CN115896956A - 一种磷化铟晶体生长除杂装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于磷化铟晶体领域，具体的说是一种磷化铟晶体生长除杂装置，包括处理箱体和进料口；所述处理箱体内部固接连通有进料口；所述处理箱体内部设置有除杂单元，且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板、收集组件、侧板、密封组件和固定组件，所述搅拌组件转动连接在处理箱体内壁，所述清理组件固接在搅拌组件外壁，所述下料板固接在处理箱体内壁；通过搅拌组件，对磷化铟晶体表面的杂质进行去除，通过收集组件，对清理后的磷化铟晶体进行收集，通过固定组件，便于操作人员取出过滤箱，实现了除杂的功能，解决了现有的磷化铟晶体生长除杂装置不能够较好的令磷化铟晶体与其他杂质分开的问题，提高了处理箱体的除杂效率。
Description
技术领域
本发明涉及磷化铟晶体技术领域，特别是涉及一种磷化铟晶体生长除杂装置。
背景技术
磷化铟晶体是非常重要的半导体材料之一，通常适用于光电子技术等其他领域。
在现有技术中，磷化铟晶体在合成晶体的过程中，外部通常带有一些絮状物质，操作人员通常使用磷化铟晶体生长除杂装置对絮状物杂质进行处理。
现有的磷化铟晶体生长除杂装置在对磷化铟晶体进行处理时，往往不能够令磷化铟晶体与其他杂质较好分开，导致操作人员后期还需要反复对磷化铟晶体进行处理，大大降低了磷化铟晶体生长除杂装置的实用性；因此，针对上述问题提出一种磷化铟晶体生长除杂装置。
发明内容
基于此，本发明的目的在于克服现有技术中的缺点和不足，解决现有的磷化铟晶体生长除杂装置不能够较好的令磷化铟晶体与其他杂质分开的问题，提供一种磷化铟晶体生长除杂装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，包括处理箱体和进料口；所述处理箱体内部固接连通有进料口；所述处理箱体内部设置有除杂单元，且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板、收集组件、侧板、密封组件和固定组件，所述搅拌组件转动连接在处理箱体内壁，所述清理组件固接在搅拌组件外壁，所述下料板固接在处理箱体内壁，所述收集组件固接在处理箱体内壁，所述侧板转动连接在处理箱体外壁，所述密封组件胶粘在处理箱体内壁，所述固定组件插设在侧板内部，通过设置有除杂单元，使得处理箱体能够对磷化铟晶体进行快速除杂，提高了处理箱体的除杂效率。
优选的，所述搅拌组价包括第一电机、搅拌杆和绞龙，所述第一电机固接在处理箱体外壁，所述搅拌杆固接在第一电机外壁，所述绞龙固接在搅拌杆外壁，通过设置有搅拌组件，使得磷化铟晶体与清洗液之间能够深入接触，从而对磷化铟晶体表面的杂质进行去除。
优选的，所述清理组件包括侧刷和横刷，所述侧刷固接在搅拌杆外壁，所述横刷固接在搅拌杆外壁，通过设置有清理组件，使得侧刷对处理箱体内壁进行清理，横刷便可对下料板外壁进行清理的同时推动磷化铟晶体进入下料板内部。
优选的，所述收集组件包括固定块、第一卡块和过滤箱，所述固定块固接在处理箱体内壁，所述第一卡块固接在处理箱体内壁，所述过滤箱外壁贴合在固定块外壁，通过设置有收集组件，使得过滤箱对清理后的磷化铟晶体进行收集。
优选的，所述密封组件包括第一密封块和第二密封块，所述第一密封块胶粘在侧板外壁，所述第二密封块胶粘在处理箱体内壁，通过设置有密封组件，能够提高侧板对处理箱体内部的密封效果，避免处理箱体内部的清洁液泄露。
优选的，所述固定组件包括插块、第一弹簧和滑槽，所述插块插设在侧板内部，所述第一弹簧固接在插块外壁，所述滑槽开设在处理箱体内部，通过设置有固定组件，使得能够对侧板进行固定，同时便于操作人员对侧板翻转取出过滤箱。
优选的，所述处理箱体内部设置有循环单元，且循环单元包括药箱、循环泵、除垢组件、滤网、第二卡块、和卡合组件，所述药箱固接在处理箱体外壁，所述循环泵固接在处理箱体外壁，所述除垢组件固接在处理箱体内部，所述滤网插设在药箱内部，所述第二卡块固接在药箱内壁，所述卡合组件插设在滤网内部，通过设置有循环单元，从而使得清洁液能够重复进行使用，提高了装置整体的实用性。
