CN208796968U - 一种湿法蚀刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽和固定安装在蚀刻槽上端的夹持机械臂，所述蚀刻槽内壁的中部固定设有液位挡环，所述挡环下端的蚀刻槽内活动设有活塞，所述活塞两侧的蚀刻槽上均连通有连接管，所述连接管的进液端固定连通腐蚀液箱，且腐蚀液箱内设有加压泵，且连接管的出液端连通设有阀门，所述蚀刻槽的底端通过软管连通有气泵。本实用新型在对蚀刻材料湿法蚀刻时，通过传统的夹持机械臂将蚀刻材料固定在蚀刻槽内，然后通过一侧的加压泵将其中一种腐蚀液注入到蚀刻槽内，然后关闭该侧连接管上的阀门，通过气泵向蚀刻槽底端注入空气，从而将活塞向上抬升，将腐蚀液提升到蚀刻材料处，对其进行湿法蚀刻。
Description
技术领域
本实用新型涉及湿法蚀刻装置技术领域，具体为一种湿法蚀刻装置。
背景技术
湿式蚀刻的化学反应属于液相与固相的反应。当湿蚀刻进行动作的时候，首先，溶液里的反应物将利用扩散效应来通过一层厚度相当薄的边界层，以达到被蚀刻薄膜的表面。然后，这些反应物将于薄膜表面的分子产生化学反应，并生成各种生成物。这些位于薄膜表面的生成物，也将利用扩散效应而通过边界层到溶液里，而后随着溶液被排出。
现有的湿式蚀刻通常在蚀刻槽内进行，而在进行湿蚀刻时，往往需要对蚀刻材料进行多道工序的蚀刻，这时候就需要将蚀刻材料反复提出，更换腐蚀液，增加了工序的复杂度，降低加工的效率，为此我们提出一种湿法蚀刻装置用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种湿法蚀刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽和固定安装在蚀刻槽上端的夹持机械臂，所述蚀刻槽内壁的中部固定设有液位挡环，所述挡环下端的蚀刻槽内活动设有活塞，所述活塞两侧的蚀刻槽上均连通有连接管，所述连接管的进液端固定连通腐蚀液箱，且腐蚀液箱内设有加压泵，且连接管的出液端连通设有阀门，所述蚀刻槽的底端通过软管连通有气泵。
优选的，所述挡环的内圈层圆台结构，其上端开口直径大于下端开口直径。
优选的，所述活塞包括活塞块和防腐蚀密封层，所述防腐蚀密封层覆盖包裹在活塞块的外侧，且防腐蚀密封层紧密贴合在蚀刻槽的内壁上。
优选的，所述活塞块上端的形状与挡环内圈的形状相吻合。
优选的，所述连接管的出液端位于挡环下端。
优选的，所述腐蚀液箱的数量为两个，且该两个腐蚀液箱内均盛放腐蚀液。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型在对蚀刻材料湿法蚀刻时，通过传统的夹持机械臂将蚀刻材料固定在蚀刻槽内，然后通过一侧的加压泵将其中一种腐蚀液注入到蚀刻槽内，然后关闭该侧连接管上的阀门，通过气泵向蚀刻槽底端注入空气，从而将活塞向上抬升，将腐蚀液提升到蚀刻材料处，对其进行湿法蚀刻，当需要更换不同的腐蚀液时，通过气泵向外抽去空气，使活塞向下移动，使腐蚀液流回到对应的腐蚀液箱内，再通过另一侧的加压泵将另外一种腐蚀液注入到蚀刻槽内，对蚀刻材料进行湿法蚀刻，从而避免了蚀刻槽内液体反复更换。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型中蚀刻槽内注液结构示意图。
图中：1蚀刻槽、101挡环、2夹持机械臂、3活塞、31活塞块、32防腐蚀密封层、4连接管、401阀门、5腐蚀液箱、501加压泵、6气泵、601软管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽1和固定安装在蚀刻槽1上端的夹持机械臂2，蚀刻槽1内壁的中部固定设有液位挡环101，挡环101下端的蚀刻槽1内活动设有活塞3，活塞3两侧的蚀刻槽1上均连通有连接管4，连接管4的进液端固定连通腐蚀液箱5，且腐蚀液箱5内设有加压泵501，且连接管4的出液端连通设有阀门401，蚀刻槽1的底端通过软管601连通有气泵6。
进一步的，挡环101的内圈层圆台结构，其上端开口直径大于下端开口直径。
进一步的，活塞3包括活塞块31和防腐蚀密封层32，防腐蚀密封层32覆盖包裹在活塞块31的外侧，且防腐蚀密封层32紧密贴合在蚀刻槽1的内壁上。
进一步的，活塞块31上端的形状与挡环101内圈的形状相吻合。
进一步的，连接管4的出液端位于挡环101下端。
进一步的，腐蚀液箱5的数量为两个，且该两个腐蚀液箱5内均盛放腐蚀液。
工作原理：本实用新型在对蚀刻材料湿法蚀刻时，通过传统的夹持机械臂2将蚀刻材料固定在蚀刻槽1内，然后通过一侧的加压泵501将其中一种腐蚀液注入到蚀刻槽1内，然后关闭该侧连接管4上的阀门401，通过气泵6向蚀刻槽1底端注入空气，从而将活塞3向上抬升，将腐蚀液提升到蚀刻材料处，对其进行湿法蚀刻，当需要更换不同的腐蚀液时，通过气泵6向外抽去空气，使活塞3向下移动，使腐蚀液流回到对应的腐蚀液箱5内，再通过另一侧的加压泵501将另外一种腐蚀液注入到蚀刻槽1内，对蚀刻材料进行湿法蚀刻。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种湿法蚀刻装置，包括蚀刻槽(1)和固定安装在蚀刻槽(1)上端的夹持机械臂(2)，其特征在于：所述蚀刻槽(1)内壁的中部固定设有液位挡环(101)，所述挡环(101)下端的蚀刻槽(1)内活动设有活塞(3)，所述活塞(3)两侧的蚀刻槽(1)上均连通有连接管(4)，所述连接管(4)的进液端固定连通腐蚀液箱(5)，且腐蚀液箱(5)内设有加压泵(501)，且连接管(4)的出液端连通设有阀门(401)，所述蚀刻槽(1)的底端通过软管(601)连通有气泵(6)。
2.根据权利要求1所述的一种湿法蚀刻装置，其特征在于：所述挡环(101)的内圈层圆台结构，其上端开口直径大于下端开口直径。
3.根据权利要求1所述的一种湿法蚀刻装置，其特征在于：所述活塞(3)包括活塞块(31)和防腐蚀密封层(32)，所述防腐蚀密封层(32)覆盖包裹在活塞块(31)的外侧，且防腐蚀密封层(32)紧密贴合在蚀刻槽(1)的内壁上。
4.根据权利要求3所述的一种湿法蚀刻装置，其特征在于：所述活塞块(31)上端的形状与挡环(101)内圈的形状相吻合。
5.根据权利要求1所述的一种湿法蚀刻装置，其特征在于：所述连接管(4)的出液端位于挡环(101)下端。
6.根据权利要求1所述的一种湿法蚀刻装置，其特征在于：所述腐蚀液箱(5)的数量为两个，且该两个腐蚀液箱(5)内均盛放腐蚀液。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821724016.7U CN208796968U (zh) | 2018-10-24 | 2018-10-24 | 一种湿法蚀刻装置 |
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113889427A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-04 | 赛德半导体有限公司 | 一种湿法刻蚀设备 |
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2018
- 2018-10-24 CN CN201821724016.7U patent/CN208796968U/zh active Active
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| CN113889427A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-04 | 赛德半导体有限公司 | 一种湿法刻蚀设备 |
| CN113889427B (zh) * | 2021-09-30 | 2022-03-15 | 赛德半导体有限公司 | 一种湿法刻蚀设备 |
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