CN1194249C - 反射型液晶显示装置 - Google Patents

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CN1194249C CNB021206821A CN02120682A CN1194249C CN 1194249 C CN1194249 C CN 1194249C CN B021206821 A CNB021206821 A CN B021206821A CN 02120682 A CN02120682 A CN 02120682A CN 1194249 C CN1194249 C CN 1194249C
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Abstract

本发明提供一种反射型液晶显示装置，其特征在于具有：在第一基板和第二基板之间夹持的液晶层；在上述第一基板的内表面上形成的、向上述第二基板的方向反射来自上述第二基板的入射光的反射电极；在上述第一基板和上述反射电极之间设置的、其中埋设并固定有多个微粒的树脂层；以及在上述树脂层和上述反射电极之间形成的平坦化层，上述微粒的上部从上述树脂层上突出，增加上述反射电极的反射面的凹凸程度，上述平坦化层覆盖上述树脂层和上述微粒的上部，缓和上述反射电极的上述反射面的凹凸程度。其可以在简化结构和制造方法的同时，提高反射性能。

Description

反射型液晶显示装置
技术领域
本发明涉及液晶显示装置，尤其涉及具有效率更高地反射来自观察侧的反射电极的视认性提高的反射型液晶显示装置。
背景技术
液晶显示装置基本上是通过在具有象素形成用电极和开关元件的玻璃等的一对基板之间夹持液晶层，向电子形成的图像照射外光而进行显示的。这种液晶显示装置的驱动方式大体分成两种。另外，为了保持两基板间的间隙，有夹着由环氧树脂和玻璃等形成的微珠状或柱状的隔离物的场合。微珠状的场合称作“隔离物微珠”。
一种驱动方式是，在一对基板的各内表面上具有相互交叉的多个线状电极，以其交叉部分构成象素的所谓简单矩阵方式。另一种是以矩阵状布置用来选择各象素的薄膜晶体管等的许多开关元件的有源矩阵方式。
在移动型信息终端(所谓PDA，即个人数字助理)和便携式电话机等的要求小电力的电子装置中，其图像显示屏广泛采用反射型、半透射半反射型的液晶显示装置。反射型液晶显示装置在其观察侧的基板和相对侧的基板(下称“一个基板”)的内表面或背面上具有反射膜、反射电极或反射板。由此，从观察侧的基板(下称“另一基板”)入射的光(外光)被上述反射膜等反射，通过液晶层，对在液晶层上形成的电子的图像进行强度调制，从上述另一个基板射出，由此进行可视化。
另外，采用在上述反射膜等的一部分上设置透光孔或狭缝，来自上述一个基板的背面的光透过另一基板侧进行可视化的称为半透射半反射型的显示方式的液晶显示装置已经公知。下面的结合本说明书和附图说明的反射型液晶显示装置在上述半透射半反射型液晶显示装置中也适用。
已经提出，以在一个基板上形成具有凹凸的树脂层(树脂粘合层)，在该树脂层上形成反射膜(下面，称为反射电极或金属反射膜)的方式，形成具有凹凸的反射电极的方案(日本专利特开平6-75237、平7-218906、平11-258617、平11-316371)，或通过分散树脂材料等的微粒(下面称为微珠)，在该微珠上形成反射电极，在反射电极上形成凹凸面以提高反射效率的方案(日本专利特开平11-323196、平11-330106)等。
发明内容
在为了在反射电极上形成凹凸面而在反射电极的下层上设置具有凹凸的树脂层的现有技术中，要求在该树脂层上以高精度形成复杂的凹凸的图案的高度的构图技术，工序多，且成本高。另外，在采用混入微粒的树脂粘合层的现有技术中，由于利用混入的微粒和其树脂粘合剂的折射率不同进行光的扩散，光的利用效率的提高受到限制。由此，迄今为止，获得取提高反射膜的反射效率的新方法仍是一个课题。
本发明的目的正是为了解决反射型液晶显示装置中的上述现有技术中的课题，提供一种可以简化结构和制造方法的、具备具有高反射性能的反射电极的反射型液晶显示装置。
