DE102005007259B4

DE102005007259B4 - Positionsmessvorrichtung

Info

Publication number: DE102005007259B4
Application number: DE102005007259A
Authority: DE
Inventors: Werner Siefert; Wolfgang Brandstätter
Original assignee: Berger Lahr GmbH and Co KG
Current assignee: Schneider Electric Automation GmbH
Priority date: 2005-02-16
Filing date: 2005-02-16
Publication date: 2007-04-19
Anticipated expiration: 2025-02-17
Also published as: DE102005007259A1

Abstract

Positionsmessvorrichtung (1) mit mindestens zwei relativ zueinander beweglichen Vorrichtungsteilen (3, 4), wobei mit einem ersten Vorrichtungsteil (3) mindestens ein erstes Magnetteil (6) über eine mechanische Feder (5) verbunden ist, und wobei ein zweites Vorrichtungsteil (4) mindestens ein zweites Magnetteil aufweist, das mit dem ersten Magnetteil (6) magnetisch zusammenwirkt, wobei das dem einen Vorrichtungsteil (3, 4) zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und das dem anderen Vorrichtungsteil (4, 3) zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und/oder magnetisch leitender Körper ausgebildet ist, wobei die mechanische Feder (5), derart angeordnet ist, dass sie während einer Annäherung der Vorrichtungsteile (3, 4) an eine Relativposition einen Teil der Bewegungsenergie in Form von potentieller Energie ansammelt und beim Erreichen der Relativposition in Form von kinetischer Energie schlagartig freisetzt, mit einer Umformeinrichtung zum Umformen der freigesetzten Energie in elektrische Impulse, mit einer einen nicht flüchtigen Positionsspeicher aufweisenden Verarbeitungseinrichtung (9), die mit der Umformeinrichtung elektrisch verbunden und derart...

Description

Die Erfindung betrifft eine Positionsmessvorrichtung mit mindestens zwei relativ zueinander beweglichen Vorrichtungsteilen, wobei mit einem ersten Vorrichtungsteil mindestens ein erstes Magnetteil über eine mechanische Feder verbunden ist, und wobei ein zweites Vorrichtungsteil mindestens ein zweites Magnetteil aufweist, das mit dem ersten Magnetteil magnetisch zusammenwirkt, wobei das dem einen Vorrichtungsteil zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und das dem anderen Vorrichtungsteil zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und/oder magnetisch leitender Körper ausgebildet ist, wobei die mechanische Feder, derart angeordnet ist, dass sie während einer Annäherung der Vorrichtungsteile an eine Relativposition einen Teil der Bewegungsenergie in Form von potentieller Energie ansammelt und beim Erreichen der Relativposition in Form von kinetischer Energie schlagartig freisetzt, mit einer Umformeinrichtung zum Umformen der freigesetzten Energie in elektrische Impulse, und mit einer einen nicht flüchtigen Positionsspeicher aufweisenden Verarbeitungseinrichtung, die mit der Umformeinrichtung elektrisch verbunden und derart ausgestaltet ist, dass sie die elektrischen Impulse zu ihrer Stromversorgung und zum Nachführen eines in dem Positionsspeicher abgelegten Positionswerts nutzt, wobei das erste Vorrichtungsteil eine relativ zu dem zweiten Vorrichtungsteil verdrehbare Welle oder Achse aufweist, und wobei das erste Magnetteil mindestens zwei in Umfangsrichtung der Welle oder Achse zueinander versetzte ungleichnamige Magnetpole aufweist, die über einen Luftspalt mit dem zweiten Magnetteil zusammenwirken.

Eine derartige Positionsmessvorrichtung, bei der das erste Vorrichtungsteil als Welle ausgestaltet ist, die über ein Übersetzungsgetriebe mit einem rotierenden Teil eines Gaszählers verbunden ist, ist aus DE 1 045 286 A bekannt. Das erste Magnetteil ist als Stabmagnet ausgebildet, der um eine zweite Welle, die in gerader Verlängerung der ersten Welle angeordnet ist und über eine als Energiespeicher dienende Spiral-Feder mit dieser verbunden ist, drehbar gelagert. Dabei weisen die Magnetpole des Stabmagneten radial nach außen und wirken mit dem als magnetisch leitender Körper ausgebildeten zweiten Vorrichtungsteil über einen Luftspalt zusammen. Der magnetisch leitende Körper ist mit einer Wicklung bewickelt, die von einem von dem Stabmagnet in dem Körper erzeugten magnetischen Fluss durchsetzt wird und die bei Erreichen der Relativposition, bei der die in der Spiralfeder gespeicherte kinetische Energie schlagartig freigesetzt wird, einen elektrischen Impuls erzeugt. Aus dem elektrischen Impuls wird ein von dem Gaszähler entfernt angeordnetes elektromechanisches Zählwerk gespeist, an dem der Gasverbrauch ablesbar ist. Die Vorrichtung benötigt jedoch noch einen relativ großen Bauraum.

