DE19610438C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtabsorption eines beliebig geformten Partikels - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtabsorption eines beliebig geformten Partikels

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Lichtabsorption eines beliebig geformten Partikels.
Aus der DE-AS 22 04 079 ist eine Vorrichtung zum Messen an Partikeln und ein entsprechendes Verfahren bekannt, wobei Partikel in eine Ulbricht-Kugel eingebracht werden, die von einem über eine Eintrittsöffnung eintretenden Meßlichtstrahl durchsetzt ist und die eine Austrittsöffnung aufweist, wobei das Partikel mit dem Meßlichtstrahl bestrahlt wird und wobei die Intensität der partikelbeeinflußten diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel gemessen wird mittels eines Sensors, der durch eine Blende von direkt von dem Partikel reflektierten Licht abgeschattet ist.
Ferner sind in der DE 36 05 436 A1 eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bestimmen der Lichtabsorption von transparenten Lackschichten offenbart, wobei ein Meßlichtstrahl durch eine mit einer Eintrittsöffnung und einer Austrittsöffnung ver­ sehene Ulbricht-Kugel auf die Lackschicht gerichtet wird, das durch die Lackschicht tranmittierte, an einer Metallober­ fläche reflektierte und erneut durch die Lackschicht durch­ gelassene Licht zu diffuser Strahlung in der Ulbricht-Kugel führt und diese diffuse Strahlung durch einen Sensor gemessen wird.
Bislang ist kein Verfahren bekannt, mit welchem sich der Albedo- und der Emissionsgrad eines einzelnen beliebig geformten Partikels mit einer Größe, für welche die Gesetze der geometrischen Optik gültig sind, bestimmen lassen.
Es sind nur rechnerische Verfahren dann möglich, wenn der Brechungsindex bekannt ist und das Partikel eine ideal sphärische, zylindrische oder ellipsoidische Form aufweist.
Bei Partikeln mit irregulärer, das heißt beliebiger Form versagen jedoch diese rechnerischen Verfahren.
Die Bedeutung der Albedo und des Emissionsgrades eines Par­ tikels ist zum Beispiel für die Farbstoffindustrie bei der Herstellung von Pigmenten oder für die Emissionsgradbestim­ mung in Industrieöfen von Bedeutung.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtabsorption eines beliebig geformten Partikels zu schaffen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Partikel elektrostatisch aufgeladen und mittels eines elek­ trischen Feldes in einer Ulbricht-Kugel berührungsfrei posi­ tioniert wird, daß das so positionierte Partikel mit einem Meßlichtstrahl mit definiertem Strahlquerschnitt und defi­ nierten Intensitätsverteilung über diesem angestrahlt wird, daß mittels eines Sensors die Intensität der partikelbeein­ flußten diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel gemessen wird, daß die vom Meßlichtstrahl ausgeleuchtete Partikelquer­ schnittsfläche bestimmt wird und daß aus der Intensität des Meßlichtstrahls, der Intensität der partikelbeeinflußten diffusen Strahlung sowie der vom Meßlichstrahl ausgeleuch­ teten Partikelquerschnittsfläche die Lichtabsorption er­ mittelt wird.
Mit diesem erfindungsgemäßen Meßverfahren ist somit erstmalig die Möglichkeit geschaffen, bei beliebig geformten Partikeln der Absorptionsgrad zu bestimmen und ausgehend von dem Ab­ sorptionsgrad in gleicher Weise auch den Albedo und den Emissionsgrad dieses beliebig geformten Partikels.
Dabei kann die vom Meßlichtstrahl ausgeleuchtete Partikel­ querschnittsfläche vor oder nach Messung der Intensität die partikelbeeinflußten diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel erfolgen.
Ferner wird das Partikel zur Messung der Intensität der partikelbeeinflußten diffusen Strahlung vorzugsweise nahe des Mittelpunkts der Ulbricht-Kugel positioniert.
Rein prinzipiell wäre es im Rahmen der erfindungsgemäßen Lösung denkbar, das Partikel mittels eines elektrischen Gleichfeldes berührungsfrei in der Ulbricht-Kugel zu positio­ nieren. Eine besonders vorteilhafte Lösung sieht jedoch vor, daß das Partikel mittels eines elektrischen Gleich- und eines elektrischen Wechselfeldes berührungsfrei positioniert wird, wobei das elektrische Wechselfeld dem elektrischen Gleichfeld überlagert ist und die Kombination beider ein Potentialmini­ mum für das elektrostatisch geladene Partikel ergibt.
Das Potentialminimum liegt dabei vorzugsweise nahe des Mittelpunkts der Ulrbicht-Kugel.
