterbahneinheiten E1-E3 mit einer Versorgungsspannung erfolgt über die ebenfalls in Fig. 2 eingezeichneten Versorgungsspan­ nungsabgriffe U_E. Um eine derartige Felderzeugung zu ermöglichen ist eine bestimmte Leiterbahnführung auf dem Trägerelement 10 erforderlich, die nachfolgend anhand von Fig. 4 erläutert sei.

Dort ist aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit jeweils lediglich eine einzige Leiterbahn der verschiedenen Leiterbahneinheiten bzw. Erreger-Ein­ heiten E1-E3 dargestellt. Ebenfalls eingezeichnet ist in Fig. 4 auch die je­ weilige Stromrichtung in den verschiedenen Leiterbahnen sowie die Versor­ gungsspannungsabgriffe U_E. Aufgrund der im Ausführungsbeispiel gewähl­ ten Leiterbahnführung wird das radial-äußerste Erregerelement E1 wie auch das radial-innerste Erregerelement E3 in der gleichen Richtung von Strom durchflossen. In der entgegengesetzten Richtung hingegen wird das mittlere der drei Erregerelemente E2 von Strom durchflossen, das zwischen den beiden Abtastspuren A1 und A2 auf dem Trägerelement angeordnet ist. Um die Leiterbahnen der Erregerelemente E1-E3 bildet sich jeweils ein schlauch- bzw. zylinderförmig orientiertes elektromagnetisches Feld aus, wobei die resultierenden Feldrichtungen ebenfalls in Fig. 4 eingezeichnet sind. Sowohl das Feld der ersten als auch der dritten Leiterbahn sind dem­ zufolge in der gleichen Richtung orientiert, während das Feld in der mittleren der beiden Leiterbahnen entgegengesetzt orientiert ist. In den zwischen den Leiterbahnen liegenden Bereichen mit den Abtastspuren A1 und A2 resultiert demzufolge jeweils ein homogenes elektromagnetisches Feld, das sich aus den beiden Feldern der angrenzenden Erreger-Elemente E1-E3 zusam­ mensetzt, das entweder wie bei der Abtastspur A1 in Richtung der Zeichen­ ebene orientiert ist bzw. im Fall der Abtastspur A2 aus der Zeichenebene heraus orientiert ist. Die entsprechenden Feldrichtungen in den beiden Ab­ tastspuren A1, A2 sind in Fig. 4 jeweils angedeutet.

Alternative Varianten hinsichtlich der möglichen Leiterbahnführung im Fall zweier benachbarter Abtastspuren sind desweiteren in den Fig. 5a-5e schematisiert dargestellt. Aus den dort gezeigten Beispielen ist desweiteren ersichtlich, daß die erfindungsgemäßen Prinzipien auch bei linearen Meß­ anordnungen jederzeit einsetzbar sind. Hierbei sind in den Fig. 5a-5d jeweils Möglichkeiten offenbart, in denen die mittlere Leiterbahneinheit je­ weils ein entgegengesetzt orientiertes Feld zu den Feldern der beiden äu­ ßeren Leiterbahneinheiten erzeugt. In den beiden Abtastspuren ergibt sich demzufolge immer ein entgegengesetzt ausgerichtetes, homogenes elek­ tromagnetisches Feld in den eingezeichneten Richtungen. Alternativ hierzu ist im Ausführungsbeispiel der Fig. 5e vorgesehen, die mittlere Leiterbah­ neinheit zwischen den zwei Abtastspuren wirkungsmäßig in zwei Teil-Lei­ terbahneinheiten aufzuteilen. Die beiden Teil-Leiterbahneinheiten werden hierbei in unterschiedlicher Richtung vom Strom durchflossen, wobei jedoch wie in den vorab erläuterten Varianten gilt, daß die unmittelbar benachbart zu einer Abtastspur angeordneten Leiterbahneinheiten ein entgegengesetzt orientiertes Feld erzeugen, die sich im Bereich der Abtastspur zu einem ho­ mogenen Feld definierter Richtung überlagern.

Wie bereits bei der Beschreibung der Teilscheibe angedeutet, existieren selbstverständlich auch für das Abtastelement noch andere Möglichkeiten, mehrere parallele Abtastspuren darauf anzuordnen. So können etwa auch mehr als zwei Abtastspuren vorgesehen werden, die jeweils Sensorwicklun­ gen mit unterschiedlichen Periodizitäten aufweisen etc. Auch für derartige Anordnungen läßt sich auf Grundlage der erfindungsgemäßen Überlegun­ gen die Erzeugung homogener Erregerfelder durch die entsprechende Aus­ gestaltung und Anordnung der Erreger-Elemente sicherstellen.

Die entsprechende Führung der verschiedenen erforderlichen Leiterbahnen für die Sensorwicklungen sowie für die Erreger-Elemente auf dem Abtast­ element läßt sich in vorteilhafter Weise durch eine Mehrlagentechnik reali­ sieren, wie sie beispielsweise aus der Leiterplattentechnologie bekannt ist. Zur Erläuterung des Abtastelement-Aufbaus in einer derartigen Mehrlagen­ technik ist in Fig. 6 ein Querschnitt des Abtastelementes aus Fig. 2 dar­ gestellt.

Das Abtastelement 5 des beschriebenen Ausführungsbeispiels weist einen sieben-lagigen Aufbau auf. Der in Fig. 6 nicht gezeigten Teilscheibe ist hierbei eine erste Sensorlage SL1 zugewandt, die von einer zweiten Sen­ sorlage SL2 durch eine dünne, erste Leiterplattenschicht LP1 getrennt ist. In jeder der beiden Sensorlagen SL1, SL2 ist jeweils ein Teil der Erreger-Ele­ mente als auch ein Teil der verschiedenen Sensorwicklungen angeordnet. Die Verteilung der Erreger-Elemente als auch der Sensorwicklungen in die beiden Sensorlagen SL1, SL2 erweist sich als vorteilhaft, um unerwünschte Leitungsüberkreuzungen zu vermeiden. Bei der zwischen den beiden Sen­ sorlagen angeordneten ersten Leiterplattenschicht LP ist zu beachten, daß diese möglichst dünn ausgebildet ist, etwa im Bereich 1/10 mm, um zu ge­ währleisten, daß insbesondere die in den unterschiedlichen Sensorlagen SL1, SL2 angeordneten Sensorwicklungen in gleicher Weise von den leitfä­ higen Teilungsbereichen der Teilscheibe beeinflußt werden.

Oberhalb der zweiten Sensorlage SL2 ist eine dickere, zweite Leiterplatten­ lage LP2 vorgesehen, die im wesentlichen zur mechanischen Stabilisierung des Abtastelementes 5 dient und ca. 1-2 mm dick ausgebildet ist. Darüber wiederum sind zwei Verbindungslagen VL1, VL2 angeordnet, die durch eine dritte Leiterplattenlage LP3 getrennt sind. In den Verbindungslagen VL1, VL2 erfolgt die Führung derjenigen Leiterbahnen, die zur Versorgung der Erre­ gerelemente, zur Verbindung der Erregerelemente, zum Signalabgriff etc. erforderlich sind. Die zweilagige Ausgestaltung der Verbindungslagen VL1, VL2 ermöglicht wiederum die ggf. erforderliche kreuzungsfreie Führung der­ artiger Verbindungsleitungen.

Das erfindungsgemäß ausgebildete Abtastelement läßt sich in einem der­ artigen Mehrlagen-Aufbau in rationeller Art und Weise über bekannte Lei­ terplatten-Technologien herstellen.

Claims (14)

1. Abtastelement für eine Positionsmeßeinrichtung, die zur Erzeugung von positionsabhängigen Ausgangssignalen bei der induktiven Abtastung mindestens einer Teilungs-Spur dient, die aus alternierend angeordne­ ten, elektrisch leitfähigen und nicht-leitfähigen Teilungsbereichen be­ steht, wobei das Abtastelement ein Trägerelement umfaßt, auf dem mehrere Erreger-Elemente zur Erzeugung eines homogenen elektro­ magnetischen Erreger-Feldes sowie ein oder mehrere flache Sensor­ wicklungen angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerelement (10) mindestens zwei benachbarte Abtastspu­ ren (A1, A2) mit Sensorwicklungen (SW_A1, SW_B1, SW_A2, SW_B2) unter­ schiedlicher Periodizität angeordnet sind und jeweils seitlich benachbart zu den Abtastspuren (A1, A2) die Erreger-Elemente (E1, E2, E3) ange­ ordnet sind, so daß sich im Bereich der Abtastspuren (A1, A2) jeweils das homogene elektromagnetische Erreger-Feld ausbildet.

2. Abtastelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Er­ reger-Elemente (E1, E2, E3) als Leiterbahn-Einheiten ausgebildet sind, die jeweils ein oder mehrere planar-parallel auf dem Trägerelement (10) angeordnete, stromdurchflossene Leiterbahnen umfassen, so daß sich ein schlauchförmiges elektromagnetisches Feld um die jeweiligen Lei­ terbahneinheiten ausbildet.

3. Abtastelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lei­ terbahnen der Erreger-Elemente (E1, E2, E3) derart verschaltet sind, daß die Stromrichtung in Leiterbahnen benachbarter Leiterbahnheiten jeweils gegensinnnig orientiert ist und sich zwischen den benachbarten Leiterbahneinheiten im Bereich der Abtastspuren (A1, A2) ein homoge­ nes elektromagnetisches Feld in einer definierten Raumrichtung ausbil­ det.

4. Abtastelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (10) mehrlagig aufgebaut ist.

5. Abtastelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (10) mindestens zwei Sensorlagen (SL1, SL2) aufweist, in denen jeweils Teile der Sensorwicklungen (SW_A1, SW_B1, SW_A2, SW_B2) angeordnet sind.

6. Abtastelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß minde­ stens eine erste Abtastspur (A1) mit den zugehörigen Sensorwicklungen (SW_A1, SW_B1) so ausgebildet ist, daß damit über den erfaßbaren Meßbe­ reich eine absolute Positionsbestimmung möglich ist und mindestens eine weitere, zweite Abtastspur (A2) mit zugehörigen Sensorwicklungen (SW_A2, SW_B2) so ausgebildet ist, daß damit eine inkrementale Positions­ bestimmung möglich ist.

7. Abtastelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß pro Ab­ tastspur (A1, A2) mindestens zwei gegeneinander verschobene Sen­ sorwicklungen (SW_A1, SW_B1, SW_A2, SW_B2) auf dem Trägerelement (10) angeordnet sind, so daß ausgangsseitig pro Abtastspur (A1, A2) jeweils mindestens zwei phasenversetzte, periodisch modulierte Ausgangs­ signale (SIN₁, COS₁; SIN₂, COS₂) bei der Verschiebung von Abtastele­ ment (5) und Teilungsspuren (T1, T2) resultieren.

8. Abtastelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (10) in Form einer dünnen kreisförmigen Scheibe ausge­ bildet ist und sowohl die Abtastspuren (A1, A2) als auch die Erreger- Elemente (E1, E2, E3) darauf kreisförmig angeordnet sind.

9. Abtastelement nach Anspruch 2, 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Trägerelement (10) eine erste Absolut-Abtastspur (A1) und eine zweite Inkremental-Abtastspur (A2) radial benachbart angeordnet sind und sowohl seitlich benachbart als auch zwischen den beiden Ab­ tastspuren (A1, A2) Leiterbahneinheiten als Erreger-Elemente (E1, E2, E3) zur Erzeugung eines homogenen elektromagnetischen Errreger- Feldes im Bereich der Abtastspuren (A1, A2) angeordnet sind.

10. Abtastelement nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lei­ terbahneinheiten jeweils aus mehreren parallel angeordneten, einzelnen Leiterbahnen bestehen, die die derart verschaltet sind, daß die Leiter­ bahnen einer Leiterbahneinheit in der gleichen Richtung von Strom durchflossen werden.

11. Abtastelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahneinheiten derart verschaltet sind, daß innere und die äußere Leiterbahneinheit jeweils in der gleichen Richtung von Strom durchflos­ sen wird während die mittlere Leiterbahneinheit in der entgegengesetz­ ten Richtung von Strom durchflossen wird, so daß in den beiden Abtast­ spuren (A1, A2) jeweils ein entgegengesetzt orientiertes elektromagneti­ sches Erreger-Feld resultiert.

12. Positionsmeßeinrichtung zur Erzeugung von positionsabhängigen Aus­ gangssignalen durch die induktive Abtastung mindestens einer Teilungs- Spur mit alternierend angeordneten elektrisch leitfähigen und nicht-leit­ fähigen Teilungsbereichen, gekennzeichnet durch die Abtastung mit ei­ nem Abtastelement (5) gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche.

13. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 12 und 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß mindestens eine abgetastete, kreisförmig ausgebildete Teilungsspur (T1, T2) auf einem kreisförmigen Teilungsträger (3.1) an­ geordnet ist.

14. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem kreisförmigen Teilungsträger (3.1) zwei radial benachbarte Teilungsspuren (T1, T2) angeordnet sind, von denen eine erste Tei­ lungsspur (T2) als periodische Abfolge von mehreren elektrisch-leitfähi­ gen Teilungsbereichen (T2_L) und nicht-leitfähigen Teilungsbereichen (T2_N) ausgebildet ist, während die andere aus einem elektrisch-Ieitfähi­ gem (T1_L) Kreissegment und einem nicht-leitfähigen Kreissegment (T1_N) besteht.