DE10034507C1 - Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug - Google Patents
Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges FormgebungswerkzeugInfo
- Publication number
- DE10034507C1 DE10034507C1 DE10034507A DE10034507A DE10034507C1 DE 10034507 C1 DE10034507 C1 DE 10034507C1 DE 10034507 A DE10034507 A DE 10034507A DE 10034507 A DE10034507 A DE 10034507A DE 10034507 C1 DE10034507 C1 DE 10034507C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- shaping tool
- glass
- base body
- plastic
- negative
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 abstract 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 4
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- YCLAMANSVUJYPT-UHFFFAOYSA-L aluminum chloride hydroxide hydrate Chemical compound O.[OH-].[Al+3].[Cl-] YCLAMANSVUJYPT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017109 AlON Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 B. Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019912 CrN Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000549194 Euonymus europaeus Species 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001347 Stellite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- AHICWQREWHDHHF-UHFFFAOYSA-N chromium;cobalt;iron;manganese;methane;molybdenum;nickel;silicon;tungsten Chemical compound C.[Si].[Cr].[Mn].[Fe].[Co].[Ni].[Mo].[W] AHICWQREWHDHHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001293 incoloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001235 nimonic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B13/00—Rolling molten glass, i.e. where the molten glass is shaped by rolling
- C03B13/14—Rolling other articles, i.e. not covered by C03B13/01 - C03B13/12, e.g. channeled articles, briquette-shaped articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B13/00—Rolling molten glass, i.e. where the molten glass is shaped by rolling
- C03B13/16—Construction of the glass rollers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/02—Re-forming glass sheets
- C03B23/023—Re-forming glass sheets by bending
- C03B23/035—Re-forming glass sheets by bending using a gas cushion or by changing gas pressure, e.g. by applying vacuum or blowing for supporting the glass while bending
- C03B23/0352—Re-forming glass sheets by bending using a gas cushion or by changing gas pressure, e.g. by applying vacuum or blowing for supporting the glass while bending by suction or blowing out for providing the deformation force to bend the glass sheet
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B9/00—Blowing glass; Production of hollow glass articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
- B29C2059/023—Microembossing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2791/00—Shaping characteristics in general
- B29C2791/004—Shaping under special conditions
- B29C2791/006—Using vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/413—Profiled surfaces optical fibre alignment, fixing or connecting members having V-grooves
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Bei dieser Heißformtechnologie wird mittels eines Formgebungswerkzeuges, dessen Oberfläche entsprechend dem Negativ der zu erzeugenden Mikrostruktur strukturiert ist, die Struktur im viskos vorliegenden Glas oder Kunststoff durch Aufpressen des Formgebungswerkzeuges geformt und durch das Abheben desselben aus der Negativstruktur entformt. DOLLAR A Um das Formen der Struktur und deren Entformen zu unterstützen, sieht die Erfindung ein Formgebungswerkzeug vor, das aus einem zumindest teilweise porösen Grundkörper (1) besteht, der mit einer gasundurchlässigen Funktionsschicht (2) versehen ist, in der die Negativstruktur ausgeformt ist, derart, daß die Vertiefungen der Struktur bis an den porösen Grundkörper reichen. Durch Anlegen eines Unterdrucks wird das Formen unterstützt, weil sich die Vertiefungen der Struktur leichter und vollständiger voll mit dem geschmolzenen Glas bzw. Kunststoff füllen, wogegen durch Anlegen eines Überdruckes das Entformen unterstützt wird, indem das erstarrte Glas bzw. der Kunststoff sich leichter von den Wandungen der Vertiefungen lösen läßt.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf
Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie, bei dem mittels
eines Formgebungswerkzeuges, dessen Oberfläche entsprechend dem Negativ
der zu erzeugenden Mikrostruktur strukturiert ist, die Struktur im viskos
vorliegenden Glas oder Kunststoff durch Aufpressen des
Formgebungswerkzeuges geformt und durch Abheben des
Formgebungswerkzeuges entformt wird.
Die Erfindung betrifft ferner ein Formgebungswerkzeug zum Erzeugen
derartiger Strukturen nach der Heißformtechnologie.
Auf bestimmten, neuen technischen Gebieten werden Glas- oder Kunststoff-
Substrate benötigt, deren Oberfläche eine Mikrostruktur aufweist. So wird
beispielsweise ein mit Mikrostrukturen hoher Präzision versehenes Flachglas
für Präzisionsanwendungen, insbesondere für Displays, Beleuchtungssysteme,
optische und medizintechnische Anordnungen und für die Sensortechnik
verwendet. Von besonderer Bedeutung sind dabei Displayscheiben von neueren
Flachbildschirmgenerationen (Plasma Display Panel = PDP bzw. Plasma
Addressed Liquid Crystal = PALC).
In diese sogenannten Kanalplatten sind Mikrokanal-Strukturen in Form von
mehreren, parallel verlaufenden Kanälen eingebracht.