Aus DE 43 42 069 C2 ist ferner eine Positionsmessvorrichtung bekannt, die als erstes Vorrichtungsteil eine Welle aufweist, die an einem zweiten Vorrichtungsteil drehbar gelagert ist. An der Welle ist ein Radialarm angeordnet, der an seinem freien Ende einen ersten Permanentmagneten trägt, der beim Verdrehen der Welle auf einer Kreisbahn konzentrisch um die Rotationsachse der Welle umläuft. Um die Umdrehungen der Welle mit Hilfe einer elektronischen Verarbeitungseinrichtung auch dann zählen zu können, wenn die Verarbeitungseinrichtung von ihrer regulären Stromversorgung getrennt ist und die Welle nur langsam umläuft, ist eine Blattfeder vorgesehen, die als Energiespeicher dient und einen Teil der kinetischen Energie der Welle in Form von potentieller Energie ansammelt, während sich die Welle einer vorgegebenen Drehlage relativ zu dem zweiten Vorrichtungsteil annähert. Die Blattfeder ist an ihrem einen Ende an einem etwa in gerader Verlängerung der Welle angeordneten drehfesten Halter eingespannt und trägt an ihrem anderen Ende einen zweiten Permanentmagnet, der mit dem ersten Permanentmagnet zusammenwirkt und mit diesem einen Mitnehmer bildet, der das freie Ende der Blattfeder beim Annähern der Welle an die vorgegebenen Drehlage auslenkt. Da die Rückstellkraft der Blattfeder mit zunehmender Auslenkung größer wird, wird bei fortschreitender Drehbewegung der Welle eine Auslenkposition erreicht, in der die Rückstellkraft der Blattfeder die in Umfangsrichtung wirkenden Abstoßungskräfte zwischen den Permanentmagneten überwindet, so dass der an der Blattfeder angeordnete Permanentmagnet auf der zu der Rotationsachse der Welle konzentrischen Kreisbahn in Richtung seiner Ausgangslage stark beschleunigt wird. Dabei wird die in der Blattfeder gespeicherte potentielle Energie in kinetische Energie umgewandelt. Das zweite Vorrichtungsteil hat als zweites Magnetteil einen magnetisch leitenden Eisenkern, auf dem eine Induktionsspule angeordnet ist. An diesem Eisenkern wird der zweite Permanentmagnet beim Zurückfedern der Blattfeder vorbeibewegt, wodurch in der Induktionsspule ein elektrischer Impuls induziert wird, der einen Kondensator auflädt, der als Strom-/Spannungsquelle für die Verarbeitungseinrichtung dient. Die Verarbeitungseinrichtung weist einen nicht flüchtigen Positionsspeicher auf, in dem ein Positionswert für die Relativposition der Vorrichtungsteile abgelegt ist. Der Positionswert wird bei jedem Auftreten eines elektrischen Impulses mit Hilfe der Verarbeitungseinrichtung nachgeführt. Die Positionsmessvorrichtung ermöglicht zwar auch bei einem Ausfall ihrer regulären Stromversorgung ein Nachführen des Positionswerts und somit eine absolute Positionsmessung, so dass beim Einschalten der Stromversorgung der Positionswert stets aktuell ist und eine Referenzfahrt eingespart werden kann. Die Positionsmessvorrichtung hat jedoch den Nachteil, dass sie einen relativ komplizierten Aufbau aufweist.

Es besteht deshalb die Aufgabe, eine einfach aufgebaute, kostengünstig herstellbare Positionsmessvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die eine zuverlässige absolute Positionsmessung ermöglicht.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das erste Magnetteil um die Welle oder Achse herum angeordnet und durch einen Zwischenraum radial von der Welle oder Achse beabstandet ist, und dass in dem Zwischenraum die Feder angeordnet ist.

Dadurch ergibt sich eine besonders kompakt aufgebaute Positionsmessvorrichtung, bei der die Feder Platz sparend in dem zwischen der Welle oder Achse und dem zweiten Magnetteil gebildeten Raum vorzugsweise um die Welle oder Achse herum angeordnet ist. Bei einer Annäherung der Vorrichtungsteile an die vorgegebene Relativposition kann also Bewegungsenergie direkt von dem ersten Vorrichtungsteil auf die Feder übertragen und in dieser in Form von potentieller Energie gespeichert werden. Beim Erreichen der Relativposition wird die potentielle Energie freigesetzt, wodurch das erste Magnetteil beschleunigt wird. Dabei wird davon ausgegangen, dass das erste Vorrichtungsteil eine wesentlich größere Massenträgheit hat als das erste Magnetteil, so dass die freigesetzte potentielle Energie nahezu vollständig in kinetische Energie des ersten Magnetteils umgesetzt wird. Aus dieser kinetischen Energie wird mit Hilfe der Umformeinrichtung der zum Betreiben der Verarbeitungseinrichtung benötigte elektrische Impuls erzeugt.

Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung weist die Umformeinrichtung mindestens eine Induktionsspule auf, die mit dem Permanentmagnet zusammenwirkt. Die beim Erreichen der vorgegebenen Relativposition freigesetzte potentielle Energie kann dadurch sehr verlustarm in den zum Betrieb der Verarbeitungseinrichtung benötigten elektrischen Impuls umgesetzt werden, indem der Permanentmagnet beschleunigt wird, um in der Induktionsspule eine Änderung des magnetischen Flusses zu bewirken, die in der Induktionsspule eine elektrische Spannung induziert.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht die Feder aus einem Elastomer- und/oder Gummiwerkstoff und ist durch eine elastische Vergussmasse gebildet, mit welcher der Zwischenraum befüllt ist. Die Positionsmessvorrichtung ist dann noch kostengünstiger herstellbar. Der Elastomer- und/oder Gummiwerkstoff ermöglicht eine robuste Feder, die auch für starke Beschleunigungen, wie sie z.B. bei hochdynamischen elektrischen Antrieben auftreten können, geeignet ist. Die Vergussmasse kann bei der Fertigung der Positionsmessvorrichtung in flüssiger oder zähflüssiger Form in den zwischen der der Welle oder Achse und dem ersten Magnetteil gebildeten Zwischenraum eingebracht und dann verfestigt werden, beispielsweise durch Erstarren, durch Verdunsten eines Lösungsmittels und/oder eine chemische Reaktion. Die Vergussmasse kann eine Kunststoffmasse, wie z.B. ein Thermoplast, oder Silikon sein.

Vorteilhaft ist, wenn das zweite Vorrichtungsteil mehrere in Richtung der Relativbewegung der Vorrichtungsteile zueinander versetzte Magnetteile aufweist, wenn für jedes dieser Magnetteile jeweils eine mit der Verarbeitungseinrichtung verbundene Umformeinrichtung vorgesehen ist, und wenn die Magnetteile derart angeordnet sind und die Verarbeitungseinrichtung derart ausgebildet ist, dass der in dem Positionsspeicher abgelegte Positionswert beim Auftreten eines elektrischen Impulses in Abhängigkeit von der Richtung der Relativbewegung nachgeführt wird. Somit kann auch bei einer Änderung der Bewegungsrichtung der Positionswert korrekt nachgeführt werden.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind die Welle, die Feder und das mindestens ein erste Magnetteil Teile eines Rotors, der in einem Stator umläuft, der ein Jochteil mit in Umfangsrichtung durch Zahnlücken voneinander beabstan deten, mit dem mindestens einen ersten Magnetteil zusammenwirkenden Zähnen aufweist, auf denen die Induktionsspulen angeordnet sind. Dabei kann das Jochteil ein Teil eines Gehäuses sein, in dem die Induktionsspulen und der Rotor vor Verschmutzung geschützt sind.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist das erste Vorrichtungsteil über eine Linearführung mit dem zweiten Vorrichtungsteil verbunden. Die Positionsmessvorrichtung ermöglicht dann bei einer Verschiebebewegung eine Positionsmessung eines verschobenen Teils, beispielsweise eine Positionsmessung eines Läufers eines Linearmotors relativ zu dessen Stator.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist das erste Vorrichtungsteil mehrere in Erstreckungsrichtung der Linearführung voneinander beabstandete Zähne auf, die jeweils über einen Luftspalt mit dem zweiten Magnetteil zusammenwirken. Dabei ist es sogar möglich, dass die zweiten Magnetteile durch Pole oder Polzähne eines Linearmotors gebildet und/oder an diesen angeordnet sind. Die Verarbeitungseinrichtung kann dann die Anzahl der Polübergänge zählen, die beim Verschieben des Linearmotor-Läufers an dem Stator überfahren werden. Um die Bewegungsrichtung zu erkennen, können den Polzähnen zwei der Anordnungen, bestehend jeweils aus einem zweiten Magnetteil, einer Feder und einer Umformeinrichtung zugeordnet sein. Diese Anordnungen sind in Bewegungsrichtung des Linearmotors zueinander versetzt und mechanisch an die Polteilung angepasst.