为了实现上述目的，本发明的特征在于，对于混入许多微粒的树脂粘合剂层，通过使这些微粒的上部从树脂粘合剂层上突出，在反射电极的反射面上形成凹凸。该微粒采用环氧树脂等的硬质树脂、玻璃、其它有机材料和无机材料。其粒径为2～4μm左右，与上述隔离物微珠相比可称为超微粒。
这样的混入微粒的树脂粘合剂层的厚度小于该微粒的平均直径，如果微粒的平均粒径为3μm，则树脂粘合剂层的厚度优选地定为它的2/3左右。但是，如下所述，根据采用的微粒的形状的其它条件，该微粒的大小和树脂粘合剂层的厚度应基于作为目标的反射电极的反射性能进行最优化。
反射电极的表面上的凹凸的形状根据混入的微粒的形状(球形、椭圆球形或其它形状)、粒径或平均粒径或有效直径、粒径的分布、大小、或单位面积的分布密度来调整。
另外，通过用向树脂层或树脂粘合剂层赋予感光性的光刻技术进行构图，除去不要部分的微粒，在基板上形成电极导通部。根据本发明的反射型液晶显示装置的代表性结构如下所述。
结构(1)：一种反射型液晶显示装置，其特征在于具有：
在第一基板和第二基板之间夹持的液晶层；
在上述第一基板的内表面上形成的、向上述第二基板的方向反射来自上述第二基板的入射光的反射电极；
在上述第一基板和上述反射电极之间设置的、其中埋设并固定有多个微粒的树脂层；以及
在上述树脂层和上述反射电极之间形成的平坦化层，
上述微粒的上部从上述树脂层上突出，增加上述反射电极的反射面的凹凸程度，
上述平坦化层覆盖上述树脂层和上述微粒的上部，缓和上述反射电极的上述反射面的凹凸程度。
如果采用这样的构成，就无需工序复杂的树脂层的构图，且通过调整混入的微粒的分散程度、大小、从树脂粘合剂层的表面上突出的微粒部分的突出程度，可以控制在上层上形成的反射电极的凹凸的大小。因此，可以容易地简化工艺，得到所期望的反射性能。而且通过混入微粒，调整覆盖使该微粒的一部分从反射电极侧突出的树脂层而形成的平坦化层的厚度，可以控制反射电极的凹凸。
结构(2)：在结构(1)中，在上述第一基板的内表面上具有象素选择用的开关无件。从而，可在薄膜晶体管(TFT)方式等的有源矩阵方式的液晶显示装置中适用本发明。
结构(3)：在结构(2)中，在上述第二基板的内表面上具有彩色滤光器。该构成由于是在夹着液晶层与具有反射电极的基板相对置的基板侧形成彩色滤光器，从而，可在有源矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明。
结构(4)：在结构(1)中，在上述第一基板的内表面上具有彩色滤光器。该构成由于是在具有反射电极的基板侧形成彩色滤光器，从而，可在简单矩阵方式或有源矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明。
结构(5)：在结构(4)中，在上述反射电极的靠近上述基板的一侧具有上述彩色滤光器。该构成由于是在夹着液晶层与具有反射电极的基板相对置的基板侧形成彩色滤光器，从而，可在简单矩阵方式或有源矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明。
结构(6)：在结构(1)中，上述微粒具有吸光性。通过该构成，用光刻技术对树脂层、反射电极和其它结构层构图时，曝光用的光被微粒散射而反射到曝光掩模上，由此防止光晕，可以避免在图案形成区以外的部分形成不需要的图案。
结构(7)：在结构(1)中，在上述一对基板的间隙具有把该间隙保持在预定值的隔离物微珠，借助于隔离物微珠保持一对基板的间隙，可以防止因所谓的盒间隙波动造成的显示缺陷。
结构(8)：在结构(1)中，上述微粒由环氧树脂或玻璃构成。
结构(9)：在结构(1)中，上述反射电极是在上述平坦化层上形成的金属薄膜。
结构(10)：在结构(1)中，上述金属薄膜由Al、Al-Nd、Cr、Ag或它们的组合构成。
结构(11)：在结构(1)中，上述金属薄膜是在上述平坦化层上通过溅射法形成的。
结构(12)：在结构(1)中，上述反射电极由绝缘膜覆盖。
结构(13)：在结构(1)中，在上述绝缘膜上形成象素电极，该象素电极覆盖上述反射电极且由透明导电膜构成。
