CN206216469U - 一种光学零件精密研磨盘结构 - Google Patents
一种光学零件精密研磨盘结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206216469U CN206216469U CN201621262286.1U CN201621262286U CN206216469U CN 206216469 U CN206216469 U CN 206216469U CN 201621262286 U CN201621262286 U CN 201621262286U CN 206216469 U CN206216469 U CN 206216469U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polishing
- grinding
- polishing fluid
- material layer
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种光学零件精密研磨盘结构,包括上抛光盘和下抛光盘,上抛光盘中设有上抛光连接盘,上抛光连接盘中设有上连接杆和上连接盘,上连接盘中设有能够存储抛光液的环形凹槽和抛光液输出孔,上连接盘通过定位轴连接便于更换的研磨材料层安装盘,研磨材料层安装盘中设有定位孔、安装孔、抛光液注入孔和便于镶嵌研磨材料层的镶嵌卡槽,研磨材料层中设有与抛光液注入孔相连的通孔,下抛光盘中设有下支撑杆和下连接盘,下连接盘中设有便于容纳抛光液的环形沟槽;本实用新型便于更换镶嵌在研磨材料层安装盘中的自动研磨材料层,研磨材料层安装盘的两个平面平整度比较容易加工,研磨抛光时抛光液能够分布更加均匀,研磨抛光效果更好。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学器件技术领域,尤其涉及一种光学零件精密研磨盘结构。
背景技术
在加工光学零件时需要对光学零件进行研磨、抛光,研磨、抛光是加工光学零件的关键加工工序。现有技术中通常是采用配对的上抛光盘和下抛光盘在光学抛光机上光学零件进行研磨抛光,抛光时光学零件固定在下抛光盘上,下抛光盘在光学抛光机转轴的驱动下自动旋转,上抛光盘围绕下抛光盘中心相对转动并同时跟随自转,使固定在下抛光盘上的光学零件在上抛光盘压力下不断被研磨,从而使光学零件逐渐被抛光。
由于现有的这些上抛光盘和下抛光盘结构较为简易,上抛光盘通常是实心的整体式的金属盘,然后在金属盘的盘面上黏贴上不同的研磨材料层,在旧研磨材料层磨损后再更换新的研磨材料层时,黏贴在金属盘上的旧研磨材料层不易清除干净,导致更换后的研磨材料层难以调节平整,对金属盘的平面清洁加工要求较高,而现有的整体式的金属盘平面较难加工;而且研磨时只能在上抛光盘和下抛光盘之间的缝隙处添加抛光液,收到旋转离心力作用抛光液比较难以留存均匀分布在抛光盘研磨位置,上抛光盘和下抛光盘之间容易导致缺少抛光液而干磨,使抛光盘上的光学零件研磨抛光效果存在差异,影响研磨抛光效果,因此需要进一步改进。
发明内容
为克服现有技术的不足,本实用新型提供了一种结构稳定可靠、抛光液分布均匀,研磨抛光效果好的光学零件精密研磨盘结构。
本实用新型为达到上述技术目的所采用的技术方案是:一种光学零件精密研磨盘结构,包括上抛光盘和下抛光盘,所述上抛光盘中设有一个上抛光连接盘,所述上抛光连接盘中设有上连接杆和上连接盘,所述上连接杆中设有浮动连接球头,所述上连接盘中设有能够存储抛光液的环形凹槽,所述环形凹槽中设有抛光液输出孔,所述上连接盘的底部设有一个定位轴,所述定位轴连接一个便于更换的研磨材料层安装盘,所述研磨材料层安装盘中设有与所述定位轴相连的定位孔、与上连接盘的底部相连的安装孔和抛光液注入孔,所述研磨材料层安装盘的底面设有便于镶嵌研磨材料层的镶嵌卡槽,所述研磨材料层中设有与所述抛光液注入孔相连的通孔,所述下抛光盘中设有下支撑杆和下连接盘,所述下连接盘中设有便于容纳抛光液的环形沟槽;上抛光盘中的研磨材料层磨损后,能够将上抛光盘中的研磨材料层安装盘取下,然后更换镶嵌在研磨材料层安装盘自动研磨材料层,更换后再加工研磨材料层安装盘顶面和底面的平面,研磨材料层安装盘的两个平面平整度比较容易加工。
作为一种改进,所述下支撑杆的中心设有抛光液供应孔,所述下连接盘中设有与下支撑杆中的抛光液供应孔相连通的抛光液分布孔,所述抛光液分布孔再与所述环形沟槽相连。
所述下支撑杆中的抛光液供应孔连通一个下抛光液连通供应容器,所述下抛光液连通供应容器中设有抛光液高度位置检测传感器。
本实用新型的有益效果是:采用上述结构,通过在上抛光盘中设置上抛光连接盘和便于更换的研磨材料层安装盘,上抛光连接盘中设置环形凹槽和抛光液输出孔,研磨材料层安装盘中设置定位孔、安装孔和抛光液注入孔,下抛光盘中设置下支撑杆和下连接盘,下连接盘中设置便于容纳抛光液的环形沟槽和抛光液分布孔;上抛光盘中的研磨材料层磨损后,便于更换镶嵌在研磨材料层安装盘自动研磨材料层,更换后的研磨材料层安装盘的两个平面平整度比较容易加工,而且在研磨抛光时上抛光盘和下抛光盘中的抛光液能够分布更加均匀,研磨抛光效果更好。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。其中:
图1是本实用新型光学零件精密研磨盘结构的结构示意图。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图详细说明。
请参阅图1所示,本实用新型光学零件精密研磨盘结构包括上抛光盘1和下抛光盘2,所述上抛光盘1中设有一个上抛光连接盘11,所述上抛光连接盘11中设有上连接杆111和上连接盘112,所述上连接杆111中设有浮动连接球头113,所述上连接盘112中设有能够存储抛光液的环形凹槽1121,所述环形凹槽1121中设有抛光液输出孔1122,所述上连接盘112的底部设有一个定位轴1123,所述定位轴1123连接一个便于更换的研磨材料层安装盘12,所述研磨材料层安装盘12中设有与所述定位轴1123相连的定位孔121、与上连接盘112的底部相连的安装孔122和抛光液注入孔123,所述研磨材料层安装盘12的底面设有便于镶嵌研磨材料层13的镶嵌卡槽124,所述研磨材料层13中设有与所述抛光液注入孔123相连的通孔131,所述下抛光盘2中设有下支撑杆21和下连接盘22,所述下连接盘22中设有便于容纳抛光液的环形沟槽221。
作为一种改进,所述下支撑杆21的中心设有抛光液供应孔211,所述下连接盘22中设有与下支撑杆21中的抛光液供应孔211相连通的抛光液分布孔222,所述抛光液分布孔222再与所述环形沟槽221相连。
所述下支撑杆21中的抛光液供应孔211连通一个下抛光液连通供应容器3,所述下抛光液连通供应容器3中设有抛光液高度位置检测传感器31。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (3)
1.一种光学零件精密研磨盘结构,其特征在于:包括上抛光盘和下抛光盘,所述上抛光盘中设有一个上抛光连接盘,所述上抛光连接盘中设有上连接杆和上连接盘,所述上连接杆中设有浮动连接球头,所述上连接盘中设有能够存储抛光液的环形凹槽,所述环形凹槽中设有抛光液输出孔,所述上连接盘的底部设有一个定位轴,所述定位轴连接一个便于更换的研磨材料层安装盘,所述研磨材料层安装盘中设有与所述定位轴相连的定位孔、与上连接盘的底部相连的安装孔和抛光液注入孔,所述研磨材料层安装盘的底面设有便于镶嵌研磨材料层的镶嵌卡槽,所述研磨材料层中设有与所述抛光液注入孔相连的通孔,所述下抛光盘中设有下支撑杆和下连接盘,所述下连接盘中设有便于容纳抛光液的环形沟槽。
2.根据权利要求1所述的一种光学零件精密研磨盘结构,其特征在于:所述下支撑杆的中心设有抛光液供应孔,所述下连接盘中设有与下支撑杆中的抛光液供应孔相连通的抛光液分布孔,所述抛光液分布孔再与所述环形沟槽相连。
3.根据权利要求2所述的一种光学零件精密研磨盘结构,其特征在于:所述下支撑杆中的抛光液供应孔连通一个下抛光液连通供应容器,所述下抛光液连通供应容器中设有抛光液高度位置检测传感器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201621262286.1U CN206216469U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 一种光学零件精密研磨盘结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201621262286.1U CN206216469U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 一种光学零件精密研磨盘结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206216469U true CN206216469U (zh) | 2017-06-06 |
Family
ID=58790736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201621262286.1U Expired - Fee Related CN206216469U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 一种光学零件精密研磨盘结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206216469U (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107116417A (zh) * | 2017-06-19 | 2017-09-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 研抛工具和抛光机 |
CN107775506A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-09 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 抛光盘 |
CN107855913A (zh) * | 2017-12-02 | 2018-03-30 | 广东轻工机械二厂有限公司 | 一种多磨盘曲面抛光机 |
CN108621026A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-09 | 新乡平原航空设备有限公司 | 一种研磨组件 |
CN108857659A (zh) * | 2018-08-07 | 2018-11-23 | 王聪 | 一种抛光机 |
CN110000689A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 株式会社荏原制作所 | 用于面朝上式的研磨装置的研磨头、具备该研磨头的研磨装置及使用该研磨装置的研磨方法 |