优选的，所述除垢组件包括反向螺杆、第二电机和刮板，所述反向螺杆转动连接在处理箱体内壁，所述第二电机固接在反向螺杆外壁，所述刮板内部通过螺纹连接在反向螺杆外壁，通过设置有除垢组件，使得能够对残留处理箱体内部底端的污垢进行去除，减少操作人员的工作量。
优选的，所述卡合组件包括第三卡块、固定杆和第二弹簧，所述第三卡块插设在滤网内部，所述固定杆固接在药箱内壁，所述第二弹簧固接在第三卡块内壁，通过设置有卡合组件，使得操作人员能够快速取出滤网进行清理。
优选的，所述处理箱体内壁胶粘有卡球，且卡球为橡胶材质，通过设置有卡球，能够提高侧板与处理箱体之间的连接关系，从而提高侧板的稳定性。
本发明的有益之处在于：
1.本发明通过搅拌组件，对磷化铟晶体表面的杂质进行去除，通过收集组件，对清理后的磷化铟晶体进行收集，通过固定组件，便于操作人员取出过滤箱，实现了除杂的功能，解决了现有的磷化铟晶体生长除杂装置不能够较好的令磷化铟晶体与其他杂质分开的问题，提高了处理箱体的除杂效率；
2.本发明通过除垢组件，使得能够对残留处理箱体内部底端的污垢进行去除，通过循环泵，使得清洁液通过滤网进行过滤，在循环泵的作用下再次投入处理箱体内部进行使用，通过卡合组件，使得操作人员能够快速取出滤网进行清理，实现了清洁液循环使用的功能，解决了清洁液不能够循环使用的问题，提高了处理箱体的实用性。
为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本发明。
附图说明
图1为实施例一的立体结构示意图；
图2为实施例一的第一正视剖面结构示意图；
图3为实施例一的图2中A处示意图；
图4为实施例一的第二正视剖面结构示意图；
图5为实施例一的图4中B处的结构示意图。
图中：1、处理箱体；2、进料口；3、第一电机；4、搅拌杆；5、绞龙；6、侧刷；7、横刷；8、下料板；9、固定块；10、第一卡块；11、过滤箱；12、侧板；13、第一密封块；14、第二密封块；15、卡球；16、插块；17、第一弹簧；18、滑槽；19、药箱；20、循环泵；21、反向螺杆；22、第二电机；23、刮板；24、滤网；25、第二卡块；26、第三卡块；27、固定杆；28、第二弹簧。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
需要理解的是，在本申请的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，也即，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。此外，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”、“空心”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
实施例一
请参阅图1-4所示，一种磷化铟晶体生长除杂装置，包括处理箱体1和进料口2；所述处理箱体1内部固接连通有进料口2；所述处理箱体1内部设置有除杂单元，且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板8、收集组件、侧板12、密封组件和固定组件，所述搅拌组件转动连接在处理箱体1内壁，所述清理组件固接在搅拌组件外壁，所述下料板8固接在处理箱体1内壁，所述收集组件固接在处理箱体1内壁，所述侧板12转动连接在处理箱体1外壁，所述密封组件胶粘在处理箱体1内壁，所述固定组件插设在侧板12内部；工作时，通过对进料口2内部投入磷化铟晶体，启动第一电机3，使得第一电机3带动搅拌杆4和绞龙5进行转动，通过设置有搅拌组件，使得磷化铟晶体与清洗液之间能够深入接触，从而对磷化铟晶体表面的杂质进行去除，通过搅拌杆4转动带动侧刷6和横刷7转动，通过设置有清理组件，使得侧刷6对处理箱体1内壁进行清理，横刷7便可对下料板8外壁进行清理的同时推动磷化铟晶体进入下料板8内部，通过设置有收集组件，使得过滤箱11对清理后的磷化铟晶体进行收集，固定块9和第一卡块10在处理箱体1内部对过滤箱11进行限位作用避免过滤箱11产生偏移，需要取出过滤箱11时，先按压插块16，使得插块16在滑槽18内部滑动的同时挤压第一弹簧17，令第一弹簧17产生弹性形变，通过设置有固定组件，使得能够对侧板12进行固定，同时便于操作人员对侧板12翻转取出过滤箱11，直至插块16脱离侧板12内部后，翻转侧板12，使得卡球15脱离侧板12内部，通过设置有卡球15，能够提高侧板12与处理箱体1之间的连接关系，从而提高侧板12的稳定性，通过侧板12转动，使得第一密封块13和第二密封块14不再贴合，通过设置有密封组件，能够提高侧板12对处理箱体1内部的密封效果，避免处理箱体1内部的清洁液泄露，通过设置有除杂单元，使得处理箱体1能够对磷化铟晶体进行快速除杂，提高了处理箱体1的除杂效率。
所述搅拌组价包括第一电机3、搅拌杆4和绞龙5，所述第一电机3固接在处理箱体1外壁，所述搅拌杆4固接在第一电机3外壁，所述绞龙5固接在搅拌杆4外壁；工作时，通过对进料口2内部投入磷化铟晶体，启动第一电机3，使得第一电机3带动搅拌杆4和绞龙5进行转动，通过设置有搅拌组件，使得磷化铟晶体与清洗液之间能够深入接触，从而对磷化铟晶体表面的杂质进行去除。
所述清理组件包括侧刷6和横刷7，所述侧刷6固接在搅拌杆4外壁，所述横刷7固接在搅拌杆4外壁；工作时，通过搅拌杆4转动带动侧刷6和横刷7转动，通过设置有清理组件，使得侧刷6对处理箱体1内壁进行清理，横刷7便可对下料板8外壁进行清理的同时推动磷化铟晶体进入下料板8内部。
所述收集组件包括固定块9、第一卡块10和过滤箱11，所述固定块9固接在处理箱体1内壁，所述第一卡块10固接在处理箱体1内壁，所述过滤箱11外壁贴合在固定块9外壁；工作时，通过设置有收集组件，使得过滤箱11对清理后的磷化铟晶体进行收集，固定块9和第一卡块10在处理箱体1内部对过滤箱11进行限位作用避免过滤箱11产生偏移。
所述密封组件包括第一密封块13和第二密封块14，所述第一密封块13胶粘在侧板12外壁，所述第二密封块14胶粘在处理箱体1内壁；工作时，通过侧板12转动，使得第一密封块13和第二密封块14不再贴合，通过设置有密封组件，能够提高侧板12对处理箱体1内部的密封效果，避免处理箱体1内部的清洁液泄露。
所述固定组件包括插块16、第一弹簧17和滑槽18，所述插块16插设在侧板12内部，所述第一弹簧17固接在插块16外壁，所述滑槽18开设在处理箱体1内部；工作时，需要取出过滤箱11时，先按压插块16，使得插块16在滑槽18内部滑动的同时挤压第一弹簧17，令第一弹簧17产生弹性形变，通过设置有固定组件，使得能够对侧板12进行固定，同时便于操作人员对侧板12翻转取出过滤箱11。
所述处理箱体1内部设置有循环单元，且循环单元包括药箱19、循环泵20、除垢组件、滤网24、第二卡块25、和卡合组件，所述药箱19固接在处理箱体1外壁，所述循环泵20固接在处理箱体1外壁，所述除垢组件固接在处理箱体1内部，所述滤网24插设在药箱19内部，所述第二卡块25固接在药箱19内壁，所述卡合组件插设在滤网24内部；工作时，通过过滤箱11对清洁液和磷化铟晶体进行分离，使得清洁液进入处理箱体1内部底端，启动第二电机22，使得反向螺杆21进行转动的同时带动刮板23移动，使得刮板23对处理箱体1内部的底端进行刮除，通过设置有除垢组件，使得能够对残留处理箱体1内部底端的污垢进行去除，减少操作人员的工作量，通过设置有循环泵20，使得药箱19对处理箱体1内部底端的清洁液进行吸附，使得清洁液通过滤网24进行过滤，在循环泵20的作用下再次投入处理箱体1内部进行使用，需要对滤网24取出时，先按压第三卡块26，使得第三卡块26带动第二弹簧28挤压固定杆27，令第二弹簧28受到挤压产生弹性形变，直至第三卡块26脱离滤网24内部，操作人员便可拉取滤网24，使得第二卡块25脱离滤网24内部，直至滤网24脱离药箱19内部，通过设置有卡合组件，使得操作人员能够快速取出滤网24进行清理，通过设置有循环单元，从而使得清洁液能够重复进行使用，提高了装置整体的实用性。
所述除垢组件包括反向螺杆21、第二电机22和刮板23，所述反向螺杆21转动连接在处理箱体1内壁，所述第二电机22固接在反向螺杆21外壁，所述刮板23内部通过螺纹连接在反向螺杆21外壁；工作时，通过启动第二电机22，使得反向螺杆21进行转动的同时带动刮板23移动，使得刮板23对处理箱体1内部的底端进行刮除，通过设置有除垢组件，使得能够对残留处理箱体1内部底端的污垢进行去除，减少操作人员的工作量。
所述卡合组件包括第三卡块26、固定杆27和第二弹簧28，所述第三卡块26插设在滤网24内部，所述固定杆27固接在药箱19内壁，所述第二弹簧28固接在第三卡块26内壁；工作时，通过按压第三卡块26，使得第三卡块26带动第二弹簧28挤压固定杆27，令第二弹簧28受到挤压产生弹性形变，直至第三卡块26脱离滤网24内部，操作人员便可拉取滤网24，使得第二卡块25脱离滤网24内部，直至滤网24脱离药箱19内部，通过设置有卡合组件，使得操作人员能够快速取出滤网24进行清理。
所述处理箱体1内壁胶粘有卡球15，且卡球15为橡胶材质；工作时，通过翻转侧板12，使得卡球15脱离侧板12内部，通过设置有卡球15，能够提高侧板12与处理箱体1之间的连接关系，从而提高侧板12的稳定性。
工作原理，通过对进料口2内部投入磷化铟晶体，启动第一电机3，使得第一电机3带动搅拌杆4和绞龙5进行转动，通过设置有搅拌组件，使得磷化铟晶体与清洗液之间能够深入接触，从而对磷化铟晶体表面的杂质进行去除，通过搅拌杆4转动带动侧刷6和横刷7转动，通过设置有清理组件，使得侧刷6对处理箱体1内壁进行清理，横刷7便可对下料板8外壁进行清理的同时推动磷化铟晶体进入下料板8内部，通过设置有收集组件，使得过滤箱11对清理后的磷化铟晶体进行收集，固定块9和第一卡块10在处理箱体1内部对过滤箱11进行限位作用避免过滤箱11产生偏移，需要取出过滤箱11时，先按压插块16，使得插块16在滑槽18内部滑动的同时挤压第一弹簧17，令第一弹簧17产生弹性形变，通过设置有固定组件，使得能够对侧板12进行固定，同时便于操作人员对侧板12翻转取出过滤箱11，直至插块16脱离侧板12内部后，翻转侧板12，使得卡球15脱离侧板12内部，通过设置有卡球15，能够提高侧板12与处理箱体1之间的连接关系，从而提高侧板12的稳定性，通过侧板12转动，使得第一密封块13和第二密封块14不再贴合，通过设置有密封组件，能够提高侧板12对处理箱体1内部的密封效果，避免处理箱体1内部的清洁液泄露，通过设置有除杂单元，使得处理箱体1能够对磷化铟晶体进行快速除杂，提高了处理箱体1的除杂效率。
通过过滤箱11对清洁液和磷化铟晶体进行分离，使得清洁液进入处理箱体1内部底端，启动第二电机22，使得反向螺杆21进行转动的同时带动刮板23移动，使得刮板23对处理箱体1内部的底端进行刮除，通过设置有除垢组件，使得能够对残留处理箱体1内部底端的污垢进行去除，减少操作人员的工作量，通过设置有循环泵20，使得药箱19对处理箱体1内部底端的清洁液进行吸附，使得清洁液通过滤网24进行过滤，在循环泵20的作用下再次投入处理箱体1内部进行使用，需要对滤网24取出时，先按压第三卡块26，使得第三卡块26带动第二弹簧28挤压固定杆27，令第二弹簧28受到挤压产生弹性形变，直至第三卡块26脱离滤网24内部，操作人员便可拉取滤网24，使得第二卡块25脱离滤网24内部，直至滤网24脱离药箱19内部，通过设置有卡合组件，使得操作人员能够快速取出滤网24进行清理，通过设置有循环单元，从而使得清洁液能够重复进行使用，提高了装置整体的实用性。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：包括处理箱体(1)和进料口(2)；所述处理箱体(1)内部固接连通有进料口(2)；
所述处理箱体(1)内部设置有除杂单元，且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板(8)、收集组件、侧板(12)、密封组件和固定组件，所述搅拌组件转动连接在处理箱体(1)内壁，所述清理组件固接在搅拌组件外壁，所述下料板(8)固接在处理箱体(1)内壁，所述收集组件固接在处理箱体(1)内壁，所述侧板(12)转动连接在处理箱体(1)外壁，所述密封组件胶粘在处理箱体(1)内壁，所述固定组件插设在侧板(12)内部。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述搅拌组价包括第一电机(3)、搅拌杆(4)和绞龙(5)，所述第一电机(3)固接在处理箱体(1)外壁，所述搅拌杆(4)固接在第一电机(3)外壁，所述绞龙(5)固接在搅拌杆(4)外壁。
3.根据权利要求2所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述清理组件包括侧刷(6)和横刷(7)，所述侧刷(6)固接在搅拌杆(4)外壁，所述横刷(7)固接在搅拌杆(4)外壁。
4.根据权利要求3所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述收集组件包括固定块(9)、第一卡块(10)和过滤箱(11)，所述固定块(9)固接在处理箱体(1)内壁，所述第一卡块(10)固接在处理箱体(1)内壁，所述过滤箱(11)外壁贴合在固定块(9)外壁。
5.根据权利要求4所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述密封组件包括第一密封块(13)和第二密封块(14)，所述第一密封块(13)胶粘在侧板(12)外壁，所述第二密封块(14)胶粘在处理箱体(1)内壁。
6.根据权利要求5所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述固定组件包括插块(16)、第一弹簧(17)和滑槽(18)，所述插块(16)插设在侧板(12)内部，所述第一弹簧(17)固接在插块(16)外壁，所述滑槽(18)开设在处理箱体(1)内部。
7.根据权利要求6所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述处理箱体(1)内部设置有循环单元，且循环单元包括药箱(19)、循环泵(20)、除垢组件、滤网(24)、第二卡块(25)、和卡合组件，所述药箱(19)固接在处理箱体(1)外壁，所述循环泵(20)固接在处理箱体(1)外壁，所述除垢组件固接在处理箱体(1)内部，所述滤网(24)插设在药箱(19)内部，所述第二卡块(25)固接在药箱(19)内壁，所述卡合组件插设在滤网(24)内部。
8.根据权利要求7所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述除垢组件包括反向螺杆(21)、第二电机(22)和刮板(23)，所述反向螺杆(21)转动连接在处理箱体(1)内壁，所述第二电机(22)固接在反向螺杆(21)外壁，所述刮板(23)内部通过螺纹连接在反向螺杆(21)外壁。
9.根据权利要求8所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述卡合组件包括第三卡块(26)、固定杆(27)和第二弹簧(28)，所述第三卡块(26)插设在滤网(24)内部，所述固定杆(27)固接在药箱(19)内壁，所述第二弹簧(28)固接在第三卡块(26)内壁。
10.根据权利要求9所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述处理箱体(1)内壁胶粘有卡球(15)，且卡球(15)为橡胶材质。
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