Ferner läßt sich im Rahmen der erfindungsgemäßen Lösung die Intensität des Meßlichtstrahls selbst beispielsweise mit einem üblichen Intensitätsmeßgerät bestimmen. Um jedoch den Einfluß der Ulbricht-Kugel, insbesondere der diffus reflek­ tierenden Beschichtung der Ulbricht-Kugel, unmittelbar be­ rücksichtigen zu können, hat es sich als besonders vorteil­ haft erwiesen, wenn die Intensität des Meßlichtstrahls durch Einstrahlung desselben in die Ulbricht-Kugel ohne Anstrahlen des Partikels und Messung der Intensität der diffusen Strah­ lung in der Ulbricht-Kugel bestimmt wird. Hiermit sind sämt­ liche Einflüsse der Ulbricht-Kugel und auch der in dieser an­ geordneten Elektroden für die Erzeugung des elektrischen Feldes bereits bei der Messung der Intensität des Meßlicht­ strahls berücksichtigt.
Vorzugsweise erfolgt die Bestimmung der Intensität des Meß­ lichtstrahls durch Einstrahlen in die Ulbricht-Kugel dadurch, daß der Meßlichtstrahl auf einen diffus reflektierenden Wand­ bereich der Ulbricht-Kugel gerichtet wird.
Um - wie später noch eingehend erläutert - auch die Möglich­ keit zu haben, mit einem durch die Ulbricht-Kugel hindurch­ tretenden Meßlichtstrahl zu arbeiten, wird der diffus reflek­ tierende Wandbereich vorzugsweise durch einen Wandbereich einer Blende gebildet, mit welcher eine Austrittsöffnung der Ulbricht-Kugel verschließbar ist.
Die Bestimmung der Intensität des Meßlichtstrahls könnte bei­ spielsweise bereits zu einem Zeitpunkt erfolgen, zu welchem noch kein Partikel in dem elektrischen Feld berührungsfrei positioniert ist.
Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die Bestimmung der Intensität des Meßlichtstrahls durch Einstrahlen in die Ulbricht-Kugel bereits zu einem Zeitpunkt erfolgt, zu welchem das Partikel bereits in dem elektrischen Feld in der Ulbricht-Kugel positioniert ist. Hierzu wird vorzugsweise dann das Partikel neben dem Meßlichtstrahl positioniert, was durch Einstellen des elektrischen Gleich- und des elek­ trischen Wechselfeldes möglich ist.
Besonders präzise ist die Messung dann, wenn zur Bestimmung der Intensität des Meßlichtstrahls und zur Bestimmung der Intensität der diffusen partikelbeeinflußten Strahlung in der Ulbricht-Kugel der Meßlichtstrahl und die Ulbricht-Kugel un­ verändert zueinander positioniert bleiben.
Dies läßt sich besonders einfach dann realisieren, wenn zu­ nächst zur Bestimmung der Intensität des Meßlichtstrahls das Partikel neben dem Meßlichtstrahl positioniert wird und dann zur Bestimmung der Intensität der diffusen Partikel beein­ flußten Strahlung das Partikel lediglich in den Meßlicht­ strahl hineinbewegt werden muß.
Um eine exakte Ermittlung des Absorptionsgrades des Partikels durchführen zu können, ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Intensitätsverteilung des Meßlichtstrahls in jedem Punkt der Strahlquerschnittsfläche desselben ermittelt wird.
Eine hierzu alternative Lösung sieht vor, daß ein Meßlicht­ strahl mit einer über seiner Querschnittsfläche im wesent­ lichen homogenen Intensitätsverteilung verwendet wird, so daß lediglich noch die Bestimmung der Strahlquerschnittsfläche erforderlich ist.
Hinsichtlich der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikel­ querschnittsfläche wurden bislang keine näheren Angaben ge­ macht. So sieht ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel vor, daß die vom Meßlichtstrahl ausgeleuchtete Partikelquerschnittsfläche durch Projektion eines Schattenumrisses des im Meßlichtstrahl positionierten Partikels in Ausbreitungsrichtung des Meßlichtstrahls auf eine Projektionsfläche ermittelt wird.
Dies läßt sich besonders einfach dann realisieren, wenn die Projektionsfläche außerhalb der Ulbricht-Kugel angeordnet wird.
Da die Partikel in der Regel sehr klein sind, ist es be­ sonders vorteilhaft, wenn der Schattenumriß des Partikels durch eine Projektionsoptik vergrößert auf der Projektions­ fläche abgebildet wird, so daß der Schattenumriß des Par­ tikels deutlicher sichtbar ist.
Der Schattenumriß auf der Projektionsfläche könnte dabei bei­ spielsweise direkt beobachtet werden. Noch vorteilhafter ist es jedoch, wenn die Projektionsfläche durch eine Oberfläche eines photosensitiven Speicherelements gebildet wird, wobei dieses Speicherelement im einfachsten Fall ein üblicher foto­ grafischer Film sein kann.
Noch vorteilhafter ist es jedoch, wenn die Projektionsfläche durch die Oberfläche einer elektronischen Bilderfassungsein­ heit gebildet wird, da sich mit dieser elektronischen Bilder­ fassungseinheit der Schattenumriß wesentlich vorteilhafter speichern und auswerten läßt.
Um eine sehr große Genauigkeit bei der Auswertung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikelquerschnittsfläche zu erhalten ist vorzugsweise vorgesehen, daß zur Messung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikelquerschnittsfläche der Meßlichtstrahl und das Partikel in derselben Position relativ zueinander stehen wie bei der Messung der Intensität der diffusen partikelbeeinflußten Strahlung in der Ulbricht- Kugel.
Rein theoretisch wäre es denkbar, auch bereits bei teilweise ausgeleuchteter Partikelquerschnittsfläche diese zu erfassen und die Messung der diffusen partikelbeeinflußten Strahlung durchzuführen, um hieraus den Absorpotionsgrad zu ermitteln. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn das Partikel zur Messung der Intensität der diffusen partikelbeeinflußten Strahlung in der Ulbricht-Kugel bei angestrahltem Partikel als Ganzes innerhalb des Strahlquerschnitts des Meßlicht­ strahls positioniert wird, so daß die gesamte Partikelquer­ schnittsfläche in einer Ebene senkrecht zur Ausbreitung des Meßlichtstrahls ausgeleuchtet ist.
Diese Vorgehensweise erleichtert im übrigen auch die Ermittlung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikel­ querschnittsfläche durch Projektion des Schattenumrisses auf die Projektionsfläche.
Darüber hinaus betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtabsorption von beliebig geformten Par­ tikeln, welche erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß die Vorrichtung eine Elektrodenanordnung zur berührungs­ freien Positionierung eines elektrostatisch geladenen Par­ tikels aufweist, daß die Elektrodenanordnung von einer Ulbricht-Kugel umgeben ist, daß die Ulbricht-Kugel mit einem Sensor zur Messung der diffus reflektierten Strahlung in der Ulbricht-Kugel versehen ist und daß die Ulbricht-Kugel eine Eintrittsöffnung für einen Meßlichtstrahl zum Anstrahlen des von der Elektrodenanordnung berührungsfrei gehaltenen Par­ tikels aufweist.
Der Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist darin zu sehen, daß diese die Möglichkeit schafft, einerseits das Par­ tikel im Meßlichtstrahl zu positionieren und um die partikel­ beeinflußte diffus reflektierte Strahlung innerhalb der Ulbricht-Kugel zu erfassen und aus dieser Intensität der par­ tikelbeeinflußten diffusen Strahlung die Lichtabsorption des Partikels unter Heranziehung der Intensität des Meßlicht­ strahls und der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Quer­ schnittsfläche des Partikels zu bestimmen.
Die Elektrodenanordnung kann beliebig ausgebildet sein, sofern sich mit dieser eine Positionierung eines elektrisch geladenen Partikels realisieren läßt. So wäre es beispiels­ weise ausreichend, wenn die Elektrodenanordnung zwei Ring­ elektroden aufweist.
Noch vorteilhafter ist es jedoch, wenn die Elektrodenan­ ordnung zwei Ringelektroden zur Erzeugung eines elektrischen Gleichfeldes und zwei Ringelektroden zur Erzeugung eines elektrischen Wechselfeldes aufweist, da mit dieser Lösung eine höhere Stabilität der Partikel bei der Positio­ nierung erreichbar ist.
Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Elektroden für das Wechselfeld und das Gleichfeld voneinander getrennt ange­ ordnet sind.
Vorzugsweise sind die Wechselfeldelektroden zwischen den Gleichfeldelektroden angeordnet, wodurch sich das Partikel besser stabilisieren läßt.
Noch vorteilhafter für die Stabilisierung des Partikels ist es, wenn die Wechselfeldelektroden einen größeren Durchmesser als die Gleichfeldelektroden aufweisen.
Eine Ulbricht-Kugel im Sinne dieser Erfindung wird gebildet durch eine kugelförmige Innenfläche eines Kugelgehäuses, welche mit einer das Meßlicht diffus reflektierenden Be­ schichtung versehen ist.
Diese Beschichtung ist beispielsweise im Fall des sichtbaren Lichtes eine weiße diffus reflektierende Beschichtung, im Fall von Infrarotlicht beispielsweise eine Goldbeschichtung.
Ferner ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Elektroden der Elektrodenanordnung mit derselben diffus reflektierenden Beschichtung versehen sind, die auch die Ulbricht-Kugel auf­ weist.
Ferner ist vorgesehen, daß der Sensor mit einer direkt von dem Partikel reflektiertes Meßlicht abschattenden Abschirm­ blende versehen ist, um sicherzustellen, daß der Sensor lediglich die Intensität des diffus in der Ulbricht-Kugel reflektierten Lichtes mißt.
Der Sensor kann in unterschiedlichster Art und Weise ausge­ bildet sein. Er muß jedoch für die Messung der Intensität des Meßlichts geeignet sein. So ist beispielsweise bei Verwendung von im sichtbaren Bereich liegendem Meßlicht ein Photo­ multiplier oder eine Photodiode verwendbar, während im Infraroten beispielsweise infrarotempfindliche Dioden Ver­ wendung finden.