CN110125773A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-16 | 昆山合亿兴机电设备有限公司 | 一种pcb研磨抛光机 |
-
2016
- 2016-11-23 CN CN201621262286.1U patent/CN206216469U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107116417A (zh) * | 2017-06-19 | 2017-09-01 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 研抛工具和抛光机 |
CN107116417B (zh) * | 2017-06-19 | 2023-10-24 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 研抛工具和抛光机 |
CN107775506A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-03-09 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 抛光盘 |
CN107855913A (zh) * | 2017-12-02 | 2018-03-30 | 广东轻工机械二厂有限公司 | 一种多磨盘曲面抛光机 |
CN110000689A (zh) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | 株式会社荏原制作所 | 用于面朝上式的研磨装置的研磨头、具备该研磨头的研磨装置及使用该研磨装置的研磨方法 |
CN108621026A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-09 | 新乡平原航空设备有限公司 | 一种研磨组件 |
CN108857659A (zh) * | 2018-08-07 | 2018-11-23 | 王聪 | 一种抛光机 |
CN108857659B (zh) * | 2018-08-07 | 2020-06-30 | 佛山市开拓者陶瓷有限公司 | 一种抛光机 |
CN110125773A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-16 | 昆山合亿兴机电设备有限公司 | 一种pcb研磨抛光机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206216469U (zh) | 一种光学零件精密研磨盘结构 | |
CN205021392U (zh) | 用于基板抛光的装置 | |
CN101879700B (zh) | 化学机械研磨元件、晶圆的研磨方法及晶圆研磨*** | |
JP6100541B2 (ja) | 研磨方法 | |
CN104440497A (zh) | 一种用于手机面板弧面的抛光装置及抛光方法 | |
CN206216467U (zh) | 一种光学零件平面研磨装置 | |
CN104968473A (zh) | 双面研磨装置用载具的制造方法及晶圆的双面研磨方法 | |
CN108789117A (zh) | 米级大口径光学元件高效抛光机及抛光方法 | |
CN108296920A (zh) | 3d玻璃抛光盘及抛光方法 | |
CN105058225A (zh) | 研磨垫固定装置及化学机械研磨装置 | |
KR20160110190A (ko) | 윈도우를 갖는 화학적 기계적 연마 패드 | |
CN203245737U (zh) | 多功能研磨液供应结构及研磨装置 | |
KR101312395B1 (ko) | 연삭기용 연마휠 | |
CN102009383A (zh) | 化学机械研磨设备及研磨方法 | |
CN110026901A (zh) | 碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置及方法 | |
CN204819168U (zh) | 磨边机磨盘修平工装 | |
CN203426856U (zh) | 研磨垫整理器及研磨装置 | |
CN103522167B (zh) | 研磨头及研磨装置 | |
CN201405261Y (zh) | 抛光用研磨机 | |
CN202200182U (zh) | 研磨垫整理器和研磨机台 | |
CN207508915U (zh) | 一种提高平面抛光镜盘平行精度的装置 | |
CN202702036U (zh) | 研磨液供应臂定位辅助工具 | |
CN107443201A (zh) | 一种快速简便自动研磨非球面的工装和方法 | |
CN205363592U (zh) | Cmp工艺抛光垫的修整装置 | |
CN202622547U (zh) | 研磨盘、研磨垫整理器及研磨装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170606 Termination date: 20181123 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |