DE1090830B

DE1090830B - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen elektrisch leitender, durchsichtiger und alterungsbestaendiger Schichten auf Gegenstaenden aus Glas oder keramischem Material

Info

Publication number: DE1090830B
Application number: DEU5614A
Authority: DE
Inventors: Edgard Brichard; Edouard Deliere; Gerard Meunier; Emile Plumat
Original assignee: Union des Verreries Mecaniques Belges SA
Current assignee: Union des Verreries Mecaniques Belges SA
Priority date: 1957-09-17
Filing date: 1958-09-17
Publication date: 1960-10-13
Also published as: US3088850A; GB892709A; GB892708A; BE560882A; FR1217676A

Description

DEUTSCHES

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung alterungsbeständiger, durchsichtiger und im allgemeinen wenig sichtbarer elektrisch leitender Schichten auf der Oberfläche von Gegenständen aus Glas oder aus keramischem Material, ebenso wie auf die mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellten Erzeugnisse.

Zur Ablagerung elektrisch leitender dünner Schichten sind Verfahren bekannt, bei denen die vorher auf eine geeignete Temperatur gebrachte Unterlage mit Halogenen und anderen Salzen gewisser Metalle, insbesondere von Zinn, behandelt wird, welche im allgemeinen durch Zerstäubung oder durch Bedampfung aufgebracht werden. Auf diese Weise erhält man sogenannte irisierende oder regenbogenfarbige Schichten oder Filme. Die Bezeichnung rührt her von dem Anblick, den die so behandelten Erzeugnisse infolge der sich bei Betrachtung im reflektierten Licht bemerkbar machenden Interferenzeffekte geben.

Man erhält diese irisierenden Filme ganz allgemein auch dann, wenn man versucht, die Schichten so regelmäßig wie möglich und ohne irgendwelche stark sichtbaren irisierenden Farben herzustellen.

Die bekannten Verfahren zur Herstellung elektrisch leitender Schichten haben zahlreiche Nachteile, vor allen Dingen die Änderung der Durchsichtigkeit des behandelten Erzeugnisses wegen der Bildung eines Beschlages oder von feinen Löchern, welche besonders dann nachteilig sind, wenn es sich um Glas handelt, den Irisationseffekt, der im reflektierten Licht eine sehr ausgesprochene Farbbildung ergibt, vor allen Dingen, wenn der elektrische Widerstand relativ gering ist, die Schwierigkeit, Schichten mit geringem Widerstand, z. B. weniger als 100 Ohm je Oberflächeneinheit, herzustellen, die mangelnde Gleichförmigkeit der Dicke der Schichten und infolgedessen ihres spezifischen Widerstandes, die Gefahr des Abblätterns der Schichten, die Schwierigkeit, gegenüber der Wärme und chemischen Einflüssen alterungsbeständige Schichten herzustellen und schließlich der hohe Preis für die behandelten Erzeugnisse.

Es ist bekannt, zur Herstellung einer elektrisch leitenden Schicht auf die vorher erwärmte zu behandelnde Oberfläche des Gegenstandes ein metallisches Salz aufzuspritzen, das sich unter dem Einfluß der erhöhten Temperatur und eines Oxydationsmittels, wie dem Luftsauerstoff, leicht zersetzt. Während und nachdem sich das metallische Salz in der warmen Oberfläche ansetzt und sich auf der Niederschlagszone der Oberfläche anlagert, wandelt es sich in eine sauerstoffhaltige Verbindung um. Es bildet sich ein Metalloxyd unter topochemischen Bedingungen, welche die Verteilung der angelagerten Materie in einem Kristallnetz begünstigen, welches die bekannten Eigenschaften Verfahren und Vorrichtung

zum Herstellen elektrisch leitender,

durchsichtiger und alterungsbeständiger

Schichten auf Gegenständen aus Glas

oder keramischem Material

Anmelder:

Union des Verreries Mecaniques

Beiges Societe Anonyme,

Charleroi (Belgien)

Vertreter:
Dr.-Ing. A. v. Kreisler, Dr.-Ing. K. Schönwald,

Dipl.-Chem. Dr. phil. H. Siebeneicher

und Dr.-Ing. Th. Meyer, Köln 1, Deichmannhaus,

Patentanwälte

Beanspruchte Priorität:
Belgien vom 17. September 1957

Edgard Birichard, Jumet,

Emile Plumat, Gilly, Gerard Meunier, Jumet,
und Edouard Deliere, Marcinelle (Belgien),
sind als Erfinder genannt worden

4.0 eines elektrischen Halbleiters besitzt, d. h. eines Netzes mit Gitterlücken oder anderen Gitterbaufehlern. Als Metall wird am häufigsten Zinn in Form einer Halogenverbindung, insbesondere einer Chlorverbindung (Zinnchlorid, Zinnchlorür), verwendet. Eine Reihe weiterer Metalle sind ebenfalls schon zur Benutzung vorgeschlagen worden. Gleicherweise ist vorgeschlagen worden, gleichzeitig mehrere Metalle oder Zusätze nichtmetallischer Verbindungen zu verwenden, aber in diesem Fall ist die Menge eines der Metalle immer sehr gering gegenüber der Menge der anderen Metalle bzw. werden die nichtmetallischen Verbindungen nur in sehr geringen Mengen zugesetzt. Diese Zusätze, von denen man beispielsweise Fluorverbindungen, Vanadium, Kobalt, Cadmium, Indium, Antimon,

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Tellur und Wolfram nennen könnte, beeinflussen die sich während einer Dauerfabrikation nicht ändern,

Eigenschaften der elektrisch leitenden Schichten wahr- werden günstigerweise eine Reihe von Vorrichtungen

scheinlich, indem sie die Ablagerung des Stoffes in verwendet, von denen die wichtigste die Regelung der

einem für die Bildung eines Halbleiters günstigen Menge der auf die Oberfläche aufgebrachten Behand-

Kristallnetz fördern. 5 lungssubstanz erleichtert. Diese Regelung wird vor-

Die für die Herstellung der elektrisch leitenden zugsweise vorgenommen, indem die Substanzen, die Schichten verwendeten Substanzen — die im folgenden die Behandlungssubstanz bilden, dosiert werden. Im unabhängig von ihrer Zusammensetzung und unab- Fall der festen Substanzen werden diese einer vollhängig davon, ob sie Zusätze enthalten oder nicht, als kommenen Austrocknung unterzogen, dann fein pul-Behandlungssubstanz bezeichnet werden — werden io verisiert und in den geschlossenen Behälter eines Verbei den bekannten Verfahren meistens so angewendet, teilers gegeben, der mittels irgendeiner geeigneten daß Lösungen hydrolisierbarer Salze oder in ihrem Vorrichtung, wie mittels eines vibrierenden Stoff-Kristallwasser oder auf andere Weise geschmolzener Schiebers oder vorteilhafterweise mittels einer sich mit bzw. aufgelöster Salze mittels eines Gasstroms auf die einer bestimmbaren und einstellbaren Geschwindigkeit zu behandelnde Oberfläche aufgestäubt oder aufge- 15 drehenden Förder- oder Dosierschnecke, die Dosierung dampft werden. Das Vorhandensein einer gewissen vornimmt. Die Menge der wasserfreien Substanzen, die Menge an Wasser ist als unumgänglich angesehen bei Raumtemperatur in flüssiger Form vorliegen, kann worden, und es ist sogar vorgeschlagen worden, den mit Hilfe eines Injektors mit einstellbarer Einlaßnadel Luftstrom zu befeuchten im Falle, daß mit nicht- oder durch eine eine bestimmte einstellbare Menge wäßrigen Lösungen oder' mit nichtwasserhaltigen 20 liefernde Pumpe oder durch einen direkt eine einstellfiüssigen Substanzen gearbeitet wird, wie mit Zinn- bare Menge liefernden Kessel od. dgl. oder durch eine tetrachlorid, das sonst im allgemeinen in der wasser- andere geeignete Vorrichtung geregelt werden,
haltigen Form verwendet wird. Wenn die einzelnen Bestandteile der Behandlungs-

Es wurde nun gefunden, daß die Gegenwart von substanz fest sind, wird aus ihnen eine Mischung in