Um außerdem die Möglichkeit zu schaffen, den Meßlichtstrahl durch die Ulbricht-Kugel hindurchtreten zu lassen, insbeson­ dere zur Bestimmung der ausgeleuchteten Partikelquerschnitts­ fläche, ist die Ulbricht-Kugel vorzugsweise mit einer der Eintrittsöffnung für den Meßstrahl gegenüberliegenden und verschließbaren Austrittsöffnung versehen.
Diese Austrittsöffnung ist für die Messung der Intensität der diffus in der Ulbricht-Kugel reflektierten Strahlung ver­ schließbar, während die Austrittsöffnung für die Bestimmung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikelquerschnitts­ fläche geöffnet ist.
Vorzugsweise ist zur Vereinfachung der Bestimmung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikelquerschnittsfläche vorgesehen, daß der aus der Austrittsöffnung austretende Meß­ lichtstrahl mittels einer Projektionsoptik auf eine Projek­ tionsfläche abbildbar ist.
Vorzugsweise ist dabei die Projektionsoptik so dimensioniert, daß durch diese das in der Elektrodenanordnung berührungsfrei positionierte Partikel auf die Projektionsfläche vergrößert abbildbar ist. Vorzugsweise wird mit einer mehrfachen, bei­ spielsweise einer 10-fachen Vergrößerung, gearbeitet.
Die Projektionsfläche kann ihrerseits beispielsweise durch die Oberfläche eines photosensitiven Elements gebildet sein. Ein derartiges photosensitives Element könnte beispielsweise ein fotografischer Film sein. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die Projektionsfläche durch eine photosensitive Oberfläche einer elektronischen Kamera gebildet ist, da diese die Auswertung der Abbildung, insbesondere des auf die Projektionsfläche projizierten Schattenumrisses des Par­ tikels, erleichtert.
Hinsichtlich des verwendeten Meßlichtstrahls wurden im Zu­ sammenhang mit der Erläuterung der bisherigen Ausführungsbei­ spiele keine näheren Angaben gemacht. Beispielsweise wird als Meßlicht sichtbares Licht im Spektralbereich zwischen unge­ fähr 200 nm und ungefähr 800 nm verwendet.
Es besteht aber auch die Möglichkeit, Infrarotlicht zu ver­ wenden, sofern die Absorption des Partikels im Infraroten bestimmt werden soll.
Ferner kann als Meßlichtquelle eine Lampe verwendet werden. Aufgrund der vorteilhaften Abbildungseigenschaften von Laser­ strahlen ist es jedoch vorteilhafter, als Meßlichtquelle einen Laser zu verwenden, welcher vorzugsweise mit einer Wellenlänge im Bereich des sichtbaren Lichtes arbeitet. Im einfachsten Fall ist hierzu ein Helium-Neon-Laser vorgesehen, der ferner den Vorteil hat, ein über seinem Strahlquerschnitt im wesentlichen konstantes Intensitätsprofil aufzuweisen.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Dar­ stellung einiger Ausführungsbeispiele.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer er­ findungsgemäßen Vorrichtung mit geschnittener Ulbricht-Kugel;
Fig. 2 eine schematische Darstellung der Messung der Intensität des Meßlichtstrahls mit einer Vor­ richtung gemäß Fig. 1;
Fig. 3 eine schematische Darstellung der Messung der Absorption von Meßlicht durch das Partikel;
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Messung der ausgeleuchteten Partikelquerschnitts­ fläche und
Fig. 5 eine schematische Darstellung eines auf eine Projektionsfläche projizierten Schattenum­ risses des Partikels zur Bestimmung der vom Meßlichtschal ausgeleuchteten Partikelquer­ schnittsfläche.
Ein in Fig. 1 dargestelltes Ausführungsbeispiel einer Vor­ richtung zur Messung der Absorption von beliebig geformten Partikeln umfaßt ein als Ganzes mit 10 bezeichnetes Kugelge­ häuse, welches eine innere kugelförmige Fläche 12 aufweist, die zur Bildung einer diffus reflektierenden Ulbricht-Kugel 15 mit einer diffus reflektierenden Beschichtung 14 versehen ist. Die diffus reflektierende Beschichtung 14 besteht dabei beispielsweise aus einem weißen, diffus reflektierenden Lack, sofern die Absorption beliebig geformter Partikel von sicht­ barem Licht gemessen werden soll oder beispielsweise aus einer Goldbeschichtung, sofern als Licht längerwelliges Licht, beispielsweise Infrarotlicht Verwendung findet.
Der Durchmesser der kugelförmigen Fläche 12 beträgt ungefähr 120 mm.
Das Kugelgehäuse 10 umfaßt ferner eine Eintrittsöffnung 16 und eine Austrittsöffnung 18, welche so angeordnet sind, daß ein Meßlichtstrahl 20 durch die Eintrittsöffnung 16 in einen von der kugelförmigen Fläche 12 umschlossenen Innenraum 22 der Ulbricht-Kugel 15 eintreten, diesen parallel zu einer durch einen Mittelpunkt 24 der Ulbricht-Kugel 15 hindurch­ verlaufenden Geraden 26 durchsetzen und durch die Austritts­ öffnung 18 wieder austreten kann.
