DE1088628B - Elektronenoptisches Geraet - Google Patents
Elektronenoptisches GeraetInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1471—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path for centering, aligning or positioning of ray or beam
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf elektronenoptische Geräte und findet ein wichtiges Anwendungsgebiet in
den Elektronenmikroskopen.
Solche Geräte müssen häufig mit einer Justiereinrichtung, mit der der Elektronenstrahl in zwei aufeinander
senkrecht stehenden Richtungen ausgelenkt werden kann, so daß der Strahl in der zu ihm senkrechten
Ebene an einer bestimmten Stelle auftrifFt, und auch mit einer zweiten Justiereinrichtung versehen
sein, mit der anschließend die Strahl richtung ohne Veränderung des Auftreffpunktes eingestellt
werden kann.
Früher sind solche Justierungen mechanisch', z. B. mit einer auf einem Klotz angebrachten Elektronenquelle
durchgeführt worden, der seitwärts wie der Auftreffpunkt auf der Auffangelektrode verschoben
werden konnte, ohne daß die Strahlrichtung geändert wurde; das bedeutet, daß der Strahl zur ursprünglichen
Richtung parallel bleibt. Um anschließend die Strahlrichtung ohne Verschiebung des Auftreffpunktes
zu ändern, ist die Elektronenquelle auf einer Teilkugelfläche auf dem Klotz verstellbar angeordnet,
deren Krümmungsmittelpunkt im wesentlichen mit dem Auftreffpunkt auf der Äuffangelektrode zusammenfällt.
Durch eine Kombination der zwei Justiereinrichtungen kann der Strahl in der gewünschten
Weise eingestellt werden.
Es ist eine Anordnung an einem Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop
bekannt, in der zur Justierung des Elektronenstrahlbündels im Strahlengang hintereinander
vier Ablenksysteme parallel zur optischen Achse des Systems liegen, von denen zwei in einer
Ebene und die anderen beiden in einer zu dieser senkrecht stehenden zweiten Ebene wirken. Der Nachteil
dieser bekannten. Anordnung besteht darin, daß vier Ablenkvorrichtungen hintereinander an der Bahn des
Strahls vorgesehen sein müssen, die einen unangenehm langen Aufbau des Gesamtgeräts mit sich bringen.
Es ist auch eine Kathodenstrahlröhre bekannt, in der auf den Kathodenstrahl gleichzeitig, also· am
selben. Ort sowohl ein elektrostatisches Ablenksystem als auch ein magnetisches Ablenksystem einwirken,
das jedoch außerhalb der Röhre angeordnet ist und gegenüber dem inwendigen elektrostatischen Ablenksystem
ausgerichtet werden muß.
Das Hauptziel der Erfindung ist es, das Gesamtgerät möglichst kurz und gedrungen zu gestalten, wobei
sich die Ablenksysteme innerhalb des elektronenoptischen Geräts befinden.
Gemäß der Erfindung bestehen die Ablenkmittel eines elektronenoptischen Geräts, insbesondere eines
Elektronenmikroskops aus zwei Paaren kombinierter elektrostatischer und magnetischer Ablenksysteme, die
so angeordnet sind, daß das elektrostatische Ablenk-Elektronenoptisch.es
Gerät
Anmelder:
Metropolitan-Vickers Electrical Co. Ltd.,
London
London
Vertreter: Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt,
Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13
Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13
Beanspruchte Priorität:
Großbritannien vom 12. Dezember 1955
Großbritannien vom 12. Dezember 1955
Michael Edward Haine, Sulhamstead, Berkshire
(Großbritannien),
ist als Erfinder genannt worden
ist als Erfinder genannt worden
system des ersten Paares den Strahl in der einen Richtung und das magnetische Ablenksystem desselben
Paares den Strahl gleichzeitig in einer zu dieser im wesentlichen senkrechten Richtung ablenken, daß das
elektrostatische Ablenksystem und das magnetische Ablenksystem des zweiten Paares den Strahl gleichzeitig
in zwei solche Richtungen ablenken, die den ersten Ablenkrichtungen im wesentlichen entgegengerichtet
sind, und daß die Richtung des auf die Auffangfläche fallenden Strahls ohne nennenswerte Verschiebung
des Auftreffpunktes auf der Auffangfläche zu verändern ist.
Nach der beschriebenen Anordnung bestehen die Paare der Ablenkmittel aus je einem Paar Elektromagnete
veränderlicher Stärke, die auf entgegengesetzten Seiten des Elektronenstrahls angeordnet
sind und isolierte Polschuhe haben, die mit Punkten veränderlicher Spannung so verbunden sind, daß sie
als elektrostatische Ablenkplatten wirken. Die erzeugten elektrostatischen und -magnetischen Felder
bewirken eine elektrostatische Ablenkung des Strahls zwischen den Platten und lenken ihn elektromagnetisch
im rechten Winkel zu den Platten ab.
Um die Erfindung besser zu erläutern, dienen einige Zeichnungen.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung, wie der Strahl abgelenkt werden kann;
Fig. 2 ist ein Längsschnitt durch das Gerät;
Fig. 3 ist eine Grundriß ansicht des in Fig. 2 gezeigten
Geräts.
. . ■_■ . 009 590/327
In Fig. 1 ist der Strahl 1 und die Auffangelektrode 2
dargestellt. Ein erstes Ablenkplattenpaar 3, 3' dient
zur Ablenkung des Strahls nach rechts und ein zweites Paar 4, 4' zur Ablenkung nach links. Die gestrichelte
Linie 5 zeigt die umgeänderte Strahlrichtung an. Man sieht, daß die doppelte Ablenkung nicht merkbar den
Auftreffpunkt 7 verschiebt.
Die Fig. 2 und 3 zeigen eine zweckmäßige Anordnung, in der die elektrischen Pole 3,3' und 4, 4' so
angebracht sind, daß sie auf den Strahl in der in Fig. 1 dargestellten Weise einwirken. In. diesem Fall sind
jedoch die Polschuhe an den Enden der Magnetkerne 8, 9, 10 und 11 angebracht, die ihrerseits auf
einem umgebenden Joch 12 befestigt sind. Die Kerne 8, 9, 10 und 11 haben die Wicklungen 13, 14, 15 und 16.
Nach Fig. 2 sind die Polschuhe 3, 3' und 4, 4' elektrisch
von den Magnetkernen, von denen sie gehalten werden, isoliert.
Wenn in einer solchen Anlage Spannung an die Polschuhe 3, 3 gelegt wird, um den Strahl z. B. nach
rechts in der Zeichenebene abzulenken, dann lenken die Pole 4, 4' ihn nach links ab. In ähnlicher Weise
lenken die Magnetfelder, die den Wicklungen 13 und 16 zuzuschreiben sind, den Strahl nach unten in der
Zeichenebene oder nach oben ab. Die Wicklungen 14 und 15 lenken den Strahl entsprechend aus der Zeichenebene
nach oben oder unten heraus. Eine solche Anordnung läßt, wie man feststellen kann, alle normalerweise
notwendigen Strahljustierungen zu und schafft eine gedrängte Bauart, die keine übermäßige Länge
des Geräts erfordert.
Claims (2)
1. Elektronenoptisches Gerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit Ablenkmitteln, dadurch gekennzeichnet,
daß die Ablenkmittel aus zwei Paaren kombinierter elektrostatischer und magnetischer
Ablenksysteme bestehen, die so angeordnet sind, daß das elektrostatische Ablenksystem des ersten
Paares den Strahl in der einen Richtung und das magnetische Ablenksystem desselben Paares den
Strahl gleichzeitig in einer zu dieser im wesentlichen senkrechten Richtung ablenken, daß das
elektrostatische Ablenksystem und das magnetische Ablenksystem des zweiten Paares den Strahl
gleichzeitig in zwei solche Richtungen ablenken, die den ersten Ablenkrichtungen im wesentlichen
entgegengerichtet sind, und daß die Richtung des auf die Auffangfläche fallenden Strahls ohne nennenswerte
Verschiebung des Auftreffpunktes auf der Auffangfläche zu verändern ist.
2. Elektronenoptisches Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das kombinierte Ablenksystem
aus einem Paar Elektromagneten veränderlicher Stärke besteht, die an entgegengesetzten
Seiten des Elektronenstrahls angeordnet sind und isolierte Polschuhe aufweisen, die an
veränderlicher Spannung liegen.
' In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 899 095 ;
USA.-Patentschrift Nr. 1 691 324.
Deutsche Patentschrift Nr. 899 095 ;
USA.-Patentschrift Nr. 1 691 324.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 009 590/327 8.60
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB345699X | 1955-12-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE1088628B true DE1088628B (de) | 1960-09-08 |
Family
ID=10367261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEM32594A Pending DE1088628B (de) | 1955-12-12 | 1956-12-08 | Elektronenoptisches Geraet |
Country Status (5)
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CH (1) | CH345699A (de) |
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FR (1) | FR1168099A (de) |
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- 1956-12-08 DE DEM32594A patent/DE1088628B/de active Pending
- 1956-12-11 FR FR1168099D patent/FR1168099A/fr not_active Expired
- 1956-12-11 CH CH345699D patent/CH345699A/de unknown
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Also Published As
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