Wasser im allgemeinen nachteilig für die Herstellung 25 den gewünschten Mischungsverhältnissen hergestellt

einwandfreier Schichten ist. und die erforderliche Menge der Mischung mittels

Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung wird die eines Verteilers an den Gastransportstrom gebracht. In zur Bildung der elektrisch leitenden Schicht verwen- bestimmten Fällen, und zwar insbesondere dann, wenn dete Behandlungssubstanz im wasserfreien Zustand unerwünschte Zwischenreaktionen zwischen den einverwendet und durch einen oder mehrere Ströme 30 zelnen Bestandteilen zu befürchten sind, ist es vorteiltrocknen Gases bis zur Berührung mit dem zu behan- haft, nur einen Teil der einzelnen Bestandteile, beidelnden Gegenstand transportiert. Bei dem Verfahren spielsweise die Zusätze miteinander zu vermischen gemäß der Erfindung werden die obengenannten und sie mittels eines gesonderten Verteilers zu dosie-Nachteile der bekannten Verfahren vermieden und sehr ren, wobei die Dosierung der anderen Bestandteile durchsichtige, elektrisch leitende Schichten hergestellt, 35 durch einen oder mehrere andere Verteiler vorgewelche außerordentlich gleichmäßig über den gesamten nommen wird, oder auch für jeden der einzelnen Bezu behandelnden Bereich und dauerhaft sind, welche standteile einen speziellen Dosierungsverteiler vorzukeine Beschlagsbildung oder feine Löcherbildung auf- sehen. Die verschiedenen Verteiler beliefern entweder weisen und die bei Betrachtung im reflektierten Licht einen einzigen Gsstrom oder auch verschiedene Gaskeine ausgesprochene Farbbildung zeigen. Die Schich- 4° ströme gleicher oder verschiedener Art oder auch jeder ten haften fest auf der Unterlage, sind Widerstands- einen gesonderten Gasstrom. Wenn ein Gasstrom durch fähig gegen Wärme und gegen chemische Einflüsse und mehrere Verteiler gespeist wird, können diese enthaben über den gesamten Oberflächenbereich eine weder kontinuierlich mit Geschwindigkeiten arbeiten, gleichförmige Dicke und infolgedessen überall den durch die die Behandlungssubstanz die vorbestimmte gleichen spezifischen elektrischen Widerstand, welcher 45 Zusammensetzung erhält, oder aber intermittierend je nach Wahl innerhalb sehr weiter Grenzen variierbar arbeiten, beispielsweise einer nach dem anderen nach hergestellt werden kann, bis zu sehr kleinem Wider- einer bestimmten Zeitspanne, insgesamt einem vorstand hinunter, und zwar kleiner als 100 Ohm je bestimmten Programm folgend. Werden die Bestand-Oberflächeneinheit, teile der Behandlungssubstanz in verschiedene Gas-

Zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Er- 5° ströme eingeführt, so werden die Geschwindigkeiten findung eignen sich am besten Behandlungssubstanzen, dieser Gasströme so eingestellt, daß die in Berührung zu denen Verbindungen, insbesondere Halogenverbin- mit dem zu behandelnden Gegenstand kommende Bedungen, eines der Elemente Zinn, Antimon und Tellur handlungssubstanz in jedem Augenblick die gewünschte gehören, denen Amoniumhalogenide beigemischt sein Zusammensetzung hat. Die verschiedenen, je einen können. Vorteilhafterweise wird eine Behandlungs- 55 Teil der Behandlungssubstanz transportierenden Gassubstanz auf Basis eines Zinnhalogenide verwendet, ströme treffen vorteilhafterweise in einer Mischkammer dem als Zusatz ein Fluorideines der Elemente Antimon zusammen, von der aus sie durch einen einzigen Gasoder Tellur beigefügt ist, oder ein' Oxyd dieser strom auf den zu behandelnden Gegenstand gerichtet Elemente, wobei eine entsprechende Menge eines werden. Ist es jedoch erwünscht, jede Möglichkeit Ammoniumfluorids beigefügt ist. Die Zusätze betragen ⁶° einer Zwischenreaktion zu vermeiden, so werden die vorzugsweise 0,1 bis 10 Teile Zinnhalogenid. einzelnen Gasströme voneinander getrennt auf den zu

Das die Behandlungssubstanz transportierende Gas behandelnden Gegenstand gerichtet,
kann ein trockner Luftstrom sein, aber es ist vorteil- Die durch einen oder mehrere Verteiler dosierten haft, ein inertes Gas zu verwenden, wie Stickstoff, Bestandteile der Behandlungssubstanz treffen den für Kohlensäure, Argon, Neon oder von Wasserdampf 65 _sj_e als Transportmittel dienenden Gasstrom in einer freie Verbrennungsgase oder auch Brenngase, die bei Verdampfungskammer, die auf eine solche Temperader Verbrennung keinen Wasserdampf entwickeln. tür gebracht ist, daß der Dampfdruck dieser Bestand-

Um Gegenstände herzustellen, die auf ihrer Ober- teile ihren Eintritt in den Gasstrom gestattet. Es ist fläche mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen vorteilhaft, die Menge der Behandlungssubstanz, die sind, deren vorbestimmte, gewünschte Eigenschaften /o Geschwindigkeit des Gasstromes und die Temperatur

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der Verdampfungskammer so zu regeln, daß diese Oxydierungsmittels, beispielsweise einen Sauerstoff-Kammer nur die zur unmittelbaren Aufnahme durch strom, der an Ort und Stelle mit der Behandlungsden Gasstrom bestimmte Menge der Behandlungs- substanz reagiert, um auf der Oberfläche des zu substanz enthält. behandelnden Gegenstandes einen oxydischen elek-Haben die Bestandteile der Behandlungssubstanz im 5 trischen Leiter zu bilden, der fest mit seiner Unterlage wasserfreien Zustand einen Schmelzpunkt, der.so nied- verbunden ist.

rig liegt, daß ihre Verwendung im flüssigen Zustand Die Eigenschaften der Schicht hängen außerdem in leicht möglich ist, so ist es oft vorteilhaft, den Gasstrom starkem Maße von gewissen in der Reaktionszone durch einen Behälter zu schicken, der eine oder mehrere getroffenen Maßnahmen ab. Ist es bekannt, daß der zu Bestandteile der Behandlungssubstanz enthält, wobei die io behandelnde Gegenstand auf eine Temperatur aufge-Temperatur des Behälters so eingestellt wird, daß sich heizt werden muß, die in der Nähe seiner Erweisein Inhalt im flüssigen Zustand befindet und einen ge- chungstemperatur liegt; so benutzt das Verfahren eigneten Dampfdruck aufweist. Die Bestandteile der Be- gemäß der Erfindung die neuen Feststellungen, daß handlungssubstanz können in den Verflüssigungsbehäl- die Behandlungssubstanz und die Gasströme erst dann ter mittels eines oder mehrerer Verteiler eingeführt 15 in Berührung mit dem zu behandelnden Gegenstand werden, die so eingestellt werden, daß das Niveau der zu kommen brauchen, wenn sich dieser im Zustand flüssigen Substanzen stets zwischen gewünschten langsamer Abkühlung befindet, und daß die Gase mit Grenzen gehalten wird. Es kann für jeden Bestandteil der nicht auf der Oberfläche des Gegenstandes zurückein Verflüssigungsbehälter vorgesehen werden oder gehaltenen Behandlungssubstanz während der Ab-Verflüssigungsbehälter für Gruppen von Bestandteilen 20 kühlung des Gegenstandes bis auf eine Temperatur oder auch für sämtliche Bestandteile der Behandlungs- zwischen 150 und 350° C nahe der behandelten Obersubstanz. Je nach Bedeutung des Dampfdruckes bei fläche verbleiben sollten, wobei diese Verweilzeit vor der Temperatur, bei der man mit diesem Behälter der Oberfläche vorteilhafterweise einstellbar gemacht arbeiten will, wird der Gasstrom entweder oberhalb wird.

oder unterhalb des Flüssigkeitsniveaus zugeführt. Der 25 Außerdem sollte der zu behandelnde Gegenstand in den Verflüssigungsbehälter eingeführte Gasstrom während der Bildung der elektrisch leitenden Schicht kann ein Gemisch aus Brenngasen sein, die während und der Abkühlung gegenüber turbulenten Konvekder Verbrennung keinen Wasserdampf entwickeln. Die tionsströmen geschützt sein. Hierzu wird der Reakdurch die Verbrennung des Gases im Innern des Be- tionsbereich vorteilhafterweise von den angrenzenden hälters frei gewordene Wärme bringt diesen auf die 30 Zonen durch Schirme od. dgl. getrennt, von denen der Temperatur, die zum Aufrechterhalten des geschmol- stromaufwärts liegende vorzugsweise durch einen zenen Zustandes seines Inhalts erforderlich ist. Da die Strom von Inertgas gebildet wird, der transversal Gasmenge, bevor sie durch den Verflüssigungsbehälter gegen die Oberfläche des Gegenstandes gerichtet ist tritt, um sich mit der erforderlichen Menge der Be- und verhindert, daß die Behandlungssubstanz und ihr handlungssubstanz zu beladen, geringer sein kann als 35 Transportgas in den Bereich stärkster Hitze strömen, die zur Bildung des Gasstromes erforderliche Menge, und von denen der stromabwärts gelegene aus festen wird der aus dem Behälter austretende Strom, wenn Umlenkblechen mit einstellbarer Neigung gebildet es sich so trifft, durch aus der Behandlungssubstanz wird, über die das Gas und die für die Bildung der frei werdendes Gas verdünnt, das beispielsweise elektrisch leitenden Schicht gebrauchte Behandlungsmittels einer mit Regelventilen oder Hähnen ver- 40 substanz nach Abkühlung des behandelten Gegensehenen Abzweigleitung zugeführt werden kann, die Standes abgeführt werden.

an die Gassleitung am Eingang und am Ausgang des Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens Verflüssigungsbehälters angesetzt ist. gemäß der Erfindung enthält an sich bekannte Mittel, Es ist klar, daß die Anordnung Vorrichtung ent- um den vorher aufgeheizten, zu behandelnden Gegenhalten kann, welche die gleichzeitige Verwendung von 45 stand in die Reaktionszone einzuführen und aus ihr festen, wasserfreien Bestandteilen, die beispielsweise zu entfernen, Vorrichtungen, um auf die Oberfläche mittels Verteilern, in Form von Dosierschnecken do- des Gegenstandes einen oder mehrere Ströme von siert werden, und von im flüssigen oder geschmolzenen Transportgas für die Behandlungssubstanz und wenig-Zustand verwendeten Bestandteilen gestatten. Welche stens einen Strom eines oxydierenden Gases zu rich-Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens 50 ten, eine Vorrichtung, um diesen genannten Vorrichauch immer verwendet wird, muß es vermieden wer- tungen zur Lenkung des Gasstromes Hin- und den, daß die Temperatur der Verdampfungskammer Herbewegungen senkrecht zur möglichen Bewegungsoder des Verflüssigungsbehälters durch den Durch- richtung des zu behandelnden Gegenstandes zu gang einer großen Mengen kalten Gases abgesenkt erteilen, so daß durch Zusammenwirken der verschiewird. Aus diesem Grund werden die Gase, bevor sie 55 denen Bewegungen eine gleichförmige Behandlung der auf die Behandlungssubstanz oder eine oder mehrere Oberfläche des Gegenstandes möglich wird, Vorrichihrer Bestandteile treffen, aufgeheizt, und um zu ver- tungen zum Isolieren der angrenzenden Zone von der meiden, daß während des Transportes der Behänd- Behandlungszone und zur Regelung der Aufenthaltslungssubstanz von dem Verflüssigungsbehälter oder dauer der Gasströme in dieser Zone, außerdem Vorvon der Verdampfungskammer bis zur behandelnden 60 richtungen zur Beladung eines oder mehrerer Gas-Oberfläche eine,. sei es auch nur partielle Konden- ströme mit der Behandlungssubstanz oder ihren tion der Bestandteile der Behandlungssubstanz statt- Bestandteilen und eine oder mehrere Vorrichtungen findet, wird der Gasstrom oder werden die Gasströme, zur Regelung der Mengen der dem Gasstrom oder den die als Transportmittel dienen, auf einer Temperatur Gasströmen zugeführten Substanzen und der Tempegehalten, die oberhalb der Kondensationstemperatur 65 ratur dieser Gasströme.

einer der Bestandteile der Behandlungssubstanz liegt. Die Vorrichtung zur Lenkung des Gasstromes oder

Wenn die zum Transport der Behandlungssubstanz der Gasströme, welche die Behandlungssubstanz auf

dienenden Gasströme im wesentlichen aus Inertgasen die Oberfläche des Gegenstandes richten, enthalten für

bestehen, enthalten die auf den zu behandelnden Ge- jeden Gasstrom ein Düsenrohr, welche am Ende einer

genstand gerichteten Gasströme einen Gasstrom eines 70 starren, an einer Vorrichtung für eine Hin- und Her-

bewegung befestigten Führung liegen, und ein Verbindungsstück zu einem biegsamen Zuführungeschlauch. Auf der Vorrichtung für die Hin- und Herbewegung ist außerdem in gleicher Weise ein mit oxydierendem Gas gespeistes Düsenrohr vorgesehen. Die Düsen der ver schiedenen Rohre für den Strom des Transportgases konvergieren gegen den zu behandelnden Teil der Oberfläche, so daß dieser Teil der Oberfläche ein verhältnismäßig schmales Band bildet, das parallel zu den Rohren liegt, während die Düsen des Rohres für das Oxydationsmittel je nach Wunsch eingestellt werden können, so daß ihre Strahlen ein durchgehendes Band der gleichen Breite oder auch anderer Breite als das erste Band bilden, welches oberhalb oder in dem ersten Band liegt oder sich mehr oder weniger neben ihm befindet. Die Entfernung zwischen dem Mundstück der Düsen und der Oberfläche des Gegenstandes ist einstellbar und kann zwischen 2 und 15 cm für die Düsenrohre für die Transportgase und zwischen 2 und 8 cm für das Düsenrohr des oxydierenden Gases betragen.

Um einen Gasstrom mit der Behandlungssubstanz oder einem seiner Bestandteile zu beladen, kann man auf verschiedene Art und Weise vorgehen, je nachdem, ob die Mischung der Substanzen selber sich bei einer mehr oder weniger hohen Temperatur verflüssigen und ihr Dampfdruck mehr oder weniger bedeutend ist. So ist es z. B. für Substanzen mit einem erhöhten Schmelzpunkt, beispielsweise oberhalb 250 bis 300° C, und für alle Substanzen, die die Tendenz haben zu sublimieren, angezeigt, eine oder mehrere Verdampfungskammern vorzusehen, deren jede mit einer Heizvorrichtung versehen ist, um die die Behandlungssubstanz bildenden Bestandteile oder einen oder mehrere dieser Bestandteile zu verdampfen, und die Umlenkbleche zur Verlängerung des Weges des Gases, währenddessen es sich mit den Dämpfen belädt, ein Eintrittsrohr für das Gas, ein mit dem biegsamen Schlauch der Vorrichtung für die Hin- und Herbewegung verbundenes Austrittsrohr ebenso wie eine oder gegebenenfalls mehrere Vorrichtungen zur Regelung der Menge der festen in diese Kammer eingeführten Substanzen aufweisen.

Wenn im Gegensatz hierzu die Substanzen einen niedrigen Schmelzpunkt haben, so ist es vorteilhaft, einen oder mehrere Verflüssigungsbehälter vorzusehen, die jeder mit einer Heizvorrichtung zur Verflüssigung der die Behandlungssubstanz bildenden Substanzen oder einer oder mehrerer ihrer Bestandteile und zum Aufrechterhalten dieser Substanzen oder Bestandteile auf einer Temperatur, bei der ihr Dampfdruck einen vorbestimmten Wert erreicht, versehen sind und die eine oder mehrere Eintrittsrohre für das Gas, ein direkt oder indirekt mit dem biegsamen Rohr der Vorrichtung für die Hin- und Herbewegung verbundenes Austrittsrohr für das mit den Dämpfen dieser Substanzen beladene Gas sowie eine oder mehrere Vorrichtungen zur Regelung der Menge der in den Behälter eingeführten Substanz aufweisen. Je nach Bedeutung des Dampfdruckes dieser Substanzen mündet das Eintrittsrohr für den Gasstrom entweder in den oberen Teil des Behälters, so daß der Gasstrom hier auf die Behandlungssubstanz oder ein oder mehrere ihrer Bestandteile trifft, während diese sich im dampfförmigen Zustand befinden, oder aber in der Nähe des Bodens des Behälters, so daß der Gasstrom sich mit den Dämpfen der Behandlungssubstanz oder eines oder mehrerer ihrer Bestandteile beladen kann, während er durch die von ihnen gebildete, flüssige Schicht durchtritt. In beiden Fällen kann der Verflüssigungsbehälter mit mehreren Eintrittsrohren für das Gas versehen sein, von denen eines mit einem Brenngas und das andere mit einem Zündgas bzw. einem oxydierenden Gas gespeist wird, wobei die Verbrennung im Innern des Behälters stattfindet und zur Heizung dieses Behälters dient. Außerdem kann an dem Verflüssigungsbehälter noch ein außensitzendes Rohr angebracht sein, das einerseits zu dem Eintrittsrohr für den Gasstrom und andererseits zu dem Austrittsrohr für den Gasstrom führt, wobei beide mit regelbaren Absperrvorrichtungen versehen sind, so daß ein Teil des Gasstromes den Verflüssigungsbehälter umgehen kann, wodurch sich die Möglichkeit ergibt, den mit der Behandlungssubstanz beladenen Gasstrom durch nichtbeladenes Gas zu verdünnen. Diese Vorrichtung ist besonders für den Fall geeignet, in dem der Dampfdruck der zu verdampfenden Substanzen so groß ist, daß der Gasstrom auf jeden Fall eine die erforderliche Menge überschreitende Menge der Behandlungssubstanz fortträgt.

Die Vorrichtung, mittels der einem Gasstrom eine dosierte Menge der Behandlungssubstanz zugeführt wird, umfaßt beispielsweise einen dicht verschlossenen Vorratsbehälter, in dem sich die Behandlungssubstanz in wasserfreier Form und feinpulverisiert befindet, eine Dosierschnecke am Boden dieses Vorratsbehälters und einen Motor mit Untersetzungsgetriebe, der die einstellbare Geschwindigkeit der Dosierschnecke steuert. Die Leitungen, in denen die Gasströme zirkulieren, sind mit Heizvorrichtungen. versehen, um diese Gasströme auf die erforderliche Temperatur zu bringen, so daß Störungen im Wärmezustand in der Verdampfungskammer oder den Verdampfungskammern und in dem bzw. den Verflüssigungsbehältern für die Behandlungssubstanz ebenso wie jegliche Kondensation der Behandlungssubstanz in den Transportgasströmen vermieden werden, was eine Überheizung dieser Gasströme erfordert.

Die Vorrichtung zum Isolieren der Behandlungszone von den angrenzenden Zonen umfassen vorteilhafterweise einerseits ein stromaufwärts von der Behandlungszone gelegenes und mit einem Gasstrom, vorzugsweise einem Strom eines inerten Gases gespeistes Düsenrohr, mittels dessen ein Schirm gebildet wird, welcher die für die Behandlung erforderlichen Gasströme daran hindert, in die angrenzenden Zonen einzudringen, und andererseits stromabwärts von der Behandlungszone gelegene Umlenkbleche, deren Zweck es ist, die zur Behandlung dienenden Gasströme zu zwingen, nahe der Oberfläche des zu behandelnden Gegenstandes, während dieser abkühlt, zu verweilen.

Die Vorrichtung zur Herstellung elektrisch leitender

Schichten auf der Oberfläche von Gegenständen aus Glas oder keramischem Material, vorzugsweise auf Glasfolien, gemäß der Erfindung kann eine oder mehrere der beschriebenen Anordnungen enthalten, je nachdem, ob gewünscht wird, eines oder mehrere Düsenrohre zu verwenden, einen oder mehrere Gasströme mit der Behandlungssubstanz oder ihren Bestandteilen zu beladen und feste wasserfreie Substanzen zu verwenden, welche entweder direkt aufgedampft werden sollen oder vorher in den flüssigen Zustand übergeführt werden sollen. In der nachfolgenden Tabelle sind einige ■ beispielsweise Möglichkeiten aufgeführt. Für die einzelnen Vorrichtungen ist in dieser Tabelle angegeben, in welcher Anzahl sie in der Gesamtanordnung verwendet werden (1, 2 oder x, wobei der Buchstabe χ für eine beliebige Zahl zwischen 2 und 6 steht). Die Vorrichtungen, wie z. B. die für die Hin- und Herbewegung, welche das Düsenrohr bzw. die Düsenrohre

Düsenrohre	1	1	2	X	1	1	1	1	X	X	1
Verdampfungskammern	1	1	1	X	1	-	1	--	X	-	1
Verflüssigungsbehälter	-	-	1	-	1	1	X	X	X	X	1
Vorratsbehälter	1		2	X	1	1	X	X	X	X	X

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trägt, das Düsenrohr für das oxydierende Gas oder samtvorrichtung nur einmal enthalten sind, sind in der

zum Isolieren der Behandlungszone, welche in der Ge- Tabelle nicht angeführt.

Düsenrohre

Verdampfungskammern
Verflüssigungsbehälter
Vorratsbehälter

Die Kombination in der dritten Kolonne enthält io Temperatur auf einen Wert zwischen 600 und 800° C eine Verdampfungskammer und einen Verfmssigungs- eingestellt, und die Behandlungskammer 9 wird so behälter, die jeder mit einem Vorratsbehälter versehen aufgeheizt, daß die Glasfolie 1 während der Behandlung sind und mit einem gesonderten Düsenrohr verbunden auf einer Temperatur zwischen 450 und 600° C gesind. Bei der Kombination der letzten Kolonne speisen halten wird. Am Ende der Behandlungszone wird die die verschiedenen Vorratsbehälter einer nach dem 15 Glasfolie entsprechend einem vorbestimmten Behandanderen nach einem bestimmten Programm den Ver- lungsplan abgekühlt. Es ist selbstverständlich, daß flüssigungsbehälter und die Verdampfungskammer. die geeigneten thermischen Bedingungen auch in

In den Figuren sind beispielsweise Ausführungs- anderer Weise als mittels Heizung, beispielsweise formen für die Vorrichtung gemäß der Erfindung durch geeignete thermische Isolierung der Behanddargestellt. 20 lungskammer 9, realisiert werden können, wobei das

Fig. 1 zeigt im Schnitt entlang der Linie I-I der Glas mittels einer beliebigen Vorrichtung vor seiner

Fig. 2 schematisch eine Ofenvorrichtung z.ur Aufbrin- Einführung in die Behandlungskammer 9 aufgeheizt

gung eine elektrisch leitenden Schicht auf eine Glas- wird,

folie; Die Behandlungskammer 9 weist Öffnungen IQ und

Fig. 2 ist ein Schnitt entlang der Linie H-II der 25 11 auf, durch die Leitungen 12 und 13 durchtreten

Fig. 1; können, in welchen die Behandlungssubstanz geführt

Fig. 3 ist ein Schnitt entlang der Linie HI-III der wird, und die Hin- und Herbewegungen ausführen

Fig. 2; können. Diese Leitungen sind an ihren Enden mit

Fig. 4 ist ein Schnitt entlang der Linie IV-IV der Düsenrohren 14 versehen, welche die Behandlungs-

Fig. 1; 30 substanzen gegen die Glasfolie 1 sprühen. Die in den

Fig. S zeigt in einem der Fig, 4 entsprechenden Fig. 1 und 2 dargestellte Vorrichtung dient zur Be-

Schnitt eine Vorrichtung mit vier Düsenrphren; handlung nur einer Oberfläche der Glasfolie, aber es

Fig. 6 zeigt sehematisch eine Vorrichtung zur Ver- ist selbstverständlich, daß auch beide Oberflächen der

dampfung der Behandlungssubstanz; Glasfolie behandelt werden können, wenn die Vor-

Fig. 7 zeigt schematisch einen Vorratsbehälter in 35 richtungen zur Verteilung der Behandlungssubstanzen

Verbindung mit einem Verflüssigungsbehälter; verdoppelt werden. Die Hin- und Herbewegung der

Fig. 8 zeigt sehematisch einen mit einem Behälter Leitungen 12 und 13 wird dadurch erhalten, daß sie

für Inertgas verbundenen Verflüssigungsbehälter; an Halterungen 15 befestigt werden, welche an einem

Fig. 9 giht ein Schema einer Vorrichtung mit zwei Schlitten 16 befestigt sind, der sich zwischen Schwal-

Verflüssigungsbehältern und einer Mischkammer für 40 benschwanzschienen 17 senkrecht zur Fortbewegungs-

die Ströme inerten Gases wieder, die mit den Dämp- richtung der Glasfolie 1 verschiebt. Der Schlitten 16

fen verschiedener Bestandteile der Behandlungssub- ist mit einer Pleuelstange 18 an einem auf einer

stanz beladen sind; Scheibe 19 angebrachten Exenterzapfen verbunden,

Fig. 10 zeigt schematisch eine Vorrichtung mit einer wobei die Scheibe 19 sich auf der Welle eines regel-

Abzweigleitung, mittels derer ein Teil des inerten 45 baren Untersetzungsgetriebes 20_Λ welches von dem

Gases den Verflüssigungsbehälter umgehen kann, wo- Motor 21 angetrieben wird, dreht. Auf diese Weise

bei ebenfalls die Heizvorrichtungen für die Leitungen kann dem Schlitten 16 und folglich den Leitungen 12

gezeigt sind; und 13 eine Hin- und Herbewegung erteilt werden,

Fig. 11 zeigt schematisch eine Vorrichtung zum deren Amplitude mit der in der Entfernung von der

Einleiten der verflüssigten Behandlungssubstanz in 50 Rotationsachse einstellbaren Lage des Exzenterzapf ens

eine Verdampfungskammer mittels eines Inertgases; in der Scheibe 19 geregelt werden kann und deren

Fig. 12 und 13 stellen verschiedene Kombinationen Frequenz durch die Drehgeschwindigkeit der sekunder Anordnungen der Fig. 11 dar; dären Welle des Untersetzungsgetriebes 2Q geregelt

Fig. 14 ist ein sehematischer Schnitt durch einen wird. Gemäß der Erfindung können verschiedene Vor-Teil des Ofens, der zum Abkühlen der mit einer 55 richtungen vorgesehen werden, um die Hin- und Herelektrisch leitenden. Schicht versehenen Glasfolie bewegung der Düsenrohre 14 zu steuern, beispielsweise dient. eine Steuerung über Zapfen oder über jede andere

Die zu behandelnde Glasfolie 1 wird in einen Ofen 2 geeignete Vorrichtung,

eingeführt, in dem sie sich in Richtung des Pfeiles 3 Infolge der Hin- und Herbewegung werden die von zwischen Rollen 4 bewegt, welche widerstandsfähig 60 den Düsen der Düsenrohre 14 ausgeschleuderten Begegen die hohe Temperatur sind und die beispielsweise handlungssubstanzen über die ganze Breite der Glasaus Asbest bestehen und gleichzeitig von einem Motor folie 1 gleichmäßig verteilt. Die Richtung der Düsen mit regulierbarem Untersetzungsgetriebe über eine und ihrer Strahlen kann durch die Halterungen 15 geReihe von Zahnradpaaren 5. angetrieben werden. Der steuert werden, in denen die Leitungen 12 und 13 in Ofen wird beispielsweise mittels elektrischer Wider- 65 geeigneten Lagen durch anziehbare Schrauben 22 stände 6 aufgesetzt, die so. verteilt sind, daß zwei (Fig. 3) befestigt sind. Die Länge der Strahlen aus durch den Raum 7 voneinander deutlich getrennte Zo- den Düsen kann durch Änderung der Höhe dieser nen entstehen, wobei die erste Zone die Vorheiz- Halterungen 15 geändert werden, deren Füße 23 in kammer 8 und die zweite Zone die eigentliche Behänd- dem Schlitten 16 mittels Schrauben 24 befestigt sind, lunskammer 9 ist. In der Varheizkammer wird die 70 Das Zusammentreffen der aus den Düsen der Düsen-

ιϊ

rohre 14 der verschiedenen Leitungen 12 und 13 tretenden Strahlen kann also nach Belieben festgelegt werden, beispielsweise so, daß sie sich überlagern, wenn die Düsen konvergent sind, wie die Fig. 4 und 5 für zwei bzw. für vier Düsenrohre und Leitungen 12 und 13 zeigen, von denen jede für sich mittels der beiden Halterungen 15 einstellbar ist.

Gemäß der Erfindung bestehen die Substanzen, mit denen die Behandlung vorgenommen wird, einerseits aus der Behandlungssubstanz, welche im allgemeinen, wie im vorangegangenen beschrieben, aus verschiedenen Bestandteilen besteht, und andererseits aus einem oxydierenden Gas. Dieses oxydierende Gas ist vorzugsweise ein Sauerstoff strom, der von einem Reservoir 25 geliefert wird, welches mit einem Regelventil 26 versehen ist. Der SauerstofEstrom geht durch ein biegsames Rohr 27, an das ein Manometer 28 angeschlossen ist, und erreicht dann das Düsenrohr der Leitung 13. Die Behandlungssubstanz kommt aus einer Kammer 29 in Form eines Dampfes oder eines Gases, welches mit einem inerten Transportgas gemischt ist, und gelangt in das Düsenrohr der Leitung 12 durch das biegsame Rohr 30. Als inerte Gase werden vor allen Dingen Stickstoff verwendet oder ein Edelgas, wie Argon, Kohlensäure, Verbrennungsgase, die frei von Wasserdampf sind, oder Brenngase, die während ihrer Verbrennung keinen Wasserdampf erzeugen.

Die Behandlungssubstanz wird im wasserfreien und feinpulverisierten Zustand verwendet. Sie wird in einen geschlossenen Vorratsbehälter 31 gebracht, der frei von Feuchtigkeit ist und von der Atmosphäre isoliert ist. Am unteren Ende des Vorratsbehälters befindet sich eine Dosierschnecke 32, die durch einen Motor 33 mit regulierbarem Untersetzungsgetriebe 34 gesteuert wird und die Dosierung einer bestimmten Menge der Behandlungssubstanz ermöglicht.

Bei der in der Fig. 6 schematisch gezeigten Ausführungsform führt die Dosierschnecke 32 die Behandlungssubstanz in eine Verdampfungskammer 35, mit der eine Leitung 36 mit einem Manometer 37 und einem Regelventil 38 eines Inertgasbehälters 39, beispielsweise einer Flasche mit komprimiertem Stickstoff, verbunden ist. Die Verdampfungskammer wird von außen geheizt, wie symbolisch durch den Brenner 40 angezeigt ist, und zwar auf eine Temperatur, die ausreicht, um die Behandlungssubstanz zu verdampfen und durch das Inertgas in dem Maße, wie die Einführung in die Kammer erfolgt, forttragen zu lassen, wobei der Weg der Dämpfe und des Inertgases in der Kammer durch Umlenkbleche 41 verlängert ist.

Die die Behandlungssubstanz bildenden Bestandteile werden entweder in guter Mischung in dosierten Mengen von einem einzigen Vorratsbehälter 31 oder auch von verschiedenen Vorratsbehältern geliefert, von denen jeder also eine oder mehrere dieser Substanzen oder Bestandteile enthält. Die verschiedenen Vorratsbehälter können an der gleichen Verdampfungskammer 35 angebracht sein oder aber an gesonderten Kammern, wie es in der Fig. 6 dargestellt ist, wo ein Teil der Behandlungssubstanz in dem Behälter 31 enthalten ist, der die Verdampfungskammer 35 speist, und ein anderer Teil in dem Behälter 31', der die Kammer 35' speist. Die mit der Behandlungssubstanz beladenen Gase treffen sich bei 29 und werden durch eine gemeinsame biegsame Leitung 30 zu dem Düsenrohr der Leitung 12 hin abgeführt. Statt sie in der Kammer 29 zu vereinigen, können die verschiedenen Gasströme auch unabhängig voneinander in die Leitungen 12 und 12' geführt werden und für sich auf das zu behandelnde Glas mittels entsprechender Düsenrohre gesprüht werden, wie es die Fig. 5 zeigt, in der außerdem noch als Alternative die Zuführungen für den Sauerstoff 13 und 13' verdoppelt sind.

Wie bereits angeführt, wird die Richtung der Strahlen und die Entfernung der Düsen von dem zu behandelnden Glas durch die Halterungen 15 und durch die Höhe des Fußes 23 dieser Halterungen (Fig. 3) geregelt, während die Amplitude und die Frequenz der Hin- und Herbewegung nach Wahl durch die Entfernung des Exzenterzapfens von der Mitte der Scheibe 19 und durch die Drehgeschwindigkeit dieser Scheibe festgelegt werden. Da die Leitungen 12 und 13 auf der gleichen Vorrichtung für Hin- und Herbewegung befestigt sind, ist ihre Bewegung selbstverständlich exakt synchron, so daß die Düsenrohre 14 dieser Leitungen immer in der gleichen relativen Lage zueinander bleiben und man eine vollkommene Übereinstimmung der Sauerstoff strahlen und der Strahlen der Behandlungssubstanz erhält. Nichts hindert einen jedoch

ao daran, wenn es erwünscht sein sollte, die Amplitude und die Frequenz der Hin- und Herbewegungen für die verschiedenen Leitungen 12 und/oder 13 oder für Gruppen dieser Leitungen unabhängig voneinander zu machen, auch um einfach die toten Punkte der Düsenrohre zu verschieben und so Trägheitseffekte oder andere eventuell auftretende Störungen zu korrigieren.

Um gleichförmige elektrisch leitende Schichten mit

gewünschtem Widerstandswert zu erhalten, die frei von Beschlagsbildung sind, muß einerseits gemäß der Erfindung in einer wasserfreien Umgebung gearbeitet werden, und andererseits müssen auf geeignete Weise alle Regelungen der Vorrichtung gemäß der Erfindung vorgenommen werden, welche unumgänglich sind, um die besten Bedingungen hinsichtlich der Geschwindigkeit und der Gleichförmigkeit der Reaktionen auf der Oberfläche des Glases mittels der an den Reaktionsort im nichtdissozierten Zustand herantransportierten Substanzen zu realisieren. So ist beispielsweise festgestellt worden, daß für eine Glasfolie, die zwischen den Rollen 4 mit einer Geschwindigkeit von 7 bis 10 cm je Sekunde sich voranbewegt und die sich langsam auf eine Temperatur zwischen 450 und 600° C abkühlt, die stündlich zugeführte Menge an Stickstoff 3 m³, die der Mischung der die Behandlungssubstanz liefernden Bestandteile etwa 1000 g (variierbar je nach dem gewünschten Widerstand der elektrisch leitenden Schicht) und die des zugeführten Sauerstoffs etwa 2 m³ betragen sollte. Die Entfernung zwischen den Mundstücken der Düsen und der Glasoberfläche wird vorzugsweise auf 3 cm eingestellt und die zwischen Leitungen 12 und 13 auf 5 cm. Die Geschwindigkeit des mit der dampfförmigen Behandlungssubstanz beladenen Stickstoffstromes beträgt bei einer Temperatur von 550° C etwa 8 m je Sekunde in der Leitung 12 und etwa 13 m je Sekunde am Ausgang der Düsen des Düsenrohres 14, und der Druck dieses Stromes beträgt 19 mm Wassersäule in dem Rohr und etwa 75 mm am Ausgang der Düsen. Die Geschwindigkeit der Gasstrahlen ist weitaus höher als die der Konvektionsströme, die normalerweise in dem Ofen herrschen, so daß die letzteren die Richtung der Gasstrahlen nicht beeinflussen, bevor diese die Oberfläche der Glasfolie erreichen.

Bei der Verwendung von Verflüssigungsbehältern für die Behandlungssubstanz oder eine oder mehrere ihrer Bestandteile ergibt sich eine andere Ausführungsform der \^rorrichtung gemäß der Erfindung.

Wie Fig. 7 zeigt, wird ein Behälter 42 mittels einer in den Figuren durch einen Brenner 40 symbolisierten Heizvorrichtung auf eine Temperatur aufgeheizt, bei der sich die Behandlungssubstanz in geschmolzenem

vorteilhaft die Gasleitungen, welche die verschiedenen Teile der Vorrichtung gemäß der Erfindung miteinander verbinden, wie z. B. die Leitungen 43, 50 und 51, mittels einer geeigneten Vorrichtung, die in der Fig. 10 5 durch Brenner 47 schematisch dargestellt ist, aufgeheizt. In der Praxis werden die Gasströme so überheizt, daß ihre Temperatur zwischen dem Ausgang der Kammer 29 (Fig. 2, 6 und 9) und den Düsen der Düsenrohre 14 oberhalb der Taupunktstemperatur der Dämpfe der

Zustand befindet und einen merklichen Dampfdruck
besitzt. Das inerte Transportgas wird durch ein Rohr
43 eingeführt und belädt sich mit den Dämpfen des
Behandlungsproduktes und verläßt den Behälter 42
durch eine Leitung 44. Die Behandlungssubstanz oder
eine oder mehrere ihrer Bestandteile werden in dem
Behälter 42 aus einem geschlossenen Vorratsbehälter 31
mittels der Dosierschnecke 32, die durch den Motor 33
über ein regulierbares Untersetzungsgetriebe 34 angetrieben wird, in dosierten Mengen eingeführt, so daß io Behandlungssubstanz bleibt, die Menge der verflüssigten, sich in dem Behälter be- In der Fig. 11 ist eine andere Ausführungsform der

findenden Substanz im wesentlichen konstant bleibt, erfindungsgemäßen Vorrichtung schematisch gezeigt, trotzdem sie zum Teil durch den Inertgasstrom fort- Ein aufgeheizter Verflüssigungsbehälter 54, welcher geführt wird. die Behandlungssubstanz oder einen oder mehrere

Die Verflüssigungsbehälter sind alle mit Vorrats- 15 ihrer Bestandteile im geschmolzenen Zustand enthält, behältern 31 verbunden, von denen aus sie gespeist ist durch eine Leitung 55 mit dem Zerstäuber 56 verbunden, der die geschmolzene Substanz in Form feinster Tröpfchen in eine Kammer 57 einspritzt, die mittels irgendeiner geeigneten und durch den Brenner 20 40 charakterisierten Vorrichtung geheizt werden. In dieser Kammer 57 werden die Tröpfchen in Dampf umgewandelt, der zusammen mit dem bei 58 eintretenden Inertgas, welches die Zerstäubung in dem Zerstäuber 56 herbeiführt, durch die Leitung 59 austritt,

verflüssigten Substanz 45 (Fig. 7) oder unterhalb des 25 die ebenfalls, wie symbolisch durch den Brenner 47 Niveaus, wie es in Fig. 8 angezeigt ist, angebracht, gezeigt ist, aufgeheizt wird. Wird der Verflüssigungsbehälter 54 nur von einem oder mehreren der Bestandteile der Behandlungssubstanz gespeist, so können die Zerstäuber 56 der verschiedenen Behälter an einer 30 einzigen Kammer 57 (Fig. 12) angebracht sein, oder jeder der Zerstäuber 56 und 56' kann in eine eigene Kammer 57 und 57' führen (Fig. 13). Im letzteren Fall können sich die Leitungen 59 und 59' vereinigen (Fig. 13), so daß die Leitung 60 ein einziges Düsenhalter können entweder von dem in der Fig. 7 ge- 35 rohr speist, oder aber jede dieser Leitungen kann an zeigten Typ oder von dem in der Fig. 8 ge- eine eigene Leitung 12 angeschlossen sein, zeigten Typ sein. Das Inertgas wird in sie durch Es ist möglich, Einzelheiten der verschiedenen in

den Figuren gezeigten Vorrichtungen zur Verdampfung einer Behandlungssubstanz und zu ihrem Transport Manometer 37 und einem Regelventil 38 zu dem ge- 40 durch Inertgasströme auf die Oberfläche des zu bemeinsamen Inertgasbehälter 39 führen. Die Austritts- handelnden Glases zu kombinieren. Die gewählte leitungen 50 und 50' führen in eine Kammer 35, die Kombination hängt von den Eigenschaften der vermit Umlenkblechen, wie sie in der Fig. 6 gezeigt sind, schiedenen, die Behandlungssubstanz bildenden Stoffe versehen sein kann und in der die Mischung der ab. Zur Beladung eines Gasstromes mit Stoffen, die Dämpfe der Substanzen, die die Behandlungssubstanz 45 durch Sublimation direkt vom festen Zustand in den bilden, mit dem Inertgas stattfindet, die von dort über gasförmigen Zustand übergehen, wie Ammoniumdie Kammer 29 und das Rohr 30 zu dem Düsenrohr chlorid oder Telluroxyd oder Tellurfluorid, kann so der Leitung 12 (Fig. 1 und 2) abgeführt wird. Da die beispielsweise mit Vorteil eine Verdampfungskammer Menge an Inertgas, die erforderlich ist, um an den 35 mit einem Vorratsbehälter 31 (Fig. 6) verwendet Ausgängen der Düsen Strahlen gewünschter Geschwin- so werden. Der Vorratsbehälter kann mit einem Gemisch digkeit zu bilden, manchmal größer ist als die Menge, gefüllt werden, das in geeigneten Proportionen verweiche nötig ist, um in dem Verflüssigungsbehälter die schiedene Stoffe enthält, deren Sublimationstemperaverlangte Menge an Behandlungssubstanz mitzuführen, türen nicht zu stark voneinander abweichen, wenn es ist es vorteilhaft, eine Abzweigleitung 51 (Fig. 10) nicht vorzuziehen ist, für jeden dieser Stoffe einen mit Regelventilen 52 und 53 vorzusehen, die einerseits 55 Vorratsbehälter und eine Verdampfungskammer zu von der von dem Inertgasbehälter 39 kommenden verwenden. Die verschiedenen mit ihren Dämpfen beLeitung und andererseits von der Leitung 50 abgezweigt ladenen Gasströme werden dann auf eine Temperatur ist, die den Verflüssigungsbehälter mit der Kammer 35 gebracht, die ausreicht, um die Kondensation dieser verbindet. Auf diese Weise kann der Teil des Inert- Substanzen bei dem Zusammentreffen der einzelnen gasstromes, der zum Transport der Dämpfe der Be- 60 Ströme in der Kammer 29 zu verhindern. Dieses handlungssubstanz in dem Verflüssigungsbehälter 42 Zusammenströmen muß dann vermieden werden, wenn nicht erforderlich ist, den Behälter umgehen und sich zwischen den einzelnen Substanzen eine nachteilige dann mit dem aus dem Behälter austretenden Gasstrom Reaktion möglich ist, und in diesem Fall wird für vereinigen. jeden der die Dämpfe der verschiedenen Substanzen

Um jegliche Kondensation der Dämpfe der Behänd- 65 transportierenden Gasströme eine Leitung 12 mit lungssubstanz während ihrer Abfuhr durch den Strom einem Düsenrohr vorgesehen.

des Inertgases zu verhindern und ebenso um Störungen Die Anordnung mit der Verdampfungskammer 35

des Temperaturzustandes in den Verflüssigungs- und dem Vorratsbehälter 31 eignet sich ebenfalls für behältern oder in den Verdampfungskammern infolge Zinnchlorür (SnCl₂), dessen Schmelzpunkt bei etwa des Eintretens kalten Gases zu vermeiden, werden 70 250° C liegt. Die Kammer 35 wird in dem Fall auf

werden, aber diese sind zum Teil in einigen Figuren,
vor allen Dingen in den Fig. 8, 9, 10 und 11 fortgelassen, um die schematische Darstellung zu vereinfachen.

Je nachdem, ob der Dampfdruck der Behandlungssubstanz mehr oder weniger stark bei der für den
Behälter gewählten Temperatur ist, wird das Rohr 43
für die Zufuhr des Inertgases oberhalb des Niveaus der

um den Inertgasstrom zu zwingen, durch die verflüssigte Substanz hindurchzutreten und sich mit den
Dämpfen zu beladen, wodurch eine sehr gute Konstanz
der Gasmischung gewährleistet wird.

Die Fig. 9 zeigt schematisch eine Vorrichtung, bei
der zwei Verflüssigungsbehälter 42 und 42' verwendet
werden, die jeder einen Teil der die Behandlungssubstanz bildenden Bestandteile enthalten. Diese Be-

die Leitungen 48 und 48' mit Regelventilen 49 und
49' eingeführt, welche über eine Leitung 36 mit einem

eine Temperatur von etwa 500 bis 550° C aufgeheizt, so daß ein Dampfdruck erreicht wird, bei dem sich der Gasstrom mit den Dämpfen des Zinnchlorürs beladen kann.

Die in der Fig. 6 gezeigte Anordnung ist also geeignet für die Verdampfung einer Behandlungssubstanz, die aus Zinnchlorür und einem Zusatz auf Tellurbasis besteht, wobei in den Behälter 31 das wasserfreie, feinpulverisierte Zinnchlorür und in den Vorratsbehälter 31 entweder Tellurfluorid oder ein Gemisch aus Telluroxyd (TeO₂) und Ammoniumchlorid, von denen das erste bei einer Temperatur von etwa 450° C und das zweite bei etwa 335° C sublimiert, eingeführt wird.

Da sich indessen die flüssige Phase des Zinnchlorürs über einen Temperaturbereich von etwa 250° C bis zu etwa 620° C erstreckt, kann ebenso gut zu seiner Verdampfung ein Verflüssigungsbehälter, wie er in der Fig. 7 gezeigt ist, verwendet werden und dieser mit einer Verdampfungskammer 35 mit Vorratsbehälter 31 (Fig. 6) kombiniert werden, welche für den Zusatz auf Tellurbasis dienen. Die Ströme des beladenen Gases können entweder gemischt werden oder aber auf die zu behandelnden Oberfläche als getrennte Ströme, die durch getrennte Leitungen 12 und getrennte Düsenrohre 14 gehen, auftreffen.

Die Verwendung einer Anordnung mit Injektionsvorrichtung (Fig. 11) kommt vor allen Dingen dann in Frage, wenn es sich um Bestandteile mit niedrigem Schmelzpunkt handelt, also beispielsweise bei Verwendung von wasserfreiem Zinntetrachlorid (SnCl₄), das bei —33° C schmilzt; aber ebenso gut kann eine solche Anordnung auch bei Benutzung von Zinnchlorür verwendet werden.

Die Reaktions- oder Behandlungszone 9 wird von der stromaufwärts von ihr liegenden Vorheizkammerzone 8,, in der die Glasfolie aufgeheizt wird, durch einen Schirm 7 (Fig. 2) getrennt, der von einer Zwischenschicht eines Gases gebildet wird. Diese Gaszwischenschicht wird durch eine feste Leitung 61 mit einem Düsenrohr erzeugt, das ein Gas, vorzugsweise ein Inertgas, aus einem Behälter 62 ausströmen läßt. Diese Gasschicht schützt die Reaktionszone gegen die mehr oder weniger turbulenten Gase der Vorheizzone und verhindert zu gleicher Zeit, daß die mit der Behandlungssubstanz beladenen Gasströme in die Vorheizkammer 8 eintreten und mit dem Glas unter schlecht definierten Bedingungen, welche sich nicht für die Herstellung elektrisch leitender, beschlags- und löcherfreier Schichten eignen, reagieren. Um das Glas, welches die Reaktionszone durchlaufen hat, mit einer für die endgültige Orientierung der die elektrisch leitende Schicht bildenden Teilchen günstigen Atmosphäre zu umgeben, führt man es während seiner Abkühlung zusammen mit den Gasen, die durch die an den Leitungen 12 und 13 montierten Düsenrohre ausgeströmt waren und die noch Behandlungssubstanz im Überschuß enthalten, ab. Die Berührung zwischen diesen Gasen und dem Glas wird durch Umlenkbleche 63 (Fig. 14) begünstigt, die quer in dem Teil des Ofens, der zur Abkühlung des sich zwischen den Führungsrollen 4 fortbewegenden Glases dient, angebracht sind. Es wurde festgestellt, daß es günstig ist, die Dauer der Berührung des behandelten Glases mit den Gasen zu regeln. Diese Berührungsdauer kann zwischen 6g gewissen Grenzen liegen, die sich selber mit den Arbeitsbedingungen ändern. Die Regelung muß also durch Versuche vorgenommen und festgelegt werden. Hierzu werden die Umlenkbleche 63 an Scharnieren montiert, welche es möglich machen, sie (beispielsweise durch anziehbare Schrauben) in irgendeiner Neigung gegen die Richtung der Fortbewegung des Glases festzulegen.

Es sei noch einmal betont, daß die Erfindung nicht auf die gezeigten Ausführungsformen beschränkt ist, die lediglich beispielsweise Ausführungsformen zur Charakterisierung des Verfahrens und der Vorrichtung gemäß der Erfindung darstellen.

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen elektrisch leitender, durchsichtiger und alterungsbeständiger Schichten auf Gegenständen aus Glas oder keramischem Material durch Aufbringen, vorzugsweise Aufsprühen oder Aufspritzen einer Metallverbindung gegebenenfalls mit einem oder mehreren die Eigenschaften der elektrisch leitenden Schichten beeinflussenden Zusätzen auf die vorgewärmte Oberfläche des Gegenstandes, dadurch gekennzeichnet, daß die bei der Herstellung der elektrisch leitenden Schichten benutzten Stoffe im wasserfreien Zustand verwendet werden und durch einen oder mehrere Ströme trocknen Gases bis zur Berührung mit der zu behandelnden Oberfläche geführt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung von Verbindungen der Elemente Zinn, Antimon und/oder Tellur, denen gegebenenfalls Ammoniumhalogenide beigemischt sind, zur Herstellung elektrisch leitender Schichten.

3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung von Halogenverbindungen der Elemente Zinn, Antimon und/oder Tellur zur Herstellung elektrisch leitender Schichten.

4. Verfahren nach den Ansprüchen 2 und 3, gekennzeichnet durch Verwendung einer Zinnhalogenverbindung und eines Fluorid eines der Elemente Antimon und Tellur zur Herstellung elektrisch leitender Schichten.

5. Verfahren nach den Ansprüchen 2 und 3, gekennzeichnet durch die Verwendung von Stoffen zur Herstellung elektrisch leitender Schichten, die aus einer Zinnhalogenverbindung und Telluroxyd bestehen, dem gegebenenfalls Ammoniumfluorid beigemischt ist.

6. Verfahren nach den Ansprüchen 4 und 5, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Stoffmischung zur Herstellung elektrisch leitender Schichten, die aus 100 Teilen Zinnhalogenid und 0,01 bis 10 Teilen Antimon- oder Tellurfluorid besteht.

7. Verfahren naclj^Anspruch 4 oder 5, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Stoffmischung zur Herstellung elektrisch leitender Schichten, die aus 100 Teilen Zinnhalagenid und 0,1 bis 10 Teilen Antimon- oder Telluroxyd sowie einer entsprechenden Menge Ammoniumfluorid besteht.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Luftstromes als Gasstrom zum Transport der zur Herstellung der Schichten benutzten Stoffe.

9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Gasstromes zum Transport der zur Herstellung der Schichten benutzten Stoffe, der aus inerten Gasen, wie z. B. Stickstoff, Kohlensäure, Argon und/oder Neon, besteht.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Gasstromes zum Transport der für die Herstellung der

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Schichten benutzten Stoffe, der wasserdampffreies Verbrennungsgas enthält.

11. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Gasstromes zum Transport der für die Herstellung der Schichten benutzten Stoffe, der bei der Verbrennung keine Wasserdampf erzeugende Brenngase enthält.

12. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7 und einem oder mehreren der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Menge der von dem Gasstrom oder den Gasströmen transportierten Stoffe durch Dosierung der wasserfreien Substanzen im festen oder flüssigen Zustand geregelt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die festen Stoffe mittels eines Verteilers mit sich mit regelbarer Geschwindigkeit drehender Dosierschnecke dosiert werden.

14. Verfahren nach den Ansprüchen 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Bestandteile der bei der Herstellung der Schichten benutzten Mischung in pulverisiertem Zustand in geeigneten Mischungsverhältnissen gemischt werden und in einen Gasstrom eingeführt werden, der sie auf den zu behandelnden Gegenstand richtet.

15. Verfahren nach den Ansprüchen 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der bei der Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe in pulverisiertem Zustand in geeigneten Mischungsverhältnissen gemischt und in einen Gasstrom eingeführt wird.

16. Verfahren nach den Ansprüchen 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Bestandteile der bei der Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung jeder für sich getrennt in einen Gasstrom eingeführt werden.

17. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Bestandteile der bei der Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung einer nach dem anderen nach einem bestimmten Programm in einen Gasstrom eingeführt werden.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Geschwindigkeit der verschiedenen Gasströme so eingestellt wird, daß die in Berührung mit dem zu behandelnden Gegenstand tretende Stoffmischung jederzeit die gewünschte Zusammensetzung hat.

19. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasströme in eine Mischkammer geführt werden, von der aus sie als ein einziger Gasstrom gegen den zu behandelnden Gegenstand gerichtet werden.

20. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Gasströme voneinander getrennt gegen den zu behandelnden Gegenstand gerichtet werden.

21. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die mittels der Dosierschnecke dosierten Bestandteile der Stoffmischung in einer Verdampfungskammer auf den Gasstrom treffen, wobei die Verdampfungskammer auf eine solche Temperatur aufgeheizt ist, daß die Dampfdrücke der einzelnen Bestandteile ihren Eintritt in den Gasstrom ermöglichen.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Menge der Stoff mischung, die Geschwindigkeit des Gasstromes und die Temperatur der Verdampfungskammer so eingestellt werden, daß die Verdampfungskammer nur die zur unmittelbaren Aufnahme durch den Gasstrom bestimmte Menge der Stoff mischung enthält.

23. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gasstrom mit einstellbarer Geschwindigkeit einen einen oder mehrere Bestandteile der Stoffmischung enthaltenden Behälter durchquert, wobei die Temperatur des Behälters so eingestellt ist, daß die in ihm enthaltenden Stoffe sich in flüssigem Zustand befinden.

24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasstrom in den Verflüssigungsbehälter oberhalb des Niveaus der verflüssigten Stoffe eingeführt wird.

25. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasstrom in den Verflüssigungsbehälter unterhalb des Niveaus der verflüssigten Stoffe eingeführt wird.

26. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 25, gekennzeichnet durch die Verwendung eines in den Verflüssigungsbehälter eingeführten Gasstromes, der eine Mischung aus in dem Behälter verbrennenden, brennbaren Gasen ist.

27. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der aus dem Verflüssigungsbehälter austretende Gasstrom durch einen von den für die Herstellung der Schichten benutzten Stoffen freien Gasstrom verdünnt wird.

28. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 21 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasstrom vor dem Zusammentreffen mit den für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffen aufgeheizt wird.

29. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 21 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasstrom zwischen dem Verflüssigungsbehälter und der Oberfläche des zu behandelnden Gegenstandes auf einer Temperatur gehalten wird, die oberhalb der Kondensationstemperatur der Bestandteile der für die Herstellung der Schichten benutzten Stoffmischung liegt.

30. Verfahren nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 29, gekennzeichnet durch die Verwendung von auf den zu behandelnden Gegenstand gerichteten Gasströmen, die einen oxydierenden Gasstrom enthalten.

31. Verfahren nach Anspruch 30, gekennzeichnet durch die Verwendung von auf den zu behandelnden Gegenstand gerichteten Gasströmen, die einen Sauerstoffstrom enthalten.

32. Verfahren nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe und die Gasströme dann in Berührung mit dem zu behandelnden Gegenstand treten, wenn dieser auf eine Temperatur nahe seinem Erweichungspunkt aufgeheizt worden ist und sich im Zustand langsamer Abkühlung befindet.

33. Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasströme mit den von der Oberfläche des Gegenstandes nicht zurückgehaltenen Stoffen der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung während der Abkühlung des Gegenstandes bis auf eine Temperatur zwischen 150 und 350° C nahe an der behandelten Oberfläche verweilen.

34. Verfahren nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufenthaltsdauer der Gasströme und der nicht von dem Gegenstand zurückgehaltenen Stoffe nahe der behandelten Oberfläche eingestellt wird.

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35. Verfahren nach den Ansprüchen 32 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß der zu behandelnde Gegenstand während der Bildung der elektrisch leitenden Schicht und der Abkühlung gegen turbulente Konvektionsströme abgeschirmt wird.

36. Verfahren nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß sich der zu behandelnde Gegenstand während der Bildung der elektrisch leitenden Schicht und der Abkühlung in einer durch Schirme od. dgl. begrenzten Zone gehalten wird.

37. Verfahren nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe durch eine Abschirmung aus inertem Gas daran gehindert werden, sich in die Zone größter Wärme auszubreiten.

38. Verfahren nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasströme und die nicht für die Bildung der elektrisch leitenden Schicht ausgenutzten Stoffe nach der Abkühlung des behandelten Gegenstandes durch eine Abschirmung aus festen, in ihrer Neigung einstellbaren Umlenkblechen hindurch abgeführt werden.

39. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung an sich bekannte Mittel enthält, um den vorher aufgeheizten, zu behandelnden Gegenstand (1) in die Behandlungszone (9) einzuführen und aus ihr zu entfernen, ferner Vorrichtungen (12, 30, 29; 13, 27, 25), um einen oder mehrere Ströme von Transportgas für die für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe und wenigstens einen Strom eines oxydierenden Gases auf die Oberfläche des Gegenstandes (1) zu richten, eine Vorrichtung (15 bis 21), um diesen genannten Vorrichtungen zur Lenkung des Gasstromes Hin- und Herbewegungen senkrecht zur Fortbewegungsrichtung des zu behandelnden Gegenstandes (1) zu erteilen, so daß durch Zusammenwirken der verschiedenen Bewegungen eine gleichförmige Behändlung der Oberfläche des Gegenstandes möglich wird, Vorrichtungen (7) zum Isolieren der angrenzenden Zone (8) von der Behandlungszone (9) und zur Regelung der Aufenthaltsdauer der Gasströme in dieser Zone, außerdem Vorrichtungen (31, 32) zur Beladung eines oder mehrerer Gasströme mit der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung oder ihren Bestandteilen und eine oder mehrere Vorrichtungen (26) zur Regelung der Mengen der dem Gasstrom oder den Gasströmen zugeführten Stoffe und der Temperatur dieser Gasströme.

40. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Lenkung des Gasstromes oder der Gasströme auf die Oberfläche des Gegenstandes für jeden Gasstrom eine Reihe von Düsen (14) bzw. ein Düsenrohr (12) aufweist, welches sich am Ende einer an einer Vorrichtung für eine Hin- und Herbewegung montierten festen Führung (18, 19) befindet, sowie eine biegsame Zuführungsleitung (27, 30) aufweist.

41. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß auf der gleichen Vorrichtung (16) zur Erteilung der Hin- und Herbewegung (18, 19) eine Reihe von Düsen (14) bzw. ein Düsenrohr (13) angebracht ist, das mit oxydierendem Gas gespeist wird.

42. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (14) der verschiedenen Düsenrohre (12, 13) gegen den zu behandelnden Teil der Oberfläche des Gegenstandes (1) konvergieren (Fig. 4).

43. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Richtung der Düsen (14) des Düsenrohres (13) für den oxydierenden Gasstrom so einstellbar ist, daß das Auftreffen dieses Stromes je nach Wahl in der Auftreffzone des Gasstromes oder der Gasströme, welche die für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe transportieren, erfolgen kann oder außerhalb dieser Zone.

44. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Entfernung zwischen den Mundstücken der Düsen (14) der Düsenrohre (12) für die Transportgasströme und dem zu behandelnden Teil der Oberfläche (1) einstellbar ist und zwischen 2 und 15 cm beträgt.

45. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Entfernung zwischen den Mundstücken der Düsen (14) des Düsenrohres (13) für den oxydierenden Gasstrom und den zu behandelnden Teil der Oberfläche (1) einstellbar ist und zwischen 2 und 8 cm beträgt.

46. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine oder mehrere Verdampfungskammern (35, 35') aufweist, von denen jede mit einer Heizvorrichtung (40) versehen ist, um die für die Herstellung der Schichten verwendete Stoffmischung oder einen oder mehrere ihrer Bestandteile zu verdampfen, und die Umlenkbleche (41) zur Verlängerung des Weges des Gases, währenddessen es sich mit den Dämpfen belädt, sowie ein Eintrittsrohr (36) für das Gas, ein mit dem biegsamen Schlauch der Vorrichtung für die Hin- und Herbewegung verbundenes Austrittsrohr (30) für das beladene Gas sowie eine oder gegebenenfalls mehrere Vorrichtungen (32, 33, 34) zur Regelung der Menge der festen, in die Kammern (35) eingeführten Stoffe aufweisen.

47. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen oder mehrere Verflüssigungsbehälter (42) enthält, von denen jeder mit einer Heizvorrichtung (40) zur Verflüssigung der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoff mischung oder einer oder mehrerer ihrer Bestandteile und zum Aufrechterhalten einer Temperatur für diese Stoffmischung oder Stoffe, bei der ihr Dampfdruck einen vorbestimmten Wert erreicht, versehen ist, und die eine oder mehrere Eintrittsrohre (43) für das Gas und ein direkt oder indirekt mit dem biegsamen Rohr der Vorrichtung für. die Hin- und Herbewegung verbundenes Austrittsrohr (44) für das mit den Dämpfen der Stoffe beladene Gas sowie eine oder mehrere Vorrichtungen (32, 33, 34) zur Regelung der Menge der in die Behälter (42) eingeführten Stoffe aufweisen (Fig. 7).

48. Vorrichtung nach Anspruch 47, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Eintrittsrohr (43) für •den Gasstrom im oberen Teil des Behälters (42) befindet, so daß der Gasstrom hier auf die Dämpfe der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung bzw. der einzelnen Stoffe trifft.

49. Vorrichtung nach Anspruch 47, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Eintrittsrohr (43) für den Gasstrom nahe dem Boden des Behälters (42) befindet, so daß der Gasstrom sich mit den Dämpfen der Stoffmischung bzw. der einzelnen Stoffe während seines Durchtritts durch die von ihnen gebildete flüssige Schicht (46) belädt (Fig. 8).

50. Vorrichtung nach Anspruch 48 oder 49, dadurch gekennzeichnet, daß der Verflüssigungsbehälter mit mehreren Eintrittsrohren für Gasströme versehen ist, von denen einer ein brennbares Gas, der andere die Verbrennung förderndes Gas befördert, und die Verbrennung im Inneren des Behälters stattfindet.

51. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 46 bis 50, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Eintrittsrohr (43) für den Gasstrom ίο in den Verflüssigungsbehälter (42) und dem Austrittsrohr (50) für den Gasstrom aus diesem Behälter eine Abzweigleitung (51) vorgesehen ist und regelbare Absperrvorrichtungen (38, 52, 53) in den verschiedenen Leitungen angebracht sind, so daß mittels der Abzweigleitung (51) das mit den Dämpfen der Stoffe beladene Gas durch nicht beladenes Gas verdünnbar ist (Fig. 10).

52. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung, mittels derer einem Gasstrom eine dosierte Menge der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe zugeführt wird, einen dicht verschlossenen Vorratsbehälter (31) umfaßt, in dem sich der Stoff bzw. die Stoffe in wasserfreier und fein pulverisierter Form befinden, und daß am Boden dieses Vorratsbehälters eine Dosierschnecke (32) angebracht ist, die einstellbare gleichmäßige Stoffmengen aus dem Vorratsbehälter (31) abführt und die von einem Motor (33) mit Untersetzungsgetriebe (34) mit einstellbarer Geschwindigkeit angetrieben wird.

53. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungen (36, 43), in denen die Gasströme zirkulieren, mit Heizvorrichtungen versehen sind, so daß die Gasströme auf eine Temperatur gebracht werden, bei der alle Störungen im Wärmezustand der Verdampfungskammer (35) oder der Verdampfungskammern bzw. der Verflüssigungsbehälter (42) für die bei der Herstellung der Schichten verwendeten Stoffe sowie jegliche Kondensation dieser Stoffe in den sie transportierenden Gasströmen vermieden werden.

54. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Reihe von stromaufwärts von der Behandlungszone für die Oberfläche des Gegenstandes (1) gelegene Düsen (14) bzw. ein Düsenrohr (13) aufweist, welches durch einen Gasstrom, vorzugsweise durch einen Strom eines Inertgases, gespeist wird, so daß ein Gasschirm bzw. Gasvorhang gebildet wird, der die zur Behandlung dienenden Gasströme daran hindert, in die angrenzende Zone einzudringen.

55. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß sie stromabwärts von der Behandlungszone für die Oberfläche des Gegenstandes (1) liegende Umlenkbleche (63) aufweist, welche die Behandlungsgasströme zwingen, sich während, der Abkühlung des Gegenstandes (1) nahe seiner Oberfläche aufzuhalten.

56. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 39 bis 55, dadurch gekennzeichnet, daß sie zwei Reihen von Düsen (14) bzw. zwei Düsenrohre (12, 13) und eine Verdampfungskammer (35) aufweist, welche mit einem Vorratsbehälter (31) versehen ist und außerdem einen mit einem weiteren Vorratsbehälter versehenen Verflüssi-'gungsbehälter (42) enthält, wobei die Bestandteile der für die Herstellung der Schichten verwendeten Stoffmischung auf die beiden Vorratsbehälter (31, 31') verteilt sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen