CN115867857A - 用于增加谱带宽和缩短超短脉冲的光学装置 - Google Patents

用于增加谱带宽和缩短超短脉冲的光学装置 Download PDF

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Abstract

光学装置，其中可行的是：通过以紧凑构型的自相位调制(SPM)生成所需的带宽增加，而在此通过克尔透镜效应产生的自聚焦不引起射束质量的下降并且不因高功率密度损害整形光学装置。使用由镜装置构成的多通道单元。在多通道单元中设置具有可忽略吸收的非线性介质以产生自相位调制。激光射束借助整形光学装置变换成限定的像散射束并耦合输入到多通道单元中，其中激光射束在镜装置之间往复反射并且多次穿过非线性介质。将镜装置的镜的弯曲设计成并且将镜设置成，使得射束在多通道单元内具有多个腰部，其中腰部在xz平面和yz平面中处于不同z位置处，其中x‑y‑z坐标形成矩形的xyz坐标系。

Description

用于增加谱带宽和缩短超短脉冲的光学装置
背景技术
使用超短脉冲激光器进行材料加工对于精确和灵活的生产方法越来越重要。高精度主要基于以下事实：即激光脉冲比在激光脉冲和要加工的材料之间的热相互作用的特征时间常数更短。一般来说适用的是：脉冲越短，加工越精确。
用于工业材料加工的超短脉冲激光器由振荡放大器装置组成。振荡器的脉冲长度通过所使用的激光介质的带宽确定。因此，锁模Yb∶YAG振荡器的典型脉冲持续时间为700fs。将振荡放大器装置用于产生对于材料加工相关的脉冲能量。取决于放大介质的带宽，放大的脉冲的带宽由于增益变窄而减小，由此延长放大脉冲。
自相位调制的非线性过程可用于增加带宽。当然，自相位调制与空间相位调制、例如克尔透镜效应关联。克尔透镜效应会导致灾难性的自聚焦和导致射束质量的不可接受的降低。
将共点射束主要用于材料加工。在自由传播下，共点射束在每个垂直于传播方向的平面中具有圆形功率密度分布。共点射束的射束腰部在两个相互垂直的平面上具有相同的大小并且共同地处于相同的位置处。在这种情况下，功率密度与射束直径的平方成反比。在稳定和紧凑的光学结构中，这导致焦点、镜或透镜中的非常高的功率密度。过高功率密度会导致光学装置、如透镜和镜的损坏。
DE 10 2014 007 159A1描述一种用于非线性脉冲压缩的激光脉冲的谱加宽的方法和装置。
激光脉冲耦合输入到光学装置中，在所述光学装置中，所述激光脉冲交替地传播通过至少一个包含具有非线性光学特性的至少一种介质且其中激光脉冲通过自相位调制获得非线性相位的部段和其中基本上不通过自相位调制产生非线性相位的部段。
DE 10 2015 005 257 A1描述一种用于提高射束质量和改善激光射束强度分布的光学装置。使用一个或多个球形和/或柱形组件、例如透镜和/或镜，借助所述球形和/或柱形组件聚焦射束。至少两个光阑沿射束传播成一排在组件的聚焦区域中使用，其中通过在光阑的相应的轴向位置处的射束横截面确定光阑的开口形状和大小。
出版物BRONS、Jonathan等的Efficient，high-power，all-bulk spectralbroadening in a quasi-waveguide准波导中的高效、高功率、全体积谱加宽，2017Conference on Lasers and Electro-Optics Europe&European QuantumElectronics Conference 2017年欧洲激光和电光会议和欧洲量子电子会议(CLEO/Europe-EQEC)，IEEE，2017年，第1-1页涉及准波导中超短脉冲的高效、高功率、谱展宽。
发明内容
本发明所基于的目的是：提出一种光学装置，所述光学装置实现：可以通过以紧凑构型的自相位调制(SPM)生成所确定的带宽增加。
所述目的通过具有权利要求1的特征的装置来实现。该装置的有利的设计方案从从属权利要求中得出。
根据本发明，用于通过非线性自相位调制增加谱带宽以缩短超短脉冲的光学装置使用多通道单元和非线性介质。非线性介质设置在多通道单元内，并且具有超短脉冲的激光射束多次穿过非线性介质。激光射束经由整形光学装置耦合输入到多通道单元中，其中经由整形光学装置将激光射束整形成像散射束并且耦合输入到多通道单元中。
借助这种装置可行的是：通过以紧凑构型的自相位调制(SPM)生成所确定的带宽增加，而在此因克尔透镜效应引起的自聚焦没有引起射束质量下降并且没有通过高功率密度损害整形光学装置。
多通道单元优选是赫里奥特多通道单元。
在一个有利的实施方式中，多通道单元包括三个柱面镜。三个柱面镜设计和设置成，使得它们的弯曲位于共同的xz平面中并且其焦平面处于共同的焦平面中。通过整形光学装置将射束设计和设置成，使得将射束转换成如下射束，所述射束在yz平面中准直并且具有与在xz平面中的焦点，并且使得非线性介质安置在焦平面中或焦平面附近。
x、y、z坐标为直角坐标系，其中z坐标平行于传播方向，x坐标和y坐标相互垂直且垂直于传播方向。
在另一有利的实施方式中，多通道单元由三个球面镜组成。三个球面镜设计和设置成，使得所述三个球面镜形成白色多通道单元并且具有共同的焦平面，其中整形光学装置设计和设置成，使得将射束转换成像散射束，所述像散射束在yz平面中准直并且在xz平面中具有焦点，或者在xz平面中准直并且在yz平面中具有焦点，其中非线性介质安置在焦平面中或焦平面附近。x、y、z坐标形成直角xyz坐标系，其中z坐标平行于射束的传播方向。
还提出一种光学装置，其多通道单元由两个柱面镜组成。两个柱面镜设计和设置成，使得所述两个柱面镜的焦线位于xz折叠平面中并且位于共同的焦平面中，其中整形光学装置设计和设置成，使得将激光射束转换成像散射束，所述像散射束在xz平面中准直并且在yz平面中具有焦点，其中非线性介质安置在焦平面中或焦平面附近。所提到的x、y、z坐标形成直角xyz坐标系。
在本发明的另一光学装置中，多通道单元由两个镜阵列组成，其中每个镜阵列由至少两个球面且凹面的镜元件组成。球面镜元件是相同且凹面弯曲的并且所述球面镜元件的焦点位于共同的平面中，其中整形光学装置设计和设置成，使得射束转换成像散射束，所述像散射束在yz平面中准直并且在xz平面中具有焦点，或者在xz平面中准直并且在yz平面中具有焦点，其中非线性介质安置在焦平面中或焦平面附近，其中z坐标平行于射束的传播方向。
还有利的是，镜中的至少一个镜设有用于补偿色散的覆层，使得至少一个镜如GDD(群时延色散)或GTI镜(Gires-Tournois干涉仪)那样作用以压缩脉冲。
还提出：在多通道单元中使用至少一个光阑阵列以提高射束质量。光阑阵列的开口在其几何形状上匹配于相应的射束穿过部位的射束横截面。光阑阵列设置在一个或多个折叠镜处和/或设置在焦平面中和/或设置在焦平面附近。
至少一个光阑阵列的开口横截面应是相应的高斯射束的射束横截面的1.3至2倍。
为了实现最小化脉冲长度或匹配于要求，光栅、棱镜、GDD镜和/或GTI镜在输出侧沿射束传播方向、即沿z方向观察设置在多通道单元后方，以对脉冲进行脉冲压缩或脉冲缩短。
通过还使用柱面整形光学装置、例如柱面透镜、柱面镜或棱镜，可以将像散射束重整形为单像散射束。
附图说明
本发明的实施例从附图中得出。在附图中
图1示出像散射束的示意性示例，
图2a示出赫里奥特多通道单元，其中图2b和2c示出图2a的两个镜，其具有激光射束的射到相应的镜上的射束横截面，
图3a和3b示出多通道单元的另一实施方式，在图3a中示出俯视图，在图3b中示出与图3a关联的侧视图，其中图3c和3e示出激光射束在相应镜处的射束横截面并且图3d示出激光射束在中间平面中的射束横截面，
图4a至4d示出根据本发明的装置的另一实施方式，所述装置具有包括三个球面的凹面弯曲的镜的多通道单元，其中图4b和图4d示出激光射束在镜面处的射束横截面，并且图4c示出激光射束在中间平面中的射束横截面，
图5a和5e示出根据本发明的具有两个柱面的凹面的镜的装置的另一实施方式，其中图5a示出俯视图并且图5b示出相应的侧视图；激光射束在两个镜处的横截面在图5c和5e中示出，而图5d示出激光射束在中间平面中的横截面，
图6a示出根据本发明的、具有多通道单元的装置的另一实施方式的俯视图并且图6b示出其相应的侧视图，所述多通道单元由两个镜阵列组成，所述镜阵列通过具有相同的凹面的弯曲的球面镜元件构成，其又具有激光射束在图6c和6e中的两个镜阵列的镜上的射束横截面和在图6d中的中间平面中的射束横截面，和
图7b、7c和7d示出不同的光阑阵列，所述光阑阵列例如可以在图4中所示的多通道单元中分别在镜776之前、在焦平面33中和在镜777和778之前使用。
具体实施方式
在附图中，x、y和z坐标说明直角xyz坐标系。
图1示出单像散射束的示例。单像散射束在z方向上传播。在xz平面中，射束具有腰部dσx0，所述腰部具有瑞利长度Z0x。在yz平面中，射束具有腰部dσy0，所述腰部具有瑞利长度Z0y。θσx代表xz平面中的发散角，并且θσy代表yz平面中的发散角。在单像散射束的情况下，可以定位整形光学装置，使得射束的横截面变得近似圆形，以至于可以显着降低整形光学装置上的功率密度，而在此在焦平面中不存在过高的强度。
本发明的核心思想在于：使用多通道单元，所述多通道单元由具有附图中所示的镜771、772、796、797、798、776、777、778、717、718或727、728的镜装置组成。具有可忽略的吸收的非线性介质66设置在多通道单元中以产生自相位调制，其中激光射束1借助整形光学装置261转换成限定的单像散射束11并耦合输入到多通道单元中。激光射束11在镜装置之间往复反射，使得其多次穿过非线性介质66，其中镜的弯曲设计成并且镜设置成，使得射束在多通道单元内具有多个腰部。腰部位于xz平面中并且在yz平面中处于不同的z位置处。
在图中，图2a示出赫里奥特多通道单元，所述赫里奥特多通道单元由两个球面镜771和772组成。射束1或激光射束1通过使用整形光学装置261整形为单像散射束11。单像散射束11通过边缘镜781、即具有锐边的镜耦合输入到赫里奥特多通道单元中。镜771和772设计成并且彼此设置成，使得与整形光学装置261协作的方式使射束在多通道单元内沿着传播方向具有变化的椭圆横截面。例如，图2b示出射束在镜771处的射束横截面，并且图2c示出射束在镜772处的射束横截面。介质66安置在多通道单元内。介质66对射束11具有可忽略的吸收，并且用作为非线性介质，所述非线性介质在脉冲功率密度高的情况下引起自相位调制。示例介质是石英玻璃板，所述石英玻璃板在两个面上以对射束11抗反射的方式覆层。来自多通道单元的射束通过使用另外的边缘镜782作为输出射束19耦合输出。由于多次通过非线性介质而累积的自相位调制引起射束谱加宽。
整形光学装置261的最简单实施方案由具有限定焦距的柱面透镜组成。应将焦距选择和调节成，使得射束的焦点位于聚焦的平面中、位于焦平面中或位于焦平面33附近。
介质和空气的色散对于不同波长产生不同的传播速度。这引起射束的脉冲持续时间增加。射束的脉冲可以通过由色散整形光学装置组成的下游的装置来压缩或缩短。为了压缩脉冲例如可以使用光栅、镜，如GDD镜、GTI镜、棱镜等。
有利的是，镜771和772中的至少一个是GDD(群时延色散)或GTI(Gires-Tournois干涉仪)镜。将镜的色散选择成，使得补偿通过介质和空气引起的色散，并缩短由于每次通过后射束谱的增量加宽而产生的脉冲长度。
在图3a和3b中示出另一实施方案。在此，图3a示出俯视图，并且图3b示出多通道单元的侧视图。多通道单元由三个柱面镜796、797和798组成。镜面的弯曲位于xz平面内。在所示的情况下，三个镜具有相同的弯曲半径。镜797和798有利地在x方向上以相同的z位置彼此上下设置。镜796相对于镜797和798定位成，使得距离等于镜797和798的弯曲半径。镜因此形成共焦装置。虚线符号表示多通道单元的中间平面33。在这种具体情况下，中间平面33同时是镜796、797和798的焦平面。非线性介质66设置在中间平面33附近。借助整形光学装置261整形的像散射束11耦合输入到多通道单元中。在该所示的实施方式中，在多通道单元内形成八个射束路径111、112、113、114、115、116、117和118。原则上，射束1可以具有任何横截面。为了简化表示，前提是：射束1具有圆形横截面。整形光学装置261设计和设置成，使得射束11在yz焦平面中近似准直并且在xz焦平面中输入射束的腰部位于中间平面33处。在由镜797反射后，射束在xz焦平面中准直，使得反射的射束112变成具有近似圆形横截面的准直的射束。
通过射束11的适当的入射和镜的取向，可以在单元内生成4*N次通过(射束路径)。在此，N是整数。
射束112以聚焦的方式在xz焦平面中从镜796反射成射束113。射束113在中间平面或焦平面33中具有其焦点。因此，所述射束在中间平面33中具有椭圆形的射束横截面。射束113由镜798反射成射束114并且准直。射束114具有近似圆形的横截面。
以该方式，射束往复反射并多次穿过介质。在此，射束横截面从椭圆形变为圆形，并且又从圆形变为椭圆形。图3c示出射束在镜796处的横截面。在图3d中示出中间平面33中的射束横截面。图3e示出镜797和798处的射束横截面。显示出：射束在镜处具有大的和近似圆形的横截面。这有利于避免由于高脉冲峰值功率而损坏镜。
有利的是：镜796、797和798中的至少一个是GDD或GTI镜。选择镜的色散，使得补偿由介质和空气引起的色散，并缩短由于在每次通过后射束谱的增量加宽而产生的脉冲长度。
图4a示出根据本发明的另一实施例。多通道单元由三个球面和凹面镜776、777和778组成。在所示的示例中，三个镜具有相同的弯曲半径。优选地，镜777和778以相同的z位置彼此上下设置。镜776相对于镜777和778设置成，使得距离等于镜的弯曲半径。镜因此形成共焦装置。虚线符号表示多通道单元的中间平面33。在该具体情况下，中间平面同时是镜的焦平面。非线性介质66设置在中间平面33附近或中间平面33中。借助整形光学装置261整形的像散射束11耦合到多通道单元中。在该所示的示例中，在多通道单元内形成八个射束路径321、322、323、324、325、326、327和328。原则上，射束1可以具有任何横截面。为了简化视图，前提是：射束1具有圆形横截面。整形光学装置261设计和设置成，使得射束11在yz平面中近似准直并且在xz平面中输入射束的射束腰部位于中间平面33处。在从镜777反射之后，射束在xz平面中准直，而射束在yz平面中被聚焦，使得反射的射束322是像散射束，所述像散射束在xz平面中近似平行并且在yz平面中具有中间平面中的射束腰部并且其横截面在传播期间从圆形改变为椭圆形并且再次改变为圆形。
射束322由镜子776作为射束323反射。在此，射束在xz平面中聚焦并且在yz平面中准直。在xz平面中，射束323在中间平面33中具有焦点。因此，所述射束在中间平面33中具有椭圆射束横截面。射束323的椭圆横截面垂直于射束322的横截面。射束323由镜反射778反射为射束324。在此，射束在xz平面中准直并且在yz平面中聚焦。以该方式，射束在xz平面中往复反射并多次穿过介质。在此，射束横截面从椭圆形变为圆形，并且又从圆形变为椭圆形。图4b示出射束在镜776处的横截面。在图4c中示出中间平面33中的射束横截面。图4d示出镜777和778处的射束横截面。显示出：与焦平面相比，镜处的射束具有大的且近似圆形的横截面。
在此，有利的是：镜776、777和778中的至少一个是GDD或GTI镜。将镜的色散选择成，使得补偿通过介质和空气引起的色散，并且缩短由于每次通过后射束谱的增量加宽而引起的脉冲长度。
在图5a和5b中示出另一实施方案。在此，图5a示出俯视图，并且图5b示出多通道单元的侧视图。多通道单元由两个柱面凹面镜717和718组成。两个镜的柱面轴线相互平行并位于xz平面内。在所示的情况下，两个镜具有相同的弯曲半径。有利地，镜717和798共焦设置。虚线符号表示多通道单元的中间平面33。在共焦情况下，中间平面同时是镜的焦平面。非线性介质66设置在中间平面33附近。借助整形光学装置261整形的像散射束11以一定角度耦合输入到多通道单元中。因此，在两个柱面镜之间产生锯齿形的多通道。原则上，射束1可以具有任何横截面。为了简化视图，前提是：射束1具有圆形横截面。整形光学装置261因此设计和设置成，使得射束11在xz平面中近似准直并且在yz平面中输入射束的射束腰部位于中间平面33处。在从镜718反射之后，射束在yz平面中准直，使得反射射束362变成具有近似圆形横截面的在两个平面中准直的射束。
射束362以聚焦的方式在yz平面中从镜796反射成射束363。射束363在yz平面中在中间平面33中具有焦点。因此，所述射束在中间平面33中具有椭圆形的射束横截面。射束113从镜798反射成射束364。在此，射束364具有近似圆形的横截面。
以该方式，射束从两个镜往复反射并多次穿过介质。在此，射束横截面从椭圆形变为圆形，并且又从圆形变为椭圆形。图5c示出射束在镜717处的横截面。在图5d中示出中间平面33中的射束横截面。图5e示出镜718处的射束横截面。显示出：射束在镜处具有大的和近似圆形的横截面。这有利于避免由于高脉冲峰值功率而损坏镜。
通过射束的适当的入射角度可以在多通道单元内生成所确定数量的通道。
有利的是：镜796、797和798中的至少一个是GDD或GTI镜。选择镜子的色散，使得补偿通过介质和空气引起的色散，并缩短由于每次通过后射束谱的增量加宽而引起的脉冲长度。
图6a和6b示出根据本发明的另一实施例。图6a示出多通道单元的俯视图，并且图6b示出侧视图。多通道单元由两个镜阵列727和728组成。镜阵列通过相同且凹面弯曲的球面镜元件形成。球面镜元件具有相同的弯曲半径。两个镜阵列彼此间以等于弯曲半径的间距设置。镜阵列因此形成共焦装置。虚线符号表示多通道单元的中间平面33。在这种共焦情况下，中间平面同时是镜的焦平面。非线性介质66设置在中间平面33附近。借助整形光学装置261整形的像散射束11耦合输入到多通道单元中。在所示的示例中，在多通道单元内形成射束路径381、382、383、384、385、386、387、388、389、390、391、392和393。为了简化视图，前提是：射束1具有圆形横截面。整形光学装置261设计和设置成，使得射束11在xz平面中近似准直并且在xz平面中输入射束的射束腰部位于中间平面33处。在从镜阵列728的第一镜元件反射后，射束在xz平面中准直，而射束在yz平面中聚焦，使得反射的射束382是像散射束，所述像散射束在yz平面中近似平行并且在xz平面中具有中间平面中的射束腰部，并且其横截面在传播期间从圆形改变成椭圆形并且又改变成成圆形。
射束382从镜阵列727的第一镜元件反射成射束383。在此，射束在yz平面中聚焦并且在xz平面中准直。在yz平面中，射束383具有中间平面33中的焦点。因此，所述射束具有中间平面33中的椭圆形的射束横截面。射束383的椭圆形横截面垂直于射束382的横截面。射束383从反射镜阵列728的第二镜元件反射成射束384。在此，射束在yz平面中准直并在xz平面中聚焦。以该方式，将射束往复反射并且多次穿过介质。在此，射束横截面从椭圆形变为圆形，并且又从圆形变为椭圆形。图6c示出射束在镜阵列717处的横截面。在图6d中示出了中间平面33中的射束横截面。图6e示出镜阵列718处的射束横截面。显示出：射束在镜元件处具有大的和近似圆形的横截面。
在此还有利的是：至少一个镜阵列717和718是GDD或GTI镜。将镜的色散选择成，使得补偿通过介质和空气引起的色散，并且缩短由于每次通过后射束谱的增量加宽而产生的脉冲长度。
对于共点射束1有利的是：将柱面透镜用于整形光学装置261，所述主面透镜的焦距等于镜的焦距并且其焦点位于焦平面33中。
为了提高射束质量，可以在多通道单元中使用一个光阑阵列或多个光阑阵列。有利地，在焦平面33中或在焦平面33附近使用光阑阵列。光阑阵列具有开口，所述开口的几何形状匹配于相应射束穿过部位的射束横截面。
图7b、7c和7d中示出图4中示出的白色多通道单元的光阑阵列的示例。
图7b示出在一平面中直接位于镜776之前的光阑阵列的示例。所述焦平面具有穿口201、202、203、204、205。光阑阵列同样具有五个开口221、222、223、224、225。作为经验规律适用的是：开口横截面应是相应高斯射束的射束横截面的1.3到2倍。图7c和7d示例性地示出用于焦平面33的或在镜777和778处的光阑阵列的开口的设置。

Claims (12)

1.一种用于通过非线性自相位调制来增加谱带宽以缩短超短脉冲的光学装置，其中使用多通道单元和非线性介质(66)，其中所述非线性介质设置在所述多通道单元内，并且具有超短脉冲的激光射束(1)多次穿过所述非线性介质(66)，其特征在于，所述激光射束(1)经由整形光学装置(261)耦合输入到所述多通道单元中，其中经由所述整形光学装置(261)将所述激光射束(1)整形成像散射束并且耦合输入到所述多通道单元中。
2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述多通道单元是赫里奥特多通道单元。
3.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述多通道单元包括三个柱面镜(796，797，798)，其中所述三个柱面镜(796，797，798)设计和设置成，使得它们的弯曲位于共同的xz平面中并且它们的焦平面处于共同的焦平面(33)中，其中所述整形光学装置(261)设计和设置成，使得将所述激光射束(1)转换成射束(11)，所述射束在yz平面中准直并且在所述xz平面中具有在所述焦平面(33)中的焦点，并且所述非线性介质(66)安置在所述焦平面(33)中或所述焦平面(33)附近，其中x、y、z坐标形成直角xyz坐标系。
4.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述多通道单元由三个球面镜(776，777，778)组成，其中所述三个球面镜(776，777，778)设计和设置成，使得所述三个球面镜形成白色多通道单元并且具有共同的焦平面(33)，其中所述整形光学装置(261)设计和设置成，使得将所述激光射束(1)转换成像散射束(11)，所述像散射束在所述yz平面中准直并且在所述xz平面中具有焦点，或者在所述xz平面中准直并且在所述yz平面中具有焦点，其中所述非线性介质(66)安置在所述焦平面(33)中或所述焦平面(33)附近，其中所述x、y、z坐标形成直角xyz坐标系。
5.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述多通道单元由两个柱面镜(717，718)组成，其中所述两个柱面镜设计和设置成，使得所述两个柱面镜的焦线位于所述xz折叠平面中并且位于共同的焦平面(33)中，其中所述整形光学装置(261)设计和设置成，使得将所述激光射束(1)转换成像散射束(11)，所述像散射束在所述xz平面中准直并且在所述yz平面中具有焦点，其中所述非线性介质(66)安置在所述焦平面(33)中或所述焦平面(33)附近，其中所述x、y、z坐标形成直角xyz坐标系。
6.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述多通道单元由两个镜阵列(727，728)组成，其中每个镜阵列由至少两个球面且凹面的镜元件组成，其中所述球面镜元件是相同且凹面弯曲的并且所述球面镜元件的焦点位于共同的平面(33)中，其中所述整形光学装置(261)设计和设置成，使得所述激光射束(1)转换成像散射束(11)，所述像散射束在所述yz平面中准直并且在所述xz平面中具有所述平面(33)中的焦点，或者在所述xz平面中准直并且在所述yz平面中具有所述平面(33)中的焦点，其中所述非线性介质(66)安置在所述平面(33)中或所述平面(33)附近，其中所述x、y、z坐标形成直角xyz坐标系。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的光学装置，其特征在于，所述镜中的至少一个镜设有用于补偿色散的覆层，使得所述至少一个镜如GDD或GTI镜那样作用以压缩脉冲。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学装置，其特征在于，在所述多通道单元中使用至少一个光阑阵列以提高射束质量，其中所述光阑阵列的开口在其几何形状上匹配于相应的射束穿过所述光阑阵列的穿过部位的射束横截面，其中所述光阑阵列设置在一个或多个折叠镜处和/或设置在所述焦平面(33)中和/或设置在所述焦平面(33)附近。
9.根据权利要求8所述的光学装置，其特征在于，所述至少一个光阑阵列的开口横截面是相应的高斯射束的射束横截面的1.3至2倍。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的光学装置，其特征在于，为了对所述脉冲进行脉冲压缩或脉冲缩短，光栅、棱镜、GDD镜和/或GTI镜在输出侧沿射束传播方向观察设置在所述多通道单元后方。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的光学装置，其特征在于，设有用于加宽谱的至少一个另外的多通道单元。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的光学装置，其特征在于，将由光栅、棱镜、GDD镜和/或GTI镜组成的至少一个另外的装置用于脉冲缩短。
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