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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Schaltungsplatine mit einer
Versorgungslage und insbesondere eine Schaltungsplatine mit einer
Versorgungslage die in bezug auf eine Dämpfung von hochfrequenten Störungen verbesserte
Eigenschaften aufweist.
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Bei
der Entwicklung von elektronischen Schaltungen stellt sich häufig das
Problem, die Spannungsversorgungen verschiedener Bausteine eines Systems
auf einer Platine so zu gestalten, dass eine sichere Funktion gewährleistet
ist. Dies wird um so schwieriger, je höher die Taktfrequenzen der
digitalen Schaltungsteile sind. Extreme Anforderungen werden an
die Versorgung schneller CMOS-Schaltungen gestellt. Aufgrund der
hohen Taktfrequenzen müssen Pegelwechsel
von Signalen sehr schnell erfolgen. Da die Lastkapazitäten meist
vorgegeben sind, werden die pulsförmigen Stromspitzen der Versorgung
sehr hoch und gleichzeitig breitbandig. Gleichzeitig sollten diese
Stromspitzen keinen Einfluß auf
umliegende Schaltungsteile oder Systeme haben. Es muss also darauf
geachtet werden, dass die Stör-Emissionen möglichst
gering bleiben.
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Meist
wird die Versorgungsspannung von digitalen Schaltungen durch Kapazitäten zwischen
der positiven und negativen Versorgungsschiene geblockt. Dies funktioniert
sehr gut bei Schaltungen mit Taktfrequenzen von einigen MHz. Aufgrund
der parasitären
Induktivität
dieser Kapazitäten,
die vor allem durch die Bauform bestimmt ist, sind dieser Methode bei
hohen Taktraten und steilen Signalflanken Grenzen gesetzt.
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Als
Ausweg bietet sich an, die Versorgungslagen innerhalb einer Platine
nur mit einem sehr dünnen
Dielektrikum (< 100 μm) voneinander
zu isolieren. Dadurch entsteht ein sehr breitbandiges und niederohmiges
Wellenleitersystem, das sehr gut zur Versorgung von schnellen Schaltungen
geeignet ist.
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Allerdings
besitzt dieses System den Nachteil, dass der Wellenleiter räumlich begrenzt
ist und darum für
Wellenleiter typische λ/2-Resonanzerscheinungen
aufweist.
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In
der Druckschrift
DE
198 54 271 A1 (siehe auch
6)
wird eine Lösung
aufgezeigt, die diese Resonanzen eliminiert. Zu diesem Zweck werden eine
oder mehrere Versorgungslagen
600 wabenartig unterteilt
und die Zwischenräume
602 beispielsweise
mit Karbonpaste aufgefüllt,
die einen deutlich höheren
spezifischen Widerstand besitzt, als das umgebende Kupfer, aus dem
die Versorgungslage normalerweise besteht. Auf diese Weise werden
Resonanzerscheinungen durch Dämpfung
eliminiert.
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Die
Grundidee des aus der Druckschrift
DE 198 54 271 A1 bekannten Ansatzes besteht
darin, dass die beiden Versorgungslagen mit dünnem Dielektrikum einen Wellenleiter
mit niedrigem Wellenwiderstand (< 1 Ω) bilden,
der in sich bereits einen ohmschen Widerstandsbelag enthält. Dadurch
ist der Wellenleiter selbst nicht mehr resonanzfähig, da die Wellenenergie im
Wellenleiter in Wärme
umgesetzt wird.
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Nachteilig
an dieser Vorgehensweise ist jedoch, dass auch der ohmsche Widerstand
der Versorgung bei niedrigen Frequenzen erhöht wird. Dies ist ein unerwünschter
Effekt, da der Gleichanteil des Versorgungsstroms zum Teil mehrere
Ampere beträgt.
Als Folge stellt sich unmittelbar am Bauteil selbst eine deutlich
geringere Versorgungsspannung ein als ohne gedämpfte Versorgung. Dies gefährdet den
zuverlässigen
Betrieb der Schaltung. Außerdem fällt durch
eine derartige Dämpfung
von Resonanzerscheinungen eine erheblich erhöhte Verlustleistung bereits
in der Versorgung selbst an, wobei eine erhöhte Abwärme abzuführen ist.
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Ausgehend
von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die
Aufgabe zugrunde, ein gut gedämpftes
und trotzdem niederohmiges Versorgungssystem bei hohen Frequenzen
zur Verfügung
zu stellen, ohne gleichzeitig den Widerstand bei niedrigen Frequenzen
oder Gleichstrom zu erhöhen
und ohne die Störemissionspegel
des Versorgungssystems zu erhöhen.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Schaltungsplatine gemäß Anspruch 1 gelöst.
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine Schaltungsplatine mit folgenden
Merkmalen:
einer elektrisch leitfähigen Lage, die zur Versorgung von
an der Schaltungsplatine anzuordnenden Bauteilen mit einem elektrischen
Potential beaufschlagbar ist, wobei die Lage einen Mittelbereich
und einen Randbereich aufweist; und
einer Dämpfungsstruktur mit einem Widerstand,
die mit dem Randbereich der Lage derart gekoppelt ist, dass eine
sich entlang der Lage ausbreitende Welle aufgrund des Widerstandes
der Dämpfungsstruktur am
Randbereich der Lage stärker
als in dem Mittelbereich der Lage gedämpft wird.
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Erfindungsgemäß wird der
oben beschriebene Ansatz verlassen, den Wellenleiter vollständig mit einem
ohmschen Widerstandsbelag zu versehen und somit den Wellenleiter
nicht resonanzfähig
zu gestalten. Erfindungsgemäß wird der
Wellenleiter selbst unbedämpft
belassen, während
eventuelle Resonanzen durch einen entsprechenden Abschluß an den Enden
des Wellenleiters bedämpft
werden. Die Wellenenergie wird demnach nur am Rand des Wellenleiters
in Wärme
umgesetzt.
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Diese
Vorgehensweise weist den Vorteil auf, dass den Versorgungsströmen bei
niedrigen Frequenzen bzw. Gleichstrom genauso wenig ohmscher Widerstand
entgegengesetzt wird, wie in einer herkömmlichen, unbedämpften Versorgungslage. Gleichzeitig
werden Resonanzen durch die Wellenleiter-Eigenschaften am Randbereich der Versorgungslagen
des Versorgungssystems (insbesondere durch die Dämpfungsstruktur) deutlich reduziert.
Dadurch wird sichergestellt, dass die Versorgungsimpedanz auch bei
Frequenzen niedrig bleibt, bei denen im ungedämpften Fall massive Resonanz-Überhöhungen auftreten würden. Außerdem wird
die Störabstrahlung
der Platine deutlich herabgesetzt.
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Bevorzugte
Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beiliegenden
Zeichnungen näher
erläutert.
Es zeigen:
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1 eine Versorgungslage gemäß einem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Draufsichtdarstellung;
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2A eine Versorgungslage
gemäß einem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Draufsichtdarstellung;
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2B einen Randbereich der
Versorgungslage gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Querschnittsdarstellung;
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3 eine Versorgungslage gemäß einem dritten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Draufsichtdarstellung;
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4 ein Versorgungssystem
mit zwei Versorgungslagen gemäß einem
dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Querschnittsdarstellung;
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5 ein Versorgungssystem
mit zwei Versorgungslagen gemäß einem
fünften
bevorzugten Ausführungsbei spiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Querschnittsdarstellung; und
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6 eine Versorgungslage einer
Schaltungsplatine gemäß dem Stand
der Technik in Draufsichtdarstellung.
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In
der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen
Zeichnungen dargestellten und ähnlich
wirkenden Elemente gleiche Bezugszeichen verwendet.
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1 zeigt eine Versorgungslage
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine,
wobei die Versorgungslage vorzugsweise durch eine Metallschicht 600 (beispielsweise
Kupfer) gebildet ist und einen Mittelbereich 100 und einen
Randbereich 102 aufweist. Die Metallschicht 600 ist
im Mittelbereich 100 durchgehend. Im Randbereich 102 weist
die Metallschicht 600 Unterbrechungen 602 auf,
so dass im Randbereich 102 die Metallschicht 600 durch
die Unterbrechungen 602 wabenförmig strukturiert ist. Weiterhin
weist die erfindungsgemäße Schaltungsplatine eine
Dämpfungsstruktur
in Form von leitfähigem
Material 104 (beispielsweise Karbonpaste) auf, wobei das
leitfähige
Material 104 in den Unterbrechungen 602 angeordnet
ist und einen Widerstand hat, der höher ist als ein Widerstand
der Metallschicht 600. Die Ausdehnung des Randbereichs 102 der
Versorgungslage 600, der gemäß dem ersten bevorzugtem Ausführungsbeispiel
den Mittelbereich 100 der Versorgungslage 600 umgibt,
erstreckt sich ausgehend von einem gedachten Rand der nicht unterbrochenen Metallschicht 600 um
eine vorbestimmte Strecke 106, die kleiner als 10 % einer
Gesamtabmessung 108 der Metallschicht 600 (beispielsweise
zwischen 3 und 5 mm) in Richtung der vorbestimmten Strecke 106 umfasst.
Neben der in 1 gezeigten
wabenförmigen
Struktur unter Verwendung von sechseckigen Polygonen lässt sich
die wabenförmige
Struktur des Randbereichs 102 der Metallschicht 600 auch durch
eine Struktur unter Verwendung von weiteren Polygonen realisieren,
wobei die Polygone wenigsten drei Ecken umfassen. Die Metallfläche 600 (z.B. Kupferflächen) im
Inneren (d.h. im Mittelbereich 100) der Versorgungslagen
bleiben unverändert.
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Durch
eine derart strukturierte Metallschicht 600 lässt sich
eine Versorgungslage realisieren, die im Mittelbereich 100 eine
durchgehende Metallschicht 600 und somit einen niederohmigen
Bereich zur Versorgung von an der Schaltungsplatine anzuordnenden
Bauteilen umfasst. Die durch hochfrequente Schaltvorgänge von
an der Schaltungsplatine anzuordnenden Bauelementen hervorgerufenen hochfrequenten
Pegelschwankungen (Welle) breiten sich entlang des Mittelbereichs 100 der
Metallschicht 600 aus. Erreichen diese Pegelschwankungen
den Randbereich 102 der Metallschicht 600, werden
sie durch den erhöhten
Wellenwiderstand (d.h. den erhöhten
Widerstandsbelag) sowie dissipativen Anteilen im Randbereich 102 der
Metallschicht 600 stärker gedämpft als
im Mittelbereich 100 der Metallschicht 600, wodurch
eine Reflexion der Welle an einer Seitenkante 110 der Schaltungsplatine
unterdrückt
oder zumindest erheblich abgeschwächt wird. Durch den Randbereich 102 der
Metallschicht 600 wird somit erstens sichergestellt, dass
die durch Schaltvorgänge
verursachte Welle im Randbereich 102 der Versorgungslage 600 gedämpft werden,
und zweitens zugleich die Emission von Störungen aus der Versorgungslage 600 über den
Randbereich 102 der Metallschicht 600 bzw. die
Seitenkante 110 der Schaltungsplatine erheblich reduziert
wird.
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2A zeigt die Versorgungslage 600 gemäß einem
zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Draufsichtdarstellung. Die Versorgungslage ist wieder eine Metallschicht 600 auf
einem Substrat, die einen Mittelbereich 100 und einen Randbereich 102 umfasst.
Im Randbereich 102 weist die Metallschicht 600 wieder
Unterbrechungen 602 auf, die gemäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel durchgehend
um den Mittel bereich 100 angeordnet sind. Die Unterbrechungen 602 sind
wieder mit einem leitfähigem
Material 104 (beispielsweise Karbonpaste) verfüllt, das
einen höheren
Widerstand hat als der Widerstand der Metallschicht 600.
Durch die Unterbrechungen 602 und das darin verfüllte leitfähige Material 104 sind
die einzelnen Rahmenelemente 198 voneinander getrennt.
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2B zeigt den Randbereich 102 und
einen Teilbereich des Mittelbereichs 100 des in 2A dargestellten zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiels
an einer Seitenkante 110 der Schaltungsplatine in einer
vergrößerten Querschnittdarstellung. Hierbei
ist die Metallschicht 600 an einem Substrat 200 angeordnet,
wobei die Metallschicht 600 im Mittelbereich 100 durchgehend
ist, während
die Metallschicht 600 im Randbereich 102 Unterbrechungen 602 aufweist,
die mit dem leitfähigen
Material 104 verfüllt
sind. Durch die Unterbrechungen 602 und das darin verfüllte leitfähige Material 104 sind
die einzelnen Rahmenelemente 198 voneinander getrennt.
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Durch
die in 2A und 2B dargestellte und relativ
einfach herzustellende Rahmenelemente 198 von einem oder
mehreren Rahmen um den Mittelbereich 100 der Metallschicht 600 ist
es wiederum möglich,
eine im Mittelbereich 100 hervorgerufene Welle im Randbereich 102 zu
dämpfen.
Die Funktionsweise der in den 2A und 2B dargestellten Rahmenstruktur
als Dämpfungsstruktur
entspricht der vorstehend in 1 beschriebenen
Dämpfungsstruktur
in Wabenform und wird an dieser Stelle nicht nochmals erläutert.
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3 zeigt eine Versorgungslage
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
gemäß einem
dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel
in einer Draufsichtdarstellung. Die Versorgungslage ist wieder eine Metallschicht 600,
die einen Mittelbereich 100 und einen Randbereich 102 aufweist.
Im Randbereich 102 weist die Metallschicht 600 weiterhin
Unterbrechungen 602 auf, die eine kegelförmige Geometrie
umfassen, wie sie z. B. auch bei der Verkleidung von EMV- Meßräumen verwendet
werden, um Hohlleiterresonanzen des Meßraumes zu unterdrücken. Diese Unterbrechungen 602 sind
mit dem leitfähigem
Material 104 verfüllt,
so dass sich im Randbereich 102 durch das leitfähige Material 104 eine
leitfähige Struktur
ergibt, durch welche der Mittelbereich 100 der Metallschicht 600 umgeben
ist.
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Alternativ
zu der in 3 gezeigten
kegelförmigen
Geometrie der Unterbrechungen 602 kommen auch fraktale
Rand-Geometrien
in Betracht.
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Durch
das in 3 gezeigte dritte
bevorzugte Ausführungsbeispiel
einer Versorgungslage der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine unter
Verwendung von kegelförmigen
Geometrien der Unterbrechungen 602 (bzw. von alternativ
zu verwendenden Rand-Geometrien der Unterbrechungen 602) lässt sich
somit wieder im Randbereich 102 eine Dämpfung bzw. Absorption einer
durch Schaltvorgänge
der Bauelemente im Mittelbereich 100 erzeugten Welle erzielen.
Hierdurch wird wieder eine deutliche Reduktion von Wellenreflexionen
im Randbereich 102 der Metallschicht 600 sowie
eine deutliche Reduktion von Störemissionen
aus der Schaltungsplatine erreicht.
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Die 1 bis 3 beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
wurden anhand einer einzelnen Versorgungslage der Schaltungsplatine
erläutert.
Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die Verwendung einer
Schaltungsplatine mit einer einzelnen Versorgungslage beschränkt; vielmehr
kommen auch Schaltungsplatinen mit zwei oder mehr Versorgungslagen
zur Versorgung von an der Schaltungsplatine anzuordnenden Bauteilen
mit einem elektrischen Potential in Betracht, wobei mindestens eine Versorgungslage
eine Dämpfungsstruktur
aufweist. Die einzelnen Versorgungslagen sind jeweils durch eine
Dielektrikumsschicht voneinander getrennt, wobei benachbarte Versorgungslagen
jeweils einen Wellenleiter bilden. Die einzelnen Versorgungslagen lassen
sich mit jeweils einem aus mehreren elektrischen Potentialen (bei spielsweise
einem negativen elektrischen Potential, einem positiven elektrischen Potential
oder einem Massepotential) beaufschlagen, wobei ein auf der Schaltungsplatine
abzuordnendes Bauteil mit einer Differenz zwischen den elektrischen
Potentialen von zwei getrennten Versorgungslagen versorgbar ist.
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4 zeigt ein viertes bevorzugtes
Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Querschnittsdarstellung. Gemäß dem vierten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
umfasst die Schaltungsplatine ein weiteres Substrat 400 mit
einer ersten Hauptoberfläche 402 und
einer zweiten Hauptoberfläche 404.
Auf der zweiten Hauptoberfläche 404 des weiteren
Substrats 400 ist eine weitere Metallschicht 406 angeordnet.
Auf der weiteren Metallschicht 406 ist eine Dielektrikumsschicht 408 angeordnet.
Ferner ist auf der Dielektrikumsschicht 408 die Metallschicht 600 angeordnet,
auf der das Substrat 200 angeordnet ist, wobei das Substrat 200 eine
erste Hauptoberfläche 410 und
eine zweite Hauptoberfläche 412 umfasst
und zweite Hauptoberfläche 412 des
Substrats 200 die Metallschicht 600 berührt. Die
Metallschicht 600 weist wieder einen Mittelbereich 100 und
einen Randbereich 102 auf. Im Randbereich 102 der
Metallschicht 600 sind wieder Unterbrechungen 602 ausgebildet
Die weitere Metallschicht 406 weist ebenfalls einen Mittelbereich 420 und
einen Randbereich 422 auf.
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Gemäß dem vierten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung sind die Unterbrechungen 602 der
Metallschicht 600 durch einen diskreten ohmschen Widerstand 430 überbrückt, der
auf der ersten Hauptoberfläche 410 des
Substrats 200 angeordnet ist und mittels Durchkontaktierungen 432 mit
der Metallschicht 600 leitfähig verbunden ist. Die weitere
Metallschicht 406 weist im Randbereich 422 ebenfalls
Unterbrechungen 440 auf, die mittels einem diskreten ohmschen
Widerstand 442, der an der ersten Hauptoberfläche 402 des
weiteren Substrats 400 angeordnet ist, überbrückt sind und über Durchkontaktierungen 444 mit der
weiteren Metallschicht 406 verbunden sind.
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Durch
die in 4 gezeigte Struktur
einer erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
gemäß dem vierten
Ausführungsbeispiel
ist es möglich,
ein Versorgungssystem mit zwei verschiedenen Versorgungslagen bereitzustellen,
wobei die einzelnen Versorgungslagen durch die Metallschicht 600 und
die weitere Metallschicht 604 ausgebildet sind. Durch die in 4 gezeigte Anordnung ist
es ferner möglich, durch
die diskreten Widerstände 430 und 442 eine durch
Schaltvorgänge
im Mittelbereich 100, 420 entstandene Welle im
Randbereich 102, 422 zu dämpfen, die sich entlang dem
durch die Metallschicht 600 und der weiteren Metallschicht 406 ausgebildeten Wellenleiter
bewegt. Eine derartige Struktur ist insbesondere dann vorteilhaft,
wenn sich zusätzlich
zum Leitermaterial in der Metallschicht 600 und der weiteren
Metallschicht 406 (die in der Regel Kupfer-Material umfasst)
kein zusätzliches
Material in der Metallschicht integrieren lässt. Durch die diskreten ohmschen
Widerstände 430 und 442 auf
der ersten Hauptoberfläche 410 des
Substrats 200 und der ersten Hauptoberfläche des
weiteren Substrats 400 wird in Verbindung mit den Durchkontaktierungen 432, 444 ein
Dämpfungseffekt
im Randbereich 102, 422 des Wellenleiters erreicht,
der dem Dämpfungseffekt der
vorstehend beschriebenen Strukturierung des Randbereichs 102 der
Metallschicht 600 entspricht.
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Analog
zu der in 4 dargestellten
Struktur einer erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
lassen sich zum Dämpfen
von Wellen auf dem Versorgungssystem anstelle der diskreten ohmschen
Widerstände
auch Ferritperlen verwenden, die an der ersten Hauptoberfläche des
Substrats und der ersten Hauptoberfläche des weiteren Substrats
angeordnet sind und gleichstrommäßig von
der Versorgungslage isoliert sind. Durch Ferritperlen lassen sich
der Randbereich 102, 422 mit dem Mittelbereich 100, 420 für niedrige
Frequenzen nieder ohmig verbinden. Hohe Frequenzen werden dagegen
stark gedämpft.
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In 5 ist ein fünftes bevorzugtes
Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
in Querschnittsdarstellung wiedergegeben. Die in 5 dargestellte Schaltungsplatine umfasst hierbei
wiederum ein weiteres Substrat 400 mit einer ersten Hauptoberfläche 402 und
einer zweiten Hauptoberfläche 404.
Auf der zweiten Hauptoberfläche 404 ist
eine weitere Metallschicht 406 angeordnet. Auf der weiteren
Metallschicht 406 ist eine Dielektrikumsschicht 408 angeordnet,
auf welcher die Metallschicht 600 angeordnet ist. Auf der
Metallschicht 600 ist das Substrat 200 mit der
ersten Hauptoberfläche 410 und
der zweiten Hauptoberfläche 412 angeordnet,
wobei das Substrat 200 über
die zweite Hauptoberfläche 412 mit
der Metallschicht 600 verbunden ist. Weiterhin umfasst
die Schaltungsplatine benachbart zu der Seitenkante 110 der
Schaltungsplatine eine Isolationsschicht 500, durch welche die
Metallschicht 600 und die weitere Metallschicht 604 elektrisch
von der Seitenkante 110 der Schaltungsplatine isoliert
sind. Weiterhin umfasst die erfindungsgemäße Schaltungsplatine gemäß dem fünften bevorzugten
Ausführungsbeispiel
einen leitfähigen Rahmen 502,
der extern an der Seitenkante 110 der Schaltungsplatine
angeordnet ist. Der leitfähige
Rahmen 502 weist vorzugsweise ein U-förmiges Profil auf, wobei der
leitfähige
Rahmen 502 derart an der Seitenkante 110 der Schaltungsplatine
angeordnet ist, dass durch den leitfähigen Rahmen 502 die
Seitenkante 110, ein Teilbereich der ersten Hauptoberfläche 410 des
Substrats 200 und ein Teilbereich der ersten Hauptoberfläche 402 des
weiteren Substrats 400 bedeckt ist. Der leitfähige Rahmen 502 ist
ferner kapazitiv mit der Metallschicht 600 und der weiteren Metallschicht 406 gekoppelt.
Weiterhin weist der leitfähige
Rahmen 502 ein Material auf, das einen höheren Widerstand
aufweist als die Metallschicht 600 oder die weitere Metallschicht 406.
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Durch
die in 5 dargestellte
Struktur einer erfindungsgemäßen Schaltungsplatine
lassen sich im Mittelbereich 100 der Metallschicht 600 bzw.
im Mittelbereich 420 der weiteren Metallschicht 406 durch
Schaltvorgänge
entstandenen Wellen dadurch dämpfen,
dass die Wellen über
die kapazitive Kopplung im Randbereich 102 der Metallschicht 600 bzw. dem
Randbereich 422 der weiteren Metallschicht 406 in
den leitfähigen
Rahmen 502 einkoppeln, in dem die Wellenenergie durch den
höheren
Widerstand des leitfähigen
Rahmens 502 gegenüber
dem Widerstand der Metallschicht 600 bzw. der weiteren
Metallschicht 406 in Wärme
umgesetzt wird. Die Metallschicht 600 und die weitere Metallschicht 406 stellen somit
ein breitbandiges niederohmiges Versorgungssystem bei gleichzeitig
geringen Störemissionspegeln
und guter Dämpfung
von hohen Frequenzen zur Verfügung,
wobei die Verwendung des leitfähigen Rahmens 502 von
den beschriebenen Dämpfungsstrukturen
den geringsten Platzbedarf auf der Platine erfodert.