CN202226742U - 多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸*** - Google Patents

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸*** Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***，包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根管线，洗涤塔分别连接再蒸发器和残液闪蒸罐，再蒸发器连接残液闪蒸罐，残液闪蒸罐连接尾气洗涤塔，尾气洗涤塔下端设置碱液池，连接洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔的管线外缠绕蒸汽半管保温管，有效地解决了含有氯硅烷聚合物、重金属氯化物等废液废渣在传输过程中易堵塞管道的问题。

Description

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，更具体地说，尤其涉及一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***。
背景技术
目前，在多晶硅生产中，来自二级旋风分离器的高温合成气，经过湿法洗尘后，含有硅粉、氯硅烷聚合物、重金属氯化物等氯硅烷液体进入残液闪蒸***后，进行氯硅烷的回收和废液废渣的排放处理。但是含有氯硅烷聚合物、重金属氯化物等废液废渣在排放处理过程中，易堵塞管道，给生产带来危险性等不利因素。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***，该***解决了废液废渣排放处理管线易堵塞的问题。
为实现上述目的，本实用新型所提供的多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***，包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根连接在洗涤塔与再蒸发器之间、洗涤塔与残液闪蒸罐之间、再蒸发器与残液闪蒸罐之间、残液闪蒸罐与尾气洗涤塔之间的管线，所述管线外缠绕有蒸汽半管保温管，所述碱液池设置在尾气洗涤塔下端。
由于***管线外缠绕有蒸汽半管保温管，能有效地防止含有氯硅烷聚合物、重金属氯化物等废液废渣在传输过程中堵塞管道，解决了废液废渣排放处理管线易堵塞的问题。
附图说明
图1是本实用新型多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***的示意图。
图中：1-洗涤塔；2-再蒸发器；3-残液闪蒸罐；4-尾气洗涤塔；5-碱液池；11、12、13、21、22、31-管线。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的发明内容和特点，兹例举以下实例，并配合附图详细说明如下，但并不构成对本实用新型的任何限制。
参阅图1所示，本实用新型多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***，包括洗涤塔1、再蒸发器2、残液闪蒸罐3、尾气洗涤塔4、碱液池5以及多根管线。来自二级旋风分离器的高温合成气仍含有少量的粉尘，经计量后进入洗涤塔1被回流液洗涤后，粉尘随液体流入塔釜。洗涤塔1的含尘釜液从不同液位经管线11和12进入再蒸发器2，或经管线13流入残液闪蒸罐3。在再蒸发器2内蒸发出的粗单体经管线21循环返回洗涤塔1，蒸发后的含尘废液经管线22流入残液闪蒸罐3。由残液闪蒸罐3蒸浓后的废液废渣经管线31送至尾气洗涤塔4，尾气洗涤塔4下端设有碱液池5，利用碱液池5中的碱液来循环处理尾气洗涤塔4中的废液废渣。
为防止含尘釜液等废液废渣在传输过程中堵塞管道，将本***内洗涤塔1分别连接再蒸发器2和残液闪蒸罐3的管线11、12、13、21，再蒸发器2连接残液闪蒸罐3和管线22、以及残液闪蒸罐3连接尾气洗涤塔4的管线31外缠绕蒸汽半管保温管，使管线温度达到100度以上。

Claims (1)

1.一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸***，其特征在于：包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根连接在洗涤塔与再蒸发器之间、洗涤塔与残液闪蒸罐之间、再蒸发器与残液闪蒸罐之间、残液闪蒸罐与尾气洗涤塔之间的管线，所述管线外缠绕有蒸汽半管保温管，所述碱液池设置在尾气洗涤塔下端。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2014166710A1 (de) * 2013-04-09 2014-10-16 Wacker Chemie Ag Vorrichtung und verfahren zur behandlung von chlorsilane enthaltenden flüssigkeiten

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