DE1489145C - Method of manufacturing a photosensitive device - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer photoempfindlichen Vorrichtung, bei dem auf einen mit mindestens einer Elektrode versehenen Träger eine Bleimonoxidschicht aufgedampft wird, die einem Sauerstoffaufprall ausgesetzt wird.The invention relates to a method for manufacturing a photosensitive device, a lead monoxide layer is vapor-deposited on the carrier provided with at least one electrode exposed to oxygen impingement.

Es sind Vorrichtungen mit einer photoempfindlichen Schicht auf Auftreffplatten für Bildaufnahmeröhren aus der deutschen Patentschrift 1 011 459 bekannt. Diese bestehen im wesentlichen aus Bleimonoxid (PbQ) und weisen zwei aufeinanderliegende Schichten auf, deren eine p-Leitfähigkeit und deren andere n-Leitfähigkeit besitzen. Die p-Leitfähigkeit besitzende Schicht liegt auf der sogenannten freien Oberfläche der Bildelektrode und bildet dort eine Zone, die durch ein Übermaß an Sauerstoffatomen, gleichbedeutend mit einem Untermaß an Bleiatomen, hergestellt worden ist. ",■■'■ Devices with a photosensitive layer on target plates for image pickup tubes are known from German Patent 1,011,459. These consist essentially of lead monoxide (PbQ) and have two layers lying on top of one another, one of which has p-conductivity and the other n-conductivity. The layer with p-conductivity lies on the so-called free surface of the picture electrode and forms a zone there which has been produced by an excess of oxygen atoms, equivalent to an undersized amount of lead atoms . ", ■■ '■

In dieser bekannten Patentschrift ist eine Bildaufnahmeröhre gezeigt, die eine gläserne Vorderwand mit einer Signalelektrode und der Bildelektrode während der Herstellung der zuletzt genannten Elektrode zeigt. Auf die gläserne Vorderwand. wird zunächst diese Signälelektrode und darauf dann eine Zwischenschicht mit einer Stärke von einigen μηι aufgedampft.In this known patent is an image pickup tube shown, which has a glass front wall with a signal electrode and the picture electrode during shows the manufacture of the last-mentioned electrode. On the glass front wall. will start with this Signal electrode and then an intermediate layer vaporized with a thickness of a few μm.

Diese Schicht besteht aus Wismuttrioxid, das auch mit Bleimonoxid gemischt werden kann. Auf diese Zwischenschicht wird nun durch Aufdampfen eine weitere Schicht aus Bleimonoxid in einer Stärke von etwa 5 μπι aufgebracht. Nach dem Aufbringen dieser Schichten werden diese während einer Stunde auf eine Temperatur von 150 bis 250°C in einer Sauerstoffatmosphäre mit einem Druck von etwa 5 · 10~⁴ cm Hg gehalten: Damit erfolgt praktisch eine Erhöhung der Geschwindigkeit der Sauerstoffmoleküle und eine Herstellung einer Schicht wie oben beschrieben.This layer consists of bismuth trioxide, which can also be mixed with lead monoxide. A further layer of lead monoxide with a thickness of approximately 5 μm is then applied to this intermediate layer by vapor deposition. After application of these layers is kept during one hour to a temperature of 150 to 250 ° C in an oxygen atmosphere at a pressure of about 5 x 10 ~ ⁴ cm Hg: In order to increase the rate of oxygen molecules and the preparation is practically a layer as described above.

Es ist weiterhin aus der Literaturstelle »Helvetica . Physica Acta«, 30,1957, S. 495 ff., bekannt, die mittels einer Koronaentladung in der freien Atmosphäre erzeugten negativen Sauerstoffionen sich auf bzw. in die Oberfläche einer aus in einem Kunstharz dispergierten Zinkoxid bestehenden Schicht absetzen und absorbieren zu lassen. ........'It is also from the reference »Helvetica. Physica Acta ", 30, 1957, p. 495 ff., Known, which by means of a corona discharge in the free atmosphere negative oxygen ions are dispersed on or in the surface of a synthetic resin The zinc oxide layer can be deposited and absorbed. ........ '

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren der eingangs erwähnten Art und ist dadurch gekennzeichnet, daß der Sauerstoffaufprall mit Sauerstoffionen erfolgt, die durch eine Gasentladung in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei niedrigem Druck erzeugt und zu der Schicht (4, 33) hin elektrisch beschleunigt werden.The invention relates to a method of the type mentioned at the outset and is characterized in that that the oxygen impact takes place with oxygen ions, which are generated by a gas discharge in an oxygen-containing Atmosphere generated at low pressure and electrically accelerated towards the layer (4, 33) will.