Eine derartige Kanalplatte ist ausschnittweise in Fig. 6 im stark vergrößerten
Maßstab prinzipiell dargestellt. Die aus dieser Figur ersichtliche kanalförmige
Mikrostrukturierung muß kostengünstig und in großen Stückzahlen für
verschiedene Displaygrößen (Bildschirmdiagonalen bis 55") erfolgen. In
Abhängigkeit vom Bildschirmformat liegen die Strukturabmessungen in
folgenden Bereichen: Stegabstand (Pitch) X = 150-650 µm, Steghöhe Y =
100-250 µm und Stegbreite Z = 20-50 µm. Für ein 42"-HiVision PDP-
Display sind beispielsweise ca. 5760 Kanäle mit einem Teilungsabstand der
Stege "X", dem sogenannten Pitch, von ca. 161 µm bei einer Steghöhe "Y"
von 150 µm und einer Stegbreite "Z" von 30 µm mit Toleranzen von wenigen
µm über ca. 520 mm Länge zu fertigen.
Bei anderen technischen Anwendungen liegt die Problematik entsprechend.
Es sind verschiedene Methoden zum Ausbilden der Mikrostrukturen bekannt
geworden. Bei einer Methode werden Wandungen im Siebdruckverfahren in
mehreren Schichtungen nacheinander auf das Substrat aufgetragen. Dieses
Verfahren ist sehr aufwendung und teuer.
Bei einem anderen Prinzip wird die Substratoberfläche durch Sandstrahlen oder
einen Schleifvorgang strukturiert. Beim Schleifen wird dabei ein hochpräzises
Mehrscheiben-Schleifmodul verwendet, das mehrere auf einer gemeinsamen
Spindel, hochpräzise durch Distanzringe axial beabstandet zueinander
angeordnete Präzisionsschleifscheiben aufweist.
Es ist auch bekannt, die Mikrostrukturen im Wege der sogenannten
Heißformgebung durch ein Formgebungswerkzeug mit entsprechend
strukturierter Oberfläche auf plastifiziertem Glas oder Kunststoff aufzubringen.
Dies kann sowohl durchgeführt werden bei direkt aus der Schmelze
entnommenem Glas bzw. Kunststoff, dem sogenannten urformenden
Heißformgebungsverfahren, als auch bei umformenden
Heißformgebungsverfahren mit festen Substraten, wie sie beispielsweise in der
DE 197 13 312 A1 beschrieben werden, bei denen eine lokale Erwärmung der
strukturgebenden Oberfläche des Formgebungswerkzeuges zum Aufschmelzen
der Substratoberfläche unmittelbar vor dem Formgebungsprozeß erfolgt.
Um vorbestimmte Strukturen auf dem Substrat aufzubringen, muß die
Oberfläche des Formgebungswerkzeuges das Negativ dieser Strukturen
aufweisen. Für das beschriebene Anwendungsbeispiel einer PALC-Kanalplatte
ist die zur Kanalstruktur nach Fig. 6 negative Oberflächenstruktur in Fig. 5
dargestellt.
Während dem Formgebungsvorgang paßt sich das niedrig viskose Glas (oder
Kunststoff) den Strukuren des Formgebungswerkzeuges an. Bei der Auswahl
des hierfür verwendeten Formgebungswerkstoffes kommt es dabei zu einem
Kompromiss. Zum einen muß das Benetzungsverhalten der schmelzfüssigen
Phase auf dem Formgebungswerkstoff so gut sein, daß das Glas bzw. der
Kunststoff möglichst vollständig in die Strukturen des Formgebungswerkstoffs
eindringt, andererseits muß sich das zu strukturierende Glas oder der
Kunststoff auch wieder von dem Formgebungsmaterial nach der Ausbildung
der gewünschten µm-Struktur gut trennen lassen, d. h. muß ein geringes
Benetzungsverhalten haben. Beim Einsatz von sehr gut benetzenden
Werkstoffen kommt es an sich zu einer guten Ausbildung der µm-Strukturen.
Bei dem Trennvorgang kann es jedoch aufgrund von Klebeeffekten zu einem
Ausbrechen von den gebildeten Strukturen kommen.
Bei schlecht benetzenden Werkstoffen kann es wiederum zu einer schlechten
Ausbildung der geforderten µm-Geometrie kommen. Die Wahrscheinlichkeit
von Ausbrüchen der geformten µm-Strukturen ist andererseits wieder gering.
Es ist bislang noch nicht gelungen, eine Werkstoffkombination zu finden, die
den vorstehenden gegensätzlichen Anforderungen in optimaler Weise genügt,
d. h. die gewährleistet, daß beim Einpressen des Formgebungswerkzeuges in
das Substrat die Negativstruktur vollständig ausgefüllt wird und daß die dabei
entstehende Struktur beim Entfernen des Formgebungswerkzeuges, d. h. beim
Ausformen der Struktur, nicht mehr ausbricht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs bezeichnete Verfahren
so zu führen bzw. das zugehörige Formgebungswerkzeug so auszubilden, daß
die Negativstrukturen des Formgebungswerkzeuges möglichst vollständig mit
geschmolzenem Glas bzw. Kunststoff gefüllt werden und die geformten
Strukturen beim Entformen möglichst unverletzt bleiben.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt bei einem Verfahren zum Erzeugen von
Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der
Heißformtechnologie, bei dem mittels eines Formgebungswerkzeuges, dessen
Oberfläche entsprechend dem Negativ der zu erzeugenden Mikrostruktur
strukturiert ist, die Struktur im viskos vorliegenden Glas oder Kunststoff durch
Aufpressen des Formgebungswerkzeuges geformt und durch Abheben des
Formgebungswerkzeuges entformt wird, gemäß der Erfindung durch die
Anwendung eines Formgebungswerkzeuges mit einem zumindest teilweise
porösen Grundwerkstoff mit offener Porenstruktur, das an den Strukturen
während des Formens der Struktur mit Unterdruck und während des
Entformens mit Überdruck beaufschlagt wird.
Hinsichtlich des zugehörigen Formgebungswerkzeuges zum Erzeugen von
Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der
Heißformtechnologie, mit einem Grundkörper, auf dem eine Funktionsschicht
aufgebracht ist, die entsprechend dem Negativ der zu erzeugenden
Mikrostruktur strukturiert ist, gelingt die Lösung der Aufgabe erfindungsgemäß
dadurch, daß der Grundkörper zumindest teilweise aus einem porösen
Werkstoff mit offener Porenstruktur besteht und mit einer Funktionsschicht aus
einem gasundurchlässigen Material versehen ist, in der die Negativstruktur
ausgebracht ist, derart, daß der Grund der Vertiefungen der Struktur durch den
Werkstoff des Grundkörpers gebildet ist, sowie dadurch, daß dem der
Funktionsschicht abgewandten Teil des porösen Grundkörpers Anordnungen zum
Zuführen sowie Absaugen von Luft zugeordnet sind.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren sowie Formgebungswerkzeug wird somit
in den Vertiefungen der Negativstruktur des Formgebungswerkzeuges ein Unter-
oder Überdruck eingestellt, indem am Grund der Vertiefungen Luft angesaugt
oder eingeblasen wird.
Das Ansaugen der Luft, der Unterdruck, unterstützt das Ausfüllen der Strukturen
mit Glas bzw. Kunststoff, wogegen das Einblasen der Luft, im speziellen
Druckluft, der Überdruck, den Entformungsvorgang unterstützt.
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung wird das Verfahren so geführt, daß das
Glas oder der Kunststoff direkt der Schmelze entnommen wird.
Alternativ dazu kann das Verfahren so geführt werden, daß das Glas oder der
Kunststoff als festes Substrat vorliegt und das Formgebungswerkzeug unmittelbar
vor dem Formen der Mikrostruktur lokal erhitzt wird unter Plastifizierung des
Substratmaterials im zu strukturierenden Bereich.
Im zweiten Fall wird zwar zusätzliche Energie zum Aufschmelzen des in fester
Form vorliegenden Glases bzw. Kunststoff benötigt, jedoch wird bei bestimmten
Anwendungsfällen die einfachere Handhabung des Substratmaterials und die
Unabhängigkeit von der Schmelze als vorteilhaft empfunden.
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist das Formgebungswerkzeug
zweckmäßig so ausgestaltet, daß der Grundkörper vollständig aus einem porösen
Werkstoffsystem mit offener Porenstruktur besteht.
Alternativ dazu, je nach Wirtschaftlichkeit und technischer Durchführbarkeit,
kann das Formgebungswerkzeug so ausgestaltet sein, daß nur der, der
Funktionsschicht benachbarte Teil des Grundkörpers aus einem porösen Werkstoff
mit offener Porenstruktur besteht, während der verbleibende Teil des
Grundkörpers gasundurchlässig ist.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist das Formgebungswerkzeug
vorteilhaft so gestaltet, daß die Seitenwandungen des porösen Grundkörpers
gasundurchlässig ausgebildet sind.
Dadurch steht der Unter- bzw. Überdruck voll am Grund der Vertiefungen der
Struktur an, d. h. entfaltet allein dort seine Wirkung, so daß das Formen und
Entformen der Struktur optimal gefördert wird.
Je nach Anwendungsfall ist das Formgebungswerkzeug als Preßwalze oder ebenes
Preßwerkzeug ausgebildet.
Anhand von zwei in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen wird
die Erfindung näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 in einer schematisierten und idealisierten Längsschnitt-Darstellung
durch das Formgebungswerkzeug eine erste Ausführungsform mit
einem porösen Werkstoff, der den
gesamten Grundkörper des Formgebungswerkzeuges bildet, und
der von einer strukturierten Funktionsschicht bedeckt ist,
Fig. 2 in einer Schnitt-Darstellung entsprechend Fig. 1 den Zustand des
Formgebungswerkzeuges beim Formen der Struktur, unterstützt
durch das Anlegen eines Unterdruckes an den Vertiefungen der
Struktur,
Fig. 3 in einer Schnitt-Darstellung entsprechend Fig. 1 den Zustand des
Formgebungswerkzeuges beim Entformen der Struktur,
unterstützt durch das Anlegen eines Überdruckes an die
Vertiefungen der Struktur,
Fig. 4 in einer Schnitt-Darstellung entsprechend Fig. 1 eine zweite
Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Formgebungswerkzeuges, bei der der Grundkörper nur zum Teil
aus einem porösen Werkstoff besteht,
Fig. 5 die an sich bekannte Strukturierung in der Funktionsschicht des
Formgebungswerkzeuges als Negativ der in einer Kanalplatte zu
erzeugenden Struktur, und
Fig. 6 den schematischen bekannten Aufbau einer solchen Kanalplatte.
In Fig. 1 ist das Grundprinzip des erfindungsgemäß aufgebauten
Formgebungswerkzeuges schematisch an einer Ausschnitts-Darstellung gezeigt.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 besteht der Grundwerkstoff 1 aus einem
porösen Material mit offener Porenstruktur, das eine ausreichende Luft- bzw.
Gasdurchlässigkeit aufweist. Die Erzielung der Porenstruktur kann z. B. durch
einen Sinterprozeß erfolgen. Der poröse Grundwerkstoff kann metallischer
oder vorzugsweise keramischer Natur sein.
Prinzipielle Unterschiede in der fertigungstechnischen Bearbeitung
verschiedener Werkzeugformen gibt es nicht. Im Rahmen der hier
beschriebenen Heißformgebungsverfahren sind dies typischerweise
rotationssymmetrische Walzen und ebene Preßstempel bzw. -formen. Lediglich
die Postionierung/Aufspannung der zu strukturierenden Werkzeuge ist deren
Form anzupassen.
Auf dem Grundwerkstoff 1 ist die Funktionsschicht 2, d. h. die strukturierte
Oberfläche des Formgebungswerkzeuges aufgebracht, die nicht porös ist bzw.
keine offene Porenstruktur aufweist. Die Strukturierung ist dabei symbolisch
durch die Rechteckkonturen dargestellt. Für die Strukturierung von
Glassubstraten zu Kanalplatten nach Fig. 6 hat diese Struktur beispielsweise
eine Kontur entsprechend der bereits beschriebenen Fig. 5.
Als Werkstoff für die Funktionsschicht können sowohl
hochtemperaturbeständige Legierungen auf Fe-, Ni- und Co-Basis (z. B.:
Inconel xx, Incoloy xx, Nicrofer xx, Nimonic xx, Udimet xx, PM 1000,
PM 2000, Deloro alloys xx, Stellite xx, Tribaloy xx, Hastelloy xx,
Haynes xx), keramische Werkstoffe wie z. B. Si3N4, SiC, SiO2, Al2O3, ZrO2,
B4C, BN, BCN, WC, TiC, TiN, Ti2N, TiB2, TiCN, TiAlN, AlN, AlON,
CrN, CrON, ZrN, TaC, Edelmetalle und -legierungen (Pt, Au, Ir, Rh, Os,
Ru, Re) und Refraktärmetalle (W, Hf, Ta, Hb, Mo) verwendet werden.
Das Aufbringen der Funktionsschicht bzw. ihre Negativ-Mikrostrurierung kann
nach verschiedenen fertigungstechnischen Verfahren erfolgen. Dabei sind in
bezug auf das Strukturierungsverfahren bzw. die erzeugte Struktur folgende
Hauptanforderungen zu erfüllen:
- - exakte geometrische Negativabbildung der geforderten Struktur (großflächig ≦ 1 m2)
- - hohe Ebenheit und geringe Rauhigkeit der Werkzeugoberfläche (Vermeidung der Abbildung von Aufrauhungen im Glas bzw. im Kunststoff).
- - glatte Flankenflächen ohne Hinterschneidungen (Gewährleistung der Entformbarkeit)
Die nachfolgend aufgeführten Verfahren erfüllen die Hauptanforderungen und
kommen vorzugsweise zur Strukturierung der Werkzeuge in Frage:
- - Funkenerosion: Mit der Technologie des Bahnerodierens ist die Bearbeitung großflächiger Werkzeuge möglich. Scheiben- und Stiftelektroden erzeugen die Strukturen am Werkzeug.
- - Schleifverfahren: Die Bearbeitung der Werkzeuge erfolgt mit entsprechend strukturierten Schleifscheiben.
- - Mikrozerspanung: Diamant-Zerspanwerkzeuge werden zur Bearbeitung eingesetzt, sind aber in bezug auf die zu bearbeitenden Werkstoffe sehr eingeschränkt (hochtemperaturfeste Legierungen sind für eine zerspanende Bearbeitung ungeignet).
- - Laserbearbeitung: Durch den Einsatz extrem kurzer Laserpulse im Femtosekundenbereich werden die Strukturen im Werkeug erzeugt.
Auch andere Verfahren, die die Forderungen erfüllen kommen in Frage.
Während des Heißformgebungsprozesses wird das poröse, mit einer
strukturierten Funktionsschicht versehende Formwerkzeug folgendermaßen
verwendet:
Während der Ausbildung der µm-Strukturen beim Einpressen des Formgebungswerkzeuges in das viskose Glas oder Kunststoff wird durch die offenen Poren des Formgebungswerkzeuges Luft angesaugt, so daß an der Grenzfläche zum Glas oder Kunststoff im Raum zwischen den Strukturwänden (Nuten) ein Unterdruck erzeugt wird. Die Glas-Kunststoffschmelze 3 wird dadurch infolge der Sogwirkung in die Nuten hineingezogen und das Ausbilden der Strukturen unterstützt. Dieser Schritt ist in Fig. 2 dargestellt. Mindestens eine, vorzugsweise zwei an das poröse Grundmaterial 1 an entsprechende Öffnungen an einen umgebenden Raum angelegte Pumpen 4 sorgen für den notwendigen Unterdruck. Die seitlichen Randbereiche des porösen Grundmaterials 1 sind dabei gasdicht versiegelt, damit der Unterdruck, d. h. die Sogwirkung voll im Nutbereich wirken kann.
Während der Ausbildung der µm-Strukturen beim Einpressen des Formgebungswerkzeuges in das viskose Glas oder Kunststoff wird durch die offenen Poren des Formgebungswerkzeuges Luft angesaugt, so daß an der Grenzfläche zum Glas oder Kunststoff im Raum zwischen den Strukturwänden (Nuten) ein Unterdruck erzeugt wird. Die Glas-Kunststoffschmelze 3 wird dadurch infolge der Sogwirkung in die Nuten hineingezogen und das Ausbilden der Strukturen unterstützt. Dieser Schritt ist in Fig. 2 dargestellt. Mindestens eine, vorzugsweise zwei an das poröse Grundmaterial 1 an entsprechende Öffnungen an einen umgebenden Raum angelegte Pumpen 4 sorgen für den notwendigen Unterdruck. Die seitlichen Randbereiche des porösen Grundmaterials 1 sind dabei gasdicht versiegelt, damit der Unterdruck, d. h. die Sogwirkung voll im Nutbereich wirken kann.
Nach Ausbildung der Strukturen in der erstarrenden Schmelze 3 wird während
des anschließenden Trennvorgangs Gas (Luft) durch die offenen Poren des
Formgebungswerkstoffs an die Grenzfläche zum Glas oder Kunststoff geleitet.
Dieser Vorgang erleichtert das Entformen, d. h. das Ablösen des Glases bzw.
des Kunststoffes von dem Formgebungsswerkzeug. Dieser Schritt ist in Fig. 3
dargestellt. Zu diesem Entformen wird an entsprechende Öffnungen des
Formgebungswerkzeuges oder an einem umgebenden Raum Druckluft
angelegt, was durch die Pfeile angedeutet ist. Die Seitenwände des Werkzeuges
sind dabei ebenfalls gasdicht versiegelt.
Während bei der Ausführungsform nach den Fig. 1 bis 3 das
Formgebungswerkzeug aus einem vollständig porösen Grundwerkstoff 1
besteht, ist in der Fig. 4 eine Ausführungsform dargestellt, bei der der
Grundwerkstoff nur teilweise porös ist. Das Grundmaterial besteht dabei aus
einem nicht porösen Werkstoff 1a und nur benachbart der Funktionsschicht 2
ist eine poröse Schicht 1b mit offenen Porenstrukturen angebracht. Über einen
Kanal 5 kann ein Unterdruck bzw. ein Überdruck bei der Formgebung bzw.
bei dem Entformen angelegt werden, wie es anhand der Fig. 2 und 3
bereits beschrieben wurde.
Claims (8)
1. Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder
Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie, bei dem mittels eines
Formgebungswerkzeuges, dessen Oberfläche entsprechend dem Negativ
der zu erzeugenden Mikrostruktur strukturiert ist, die Struktur im viskos
vorliegenden Glas oder Kunststoff durch Aufpressen des
Formgebungswerkzeuges geformt und durch Abheben des
Formgebungswerkzeuges entformt wird, gekennzeichnet durch die
Anwendung eines Formgebungswerkzeuges mit einem zumindest teilweise
porösen Grundwerkstoff mit offener Porenstruktur, das in den Strukturen
während des Formens der Struktur mit Unterdruck und während des
Entformens mit Überdruck beaufschlagt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Glas oder
der Kunststoff direkt der Schmelze entnommen werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Glas oder
der Kunststoff als festes Substrat vorliegt und das Formgebungswerkzeug
unmittelbar vor dem Formen der Mikrostruktur lokal erhitzt wird unter
Plastifizierung des Substratmaterials im zu strukturierenden Bereich.
4. Formgebungswerkzeug zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder
Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie, mit einem
Grundkörper, auf dem eine Funktionsschicht aufgebracht ist, die
entsprechend dem Negativ der zu erzeugenden Mikrostruktur strukturiert
ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (1) zumindest
teilweise aus einem porösen Werkstoff mit offener Porenstruktur besteht
und mit einer Funktionsschicht (2) aus einem gasundurchlässigen Material
versehen ist, in der die Negativstruktur ausgebracht ist, derart, daß der
Grund der Vertiefungen der Struktur durch den Werkstoff des
Grundkörpers gebildet ist, und daß dem der Funktionsschicht (2)
abgewandten Teil des porösen Grundkörpers (1, 1a) Anordnungen (4, 5)
zum Zuführen sowie Absaugen von Luft zugeordnet sind.
5. Formgebungswerkzeug nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der Grundkörper (1) vollständig aus einem porösen Werkstoff mit offener
Porenstruktur besteht.
6. Formgebungswerkzeug nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
nur der, der Funktionsschicht benachbarte Teil (1b) des Grundkörpers (1)
aus einem porösen Werkstoff mit offener Porenstruktur besteht, während
der verbleibende Teil (1a) des Grundkörpers (1) gasundurchlässig ist.
7. Formgebungswerkzeug nach Anspruch 5 oder 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Seitenwandungen des porösen Grundkörpers (1, 1
b) gasundurchlässig ausgebildet sind.
8. Formgebungswerkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Formgebungswerkzeug als Preßwalze oder
ebenes Preßwerkzeug ausgebildet ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10034507A DE10034507C1 (de) | 2000-07-15 | 2000-07-15 | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug |
EP01113864A EP1172338A1 (de) | 2000-07-15 | 2001-06-07 | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heissformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug |
JP2001195731A JP2002068761A (ja) | 2000-07-15 | 2001-06-28 | 熱間成形法によりガラス又は塑性物基板に微細構造を造る方法及びこれに付随する成形工具 |
US09/902,316 US6799438B2 (en) | 2000-07-15 | 2001-07-10 | Method for making a microstructure in a glass or plastic substrate according to hot-forming technology and associated forming tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10034507A DE10034507C1 (de) | 2000-07-15 | 2000-07-15 | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10034507C1 true DE10034507C1 (de) | 2002-02-21 |
Family
ID=7649081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10034507A Expired - Fee Related DE10034507C1 (de) | 2000-07-15 | 2000-07-15 | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6799438B2 (de) |
EP (1) | EP1172338A1 (de) |
JP (1) | JP2002068761A (de) |
DE (1) | DE10034507C1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10220014A1 (de) * | 2002-05-04 | 2004-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Prägen von Strukturen auf einen Träger |
DE10305059A1 (de) * | 2003-02-07 | 2004-06-09 | Schott Glas | Verfahren zur Herstellung von Glasformteilen und hierzu verwendetes Formgebungswerkzeug |
US9864181B2 (en) | 2009-10-30 | 2018-01-09 | Docter Optics Se | Solar concentrator and production method thereof |
WO2018141905A1 (de) | 2017-02-03 | 2018-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines dünnwandigen objekts mit dreidimensionaler form |
DE102010050120B4 (de) | 2009-11-25 | 2022-07-14 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Herstellen eines Elektrogeräts mit einem plastisch verformten Kunststoffkörper |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6429846B2 (en) | 1998-06-23 | 2002-08-06 | Immersion Corporation | Haptic feedback for touchpads and other touch controls |
US6822635B2 (en) * | 2000-01-19 | 2004-11-23 | Immersion Corporation | Haptic interface for laptop computers and other portable devices |
DE10141498B4 (de) * | 2001-08-24 | 2004-08-26 | Schott Glas | Rollentisch zum Tragen und Fördern eines heißen Glasstranges |
US6824378B2 (en) * | 2002-05-31 | 2004-11-30 | 3M Innovative Properties Company | Microreplication tool with gas release features |
KR100450832B1 (ko) | 2002-07-15 | 2004-10-12 | 엘지전자 주식회사 | 모세관 몰딩법에 의한 플라즈마 디스플레이 소자의 격벽제조방법 및 그것의 페이스트 조성물 |
GB2413416B8 (en) | 2002-12-08 | 2006-09-07 | Immersion Corp | Haptic massaging in handheld communication devices |
US8059088B2 (en) * | 2002-12-08 | 2011-11-15 | Immersion Corporation | Methods and systems for providing haptic messaging to handheld communication devices |
DE102004033424A1 (de) * | 2004-07-10 | 2006-02-02 | Ovd Kinegram Ag | Verfahren zur Modifikation einer Mikrostruktur eines Gegenstandes |
DE102004034694B3 (de) * | 2004-07-17 | 2006-01-05 | Schott Ag | Verfahren zur kontinuierlichen Erzeugung von Flachglas durch Walzen |
US7641468B2 (en) * | 2004-09-01 | 2010-01-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Imprint lithography apparatus and method employing an effective pressure |
US20070056322A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Burdette Steven R | Refractory body having venting channels and venting vessel for high temperature glass reforming |
US20070181006A1 (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Logan Outdoor Products, Llc | Apparatus for roasting fowl and the like |
DE602007008355D1 (de) * | 2007-02-28 | 2010-09-23 | Corning Inc | Verfahren zur Herstellung von mikrofluidischen Vorrichtungen |
EP1964816B1 (de) * | 2007-02-28 | 2015-06-03 | Corning Incorporated | Verfahren zur Herstellung von glashaltigen Zusammensetzungen |
FR2934588B1 (fr) * | 2008-07-30 | 2011-07-22 | Fives Stein | Procede et dispositif de realisation d'une structure sur l'une des faces d'un ruban de verre |
US20100126222A1 (en) * | 2008-11-25 | 2010-05-27 | Thierry Luc Alain Dannoux | Method and apparatus for forming and cutting a shaped article from a sheet of material |
US20100127420A1 (en) * | 2008-11-25 | 2010-05-27 | Thierry Luc Alain Dannoux | Method of forming a shaped article from a sheet of material |
WO2010063504A2 (en) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography apparatus and method |
EP2301898A1 (de) * | 2009-09-29 | 2011-03-30 | Corning Incorporated | Glasstrukturierung unter Verwendung einer porösen strukturierten Walze unter Vakuum |
US9420707B2 (en) * | 2009-12-17 | 2016-08-16 | Intel Corporation | Substrate for integrated circuit devices including multi-layer glass core and methods of making the same |
US8207453B2 (en) | 2009-12-17 | 2012-06-26 | Intel Corporation | Glass core substrate for integrated circuit devices and methods of making the same |
JP5426690B2 (ja) | 2009-12-28 | 2014-02-26 | 株式会社フジクラ | 金型及びその製造方法 |
KR101248380B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2013-03-28 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 패턴드 강화유리 제조 장치 및 방법 |
WO2013133827A1 (en) | 2012-03-07 | 2013-09-12 | Intel Corporation | Glass clad microelectronic substrate |
US9001520B2 (en) | 2012-09-24 | 2015-04-07 | Intel Corporation | Microelectronic structures having laminated or embedded glass routing structures for high density packaging |
US10622310B2 (en) | 2012-09-26 | 2020-04-14 | Ping-Jung Yang | Method for fabricating glass substrate package |
US9615453B2 (en) | 2012-09-26 | 2017-04-04 | Ping-Jung Yang | Method for fabricating glass substrate package |
KR102410492B1 (ko) * | 2015-07-23 | 2022-06-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 글라스 성형 장치 |
DE102016100513A1 (de) * | 2016-01-13 | 2017-07-13 | Schott Ag | Verfahren zur Formung eines Glas-umfassenden Artikels, geformter Glas-umfassender Artikel sowie Verwendung eines geformten Glas-umfassenden Artikels |
CN107144912A (zh) * | 2016-03-01 | 2017-09-08 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 成型模具、玻璃导光板及其制造方法 |
DE102019216893A1 (de) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | Flabeg Deutschland Gmbh | Verfahren zur Umformung eines Flachglases in ein Glasbauteil und Umformwerkzeug zur Verwendung in dem Verfahren |
CN111410405B (zh) * | 2020-03-31 | 2023-03-24 | 凤阳硅谷智能有限公司 | 一种高花纹精度、耐高温压花辊结构及制备方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19713312A1 (de) * | 1997-03-29 | 1998-10-01 | Schott Glas | Formgebungswerkzeug für Flachmaterial |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US907656A (en) * | 1908-12-22 | Pressed Prism Plate Glass Co | Apparatus for the manufacture of sheets of glass. | |
DE109110C (de) * | ||||
US798642A (en) * | 1903-06-10 | 1905-09-05 | Frank L O Wadsworth | Method of shaping glass. |
US1589654A (en) * | 1925-04-28 | 1926-06-22 | Paul R Murdock | Method of molding glass and apparatus therefor |
US2352957A (en) * | 1942-03-06 | 1944-07-04 | Corning Glass Works | Method of forming glass articles |
US2632227A (en) * | 1951-01-12 | 1953-03-24 | Ram Inc | Method and apparatus for the release of ceramic ware from porous molds |
NL278440A (de) * | 1961-05-15 | |||
US3231356A (en) * | 1962-04-20 | 1966-01-25 | Corning Glass Works | Apparatus for forming glass articles |
US3961927A (en) * | 1973-03-05 | 1976-06-08 | Pilkington Brothers Limited | Apparatus and method for moulding glass objects |
US4413966A (en) * | 1981-06-26 | 1983-11-08 | Wallace Murray Corporation | Fluid-release mold and the method of manufacturing the same |
US4648829A (en) * | 1984-02-13 | 1987-03-10 | Sauer, S.P.A. | Device for shaping ice creams and food articles of creamy consistency |
JPS61121915A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金型装置 |
US4985186A (en) * | 1986-04-11 | 1991-01-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing optical element |
JPS6331709A (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-10 | 東陶機器株式会社 | 陶磁器加圧鋳込成形用型 |
DE3719200A1 (de) * | 1987-06-09 | 1988-12-29 | Ibm Deutschland | Optische speicherplatte und verfahren zu ihrer herstellung |
US5873921A (en) * | 1994-09-09 | 1999-02-23 | Hoya Precisions Inc. | Process for manufacturing glass optical elements |
US5762673A (en) * | 1997-01-24 | 1998-06-09 | Hoya Precision Inc. | Method of manufacturing glass optical elements |
-
2000
- 2000-07-15 DE DE10034507A patent/DE10034507C1/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-07 EP EP01113864A patent/EP1172338A1/de not_active Withdrawn
- 2001-06-28 JP JP2001195731A patent/JP2002068761A/ja active Pending
- 2001-07-10 US US09/902,316 patent/US6799438B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19713312A1 (de) * | 1997-03-29 | 1998-10-01 | Schott Glas | Formgebungswerkzeug für Flachmaterial |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10220014A1 (de) * | 2002-05-04 | 2004-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Prägen von Strukturen auf einen Träger |
DE10305059A1 (de) * | 2003-02-07 | 2004-06-09 | Schott Glas | Verfahren zur Herstellung von Glasformteilen und hierzu verwendetes Formgebungswerkzeug |
US9864181B2 (en) | 2009-10-30 | 2018-01-09 | Docter Optics Se | Solar concentrator and production method thereof |
DE102010050120B4 (de) | 2009-11-25 | 2022-07-14 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Herstellen eines Elektrogeräts mit einem plastisch verformten Kunststoffkörper |
WO2018141905A1 (de) | 2017-02-03 | 2018-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines dünnwandigen objekts mit dreidimensionaler form |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1172338A1 (de) | 2002-01-16 |
JP2002068761A (ja) | 2002-03-08 |
US20020035854A1 (en) | 2002-03-28 |
US6799438B2 (en) | 2004-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10034507C1 (de) | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten nach der Heißformtechnologie und zugehöriges Formgebungswerkzeug | |
DE69715916T2 (de) | Verfahren zur erzeugung eines mit internen kanälen versehenen glaskörpers | |
DE3729281C2 (de) | ||
EP2291260B1 (de) | Prozesskammer für das selektive laserschmelzen und deren verwendung zum erzeugen eines bauteils | |
EP0993358B1 (de) | Einrichtung und verfahren zur trennung eines geformten substrates von einem prägewerkzeug | |
DE602004013132T2 (de) | Verfahren zum biegen von glasscheiben durch pressen und saugen | |
DE3443607C2 (de) | ||
EP2141131B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines quarzglastiegels | |
DE102005060907B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Glasscheibe mit definierten Ausbuchtungen und Werkzeugform zur Verwendung in einem solchen Verfahren | |
DE19847549C1 (de) | Formgebungswerkzeug mit strukturierter Oberfläche zum Erzeugen von Strukturen auf Glas und seine Anwendung bei der Struktierung von Kanalplatten | |
EP1172453A2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines endkonturnahen Formgebungswerkzeuges und danach hergestelltes Formgebungswerkzeug | |
EP0065996A1 (de) | Keramikauskleidung für Metallgiessformen und ein Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE102005041033B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Pressglasproduktes | |
WO2001036341A2 (de) | Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug | |
EP1606223A1 (de) | Verfahren zur herstellung einzelner mikrolinsen oder eines mikrolinsenarrays | |
DE19955267C1 (de) | Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen in Glas und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit einem Formgebungswerkzeug sowie Anwendung dieses Formgebungswerkzeuges | |
EP0607402B1 (de) | Form zum herstellen von flüssigkeitshaltigen pressteilen | |
EP1273050B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von mehrschicht-aktoren | |
DE10305059A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Glasformteilen und hierzu verwendetes Formgebungswerkzeug | |
DE10139869B4 (de) | Vorrichtung zum Preßformen eines Postens aus schmelzflüssigem Material | |
DE10146986A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Prägewerkzeugen | |
DE10038004A1 (de) | Verfahren zur Mikrostrukturierung der formgebenden Oberfläche eines Formgebungswerkzeuges für das Erzeugen von Mikrostrukturen in Glas oder Kunststoff und zugehöriges Formgebungswerkzeug | |
EP3958297B1 (de) | Verfahren zum herstellen eines vakuumgreifers für halbleiterwerkstücke und vakuumgreifer | |
WO2006061053A1 (de) | Tampondruckklischee und verfahren zum herstellen eines tampondruckklischees | |
DE102009046054A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Entformen eines Formteils |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of patent without earlier publication of application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SCHOTT AG, 55122 MAINZ, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |