DE19644692A1 - Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren HerstellungInfo
- Publication number
- DE19644692A1 DE19644692A1 DE19644692A DE19644692A DE19644692A1 DE 19644692 A1 DE19644692 A1 DE 19644692A1 DE 19644692 A DE19644692 A DE 19644692A DE 19644692 A DE19644692 A DE 19644692A DE 19644692 A1 DE19644692 A1 DE 19644692A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coating
- amorphous carbon
- boundary surfaces
- components
- roughened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 3
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 11
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 abstract 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 15
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
- F28F13/18—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing by applying coatings, e.g. radiation-absorbing, radiation-reflecting; by surface treatment, e.g. polishing
- F28F13/185—Heat-exchange surfaces provided with microstructures or with porous coatings
- F28F13/187—Heat-exchange surfaces provided with microstructures or with porous coatings especially adapted for evaporator surfaces or condenser surfaces, e.g. with nucleation sites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0254—Physical treatment to alter the texture of the surface, e.g. scratching or polishing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Beschichtung für Bauelemente sowie ein Verfah
ren zu deren Herstellung gemäß dem Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 5.
Solche Beschichtungen sind beispielsweise für Bauelemente vorgesehen, deren Be
grenzungsflächen in einen direkten Kontakt mit dampfförmigen Medien gebracht wer
den.
Rohrleitungen für Kühlmittel von Kondensatoren die Bestandteil von Kraftwerken
sind, werden bis jetzt teilweise oder vollflächig mit einem Flüssigkeitsfilm benetzt
wenn das für den Wärmetransport benutzte Arbeitsfluid an diesen Rohrleitungen
durch Phasenübergang von seinem dampfförmigen in seinen flüssigen Zustand über
geführt wird.
Diese Flüssigkeitsfilme stellen wegen der vergleichsweise geringen Wärmeleitfähig
keit des Arbeitsfluids einen Wärmewiderstand dar, der etwa 30% des Gesamtwär
mewiderstands ausmacht. Dieser setzt sich zusammen aus dem konvektiven Wär
mewiderstand an der Grenzfläche zwischen Kühlmittel und den Innenflächen der
Rohrleitungen des Kondensators, dem Wärmewiderstand des Rohrmaterials, dem
Wärmewiderstand von eventuellen Ablagerungen auf den Rohrleitungen oder nicht
kondensierbaren Dämpfen sowie dem Wärmewiderstand, der durch den oben er
wähnten Phasenübergang an der äußeren Oberfläche der Rohrleitung erzeugt wird.
Durch einen solchen zusammenhängenden Flüssigkeitsfilm wird weiterhin der Strö
mungswiderstand erhöht, den das dampfförmige Arbeitsfluid beim Durchströmen der
Zwischenräume zwischen den Rohrleitungen zu überwinden hat, da Reibungskräfte
zwischen dem Dampf und dem Kondensat auftreten.
Eine solche Filmkondensation bringt nicht nur diese Nachteile mit sich, sondern sie
kann auch zu Verunreinigungen und Ablagerungen auf den Bauelementen führen,
wenn entsprechende Stoffe im Arbeitsfluid mitgeführt oder in ihm gelöst sind. Solche
Ablagerungen können ihrerseits wiederum den Wärmewiderstand an den Begren
zungsflächen der Rohrleitungen vergrößern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Beschichtung zu schaffen, mit der die
Ausbildung von Flüssigkeitsfilmen auf den Begrenzungsflächen von Bauelementen
und die Bildung fester Ablagerungen vermieden werden können, sowie ein Verfahren
aufzuzeigen, mit dem diese Beschichtung hergestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird, die Beschichtung betreffend, durch die Merkmale des Patentan
spruchs 1 gelöst.
Diese Aufgabe wird, das Verfahren betreffend, durch die Merkmale des Patentan
spruchs 5 gelöst.