Durch diese Behandlung des Bleimonoxids (PbO) wird z. B. eine wesentliche Verkleinerung des Dunkelstromes der pholoempfindlichen Schicht erreicht. Through this treatment of lead monoxide (PbO) is z. B. achieved a substantial reduction in the dark current of the photosensitive layer.

Für die Gasentladung kann die Schicht selbst als Elektrode verwendet und, falls erforderlich, beleuchtet werden. Auch kann der. Aufprall in einer Sauerstoffatmosphäre mit einem Druck von 4000 bis 6000For the gas discharge, the layer itself can be used as an electrode and, if necessary, illuminated will. Also can. Impact in an oxygen atmosphere with a pressure of 4000 to 6000

• 10 ⁶ mm Hg, ζ. Β. 5000 · ΙΟ-⁵ mm Hg, erfolgen.• 10 ⁶ mm Hg, ζ. Β. 5000 · ΙΟ- ⁵ mm Hg.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigtEmbodiments of the invention are shown in the drawing and will be described in more detail below described. It shows

• F i g. 1 schematisch eine Stufe der Herstellung einer Photowiderstandszelle mit auf einem Träger angebrachten Elektroden,• F i g. Fig. 1 schematically shows a stage in the manufacture of a photoresist cell with mounted on a carrier Electrodes,

F i g. 2 schematisch einen Teil einer Anordnung zur Herstellung einer Vidikon-Aufnahmeröhre.F i g. 2 schematically part of an arrangement for Manufacture of a Vidikon pickup tube.

In beiden Figuren sind verschiedene Abmessungen, insbesondere die Stärke der verschiedenen Elemente nicht maßstäblich dargestellt.In both figures are different dimensions, especially the thickness of the different elements not shown to scale.

In F i g. 1 sind zur Herstellung einer Photowiderstandszelle auf einem Träger 1 abwechselnd miteinander verbundene, zueinander parallele Elektroden 2 und 3 angeordnet. Der Träger 1, der aus Isoliermaterial besteht, kann durchsichtig sein und z. B. aus Glas bestehen. Die Elektroden 2, die elektrisch miteinander verbunden sind, bestehen z. B. aus leitendem Zinnoxid oder aufgedampftem Silber und haben eine Breite von etwa 20 μπι. Die Elektroden 3 . können die gleicheIn Fig. 1 are used to manufacture a photoresist cell Electrodes 2 that are alternately connected to one another and parallel to one another on a carrier 1 and 3 arranged. The carrier 1, which consists of insulating material, can be transparent and z. B. consist of glass. The electrodes 2, which are electrically connected to each other, consist, for. B. of conductive tin oxide or vapor-deposited silver and have a width of about 20 μm. The electrodes 3. can do the same

ίο Breite wie die Elektroden 2 haben und z. B. aus auf den Träger 1 aufgedampftem Nickel oder Platin bestehen. Der Abstand zwischen den Mittellinien auf-ίο have the same width as the electrodes 2 and z. B. off on the carrier 1 consist of vapor-deposited nickel or platinum. The distance between the center lines is

- einanderfolgender Elektroden 2 und 3 ist etwa 500μηι. ■ Dieser Abstand kann jedoch auch größer sein, z. B.- Successive electrodes 2 and 3 is about 500μηι. ■ However, this distance can also be larger, e.g. B.

1000 μπι.1000 μm.