结构(14)：在结构(1)中，在上述平坦化层上形成的上述反射电极的上表面的粗糙度在1.2～2.0μm的范围内。
另外，很显然，本发明并不仅限于上述结构和后述的实施例中公开的结构，在不背离本发明的技术思想的前提下可以做各种变更。
附图说明
图1是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例1的结构的主要部分的剖面图；
图2A～2C是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例1的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图2A示出在玻璃基板上形成薄膜晶体管时的剖面，图2B示出在薄膜晶体管上形成绝缘膜PAS时的剖面，图2C示出在绝缘膜PAS上形成接触孔TH时的剖面；
图3A～3D是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例1的接着图2C的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图3A示出在绝缘膜PAS的上层上涂敷混入丙烯酸树脂的微粒BZ的感光性树脂膜BOC时的剖面，图3B示出用平坦化层OCI覆盖微粒BZ和感光性树脂膜BOC时的剖面，图3C示出形成铝合金膜的反射电极RFE时的剖面，图3D示出把反射电极RFE按各象素单位分割时的剖面；
图4是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例2的结构的主要部分的剖面图；
图5A和5B是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例2的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图；
图6A～6B是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例2的接着图5B的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图6A示出在平坦化膜OC1上形成铝合金的反射电极RFE时的剖面，图6B示出在反射电极RFE上形成绝缘膜PAS时的剖面，图6C示出在绝缘膜PAS上形成透明导电膜ITO1时的剖面，图6D示出把透明导电膜ITO1按各象素单位进行分割时的剖面；
图7是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例3的结构的主要部分的剖面图；
图8A～8C是简要说明根据本发明的实施例3的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分的剖面图，图8A示出在起伏的反射电极RFE上形成平坦化膜OC2时的剖面，图8B示出在平坦化膜OC2上形成黑色基底BM时的剖面，图8C是覆盖黑色基底BM和彩色滤光器FL时的剖面；
图9A和图9B是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例3的接着图8C的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图9A示出在绝缘膜PAS上形成透明导电膜ITO1时的剖面，图9B示出按各象素分割透时层电膜ITO时的剖面；
图10是根据本发明的反射型液晶显示装置的一个象素的平面图，是除去与本发明的实施例1相当的一个基板的取向膜后从另一个基板SUB2侧看的图；
图11是根据本发明的反射型液晶显示装置中具有的反射电极的表面的放大平面图；
图12是用于确认本发明的反射型液晶显示装置中的反射电极的光反射效果的变角光泽测定机的构成图；
图13是本发明的反射型液晶显示装置中的反射电极的测定结果的说明图。
具体实施方式