Mit Hilfe eines Überzugs aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff auf den Be
grenzungsflächen von Bauelementen, die mit dem Dampf und/oder dem Kondensat
eines Mediums unmittelbar in Kontakt stehen, ist es möglich, die Ausbildung eines
zusammenhängenden Kondensatfilms zu verhindern. Vor allem kann mit einem sol
chen Überzug erreicht werden, daß sich das für den Wärmetransport in Kraftwerken
verwendete Arbeitsfluid im Kondensator auf den Oberflächen von Rohrleitungen,
durch die ein Kühlmittel geleitet wird, nur in Form von Tropfen niederschlägt. Damit
erhöht sich der Wärmedurchgangskoeffizient des Kondensators um ca. 5 bis 15%.
Da mit diesen Maßnahmen auch der Druckabfall des Arbeitsfluids beim Durchströmen
der Zwischenräume zwischen den Rohrleitungen verringert wird, läßt sich das Va
kuum des Kondensators um ca. 4 bis 8 hPa bei einem Kondensatorauslegedruck von
ca. 50 hPa absenken.
Zur Verringerung des Wärmewiderstands zwischen dem Überzug aus nichtbenetzba
rem amorphen Kohlenstoff und einem Bauelement wird dieses vor der Beschichtung
mit amorphem Kohlenstoff soweit aufgerauht, daß die effektive Grenzfläche zwischen
Bauelement und Beschichtung vergrößert wird. Die Vergrößerung hängt von der
Struktur der Rauhigkeit und der Tiefe der Aufrauhung ab. Die zu beschichtenden Be
grenzungsflächen des Bauelements werden vorzugsweise 0,1 und 2 µm tief aufge
rauht. Das Aufrauhen erfolgt mittels chemischem oder physikalischem Ätzen. Vor
zugsweise wird Plasmaätzen angewendet. Hiermit wird die effektive Grenzfläche um
etwa einen Faktor 1,5 bis 2 vergrößert. Bei der anschließenden Beschichtung wird
der Überzug so dick aufgetragen, daß eine geschlossene und glatte Oberfläche aus
nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff gebildet wird, auf welcher der Dampf kon
densieren kann.
Eine weitere Verbesserung der Wärmeübertragung zwischen einem dampfförmigen
Arbeitsfluid und einem mit nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff beschichteten
Bauelement kann dadurch erzielt werden, daß die zu beschichtenden Begrenzungs
flächen bis zu einer Tiefe von 20 µm mit einem der oben beschriebenen Verfahren
aufgerauht werden. Anschließend wird der Überzug nur so dick aufgetragen, daß die
Begrenzungsflächen mit dem nichtbenetzbaren amorphen Kohlenstoff überdeckt sind,
jedoch keine glatten Oberflächen ausgebildet werden. Anschließend werden diese
Oberflächen mechanisch geglättet. Dabei werden Oberflächen ausgebildet, die so
wohl unbeschichtete Bereiche der Begrenzungsflächen sowie mit nichtbenetzbarem
amorphen Kohlenstoff beschichtete Bereiche aufweisen. Die Größe der Gesamtfläche
der unbeschichteten Bereiche beträgt nach dem Glätten weniger als 50% der Ge
samtfläche der beschichteten Bereiche. Mit diesen Maßnahmen wird sichergestellt,
daß das dampfförmige Arbeitsmedium weiterhin in Tropfenform an dem Bauelement
kondensiert. Durch den direkten Kontakt zwischen dem dampfförmigem Ar
beitsmedium und den unbeschichteten Begrenzungsflächen des Bauelements wird
eine verbesserte Wärmeübertragung erreicht.
Bei Bauelementen, deren Begrenzungsflächen nicht mit dem erfindungsgemäßen
Überzug versehen sind, werden Tropfen, die beim Kondensieren von dampfförmigen
Medien entstehen, so auseinandergezogen, daß sie ineinander fließen und ge
schlossene Flüssigkeitsschichten bilden. Ein Maß für das Nichtbenetzen einer Fläche
durch eine Flüssigkeit ist der Benetzungswinkel. Die erfindungsgemäße Beschichtung
ist so ausgebildet, daß der stationäre Benetzungswinkel zwischen dem Überzug und
der Flüssigkeit größer als 90 Grad ist. Dieses bedeutet, daß das dampfförmige Arbeits
fluid nur in Form von Tropfen auf den beschichteten Flächen kondensiert. Kon
densate, die sich beispielsweise in einem Kraftwerkskondensator bilden, erzeugen
deshalb keinen geschlossen Film auf Flächen aus, die mit einer nichtbenetzbaren or
ganisch modifizierten Keramik beschichtet sind. Die Grenzflächenwechselwirkungen
zwischen dem Überzug und dem Arbeitsfluid sind hierbei so klein, daß die Tropfen
nicht oder nur geringfügig auf den Flächen haften. Unter der Einwirkung der Schwer
kraft rinnen sie schließlich an den Flächen der Rohrleitungen herab. Dabei werden
andere Tropfen mitgerissen und freie Bereiche auf den Oberflächen der Rohrleitun
gen gebildet, in denen wieder dampfförmiges Arbeitsfluid kondensieren kann. Durch
das schnelle Herabrinnen der Tropfen wird die Verweilzeit des Arbeitsfluids auf den
Rohrleitungen verringert und damit der Aufbau eines erhöhten Wärmewiderstands
durch einen Kondensatfilm verhindert.
Überzüge aus nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff werden dadurch hergestellt,
daß bei der Abscheidung Fluor oder Silizium eingeleitet werden. Nichtbenetzbarer
amorphem Kohlenstoff läßt sich gemäß folgender Strukturformel darstellen: a-C:H:X,
wobei a für amorph und X für die chemischen Elemente Fluor oder Silizium steht.
Nichtbenetzbarer amorpher Kohlenstoff weist eine niedrige Oberflächenenergie von
ca. 20 mJ/m2 auf. Trotzdem verfügt er über eine Oberflächenhärte von etwa 1500 HV
und damit über eine hohe Abriebfestigkeit. Flächen von Bauelementen, die einen
Überzug aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff aufweisen, bieten zudem den Vorteil, daß sich auf ihnen keine Ablagerungen bilden können, die beispielsweise durch kleine Partikel oder gelöste Stoffe hervorgerufen werden, welche von einem Arbeitsfluid mitgeführt werden. Oxidschichten können sich auf einem solchen Über zug ebenfalls nicht ausbilden.
Überzug aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff aufweisen, bieten zudem den Vorteil, daß sich auf ihnen keine Ablagerungen bilden können, die beispielsweise durch kleine Partikel oder gelöste Stoffe hervorgerufen werden, welche von einem Arbeitsfluid mitgeführt werden. Oxidschichten können sich auf einem solchen Über zug ebenfalls nicht ausbilden.
Weitere erfinderische Merkmale sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet.
Fig. 1 Bauelemente mit der erfindungsgemäßen Beschichtung,
Fig. 2 einen Ausschnitt aus einer beschichteten Begrenzungsfläche,
Fig. 3 einen Ausschnitt aus einer teilweise fertiggestellten Begrenzungsfläche,
Fig. 4 einen Ausschnitt aus einer weiteren Begrenzungsfläche.
Die zur Beschreibung gehörige Fig. 1 zeigt zwei rohrförmige Bauelemente 1 aus Me
tall. Die Bauelemente 1 gehören zu einem Bündel von Rohrleitungen eines Kon
densators, der Bestandteil eines Kraftwerks (hier nicht dargestellt) ist. Die beiden
Bauelemente 1 sind aus Titan gefertigt und weisen jeweils eine Wandstärke von 0,5
bis 0,7 mm auf. Sie sind mit einem Wandabstand von etwa 5 mm bis 10 mm voneinan
der angeordnet. Jedes der beiden Bauelemente 1 ist auf seiner Außenfläche 1S mit
einer Beschichtung 2 versehen. Diese Beschichtung 2 wird bei dem hier beschriebe
nen Ausführungsbeispiel durch einen vollflächigen glatten Überzug 3 aus einem
nichtbenetzbaren amorphem Kohlenstoff gebildet, der sich gemäß folgender Struktur
formel darstellen läßt: a-C:H:X, wobei X für die chemischen Elemente Fluor oder Sili
zium steht.
Zur Verringerung des Wärmewiderstands zwischen den Beschichtungen 2 und den
Bauelementen 1 werden die Begrenzungsflächen 1B vor der Beschichtung auf
gerauht, derart, daß die effektive Grenzfläche zwischen den Bauelementen 1 und den
Beschichtungen 2 vergrößert wird. Diese Vergrößerung hängt von der Struktur der
Rauhigkeit und der Tiefe der Aufrauhung ab. Die zu beschichtenden Begrenzungsflä
chen 1B werden vorzugsweise 0,1 und 2 µm tief aufgerauht. Das Aufrauhen erfolgt
beispielsweise mittels chemischem oder physikaiischem Ätzen. Bevorzugt erfolgt das
Aufrauhen mittels Plasmaätzen. Hiermit wird die effektive Grenzfläche um etwa einen
Faktor 1,5 bis 2 vergrößert. Bei dem anschließenden Beschichten der Begrenzungs
flächen 1B wird der Überzug 3 mit einer Dicke von 3 bis 5 µm aufgetragen. Zum Auf
tragen des Überzugs 3 können chemische Abscheidungen aus der Gasphase oder
physikalische Beschichtungstechniken verwendet werden. Vorzugsweise wird der
Überzug 3 durch plasmaaktivierte Abscheidung oder Sputtern aufgetragen. In Fig. 2
ist der Teilbereich einer Begrenzungsfläche 1B vergrößert dargestellt. Wie Fig. 2 zu
entnehmen ist, wird durch den Überzug 3 eine geschlossene und gleichzeitig glatte
Oberfläche 1S aus nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff gebildet. Wie die Fig. 1
und 2 zeigen, wird durch das Kondensat eines dampfförmigen Arbeitsfluid 10, das an
die beschichteten Bauelemente 1 herangeführt wird und daran kondensiert, kein ge
schlossener Flüssigkeitsfilm erzeugt. Vielmehr bleibt das Kondensat an dem Überzug
3 nur in Form von Tropfen 11 kurzzeitig haften.
Eine weitere Verbesserung der Wärmeübertragung zwischen einem dampfförmigen
Arbeitsfluid und einem mit nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff beschichteten
Bauelement kann dadurch erzielt werden, daß die zu beschichtenden Begrenzungs
flächen bis zu einer Tiefe von 20 µm mit einem der oben beschriebenen Verfahren
aufgerauht werden. Wie Fig. 3 zeigt wird der Überzug 3 anschließend in Abhängigkeit
von der Tiefe der Aufrauhung so dick aufgetragen, daß die Begrenzungsfläche 1B
von dem nichtbenetzbaren amorphen Kohlenstoff gerade überdeckt ist, jedoch keine
glatte Oberfläche 1S ausgebildet wird. Vorzugsweise wird der Überzug 3 bei einer
Tiefe der Aufrauhung von 20 µm bis zu 5 µm dick aufgetragen. Anschließend wird die
Oberfläche 1S mechanisch geglättet. Wie Fig. 4 zeigt wird die Oberfläche 1S nach
dem Glätten durch Bereiche 4 aus nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff und
durch freigelegte Bereiche 1F der Begrenzungsfläche 1B gebildet. Dadurch wird er
reicht, daß das dampfförmige Arbeitsfluid (hier nicht dargestellt) bereichsweise unmit
telbaren Kontakt mit nichtbeschichteten Bereichen 1F der Begrenzungsfläche 1B hat,
wie es an Hand des Tropfens 11 in Fig. 4 veranschaulicht ist. Durch diesen direkten
Kontakt wird eine verbesserte Wärmeübertragung zielt.
Claims (7)
1. Beschichtung für Bauelemente, dadurch gekennzeichnet, daß die Be
grenzungsflächen (1B) eines jeden Bauelements (1) aufgerauht sind und darauf we
nigstens bereichsweise ein Überzug (3) aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff
aufgetragen ist.
2. Beschichtung für Bauelemente, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Begrenzungsflächen (1B) zwischen 0,1 µm und 2 µm tief aufgerauht sind und
der Überzug (3) eine Dicke von 3 bis 5 µm aufweist.
3. Beschichtung für Bauelemente, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Begrenzungsflächen (1B) bis zu 20 µm tief aufgerauht sind und der Überzug
(3) eine Dicke bis zu 5 µm aufweist, daß die mechanisch geglätteten Oberflächen
(15) durch Bereiche (4) aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff und unbe
schichteten Bereichen (1F) der Begrenzungsflächen (1B) gebildet sind, und daß die
Gesamtfläche der unbeschichteten Bereiche (1F) kleiner als 50% der Gesamtfläche
der mit nichtbenetzbarem amorphen Kohlenstoff beschichteten Bereiche (4) ist.
4. Beschichtung für Bauelemente, dadurch gekennzeichnet, daß der nicht
benetzbare amorphe Kohlenstoff gemäß folgender Strukturformel darstellbar
ist: a-C:H:X, wobei X für die chemischen Elemente Fluor oder Silizium steht.
5. Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung, dadurch gekennzeichnet,
daß die Begrenzungsflächen (1B) eines jeden Bauelements (1) aufgerauht werden
und darauf wenigstens ein Überzug (3) aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff
aufgetragen wird.
6. Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Begrenzungsflächen (1B) eines jeden Bauelements (1) bis
zu einer Tiefe von 0,1 µm bis 2 µm aufgerauht werden, und daß darauf ein Überzug (3)
aus nichtbenetzbarem amorphem Kohlenstoff in einer Dicke von 3 µm bis 5 µm aufge
tragen wird.
7. Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Begrenzungsflächen (1B) eines jeden Bauelements (1) bis
zu einer Tiefe von 20 µm aufgerauht werden und darauf ein Überzug (3) aus nicht
benetzbarem amorphem Kohlenstoff in einer Dicke bis 5 µm aufgetragen wird, und
daß die so gebildeten Oberflächen (1S) anschließend mechanisch geglättet werden.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19644692A DE19644692A1 (de) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung |
DE59703321T DE59703321D1 (de) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung |
PCT/EP1997/005830 WO1998018977A1 (de) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | Beschichtung für bauelemente sowie ein verfahren zu deren herstellung |
CN97199230.4A CN1235646A (zh) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | 部件的涂层及其形成方法 |
JP52001198A JP4382162B2 (ja) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | 部材被膜およびその製造方法 |
EP97948779A EP0951580B1 (de) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung |
US09/301,135 US6346294B1 (en) | 1996-10-28 | 1999-04-28 | Process for producing a non-wettable amorphous carbon coating on a component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19644692A DE19644692A1 (de) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19644692A1 true DE19644692A1 (de) | 1998-04-30 |
Family
ID=7810170
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19644692A Withdrawn DE19644692A1 (de) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung |
DE59703321T Expired - Lifetime DE59703321D1 (de) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59703321T Expired - Lifetime DE59703321D1 (de) | 1996-10-28 | 1997-10-22 | Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6346294B1 (de) |
EP (1) | EP0951580B1 (de) |
JP (1) | JP4382162B2 (de) |
CN (1) | CN1235646A (de) |
DE (2) | DE19644692A1 (de) |
WO (1) | WO1998018977A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1052307A2 (de) * | 1999-05-10 | 2000-11-15 | Nanyang Technological University | Wärmeübertragungsfläche |
DE10026477A1 (de) * | 2000-05-27 | 2001-11-29 | Abb Patent Gmbh | Schutzüberzug für metallische Bauelemente |
DE10119348A1 (de) * | 2001-04-20 | 2002-10-24 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Heizkörpers und Heizkörper |
US6942022B2 (en) | 2000-11-14 | 2005-09-13 | Alstom Technology Ltd. | Condensation heat-transfer device |
EP2304213A1 (de) * | 2008-06-18 | 2011-04-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung | Bauteile mit oberflächenbeschichtung für gaseinspritzsysteme (cng+lpg) von verbrennungsmotoren |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1143206A3 (de) * | 2000-04-03 | 2003-05-02 | VTH Verfahrentechnik für Heizung AG | Wärmetauscher für Heizkessel oder Durchlauferhitzer |
DE10056241B4 (de) * | 2000-11-14 | 2010-12-09 | Alstom Technology Ltd. | Niederdruckdampfturbine |
EP2746428B1 (de) | 2012-12-20 | 2017-09-13 | General Electric Technology GmbH | Beschichtung von Turbinenteilen |
DE102014219653A1 (de) | 2014-09-29 | 2016-03-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaufel einer Turbine mit beschichtetem Schaufelblatt |
CN109791023A (zh) * | 2016-08-05 | 2019-05-21 | 仁诺特斯实验室有限责任公司 | 壳管式冷凝器和壳管式冷凝器的换热管 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0625588A1 (de) * | 1993-05-21 | 1994-11-23 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten |
DE19521344A1 (de) * | 1995-06-12 | 1996-12-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Stofftransport- oder Wärmetauschersysteme mit Funktionsflächen mit definiert einstellbarem Benetzungsverhalten |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1069535A (en) * | 1964-07-20 | 1967-05-17 | Richard Line Hummel | Improvements in and relating to heat transfer surfaces |
US4981071A (en) * | 1988-11-03 | 1991-01-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Machine element with coating |
US5073785A (en) * | 1990-04-30 | 1991-12-17 | Xerox Corporation | Coating processes for an ink jet printhead |
EP0504424B1 (de) * | 1990-10-05 | 1999-12-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hartmaterial mit diamant bekleidet, wegwerfeinsatz, und methode zum herstellen dieses materials und einsatzes |
CA2060823C (en) * | 1991-02-08 | 2002-09-10 | Naoya Omori | Diamond-or diamond-like carbon-coated hard materials |
JPH08337874A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基材表面被覆層及びその形成方法並びに熱交換器用フィン及びその製造方法。 |
-
1996
- 1996-10-28 DE DE19644692A patent/DE19644692A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-10-22 JP JP52001198A patent/JP4382162B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-10-22 EP EP97948779A patent/EP0951580B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-10-22 CN CN97199230.4A patent/CN1235646A/zh active Pending
- 1997-10-22 WO PCT/EP1997/005830 patent/WO1998018977A1/de active IP Right Grant
- 1997-10-22 DE DE59703321T patent/DE59703321D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-04-28 US US09/301,135 patent/US6346294B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0625588A1 (de) * | 1993-05-21 | 1994-11-23 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Plasmapolymer-Schichtenfolge als Hartstoffschicht mit definiert einstellbarem Adhäsionsverhalten |
DE19521344A1 (de) * | 1995-06-12 | 1996-12-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Stofftransport- oder Wärmetauschersysteme mit Funktionsflächen mit definiert einstellbarem Benetzungsverhalten |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1052307A2 (de) * | 1999-05-10 | 2000-11-15 | Nanyang Technological University | Wärmeübertragungsfläche |
EP1052307A3 (de) * | 1999-05-10 | 2001-06-27 | Nanyang Technological University | Wärmeübertragungsfläche |
US6571865B1 (en) | 1999-05-10 | 2003-06-03 | Nanyang Technological University | Heat transfer surface |
DE10026477A1 (de) * | 2000-05-27 | 2001-11-29 | Abb Patent Gmbh | Schutzüberzug für metallische Bauelemente |
WO2001092601A1 (de) * | 2000-05-27 | 2001-12-06 | Alstom (Switzerland) Ltd. | Schutzüberzug für metallische bauelemente |
US6780509B2 (en) | 2000-05-27 | 2004-08-24 | Alstom Technology Ltd. | Protective coating for metallic components, metallic component having the coating and method of forming the coating |
US6942022B2 (en) | 2000-11-14 | 2005-09-13 | Alstom Technology Ltd. | Condensation heat-transfer device |
DE10119348A1 (de) * | 2001-04-20 | 2002-10-24 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Heizkörpers und Heizkörper |
EP2304213A1 (de) * | 2008-06-18 | 2011-04-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung | Bauteile mit oberflächenbeschichtung für gaseinspritzsysteme (cng+lpg) von verbrennungsmotoren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998018977A1 (de) | 1998-05-07 |
JP4382162B2 (ja) | 2009-12-09 |
CN1235646A (zh) | 1999-11-17 |
EP0951580A1 (de) | 1999-10-27 |
DE59703321D1 (de) | 2001-05-10 |
US6346294B1 (en) | 2002-02-12 |
EP0951580B1 (de) | 2001-04-04 |
JP2001502758A (ja) | 2001-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10056242A1 (de) | Kondensationswärmeübertrager | |
EP2852822B1 (de) | Dehnmessstreifenanordnung | |
DE19644692A1 (de) | Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung | |
DE3590269T (de) | Verfahren zum Aufbringen von dünnen Schichten durch Vakuumaufdampfen | |
DE19521344C2 (de) | Verwendung von Plasmapolymer-Hartstoff-Schichtenfolgen als Funktionsschichten in Stofftransport - oder Wärmetauschersystemen | |
EP2184115A1 (de) | Hydrophobe Beschichtung von Kondensatoren im eingebauten Zustand | |
DE1950439A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Kapillarstruktur fuer Waermerohre | |
DE10192241B4 (de) | Schutzüberzug für metallische Bauelemente | |
WO2005075926A1 (de) | Wärmetauscherrohr, wärmetauscher und verwendung | |
CH662291A5 (de) | Verfahren und einrichtung zum beschichten eines substrats. | |
WO2015055353A1 (de) | Messanordnung mit einem trägerelement und einem sensor | |
DE19644693A1 (de) | Beschichtung sowie ein Verfahren zu deren Herstellung | |
DE69205679T2 (de) | Verfahren zur herstellung wärmetransportplatten mit einer oberflächenbeschichtung. | |
DE3643816A1 (de) | Eindampf-vorrichtung mit einer verdampfer-kondensator-einheit | |
WO2019105761A1 (de) | Gaskreislauffilter für vakuumanlagen | |
EP1021585A1 (de) | Gezielte einstellung von tropfenkondensation auf ionenimplantierten oberflächen | |
DE2315894B2 (de) | ||
DE102014219653A1 (de) | Schaufel einer Turbine mit beschichtetem Schaufelblatt | |
DE102006012131A1 (de) | Steigerung der Wärmeübertragung bei Kondensations- und Verdampfungsvorgängen, Erzielung von Oberflächen mit verringerter Ablagerungsbildung bzw. vermindertem Fouling und Korrosionsvermeidung durch Aufbringen einer hydrophoben Schicht mittels der Sol-Gel Technologie auf Wärmetauscheroberflächen | |
CH646072A5 (en) | Method for reducing the amount of gas absorbed on a metallic surface | |
EP3961077B1 (de) | Verfahren zur behandlung einer rohrleitung, rohrleitung und rohranschlusseinrichtung | |
EP1915767A1 (de) | Kühlanordnung für eine drehanode | |
DD278638A5 (de) | Rohrbuendelkondensator zum verfluessigen von daempfen mit erhoehtem waermeuebertragungsfaktor | |
DE19521622A1 (de) | Verfahren zum Kondensieren von Dämpfen, insbesondere Brüden, und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE202017003004U1 (de) | Rotationsverdampfer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ABB PATENT GMBH, 68526 LADENBURG, DE |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ALSTOM, PARIS, FR |
|
8141 | Disposal/no request for examination |