Über jede der Elektroden 2, und lediglicn über diese, wird z. B. mittels einer Maske eine Schicht Bleimonoxid 4 mit einer Stärke von einigen μπι, ζ. Β. 2 bis 3 μπι, aufgedampft. Das Bleimonoxid zur Bildung der Schichten 4 kann in einer Gasatmosphäre aufgedampft werden, die aus Sauerstoff und einem inerten Gas, z.B. Argon, besteht. Nach der Bildung der Schichten 4 werden diese einem Sauerstoffaufprall durch eine Gasentladung in einer Sauerstoffatmo-Sphäre ausgesetzt. Der Träger 1 kann zu diesem Zweck, mit der mit den Elektroden 2 und 3 und den Schichtend versehenen Seite nach innen gewendet, den Verschluß eines in F i g. 1 nicht dargestellten Gefäßes bilden, das an eine Vakuumpumpe angeschlossen und in dem Sauerstoff mit einstellbarem Druck enthalten ist.Over each of the electrodes 2, and only over these, is z. B. by means of a mask a layer of lead monoxide 4 with a thickness of a few μπι, ζ. Β. 2 to 3 μπι, vapor-deposited. The lead monoxide to form the Layers 4 can be vapor-deposited in a gas atmosphere consisting of oxygen and an inert Gas, e.g. argon. After the formation of the layers 4, they are subjected to an oxygen impingement by a gas discharge in an oxygen atmosphere exposed. The carrier 1 can for this purpose, with the electrodes 2 and 3 and the layer end provided side turned inward, the closure of a in F i g. 1 form vessel, not shown, which is connected to a vacuum pump and contains oxygen at an adjustable pressure.

In dem Gefäß ist gegenüber der nach innen gewendeten Seite des Trägers 1 in einem Abstand von einigen Zentimetern von diesem ein Metallgitter 5 angeordnet. Die miteinander verbundenen Elektroden 2 und das Gitter 5 werden durch getrennte Stromzuführungen 6 und 7 außerhalb des Gefäßes an die Reihenschaltung eines Schalters 8, eines einstellbaren Vorwiderstandes 9 und einer elektrischen Spannungsquelle 10 angeschlossen. Nachdem das Gefäß entlüftet und Sauerstoff mit einem Druck von 4000 bis .7000 · 10~^s mm Hg, z. B. etwa 5000 · 10~⁶ mm Hg, eingeführt ist, wird zwischen dem Gitter 5 und den Bleimonoxidschichten 4 eine Gasentladung durch Schließen des Schalters 8 erzeugt. Die Speisequelle 10 kann nach Wahl eine Gleichspannungs- oder Wechse'spanhungsquelle sein, die eine Spannung von z. B. etwa 1000 V liefert. Wenn als Speisequelle 10 eine Gleichspannungsquelle benutzt wird, wird sie vorzugsweise derart geschaltet, daß das Gitter 5 positiv gegen die Elektroden 2 ist. Der Vorwiderstand 9 ist so bemessen oder wird derart eingestellt, daß die Gasentladung zwischen dem Gitter 5 und den Schichten 4 eine Dichte des elektrischen Stromes von z. B. 6 bis -10 μΑ pro Quadratzentimeter der Oberfläche der Schichten 4 hervorruft. Die Gasentladung wird während einer Zeit zwischen 10 und 60 aufrechterhalten, und zwar um so länger, je kleiner die erwähnte Stromdichte ist.A metal grille 5 is arranged in the vessel opposite the inwardly facing side of the carrier 1 at a distance of a few centimeters therefrom. The interconnected electrodes 2 and the grid 5 are connected to the series circuit of a switch 8, an adjustable series resistor 9 and an electrical voltage source 10 by separate power supply lines 6 and 7 outside the vessel. After the vessel is vented and oxygen is supplied at a pressure of 4000 to .7000 · 10 ~ ^s mm Hg, e.g. For example, about 5000 · 10 ^-6 mm Hg, is introduced, is formed between the grid 5 and the Bleimonoxidschichten 4 generates a gas discharge by closing the switch. 8 The supply source 10 can be a DC or Wechse'spanhungsquelle of choice, which has a voltage of z. B. supplies about 1000 V. If a direct voltage source is used as the supply source 10, it is preferably switched in such a way that the grid 5 is positive with respect to the electrodes 2. The series resistor 9 is dimensioned or set such that the gas discharge between the grid 5 and the layers 4 has a density of the electric current of, for. B. 6 to -10 μΑ per square centimeter of the surface of the layers 4 causes. The gas discharge is maintained for a time between 10 and 60, the longer the lower the current density mentioned.

Durch die Gasentladung werden die Schichten 4 mit Sauerstoffionen bombardiert, die in diese Schichten aufgenommen werden und infolgedessen das Bleimonoxid dieser Schichten mehr oder weniger eindeutig p-leitfähig machen. Es ist unbedenklich, den Sauerstoff auf diese Schichten dermaßen intensiv aufprallen zu lassen, daß diese Schichten infolge der verhältnismäßig großen Menge zusätzlichen Sauerstoffes in den Schichten 4 eine so große p-Leitfähigkeit erhalten, daß sie als gut leitend betrachtet werden können. Nach diesem Sauerstoffaufprall der Schichten 4 wirdAs a result of the gas discharge, the layers 4 are bombarded with oxygen ions that enter these layers are included and consequently the lead monoxide of these layers more or less clearly make p-conductive. It is harmless for the oxygen to hit these layers so intensely let these layers due to the relatively large amount of additional oxygen in the layers 4 get such a large p-conductivity that they can be considered to conduct well. After this oxygen impingement of the layers 4

'■■ . ■ . ³- '■■■■. ■ ⁴ '■■. ■. ³ - '■■■■. ■ ⁴

auf den Träger 1 eine sich über die Schichten 4, die Tiegels 22 eine Menge Bleimonoxid geschmolzen und Elektroden 3 und die zwischenliegenden Räume er- verdampft worden, wodurch auf der Signalelektrode 30 streckende, auch aus Bleimonoxid bestehende Schicht eine Schicht aus Bleimonoxid 33 mit einer Stärke von aufgedampft. Diese Schicht, deren Oberfläche in der 10 bis 20 μπι abgelagert worden ist. Bei diesem Aüf-F i g. 1 mit einer gestrichelten Linie'dargestellt ist und 5 dampfen der Schicht 33 kann das Fenster 20 durch die in dieser Figur, obgleich sie in der in dieser Figur eine geeignete Flüssigkeit, z. B. Glycerin, in dem Gefäß dargestellten Stufe noch nicht vorhanden ist, mit 11 29 auf einer mehr oder weniger konstanten Temperatur bezeichnet ist, wird vorzugsweise derart aufgedampft, von etwa 100° C gehalten werden. Das Überdampfen daß das Material dieser Schicht sich als eigenleitend des Bleimonoxides aus dem Tiege!22 auf die Signalbzw, nahezu eigenleitend verhält. Die Schicht 11 kann io elektrode 30 kann in einer Atmosphäre durchgeführt z. B. in einer Gasatmosphäre aufgedampft werden. werden, die Sauerstoff mit einem Druck von z. B. 1 bis - Nach der Bildung der Bleimonoxidschicht 11, die 2-10~⁵ mm Hg und ein inertes Gas, z. B. Argon, enteine Stärke von z. B. 5 bis 10 μπι haben kann, wird sie hält.On the carrier 1 a quantity of lead monoxide melted over the layers 4, the crucible 22 and electrodes 3 and the spaces between them evaporated, whereby a layer of lead monoxide 33 with a thickness on the signal electrode 30, also consisting of lead monoxide, is a layer of lead monoxide from vaporized. This layer, the surface of which has been deposited in the 10 to 20 μm. In this Aüf-F i g. 1 is shown with a dashed line and 5 vapor the layer 33, the window 20 can through the in this figure, although in this figure a suitable liquid, for. B. glycerin, in the stage shown in the vessel is not yet present, is designated with 11 29 at a more or less constant temperature, is preferably so vaporized, kept at about 100 ° C. The evaporation that the material of this layer behaves as intrinsically conductive of the lead monoxide from the tank! 22 on the signal or, almost intrinsically. The layer 11 can io electrode 30 can be carried out in an atmosphere e.g. B. be evaporated in a gas atmosphere. are, the oxygen with a pressure of z. B. 1 to - After the formation of the lead monoxide layer 11, the 2-10 ~ ⁵ mm Hg and an inert gas, e.g. B. argon, enteine strength of z. B. can have 5 to 10 μπι, it will hold.

