-
Die
Erfindung betrifft einen Ultraschallaktor, vorzugsweise für
den Einsatz in einem Ultraschallmotor, in Form einer piezoelektrischen
Platte mit einer Länge L, einer Höhe H und einer
Dicke t, wobei die piezoelektrische Platte eine Quer-Symmetrieebene
Sq, eine Längs-Symmetrieebene Sl und wenigstens zwei Hauptflächen
aufweist, und die piezoelektrische Platte zumindest zwei symmetrisch
zu der Symmetrieebene Sq angeordnete Generatoren zur Erzeugung von
Ultraschallstehwellen umfasst, gemäß Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
-
Derartige
Ultraschallaktoren bzw. die diese umfassenden Ultraschallmotoren
können in miniaturisierten, preiswerten Geräten
mit geringem Energieverbrauch, wie beispielsweise in Miniaturfotoapparaten,
Handyobjektiven, Miniaturspeichereinrichtungen und ähnlichen
Geräten, verwendet werden, wo kleine Abmessungen, hohe
Positioniergenauigkeit und ein niedriger Energieverbrauch durch
den Antrieb erforderlich sind.
-
Aus
den Druckschriften
US 5,672,903 und
US 5,665,918 sind Ultraschallaktoren
für Ultraschallmotoren bekannt, die als komplexe zusammengesetzte
Vibratoren konzipiert sind und aus einem Resonanzkörper,
auf dem piezoelektrische Erregerplatten aufgeklebt sind, bestehen.
Der Nachteil dieser Aktoren liegt darin, dass sie einen relativ
komplizierten Aufbau aufweisen und ihre Herstellung aufwendig ist.
Daher scheiden sie als preiswertes Massenprodukt für den
Einsatz in miniaturisierten Geräten aus.
-
Aus
der Druckschrift
US 6,765,335 ist
ferner ein Ultraschallaktor für einen Ultraschallmotor
bekannt, bei dem der Resonanzkörper als piezoelektrische
Platte mit rechteckiger Form ausgebildet ist (
20).
Dieser Ultraschallaktor zeichnet sich zwar durch eine einfache Konstruktion
und eine leicht beherrschbare Herstellungstechnologie aus, weshalb er
als preiswertes Massenprodukt geeignet erscheint. Jedoch besteht
bei diesem Ultraschallaktor der Nachteil, dass für dessen
Betrieb eine relativ hohe elektrische Leistung erforderlich ist,
wodurch ein erhöhter Energieverbrauch resultiert. Daher scheidet
ein solcher Ultraschallaktor für die Verwendung in Miniaturvorrichtungen
mit entsprechend erforderlichem geringen Energieverbrauch aus.
-
Die
Aufgabe der Erfindung besteht deshalb darin, einen Ultraschallaktor
bereitzustellen, der einerseits eine einfache Konstruktion aufweist
und sich durch eine leicht beherrschbare Herstellungstechnologie
auszeichnet sowie andererseits einen geringen elektrischen Energieverbrauch
bei zugleich höherer Betriebsstabilität bzw. Sicherheit
besitzt.
-
Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
einen Ultraschallaktor der eingangs genannten Art, bei dem die piezoelektrische
Platte eine wenigstens acht Seitenflächen umfassende Form
aufweist, wobei wenigstens zwei der Seitenflächen zur Kontaktierung
von anzutreibenden Elementen vorgesehene Arbeitsflächen
sind, und wenigstens zwei der Seitenflächen zur Halterung
der piezoelektrischen Platte vorgesehene Halteflächen sind,
und die übrigen Seitenflächen freie Flächen
sind, wobei zumindest vier freie Flächen unter einem gleichen
Winkel α zu der Längs-Symmetrieebene Sl und/oder
unter einem gleichen Winkel φ zu der Quer-Symmetrieebene
Sq angeordnet sind. Dabei kann die Kontaktierung der anzutreibenden
Elemente durch die Arbeitsflächen direkt oder indirekt
sein. Ebenso kann die Halterung der piezoelektrischen Platte durch
die Halteflächen direkt oder indirekt erfolgen.
-
Es
kann es vorteilhaft sein, dass die Arbeitsflächen eine
Breite n aufweisen, und die Halteflächen eine Breite m
aufweisen, und das Verhältnis Plattenlänge L zu
n und/oder das Verhältnis Plattenhöhe H zu m im
Bereich zwischen 1,1 bis 9 liegt und vorzugsweise etwa gleich 5
ist. Dies führt zu einem besonders günstigen Betriebsverhalten
des Ultraschallaktors.
-
Weiterhin
kann es vorteilhaft sein, dass das Verhältnis L zu H im
Bereich zwischen 1,5 und 3 liegt und vorzugsweise etwa gleich 2
ist. Auch diese Ausführungsform führt zu einem
günstigen Betriebsverhalten des Ultraschallaktors.
-
Zudem
kann es vorteilhaft sein, dass das Verhältnis L zu Plattendicke
t im Bereich zwischen 5 und 15 liegt und vorzugsweise etwa gleich
10 ist. Diese Ausführungsform hat ebenso eine positive
Auswirkung auf das Betriebsverhalten des Ultraschallaktors.
-
Es
kann günstig sein, dass die freien Flächen wenigstens
abschnittsweise konkav und/oder konvex geformt sind. Dies erweitert
die konstruktiven Möglichkeiten des Ultraschallaktors.
-
Es
kann auch günstig sein, dass jeder der Generatoren eine
Erregerelektrode und eine allgemeine Elektrode umfasst, die auf
den Hauptflächen der piezoelektrischen Platte angeordnet
sind, und zwischen der Erregerelektrode und der allgemeinen Elektrode
eine piezoelektrische Keramik angeordnet ist. Dies vereinfacht die
Konstruktion des Ultraschallaktors.
-
Außerdem
kann es günstig sein, dass jeder der Generatoren mehrere
Schichten von Erregerelektroden, allgemeinen Elektroden und jeweils
zwischen diesen angeordnete Schichten aus piezoelektrischer Keramik
aufweist, wobei besagte Schichten parallel zu den Hauptflächen
der piezoelektrischen Platte angeordnet sind. Dies verringert die
erforderliche Erregerspannung des Ultraschallaktors.
-
Darüber
hinaus kann es günstig sein, dass zumindest eine der Arbeitsflächen
wenigstens ein Friktionselement oder wenigstens einen Stößel
aufweist. Dies erweitert die konstruktiven Ausführungsmöglichkeiten
des Ultraschallaktors.
-
Es
kann von Vorteil sein, dass wenigstens eine der Arbeitsflächen
zumindest abschnittsweise eine Führungsnut aufweist. Auch
dies erweitert die konstruktiven Ausführungsmöglichkeiten
des Ultraschallaktors.
-
Zudem
kann es von Vorteil sein, dass das Friktionselement und/oder der
Stößel und/oder die Führungsnut an der
Oberfläche zumindest abschnittsweise eine abriebfeste Schicht
aufweist bzw. aufweisen. Dadurch erhöht sich die Lebensdauer
des Ultraschallaktors.
-
Ebenso
kann es von Vorteil sein, dass zumindest eine der Halteflächen
wenigstens ein Fixierelement oder zumindest abschnittsweise eine
Fixiernut aufweist. Dies erhöht die Positioniergenauigkeit.
-
Selbstverständlich
sind auch Kombinationen der zuvor beschriebenen vorteilhaften Ausführungsformen
möglich.
-
Die
Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert.
-
Es
zeigen:
-
1 Schematische
Darstellung einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in perspektivischer Darstellung (oben) und in
Draufsicht (unten, Darstellung 3)
-
2, 3 Schematische
Darstellung verschiedener weiterer Ausführungsformen des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors
-
4 Schematische
Darstellung unterschiedlicher Konstruktionsvarianten von Generatoren
für eine Ultraschallstehwelle
-
5 Schaltbild
zur Darstellung des Anschlusses des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors an einer elektrischen Erregervorrichtung
-
6 Darstellung
der Abhängigkeit der elektrischen Impedanz des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors von der Frequenz der elektrischen Erregerspannung
(Darstellung 25) bzw. der Frequenzabhängigkeit
des Winkels Φ zwischen einer elektrischen Erregerspannung
U und einem Strom I eines Generators (Darstellung 26)
-
7 Schematische
Darstellung von Deformationszuständen des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors
-
8 Schematische
Darstellung der Bewegungsbahnen von Materialpunkten des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors
-
9 Schematische
Darstellung verschiedener Ausführungsformen des Friktionselementes oder
des Stößels
-
10, 11 Schematische
Darstellung verschiedener weiterer Ausführungsformen des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors
-
12–18 Schematische
Darstellung unterschiedlicher Anwendungsbeispiele des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors
-
1 zeigt
eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors. Dieser besteht aus einer piezoelektrischen Platte 1 mit
einer Längs-Symmetrieebene Sl und einer senkrecht dazu angeordneten
Quer-Symmetrieebene Sq. Die piezoelektrische Platte 1 weist
zwei sich gegenüberliegende, im Wesentlichen parallel zueinander
liegende Hauptflächen 2 auf, die senkrecht zu
den Symmetrieebenen Sl und Sq angeordnet sind. Die sich gegenüberliegenden
Hauptflächen 2 sind über acht Seitenflächen
miteinander verbunden, wobei zwei Seitenflächen Arbeitsflächen 4,
zwei Seitenflächen Halteflächen 5 und
die übrigen vier Seitenflächen freie Flächen 6 sind.
Bezogen auf die Ebene St, die sowohl senkrecht zur Symmetrieebene
Sl, als auch senkrecht zur Symmetrieebene Sq angeordnet ist und
die mit einer der Hauptflächen 2 zusammenfallen
oder sich zwischen diesen befinden kann, hat die Querschnittsfläche
der piezoelektrischen Platte eine achteckige Form (siehe hierzu
auch Darstellung 3 der 1).
-
Die
Arbeitsflächen 4 sind im Wesentlichen parallel
zur Symmetrieebene Sl, die Halteflächen 5 im Wesentlichen
parallel zur Symmetrieebene Sq und die freien Flächen 6 unter
dem gleichen Winkel α zur Symmetrieebene Sl und unter dem
gleichen Winkel φ zur Symmetrieebene Sq angeordnet.
-
Die
piezoelektrische Platte 1 hat die Höhe H, die
dem Abstand der beiden Arbeitsflächen 4 entspricht,
und die Länge L, die dem Abstand der beiden Halteflächen 5 entspricht.
Die Breite der Arbeitsflächen 4 ist gleich n,
und die Breite der Halteflächen 5 ist gleich m.
Darüber hinaus hat die piezoelektrische Platte 1 die
Dicke t. Beim erfindungsgemäßen Ultraschallaktor
liegt das Verhältnis der Länge L zur Höhe H
im Bereich von 1,5 bis 3. Optimal ist es, wenn das Verhältnis
L/H in etwa gleich 2 ist.
-
Die
piezoelektrische Platte 1 umfasst zwei Generatoren 7 und 8 zur
Erzeugung von Ultraschallstehwellen, die symmetrisch zur Symmetrieebene
Sq angeordnet sind. Jeder der Generatoren 7 und 8 befindet
sich in Symmetrie bezogen auf die Symmetrieebene Sl und in Asymmetrie
bezogen auf die Symmetrieebene Sq. Zum Anschluss einer elektrischen Erregervorrichtung
besitzen die Generatoren 7 und 8 Anschlüsse 9 und 10.
-
2 zeigt
verschiedene Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Ultraschallektors mit unterschiedlichen Breiten n der Arbeitsflächen 4 und/oder
unterschiedlichen Breiten m der Halteflächen 5.
Das Verhältnis der Länge L zur Breite n der Arbeitsfläche 4 und
das Verhältnis der Höhe H zur Breite m der Haltefläche 5 kann
sich im Bereich von 1,1 bis 9 bewegen. Optimal ist es, wenn das
Verhältnis L/n oder H/m in etwa gleich 5 ist. Die Stärke
t ist ungefähr gleich 0,1 L.
-
Die
Darstellungen 11, 12 und 13 von 2 zeigen
beispielhaft drei Fälle für die Ausführung
der piezoelektrischen Platte 1. Für den ersten
Fall (Darstellung 11) gilt L/n = H/m = 5, für
den zweiten Fall (Darstellung 12) gilt L/n = 1,2 und H/m
= 5, für den dritten Fall (Darstellung 13) gilt
L/n = 5 und H/m = 1,2. Die Querschnittsfläche der piezoelektrischen
Platte 1 bezogen auf die Ebene St beträgt im ersten
Fall qo, im zweiten Fall qm und im dritten Fall qn.
-
In
den Darstellungen
11,
12 und
13 von
2 ist
gestrichelt die Rechteckform der aus dem Stand der Technik nach
Druckschrift
US 6,765,335 bekannten
piezoelektrischen Platte dargestellt, die einen direkten Vergleich
der entsprechenden Querschnittsfläche Q bezogen auf die
Ebene St mit den Querschnittsflächen qo, qn und qm zulässt.
-
3 zeigt
in den Darstellungen 14 und 15 weitere Ausführungsformen
des erfindungsgemäßen Ultraschallaktors, bei welchem
die piezoelektrische Platte 1 freie Flächen 6 aufweist,
die eine konvexe Form (Darstellung 14) bzw. eine konkave
Form (Darstellung 15) besitzen.
-
4 enthält
die schematische Darstellung unterschiedlicher Konstruktionsvarianten
von Generatoren für eine Ultraschallstehwelle. In den ersten drei
Varianten gemäß den Darstellungen 16, 17 und 18 ist
die piezoelektrische Platte 1 als monolithischer Körper
aus Piezokeramik ausgeführt, und jeder der Generatoren 7 und 8 umfasst
eine Erregerelektrode 20, eine gemeinsame Elektrode 21 und
piezoelektrische Keramik, die sich zwischen den besagten Elektroden
befindet.
-
Bei
der in Darstellung 16 gezeigten Ausführungsform
befinden sich die Erregerelektroden 20 und die allgemeinen
Elektroden 21 auf den gegenüberliegenden Hauptflächen 2.
Bei den in den Darstellungen 17 und 18 gezeigten
Ausführungsformen befinden sich die Erregerelektroden 20 und
die allgemeinen Elektroden 21 auf ein und derselben Hauptfläche 2.
Die Elektroden können also auf einer oder auf zwei Hauptflächen
der piezoelektrischen Platte 1 angeordnet sein. In beiden
Fällen werden vorzugsweise streifenförmige Elektroden
verwendet.
-
Darstellung 19 in 4 zeigt
eine weitere mögliche Ausführungsform der Generatoren 7 und 8, wobei
diese Generatoren aus Schichten der Erregerelektroden 20,
aus Schichten der allgemeinen Elektroden 21 und aus zwischen
diesen Schichten angeordneten piezokeramischen Schichten 22 bestehen. Alle
Schichten sind parallel zu den Hauptflächen 2 der
piezoelektrischen Platte 1 angeordnet. Beim Sintern der
Keramik verbinden sich die Schichten der Elektroden 20 und 21 und
die piezokeramischen Schichten 22 zwischen den Elektroden
so miteinander, dass die piezoelektrische Platte 1 einen
monolithischen Multilayerkörper bildet.
-
In
den Darstellungen 16 bis 19 der 4 ist die
Polarisationsrichtung der Piezokeramik der piezoelektrischen Platte 1 durch
Pfeile dargestellt.
-
5 zeigt
ein Schaltbild, das den Anschluss des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors an einer elektrischen Erregervorrichtung 23 schematisch
darstellt. Hierbei stellt die elektrische Erregervorrichtung 23 eine
elektrische Wechselspannung U mit einer Frequenz fo bereit. Aufgrund
der elektrischen Spannung U fließt durch den Generator 7 bzw. 8 der
Strom I. Die Schaltung umfasst einen Umschalter 24 für
die Generatoren 7 und 8.
-
6 veranschaulicht
in Darstellung 25 die Abhängigkeit der elektrischen
Impedanz des erfindungsgemäßen Ultraschallaktors
von der Frequenz der elektrischen Erregerspannung, während
in Darstellung 26 die Frequenzabhängigkeit des
Winkels Φ zwischen einer elektrischen Erregerspannung U
und einem Strom I des Generators 7 bzw. 8 gezeigt
ist. Die jeweiligen Abhängigkeiten sind für eine
piezoelektrische Platte, gefertigt aus der Piezokeramik PIC 181
der Firma PI Ceramic GmbH mit den Abmessungen L = 10 mm, H = 5 mm,
n = 2 mm, m = 1 mm und t = 1 mm, angegeben. Der Peak 27 stellt
die Resonanz bei der Frequenz fo = 371 kHz dar, wodurch sich im
Oszillator eine asymmetrische Stehwelle ausbildet, die im erfindungsgemäßen
Ultraschallaktor zum Einsatz kommt.
-
7 verdeutlicht
in den Darstellungen 28 und 29 die maximalen Deformationen
der piezoelektrischen Platte 1, wenn in ihr während
des Betriebs eine asymmetrische Stehwelle erzeugt wird. Die Darstellungen
sind, bezogen auf die Zeit, um eine halbe Schwingungsperiode verschoben.
-
8 zeigt
Bewegungsbahnen 30 der sich im Zentrum der Arbeitsflächen 4 der
piezoelektrischen Platte 1 befindenden Punkte 31 bei
einer Erzeugung einer asymmetrischen Stehwelle in ihr. Die Bewegungsbahnen 30 sind,
bezogen auf die Oberfläche der Hauptflächen 4,
unter dem Winkel β geneigt.
-
9 zeigt
in der Darstellung 32 eine Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors 33,
dessen Arbeitsflächen 4 ein Friktionselement 34 oder
einen Stößel 35 aufweisen. Die Darstellung 36 der 9 zeigt
einige der möglichen Ausführungsformen für
das Friktionselement 34 oder den Stößel 35.
-
Der
Unterschied zwischen dem Friktionselement 34 und dem Stößel 35 besteht
darin, dass das Friktionselement 34 aus einem harten, abriebfesten Material
und der Stößel 35 aus einem weichen Material
besteht. Beide können die gleiche geometrische Form aufweisen.
Das Friktionselement 34 ist aus einer harten abriebfesten
Sorte von Oxidkeramik, z. B. aus Keramik auf der Basis von Aluminiumoxid,
Zirkoniumoxid oder einer Mischung aus beiden oder einer Mischung
mit anderen Materialien gefertigt. Möglich ist hierbei
auch Keramik auf der Basis von Aluminiumnitrid, Aluminiumkarbid,
Siliziumkarbid oder aus Metallkeramik auf der Basis von Wolframkarbid
oder Titankarbid. Denkbar ist auch, dass das Friktionselement 34 aus
festen Monokristallen von z. B. Korund, Rubin, Saphir, Quarz oder
Beryllium besteht. Weiterhin sind als Werkstoff für das
Friktionselement 34 auch Materialmischungen möglich,
die aus Teilchen eines harten abriebfesten Materials und Bindematerial
bestehen. Als Bindematerial können hochtemperaturbeständige
Kunststoffe, wie z. B. Polyarylamid mit teilkristalliner Struktur,
verwendet werden.
-
Der
Stößel 34 ist aus relativ weichem Material
gefertigt, bei welchem der Young'sche Modul und der Temperaturausdehnungskoeffizient
in etwa dem Young'schen Modul und dem Temperaturausdehnungskoeffizienten
der Piezokeramik entspricht. Das trifft z. B. auf Sorten weicher
Oxidkeramik zu. Zur Reduktion bzw. zur Verhinderung von Abrieb ist
die Friktionsoberfläche des Stößels 35 mit
einer dünnen, abriebfesten Schicht 37 bedeckt.
Als abriebfeste Schicht 37 kann abriebfestes Glas oder
mit Teilen eines abriebfesten Materials angereichertes Glas verwendet
werden. Denkbar ist auch eine Schicht chemisch abgeschiedenen Nickels
oder Chroms. Es kann auch eine Schicht aus Aluminiumoxid oder Zirkoniumoxid,
aufgetragen mittels Plasmaabscheidung, oder eine Schicht, die aus
der Gasphase abgeschiedene kleine Diamantkristalle enthält,
verwendet werden. Denkbar ist auch die Verwendung von Schichten
in Form dünner Beläge aus beispielsweise CrN,
CrCN, (Cr, W)N, (Cr, Al)N, NbN-CrN, TiN, TiCN, (Ti, Al)N oder V2O5.
-
Das
Friktionselement 34 oder der Stößel 35 können
durch Aufschweißen oder Aufkleben auf den Arbeitsflächen 4 mit
der piezoelektrischen Platte 1 befestigt sein. Das Aufschweißen
erfolgt hierbei mit Hilfe leicht schmelzender Gläser oder
mittels anderer Materialien, die eine chemische Verbindung der Piezokeramik
mit dem Material des Friktionselements 34 oder des Stößels 35 eingehen.
Das Aufkleben kann mittels Epoxydharz oder mit Hilfe anderer ähnlicher Kleber
erfolgen.
-
10 zeigt
in den Darstellungen 38 bis 41 weitere mögliche
Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors. Bei dem in Darstellung 38 der 10 gezeigten
Ultraschallaktor 33 haben die Arbeitsflächen 4 keine
Friktionselemente 34 oder Stößel 35.
In diesem Fall ist die abriebfeste Schicht 37 direkt auf
die piezokeramische Oberfläche der Arbeitsflächen 4 aufgetragen.
Bei dem in Darstellung 39 der 10 gezeigten
Ultraschallaktor 33 weisen die Arbeitsflächen 4 Führungsnuten 42 auf.
Die Führungsnuten 42 haben im Querschnitt betrachtet beispielsweise
eine dreieckige, runde, quadratische oder trapezförmige
Form. Die Oberflächen der Führungsnuten 42 können
mit einer abriebfesten Schicht 37 versehen sein. Außerdem
kann diese Oberfläche mit einer dünnen Graphit-
oder Molybdänsulfidschicht, welche die Funktion des Friktionskontaktes stabilisiert,
bedeckt sein.
-
Die
in den Darstellungen 40 und 41 abgebildeten Ultraschallaktoren 33 haben
Stößel 35, die aus der gleichen Piezokeramik
wie die piezoelektrische Platte 1 gefertigt sind. Zur Vermeidung
bzw. Reduzierung von Abrieb sind die Friktionsoberflächen
mit der abriebfesten Schicht 37 versehen.
-
11 zeigt
in der Darstellung 43 eine Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors, bei dem die
Halteflächen 5 Fixierelemente 44 aufweisen.
Die Fixierelemente 44 können während des
Herstellungsprozesses aus der gleichen Piezokeramik wie die piezoelektrische
Platte 1 gefertigt werden. Sie können aber auch
aus anderen Materialien wie z. B. aus weichen Sorten von Oxidkeramik oder
aus harten Polymerwerkstoffen gefertigt sein. In diesem Fall können
die Fixierelemente 44 auf die Halteflächen 6 der
piezoelektrischen Platte 1 aufgeschweißt oder
aufgelötet werden. Das Aufschweißen erfolgt mittels
leicht schmelzender Gläser oder mittels anderer, eine chemische
Verbindung der Piezokeramik mit dem Material des Fixierelementes 44 eingehende
Materialien. Das Aufkleben erfolgt mittels Epoxydharz oder mit Hilfe
anderer ähnlicher Kleber.
-
In
der Darstellung 45 der 11 ist
eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors gezeigt, bei dem die Halteflächen 5 Fixiernuten 46 aufweisen.
-
12 zeigt
ein erstes Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor. Dieser Motor hat eine
Grundplatte 47 mit auf ihr befestigten Kugellagern 48,
die ein als Stab ausgeführtes bewegliches Element 49 halten. Das
Friktionselement 34 des Ultraschallaktors 33 wird
an eine Friktionsoberfläche 50 des beweglichen Elementes 49 mit
Hilfe einer Anpressvorrichtung 51 angepresst, welche eine
Feder 52 aufweist, die gleichzeitig die piezoelektrische
Platte 1 mit einer Buchse 53, die in den Fixiernuten 46 sitzt,
hält.
-
13 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor. Hier ist das bewegliche
Element 49 als Teil eines Ringes ausgeführt. Ebenso
ist jedoch denkbar, dass das bewegliche Element 49 als kompletter
Ring ausgeführt ist. Der Ultraschallaktor 33 dieses
Motors wird mit Hilfe eines beweglichen Bügels 54 und
der Anpressvorrichtung 51 gehalten. Der bewegliche Bügel 54 hat
Nuten 55, in denen die Fixierelemente 44 der piezoelektrischen
Platte 1 sitzen.
-
14 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor. Das bewegliche Element 49 weist
hierbei zwei Läufer 56 auf, die sich in den Führungsnuten 42 der
piezoelektrischen Platte 1 befinden. Die Läufer 56 werden
durch die Feder 52 gehalten, die dafür Halter 57 mit Öffnungen 58 aufweist. Bei
der in Darstellung 59 der 14 gezeigten
Variante der Feder 52 werden die Läufer 56 durch
gekrümmte Endteile 60 der Halter 57 gehalten.
-
15 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor, bei dem die piezoelektrische Platte 1 des
Ultraschallaktors 33 auf einer Leiterplatte 61 angeordnet
ist. Als Halter des Ultraschallaktors 33 dient ein Bügel 62,
der gleichzeitig die Aufgabe des Leiters übernimmt, welcher
die allgemeinen Elektroden 21 mit stromleitenden Bahnen 63 der
Leiterplatte 61 verbindet. Die Erregerelektroden 20 sind
mittels aus stromleitendem Gummi hergestellten Zwischenlagen 64 mit
den stromleitenden Bahnen 63 verbunden. Die Leiterplatte 61 bildet
gleichzeitig die Platte, auf der die Elektronikbauteile der elektrischen
Erregervorrichtung 32 des Ultraschallaktors 33 angeordnet
sind. Das bewegliche Element 49 dieses Motors besteht aus
der Feder 52, die bei der Herstellung fest mit den aus
Kunststoff gefertigten Läufern 56 verpresst wird.
Die Läufer 56 können jedoch ebenso aus Metall,
Keramik, Glass oder aus gefülltem Kunststoff, beispielsweise
aus mit Glasfasern gefülltem Polyarylamid oder aus mit
Kohlenstofffasern gefüllten Epoxydharz gefertigt sein.
-
16 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor, wobei der Ultraschallmotor
in einem Objektiv eines elektronischen Fotoapparates angeordnet
ist. In diesem Objektiv kann eine bzw. können zwei oder
drei Gruppen von optischen Linsen 65 zum Einsatz kommen.
Dabei ist jede optische Linsengruppe 65 auf dem beweglichen
Element 49 des entsprechenden Ultraschallmotors angeordnet.
Die Grundplatte 47 jedes Motors wird im Objektivgehäuse
(Gehäuse ist in 16 nicht
dargestellt) befestigt. Dabei wird die mit dem Fotoobjektiv der
optischen Linsengruppe 65 aufgenommene Abbildung auf einen
Fotosensor 66 fokussiert.
-
17 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor, wobei auch hier der
Ultraschallmotor in einem Objektiv eines elektronischen Fotoapparates angeordnet
ist. Bei diesem Objetiv bewegen sich die Ultraschallaktoren 33 auf
im Objektivgehäuse angeordneten Führungen 67.
-
18 zeigt
ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors in einem Ultraschallmotor. Hierbei sind drei Ultraschallmotoren
so angeordnet, dass sie das in Form eines Ringes vorliegende bewegliche
Element 49 in eine Drehbewegung versetzen können.
-
Nachfolgend
wird die Funktionsweise des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors näher erläutert.
-
An
einen der Generatoren für eine Ultraschallstehwelle, z.
B. dem Generator 7 der piezoelektrischen Platte 1,
wird von der Erregervorrichtung 23 über den Umschalter 24 (siehe 5)
die Erregerspannung U angelegt, deren Frequenz in etwa gleich fo
(siehe 6). Dabei wird in der piezoelektrischen Platte 1 eine
akustische Stehwelle erzeugt. Da der Generator 7 asymmetrisch
bezogen auf die Symmetrieebene Sq und symmetrisch bezogen auf die
Symmetrieebene Sl angeordnet ist, ist die Form der Stehwelle asymmetrisch
zur Symmetrieebene Sq und symmetrisch zur Symmetrieebene Sl. Die
Form der erregten Welle wird durch die in den Darstellungen 28 und 29 der 7 gezeigten
Abbildungen der maximalen Deformation wiedergegeben.
-
Die
Ausbildung einer Stehwelle mit einer solchen Form kann durch zwei
Gründe hervorgerufen werden. Im ersten Fall ist die erregte
Stehwelle das Ergebnis der Überlagerung der ersten sich
längs zur Höhe H der piezoelektrischen Platte 1 ausbreitenden Mode
der symmetrischen Stehwelle mit der zweiten sich längs
zur Länge L der piezoelektrischen Platte 1 ausbreitenden
Mode. Beide Moden werden bei dicht nebeneinander liegenden Resonanzfrequenzen
erzeugt, wodurch diese Resonanzen praktisch nicht voneinander unterscheidbar
sind. Im zweiten Fall stellt die erzeugte Stehwelle eine einzelne
Form einer asymmetrischen Stehwelle dar, die der gegebenen Form
der piezoelektrischen Platte 1 eigen ist und auf ihrer
eigenen Resonanzfrequenz erzeugt wird.
-
In
beiden Varianten bewegen sich die im Zentrum der Oberfläche
der Arbeitsflächen 4 befindenden Punkte 31 auf
den in 8 dargestellten geneigten Bewegungsbahnen 30.
Auf den gleichen Bewegungsbahnen bewegen sich auch die auf den Arbeitsflächen 4 der
piezoelektrischen Platte 1 angeordneten Friktionselemente 34 oder
Stößel 35 (siehe 9, 10, 11 und 13).
Auf eben diesen Bewegungsbahnen bewegen sich auch die Punkte der
Oberflächen der Führungsnuten 42. In
allen Fällen führt die Bewegung auf den geneigten
Bahnen zu einer gleichgerichteten Bewegung der an den Ultraschallaktor 33 angepressten
beweglichen Elemente 49.
-
Durch
das Verbinden des Generators 8 an Stelle des Generators 7 mit
der elektrischen Erregervorrichtung 23 ändert
sich der Neigungswinkel der Bewegungsbahn von β auf –β.
Dies hat die Umkehr der Bewegungsrichtung des beweglichen Elementes 49 zur
Folge.
-
Der
positive Effekt der vorgeschlagenen Erfindung im Vergleich zum aus
dem Stand der Technik bekannten Ultraschallaktor gemäß Druckschrift
US 6,765,335 (
20) ergibt sich aus folgendem Grund. In
dem aus dem Stand der Technik bekannten Ultraschallaktor besitzt
die piezoelektrische Platte des Ultraschallmotors die in
2 gestrichelt
dargestellte rechteckige Form. Die Querschnittsfläche der
piezoelektrischen Platte des bekannten Ultraschallaktors bezogen
auf die Ebene St ist gleich Q. Bei Erregung der piezoelektrischen
Platte des bekannten Ultraschallaktors schwingt die gesamte piezoelektrische Platte.
Dabei wird die Schwingungsfrequenz durch die Länge L und
die Höhe H der piezoelektrischen Platte bestimmt.
-
In
einer vereinfachten Betrachtungsweise kann angenommen werden, dass
sich die mechanischen Verluste gleichmäßig in
der Querschnittsfläche der piezoelektrischen Platte bezogen
auf die Ebene St verteilen. Davon ausgehend ist die der piezoelektrischen
Platte des bekannten Ultraschallaktors zugeführte elektrische
Leistung proportional zu seiner Querschnittsfläche Q.
-
Bei
den in den Darstellungen 11, 12 und 13 der 2 gezeigten
drei Beispielfällen hat die piezoelektrische Platte 1 des
Ultraschallaktors die mit durchgehender Linie dargestellte acht
Seitenflächen aufweisende Form. Die Querschnittsfläche
der piezoelektrischen Platte 1 bezogen auf die Ebene St
entspricht qo für den Fall gemäß Darstellung 11,
qm für den Fall gemäß Darstellung 12 und
qn für den Fall gemäß Darstellung 13.
Bei Erregung einer asymmetrischen Stehwelle in der piezoelektrischen
Platte 1 des erfindungsgemäßen Ultraschallaktors
schwingt die gesamte piezoelektrische Platte mit. Die Schwingungsfrequenz
wird, wie auch im bekannten Ultraschallaktor, durch die Länge
L und die Höhe H der piezoelektrischen Platte 1 bestimmt.
-
Für
den erfindungsgemäßen Ultraschallaktor wie auch
für den aus dem Stand der Technik bekannten Ultraschallaktor
kann angenommen werden, dass sich die mechanischen Verluste proportional über
die Querschnittsfläche der piezoelektrischen Platte 1 bezogen
auf die Ebene St verteilen. Davon ausgehend ist die der piezoelektrischen
Platte 1 des erfindungsgemäßen Ultraschallaktors
zugeführte elektrische Leistung proportional zur Querschnittsfläche
qo bzw. qm bzw. qn. Wenn die piezoelektrische Platte des bekannten
Ultraschallaktors und die piezoelektrische Platte 1 des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors die gleiche
Länge L und die gleiche Höhe H aufweisen, und
aus dem gleichen Typ von Piezokeramik mit den gleichen mechanischen
Verlusten und dem gleichen Piezomodul hergestellt sind, muss zum
Erreichen gleicher Schwingungsamplituden die eine wie auch die andere
piezoelektrische Platte mit gleicher relativer Leistung erregt werden. D.
h. die der piezoelektrischen Platte zugeführte elektrische
Leistung, geteilt durch die Fläche des Querschnitts, muss
in beiden Fällen gleich sein.
-
Da
die piezoelektrische Platte 1 des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors eine kleinere Querschnittsfläche bezogen
auf die Ebene St hat, ist für seine Erregung eine geringere
elektrische Leistung erforderlich. Für eine optimale Gestaltung
der in Darstellung 11 der 12 gezeigten
piezoelektrischen Platte 1 beträgt der Leistungsgewinn
bei L/n = H/m = 5 im Verhältnis zum bekannten Ultraschallaktor
etwa 30%.
-
In
einer realen piezoelektrischen Platte des bekannten Ultraschallaktors
sind die mechanischen Verluste in der Praxis jedoch nicht gleichmäßig
verteilt. An Ecken der piezoelektrischen Platten des bekannten Ultraschallaktors
sind die Verluste höher, weshalb der reelle Leistungsgewinn
im erfindungsgemäßen Ultraschallaktor im Verhältnis
zum aus dem Stand der Technik bekannten Ultraschallaktor etwa 40–50%
beträgt.
-
Anders
ausgedrückt bedeutet dies, dass durch Stutzen der Ecken
der piezoelektrischen rechteckigen Platte des bekannten Ultraschallaktors
der erfindungsgemäße Ultraschallaktor mit einer
mindestens acht Seitenflächen aufweisenden piezoelektrischen
Platte 1 resultiert, wodurch die für den Betrieb des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors benötigte Leistung
verringert wird. Dabei bleibt die Schwingungsamplitude des Ultraschallaktors
erhalten, d. h. es wird die vom Ultraschallaktor auf das bewegliche Element 49 übertragene
mechanische Leistung konstant gehalten. Durch die Verringerung der
verbrauchten Leistung ist es möglich, die Erwärmung des
Ultraschallaktors während des Betriebs zu reduzieren. Dies
erhöht die Betriebsstabilität und seine Sicherheit.
-
Die
optimalen Abmessungen der piezoelektrischen Platte 1 des
erfindungsgemäßen Ultraschallaktors hängen
geringfügig vom Typ der piezoelektrischen Keramik ab, aus
dem die Platte hergestellt wird. Das bedeutet, dass die optimalen
Abmessungen der piezoelektrischen Platte 1 für
jeden Typ von Piezokeramik experimentell ermittelt werden müssen.
-
Bei
der in Darstellung 16 der 4 gezeigten
Ausführungsform der Generatoren 7 und 8 erfolgt die
Erregung der asymmetrischen Welle aufgrund der Ausnutzung des Piezomoduls
d31. Eine solche Konstruktion der Generatoren 7 und 8 stellt
die einfachste konstruktive Ausführung dar und kann deshalb
in preiswerten Ultraschallaktoren, die bei ausreichend niedrigen
Erregerspannungen arbeiten, eingesetzt werden.
-
Bei
den in den Darstellungen 17 und 18 der 4 gezeigten
Ausführungsformen der Generatoren 7 und 8 können
die Elektroden 20 und 21 und die Anschlüsse 9 und 10 auf
einer Seite der piezoelektrischen Platte 1 ausgeführt
sein. Dies vereinfacht ebenso die Konstruktion des Ultraschallmotors.
-
Darstellung 19 in 2 zeigt
eine piezoelektrische Platte 1 mit den in Multilayerform
ausgeführten Generatoren 7 und 8. Die
piezoelektrische Platte 1 mit solch ausgeführten
Generatoren kann mit relativ niedrigen Spannungen angesteuert werden.
-
Durch
die Wahl der entsprechenden Form für das Friktionselement 34 oder
den Stößel 35 oder durch die Verwendung
von Führungsnuten (siehe 9, 10)
kann die Zugkraft am beweglichen Element 49 erhöht,
die Bewegungsgeschwindigkeit des beweglichen Elements 49 erhöht
oder verringert und seine Positioniergenauigkeit erhöht
werden.
-
Durch
die Verwendung der Fixierelemente 44 oder der Fixiernuten 46 (siehe 11)
ist es möglich, die piezoelektrische Platte 1,
wie z. B. in den 12 und 13 gezeigt,
fest zu fixieren.
-
Der
erfindungsgemäße Ultraschallaktor 33 kann
bewegliche Elemente 49 unterschiedlichster Konstruktionen
bzw. Formen in Bewegung versetzen. Dabei kann das bewegliche Element
z. B. ein Stab (12) oder ein Ring bzw. ein Teil
eines Rings (13) sein. Das bewegliche Element 49 kann
darüber hinaus als Scheibe, Rohr, Kugel oder in jeder anderen
durch die jeweilige Konstruktion vorgegebenen Form ausgeführt
sein.
-
Außerdem
kann das bewegliche Element 49 zwei Läufer 56 aufweisen
und, wie in 14 dargestellt, aus mehreren
Teilen zusammengesetzt sein. In diesem Fall können die
Läufer 56 durch die Öffnungen 58 der
Halter 57 der Feder 52 gehalten werden.
-
In
einer anderen Variante können die Halter 57 konkave
Endteile 60 aufweisen, die, wie in Position 59 der 14 gezeigt,
die Läufer 56 halten. In beiden Varianten ist
es nicht erforderlich die Läufer 56 mit den Haltern 57 z.