Der Meßlichtstrahl 20 ist dabei vorzugsweise ein Laserstrahl, welcher von einem Laserkopf 28 erzeugt wird.
Symmetrisch zur Geraden 26 und zum Mittelpunkt 24 der Ulbricht-Kugel 14 ist in dem Innenraum 22 eine Elektrodenan­ ordnung 30 vorgesehen, welche zwei symmetrisch zur Geraden 26 und zum Mittelpunkt 24 angeordnete Wechselfeldelektroden 32, 34 umfaßt, und zwei ebenfalls symmetrisch zur Geraden 26 und zum Mittelpunkt 24 angeordnete Gleichfeldelektroden 36, 38. Die Elektroden 32 bis 38 sind dabei als Kreisringe ausgebil­ det, die alle koaxial zu einer Elektrodenachse 40 angeordnet sind, wobei die beiden Kreisringe der Wechselfeldelektroden 32, 34 zwischen den Kreisringen der Gleichfeldelektroden 36, 38 liegen und außerdem die Kreisringe der Wechselfeldelektro­ den 32, 34 einen Durchmesser aufweisen, der ungefähr das Doppelte des Durchmessers der Ringe der Gleichfeldelektroden 36, 38 beträgt.
Die beiden Wechselfeldelektroden 32, 34 sind dabei mit einem Wechselspannungsgenerator 42 verbunden, während die beiden Gleichfeldelektroden 36, 38 mit einem Gleichspannungsgene­ rator 44 verbunden sind.
Die Spannungsdifferenz zwischen den beiden Gleichfeldelektro­ den 36, 38 liegt dabei in einem Bereich von größenordnungs­ mäßig 400 Volt, während die Wechselspannung in einem Bereich von ungefähr 3500 bis ungefähr 4500 Volt liegt, wobei die Frequenz der Wechselspannung größenordnungsmäßg 50 Hz beträgt.
Die Überlagerung des von den Wechselfeldelektroden 32, 34 erzeugten Wechselfeldes und des von den Gleichfeldelektroden 36, 38 erzeugten Gleichfeldes ergibt im Zentrum der Elek­ trodenanordnung 30, vorzugsweise nahe dem Mittelpunkt 24 der kugelförmigen Fläche 12 ein Potentialminimum für ein elek­ trostatisch geladenes Partikel, wobei die Partikelgröße vor­ zugsweise zwischen ungefähr 0,1 µm bis ungefähr 500 µm liegt. Ein derartiges Partikel kann in dem von dem Wechselfeld und dem Gleichfeld gebildeten Potentialminimum gehalten werden, wobei das Gleichfeld vorzugsweise ungefähr parallel zur Gravitationsrichtung verläuft.
Eine genaue Beschreibung des Haltens eines geladenen Par­ tikels in dem Potentialminimum und eine Berechnung des Feldes ergibt sich aus dem Artikel von Davis et al., "The double ring electrodynamic balance for microparticle characteriza­ tion", Rev. Sci. Instruments, April 1990 S. 1281-1288.
Um ferner keinerlei Beeinflussung der diffusen Strahlung im Innenraum 22 der Ulbricht-Kugel 15 durch die Elektrodenan­ ordnung 30 zu erhalten, sind sowohl die Wechselfeldelektroden 32, 34, als auch die Gleichfeldelektroden 36, 38 mit der­ selben diffus reflektierenden Beschichtung 14 versehen, wie die kugelförmige Fläche 12 zur Bildung der Ulbricht-Kugel 15.
Die kugelförmige Fläche 12 ist ferner noch mit einer Sensoröffnung 46 versehen, welche seitlich der Geraden 26 liegt und gegen direkten Eintritt von im Bereich des Mittel­ punkts 24 reflektiertem Licht durch eine Abschirmblende 48 abgeschirmt ist, so daß in die Sensoröffnung 46 lediglich diffus reflektierte Strahlung eintreten und auf einen Sensor 50 zur Erfassung von deren Intensität auftreffen kann.
Dieser Sensor 50 ist seinerseits mit einer Meßwerterfassungs­ einheit 52 verbunden.
Die Austrittsöffnung 18 ist mittels einer Blende 60 ver­ schließbar, welche vorzugsweise eine die kugelförmige Fläche 12 im Bereich der Austrittsöffnung 18 ergänzende Oberfläche 62 aufweist, die ebenfalls mit der diffus reflektierenden Beschichtung 14 versehen ist.
Bei geöffneter Blende 60 tritt der Meßlichtstrahl 20 durch die Austrittsöffnung 18 aus dem Kugelgehäuse 10 aus und tritt in eine als Ganzes mit 64 bezeichnete Abbildungsoptik ein, welche beispielsweise zwei Linsen 66, 68 aufweist, welche so justiert sind, daß ein im Mittelpunkt 24 angeordnetes Par­ tikel auf eine Projektionsfläche 70 vergrößert abgebildet wird, welche im vorliegenden Fall von einer fotoempfindlichen Oberfläche einer als Ganzes mit 72 bezeichneten CCD-Kamera gebildet wird die kombiniert mit einer Auswerteeinheit 74 die Bestimmung eines Schattenumrisses eines im Mittelpunkt 24 positionierten Partikels in noch später zu beschreibender Weise erlaubt.
Zur Messung der Lichtabsorption eines Partikels wird eine Vielzahl von Partikeln beispielsweise durch einen mittels Reibung elektrostatisch geladenen Stab durch Ladungsüber­ tragung aufgeladen, wobei die Partikel dann an dem Stab haften.
Durch Einführen des Stabes in die Elektrodenanordnung 30 und leichtes Klopfen lösen sich einige geladene Partikel von dem Stab und werden dann von dem elektrischen Feld der Elek­ trodenanordnung 30 in Schwebe gehalten.
Die Vielzahl der Partikel läßt sich dadurch reduzieren, daß die Wechselspannung für die Wechselfeldelektroden 32, 34 so lange variiert wird, bis nur noch ein Partikel in dem elek­ trischen Feld der Elektrodenanordnung 30 vorhanden ist.
Dieses einzelne Partikel kann nun durch Variation der Felder in der Elektrodenanordnung längs der Elektrodenachse 40 definiert und stationär durch entsprechende Einstellung der elektrischen Felder der Elektrodenanordnung 30 positioniert werden.
Zur Messung der Intensität des Meßlichtstrahls 20 wird, wie in Fig. 2 dargestellt, das vereinzelte und im Feld der Elek­ trodenanordnung 30 vorhandene Partikel 80 seitlich des Meß­ lichtstrahls 20, das heißt oberhalb oder unterhalb desselben, positioniert, so daß der Meßlichtstrahl 20 die Elektrodenan­ ordnung 30 passiert und auf die Oberfläche 62 der Blende 60 trifft, mit welcher die Ulbricht-Kugel 15 verschlossen ist. Durch Reflexion an der mit der diffus reflektierenden Be­ schichtung 14 versehenen Oberfläche 62 der Blende 60 erfolgt eine diffuse Streuung des Meßlichtstrahls 20 im gesamten Innenraum 22 der Ulbricht-Kugel 15 durch Mehrfachreflexion an der mit der diffus reflektierenden Beschichtung 14 versehenen kugelförmigen Fläche 12, wobei die diffus reflektierte Strah­ lung durch die Sensoröffnung 46 hindurchtritt und auf den Sensor 50 trifft, so daß die Meßwerterfassungseinheit 52 einen Intensitätswert 10 erfaßt, welcher mit der Intensität des Meßlichtstrahls 20 korreliert ist. In erster Näherung ist der Intensitätswert I0 proportional zur Intensität des Meß­ lichtstrahls 20.
Ohne Veränderung der relativen Lage zwischen dem Meßlicht­ strahl 20 und der Ulbricht-Kugel 15 wird nun, wie in Fig. 3 dargestellt, das einzelne Partikel 80 innerhalb eines Strahlquerschnitts des Meßlichtstrahls 20 positioniert, welcher beispielsweise einen Durchmesser von ungefähr 1 mm aufweist, wobei das Partikel 80 - wie bereits angegeben - eine Größe zwischen ungefähr 0,1 µm und ungefähr 500 µm aufweist.
In diesem Fall ist die Ulbricht-Kugel 15 ebenfalls durch die Blende 60 verschlossen, wobei allerdings das einzelne Par­ tikel 80, welches vorzugsweise nahe des Mittelpunkts 24 der Ulbricht-Kugel 15 positioniert ist, Meßlicht des Meßlicht­ strahls 20 absorbiert und reflektiert und nur der nicht auf das Partikel 80 auftreffende Teil des Meßlichtstrahls 20 an der Oberfläche 62 der Blende 60 reflektiert wird.
Die diffus reflektierte Strahlung im Innenraum 22 der Ulbricht-Kugel 15 hat dann, wenn das Partikel 80 Meßlicht ab­ sorbiert und wieder emittiert eine geänderte, vorzugsweise geringere Intensität, so daß mit der Meßwerterfassungseinheit 52 ein geringerer Intensitätswert IA erfaßt wird.
Zur Erfassung der exakten Position des Partikels 80 im Meß­ lichtstrahl 20 und zur Erfassung der vom Meßlichtstrahl ange­ strahlten Querschnittsfläche des Partikels 80 wird, wie in Fig. 4 dargestellt, die Blende 60 entfernt, so daß der Meßlichtstrahl 20 durch die Austrittsöffnung 18 hindurch austritt und die Abbildungsoptik 64 den Schattenumriß des im Meßlichtstrahl 20 enthaltenen Partikels 80 auf die Projektionsfläche 70 abbildet, wobei, wie in Fig. 5 dargestellt, auf der Projektionsfläche 70 ein innerer abgeschatteter Bereich 82 zu sehen ist, welcher bis zu einer Schattenumrißlinie 84 reicht und außerhalb der Schattenumrißlinie 84 ein ausgeleuchteter Bereich 86 er­ kennbar ist, welcher bis zu einer äußeren Begrenzungslinie 88 reicht, welche der äußeren Begrenzung des Strahlquerschnitts des Meßlichtstrahls 20 entspricht und die Bestimmung der Strahlquerschnittsfläche erlaubt.
