CN201543457U - 一种研磨机 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种研磨机，包括工作台，所述工作台上安装有驱动装置、研磨下盘、研磨上盘以及用于移动研磨上盘的提拉装置，所述驱动装置的输出端与研磨下盘连接，而研磨下盘与研磨上盘配合连接，另所述研磨上盘上通过支柱固定支撑有研磨砂液导槽，所述工作台上还设置有用于清洗研磨上盘的清洗装置，由此可知，本实用新型可以通过提拉装置将研磨上盘移动到清洗盘内进行清洗，从而去除清洗盘上带有的研磨砂液以及其他杂质，避免对工作台面造成玷污。

Description

一种研磨机
技术领域
本实用新型涉及一种研磨机，用于晶片研磨加工。
背景技术
现有技术中，用于晶片研磨加工的研磨机，在加工过程中，一般不单独对研磨上盘进行清洗，而我们都知道，在研磨加工结束后，研磨上盘上会带有研磨砂液以及少许其它杂质，如果不对其进行清洗，就进行研磨上盘面的移动，则极易造成机台的玷污。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的不足，提供一种研磨机，其通过在机体工作台上安装清洗装置，以对研磨上盘进行清洗，从而有效地避免了研磨上盘上带有的研磨砂液以及少许晶片跌落对工作台面造成的玷污。
为实现以上的技术目的，本实用新型将采取以下的技术方案：
一种研磨机，包括工作台，所述工作台上安装有驱动装置、研磨下盘、研磨上盘以及用于移动研磨上盘的提拉装置，所述驱动装置的输出端与研磨下盘连接，而研磨下盘与研磨上盘配合连接，另所述研磨上盘上通过支柱固定支撑有研磨砂液导槽，所述工作台上还设置有用于清洗研磨上盘的清洗装置。
所述清洗装置为内呈清洗液的清洗盘。
根据以上的技术方案，可以实现以下的有益效果：
本实用新型在工作台上设置用于清洗研磨上盘的清洗装置，且该清洗装置为内呈有清洗液的清洗盘，则通过提拉装置以将研磨上盘移动到清洗盘内进行清洗，从而去除清洗盘上带有的研磨砂液以及其他杂质，避免对工作台面造成玷污。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图详细地说明本实用新型的技术方案。
5.如图1所示，本实用新型所述的研磨机，包括工作台7，所述工作台7上安装有驱动装置、研磨下盘、研磨上盘1以及用于移动研磨上盘1的提拉装置5，所述驱动装置的输出端与研磨下盘连接，而研磨下盘与研磨上盘1配合连接，另所述研磨上盘1上通过支柱2固定支撑有研磨砂液导槽3，所述工作台7上还设置有用于清洗研磨上盘1的清洗装置6，且该清洗装置6为内呈清洗液的清洗盘，当提拉装置5用钢板制作时，由于其质量较重，则将提拉装置5固定安装在研磨上盘1上，而当提拉装置5用铝合金制作时，由于其质量较较轻，则将提拉装置5固定安装在研磨砂液导槽3上。

Claims (4)

1.一种研磨机，包括工作台，所述工作台上安装有驱动装置、研磨下盘、研磨上盘以及用于移动研磨上盘的提拉装置，所述驱动装置的输出端与研磨下盘连接，而研磨下盘与研磨上盘配合连接，另所述研磨上盘上通过支柱固定支撑有研磨砂液导槽，其特征在于，所述工作台上还设置有用于清洗研磨上盘的清洗装置。
2.根据权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述清洗装置为内呈清洗液的清洗盘。
3.根据权利要求1或2所述的研磨机，其特征在于，提拉装置固定安装在研磨砂液导槽上。
4.根据权利要求1或2所述的研磨机，其特征在于，提拉装置固定安装在研磨上盘上。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103692338A (zh) * 2013-12-31 2014-04-02 镇江市港南电子有限公司 一种研磨机
CN103721967A (zh) * 2013-12-31 2014-04-16 镇江市港南电子有限公司 一种自清洗研磨上盘结构
CN105170233A (zh) * 2015-08-14 2015-12-23 无锡乐华自动化科技有限公司 自动化石磨磨面装置

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