CN204495851U - 一种高温石英挠性加速度计伺服电路 - Google Patents

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张宝奇
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Abstract

一种高温石英挠性加速度计伺服电路,包括集成在Al2O3基板上的差动电容-电压转换器、跨导放大器、双稳压器和***元件,差动电容-电压转换器分别与跨导放大器和双稳压器相接,跨导放大器经电阻后接入双稳压器前端,跨导放大器与石英挠性加速度计表头相接,石英挠性加速度计表头与差动电容-电压转换器相接,差动电容-电压转换器上接校正网络1和校正网络2,校正网络2还与跨导放大器相接。旨在提高测量分辨率,耐温性、驱动能力,并且减少元件数量,提高加工便利。且使得测量范围增加、工作温度范围变宽、加工便利性改善和可靠性增加。同时,把和传感器结合的五个金导带焊点改为钯银导带,并用焊膏加固,增加了电路的可靠性。

Description

一种高温石英挠性加速度计伺服电路
技术领域
本实用新型属于电子技术领域,涉及一种高温石英挠性加速度计伺服电路。
背景技术
目前,现有的加速度计伺服电路一般采用传统的差动电容-电压转换模式,测量分辨率低、***元件多,由于传统伺服电路在设计和工艺方面的落后,造成电路工作温度区间窄、驱动电流能力小等缺点。另外,传统电路外引点采用的是金导带,在和传感器焊接结合时易产生“锡吃金”现象,严重影响焊点的牢固性。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述技术问题,提供了一种高温石英挠性加速度计伺服电路,测量分辨率和测量范围增加、工作温度范围宽、加工便利性改善和可靠性增加。
本实用新型是通过以下技术方案来实现:
一种高温石英挠性加速度计伺服电路,包括集成在Al2O3基板上的差动电容-电压转换器、跨导放大器、双稳压器和***元件,差动电容-电压转换器分别与跨导放大器和双稳压器相接,跨导放大器经电阻后接入双稳压器前端,跨导放大器与石英挠性加速度计表头相接,石英挠性加速度计表头与差动电容-电压转换器相接,差动电容-电压转换器上接校正网络1和校正网络2,校正网络2还与跨导放大器相接。
所述的差动电容-电压转换器还经电容器与接校正网络1相连,校正网络1的信号入口端分两路,一路经电阻后接外接信号,一路直接与差动电容-电压转换器相连。
所述的差动电容-电压转换器与跨导放大器的两个入口端之间还分别经电容器后相接。
所述的差动电容-电压转换器为型号为C6201的裸芯片,跨导放大器为型号为HJ64-HJ314的裸芯片。
差动电容-电压转换器还经电阻后接地。
所述的差动电容-电压转换器经电容器后分两路,一路接地,一路与石英挠性加速度计表头相接。
集成有差动电容-电压转换器、跨导放大器、双稳压器和***元件的Al2O3基板微封装在金属半密封腔体内。
Al2O3基板微封装在金属圆外壳内。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益的技术效果:
本实用新型提供的高温石英挠性加速度计伺服电路,旨在提高测量分辨率,耐温性、驱动能力,并且减少元件数量,提高加工便利。且使得测量范围增加、工作温度范围变宽、加工便利性改善和可靠性增加。同时,把和传感器结合的“C-、C+、L-、L+、地”五个金导带焊点改为钯银导带,并用焊膏加固,增加了电路的可靠性。
附图说明
图1为本实用新型电原理框图;
图2为本实用新型提供的高温石英挠性加速度计伺服电路的封装形式图。
其中:1为差动电容-电压转换器;2为跨导放大器;3为双稳压器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述:
参见图1至图2,一种高温石英挠性加速度计伺服电路,包括用厚膜混合集成的方式集成在Al2O3基板上的差动电容-电压转换器1、跨导放大器2、双稳压器3和***元件,差动电容-电压转换器1分别与跨导放大器2和双稳压器3相接,跨导放大器2经电阻后接入双稳压器3前端,跨导放大器2与石英挠性加速度计表头相接,石英挠性加速度计表头与差动电容-电压转换器1相接,差动电容-电压转换器1上接校正网络1和校正网络2,校正网络2还与跨导放大器2相接;所述的差动电容-电压转换器1还经电容器与接校正网络1相连,校正网络1的信号入口端分两路,一路经电阻后接外接信号,一路直接与差动电容-电压转换器1相连;所述的差动电容-电压转换器1与跨导放大器2的两个入口端之间还分别经电容器后相接;差动电容-电压转换器1还经电阻后接地。所述的差动电容-电压转换器1经电容器后分两路,一路接地,一路与石英挠性加速度计表头相接。
具体的,所述的差动电容-电压转换器1为型号为C6201的裸芯片,跨导放大器1为型号为HJ64-HJ314的裸芯片;双稳压器3为裸芯片。
其中,集成有差动电容-电压转换器1、跨导放大器2、双稳压器3和***元件的Al2O3基板微封装在金属半密封腔体内。具体的,Al2O3基板微封装在金属圆外壳内。
图1中已标出伺服电路的各引脚的功能,在实际使用中要在电路1脚和5脚间接采样电阻Rs。
图2所示电路封装尺寸图,并标注了引脚顺序。其中,L+焊盘内部同引出脚2连接,L-焊盘内部同引出脚1连接。基板上C+焊盘内部同引出脚8连接,C-焊盘内部同引出脚7连接。“地”焊盘内部同引出脚5连接。
本实用新型属于一种能和石英挠性加速度计表头结合,从而构成完整的闭环***的伺服电路。其是把加速度信号转换成模拟量的集成电路。具体是将差动电容-电压转换器、跨导放大器和双稳压器三部分电路集成在一个金属半密封腔体内的电路。
具体的,由于石英挠性加速度计的挠性摆片由石英材料制成,结构简单。其良好的稳定性,再加上小型化的混合伺服电路,使整个加速度计具有体积小、精度高、抗冲击和价格低等优点。因此它近年来发展很快,已广泛应用于航空、导弹、测斜、测震等领域。石英挠性加速度计由磁钢、石英摆片、力矩线圈、伺服电路等组成。因此本实用新型的工作过程是:石英摆片受加速度作用产生差分电容量,通过差动电容-电压转换器把变化的电容量转换成电压信号,并通过跨导放大器把输出电流加在力矩线圈上,力矩线圈通过电流形成磁场,与磁钢构成一个和加速度方向相反的力,把石英摆片拉回到原来位置,从而构成一个完整的闭环***。
本实用新型提供的高温石英挠性加速度计伺服电路,旨在提高测量分辨率,耐温性、驱动能力,并且减少元件数量,提高加工便利。且使得测量范围增加、工作温度范围变宽、加工便利性改善和可靠性增加。同时,把和传感器结合的“C-、C+、L-、L+、地”五个金导带焊点改为钯银导带,并用焊膏加固,增加了电路的可靠性。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,包括集成在Al2O3基板上的差动电容-电压转换器(1)、跨导放大器(2)、双稳压器(3)和***元件,差动电容-电压转换器(1)分别与跨导放大器(2)和双稳压器(3)相接,跨导放大器(2)经电阻后接入双稳压器(3)前端,跨导放大器(2)与石英挠性加速度计表头相接,石英挠性加速度计表头与差动电容-电压转换器(1)相接,差动电容-电压转换器(1)上接校正网络1和校正网络2,校正网络2还与跨导放大器(2)相接。
2.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,所述的差动电容-电压转换器(1)还经电容器与接校正网络1相连,校正网络1的信号入口端分两路,一路经电阻后接外接信号,一路直接与差动电容-电压转换器(1)相连。
3.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,所述的差动电容-电压转换器(1)与跨导放大器(2)的两个入口端之间还分别经电容器后相接。
4.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,所述的差动电容-电压转换器(1)为型号为C6201的裸芯片,跨导放大器(1)为型号为HJ64-HJ314的裸芯片。
5.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,差动电容-电压转换器(1)还经电阻后接地。
6.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,所述的差动电容-电压转换器(1)经电容器后分两路,一路接地,一路与石英挠性加速度计表头相接。
7.根据权利要求1所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,集成有差动电容-电压转换器(1)、跨导放大器(2)、双稳压器(3)和***元件的Al2O3基板微封装在金属半密封腔体内。
8.根据权利要求7所述的高温石英挠性加速度计伺服电路,其特征在于,Al2O3基板微封装在金属圆外壳内。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105866457A (zh) * 2016-05-06 2016-08-17 武汉航空仪表有限责任公司 一种加速度计电路
CN107561314A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 航天科工惯性技术有限公司 一种石英挠性加速度计及其工装
CN109186638A (zh) * 2018-10-17 2019-01-11 西安微电子技术研究所 一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺
CN110579626A (zh) * 2019-10-22 2019-12-17 西安微电子技术研究所 微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法
CN111024983A (zh) * 2019-12-18 2020-04-17 青岛航天半导体研究所有限公司 高温石英挠性加速度计伺服电路的实现方法
CN112394195A (zh) * 2020-11-13 2021-02-23 西安微电子技术研究所 一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法
CN113030512A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 航天科工惯性技术有限公司 加速度计及加速度计表头与伺服电路连接方法
CN115932326A (zh) * 2023-01-09 2023-04-07 保定开拓精密仪器制造有限责任公司 一种石英挠性加速度计伺服电路

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105866457A (zh) * 2016-05-06 2016-08-17 武汉航空仪表有限责任公司 一种加速度计电路
CN105866457B (zh) * 2016-05-06 2018-11-06 武汉航空仪表有限责任公司 一种加速度计电路
CN107561314A (zh) * 2016-06-30 2018-01-09 航天科工惯性技术有限公司 一种石英挠性加速度计及其工装
CN109186638A (zh) * 2018-10-17 2019-01-11 西安微电子技术研究所 一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺
CN110579626A (zh) * 2019-10-22 2019-12-17 西安微电子技术研究所 微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法
CN111024983A (zh) * 2019-12-18 2020-04-17 青岛航天半导体研究所有限公司 高温石英挠性加速度计伺服电路的实现方法
CN111024983B (zh) * 2019-12-18 2023-12-29 青岛航天半导体研究所有限公司 高温石英挠性加速度计伺服电路的实现方法
CN113030512A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 航天科工惯性技术有限公司 加速度计及加速度计表头与伺服电路连接方法
CN112394195A (zh) * 2020-11-13 2021-02-23 西安微电子技术研究所 一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法
CN112394195B (zh) * 2020-11-13 2023-04-07 西安微电子技术研究所 一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法
CN115932326A (zh) * 2023-01-09 2023-04-07 保定开拓精密仪器制造有限责任公司 一种石英挠性加速度计伺服电路
CN115932326B (zh) * 2023-01-09 2023-08-11 保定开拓精密仪器制造有限责任公司 一种石英挠性加速度计伺服电路

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