B. mittels Kleber fest zu verbinden, was die Montage des Ultraschallmotors
vereinfacht.
-
Der
Ultraschallmotor in 15 ist modular aufgebaut. In
diesem Motor kann auf dem beweglichen Element 59 ein Laserreflektor
oder ein anderes bewegliches Element einer optischen Baugruppe oder
ein Miniaturkopf einer Speichereinheit (in der Abb. nicht dargestellt)
montiert werden.
-
Bei
dem in 16 schematisch dargestellten
optischen Objektiv werden die optischen Linsengruppen 65 auf
dem beweglichen Element 49 angeordnet. Eine solche Konstruktion
des Objektivs ist möglich, wenn keine große Verschiebung
der optischen Linsengruppe erforderlich ist.
-
Falls
eine große Verschiebung der optischen Linsengruppe erforderlich
ist, kann die in 17 dargestellte Konstruktion
des Objektivs verwendet werden. In dieser Konstruktion wird der
Ultraschallaktor 33 auf den Führungen 67 bewegt,
wobei die Verschiebung nicht begrenzt ist.
-
Möglich
ist auch eine Kombination der beiden in den 16 und 17 gezeigten
Ausführungsformen.
-
Bei
der in 18 gezeigten Ausführungsform
wird das bewegliche Element 49 in Form einer Scheibe oder
eines Ringes durch die drei Ultraschallaktoren 33 gehalten
und in eine Drehbewegung versetzt.
-
Die
hier aufgezeigte technische Lehre ermöglicht es, die erforderliche
Leistung für die Erregung des erfindungsgemäßen
Ultraschallaktors im Vergleich zu dem aus dem Stand der Technik
gemäß Druckschrift
US
6,765,335 bekannten Ultraschallaktor um etwa 40–50%
zu senken. Durch die Verringerung der erforderlichen Leistung ist
es möglich, die Erwärmung des Aktors zu reduzieren.
Dies wiederum erhöht die Betriebsstabilität und
Betriebssicherheit. Durch die niedrigere erforderliche Leistung
ist es möglich, den erfindungsgemäßen
Ultraschallaktor in miniaturisierten, preiswerten Geräten
mit niedrigem elektrischem Energiebedarf wie z. B. in Objektiven von
Miniaturfotoapparaten, in Objektiven für tragbare Kommunikationsmittel
wie Handys, in miniaturisierten Speichereinheiten und in anderen ähnlichen
Geräten, für die kleine Abmessungen, eine hohe
Positioniergenauigkeit und ein geringer Energiebedarf für den
Antrieb erforderlich sind, zu verwenden.
-
- 1
- Piezoelektrische
Platte
- 2
- Hauptflächen
- 3
- Piezoelektrische
Platte 1 in Draufsicht
- 4
- Arbeitsfläche
- 5
- Haltefläche
- 6
- Freie
Fläche
- 7
- Generator
- 8
- Generator
- 9
- Generatoranschluss
- 10
- Generatoranschluss
- 11
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1
- 12
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1
- 13
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1
- 14
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1
- 15
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1
- 16
- Konstruktionsvariante
des Generators 7 bzw. 8
- 17
- Konstruktionsvariante
des Generators 7 bzw. 8
- 18
- Konstruktionsvariante
des Generators 7 bzw. 8
- 19
- Konstruktionsvariante
des Generators 7 bzw. 8
- 20
- Erregerelektrode
- 21
- Gemeinsamen
Elektrode
- 22
- Piezokeramische
Schicht
- 23
- Elektrische
Erregervorrichtung
- 24
- Umschalter
- 25
- Frequenzabhängigkeit
der Impedanz Z der piezoelektrischen Platte 1
- 26
- Frequenzabhängigkeit
des Winkels Φ
- 27
- Resonanzpeak
- 28
- Maximale
Deformation der piezoelektrischen Platte 1
- 29
- Maximale
Deformation der piezoelektrischen Platte 1
- 30
- Bewegungsbahnen
der Punkte 31
- 31
- Punkte
im Zentrum der Arbeitsflächen 4
- 32
- Variante
des Ultraschallaktors 33
- 33
- Ultraschallaktor
- 34
- Friktionselement
- 35
- Stößel
- 36
- Varianten
des Friktionselements 34 oder des Stößels 35
- 37
- Abriebfeste
Schicht
- 38
- Variante
des Ultraschallaktors 33
- 39
- Variante
des Ultraschallaktors 33
- 40
- Variante
des Ultraschallaktors 33
- 41
- Variante
des Ultraschallaktors 33
- 42
- Führungsnut
- 43
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1 des Ultraschallaktors 33
- 44
- Fixierelement
- 45
- Variante
der piezoelektrischen Platte 1 des Ultraschallaktors 33
- 46
- Fixiernut
- 47
- Grundplatte
- 48
- Kugellager
- 49
- Bewegliches
Element
- 50
- Friktionsoberfläche
- 51
- Anpressvorrichtung
- 52
- Feder
- 53
- Buchse
- 54
- Beweglicher
Bügel
- 55
- Nuten
im beweglichen Bügel 54
- 56
- Läufer
- 57
- Halter
- 58
- Öffnung
im Halter 57
- 59
- Position
mit konstruktiven Ausführungen des Halters 57
- 60
- Endteil
des Halters 57
- 61
- Leiterplatte
- 62
- Bügel
- 63
- Stromleitende
Bahn der Platte 60
- 64
- Zwischenlage
aus stromleitendem Gummi
- 65
- Optische
Linsengruppe
- 66
- Fotosensor
- 67
- Führung
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste
der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert
erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information
des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen
Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt
keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 5672903 [0003]
- - US 5665918 [0003]
- - US 6765335 [0004, 0036, 0066, 0087]