DE102011004391A1

DE102011004391A1 - Kalibrierbarer Magnetfeldsensor und Verfahren zur Herstellung desselben

Info

Publication number: DE102011004391A1
Application number: DE201110004391
Authority: DE
Inventors: Markus Stahl-Offergeld; Roland Ernst; Dr. Hohe Hans-Peter
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2011-02-18
Filing date: 2011-02-18
Publication date: 2012-08-23
Also published as: US20120212216A1; US9116192B2; EP2490037A1; EP2490037B1

Abstract

Magnetfeldsensor (10) mit einem in einem Halbleitersubstrat (12) angeordneten vertikalen Hall-Sensorelement (14), und einer Erregerleiteranordnung (16) mit zumindest einem Erregerleiter (16-1), wobei der Erregerleiter (16-1) in einer Erregerleiterebene (E1) angeordnet ist, die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h1, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh1 aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet ist, und ferner einen lateralen Abstand d1 als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche (12a) senkrecht zu dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) befindet, aufweist, und wobei der laterale Abstand d1 so dimensioniert ist, dass sich eine vertikale Kalibrierkomponente B1x einer von der Erregerleiteranordnung (16) in dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) erzeugten, magnetischen Flussdichte B1 innerhalb des Toleranzbereiches Δh1 für den vertikalen Abstand h1 um weniger als 5% ändert.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen kalibrierbaren Magnetfeldsensor mit einem vertikalen Hall-Sensorelement und auf ein Verfahren zur Herstellung desselben.
Zur Bestimmung der Empfindlichkeit eines Magnetfeldsensors wird durch Einprägen eines definierten Stroms in eine Spule oder einen Erregerleiter ein Magnetfeld mit möglichst bekannter magnetischer Flussdichte am Ort des Sensors erzeugt. Über die resultierende Änderung des Ausgangssignals des Magnetfeldsensors bei Anliegen eines Kalibriermagnetfelds kann dann auf die Empfindlichkeit des Sensors geschlossen werden. Bei einem Hall-Sensorelement kann also über eine Änderung der Hall-Spannung, die durch eine Änderung der magnetischen Flussdichte im Sensorelement hervorgerufen wird, auf die tatsächliche Empfindlichkeit des Hall-Sensorelements geschlossen werden.
Bei Erregerspulen oder Erregerleiterstrukturen kann das Problem entstehen, dass während der Herstellung des Magnetfeldsensors in einem Halbleitersubstrat die einzelnen Schichtstrukturen Prozessschwankungen, wie sie bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen typischerweise auftreten, unterworfen sind. Diese Prozessschwankungen sind bei einem Halbleiterbauelement in vertikaler Richtung, d. h. in einer Richtung senkrecht zur Substratoberfläche, im Allgemeinen erheblich größer als in einer lateralen Richtung, d. h. in einer Ebene parallel zu der Halbleitersubstratoberfläche. Dementsprechend kann ein tatsächlicher Abstandswert zwischen dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements und der Erregerleiterstruktur von einem während der Herstellung angestrebten idealen Abstandswert abweichen. Da bei einer Kalibrierung des Magnetfeldsensors mittels eines von einem definierten Kalibrierstrom erzeugten Magnetfeldes auch die Lage bzw. der effektive Abstand der Erregerleitung zu dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements eingeht, kann es aufgrund von nicht berücksichtigten Prozesstoleranzen zu einer ungenauen Kalibrierung des Magnetfeldsensors kommen.
In den 6a–b ist eine Prinzipdarstellung in Form einer Draufsicht und einer Schnittansicht eines vertikalen Hall-Sensorelements 100 in einem Halbleitersubstrat 108 dargestellt Mit vertikal ist eine Ebene senkrecht zur Halbleitersubstrat- bzw. Chipoberfläche 108a, also vertikal zur x–z-Ebene in 6a–b, gemeint. Das in den 6a–b dargestellte vertikale Hall-Sensorelement 100 weist fünf Kontaktbereiche 102a–e entlang der Hauptoberfläche des aktiven Halbleiterbereichs 104 auf. Vertikale Hall-Sensoren, die eine Magnetfeldkomponente B_0x, im aktiven Bereich parallel zur Substratoberfläche (in x-Richtung) erfassen können, können für eine Kalibrierung mittels eines mit einem Kalibrierungsstrom I₀ durchflossenen Erregerleiters 106 gezielt mit einer Kalibrierungsflussdichte B →₀ versehen werden. Der Erregerleiter 106 ist dabei, wie dies schematisch in 6a dargestellt ist, in einer Höhe h₀ oberhalb direkt bzw. senkrecht oberhalb des Hall-Sensorelements 100 angeordnet. Wie ferner in den 6a–b dargestellt ist, weist beispielsweise der aktive Bereich 104 des Hall-Sensorelements 100 eine Breite so auf, während der Erregerleiter 106 eine Breite e₀ aufweist.
So lässt sich beispielsweise die durch den Erregerleiter 106 am Ort des Sensors erzeugte magnetische Flussdichte B_0x basierend auf dem Abstand h₀ zwischen dem Hall-Sensorelement 100 und dem Erregerleiter 106, der Sensorbreite s₀, der Erregerleiterbreite eo und dem Strom I₀ durch den Erregerleiter 106 näherungsweise vorgeben.
Bei einem vertikalen Hall-Sensorelement können sich die oben erwähnten Prozesstoleranzen besonders stark auswirken, da der Abstand h₀ zwischen dem aktiven Bereich 104 des Hall-Sensorelements 100 und dem Erregerleiter 106 durch Prozessschwankungen bzw. Prozesstoleranzen häufig in einem Bereich von ± 40% des eigentlichen Sollabstandes h₀ variieren kann. Als Folge kann die Empfindlichkeit von vertikalen Hall-Sensorelementen nur mit relativ niedriger Genauigkeit bestimmt werden.
In 7 ist nun beispielsweise die Abhängigkeit der magnetischen Flussdichte B_0x (z. B. in μT) von der Höhe h₀ (in μm) des Erregerleiters 106 oberhalb des aktiven Bereichs 104 des Hall-Sensorelements 100 dargestellt. Dabei fällt die magnetische Flussdichte B_0x proportional zu 1/h₀ über dem Abstand h₀ ab. Geht man beispielsweise von einem Abstand h₀ von 5 μm aus, ergeben sich innerhalb eines Toleranzbereiches von beispielsweise nur etwa ± 20% (± 1 μm) des Abstands h₀ deutliche Unterschiede zu den erwarteten Werten für die magnetische Flussdichte B_0x im aktiven Bereich 104 des Hall-Sensorelements 100. So bewirken bereits relativ geringe Änderungen Δh₀ des Abstands h₀ relativ starke Änderungen der in dem aktiven Bereich 104 des Hall-Sensorelements 100 erzeugten magnetischen Flussdichte B_0x.
8 zeigt nun die Änderung der magnetischen Flussdichte B →₀ am Ort des Sensors, d. h. im aktiven Bereich des Hall-Sensorelements 100, in Abhängigkeit von den Prozesstoleranzen Δh₀ bezüglich des Abstands h₀. Geht man nun wieder von einem Sollabstand h₀ von 5 um aus, beträgt die bei einer vorgegebenen Kalibrierstromstärke I₀ erwartete magnetische Flussdichte B_0x z. B. 33 μT. Variiert nun aber beispielsweise aufgrund der Prozesstoleranzen der Abstand h₀ um etwa Δh₀ = ± 20% (z. B. ± 1 μm) ergibt sich bei einem Abstand h₀ von 4 mm eine resultierende magnetische Flussdichte von etwa 38 μT, während sich bei einem Abstand h₀ von 6 mm eine resultierende magnetische Flussdichte von etwa 28 μT ergibt. Damit schwankt die resultierende magnetische Flussdichte B_0x bereits um mehr als 25%, falls aufgrund von Prozessschwankungen der Abstand h₀ lediglich einem Toleranzbereich von Δh₀ = ± 20% ausgesetzt ist. Tatsächlich können häufig Prozessschwankungen von ± 40% für Schichtdicken bei Halbleiterherstellungsprozessen auftreten. Dadurch gestaltet sich eine exakte Bestimmung der Empfindlichkeit des Hall-Sensorelements 100 zumindest als sehr ungenau, wenn die Kalibrierung nicht unter Kenntnis des tatsächlichen Abstandswerts h₀ ± Δh₀, sondern lediglich mit einem angenommenen, in der Realität aber wegen der Prozesstoleranzen Δh₀ bei der Herstellung oft nicht vollständig korrekten bzw. ungenauen Erregerleiterabstand h₀ durchgeführt wird.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, einen kalibrierbare Magnetfeldsensor und ein Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen, wobei sich bei dem kalibrierbaren Magnetfeldsensor etwaige Herstellungsprozesstoleranzen bei einem Kalibriervorgang nur sehr geringfügig auf eine exakte Bestimmung der Empfindlichkeit der Hall-Sensoranordnung auswirken.
Diese Aufgabe wird durch den erfindungsgemäßen Magnetfeldsensor gemäß Anspruch 1 und durch das Verfahren zum Herstellen eines Magnetfeldsensors gemäß Anspruch 8 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Der Kerngedanke der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass eine Erregerleiteranordnung mit einem Erregerleiter oder einer Mehrzahl von Erregerleitern in einem Magnetfeldsensor bzw. einer kalibrierbaren Magnetfeldsensoranordnung seitlich versetzt zu einer Mittenposition, die sich senkrecht oberhalb bzw. unterhalb zu dem vertikalen Hall-Sensorelement befindet, angeordnet wird, wobei der Versatz bzw. laterale Abstand zu der Mittenposition so in Abhängigkeit von dem vertikalen Abstand eingestellt wird, dass herstellungsbedingte Prozessschwankungen einen deutlich geringeren Einfluss auf einen Kalibriervorgang haben, ohne dass die tatsächlich auftretenden Prozessschwankungen quantitativ bekannt sein müssen. Aufgrund des seitlichen Versatzes des Erregerleiters zu der Mittenposition hat die von dem Hall-Sensorelement erfassbare, vertikale Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte in dem aktiven Halbleiterbereich des Hall-Sensorelements in Abhängigkeit von dem vertikalen Abstand bzw. der Höhe zwischen dem Erregerleiter und dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements einen Verlauf, der ein lokales Maximum aufweist und damit in dem Bereich um das lokale Maximum eine sehr geringe Abhängigkeit der magnetischen Flussdichte von prozessbedingten Abstandsschwankungen zeigt.
Als vertikaler Abstand bzw. als Höhe zwischen dem Erregerleiter und dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements wird der Abstand zwischen einer Ebene, die durch den Schwerpunkt bzw. die Schwerpunktlinie des Erregerleiters definiert ist, und einer Ebene, die durch den Schwerpunkt bzw. die Schwerpunktlinie des aktiven Bereichs des Hall-Sensorelements definiert ist, angesehen, wobei beide Ebenen parallel zueinander und zu der Halbleitersubstratoberfläche sind.
Da bei Halbleiterherstellungsprozessen laterale Abmessungen erheblich geringeren Prozessschwankungen unterliegen, kann mm der laterale Abstand bzw. seitliche Versatz des Erregerleiters zu der Mittenposition exakt so dimensioniert werden, dass sich die resultierende Kalibrierungskomponente einer von der Erregerleiteranordnung in dem aktiven Bereich des vertikalen Hall-Sensorelements erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des Toleranzbereichs für den vertikalen Abstand um weniger als 5% oder sogar 1% ändert. Dabei wird angenommen, dass beispielsweise ein vorgegebener Kalibrierungsstrom I₁ in den Erregerleiter eingespeist wird.
Die in dem aktiven Bereich des vertikalen Hall-Sensorelements erzeugte vertikale Kalibrierkomponente der magnetischen Flussdichte ist somit im Wesentlichen unabhängig von den bei der Herstellung eines vertikalen Hall-Sensorelements auftretenden und häufig unvermeidbaren Prozesstoleranzen. Der erfindungsgemäße kalibrierbare Magnetfeldsensor ist nun auch ohne Kenntnis der durch Prozesstoleranzen hervorgerufenen Änderung(en) von vertikalen Abmessungen der resultierenden Schichtstruktur äußerst exakt kalibrierbar.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1a–b eine Prinzipdarstellung in einer Draufsicht und einer Schnittansicht eines kalibrierbaren Magnetfeldsensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
2 einen prinzipiellen Verlauf der magnetischen Flussdichte aufgrund der seitlich versetzten Anordnung des Erregerleiters und in Abhängigkeit von dem vertikalen Abstand gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
3 einen prinzipiellen Verlauf der magnetischen Flussdichte in einem Toleranzbereichs für den vertikalen Abstand gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
4a–b eine Prinzipdarstellung in einer Draufsicht und einer Schnittansicht eines kalibrierbaren Magnetfeldsensors gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
5 ein schematisches Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines kalibrierbaren Magnetfeldsensors gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
6a–b eine Prinzipdarstellung in einer Draufsicht und einer Schnittansicht eines Magnetfeldsensors gemäß dem Stand der Technik;
7 einen prinzipiellen Verlauf der magnetischen Flussdichte bei einem Magnetfeldsensor gemäß dem Stand der Technik; und
8 einen prinzipiellen Verlauf der magnetischen Flussdichte bei einem Magnetfeldsensor in Abhängigkeit von Prozesstoleranzen dem Stand der Technik.
Bevor nachfolgend die vorliegende Erfindung im Detail anhand der Zeichnungen näher erläutert wird, wird darauf hingewiesen, dass identische, funktionsgleiche oder gleichwirkende Elemente in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind, so dass die in unterschiedlichen Ausführungsbeispielen dargestellte Beschreibung dieser Elemente untereinander austauschbar ist bzw. aufeinander angewendet werden kann.
Im Folgenden wird mm anhand von 1a–b ein erstes Ausführungsbeispiel für einen kalibrierbaren Magnetfeldsensor 10 gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.
1a–b zeigen nun in einer schematischen Schnittdarstellung den kalibrierbaren Magnetfeldsensor 10 mit dem in einem Halbleitersubstrat 12 angeordneten vertikalen Hall-Sensorelement 14 und die zu dem Hall-Sensorelement 14 beabstandeten Erregerleiteranordnung 16. Bei dem in 1a–b dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Erregerleiteranordnung 16 einen Erregerleiter 16-1 auf. Wie ferner in den 1a–b dargestellt ist, weist beispielsweise der aktive Bereich 14a des Hall-Sensorelements 14 eine Breite s auf, während der Erregerleiter 16-1 eine Breite e₁ aufweist. Das vertikale Hall-Sensorelement 14 weist in 1a beispielsweise fünf Kontaktbereiche 18a–e an der Hauptoberfläche 12a des Halbleitersubstrats 12 entlang des aktiven Halbleiterbereichs 14 auf. Das vertikale Hall-Sensorelement 14 kann aber auch eine andere Anzahl und Anordnung von Kontaktbereichen aufweisen.
Wie nun in 1b entlang der Schnittlinie A₁A₁' von 1a dargestellt ist, ist bei dem erfindungsgemäßen kalibrierbaren Magnetfeldsensor 10 der Erregerleiter 16-1 in einer Erregerleiterebene E₁ (parallel zur x–z-Ebene), die beispielsweise durch einen geometrischen Schwerpunkt bzw. eine Schwerpunktlinie L₁ des Erregerleiters 16-1 verläuft, parallel zu der Substratoberfläche 12a in einem vertikalen Abstand bzw. einer Höhe h₁ von einer Ebene E₂ (parallel zur x–z-Ebene), die durch einen Schwerpunkt bzw. eine Schwerpunktlinie L₂ des aktiven Bereichs 14a des Hall-Sensorelements 14 verläuft, beabstandet. Der vertikale Abstand h₁ ist beispielsweise bei einem Halbleiterherstellungsprozess Prozesstoleranzen bzw. Prozessschwankungen Δh₁ ausgesetzt. Der Erregerleiter 16-1 ist mm ferner in einem lateralen Abstand d₁ als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche 12a senkrecht oberhalb (oder optional auch unterhalb) des vertikalen Hall-Sensorelements 14 befindet, angeordnet.
Somit können sich aufgrund der Prozessschwankungen Änderungen für den vertikalen Abstand h₁ zwischen der Ebene E₁, die durch den Schwerpunkt bzw. die Schwerpunktlinie L₁ des Erregerleiters 16-1 verläuft, und der Ebene E₂, die durch den Schwerpunkt bzw. die Schwerpunktlinie L₂ des aktiven Bereichs 14a des Hall-Sensorelements 14 verläuft, ergeben, wobei beide Ebenen E₁, E₂ parallel zueinander und zu der Halbleitersubstratoberfläche 12a sind.
Auf der Halbleitersubstratoberfläche 12a können beispielsweise mehrere, unterschiedliche Prozesslagen gebildet sein, wie z. B. eine Metall-1-Prozesslage für die Kontaktanschlüsse 18a–d zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 sowie eine Metall-2-Prozesslage, in der z. B. die Erregerleiteranordnung 16 mit dem Erregerleiter 16-1 ausgebildet sein kann. Natürlich können beispielsweise noch eine oder mehrere weitere Metall-Prozesslagen vorgesehen sein, um die Kontaktanschlüsse 18a–d zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 sowie die Erregerleiteranordnung 16 mit dem Erregerleiter 16-1 auszubilden. Der Erregerleiter 16-1 kann als Leiterbahn eines Halbleiterbauelements ausgebildet sein. Zwischen einzelnen Metallisierungsschichten, z. B. Metall-1 und Metall-2 etc., bzw. auf der Halbleitersubstratoberfläche 12a können Isolationsschichten, z. B. aus einem Oxid- oder Nitrid-Material, angeordnet sein, die in 1a–b nicht explizit dargestellt sind.
Wird nun ein Strom I₁ (mit einer Stromstärke von z. B. 1 mA) in den Erregerleiter 16-1 eingeprägt und fließt z. B. in einer Richtung aus der Zeichenebene von 1b heraus (z-Richtung), so wird durch den Stromfluss eine magnetische Flussdichte B →₁ am Ort des Sensors, d. h. im Schwerpunkt des aktiven Bereichs 14a des vertikalen Hall-Sensorelements 14, hervorgerufen. Die magnetischen Feldlinien 20 sind in diesem Ausführungsbeispiel radial um den Erregerleiter 16-1 in der x–y-Ebene angeordnet, wobei das Hall-Sensorelement. eine Magnetfeldkomponente B_1x in x-Richtung detektieren kann. Bei der magnetischen Flussdichte B →₁ handelt es sich um einen Vektor, der beispielsweise in einem kartesischen Koordinatensystem mit linear unabhängigen Ortsvektoren x, y, z entsprechenden Magnetfeldkomponenten B_1x, B_1y und B_1z darstellbar ist.
Die in 1a–b dargestellte Anordnung des Erregerleiters 16-1 bezüglich des aktiven Bereichs 14a des Hall-Sensorelements 14 mit dem lateralen Versatz d₁ des Erregerleiters 16-1 zu der Mittenposition ergibt nun (näherungsweise) eine magnetische Flussdichte B_1x in Empfindlichkeitsrichtung (in x-Richtung von 1a–b) des vertikalen Hall-Sensorelements 14 gemäß folgender Gleichung:
Dabei stellt d₁ den seitlichen Versatz des Erregerleiters 16-1 bezüglich der Mittenposition dar, während der aktive Bereich 14a des vertikalen Hall-Sensorelements 14 eine effektive Breite s aufweist, und der Erregerleiter 16 eine Breite e₁ (in der Ebene E₁) aufweist.
Durch den erfindungsgemäß vorgenommenen seitlichen Versatz d₁ des Erregerleiters 16-1 in der Erregerleiterebene E₁ zu der Mittenposition ergibt sich ein resultierender Verlauf der magnetischen Flussdichte B_1x in Abhängigkeit des vertikalen Abstandes h₁ und bei einer Stromstärke I₁ von z. B. 1 mA, wie dies anhand von 2 dargestellt ist. Aus 2 wird ersichtlich, dass ab einem Wert für den vertikalen Abstand von h₁ = 0 [μm] und bei einer Stromstärke I₁ von z. B. 1 mA die magnetische Flussdichte B_1x von einem Wert nahe 0 [μT] ansteigt. Ein vertikaler Abstand h₁ = 0 bedeutet, dass sich der Erregerleiter 16 und der aktive Bereich des Hall-Sensorelements 14 parallel in einer Ebene zueinander befinden würden. In diesem Fall würde somit die resultierende Komponente B_1y der magnetischen Flussdichte B →₁ das vertikale Hall-Sensorelement 14 senkrecht zu dessen Empfindlichkeitsrichtung durchdringen und i. W. kein Ausgangssignal erzeugen. Mit einem sich erhöhenden Wert für den vertikalen Abstand h₁ steigt nun die resultierende Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte B →₁, die von dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 erfassbar ist, bis zu einem Maximalwert B →_1xmax an und fällt dann relativ langsam nach einem Plateaubereich bzw. dem lokalem Maximum B →_1xmax mit steigenden Werten für den vertikalen Abstand h₁ wieder ab.
Die obigen Werte für die gewählte Stromstärke I₁ und den vertikalen Abstand h₁ sind nur als beispielhaft anzusehen, um den in 2 und 3 qualitativ dargestellten Verlauf der magnetischen Flussdichte B_1x(h₁) in Abhängigkeit des vertikalen Abstandes h₁ zu erhalten.
Erfindungsgemäß wird nun unter Kenntnis des Verlaufs der resultierenden Magnetfeldkomponente B_1x der in dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements erzeugten Flussdichte B →₁ der laterale Abstand d₁ des Erregerleiters 16 zu der Mittenposition so dimensioniert bzw. eingestellt, dass bei einem vorgegebenen vertikalen Abstand h₁ (z. B. h₁ = 5 μm), der beispielsweise Prozesstoleranzen ausgesetzt ist und innerhalb eines Toleranzbereichs von Δh₁ (z. B. ± 1 μm) schwanken kann, der Verlauf der Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte B →₁ innerhalb des für den vertikalen Abstand h₁ ± Δh₁ zu erwartenden Toleranzbereichs einen möglichst hohen aber auch einen über diesen Toleranzbereich möglichst linearen Verlauf aufweist. Dies wird mm erfindungsgemäß erreicht, indem der Wert für den lateralen Abstand d₁ in Abhängigkeit des vertikalen (Soll-)Abstands h₀ so gewählt wird, dass der Verlauf der Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte in dem Hall-Sensorelement 14 den (lokalen) Maximalwert mit einem möglichst linearen Bereich für den Wert des vertikalen Abstands h₁ und dessen Toleranzbereich h₁ ± Δh₁ aufweist, d. h. in einem Bereich um das lokale Maximum B_1x-max von 2 liegt.
Wie nun in 3 dargestellt ist, die eine Ausschnittsvergrößerung des Verlaufs der Komponente B_1x im Bereich des lokalen Maximums B_1x-max darstellt, variiert die durch den versetzt platzierten Erregerleiter 16-1 erzeugte Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte B →₁ nur noch um etwa ± 1% über den Bereich für Prozesstoleranzen h₁ ± Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁. Wird beispielsweise angenommen, dass der vertikale (Soll-)Abstand h₁ = 5 μm beträgt, und Prozesstoleranzen von ± 20% auftreten können, kann der tatsächliche vertikale Abstand h₁ Werte in einem Bereich von h₁ = 4 bis 6 μm aufweisen. Diese Prozesstoleranzen wirken sich aber nur äußerst gering bei einer Empfindlichkeitsmessung bzw. einem Kalibriervorgang des vertikalen Hall-Sensorelements 14 aus, wie dies aus dem nahezu linearen Verlauf der Magnetfeldkomponente B_1x über dem vertikalen Abstand h₁ von 3 deutlich wird.
Da der Maximalwert B_1x-max des Verlaufs der Komponente B_1x der magnetischen Flussdichte B →₁ in dem aktiven Bereich 14a des Hall-Sensorelements 14 von dem seitlichen Versatz d₁ des Erregerleiters 16-1 abhängt, kann der laterale Abstand d₁ gezielt so dimensioniert werden, dass der Einfluss von Prozesstoleranzen auf die Empfindlichkeitsmessung bzw. den Kalibriervorgang des Hall-Sensorelements 14 deutlich reduziert ist. Erfindungsgemäß ist beispielsweise der laterale Abstand d₁ gezielt so einstellbar, dass sich eine vertikale Kalibrierkomponente B_1x bei einem vorgegebenen Stromfluss bzw. Kalibrierstrom I₁ und einer entsprechend in dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 erzeugten, magnetischen Flussdichte B →₁ bzw. deren x-Komponente B_1x in dem Toleranzbereich Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ um weniger als 5% oder 1% ändert.
Im Folgenden wird nun Bezug nehmend auf 4a–b ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen kalibrierbaren Magnetfeldsensors 10 beschrieben. Wie in 4a–b dargestellt ist, weist die Erregerleiteranordnung 16 zusätzlich zu dem ersten Erregerleiter 16-1 einen weiteren, zweiten Erregerleiter 16-2 auf. Der zweite Erregerleiter 16-2 ist wiederum in einer Erregerleiterebene E'₁ angeordnet, die parallel zu der Substratoberfläche 12a in einem vertikalen Abstand h₂, die beispielsweise wiederum aufgrund von Prozessschwankungen einem Toleranzbereich Δh₂ ausgesetzt ist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 beabstandet. Ferner weist der zweite Erregerleiter 22 einen lateralen Abstand d₂ als Versatz zu der Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche 12a senkrecht oberhalb zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 befindet, auf.
Wie in 4b schematisch dargestellt ist, ist das Sensorelement 14 in dem Halbleitersubstrat 12 ausgebildet, wobei auf der Halbleitersubstratoberfläche 12a mehrere Prozesslagen, z. B. eine Metall-1-Prozesslage (nicht gezeigt in 4b) für etwaige Kontaktanschlüsse zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 sowie eine Metall-2-Prozesslage, vorgesehen sind, in der der erste und der zweite Erregerleiter 16-1, 16-2 ausgebildet sind. Natürlich können beispielsweise noch eine oder mehrere weitere Metall-Prozesslagen vorgesehen sein, um die Kontaktanschlüsse 18a–d zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 sowie die Erregerleiteranordnung 16 mit den Erregerleitern 16-1, 16-2 etc. auszubilden. Der erste und zweite Erregerleiter 16-1, 16-2 können als integrierte Leiterbahnen oberhalb des Halbleitersubstrats 12 angeordnet sein, wobei zwischen den einzelnen Metallisierungsschichten Metall-1 und Metall-2 etc. bzw. der Halbleitersubstratoberfläche 12a isolierende Schichten (nicht gezeigt in 4) angeordnet sein können.
Wie ferner in den 4a–b dargestellt ist, weist beispielsweise der aktive Bereich 14a des Hall-Sensorelements 14 eine Breite s auf, während der Erregerleiter 16-1 eine Breite e₁ und der Erregerleiter 16-2 eine Breite e₂ aufweist. Das vertikale Hall-Sensorelement 14 weist in 4a beispielsweise wieder fünf Kontaktbereiche 18a–e an der Hauptoberfläche 12a des Halbleitersubstrats 12 entlang des aktiven Halbleiterbereichs 14 auf. Das vertikale Hall-Sensorelement 14 kann aber auch eine andere Anzahl und Anordnung von Kontaktbereichen aufweisen.
Wie mm in 4b entlang der Schnittlinie A₂A₂' von 4a dargestellt ist, ist bei dem erfindungsgemäßen kalibrierbaren Magnetfeldsensor 10 der erste Erregerleiter 16-1 in einer Erregerleiterebene E₁ (parallel zur x–z-Ebene), die beispielsweise durch einen geometrischen Schwerpunkt bzw. eine Schwerpunktlinie L₁ des Erregerleiters 16-1 verläuft, und der zweite Erregerleiter 16-2 in einer Erregerleiterebene E₁' (auch parallel zur x–z-Ebene), die beispielsweise durch einen geometrischen Schwerpunkt bzw. eine Schwerpunktlinie L₃ des Erregerleiters 16-2 verläuft, parallel zu der Substratoberfläche 12a in einem vertikalen Abstand oder einer Höhe h₁ bzw. h₂ von einer Ebene E₂ (parallel zur x–z-Ebene), die durch einen Schwerpunkt bzw. eine Schwerpunktlinie L₂ des aktiven Bereichs 14a des Hall-Sensorelements 14 verläuft, beabstandet. Der vertikale Abstand h₁ und h₂ ist beispielsweise bei einem Halbleiterherstellungsprozess Prozesstoleranzen bzw. Prozessschwankungen Δh₁ bzw. Δh₂ ausgesetzt. Der Erregerleiter 16-1 ist nun ferner in einem lateralen Abstand d₁ als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche 12a senkrecht oberhalb (oder optional auch unterhalb) des vertikalen Hall-Sensorelements 14 befindet, angeordnet.
Wie in 4a–b dargestellt ist, sind der erste und der zweite Erregerleiter 16-1, 16-2 in derselben Erregerleiterebene E₁ = E'₁ angeordnet, so dass für den vertikalen Abstand h₁ = h₂ gilt. Dies trifft beispielsweise zu, wenn die beiden Erregerleiter 16-1, 16-2 der Erregerleiteranordnung 16 beim Herstellungsprozess in der gleichen Metall-Prozesslage erzeugt werden, und somit auch den gleichen Prozesstoleranzen hinsichtlich des vertikalen Abstands h₁ und h₂ ausgesetzt sind. Lediglich optional können der vertikale Abstand h₁ für den ersten Erregerleiter 16-1 und der vertikale Abstand h₂ für den zweiten Erregerleiter 16-2 unterschiedlich gewählt werden.
Wird nun in dem ersten Erregerleiter 16-1 ein erster Strom I₁ und in dem zweiten Erregerleiter 16-2 ein zweiter Strom I₂ (z. B. in der gleichen Richtung) eingeprägt, so wird durch den Stromfluss I₁ bzw. I₂ in dem jeweiligen Erregerleiter 16-1 und 16-2 eine magnetische Flussdichte B →₁ und B →₂ im aktiven Bereich 14a des Hall-Sensorelements 14 hervorgerufen, die sich zu einer resultierenden magnetischen Flussdichte B →₁₂ am Ort des Sensors überlagern. Die magnetischen Feldlinien 20-1, 20-2 sind in diesem Ausführungsbeispiel radial um den jeweiligen Erregerleiter 16-1, 16-2 in der x–y-Ebene angeordnet, wobei bei dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 eine resultierende Magnetfeldkomponente B_12x in x-Richtung detektiert werden kann.
Werden mm bei einem kalibrierbaren Magnetfeldsensor der erste und zweite Erregerleiter 16-1, 16-2 mit einem unterschiedlichen Versatz d₁ bzw. d₂ in der Erregerleiterebene E₁ (falls z. B. h₁ = h₂) versetzt zu einer Mittenposition platziert, so liegen die jeweiligen Maxima für die Komponente B_1x und B_2x der von dem ersten und zweiten Erregerleiter 16-1, 16-2 erzeugten magnetischen Flussdichte B_12x im aktiven Bereich 14a des Hall Sensorelements 14 in Abhängigkeit von dem jeweiligen vertikalen Abstand h₁ und/oder h₂ an unterschiedlichen Stellen,, bezogen auf den Verlauf der Komponente B_12x der magnetischen Flussdichte dargestellt über den vertikalen Abstand h₁ und h₂. Durch eine gezielte Überlagerung der Magnetfelder, die jeweils von einem vorgegebenen Kalibrierstrom I₁, I₂ in dem ersten bzw. zweiten Erregerleiter 16-1, 16-2 erzeugt werden, kann so der Einfluss von Prozesstoleranzen auf den vertikalen Abstand h₁, h₂ der Erregerleiteranordnung 16 von dem aktiven Bereich 14a des vertikalen Hall-Sensorelements 14 noch weiter reduziert werden, da durch das gezielte Einstellen des seitlichen Versatzes in Form des lateralen Abstandes d₁ und d₂ für den ersten und zweiten Erregerleiter 16-1, 16-2 eine weitere Linearisierung bezüglich der resultierenden Komponente B_12x der Kombination der magnetischen Flussdichten B →₁ und B →₂ im aktiven Bereich 14a des Hall-Sensorelements 14 erreicht werden kann.
Die durch den ersten und zweiten Erregerleiter 16-1, 16-2 erzeugte Komponente B_12x der resultierenden magnetischen Flussdichte 42 lasst sich mit folgender Gleichung näherungsweise darstellen:
Wird nun beispielsweise die resultierende Komponente B_12x der magnetischen Flussdichte in dem aktiven Bereich 14a des vertikalen Hall-Sensorelements 14 anhand von Gleichung 2 berechnet, wobei der laterale Abstand bzw. Versatz d1 und d2 als Variablen in dem Ergebnis beibehalten werden, kann beispielsweise durch eine algebraische Auswertung der daraus resultierenden Funktion in Abhängigkeit der lateralen Abstände d1 und d2 ein lokaler Maximalwert für die resultierende Komponente B_x der magnetischen Flussdichte berechnet bzw. bestimmt werden.
Somit lassen sich durch die gezielte Einstellung des lateralen Abstands d1 und d2 für den ersten bzw. zweiten Erregerleiter 16-1, 16-2 und eine daraus resultierende weitere Linearisierung des Verlaufs für die Komponente B_12x in einem Bereich realisieren, in dem der vertikale Abstand h₁, h₂ den Prozesstoleranzen Δh₁, Δh₂ ausgesetzt ist.
Aus den obigen Ausführungen sollte deutlich werden, dass die Erregerleiteranordnung 16 auch mehr als zwei Erregerleiter (nicht gezeigt in den Figuren) aufweisen kann, deren Magnetfelder so kombiniert werden können, um eine weitere Linearisierung der erfassbaren Komponente B_x in dem aktiven Halbleiterbereich des Hall-Sensorelements 14 zu erhalten. Die weiteren Erregerleiter sind in einer oder mehreren weiteren Erregerleiterebene(n), die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h_n, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh_n aufweist, von dem vertikalen Hall Sensorelement (14) beabstandet, und weisen ferner jeweils einen lateralen Abstand d_n als Versatz zu der Mittenposition auf, wobei der laterale Abstand d_n jeweils so dimensioniert ist, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2n einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des jeweiligen Toleranzbereiches Δh_n für den jeweiligen vertikalen Abstand h_n um weniger als 5% ändert.
Bezüglich der obigen Ausführungen wird ferner darauf hingewiesen, dass die Erregerleiteranordnung nicht nur integrierte Leiter bzw. Erregerleiter aufweisen kann, sondern dass die obigen Ausführungen gleichermaßen auf diskrete Leiteranordnungen, die versetzt oberhalb des aktiven Bereichs des Hall-Sensorelements angeordnet sind, angewendet werden können.
Zusammenfassend kann also festgestellt werden, dass durch die geeignete Einstellung eines lateralen Versatzes eines Erregerleiter oder einer Mehrzahl von Erregerleitern zu einer Mittenposition, die sich oberhalb (oder optional unterhalb) des aktiven Bereichs des Hall-Sensorelements befindet, ein resultierender Verlauf der von dem Hall-Sensorelement erfassbaren Komponente der magnetischen Flussdichte erhalten werden kann, der innerhalb des Toleranzbereichs für den vertikalen Abstand h₁ bzw. h₂ äußerst linear ist und möglichst einen (lokalen) Maximalwert aufweist, so dass sich bei einem Kalibriervorgang etwaige Prozesstoleranzen bezüglich des vertikalen Abstands h₁, h₂ im Wesentlichen nicht auf die in dem aktiven Bereich des Hall-Sensorelements erzeugten Komponente der magnetischen Flussdichte auswirken.
Im Folgenden wird mm anhand von 5 ein Ausführungsbeispiel in Form eines Ablaufdiagramms für ein prinzipielles Verfahren 50 zum Herstellen eines kalibrierbaren Magnetfeldsensors gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Zunächst wird bei Schritt 52 in einem Halbleitersubstrat ein vertikales Hall-Sensorelement angeordnet bzw. ein in einem Halbleitersubstrat angeordnetes vertikales Hall-Sensorelement bereitgestellt. Daraufhin wird bei Schritt 54 eine Erregerleiteranordnung mit zumindest einem Erregerleiter oberhalb (bzw. unterhalb) zu dem vertikalen Hall-Sensorelement angeordnet, wobei der Erregerleiter 16-1 in einer Erregerleiterebene E₁ angeordnet wird, die parallel zu der Substratoberfläche 12a in einem vertikalen Abstand h₁, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₁ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 beabstandet wird, und ferner einen lateralen Abstand d₁ als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche 12a senkrecht zu dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 befindet, aufweist, und wobei der laterale Abstand d₁ so dimensioniert wird, dass sich eine vertikale Kalibrierkomponente B_1x einer von der Erregerleiteranordnung 16 in dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 erzeugten, magnetischen Flussdichte B₁ innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ um weniger als 5% ändert.
Optional wird bei einem Schritt 56 zumindest ein weiterer Erregerleiter 16-2 an der Erregerleiteranordnung 16 angeordnet, wobei der weitere Erregerleiter 16-2 in einer weiteren Erregerleiterebene E₁', die parallel zu der Substratoberfläche 12a in einem vertikalen Abstand h₂, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₂ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement 14 beabstandet angeordnet wird, und ferner einen lateralen Abstand d₂ als Versatz zu der Mittenposition aufweist, und wobei der laterale Abstand d₂ so dimensioniert wird, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2x einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ und/oder innerhalb des Toleranzbereichs Δh₂ für den vertikalen Abstand h₂ um weniger als 5% ändert.
In der vorhergehenden Beschreibung des erfindungsgemäßen kalibrierbaren Magnetfeldsensors und dessen Herstellungsverfahrens wurde der kalibrierbare Magnetfeldsensor mit einem in dem Halbleitersubstrat angeordneten vertikalen Hall-Sensorelement dargestellt.
Es sollte aber deutlich werden, dass der kalibrierbare Magnetfeldsensor auch eine Mehrzahl von vertikalen Hall-Sensorelementen und eine entsprechende Erregerleiteranordnung mit einem Erregerleiter oder einer Mehrzahl von Erregerleitern aufweisen kann. Dabei ist die im vorhergehenden beschriebene, erfindungsgemäße Ausgestaltung der für einen Kalibriervorgang vorgesehenen Erregerleiteranordnung und deren Anordnung relativ zu einem vertikalen Hall-Sensorelement jeweils auch auf die einzelnen vertikalen Hall-Sensorelemente eines solchen kalibrierbaren Magnetfeldsensors, der mehrere vertikale Hall-Sensoreinzelelemente aufweist, entsprechend anwendbar.
Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einer Vorrichtung beschrieben wurden, versteht es sich, dass diese Aspekte auch eine Beschreibung des entsprechenden Verfahrens darstellen, so dass ein Element einer Vorrichtung oder dessen Ausgestaltung auch als ein entsprechender Verfahrensschritt oder als ein Merkmal eines Verfahrensschrittes zu verstehen ist. Analog dazu stellen Aspekte, die im Zusammenhang mit einem oder als ein Verfahrensschritt beschrieben wurden, auch eine Beschreibung eines entsprechenden Elements, Details oder Merkmals einer entsprechenden Vorrichtung dar.

Claims

Magnetfeldsensor (10) mit folgenden Merkmalen: einem in einem Halbleitersubstrat (12) angeordneten vertikalen Hall-Sensorelement (14); und einer Erregerleiteranordnung (16) mit zumindest einem Erregerleiter (16-1); wobei der Erregerleiter (16-1) in einer Erregerleiterebene (E₁) angeordnet ist, die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h₁, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₁ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet ist, und ferner einen lateralen Abstand d₁ als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche (12a) senkrecht zu dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) befindet, aufweist, und wobei der laterale Abstand d₁ so dimensioniert ist, dass sich eine vertikale Kalibrierkomponente B_1x einer von der Erregerleiteranordnung (16) in dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) erzeugten, magnetischen Flussdichte B₁ innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ um weniger als 5% ändert.
Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die vertikale Kalibrierungskomponente B_1x bei einer Kalibrierungsstromstärke I₁ der von dem Erregerleiter in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte durch die folgende Gleichung darstellbar ist:
wobei der Erregerleiter (16-1) eine Breite e₁ und der aktive Halbleiterbereich (14a) des vertikalen Hall-Sensorelements (14) eine Breite s aufweist.
Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Erregerleiteranordnung (16-1) einen weiteren Erregerleiter (16-2) aufweist, wobei der weitere Erregerleiter (16-2) in einer weiteren Erregerleiterebene (E₁'), die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h₂, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₂ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet ist, und ferner einen lateralen Abstand d₂ als Versatz zu der Mittenposition aufweist, und wobei der laterale Abstand d₂ so dimensioniert ist, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2x einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ und/oder innerhalb des Toleranzbereichs Δh₂ für den vertikalen Abstand h₂ um weniger als 5% ändert.
Magnetfeldsensor nach Anspruch 3, wobei die resultierende, vertikale Kalibrierkomponente B_12x einer von der Erregerleiteranordnung (16) in dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) erzeugten, magnetischen Flussdichte B_12x auf einer Kombination der von dem Erregerleiter (16-1) und dem weiteren Erregerleiter (16-2) jeweils erzeugten vertikalen Kalibrierkomponente B_x1 und B_x2 basiert.
Magnetfeldsensor nach Anspruch 3 oder 4, wobei die resultierende, vertikale Kalibrierkomponente B_12x der von der Erregerleiteranordnung (16) in dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) erzeugten, magnetischen Flussdichte durch folgende Gleichung darstellbar ist:
wobei der Erregerleiter (16-1) in einer Leiterbreite (E₁) und der weitere Erregerleiter (16-2) in einer weiteren Leiterebene (E₁') angeordnet ist, und wobei der weitere Erregerleiter (16-2) eine Breite e₂ und der aktive Bereich (14a) des vertikalen Hall-Sensorelements (14) eine Breite s aufweist.
Magnetfeldsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Erregerleiter (16-1) als eine integrierte oder diskrete Leiterstruktur ausgebildet ist, und wobei der weitere Erregerleiter (16-2) als eine integrierte oder diskrete Leiterstruktur ausgebildet ist.
Magnetfeldsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Erregerleiteranordnung (16) eine Mehrzahl von weiteren Erregerleitern aufweist, wobei die weiteren Erregerleiter in einer oder mehreren weiteren Erregerleiterebene(n), die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h_n, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh_n aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet sind, und ferner jeweils einen lateralen Abstand d_n als Versatz zu der Mittenposition aufweisen, und wobei der laterale Abstand d_n jeweils so dimensioniert ist, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2n einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des jeweiligen Toleranzbereiches Δh_n für den jeweiligen vertikalen Abstand h_n um weniger als 5% ändert.
Verfahren (50) zur Herstellung eines Magnetfeldsensors (10), mit folgenden Schritten: Erzeugen oder Bereitstellen (52) eines in einem Halbleitersubstrat (12) angeordneten vertikalen Hall-Sensorelements (14); und Anordnen (54) einer Erregerleiteranordnung (16) mit zumindest einem Erregerleiter (16-1), wobei der Erregerleiter (16-1) in einer Erregerleiterebene (E₁) angeordnet wird, die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h₁, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₁ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet ist, und ferner einen lateralen Abstand d₁ als Versatz zu einer Mittenposition, die sich bezüglich der Substratoberfläche (12a) senkrecht zu dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) befindet, aufweist, und wobei der laterale Abstand d₁ so dimensioniert wird, dass sich eine vertikale Kalibrierkomponente B_1x einer von der Erregerleiteranordnung (16) in dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) erzeugten, magnetischen Flussdichte B₁ innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ um weniger als 5% ändert.
Verfahren nach Anspruch 8, ferner mit folgenden Schritt: Anordnen (56) zumindest eines weiteren Erregerleiters (16-2) an der Erregerleiteranordnung (16), wobei der weitere Erregerleiter (16-2) in einer weiteren Erregerleiterebene (E₁'), die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h₂, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh₂ aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet angeordnet wird, und ferner einen lateralen Abstand d₂ als Versatz zu der Mittenposition aufweist, und wobei der laterale Abstand d₂ so dimensioniert wird, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2x einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des Toleranzbereiches Δh₁ für den vertikalen Abstand h₁ und/oder innerhalb des Toleranzbereichs Δh₂ für den vertikalen Abstand h₂ um weniger als 5% ändert.
Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, ferner mit folgenden Schritt: Anordnen (56) einer Mehrzahl von weiteren Erregerleitern (16-2) an der Erregerleiteranordnung (16), wobei die weiteren Erregerleiter in einer oder mehreren weiteren Erregerleiterebene(n), die parallel zu der Substratoberfläche (12a) in einem vertikalen Abstand h_n, der einen Herstellungsprozess-bedingten Toleranzbereich Δh_n aufweist, von dem vertikalen Hall-Sensorelement (14) beabstandet sind, und ferner jeweils einen lateralen Abstand d_n als Versatz zu der Mittenposition aufweisen, und wobei der laterale Abstand d_n jeweils so dimensioniert ist, dass sich eine resultierende vertikale Kalibrierkomponente B_2n einer von der Erregerleiteranordnung in dem vertikalen Hall-Sensorelement erzeugten, magnetischen Flussdichte innerhalb des jeweiligen Toleranzbereiches Δh_n für den jeweiligen vertikalen Abstand h_n um weniger als 5% ändert.