下面，参照实施例的附图详细地说明本发明的实施方案。图1是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例1的构成的主要部分的剖面图。图中，标号SUB1表示一个基板，SUB2表示另一个基板。
本实施是在有源矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明的情况。在一个基板SUB1的内表面上，依次形成栅电极GL、栅绝缘膜GI、非晶态半导体层ASI、保护膜PAS，构成薄膜晶体管。在非晶态半导体层ASI上具有源电极SD1和漏电极SD2。栅绝缘膜GI和保护膜PAS也在象素区域上形成。
在其上形成在感光性树脂中混入微粒BZ的树脂膜(树脂粘合剂)BOC。微粒BZ是环氧树脂或玻璃的细小粒子，其粒径为3μm左右，于是，树脂膜的厚度为2μm左右。微粒BZ的一部分从树脂膜BOC向反射电极RFE侧(另一个基板SUB2侧)突出。换言之，以微粒BZ被相互间埋设的树脂膜BOC固定的状态形成。
在该树脂膜BOC上以与微粒BZ的突出一致的形状形成反射电极RFE。反射电极最好是由Al、Al·Nd、Cr、Ag或包含它们的合金的金属薄膜构成的象素电极兼光反射膜。该反射电极RFE通过接触孔TH与薄膜晶体管的源电极SD2连接，构成所谓的象素电极。
在反射电极RFE上形成取向膜ORI1，用摩擦等进行预定的取向处理。使该一个基板SUB1和另一个基板SUB2夹着液晶LC贴合起来。在另一个基板SUB2的内表面上具有：用黑色基底BM按象素单位划分的彩色滤光器FIL、平坦化层OC2、共用电极ITO2、取向膜ORI2。
在该实施例中，在反射电极RFE的下层，微粒BZ和树脂膜BOC之间具有保护膜OC1，以调整在反射电极RFE上形成的凹凸，但是，也可以通过改变从树脂膜BOC突出的微粒BZ的分布密度、高度、粒径或树脂膜BOC的厚度来调整在反射电极RFE上形成的凹凸，此时无需上述的保护膜OC1。这一点对后述的其它实施例也相同。
另外，对反射电极RFE构图时，对该反射电极自身或其周边的一部分开口，形成狭缝等的透光部，可以形成半透射型的液晶显示装置。这一点对后述的其它实施例也相同。根据本实施例，可以获得反射电极的光反射率提高、从任一视角都可观察到明亮的图像的高品质的反射型液晶显示装置。
图2A～2C是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例1的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图3A～3D是接着图2C的主要部分剖面图。
首先，在作为构成液晶显示装置的一对基板的一个基板SUB1的玻璃基板上，用与公知的半层体制造方法相同的方法形成薄膜晶体管(图2A)。
虽然该薄膜晶体管采用了非晶态硅半导体ASI，但并不仅限于此。即，也可以用多晶硅半导体、低温多晶硅半导体形成薄膜晶体管。薄膜晶体管具有栅电极GL、栅绝缘膜GI、非晶态硅半导体ASI层(下称半导体层ASI)、漏电极SD1、源电极SD2。在一个基板SUB1的另一内表面上也形成栅绝缘膜GI。在其上形成绝缘膜PAS(图2B)。
在绝缘膜PAS的源电极SD2部分上开口形成接触孔TH(图2C)。此时，在绝缘膜PAS上也同时形成其它的必需的接触孔TH。在绝缘膜PAS的上层上涂敷感光性树脂膜BOC，它是混入了作为微粒BZ的平均粒径3μm的丙烯酸树脂的微粒的粘合剂树脂。感光性树脂BOC的厚度是2μm左右。因此，微粒BZ的一部分从感光性树脂膜BOC上向上方突出。在各微粒BZ间埋入感光性树脂膜BOC(图3A)。
然后，覆盖微粒BZ和感光性树脂膜BOC，涂敷平坦化膜OC1(图3B)。该平坦化膜OC1具有通过微粒BZ和感光性树脂膜BOC调整反射电极的凹凸的程度的功能。然后，用铝合金膜形成反射电极RFE(图3C)。反射电极RFE最好用溅射法形成，具有与下层的凹凸的一致的形状的凹凸面。
按各象素单位分割形成的反射电极RFE(图3D)。图3D中，箭头PXA表示的区域是1个象素的范围。此后，再在其上涂敷取向膜ORI1(图1)，完成一个基板的制作。
图4是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例2的构成的主要部分的剖面图。图4中，标号SUB1表示一个基板，SUB2表示另一个基板。本实施是在简单矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明的情况。
在作为一个基板SUB1的玻璃基板的内表面上形成与实施例1同样的混入微粒BZ的树脂膜BOC。微粒BZ的一部分从树脂膜BOC向反射电极RFE侧(另一个基板SUB2)侧突出。换言之，以微粒BZ被相互间埋设的树脂膜BOC固定的状态形成。在该树脂膜BOC上以与微粒BZ的突出一致的形状形成反射电极RFE。反射电极最好是由Al、Al·Nd、Cr、Ag或包含它们的合金的金属薄膜构成的光反射膜。
在反射电极RFE上形成绝缘膜PAS，在其上对象素电极即ITO1构图。然后，覆盖该ITO1形成取向膜ORI1，通过摩擦等进行预定的取向处理。使该一个基板SUB1和另一个基板SUB2夹着液晶LC贴合起来。在另一个基板SUB2的内表面上具有用黑色基底BM按象素单位划分的彩色滤光器FIL、平坦化层OC2、对置电极ITO2、取向膜ORI2。
在该实施例中，在反射电极RFE的下层和微粒BZ和树脂膜BOC之间具有保护膜OC1，以调整在反射电极RFE上形成的凹凸，但是，也可以通过改变从树脂膜BOC突出的微粒BZ的分布密度、高度、粒径或树脂膜BOC的厚度来调整在反射电极RFE上形成的凹凸，此时无需上述的保护膜OC1。
另外，对反射电极RFE构图时，对该反射电极自身或其周边的一部分开口，形成狭缝等的透光部，可以形成半透射型的液晶显示装置。根据本实施例，可以获得反射电极的光反射率提高、从任一视角都可观察到明亮的图像的高品质的反射型液晶显示装置。
图5A和5B是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例2的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图6A～6D是接着图5B的主要部分剖面图。首先，在作为构成液晶显示装置的一对基板的一个基板SUB1的玻璃基板上涂敷感光性树脂膜BOC，它作为混入了作为微粒BZ的丙烯酸树脂微粒的粘合剂树脂，并按每个象素划分，进行构图。
微粒BZ的一部分从感光性树脂膜BOC上向上方突出。在各微粒BZ间埋入感光性树脂膜BOC(图5A)。然后，覆盖微粒BZ和感光性树脂膜BOC，涂敷平坦化膜OC1(图5B)。该平坦化膜OC1具有通过微粒BZ和感光性树脂膜BOC调整反射电极的凹凸的程度的功能。然后，用铝合金膜形成反射电极RFE(图6A)。反射电极RFE最好用溅射法形成，具有与下层的凹凸的一致的形状的凹凸面。
在形成的反射电极RFE上形成绝缘膜PAS(图6B)。然后形成作为象素电极的ITO1(图6C)。通过构图按各象素单位进行分割(图6D)。图6D中，箭头PXA表示的区域是1个象素的范围。此后，再在其上涂敷取向膜ORI1(图4)，完成一个基板的制作。。
图7是说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例3的构成的主要部分的剖面图。图中，标号SUB1表示一个基板，SUB2表示另一个基板。本实施是在简单矩阵方式的反射型液晶显示装置中适用本发明的情况。
在作为一个基板SUB1的玻璃基板的内表面上形成与实施例1和2同样的混入微粒BZ的树脂膜BOC。微粒BZ的一部分从树脂膜BOC向反射电极RFE侧(另一个基板SUB2侧)突出。换言之，微粒BZ被相互间埋设的树脂膜BOC固定。在该树脂膜BOC上夹着平坦化膜OC1以与微粒BZ的突出一致的形状形成反射电极RFE。反射电极与上述实施例一样地，最好也是由Al、Al·Nd、Cr、Ag或包含它们的合金的金属薄膜构成的光反射膜。
在本实施例中，在反射电极RFE上夹着第二平坦化膜OC2形成用黑色基底BM划分的彩色滤光器FIL。在该彩色滤光器FIL上形成绝缘膜PAS，并在其上具有作为象素电极的ITO1。另外，具有覆盖ITO1的向膜ORI1。用摩擦等对取向膜ORI1进行预定的取向处理。使该一个基板SUB1和另一个基板SUB2夹着液晶LC贴合起来。在另一个基板SUB2的内表面上具有对置电极ITO2和取向膜ORI2。
在该实施例中，在反射电极RFE的下层，微粒BZ和树脂膜BOC之间具有保护膜OC1，以调整在反射电极RFE上形成的凹凸，但是，也可以通过改变从树脂膜BOC突出的微粒BZ的分布密度、高度、粒径或树脂膜BOC的厚度来调整在反射电极RFE上形成的凹凸，此时无需上述的保护膜OC1。
另外，对反射电极RFE构图时，对该反射电极自身或其周边的一部分开口，形成狭缝等的透光部，可以形成半透射型的液晶显示装置。根据本实施例，可以获得反射电极的光反射率提高、从任一视角都可观察到明亮的图像的高品质的反射型液晶显示装置。
图8A～8C是简要说明根据本发明的反射型液晶显示装置的实施例3的制造方法的、液晶显示装置的一个基板的主要部分剖面图，图9A～9B是接着图8C的主要部分剖面图。首先，在作为构成液晶显示装置的一对基板中的一个基板SUB1的玻璃基板上涂敷感光性树脂膜BOC，它作为混入了作为微粒BZ的丙烯酸树脂微粒的粘合剂树脂，按每象素划分，进行构图。
微粒BZ的一部分从感光性树脂膜BOC上向上方突出。在各微粒BZ间埋入感光性树脂膜BOC。然后，覆盖微粒BZ和感光性树脂膜BOC，涂敷平坦化膜OC1。该平坦化膜OC1具有通过微粒BZ和感光性树脂膜BOC调整反射电极的凹凸的程度的功能。然后，用铝合金膜形成反射电极RFE。反射电极RFE最好用溅射法形成，具有与下层的凹凸的一致的形状的凹凸面。在形成反射电极RFE上形成另一个平坦化膜OC2(图8A)。
再在其上形成黑色基底BM(图8B)，然后形成彩色滤光器FIL，在上层上形成绝缘膜PAS(图8C)。然后形成作为象素电极的ITO1(图9A)，通过构图按各象素单位进行分割(图9B)。图9B中，箭头PXA表示的区域是1个象素的范围。此后，再在其上涂敷取向膜ORI1(图7)，完成一个基板的制作。
另外，与用图7～9B说明的实施例3同样地，也可以在一个基板SUB1侧形成用图1～3D说明的本发明的实施例1中的另一个基板上形成的彩色滤光器。此时，彩色滤光器和黑色基底形成在反射电极的上方，取向膜的下层。
虽然在上述各实施例中微粒BZ采用了环氧树脂或玻璃的微粒，但是为了用光刻技术对树脂层、反射电极和其它结构层构图时，防止因曝光用的光被微粒散射而反射到曝光掩模上产生产光晕，避免在图案形成区以外的部分形成不需要的图案，该微粒BZ也可以是黑色等的具有吸光性的微粒。
另外，通过在混入微粒的感光性树脂中添加紫外线吸收剂，吸收紫外线的灵敏区，可以防止上述曝光时的光晕，或者也可以添加具有紫外线的吸收效果的染料(例如黄色染料)。而且，也可以使用在感光性树脂中分散颜料的着色抗蚀剂。
图10是根据本发明的反射型液晶显示装置的一个象素的平面图，是除去与本发明的实施例1相当的一个基板的取向膜后从另一个基板SUB2侧看的图。图10中，G2表示栅线，DL表示漏线。根据本发明的微粒BZ分布在反射电极RFE的区域中，反射电极RFE的表面具有与微粒BZ一致的凹凸。借助于该反射电极可以效率更高地反射来自另一个基板侧的入射光，得到明亮的图像。
图11是根据本发明的反射型液晶显示装置中具有的反射电极的表面的放大平面图。在反射电极RFE的表面上形成由上述的微粒BZ构成的许多个凹凸NV。该凹凸NV使入射光高效率地散射，可以提供广视角的明亮的图像。下面说明本发明的反射型液晶显示装置中的反射电极的光反射效果的确认。
图12是用于确认本发明的反射型液晶显示装置中的反射电极的光反射交果的变角光泽测定机的构成图。图12中，LPR是光投射机，LDR是光接收机，SPL是样品。另外，图13是其测定结果的说明图。所使用的变角光泽测定机是日本电色工业制的“VG-ID型”，光投射角固定在45°，光接收角在0°-45°的范围内变化。用该光泽测定值(强度)相对地测定样品的反射效果。
该测定中，使混入了微粒的树脂粘合剂层的微粒的密度和表面凹凸变化，比较评价了蒸镀了铝的样品和在铝的无光泽蒸镀膜上贴附了扩散薄板的样品。铝的蒸镀条件是：排气真空度1.8×10-2Pa，蒸镀时间16秒，铝膜的厚度为0.1μm。
图13的测定结果中，样品SPL的凹凸为：a＝0.4μm，b＝1.2(1.25)μm，c＝1.8μm，d＝1.95μm，e＝2.0μm，f是铝的平坦膜的凹凸值，g是用于比较的扩散薄板的光泽。从该测定结果可以看出，如果凹凸为1.2μm以上，就可以在大视角范围内增大反射强度。
这样地，根据本发明的实施例，可以在简化结构和制造方法的同时，获得具有高反射性能的反射电极的反射型液晶显示装置。
如上所述，根据本发明，可以无需工艺复杂的树脂层的构图，且可以调整混入的微粒的分散程度、大小、从树脂粘合剂层的表面突出的微粒的部分的程度，可以控制在上层上形成的反射电极的凹凸的大小。因此，可以提供工艺简化、具备具有所期望的反射性能的反射电极的高品质的反射型液晶显示装置。

Claims (14)

1.一种反射型液晶显示装置，其特征在于具有：
在第一基板和第二基板之间夹持的液晶层；
在上述第一基板的内表面上形成的、向上述第二基板的方向反射来自上述第二基板的入射光的反射电极；
在上述第一基板和上述反射电极之间设置的、其中埋设并固定有多个微粒的树脂层；以及
在上述树脂层和上述反射电极之间形成的平坦化层，
上述微粒的上部从上述树脂层上突出，增加上述反射电极的反射面的凹凸程度，
上述平坦化层覆盖上述树脂层和上述微粒的上部，缓和上述反射电极的上述反射面的凹凸程度。
2.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述第一基板的内表面上具有象素选择用的开关元件。
3.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述第二基板的内表面上具有彩色滤光器。
4.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述第一基板的内表面上具有彩色滤光器。
5.如权利要求4所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述彩色滤光器设置在上述反射电极的靠近上述第二基板的一侧。
6.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述树脂层具有感光性，上述微粒具有吸光性。
7.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述第一基板和第二基板的间隙处设置把该间隙保持为预定值的隔离物微珠或柱状隔离物，上述微粒比该隔离物微珠或该柱状隔离物小。
8.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述微粒由环氧树脂或玻璃构成。
9.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述反射电极是在上述平坦化层上形成的金属薄膜。
10.如权利要求9所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述金属薄膜由Al、Al-Nd、Cr、Ag或它们的组合构成。
11.如权利要求9所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述金属薄膜是在上述平坦化层上通过溅射法形成的。
12.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：上述反射电极由绝缘膜覆盖。
13.如权利要求12所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述绝缘膜上形成象素电极，该象素电极覆盖上述反射电极且由透明导电膜构成。
14.如权利要求1所述的反射型液晶显示装置，其特征在于：在上述平坦化层上形成的上述反射电极的上表面的粗糙度在1.2～2.0μm的范围内。
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