Nachfolgend ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Die einzige
1 zeigt eine Seitenansicht einer Positionsmessvorrichtung, die als Magnetteile einen Ringmagneten und ein etwa U-förmiges Jochteil aufweist.
Eine in 1 im Ganzen mit 1 bezeichnete Positionsmessvorrichtung weist zwei mittels einer Drehlagerung um eine Rotationsachse 2 relativ zueinander verdrehbar gelagerte Vorrichtungsteile 3, 4 auf. Ein erstes, als Welle ausgestaltetes Vorrichtungsteil 3 ist über eine Feder 5 mechanisch mit einem ersten Magnetteil 6 verbunden, das als ringförmiger Permanentmagnet ausgebildet ist, der an seinem Umfang in Umfangsrichtung zueinander versetzte, ungleichnamige Magnetpole N, S aufweist. Das erste Magnetteil 6 ist etwa konzentrisch zur Rotationsachse 2 um das erste Vorrichtungsteil 3 herum angeordnet. Dabei ist das erste Magnetteil 6 durch einen Zwischenraum radial von dem ersten Vorrichtungsteil 3 beabstandet.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach 1 weist das erste Magnetteil 6 zwei diametral einander gegenüberliegende Magnetpole auf. Es sind aber auch andere Ausführungsformen denkbar, bei denen das erste Magnetteil 6 an seinem Umfang drei oder mehr Magnetpole N, S hat. Das erste Magnetteil 6 kann einstückig ausgebildet sein oder aus mehreren Magnetsegmenten bestehen, die auf einem vorzugsweise gut magnetisch leitfähigen Trägerteil angeordnet sind, beispielsweise einer ferromagnetischen Hülse.
Ein zweites Vorrichtungsteil 4 ist als etwa U-förmiges, weichmagnetisches Jochteil ausgestaltet, das ein zweites Magnetteil bildet, das mit dem ersten Magnetteil 6 über Luftspalte 7 magnetisch zusammenwirkt. Wenn die Magnetpole N, S des ersten Magnetteils 6 den freien Enden der Schenkel des zweiten Vorrichtungsteils 4 gegenüberliegen, wie dies in 1 dargestellt ist, verläuft ein magnetischer Fluss von dem einen Magnetpol N über die Luftspalte und das weichmagnetische zweite Vorrichtungsteil 4 zu dem anderen Magnetpol S. Bei einer Drehbewegung verändert sich der magnetische Fluss in Abhängigkeit von der Lage der Magnet pole N, S relativ zu dem zweiten Vorrichtungsteil 4.
Die mechanische Feder 5 ist mit einem inneren Ende drehfest mit dem ersten Vorrichtungsteil 3 und mit einem äußeren Ende drehfest mit dem ersten Magnetteil 6 verbunden. Wenn die Vorrichtungsteile 3, 4 – ausgehend von einer Neutrallage, in der die Feder 5 entspannt ist – in eine vorgegebene Relativposition zueinander verdreht werden, wird ein Teil der Bewegungsenergie in Form von potentieller Energie in der Feder 5 gespeichert, weil das erste Magnetteil 6 aufgrund der zwischen ihm und dem zweiten Vorrichtungsteil 4 wirkenden Magnetkräfte nur teilweise der Drehbewegung des ersten Vorrichtungsteils 3 folgt und die Feder 5 dadurch gespannt wird.
Da die Rückstellkraft der Feder 5 mit zunehmender Auslenkung größer wird, wird bei fortschreitender Drehbewegung des ersten Vorrichtungsteils 3 eine Position erreicht, in der die Rückstellkraft der Feder 5 die in Umfangsrichtung wirkenden Kräfte zwischen dem ersten Magnetteil 6 und dem zweien Vorrichtungsteile 4 überwindet, so dass das erste Magnetteil 6 um die Rotationsachse 2 beschleunigt wird und dabei die in ihm gespeicherte potentielle Energie in Form von kinetischer Energie schlagartig freisetzt. Dabei ändert sich der magnetische Fluss in dem zweiten Vorrichtungsteil 4.
Zum Umformen der auf diese Weise freigesetzten Energie in elektrische Impulse weist die Positionsmessvorrichtung 1 eine Umformeinrichtung auf, die eine Induktionsspule 8 hat, die von dem zweiten Vorrichtungsteil 4 und dem darin geführten magnetischen Fluss durchsetzt wird. In 1 ist erkennbar, dass die Induktionsspule 8 elektrisch mit einer schematisch dargestellten elektronischen Verarbeitungseinrichtung 9 verbunden ist.
Die Verarbeitungseinrichtung 9 hat einen nicht flüchtigen Positionsspeicher, in dem ein Positionswert für die absolute Lage, welche die Vorrichtungsteile 3, 4 zueinander aufweisen, abgelegt ist. Die Verarbeitungseinrichtung ist derart ausgestaltet, dass sie bei jedem Auftreten eines elektrischen Impulses an der Induktionsspule 8 den Positionswert nachführt. Die für den Betrieb der Verarbeitungseinrichtung benötigte elektrische Energie wird dabei den elektrischen Impulse n entnommen. Die Positionsmessvorrichtung 1 erfasst dadurch auch dann, wenn sie von ihrer regulären Stromversorgung getrennt ist, Lageveränderungen der Vorrichtungsteile 3, 4, d.h. sie ermöglich eine absolute Positionsmessung über mehrere Umdrehungen (Multi-Turn-Positionsmesssystem). Die Feder 5 ist derart dimensioniert, dass die von ihr beim Erreichen der vorgegeben Relativposition der Vorrichtungsteile 3, 4 freigesetzte Energie auch bei einer langsamen Relativbewegung der Vorrichtungsteile ausreicht, um die Verarbeitungseinrichtung mit Strom zu versorgen und den Positionswert nachzuführen.
Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Feder 5 durch eine verfestigte, elastische Vergussmasse gebildet, mit welcher Zwischenraum zwischen dem ersten Magnetteil 6 und dem ersten Vorrichtungsteil 3 befüllt ist. Die Feder 5 kann auch aus einem Gummiwerkstoff bestehen. Dieser kann bei der Fertigung der Positionsmessvorrichtung 1 in Pulverform zwischen das erste Magnetteil 6 und das erste Vorrichtungsteil 3 eingebraucht und dann unter Einwirkung von Druck und/oder Wärme vulkanisiert werden.
Die Positionsmessvorrichtung 1 hat also zwei relativ zueinander bewegliche Vorrichtungsteile 3, 4. Mit einem ersten Vorrichtungsteil 3 ist mindestens ein erstes Magnetteil 6 verbunden. Ein zweites Vorrichtungsteil 4 weist mindestens ein mit dem ersten Magnetteil 6 zusammenwirkendes zweites Magnetteil auf. Das dem einen Vorrichtungsteil 3, 4 zugeordnete mindestens eine Magnetteil ist als Permanentmagnet und das dem anderen Vorrichtungsteil 4, 3 zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und/oder magnetisch leitender Körper bzw. Jocht ausgebildet. Das erste Vorrichtungsteil 3 ist über eine mechanische Feder derart direkt mit dem ersten Magnetteil 6 verbunden, dass die Feder 5 während einer Annäherung der Vorrichtungsteile 3, 4 an eine Relativposition einen Teil der Bewegungsenergie in Form von potentieller Energie ansammelt und beim Erreichen der Relativposition in Form von kinetischer Energie schlagartig freisetzt. Zum Umformen der freigesetzten Energie in elektrische Impulse ist eine Umformeinrichtung vorgesehen, die mit einer Verarbeitungseinrichtung 9 elektrisch verbunden ist, die einen nicht flüchtigen Positionsspeicher aufweist, in dem ein Positionswert abgelegt ist. Die Verarbeitungseinrichtung 9 ist derart ausgestaltet, dass sie die elektrischen Impulse zu ihrer Stromversorgung und zum Nachführen eines in dem Positionsspeicher abgelegten Positionswerts nutzt.

Claims

Positionsmessvorrichtung (1) mit mindestens zwei relativ zueinander beweglichen Vorrichtungsteilen (3, 4), wobei mit einem ersten Vorrichtungsteil (3) mindestens ein erstes Magnetteil (6) über eine mechanische Feder (5) verbunden ist, und wobei ein zweites Vorrichtungsteil (4) mindestens ein zweites Magnetteil aufweist, das mit dem ersten Magnetteil (6) magnetisch zusammenwirkt, wobei das dem einen Vorrichtungsteil (3, 4) zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und das dem anderen Vorrichtungsteil (4, 3) zugeordnete mindestens eine Magnetteil als Permanentmagnet und/oder magnetisch leitender Körper ausgebildet ist, wobei die mechanische Feder (5), derart angeordnet ist, dass sie während einer Annäherung der Vorrichtungsteile (3, 4) an eine Relativposition einen Teil der Bewegungsenergie in Form von potentieller Energie ansammelt und beim Erreichen der Relativposition in Form von kinetischer Energie schlagartig freisetzt, mit einer Umformeinrichtung zum Umformen der freigesetzten Energie in elektrische Impulse, mit einer einen nicht flüchtigen Positionsspeicher aufweisenden Verarbeitungseinrichtung (9), die mit der Umformeinrichtung elektrisch verbunden und derart ausgestaltet ist, dass sie die elektrischen Impulse zu ihrer Stromversorgung und zum Nachführen eines in dem Positionsspeicher abgelegten Positionswerts nutzt, wobei das erste Vorrichtungsteil (3) eine relativ zu dem zweiten Vorrichtungsteil (4) verdrehbare Welle oder Achse aufweist, und wobei das erste Magnetteil (6) mindestens zwei in Umfangsrichtung der Welle oder Achse zueinander versetzte ungleichnamige Magnetpole aufweist, die über einen Luftspalt (7) mit dem zweiten Magnetteil zusammenwirken, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Magnetteil (6) um die Welle oder Achse herum angeordnet und durch einen Zwischenraum radial von der Welle oder Achse beabstandet ist, und dass in dem Zwischenraum die Feder (5) angeordnet ist.
Positionsmessvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Umformeinrichtung mindestens eine Induktionsspule (8) aufweist, die mit dem Permanentmagnet zusammenwirkt.
Positionsmessvorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Magnetteil (6) ringförmig um die Welle oder Achse herum angeordnet ist.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Feder (5) aus einem Elastomer- und/oder Gummiwerkstoff besteht und durch eine elastische Vergussmasse gebildet ist, mit welcher der Zwischenraum befüllt ist.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Vorrichtungsteil (4) mehrere in Richtung der Relativbewegung der Vorrichtungsteile (3, 4) zueinander versetzte Magnetteile aufweist, dass für jedes dieser Magnetteile jeweils eine mit der Verarbeitungseinrichtung verbundene Umformeinrichtung vorgesehen ist, und dass die Magnetteile derart angeordnet sind und die Verarbeitungseinrichtung derart ausgebildet ist, dass der in dem Positionsspeicher abgelegte Positionswert beim Auftreten eines elektrischen Impulses in Abhängigkeit von der Orientierung der Relativbewegung nachgeführt wird.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle, die Feder (5) und das mindestens eine erste Magnetteil (6) Teile eines Rotors sind, der in einem Stator umläuft, der ein Jochteil mit in Umfangsrichtung durch Zahnlücken voneinander beabstandeten, mit dem mindestens einen ersten Magnetteil (6) zusammenwirkenden Zähnen aufweist, auf denen die Induktionsspulen (8) angeordnet sind.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Vorrichtungsteil (3) über eine Linearführung mit dem zweiten Vorrichtungsteil (4) verbunden ist.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Vorrichtungsteil (3) mehrere in Erstreckungsrichtung der Linearführung voneinander beabstandete Zähne aufweist, die jeweils über einen Luftspalt (7) mit dem zweiten Magnetteil zusammenwirken.
Positionsmessvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Magnetteile durch Polzähne eines Linearmotors gebildet und/oder an diesen angeordnet sind.