Vorzugsweise wird dabei das einzelne Partikel 80 stets so positioniert, daß der ausgeleuchtete Bereich 86 noch das Par­ tikel 80 vollständig umgibt, das heißt, daß das Partikel 80 über seine gesamte, senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Meßlichtstrahls 20 verlaufende Partikelquerschnittsfläche vom Meßlichtstrahl 20 ausgeleuchtet ist.
Aus der auf der Projektionsfläche 70 entstehenden Schatten­ umrißlinie 84, die vorzugsweise mittels der CCD-Kamera 72 und der Auswerteeinheit 74 erfaßt wird, läßt sich in einfacher Weise die in einer Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Meßlichtstrahls 20 ausgeleuchtete Partikelquerschnitts­ fläche des Partikels 80 errechnen.
Für die Berechnung des Absorptionsgrades des Partikels 80 ist es ferner noch maßgebend, wie die Intensitätsverteilung innerhalb der äußeren Begrenzungslinie 88 des Meßlichtstrahls 20 ausgebildet ist. Diese läßt sich mit einem üblichen, für Laserstrahlen verwendeten Meßgerät erfassen. Im einfachsten Fall wird ein Laserstrahl verwendet, welcher innerhalb der äußeren Begrenzungslinie 88 einen im wesentlichen homogene Intensitätsverteilung aufweist, so daß die relative Lage der Schattenumrißlinie 84 zur äußeren Begrenzungslinie 88 nicht zusätzlich bei der Berechnung des Absorptionsgrades berück­ sichtigt werden muß.
Aus der Differenz der gemessenen Intensität I0-IA, und der vom Meßlichtstrahl 20 ausgeleuchteten Querschnittsfläche innerhalb der Schattenumrißlinie 84 des Partikels 80 läßt sich der Absorptionsgrad des Partikels errechnen und davon ausgehend auch der Albedo- und der Emissionsgrad dieses Partikels 80, wobei folgende Beziehung Verwendung findet:
Wobei
Abs = Absortionsgrad (0 ≦ Abs ≦ 1)
I0 = Gesamtintensität des Meßlichtstrahls
IA = Intensität der partikelbeeinflußten Diffusen Strahlung
P(A) = Intensität des Meßlichtstrahls im jewei­ ligen Flächenelement
∫ P(A)dA Meßlichtstrahl = Integral der Intensität des Meßlichtstrahls über die Fläche des Strahlquerschnitts des Meßlichtstrahls
∫ P(A)dA Partikelquerschnittsfl. = Integral der Intensität des Meßlicht­ strahls über die Partikelquerschnitts­ fläche
Im einfachsten Fall ergibt die obengenannte Beziehung für kugelförmige Partikel
wobei
rp = Partikelradius
W = Strahlradius

Claims (25)

1. Verfahren zur Bestimmung der Licht-Absorption eines beliebig geformten Partikels, dadurch gekennzeichnet, daß ein Partikel elektrostatisch geladen und mittels eines elek­ trischen Feldes in einer Ulbricht-Kugel berührungsfrei positioniert wird, daß das so positionierte Partikel mit einem Meßlichtstrahl mit definiertem Strahlquerschnitt und definierter Intensitätsverteilung über diesem ange­ strahlt wird, daß mittels eines Sensors die Intensität der partikelbeeinflußten diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel gemessen wird, daß die vom Meßlichtstrahl ausgeleuchtete Partikelquerschnittsfläche bestimmt wird und daß aus der Intensität des Meßlichtstrahls, der Intensität der partikelbeeinflußten diffusen Strahlung sowie der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikel­ querschnittsfläche die Licht-Absorption ermittelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Partikel mittels eines elektrischen Gleich- und eines elektrischen Wechselfeldes berührungsfrei posi­ tioniert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Intensität des Meßlichtstrahls durch Ein­ strahlung in die Ulbricht-Kugel ohne Anstrahlen des Par­ tikels und Messung der Intensität der diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel bestimmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bestimmung der Intensität des Meßlichtstrahls dieser auf einen diffus reflektierenden Wandbereich der Ulbricht-Kugel gerichtet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeich­ net, daß zum Bestimmen der Intensität des Meßlicht­ strahls das Partikel neben dem Meßlichtstrahl posi­ tioniert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bestimmung der Intensität der diffusen partikelbe­ einflußten Strahlung in der Ulbricht-Kugel der Meßlicht­ strahl und die Ulbricht-Kugel unverändert zueinander positioniert bleiben.
7. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die Intensitätsverteilung über der Querschnittsfläche des Meßlichtstrahls ermittelt wird.
8. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß ein Meßlichtstrahl mit einer über seiner Querschnittsfläche im wesentlichen homogenen Intensitätsverteilung verwendet wird.
9. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß die vom Meßlichtstrahl ausge­ leuchtete Partikelquerschnittsfläche durch Projektion eines Schattenumrisses des im Meßlichtstrahl positio­ nierten Partikels in Ausbreitungsrichtung des Meßlicht­ strahls auf eine Projektionsfläche ermittelt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionsfläche außerhalb der Ulbricht-Kugel angeordnet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Schattenumriß des Partikels durch eine Projektions­ optik vergrößert auf der Projektionsfläche abgebildet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeich­ net, daß die Projektionsfläche durch eine Oberfläche eines photosensitiven Speicherelements gebildet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionsfläche durch eine Oberfläche einer elek­ tronischen Bilderfassungseinheit gebildet wird.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der vom Meßlichtstrahl ausgeleuchteten Partikelquerschnittsfläche der Meßlicht­ strahl und das Partikel in derselben Position relativ zueinander stehen wie bei der Messung der Intensität der diffusen partikelbeeinflußten Strahlung in der Ulbricht- Kugel.
15. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, daß das Partikel zur Messung der Intensität der diffusen Strahlung in der Ulbricht-Kugel bei angestrahltem Partikel als Ganzes innerhalb des Strahlquerschnitts des Meßlichtstrahls positioniert wird.
16. Vorrichtung zur Bestimmung der Licht-Absorption von be­ liebig geformten Partikeln, dadurch gekennzeichnet, daß diese eine Elektrodenanordnung (30) zur berührungsfreien Positionierung eines elektrostatisch geladenen Partikels (80) aufweist, daß die Elektrodenanordnung (30) von einer Ulbricht-Kugel (15) umgeben ist, daß die Ulbricht- Kugel (15) mit einem Sensor (50) zur Messung der diffus reflektierten Strahlung in der Ulbricht-Kugel (15) versehen ist und daß die Ulbricht-Kugel (15) eine Eintrittsöffnung (16) für einen Meßlichtstrahl (20) zum Anstrahlen des von der Elektrodenanordnung (30) gehaltenen Partikels (80) auf­ weist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordnung (30) zwei Elektroden (36, 38) zur Erzeugung eines elektrischen Gleichfeldes auf­ weist und daß die Elektrodenanordnung (30) zwei Elek­ troden (32, 34) zur Erzeugung eines elektrischen Wechselfeldes aufweist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (32, 34) für das Wechselfeld und die Elektroden (36, 38) für das Gleichfeld voneinander getrennt angeordnet sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselfeldelektroden (32, 34) zwischen den Gleichfeldelektroden (36, 38) liegen.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Wechselfeldelektroden (32, 34) einen größeren Durchmesser als die Gleichfeldelektroden (36, 38) aufweisen.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden der Elektrodenan­ ordnung (30) mit der selben diffus reflektierenden Beschichtung (14) versehen sind wie die Ulbricht-Kugel.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (50) mit einer direkt von dem Partikel (80) reflektiertes Meßlicht abschattenden Blende (48) für den Sensor (50) versehen ist.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Ulbricht-Kugel (15) mit einer der Eintrittsöffnung (16) für den Meßlichtstrahl (20) gegenüberliegenden und verschließbaren Austrittsöffnung (18) versehen ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Austrittsöffnung (18) austretende Meß­ lichtstrahl (20) mittels einer Projektionsoptik (64) auf eine Projektionsfläche (70) abbildbar ist.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionsfläche (70) durch eine Oberfläche eines photosensitiven Elements (72) gebildet ist.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2204079B2 (de) * 1972-01-28 1975-09-18 Sartorius-Membranfilter Gmbh, 3400 Goettingen Vorrichtung zum Klassifizieren von in einem strömungsfähigen Medium suspendierter Teilchen
DE3605436A1 (de) * 1985-03-15 1986-11-27 Schweizerische Aluminium Ag, Chippis Verfahren zum bestimmen der dicke von transparenten lackschichten und vorrichtung zu dessen ausfuehrung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT376301B (de) * 1982-05-06 1984-11-12 List Hans Verfahren zur kontinuierlichen messung der masse von aeorosolteilchen in gasfoermigen proben sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2204079B2 (de) * 1972-01-28 1975-09-18 Sartorius-Membranfilter Gmbh, 3400 Goettingen Vorrichtung zum Klassifizieren von in einem strömungsfähigen Medium suspendierter Teilchen
DE3605436A1 (de) * 1985-03-15 1986-11-27 Schweizerische Aluminium Ag, Chippis Verfahren zum bestimmen der dicke von transparenten lackschichten und vorrichtung zu dessen ausfuehrung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DAVIS, E.J., BUEHLER,M.F., WARD,T.L.: "The double-ring electrodynamic balance for microparticle-cha-racterization" in: Rev.Sci.Instrum., Vol. 61/No.4,(1990), S. 1281-1288 *

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