dauernd gegen die freie Atmosphäre durch eine darüber Nach dem Aufdampfen des Bleimonoxids 33 wird anzubringende Kappe oder einen Deckel verschlossen, 15 die Oberfläche dieser Schicht einem Sauerstoff ionenderen bzw. dessen Rand mit der Oberfläche des Trä- aufprall ausgesetzt. Die ionen werden durch eine Gasgers 1 verbunden ist. Wenn der Träger 1 nicht durch- entladung in einer Sauerstoffatmosphäre im Innern des sichtig ist, müssen die Kappe oder dieser Deckel Kolbens 21 erzeugt. Zu diesem Zweck werden die mit durchsichtig sein. Der Raum zwischen dem Träger 1 der Signalelektrode 30 verbundene Leitung 31 und und der Kappe oder dem Deckel kann entlüftet werden, 20 eine mit einem oder mit beiden Tragedrähten 23 und um eine Beeinflussung der Schicht 11 durch Gase in 24 verbundene Leitung 34, die anders als einfachheitsdiesem Raum zu vermeiden. Es ist günstig, Sauerstoff halber in F i g. 2 dargestellt ist, durch die Wand der unter geringem Druck, z. B. etwa 100 · 10~⁵ mm Hg, mit dem Kolben verbundenen Pumpleitung zugeführt in diesem Raum vorzusehen. ist, mit der Reihenschaltung einer Spannungsquelle-35,after the vapor deposition of the lead monoxide 33, the cap or a cover to be attached is closed, 15 the surface of this layer is exposed to an oxygen ion or its edge is exposed to the surface of the water impact. The ions are connected by a gasgers 1. If the carrier 1 cannot be seen through discharge in an oxygen atmosphere inside, the cap or this cover piston 21 must be produced. For this purpose the ones with will be transparent. The space between the support 1 of the signal electrode 30 connected line 31 and and the cap or the cover can be vented, 20 a line 34 connected to one or both of the support wires 23 and to an influence of the layer 11 by gases in 24 line 34, which other than simplicity of avoiding this space. It is convenient to use oxygen for the sake of FIG. 2 is shown through the wall of the low pressure, e.g. B. about 100 x 10 ~ ⁵ mm Hg, with the piston connected pump line supplied to be provided in this space. is, with the series connection of a voltage source -35,

Um die so hergestellte Photowiderstandszelle zu be- 25 eines Vorwiderstandes 36 und eines Schalters 37 vertreiben, wird zwischen den Elektroden 2 einerseits und bunden. Die Spannungsquelie 35 ist vorzugsweise den Elektroden 3 andererseits ein Stromkreis mit eine Gleichspannungsquelle, die z. B. etwa 1000 V einer elektrischen Spannungsquelle und Mitteln zum liefert. Der Pluspol dieser Gleichspannungsquelle wird Feststellen des elektrischen Stromes in diesem Kreis mit der Leitung 34 verbunden. Durch Schließen des in der Weise angeschlossen, daß die Elektroden 2 an 30 Schalters 37 wird zwischen dem Platintiegel 22 und den negativen Pol und die Elektroden 3 an den posi- der Bleimonoxidschicht 33 eine Gasentladung in der tiven Pol der Spannungsquelle angeschlossen sind. Sauerstoffatmosphäre erzeugt, die in dieser Stufe im Infolge der eindeutig größeren p-Leitfähigkeit der Kolben vorhanden ist. Diese Sauerstoffatmosphäre Schichten 4 im Vergleich zu dem Werkstoff der Schicht kann einen Druck von 4000 bis 6000-1O^-5 mm Hg, 11 wird erreicht, daß der Dunkelstrom infolge etwaiger 35 z. B. einen Druck von etwa 5000 - 10~^ä mm Hg, haben, durch die Elektroden 2 in das Bleimonoxid injizierten Um die Schicht 33 hinreichend leitend zu machen, Elektronen niedrig bleibt. kann sie von oben her (L in F i g. 2) beleuchtet werden.In order to distribute the photoresist cell produced in this way, a series resistor 36 and a switch 37 are connected between the electrodes 2 on the one hand and. The voltage source 35 is preferably the electrodes 3 on the other hand, a circuit with a DC voltage source, the z. B. about 1000 V of an electrical voltage source and means for supplies. The positive pole of this DC voltage source is connected to the line 34 to determine the electrical current in this circuit. By closing the connected in such a way that the electrodes 2 are connected to switch 37 between the platinum crucible 22 and the negative pole and the electrodes 3 to the positive lead monoxide layer 33, a gas discharge is connected in the tive pole of the voltage source. Oxygen atmosphere is generated, which is present in this stage as a result of the clearly greater p-conductivity of the flasks. This oxygen atmosphere layers 4 compared to the material of the layer can have a pressure of 4000 to 6000-10 ^-5 mm Hg, 11 is achieved that the dark current as a result of any 35 z. B. a pressure of about 5000 to 10 ~ ^ä mm Hg, have, through the electrodes 2 in the lead monoxide injected order to make the layer 33 sufficiently conductive, electrons remains low. it can be illuminated from above (L in FIG. 2).

F i g. 2 zeigt schematisch einen Teil einer Anord- Der Vorschaltwiderstand 36 wird vorzugsweise derartF i g. 2 schematically shows part of an arrangement. The series resistor 36 is preferably of this type

nung, durch welche auf ein mit einer Signälelektrode gewählt^ daß der Gesamtstrom in diesem Kreis mitvoltage, by which one selected with a signal electrode ^ that the total current in this circuit with

30 versehenes Fenster 20 eines zylindrischen Kolbens 40 diesem Widerstand etwa 60 μΑ beträgt, was bedeutet,30 provided window 20 of a cylindrical piston 40 this resistance is about 60 μΑ, which means

21, der später die Umhüllung einer Vidikon-Auf- daß bei dem im Beispiel vorhandenen Durchmesser21, which will later cover a Vidikon-Auf- that with the diameter present in the example

nahmeröhre bildet, eine Schicht aus Bleimonoxid des Fensters 20 von etwa 3 cm die Stromdichte in derForms receiving tube, a layer of lead monoxide of the window 20 of about 3 cm the current density in the

aufgedampft wird, wobei die Oberfläche dieser Schicht Schicht 33 etwa 8 μ A/cm² beträgt.is vapor-deposited, the surface of this layer layer 33 being about 8 μA / cm ² .

durch Gasentladung in einer Sauerstoffatmosphäre Bei dem erwähnten Druck der Sauerstoffatmo-by gas discharge in an oxygen atmosphere At the mentioned pressure of the oxygen atmosphere

einem Sauerstoffaufprall ausgesetzt wird. 45 Sphäre im Kolben 21 von etwa 5000 -10"⁵ mm Hg,is exposed to oxygen impact. 45 sphere in piston 21 of about 5000 -10 " ⁵ mm Hg,

Der Kolben 21 ist an eine nicht dargestellte Leitung einer Spannung der Quelle 35 von etwa 1000 V und eines Pumpensystems angeschlossen. Im Innern des einem Abstand zwischen der oberen Seite des Tiegels 22 Kolbens, gegenüber dem Fenster 20, ist ein Auf- und der Oberfläche der Schicht 33 von etwa 40 mm dampfgefäß22 angeordnet, das von zwei zusammen eignet sich bei ausreichender Beleuchtung der Schicht 33 als Thermoelement wirkenden Drähten 23 und 24 5° ein Vorschaltwiderstand 36 von 6 MOhm. abgebogen wird, die in einem Glasträger 25 befestigt Die Dauer der Gasentladung, bei weicher die Obersind. Im Innern des Kolbens 21 enden zwei Kapillar- fläche der Schicht 33 mit SauerstofTionen bombardiert röhrchen 26 und 27, durch welche z. B. Sauerstoff oder ..,■ wird, wobei die Ionen in diese Schicht aufgenommen ein Gemisch von zwei oder mehreren Gasen in einer werden, kann etwa eine halbe Minute betragen. Es ist einstellbaren Strömung in den Kolben 21 eingeführt 55 nicht notwendig, daß das Fenster 20 auf einer bestimmwerden können. Um die obere Seite des Kolbens 21 ten Temperatur gehalten wird. Das Fenster kann auf ist ein durch einen Gummiring 28, der sich an den Zimmertemperatur gehalten werden. Kolben 21 anschließt, verschlossenes Gefäß 29 ange- Es ist nicht notwendig, daß bei der Gasentladung in bracht, das eine Flüssigkeit enthalten kann, mit der das der Sauerstoffatmosphäre im Kolben 21 die Bleimon-Fenster 20 auf einer bestimmten Temperatur gehalten 60 oxidschicht 33 selber eine der Elektroden bildet'. Man wird. kann im Kolben 21 auch eine getrennte ElektrodeThe piston 21 is connected to a line (not shown) with a voltage of the source 35 of approximately 1000 V and connected to a pump system. Inside the one space between the top of the crucible 22 Piston, opposite the window 20, is a top and the surface of the layer 33 of about 40 mm arranged steam vessel 22, which of two together is suitable with sufficient illumination of the layer 33 wires 23 and 24 5 ° acting as thermocouples have a series resistor 36 of 6 MOhm. is bent, which is fastened in a glass carrier 25 The duration of the gas discharge, with softer the upper. In the interior of the piston 21, two capillary surfaces of the layer 33 end, bombarded with oxygen tubes 26 and 27, through which z. B. oxygen or .., ■, the ions being absorbed into this layer A mixture of two or more gases in one can take about half a minute. It is adjustable flow introduced into the piston 21 55 not necessary that the window 20 can be determined on a. To the upper side of the flask 21 th temperature is maintained. The window can open is a by a rubber ring 28, which can be kept at room temperature. Piston 21 is connected, closed vessel 29 is connected. It is not necessary that during the gas discharge in Bracht, which may contain a liquid with which that of the oxygen atmosphere in the flask 21, the lead monon window 20 kept at a certain temperature 60 oxide layer 33 itself forms one of the electrodes'. Man will. can also have a separate electrode in the piston 21

Die Innenseite des Fensters 20 ist mit einer durch- gegenüber dem oder um den Platinliegel 22 anbringen,The inside of the window 20 is to be attached with a through- opposite or around the platinum bar 22,

sichtigen, leitenden Signalelektrode 30 versehen, die z. B. eine Elektrode in Form eines Metallzylindcrs 41),visible, conductive signal electrode 30 provided, the z. B. an electrode in the form of a metal cylinder 41),

z. B. aus leitendem Zinnoxid bestehen kann, mit der der in F i g. 2 durch eine gestrichelte Linie dargestelltz. B. may consist of conductive tin oxide, with which the in F i g. 2 represented by a dashed line

eine nach der Außenseite des Kolbens geführte Strom- 65 ist. In diesem Falle wird der Schalter 37 nicht an dieis a stream 65 led to the outside of the piston. In this case, the switch 37 is not to the

zuführungsleitung 31 verbunden ist. In der dem Zu- mit der Signalelektrode 30 verbundene Leitung 31,supply line 31 is connected. In the line 31 connected to the signal electrode 30,

stand nach Fig. 2 vorhergehenden Stufe ist durch sondern an eine durch eine gestrichelte Linie darge-The previous stage according to Fig. 2 is shown by but on a dashed line.

Hochfrequenzerwärmung des aus Platin bestehenden stellte Leitung 38 angeschlossen, die auch wiederHigh frequency heating of the platinum made line 38 connected to that also again

anders, als einfachheitshalber in F i g. 2 dargestellt ist, durch die Wand der Pumpleitung geführt ist, auf welcher der Kolben 21 angebracht und die mit dem Zylinder 40 verbunden ist. Dieser Zylinder kann auf der oberen Seite gegebenenfalls durch eine Gaze 39 verschlossen sein.differently than in Fig. 1 for the sake of simplicity. 2 is shown, is passed through the wall of the pump line on which the piston 21 is attached and which is connected to the Cylinder 40 is connected. This cylinder can optionally be covered by a gauze 39 on the upper side to be introverted.

Claims (3)

Patentansprüche:Patent claims: •1. Verfahren zur Herstellung einer photoempfindlichen Vorrichtung, bei dem auf einen mit mindestens einer Elektrode versehenen Träger eine Bleimonoxidschicht aufgedampft wird, die einem Sauerstoffaufprall ausgesetzt wird, dadurch gekennzeich η e t,: daß der Sauerstoffaufprall mit Sauerstoffionen erfolgt, die durch eine Gasentladung in einer sauerstoff haltigen Atmosphäre bei niedrigem Druck erzeugt und zu der Schicht (4, 33) hin elektrisch beschleunigt werden.•1. Process for producing a photosensitive Device in which on a carrier provided with at least one electrode a Lead monoxide layer is deposited, which is exposed to an oxygen impact, thereby marked η e t,: that the oxygen impact takes place with oxygen ions, which are generated by a gas discharge in an oxygen-containing atmosphere at low pressure and to the Layer (4, 33) are accelerated electrically. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Gasentladung die Schicht (4, 33) selbst als Elektrode verwendet und, falls erforderlich, beleuchtet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the layer for the gas discharge (4, 33) itself is used as an electrode and, if necessary, illuminated. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufprall in einer Sauerstoffatmosphäre mit einem Druck von 4000 bis 6000 · 10-^s mm Hg, z.B. 5000 · IO-⁵ mm Hg, erfolgt.3. The method according to claim 1 and / or 2, characterized in that the impact in an oxygen atmosphere at a pressure from 4000 to 6000 · ^s 10 mm Hg, for example, 5,000 x IO ⁵ mm Hg, is carried out. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings